AT518876A4 - Verfahren zur Herstellung eines Mehrschichtgleitlagerelementes - Google Patents

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AT518876A4 ATA51112/2016A AT511122016A AT518876A4 AT 518876 A4 AT518876 A4 AT 518876A4 AT 511122016 A AT511122016 A AT 511122016A AT 518876 A4 AT518876 A4 AT 518876A4
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Christian Übleis Ing
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Miba Gleitlager Austria Gmbh
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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Mehrschichtgleitlagerelementes (1) mit einem PVD-Verfahren, nach dem ein Substrat in eine Beschichtungskammer eingebracht wird und auf dem Substrat aus der Gasphase eine metallische Laufschicht (4) aufgebracht wird, die aus mehreren Einzelschichten aufgebaut wird, wobei die Abscheidung der Laufschicht (4) mehrmals unterbrochen wird, sodass die Laufschicht (4) zumindest im an das Substrat anschließenden Bereich aus einer Abfolge aus mehreren ersten Teillaufschichten (6) und mehreren zweiten Teillaufschichten (7) aufgebaut ist, wobei die ersten Teillaufschichten (6) mit einer Schichtdicke (8) zwischen 2 nm und 100 nm und die zweiten Teillaufschichten (7) mit einer Schichtdicke (9) zwischen 40 nm und 10 μm hergestellt werden, und wobei die ersten Teillaufschichten (6) jedenfalls mit einer geringeren Schichtdicke (8) hergestellt werden als die zweiten Teillaufschichten (7).

Claims (16)

  1. Patentansprüche
    1. Verfahren zur Herstellung eines Mehrschichtgleitlagerelementes (1) mit einem PVD-Verfahren, nach dem ein Substrat in eine Beschichtungskammer eingebracht wird und auf dem Substrat aus der Gasphase eine metallische Laufschicht (4) aufgebracht wird, die aus mehreren Einzelschichten aufgebaut wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Abscheidung der Laufschicht (4) mehrmals unterbrochen wird, sodass die Laufschicht (4) zumindest im an das Substrat anschließenden Bereich aus einer Abfolge aus mehreren ersten Teillaufschichten (6) und mehreren zweiten Teillaufschichten (7) aufgebaut ist, wobei die ersten Teillaufschichten (6) mit einer Schichtdicke (8) zwischen 2 nm und 100 nm und die zweiten Teillaufschichten (7) mit einer Schichtdicke (9) zwischen 40 nm und 10 pm hergestellt werden, und wobei die ersten Teillaufschichten (6) jedenfalls mit einer geringeren Schichtdicke (8) hergestellt werden als die zweiten Teillaufschichten (7).
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Laufschicht mit einem Schichtdickenverhältnis der zweiten Teillaufschichten (7) zu den ersten Teillaufschichten (6) hergestellt wird, das ausgewählt wird aus einem Bereich von 100 :1 bis 200 : 1.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die gesamte Laufschicht (4) aus einer Abfolge aus ersten Teillaufschichten (6) und zweiten Teillaufschichten (7) hergestellt wird.
  4. 4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Laufschicht (4) mit einer Anzahl an ersten Teil laufschichten (6) hergestellt wird, die ausgewählt wird aus einem Bereich von 5 bis 30.
  5. 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Laufschicht (4) als Legierung mit einem Matrixmetall, das ausgewählt ist aus einer Gruppe umfassend Zinn, Aluminium, Kupfer, Blei, Bismut, Silber, Zink hergestellt wird.
  6. 6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass in die Laufschicht (4) während der Abscheidung Hartpartikel eingebettet werden.
  7. 7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten Teillaufschichten (6) mit einer zu der Zusammensetzung der zweiten Teillaufschichten (7) unterschiedlichen Zusammensetzung hergestellt werden.
  8. 8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten Teillaufschichten (6) aus einem einzigen Metall hergestellt werden.
  9. 9. Mehrschichtgleitlagerelement (1) aus einem Verbundwerkstoff umfassend eine Stützschicht (3) und eine Laufschicht (4), wobei die Laufschicht (4) aus mehreren Einzelschichten besteht, dadurch gekennzeichnet, dass die Laufschicht (4) zumindest im an die Stützschicht (3) anschließenden Bereich aus einer Abfolge aus mehreren ersten Teillaufschichten (6) und mehreren zweiten Teillaufschichten (7) aufgebaut ist, wobei die ersten Teillaufschichten (6) eine Schichtdicke (8) zwischen 2 nm und 100 nm und die zweiten Teillaufschichten (7) eine Schichtdicke (9) zwischen 40 nm und 10 pm aufweisen, und wobei die ersten Teillaufschichten (6) jedenfalls eine geringere Schichtdicke (8) aufweisen als die zweiten Teillaufschichten (7).
  10. 10. Mehrschichtgleitlagerelement (1) nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Laufschicht (4) ein Schichtdickenverhältnis der zweiten Teillaufschichten (7) zu den ersten Teillaufschichten (6) aufweist, das ausgewählt wird aus einem Bereich von 100:1 bis 200 : 1. Patentansprüche
    1. Verfahren zur Herstellung eines Mehrschichtgleitlagerelementes (1) mit einem PVD-Verfahren, nach dem ein Substrat in eine Beschichtungskammer ein-gebracht wird und auf dem Substrat zur Herstellung eines Verbundwerkstoffes aus der Gasphase eine metallische Laufschicht (4) aufgebracht wird, die aus mehreren Einzelschichten aufgebaut wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Abscheidung der Laufschicht (4) mehrmals unterbrochen wird, sodass die Laufschicht (4) zumindest im an das Substrat anschließenden Bereich aus einer Abfolge aus mehreren ersten Teülaufschichten (6) und mehreren zweiten Teillaufschichten (7) aufgebaut ist, wobei die ersten Teillaufschichten (6) mit einer Schichtdicke (8) zwischen 2 nm und 100 nm und die zweiten Teülaufschichten (7) mit einer Schichtdicke (9) zwischen 40 nm und 10 pm hergestellt werden, und wobei die ersten Teillaufschichten (6) jedenfalls mit einer geringeren Schichtdicke (8) hergestellt werden als die zweiten Teülaufschichten (7).
    2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Laufschicht mit einem Schichtdickenverhältnis der zweiten Teillaufschichten (7) zu den ersten Teülaufschichten (6) hergestellt wird, das ausgewählt wird aus einem Bereich von 100:1 bis 200 : 1.
    3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die gesamte Laufschicht (4) aus einer Abfolge aus ersten Teülaufschichten (6) und zweiten Teillaufschichten (7) hergestellt wird.
    4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Laufschicht (4) mit einer Anzahl an ersten Teülaufschichten (6) hergestellt wird, die ausgewählt wird aus einem Bereich von 5 bis 30.
    5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Laufschicht (4) als Legierung mit einem Matrixmetall, das ausgewählt ist aus einer Gruppe umfassend Zinn, Aiuminium, Kupfer, Blei, Bismut, Silber, Zink hergestelit wird.
    6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass in die Laufschicht (4) während der Abscheidung Hartpartikel eingebettet werden.
    7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten Teiilaufschichten (8) mit einer zu der Zusammensetzung der zweiten Teillaufschichten (7) unterschiedlichen Zusammensetzung hergestellt werden.
    8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten Teillaufschichten (6) aus einem einzigen Metall hergestellt werden.
    9. Mehrschichtgleitlagerelement (1) aus einem Verbundwerkstoff umfassend eine Stützschicht (3) und eine Laufschicht (4), wobei die Laufschicht (4) aus mehreren Einzelschichten besteht, und der Verbundwerkstoff nach einem Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche hergestellt ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Laufschicht (4) zumindest im an die Stützschicht (3) anschließenden Bereich aus einer Abfolge aus mehreren ersten Teiilaufschichten (6) und mehreren zweiten Teiilaufschichten (7) aufgebaut ist, wobei die ersten Teiliauf-schichten (6) eine Schichtdicke (8) zwischen 2 nm und 100 nm und die zweiten Teiilaufschichten (7) eine Schichtdicke (9) zwischen 40 nm und 10 pm aufweisen, und wobei die ersten Teiilaufschichten (6) jedenfalls eine geringere Schichtdicke (8) aufweisen als die zweiten Teiilaufschichten (7).
    10. Mehrschichtgleitlagerelement (1) nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Laufschicht (4) ein Schichtdickenverhäitnis der zweiten Teiilaufschichten (7) zu den ersten Teiilaufschichten (8) aufweist, das ausgewählt wird aus einem Bereich von 100:1 bis 200 : 1.
  11. 11. Mehrschichtgleitlagerelement (1) nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die gesamte Laufschicht (4) aus einer Abfolge aus ersten Teillaufschichten (6) und zweiten Teillaufschichten (7) besteht.
  12. 12. Mehrschichtgleitlagerelement (1) nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Laufschicht (4) eine Anzahl an ersten Teillaufschichten (6) aufweist, die ausgewählt wird aus einem Bereich von 5 bis 30.
  13. 13. Mehrschichtgieitiagerelement (1) nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Laufschicht (4) eine Legierung mit einem Matrixmetall, das ausgewählt ist aus einer Gruppe umfassend Zinn, Aluminium, Kupfer, Blei, Bismut, Silber, aufweist.
  14. 14. Mehrschichtgleitlagerelement (1) nach einem der Ansprüche 9 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass in der Laufschicht (4) Hartpartikel eingebettet sind.
  15. 15. Mehrschichtgieitiagerelement (1) nach einem der Ansprüche 9 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten Teillaufschichten (6) eine zu der Zusammensetzung der zweiten Teiilaufschichten (7) unterschiedlichen Zusammensetzung aufweisen.
  16. 16. Mehrschichtgieitiagerelement (1) nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten Teillaufschichten (6) aus einem einzigen Metall bestehen.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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