AT512576A1 - Polierteller mit Poliermittelzuführung - Google Patents
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Abstract
Es wird ein Polierteller (100..108) mit zumindest einem in axialer Richtung verlaufenden Kanal (400, 401) zur Führung eines Poliermittels angegeben. Zusätzlich umfasst der Polierteller (100..108) zumindest eine umfangsseitige Öffnung, welche mit dem zumindest einen axial verlaufenden Kanal (400,401) verbunden ist.
Description
25 09:23:06 05-06-2012 5/25 • ♦ ♦ • · ♦ - ♦ φ · φ φφ φφ φφφφ φφ φ φ φ • φφφ φ·· φ ® # « φφ φφφ • φ φφφφ φ -1-
Die Erfindung betrifft einen Polierteller mit zumindest einem in axialer Richtung verlaufenden Kanal zur Führung eines Poliennittels.
Ein Polierteller der genannten Art ist grundsätzlich bekannt. Dabei wird ein Polier-mittel - auch bei Drehung des Poliertellers - über den axial verlaufenden Kanal zugeführt und solcherart unter den Polierteller respektive unter ein auf dem Polierteller montiertes Poliertuch gebracht. Somit kann während des Polierens eines Werkstücks stets Poliermittel zugeführt werden.
Nachteilig ist dabei, dass das Poliermittel nur in einem zentralen Bereich des Poliertellers aufgebracht und daher nur sehr ungleichmäßig auf der zu polierenden Fläche verteilt wird. Dadurch wird das Werkstück nur ungleichmäßig poliert. Zudem ist eine gesonderte Pumpe für die Förderung des Poliermittels nötig, sofern die natürliche Förderung mit Hilfe der Schwerkraft nicht ausreichend ist.
Die Aufgabe der Erfindung ist es nun, einen verbesserten Poliertelter anzugeben. Insbesondere soll das Poiiermittel besser auf der zu polierenden Fläche eines Werkstücks verteilt und die Notwendigkeit einer gesonderten Pumpe für das Poliermittel nach Möglichkeit vermieden werden.
Die Aufgabe der Erfindung wird mit einem Polierteller der eingangs genannten Art gelöst, zusätzlich umfassend zumindest eine umfangsseitige Öffnung, welche mit dem zumindest einen axial verlaufenden Kanal verbunden ist.
Dadurch wird erreicht, dass das Poliermittel, welches über den Axialkanal zuge-fOhrt wird, bei Drehung des Poliertellers nach außen geschleudert und auf der zu polierenden Fläche verteilt wird. Auf diese Weise wird sichergestellt, dass zwi- N2011/23000 05/06/2012 09:25
Nr.: R000 P.005/025 2$ 09:23:41 05-06-2012 €/25 ·· ·♦ *·· • ·ν ♦ ♦ • · ♦♦♦· * « « * » • · · ♦ ··· • * ♦ * ·· *· ··· -2-schen der zu polierenden Fläche und dem PoEiertuch zu jeder Zeit Poliermittel vorhanden Ist, wenn der Polierteller über das Werkstück geführt wird. Vorteilhaft entsteht durch das ausgeschleuderte Poliermittel zudem ein Unterdrück im Axialkanal wodurch Poliermittel auch ohne eine eigens dafür vorgesehene Pumpe gefördert wird. Der Polierteller wirkt somit gleichsam auch wie eine Radialpumpe und erfüllt daher einen Mehrfachnutzen.
Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen sowie aus der Beschreibung in Zusammenschau mit den Figuren. Günstig ist es, wenn der zumindest eine in axialer Richtung verlaufende Kanal mit der zumindest einen umfangsseitige Öffnung durch einen radial verlaufenden Kana] verbunden ist. Dadurch dass die umfangsseitigen Öffnungen durch Kanäle im Polierteller mit dem axial verlaufenden Kanal verbunden werden, kann der Polierteller einstückig ausgeführt werden. Dessen Handhabung ist somit besonders einfach.
Besonders vorteilhaft ist es, wenn der zumindest eine in axialer Richtung verlaufende Kanal mit der zumindest einen umfangsseitigen Öffnung durch einen spiralförmig verfaulenden Kanal verbunden ist Durch die spezielle Formgebung und wegen der sich überlagernden Bewegungen des nach außen hin fließenden Poliermittels und der Drehbewegung des Poliertellers kann erreicht werden, dass das Poliermittel auch bei Drehung des Poliertellers radial nach außen tritt.
Vorteilhaft ist es, wenn der radial oder spiralförmig verlaufende Kanal konstanten Querschnitt aufweist Auf diese Weise kann der genannte Kanal einfach und damit kostengünstig hergestellt werden.
Vorteilhaft ist es aber auch, wenn der radial oder spiralförmig verlaufende Kanal einen sich nach außen hin vergrößernden Querschnitt aufweist. Auf diese Weise wird das Poliermittel noch besser auf dem Werkstück verteilt da die radialen Öffnungen im tellerförmigen Bereich vergleichsweise groß sind N2011/23000 05/06/2012 09:26
Nr.: R000 P.006/025 -3 09:24:21 05-06-2012 7/25 -3 09:24:21 05-06-2012 7/25 • * • · • · • ·
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Besonders vorteilhaft ist es, wenn der radial oder spiralförmig verlaufende Kanal durch eine zur Polierseite des Poliertellers offene Nut gebildet ist. Dadurch kann der Kanal vergleichsweise einfach hergestellt werden, beispielsweise mit Hilfe eines Fingerfrasers. Zudem kann Poliermittel auch durch das Polieituch hindurch austreten, wenn dies durchlässig genug ist Dadurch wird die Versorgung der zu polierenden Fläche mit Poliermittel weiter verbessert. in einer besonders vorteilhaften Ausführungsvariante umfasst der Pofiertelier eine Vorrichtung zum Befestigen eines Poliertuchs, wobei die genannte Befestigungsvorrichtung durch einen elastischen Körper gebildet ist, welcher in eine zentrale Ausnehmung des Poliertellers eingesetzt ist, und wobei der elastische Körper wenigstens einen Halteabschnitt umfasst, welcher mit wenigstens einem Halteabschnitt Im Polierteller zusammenwirkt. Dadurch wird erreicht, dass das Poliertuch nicht auf der gesamten Fläche des Poliertellers montiert werden muss, so wie dies beispielsweise bei einem Klettverschluss der Fall ist Daher kann das Poliertuch besonders schnell gewechselt werden. Durch die im Betrieb des Poliertellers auf das PolieTtuch wirkende Zentrifugalkraft wird das kn Stillstand des Poliertellers nur lose herunter hängende Poliertuch gerade gezogen und gleichmäßig über den Polierteller gespannt. Auf diese Weise kann das Poliertuch nicht nur besonders schnell gewechselt werden, sondern legt sich automatisch und gleichmäßig über den Pollerteller, sodass die polierte Fläche besonders genau gefertigt werden kann. Günstig ist es, wenn der wenigstens eine Hafteabschnitt im elastischen Körper durch einen Vorsprung und der wenigstens eine Halteabschnitt im Polierteller durch eine Vertiefung gebildet sind oder umgekehrt. Durch diese Maßnahmen kann die Befestigungsvorrichtung für das Poliertuch auf einfache Weise in die Praxis umgesetzt werden. Günstig ist es, wenn der elastische Körper aus Gummi oder einem Elastomer ge· fertigt Ist Dadurch können der elastische Körper beziehungsweise das Poliertuch sehr leicht und sehr schnell montiert beziehungsweise demontiert werden.
Vorteilhaft ist es auch, wenn der elastische Körper wenigstens eine axiale Öffnung zur Führung eines Poliermittels aufweist. Auf diese Weise kann ein Poliermittel, N2011/23000 05/06/2012 09:27
Nr.: R000 P. 007/025 25 09:25:05 05-06-2012 8/25 e · es · « • » • · e • · *· • » • · *·* ··· * · • e » • * • • » ···« • # · e e • e e · * *· ·· ··· 4« · e« * -4-welches über einen durch den Polierteller verlaufenden Kanal zugefuhrt wird, durch den elastischen Körper hindurch treten und auf die zu polierende Fläche gelangen.
Besonders vorteilhaft ist es, wenn der elastische Körper wenigstens eine radiale Öffnung zur Führung eines Poliermittels aufweist. Auf diese Weise kann ein Poliermittel, welches übereinen durch den Polierteller verlaufenden Kanal zugeführt wird, durch den elastischen Körper hindurch treten und beispielsweise Über Kanäle im Polierteller zu umfangsseitigen Öffnungen im Polierteller gelangen. Dadurch wird das Poliermittei noch besser über dem Werkstück verteilt Günstig ist es, wenn eine Höhe des elastischen Körpers kleiner ist als die Tiefe der genannten Ausnehmung inklusive der Dicke des Poliertuchs. Auf diese Weise wird vermieden, dass der elastische Körper im Betrieb des Poliertellers auf der zu polierenden Fläche scheuert. Günstig ist es weiterhin, wenn eine Höhe des elastischen Körpers kleiner ist ais die Tiefe der genannten Ausnehmung. Dadurch wird noch mehr Sicherheit erreicht, dass der elastische Körper im Betrieb des Poliertellers nicht auf der zu polierenden Flache scheuert
Zum besseren Verständnis der Erfindung wird diese anhand der nachfolgenden Figuren näher erläutert
Fig. 1 ein erstes Beispiel für einen schematisch dargestellten Polierteiler mit sternförmig verlaufenden Kanälen in Unteransicht und im Schnitt;
Fig. 2 ein zweites Beispiel für einen schematisch dargestelten Polierteller mit sternförmig verlaufenden Kanälen mit variablem Querschnitt in Unteransicht;
Fig. 3 ein drittes Beispiel für einen schematisch dargestellten Polierteller mit spiralförmig verlaufenden Kanälen in Unteransicht;
Fig. 4 ein viertes Beispiel für einen schematisch dargestellten Polierteller mit mehreren in axialer Richtung verlaufenden Zuftihrkanälen; N2011/23000 05/06/2012 09:27
Nr.: R000 P.008/025 25 09:25:43 05-00-2012 9/25 ·« »* • # · • · · • ft # * · ·· ·· ···· H ♦ · · ft »·! ftftft ft » · ft ♦ ft • •ft ft· • · • ftftft ft ft -5-
Fig. 5 ein Beispiel für einen schematisch dargestellten Polierteller mit einer Vorrichtung zum Befestigen eines Poliertuchs im Querschnitt;
Fig. 6 wie Fig. 5, nur mit einer etwas anders geformten Befestigungsvorrichtung;
Fig.7 ein Beispiel für einen schematisch dargestellten Polierteller mit einer Vorrichtung zum Befestigen eines Poliertuchs und über den Polierteller nach außen verlaufenden Kanälen und
Fig. 8 wie Fig. 7, nur mit einer etwas anders geformten Befestigungsvorrichtung und etwas anders geformten Kanälen.
Einführend sei festgehalten, dass in den unterschiedlich beschriebenen Ausfüh-rungsformen gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen bzw. gleichen Bauteilbe-zeichnungen versehen weiden, wobei die in der gesamten Beschreibung enthaltenen Offenbarungen sinngemäß auf gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen bzw. gleichen Bauteilbezeichnungen übertragen weiden können. Auch sind die in der Beschreibung gewählten Lageangaben, wiez.B. oben, unten, seitlich usw. auf die unmittelbar beschriebene sowie dargestelte Figur bezogen und sind bei einer Lageänderung sinngemäß auf die neue Lage zu übertragen. Westers können auch Einzelmeikmale oder Merkmalskombinationen aus den gezeigten und beschriebenen unterschiedlichen Ausführungsbeispielen für sich eigenständige, erfinderische oder erfindungsgemäße Lösungen darsteifen. Sämtliche Angaben zu Wertebereichen in gegenständlicher Beschreibung sind so zu verstehen, dass diese beliebige und alle Teilbereiche daraus mit umfassen, z.B. ist die Angabe 1 bis 10 so zu verstehen, dass sämtliche Teilbereiche, ausgehend von der unteren Grenze 1 und der oberen Grenze 10 mit umfasst sind, d.h. sämtliche Teilbereich beginnen mit einer unteren Grenze von 1 oder größer und enden bei einer oberen Grenze von 10 oder weniger, z.B. 1 bis 1,7, oder 3,2 bis 0,1 oder 5,5 bis 10.
Fig. 1 zeigt ein erstes Beispiel für einen schematisch dargestellten Poliertelter 100 in Unteransicht (oberes Bild) und im Schnitt (unteres Bild). Der Polierteller 100 N2011/23000 05/06/2012 09:28
Nr.: R000 P.009/025 25 09:26:22 05-06-2012 10/25 0« ·· ··«· *· · · « * * · · * · ·· • «* **«· ··· ft · « • « * · « * · «ftftft ft • Φ * ft · « · · » *« ft* ·*· ·· * ftftft -6- umfasst einen schaftförmigen Abschnitt 2 und einen tellerförmigen Abschnitt 3. Zusätzlich umfasst der Polierteller 100 einen in axialer Richtung verlaufenden Kanal 400 zur Führung eines Poliermittels. Darüber hinaus umfasst der Polierteller 100 mehrere umfangsseitige Öffnungen, welche mit dem Axialkanal 400 verbunden sind. Konkret ist der Axialkanal 400 mit den umfangsseitigen Öffnungen durch radial verlaufende Kanäle 500 verbunden. Alternativ wäre auch denkbar, dass die umfangsseitigen Öffnungen über Schläuche mit dem Axialkanal 400 verbunden sind. Die umfangsseitigen Öffnungen können dabei einfach Ober die offenen Enden der genannten Schläuche gebildet sein.
In diesem Beispiel weisen die Radialkanäle 500 konstanten Querschnitt auf und sind durch zur Polterseite des Poliertellers 100 offene Nuten gebildet. Auf den zwischen den Radialkanälen 500 angeordneten Bereichen des tellerförmigen Abschnitts ist ein Poliertuch 6 befestigt (nur im Schnitt dargestellt). Beispielsweise kann dieses mit Hilfe eines Klettverschlusses aufgebracht sein.
Die Funktion des in der Fig. 1 dargestellten Poliertellers 100 ist nun wie folgt
Bei Drehung des Poliertellers 100 wird Poliermittel, welches Oberden Axialkanal 400 zugeführt wird nach außen geschleudert und auf der zu polierenden Räche (nicht dargestellt) verteilt. Auf diese Weise wird sichergesteHt, dass zwischen der zu polierenden Fläche und dem Poliertuch 6 zu jeder Zeit Poliermittel vorhanden ist, wenn der Polierteller 100 über das Werkstück geführt wird. Zudem kann Po-liermittel auch durch das Poliertuch 6 hindurch austreten, wenn dies durchlässig genug ist. Dadurch wird die Versorgung der zu polierenden Fläche mit Poliermittel weiter verbessert. Vorteilhaft entsteht durch das ausgeschleuderte Poliermrttel ein Unterdrück im Axialkanal 400 wodurch Poliermittel auch ohne eine eigens dafür vorgesehene Pumpe gefördert wird. Der Polierteller 100 wirkt somit gleichsam auch wie eine Radialpumpe.
Fig. 2 zeigt einen Polierteller 101 mit ebenfalls radial verlaufenden Kanälen 501, welche jedoch keinen konstanten, sondern einen sich nach außen hin vergrößernden Querschnitt aufweisen. Auf diese Weise wird das Poliermittel noch besser auf dem Werkstück verteilt, da die radialen Öffnungen im tellerförmigen Bereich größer sind, als die in der Fig. 1 dargestellten Öffnungen. N2011/23000 05/06/2012 09:29
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Fig. 3 zeigt nun einen Polierteller 102 mit spiralförmig nach außen verlaufenden Kanälen 502. Durch die spezielle Formgebung und wegen der sich überlagernden Bewegungen des nach außen hin fließenden Poliermittels und der Drehbewegung des PoEiertellers 102 kann erreicht werden, dass das Poliermittel auch bei Drehung des Poliertellers 102 radial nach außen tritt. In diesem Beispiel weisen die Kanäle 502 konstanten Querschnitt auf. Denkbar ist natürlich auch, dass die Kanäle 502 einen sich nach außen hin vergrößernden Querschnitt aufweisen.
In den gezeigten Beispielen sind acht radial verlaufende Kanäle 500 und 501 und fünf spiralförmige Kanäle 502 vorgesehen. Dies sind natürlich nur illustrative Beispiele. Selbstverständlich kann auch jede andere Anzahl an Kanälen 500..502 gewählt werden.
Fig. 4 zeigt weiterhin einen Polierteller 104, welcher sehr ähnlich zu dem in Fig. dargestellten Polierteller 100 aufgebaut ist. Im Unterschied dazu sind aber mehrere axial verlaufende Kanäle 401 anstatt nur eines einzelnen Kanals 400 vorgesehen. Mit Hilfe einer speziellen Steuerung kann das Poliermittel in den einzelnen Kanälen 401 so gepulst werden (beispielsweise mit mehreren Ventilen oder Pumpen), dass Poliermittel nicht in die Umgebung des Werkstücks geschleudert wird, wenn sich der Polierteller 104 in einem Randbereich des Werkstücks befindet Konkret wird Poliermittel nur durch jene Kanäle 500 (beziehungsweise die zugeordneten Kanäle 401) geleitet welche in einer bestimmten Stellung des Poliertellers 104 auf die zu polierende Fläche weisen. Durch Kanäle 500, weiche in der besagten Stellung in eine Umgebung des Werkstocks weisen, wird dagegen kein Poliermittel geleitet Bei Drehung des Poliermittels 104 werden die einzelnen Kanäle 401 und 500 also entsprechend sequentiell angesteuert.
Fig. 5 zeigt ein Beispiel für einen schematisch dargestellten Polierteller 105 mit einer Vorrichtung zum Befestigen eines Poüertuchs 6 im Querschnitt. Die genannte Befestigungsvonichtung ist dabei durch einen elastischen Körper 700 gebildet weicher in eine zentrale Ausnehmung des Polierteilers 105 eingesetzt ist Der elastische Körper 700 weist einen Halteabschnitt auf, weicher mit einem Halteabschnitt im Polierteller 105 zusammenwirkt. N2011/23000 05/06/2012 09:30
Nr.: R000 P.011/025 25 25 12/25 09:27:49 05-06-2012 • « ««#·*#»»* ♦ • * t · · * · · ♦ • · t ·«···»·*· # • ·· · * · ·*·** · ··· ♦· · · · ·· ·· ♦ · · · · · ee * -8-
Konkret ist der Halteabschnitt im elastischen Körper 700 durch einen Vorsprung, hier einem Bund, und der Halteabschnitt im Polierteller 105 durch eine Vertiefung, hier eine Nut, gebildet, Gleichwertig könnte im elastischen Körper 700 auch eine Nut und im Polierteller 105 ein Vorsprung vorgesehen sein.
Vorzugsweise ist der elastische Körper 700 aus Gummi oder einem Elastomer gefertigt Dadurch kann er leicht in die Vertiefung Im Polierteller 105 gedrückt oder auch wieder aus dieser entfernt werden, fällt aber von alleine nichtheraus.
Insbesondere wenn der elastische Körper 700 aus einem weniger elastischen Werkstoff, beispielsweise aus Kunststoff oder Federstahl, gefertigt wird, so können in dem Körper 700 im Bereich des Halteabschnitts stirnseitig angeordnete und sternförmig verlaufende Nuton vorgesehen sein, sodass eine Vielzahl an Halleabschnitten in Form von einzelnen Haken resultiert.
Wie aus der Fig. 5 leicht ersichtlich ist, wird durch den elastischen Körper 700 ein Poliertuch 6 auf dem tellerförmigen Abschnitt 3 des Poliertellers 105 gehalten. Für die Montage und Demontage weist das Poliertuch 6 eine zentrale Ausnehmung auf, durch die der elastische Körper 700 hindurch geschoben werden kann.
Dadurch, dass das Poliertuch 6 nicht auf der gesamten Fläche des Poliertellers 105 montiert werden muss, so wie dies beispielsweise bei einem Klettverschluss der Fall ist, kann das Poliertuch 8 besonders schnell gewechselt werden. Durch die im Betrieb des PoEierteliers 105 auf das Poliertuch 6 wirkende Zentrifugalkraft wird das im Stillstand des Poliertellers 105 nur lose herunter hängende Poliertuch 6 gerade gezogen und gleichmäßig über den Polierteller 105 gespannt. Auf diese Welse kann das Poliertuch 6 nicht nur besonders schnell gewechselt werden, sondern legt sich automatisch und gleichmäßig über den Polierteller 105, sodass die polierte Fläche besonders genau gefertigt werden kann.
In dem elastischen Körper 700 ist eine optionale axiale Öffnung vorgesehen, durch welche ein über den Kanal 400 zugeführtes Poliermittel auf die zu polierende Fläche treten kann. N2011/23000 05/06/2012 09:30
Nr.: R000 P.012/025 25 09:28:30 05-06-2012 13/25 94 4444944* * 4 9 4 4 9 4 9 9 49 9 4 4 4 944 944 4 4 4 4 4 · 4 4 9 9 449 4 4 9 4 4 4 4 9 4 9 9 44 94 ·94 44 4 449 -9-
Damit der elastische Körper 700 beim Polieren nicht auf dem Werkstück scheuern kann, ist dessen Höhe wie in diesem Beispiel kleiner als die Tiefe der genannten Ausnehmung inklusive der Dicke des Poliertuchs 6. Eine besondere Sicherheit ist in dieser Beziehung gegeben, wenn die Höhe des elastischen Körpers 700 wie in Fig. 5 dargestellt auch kleiner ist als nur die Tiefe der genannten Ausnehmung.
Auf diese Weise scheuert der Körper 700 selbst dann noch nicht am Werkstück, wenn der eigentlich unmögliche Fall angenommen wird, dass das Poliertuch 6 auf die Dicke Null zusammengepresst wird.
Flg. 6 zeigt nun ein weiteres Beispiel für einen Polierteller 106, welcher ähnlich aufgebaut ist, wie der in Flg. 5 dargestellte Polierteller 105. Im Unterschied dazu ist aber der Halteabschnitt im elastischen Körper 701 beziehungsweise im Polier-teller 106 etwas anders ausgeformt. Zudem ist das Poliertuch 6 weiter in die Öffnung im Polierteller 106 hinein, beziehungsweise um den elastischen Körper 701 herum gezogen. Dadurch ergibt sich eine besonders gute Klemmung des Poliertuchs 6.
Fig. 7 zeigt eine weitere Variante eines Poliertellers 107, welcher ähnlich ausgeführt ist wie der in Fig. 5 dargestellte Polierteller 105. Zusätzlich weist der Polieitel-ler 107 aber Kanäle 503 auf, welche beispielsweise so wie in den Figuren 1 bis 3 dargestellt ausgefühlt sein können. Ober radiale Öffnungen im elastischen Körper 702 sind die Kanäle 503 mit dem Axialkanai 400 verbunden. Zusätzlich weist der elastische Körper 702 auch eine optionale axiale Öffnung auf, durch weiche ebenfalls Poliermittel hindurch treten kann. Die im Rahmen der Figuren 1 bis 4 in Bezug auf den Austritt des Poliermittels offenbarte Lehre ist somit uneingeschränkt anwendbar.
Durch die oben genannten Maßnahmen werden die Vorteile mehrerer umfangsseitiger und mit dem Axialkanal verbundener Öffnungen für ein Poiiermittel und einer durch einen elastischen Körper gebildeten Befestigungsvorrichtung für ein Poliertuch kombiniert. Die Vorteile der in den obigen Figuren dargestellten Anordnungen treten an dieser Stelle also besonders, nämlich kombiniert, hervor.
Wie in der Fig. 7 gut zu erkennen ist, weist der elastische Körper 702 eine kleinere axiale Bohrung auf als der in Flg. 5 dargestellte Körper 700. Dies Ist deswegen der 05/06/2012 09:31
Nr.: R000 P.013/025 25 09:29:13 05-06-2012 14/25 25 09:29:13 05-06-2012 14/25 i« ΦΦ ·« ·· · Φ « · · Φ · · Μ • * · Φ Φ·Φ Φ »· · · Φ • Φ · · Φ Φ · · ΦΦ Φ · Φ Φ Φ Φ t · « · · *· Φ · · Φ Ο «· Φ «·» -10-
Fall, um zu verhindern, dass das Poliermittel durch eine zu große axiale Öffnung im elastischen Körper 702 einfach hindurch fällt und nicht oder in einem zu geringen Maße aus den radialen Öffnungen des Poliertellers 107 austritL
Fig. 8 zeigt schließlich eine Variante eines Poliertellers 108, weiche Merkmale des in Fig. 6 dargestellten Poliertellers 106 und des in Fig. 7 dargestellten Poliertellers 107 aufweist, in diesem Beispiel weist der elastische Körper 703 jedoch keine radialen Öffnungen auf, Ober welche die Kanäle 504 mit dem Axialkanal 400 verbunden wären. Stattdessen werden die Kanäle 504 gleichsam um den elastischen Körper 703 herum geführt. Beispielsweise kann eine entsprechende Nut mit einem Fingerfräser aus dem Polierteller 108 heraus gefräst werden.
Die Ausführungsbeispiele zeigen mögliche Ausführungsvarianten eines erfin-dungsgemäßen Poliertellers 100..108, wobei an dieser Steile bemerkt sei, dass die Erfindung nicht auf die speziell dargesteliten Ausfühmngsvarianten desselben eingeschränkt ist, sondern vielmehr auch diverse Kombinationen der einzelnen Ausführungsvarianten untereinander möglich sind und diese Variationsmöglichkeit aufgrund der Lehre zum technischen Handeln durch gegenständliche Erfindung im Können des auf diesem technischen Gebiet tätigen Fachmannes liegt Es sind also auch sämtliche denkbaren Ausfühmngsvarianten, die durch Kombinationen einzelner Details der dargestellten und beschriebenen Ausführungsvariante mög-Kch sind, vom Schutzumfang mit umfasst.
Insbesondere wird festgehalten, dass ein Polierteller 100..108 in der Realität auch mehr Bestandteile als dargestellt umfassen kann.
Der Ordnung halber sei abschließend darauf hingewiesen, dass zum besseren Verständnis des Aufbaus des Poliertellers 100..108 dieser bzw. dessen Bestandteile teilweise unmaßstäblich und/oder vergrößert und/oder verkleinert dargestellt wurden.
Die den eigenständigen erfinderischen Lösungen zugrundeliegende Aufgabe kann der Beschießung entnommen werden. N2011/23000 05/06/2012 09:32
Nr.: R000 P.014/025 25 09:31:22 05-06-2012 18/25 • · • t « • { * • ft · • * · t I · *·· M « *t · ψ · «
Bezugszeichenaufstellung 100..108 Polierteller 2 schaftförmiger Bereich 3 tellerförmiger Bereich 400..401 Axialkanal 500..504 Radialkanal 6 Poliertuch 700.703 elastischer Körper N2Q11/23000 05/06/2012 09:33
Nr. : R000 P.018/025
Claims (13)
- 25 25 15/25 09:29:53 05-06-2012 «· 4 · *··» · 4 4 • •••4 6 · * 4 · · · 4 4 · ··»· · 4 4 4 4 · · · I · ·· 44 ·♦· 44 4 444 -1 - Patentansprüche 1. Poliertelfer (100..108} mit zumindest einem in axialer Richtung verlaufenden Kanal (400,401) zur Führung eines Poliermittels, gekennzeichnet durch zumindest eine umfangsseitige Öffnung, welche mit dem zumindest einen axial verlaufenden Kanal (400,401) verbunden ist
- 2. Polierteller (100..108) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der zumindest eine in axialer Richtung verlaufende Kanal (400,401) mit der zumindest einen umfangsseitige Öffnung durch einen radial verlaufenden Kanal (500,501,503,505) verbunden ist.
- 3. Polierteller (100..108) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der zumindest eine in axialer Richtung verlaufende Kanal (400,401) mit der zumindest einen umfangsseitige Öffnung durch einen spiralförmig verlaufenden Kanal (502, 503,505) verbunden ist.
- 4. Polierteller (100..108) nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass der radial oder spiralförmig verlaufende Kanal (500..505) konstanten Querschnitt aufweist.
- 5. Polierteller (100..108) nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass der radial oder spiralförmig verlaufende Kanal (500..505) einen sich nach außen hin vergrößernden Querschnitt aufweist.
- 6. Poliertelfer (100..108) nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der radial oder spiralförmig verlaufende Kanal (500..505) durch eine zur Polierseite des Poliertellers (100..108) offene Nut gebildet ist. N2011/23000 05/06/2012 09:32 Nr.: R000 P.015/025 25 25 16/25 09:30:26 05-06-2012 ·« ·· »··· «· · · ♦ « ♦ · · « · ·· « · ♦ · ·«» ««* · * ♦ f φ · » · t ft ···· · »·*♦ * ♦ ♦ * · «* #· ··· ** · ··· -2-
- 7. Polierteller (100..108) nach einem der vorgehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Vorrichtung zum Befestigen eines Poliertuchs (6), wobei die genannte Befesügungsvorrichtung durch einen elastischen Körper (700..703) gebildet ist, weicher in eine zentrale Ausnehmung des Poliertellers (100..108) eingesetzt ist, und wob» der elastische Körper (700..703) wenigstens einen Halteabschnitt umfasst, welcher mit wenigstens einem Halteabschnitt im Polierteller (100..108) zusammenwirkt.
- 8. Polierteller (100..108) nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der wenigstens eine Halteabschnitt im elastischen Körper (700..703) durch einen Vorsprung und der wenigstens eine Halteabschnitt im Polierteller (100..108) durch eine Vertiefung gebildet sind oder umgekehrt
- 9. Polierteller (100..108) nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass der elastische Körper (700..703) aus Gummi odereinem Elastomer gefertigt ist
- 10. Polierteller (100..108) nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der elastische Körper (700..703) wenigstens eine axiale Öffnung zur Führung eines Poliermittels aufweist
- 11. Polierteller (100..108) nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet dass der elastische Körper (700..703) wenigstens eine radiale Öffnung zur Führung eines Poliermittels aufweist.
- 12. Polierteller (100..108) nach einem der Ansprüche 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet dass eine Höhe des elastischen Körpers (700..703) kleiner ist als die Tiefe der genannten Ausnehmung inklusive der Dicke des Poliertuchs (6). N2011/23000 05/06/2012 09:33 Nr.: R000 P.016/025 25 09:31:01 05-06-2012 17/25 4 4 4 4 ·Φ«* 44 4 * • t · # · · · 4« 4 4 * * ··* 4*4 * 4 * 4 44 4 44 44*44 4 444* 4#4 4 * 44 4* 444 44 4 4*4 -3-
- 13. Polierteiler (100..108) nach einem der Ansprüche 7 bis 12, dadurch gekennzeichnet dass eine Höhe des elastischen Körpers (700..703) kleiner ist als die Tiefe der genannten Ausnehmung. Bemdorf Band GmbH durch Anwälte Burger & Partner Rechtsanwalt GmbH N2011/23000 05/06/2012 09:33 Nr.: R000 P.017/025
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
AT6452012A AT512576A1 (de) | 2012-06-05 | 2012-06-05 | Polierteller mit Poliermittelzuführung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
AT6452012A AT512576A1 (de) | 2012-06-05 | 2012-06-05 | Polierteller mit Poliermittelzuführung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
AT512576A1 true AT512576A1 (de) | 2013-09-15 |
Family
ID=49111630
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
AT6452012A AT512576A1 (de) | 2012-06-05 | 2012-06-05 | Polierteller mit Poliermittelzuführung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
AT (1) | AT512576A1 (de) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2757491A (en) * | 1953-01-16 | 1956-08-07 | Pittsburgh Plate Glass Co | Plastic polishing runner |
DE1427474A1 (de) * | 1961-11-09 | 1969-09-04 | Corning Glass Works | Verfahren und Vorrichtung zum Glaetten von Glasoberflaechen |
US5582540A (en) * | 1996-01-22 | 1996-12-10 | National Science Council Of R.O.C | Hydrostatic and hydrodynamic polishing tool |
-
2012
- 2012-06-05 AT AT6452012A patent/AT512576A1/de not_active Application Discontinuation
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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