ATA100682A - Verfahren zur herstellung eines siliciumdioxidhydrogels - Google Patents

Verfahren zur herstellung eines siliciumdioxidhydrogels

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DE1266741B (de) * 1963-06-01 1968-04-25 Mobil Oil Corp Verfahren zur partiellen Dehydratisierung und Verringerung des Volumens von Siliciumdioxydhydrogelen
FR2093176A5 (de) * 1970-06-04 1972-01-28 Pechiney Saint Gobain
DE2629709C2 (de) * 1976-07-02 1982-06-03 Ibm Deutschland Gmbh, 7000 Stuttgart Verfahren zur Herstellung eines metallionenfreien amorphen Siliciumdioxids und daraus hergestelltes Poliermittel zum mechanischen Polieren von Halbleiteroberflächen

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