BE801471A - Procede et dispositif pour amorcer un arc dans un reacteur - Google Patents

Procede et dispositif pour amorcer un arc dans un reacteur

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    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32055—Arc discharge
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