ATE62513T1 - Verfahren und vorrichtung zum beschichten von substraten mittels einer plasmaentladung. - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum beschichten von substraten mittels einer plasmaentladung.

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ATE62513T1
ATE62513T1 AT86903363T AT86903363T ATE62513T1 AT E62513 T1 ATE62513 T1 AT E62513T1 AT 86903363 T AT86903363 T AT 86903363T AT 86903363 T AT86903363 T AT 86903363T AT E62513 T1 ATE62513 T1 AT E62513T1
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plasma discharge
coating substrates
substrates
coating
plasma
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AT86903363T
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English (en)
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Klaus Hartig
Anton Dietrich
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Leybold Ag
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DE19853521318 DE3521318A1 (de) 1985-06-14 1985-06-14 Verfahren und vorrichtung zum behandeln, insbesondere zum beschichten, von substraten mittels einer plasmaentladung
PCT/EP1986/000332 WO1986007391A1 (en) 1985-06-14 1986-06-04 An apparatus for coating substrates by plasma discharge
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