ATE61156T1 - Verfahren und vorrichtung zur speicherung der messdaten aus teilbereichen eines sputterkraters, der in einem sekundaerionen-massenspektrometer erzeugt und analysiert wird. - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur speicherung der messdaten aus teilbereichen eines sputterkraters, der in einem sekundaerionen-massenspektrometer erzeugt und analysiert wird.

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ATE61156T1
ATE61156T1 AT84103386T AT84103386T ATE61156T1 AT E61156 T1 ATE61156 T1 AT E61156T1 AT 84103386 T AT84103386 T AT 84103386T AT 84103386 T AT84103386 T AT 84103386T AT E61156 T1 ATE61156 T1 AT E61156T1
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AT
Austria
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mass spectrometer
ion mass
secondary ion
analyzed
sputter crater
Prior art date
Application number
AT84103386T
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Criegern Rolf Dipl-Phys Von
Peter Dipl-Ing Fazekas
Johannes Fottner
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Siemens Ag
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