ATE365616T1 - Form für das nanoimprintverfahren, sowie anwendung und verfahren zur herstellung einer solchen form - Google Patents

Form für das nanoimprintverfahren, sowie anwendung und verfahren zur herstellung einer solchen form

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ATE365616T1
ATE365616T1 AT05103405T AT05103405T ATE365616T1 AT E365616 T1 ATE365616 T1 AT E365616T1 AT 05103405 T AT05103405 T AT 05103405T AT 05103405 T AT05103405 T AT 05103405T AT E365616 T1 ATE365616 T1 AT E365616T1
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AT
Austria
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mold
mould
producing
application
recesses
Prior art date
Application number
AT05103405T
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Stefan Landis
Laurent Mollard
Cecile Gourgon
Jean-Herve Tortai
Original Assignee
Commissariat Energie Atomique
Centre Nat Rech Scient
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Publication date
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C33/00Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
    • B29C33/42Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor characterised by the shape of the moulding surface, e.g. ribs or grooves
    • B29C33/424Moulding surfaces provided with means for marking or patterning
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C33/00Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
    • B29C33/0055Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor with incorporated overflow cavities

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
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