ATE430881T1 - Aktorvorrichtung mit einer mikrowellen- positionsmesseinrichtung - Google Patents

Aktorvorrichtung mit einer mikrowellen- positionsmesseinrichtung

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ATE430881T1
ATE430881T1 AT05017445T AT05017445T ATE430881T1 AT E430881 T1 ATE430881 T1 AT E430881T1 AT 05017445 T AT05017445 T AT 05017445T AT 05017445 T AT05017445 T AT 05017445T AT E430881 T1 ATE430881 T1 AT E430881T1
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pressure wave
microwave
microwave position
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AT05017445T
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Gerald Mueller
Wolfgang Rammler
Thomas Reininger
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Festo Ag & Co Kg
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    • F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
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    • F15B15/2869—Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT using electromagnetic radiation, e.g. radar or microwaves
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