ATE72046T1 - Halbleiter fuer einen resistiven gassensor mit hoher ansprechgeschwindigkeit. - Google Patents

Halbleiter fuer einen resistiven gassensor mit hoher ansprechgeschwindigkeit.

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ATE72046T1
ATE72046T1 AT88905686T AT88905686T ATE72046T1 AT E72046 T1 ATE72046 T1 AT E72046T1 AT 88905686 T AT88905686 T AT 88905686T AT 88905686 T AT88905686 T AT 88905686T AT E72046 T1 ATE72046 T1 AT E72046T1
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AT
Austria
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semiconductor
gas sensor
response speed
high response
resistive gas
Prior art date
Application number
AT88905686T
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English (en)
Inventor
Edelbert Haefele
Karl-Heinz Haerdtl
Andreas Mueller
Ulrich Schoenauer
Original Assignee
Roth Technik Gmbh
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EP88905686A EP0365567B1 (de) 1987-07-11 1988-07-07 Halbleiter für einen resistiven gassensor mit hoher ansprechgeschwindigkeit
PCT/DE1988/000418 WO1989000686A1 (en) 1987-07-11 1988-07-07 Semiconductor for resistive gas sensors with high speed of reaction

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ATE72046T1 true ATE72046T1 (de) 1992-02-15

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