G01L7/00—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements
G01L7/18—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements using liquid as the pressure-sensitive medium, e.g. liquid-column gauges
Dispositif, application et procédé de fabrication d'un régulateur de très faible débit gazeux à vitesse d'écoulement sonique pour les mesures d'adsorption et de désorption gazeuse