ATE104746T1 - Verfahren zur regeneration einer kryopumpe sowie zur durchfuehrung dieses verfahrens geeignete kryopumpe. - Google Patents

Verfahren zur regeneration einer kryopumpe sowie zur durchfuehrung dieses verfahrens geeignete kryopumpe.

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ATE104746T1
ATE104746T1 AT9191915862T AT91915862T ATE104746T1 AT E104746 T1 ATE104746 T1 AT E104746T1 AT 9191915862 T AT9191915862 T AT 9191915862T AT 91915862 T AT91915862 T AT 91915862T AT E104746 T1 ATE104746 T1 AT E104746T1
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AT
Austria
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cryopump
regeneration
carrying
suitable cryopump
Prior art date
Application number
AT9191915862T
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English (en)
Inventor
Gerd Flick
Hans-Juergen Mundinger
Uwe Timm
Hans-Hermann Klein
Hans-Joachim Forth
Hans-Ulrich Haefner
Original Assignee
Leybold Ag
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