ATE82390T1 - Kapazitiver drucksensor und verfahren zu seiner herstellung. - Google Patents

Kapazitiver drucksensor und verfahren zu seiner herstellung.

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ATE82390T1
ATE82390T1 AT90904838T AT90904838T ATE82390T1 AT E82390 T1 ATE82390 T1 AT E82390T1 AT 90904838 T AT90904838 T AT 90904838T AT 90904838 T AT90904838 T AT 90904838T AT E82390 T1 ATE82390 T1 AT E82390T1
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AT
Austria
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manufacture
pressure sensor
capacitive pressure
capacitive
sensor
Prior art date
Application number
AT90904838T
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English (en)
Inventor
Gerhard Dittrich
Frank Hegner
Thomas Klaehn
Original Assignee
Endress Hauser Gmbh Co
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