BE805406A - Procede epitaxial en phase liquide, et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procede - Google Patents

Procede epitaxial en phase liquide, et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procede

Info

Publication number
BE805406A
BE805406A BE136122A BE136122A BE805406A BE 805406 A BE805406 A BE 805406A BE 136122 A BE136122 A BE 136122A BE 136122 A BE136122 A BE 136122A BE 805406 A BE805406 A BE 805406A
Authority
BE
Belgium
Prior art keywords
implementing
liquid phase
phase epitaxial
epitaxial process
liquid
Prior art date
Application number
BE136122A
Other languages
English (en)
French (fr)
Original Assignee
Siemens Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE19722247710 external-priority patent/DE2247710C3/de
Application filed by Siemens Ag filed Critical Siemens Ag
Publication of BE805406A publication Critical patent/BE805406A/xx

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B19/00Liquid-phase epitaxial-layer growth
    • C30B19/12Liquid-phase epitaxial-layer growth characterised by the substrate
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B19/00Liquid-phase epitaxial-layer growth
    • C30B19/10Controlling or regulating
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B19/00Liquid-phase epitaxial-layer growth
    • C30B19/10Controlling or regulating
    • C30B19/106Controlling or regulating adding crystallising material or reactants forming it in situ to the liquid
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S438/00Semiconductor device manufacturing: process
    • Y10S438/955Melt-back

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
BE136122A 1972-09-28 1973-09-27 Procede epitaxial en phase liquide, et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procede BE805406A (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19722247710 DE2247710C3 (de) 1972-09-28 Flüssigphasen-Epitaxieverfahren und Vorrichtung zu dessen Durchführung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
BE805406A true BE805406A (fr) 1974-03-27

Family

ID=5857691

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
BE136122A BE805406A (fr) 1972-09-28 1973-09-27 Procede epitaxial en phase liquide, et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procede

Country Status (10)

Country Link
US (1) US3880680A (ja)
JP (1) JPS5336431B2 (ja)
AT (1) AT341579B (ja)
BE (1) BE805406A (ja)
CA (1) CA1004962A (ja)
FR (1) FR2201131B1 (ja)
GB (1) GB1433161A (ja)
IT (1) IT995486B (ja)
LU (1) LU68508A1 (ja)
NL (1) NL7313421A (ja)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5080280A (ja) * 1973-11-20 1975-06-30
JPS51111476A (en) * 1975-03-26 1976-10-01 Sumitomo Electric Ind Ltd Method of liquid phase epitaxial crystal growth
JPS5222478A (en) * 1975-08-11 1977-02-19 Siemens Ag Liquiddphase epitaxial method
JPS52115783A (en) * 1976-03-24 1977-09-28 Sumitomo Electric Ind Ltd Liquid phase epitaxial growth
US4160682A (en) * 1978-03-30 1979-07-10 Western Electric Co., Inc. Depositing materials on stacked semiconductor wafers
JPS5575998A (en) * 1978-12-04 1980-06-07 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Liquid phase epitaxial growing method
US4235191A (en) * 1979-03-02 1980-11-25 Western Electric Company, Inc. Apparatus for depositing materials on stacked semiconductor wafers
US4597823A (en) * 1983-09-12 1986-07-01 Cook Melvin S Rapid LPE crystal growth
US4594126A (en) * 1983-09-12 1986-06-10 Cook Melvin S Growth of thin epitaxial films on moving substrates from flowing solutions
US5585305A (en) * 1991-08-29 1996-12-17 Shin-Etsu Handotai Co. Ltd. Method for fabricating a semiconductor device
EP1027717B1 (en) * 1997-10-27 2004-09-08 Crystalls and Technologies, Ltd. Cathodoluminescent screen with a columnar structure, and the method for its preparation

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3689330A (en) * 1969-04-18 1972-09-05 Sony Corp Method of making a luminescent diode
BE754519A (fr) * 1969-08-06 1971-02-08 Motorola Inc Procede et appareil pour la croissance de couches epitaxiales en phase liquide sur des semi-conducteurs
US3759759A (en) * 1970-01-29 1973-09-18 Fairchild Camera Instr Co Push pull method for solution epitaxial growth of iii v compounds
BE788374A (fr) * 1971-12-08 1973-01-02 Rca Corp Procede de depot d'une couche epitaxiale d'un materiau semi-conducteur sur la surface d'un substrat

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5336431B2 (ja) 1978-10-03
ATA692873A (de) 1977-06-15
GB1433161A (en) 1976-04-22
IT995486B (it) 1975-11-10
CA1004962A (en) 1977-02-08
US3880680A (en) 1975-04-29
DE2247710B2 (de) 1977-05-05
FR2201131B1 (ja) 1977-03-11
JPS4972182A (ja) 1974-07-12
DE2247710A1 (de) 1974-04-11
NL7313421A (ja) 1974-04-01
LU68508A1 (ja) 1974-04-02
FR2201131A1 (ja) 1974-04-26
AT341579B (de) 1978-02-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
BE800368A (fr) Procede continu pour la mise en oeuvre de reactions catalytiques heterogenes en phase liquide
CH556770A (fr) Procede d&#39;empaquetage, notamment pour boites de boisson, et dispositif pour sa mise en oeuvre.
CH554747A (fr) Procede de reglage de la divergence des gouttelettes d&#39;un courant liquide et appareil pour la mise en oeuvre de ce procede.
FR1471859A (fr) Procédé pour la coulée continue d&#39;une bande, et dispositif pour sa mise en oeuvre
BE805406A (fr) Procede epitaxial en phase liquide, et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procede
CH538876A (fr) Procédé de filtrage d&#39;un liquide et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procédé
BE804884A (fr) Procede pour le dosage de liquides et dispositif pour la mise en pratique de ce procede
BE812329A (fr) Procede et dispositif pour le soudage par ultrasons
BE774492A (fr) Procede continu pour la mise en oeuvre de reactions catalytiques heterogenes en phase liquide
BE784599A (fr) Procede et dispositif pour la mise en sac de
CH558701A (fr) Procede de commande du mouvement d&#39;une electrode-outil, et dispositif pour sa mise en oeuvre.
BE804919A (fr) Procede pour texturer du fil et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procede
BE855788A (fr) Procede pour le laminage sans contrainte de mtaux et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procede
BE788318A (fr) Filtre pour cigarette, procede de fabrication de ce filtre et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procede.
CH503513A (fr) Procédé pour mélanger un liquide et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procédé
FR1486561A (fr) Dispositif et procédé pour la mise en oeuvre des réactions électrochimiques
CH551798A (fr) Procede de cristallisation et appareil pour la mise en oeuvre de ce procede.
FR94365E (fr) Procédé pour la stérilisation en continu d&#39;un liquide et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procédé.
CH543217A (fr) Procédé de désélectrisation en continu de matériaux isolants non textiles, et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procédé
BE776386A (fr) Procede de fabrication en continu de tubes etanches frettes et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procede
BE749130A (fr) Procede et dispositif pour le refroidissement du carbure de calcium coule dans des recipients
CH549964A (fr) Procede de remplissage de filtre de cigarette et dispositif pour la mise en oeuvre du procede.
FR1421104A (fr) Procédé pour la stérilisation en continu d&#39;un liquide et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procédé
CH457373A (fr) Procédé de formation de monocristaux et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procédé
BE757738A (fr) Procede pour la fabrication de sacs a provisions et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procede.