ATE87288T1 - Verfahrensmethode zur herstellung hochfester und hochdichter, polykristalliner siliziumkarbid- formkoerper mit homogener kohlenstoffverteilung durch kontrollierte diffusion. - Google Patents

Verfahrensmethode zur herstellung hochfester und hochdichter, polykristalliner siliziumkarbid- formkoerper mit homogener kohlenstoffverteilung durch kontrollierte diffusion.

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ATE87288T1
ATE87288T1 AT89101692T AT89101692T ATE87288T1 AT E87288 T1 ATE87288 T1 AT E87288T1 AT 89101692 T AT89101692 T AT 89101692T AT 89101692 T AT89101692 T AT 89101692T AT E87288 T1 ATE87288 T1 AT E87288T1
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Austria
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silicon carbide
polycrystalline silicon
process method
carbon distribution
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Application number
AT89101692T
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English (en)
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Rainer Dr Hamminger
Fritz Dr Aldinger
Original Assignee
Hoechst Ag
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