AT512313A3 - Vorrichtung zur Herstellung von Halbleitern sowie Verfahren zum Steuern derselben - Google Patents

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Abstract

Es sind eine Halbleiter Herstellungsvorrichtung und ein Verfahren zum Steuern von dieser zum Befestigen von Halbleiterchips an korrekten Positionen auf einem Substrat offenbart. Die Halbleiter Herstellungsvorrichtung kann einen Vorbereitungsbereich zum Erzeugen von Positionsinformationen eines Substrats, einen Betriebsbereich zum Anbringen von Halbleiterchips auf dem vom Vorbereitungsbereich zugeführten Substrat auf der Grundlage der im Vorbereitungsbereich erzeugten Positionsinformationen und eine Transportvorrichtung zum Transportieren des Substrats vom Vorbereitungsbereich zum Betriebsbereich aufweisen.
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