ATE37153T1 - Laser-pattern-generator und verfahren zu dessen betrieb. - Google Patents

Laser-pattern-generator und verfahren zu dessen betrieb.

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ATE37153T1
ATE37153T1 AT85810307T AT85810307T ATE37153T1 AT E37153 T1 ATE37153 T1 AT E37153T1 AT 85810307 T AT85810307 T AT 85810307T AT 85810307 T AT85810307 T AT 85810307T AT E37153 T1 ATE37153 T1 AT E37153T1
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AT
Austria
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pattern generator
laser pattern
laser
generator
pattern
Prior art date
Application number
AT85810307T
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English (en)
Inventor
Jean-Michel Dr Mayor
Juerg Dr Steffen
Peter Wuethrich
Original Assignee
Lasarray Holding Ag
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CH333784 1984-07-10
CH2174/85A CH667830A5 (de) 1985-05-22 1985-05-22 Verfahren und vorrichtung zur positionsbestimmung und zur korrektur von mechanischen bewegungen bei einem laser-pattern-generator.
EP85810307A EP0168351B1 (de) 1984-07-10 1985-07-04 Laser-Pattern-Generator und Verfahren zu dessen Betrieb

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ATE37153T1 true ATE37153T1 (de) 1988-09-15

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