AT507303B1 - Sensor zum messen mechanischer spannungen - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft einen Sensor (2) zum Messen einer auf ihn einwirkenden mechanischen Spannung.Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass der Sensor ein schwingendes, magnetostriktives Resonatorplättchen (3), aufweist und dass die zu messende Spannung indirekt über ein veränderliches Magnetfeld auf das Resonatorplättchen (3) wirkt.Bevorzugt wird das veränderliche Magnetfeld mittels eines Biasplättchens (5) aus magnetostriktivem Material, oder zumindest eines Permanentmagneten (15) als Folge der darauf vom zu vermessenden Körper (7) wirkenden mechanischen Spannungen geschaffen.
Description
österreichisches Patentamt AT507 303B1 2010-04-15
Beschreibung
SENSOR ZUM MESSEN MECHANISCHER SPANNUNGEN
[0001] Die Erfindung betrifft das Messen mechanischer Spannungen und Drucke und insbesondere eine dafür geeignete Vorrichtung entsprechend dem einleitenden Teil des Anspruches 1.
[0002] Ein derartiger Sensor ist aus der SE 9 501 500 A zur Messung einer Kraft, die auf eine Platte wirkt, bekannt. Dabei drückt die Platte auf den Kern einer elektrischen Spule, der ein magnetorestriktives Material aufweist oder zumindest teilweise aus ihm besteht. Durch die Änderung der Geometrie zufolge der Kraft ändern sich die magnetischen Eigenschaften des Kerns, was über die Spule und eine Auswertungselektronik gemessen wird. Daraus kann auf die Kraft rückgeschlossen werden.
[0003] Andere Sensoren mit magnetorestriktivem Material sind aus der WO 2004/070408 A, der JP 2005338031 A, der JP 8293012 A und der US 2002166382 A bekannt.
[0004] Die Messung von mechanischen Spannungen ist für eine Vielzahl von Anwendungen von Bedeutung Gebäude, Brücken, Strassen, Werkstoffe, etc. Dehnmessstreifen DMS sind die Standardtechnik, um mechanische Spannungen zu messen. Der Dehnmessstreifen wird auf das zu untersuchende Objekt aufgebracht z.B. verklebt. Das Messsignal ist der Widerstand des DMS, der bestimmt werden kann, wenn an den DMS eine elektrische Spannung angelegt wird. Dafür muss der DMS verkabelt werden. Das Gleiche gilt für piezoelektrische Sensoren.
[0005] Es ist nun bei vielen Anwendungen nicht möglich, die Kabel dauerhaft angeschlossen zu lassen, beispielsweise in Gebäuden, die der Öffentlichkeit zugänglich sind oder in denen Arbeiten durchgeführt werden, und so besteht ein Bedarf an Sensoren zum Messen mechanischer Spannungen, deren Messgröße „berührungsfrei" abgelesen werden kann und die weder während des Betriebes noch zum Ablesen bzw. Auslesen der Messwerte eine Energieversorgung im klassischen Sinn benötigen.
[0006] Die Erfindung hat die Aufgabe, dieses Problem zu lösen und schlägt dazu die aus dem kennzeichnenden Teil des Anspruches 1 ersichtlichen Markmale vor.
[0007] Die Erfindung verwendet somit ein schwingendes magnetostriktives Plättchen, dessen Resonanzfrequenz von einer äußeren mechanischen Spannung abhängt. Die mechanische Spannung wird erfindungsgemäß nicht mechanisch auf das magnetostriktive Plättchen übertragen, sondern indirekt, über ein veränderliches magnetisches Feld. Die Umwandlung der mechanischen Spannung in ein derartiges Magnetfeld kann beispielsweise durch einen weiteren magnetostriktiven Körper realisiert werden, der auf den zu vermessenden Körper aufgebracht wird und dessen erzeugtes Magnetfeld von der mechanischen Spannung abhängt. Eine andere Möglichkeit ist es einen oder mehrere Permanentmagnete zu verwenden, die durch die Positionsverschiebung zufolge der mechanischen Spannung eine Magnetfeldänderung verursachen.
[0008] Magnetostriktive Plättchen an sich werden in der Diebstahls-Sicherungstechnologie, siehe Herzer, 2001, in Bibliotheken oder in Kaufhäusern verwendet. Magnetostriktive Plättchen wurden bereits zur Bestimmung von Temperatur, Druck nämlich Druck in Fluiden und zur Verwendung für biologische und chemische Sensoren vorgeschlagen, siehe Grimes 1999 und Zeng 2007. Beim Messen von Fluiddrucken macht man sich die Änderungen der Schwingungseigenschaften eines frei aufgehängten Plättchens bei geändertem Fluiddruck zu Nutze; bei den biologischen bzw. chemischen Messungen wird das Plättchen passend beschichtet und in die Reagenzien eingetaucht. Kommt es zu einer Reaktion, ändert sich die Masse und damit das Schwingungsverhalten des Plättchens.
[0009] Die Erfindung schlägt vor, drahtlose Sensoren auf der Basis magnetostriktiver Plättchen für die Messung mechanischer Spannungen zu verwenden. Der Sensor ist ein passives Element, das weder eine eigene Energieversorgung noch sonstige elektronische Elemente benötigt. Die wesentlichsten Bestandteile des Sensors in der ersten Ausgestaltung sind: 1/13 österreichisches Patentamt AT507 303B1 2010-04-15 [0010] (i) Ein magnetisches Plättchen (Resonatorplättchen), dessen Resonanzfrequenz von dem angelegten Magnetfeld abhängt; [0011] (ii) Ein magnetisches Plättchen (Biasplättchen), dessen Magnetisierung und in Folge das erzeugte Streufeld von der anliegenden mechanischen Spannung abhängt, und [0012] (iii) Ein permanentmagnetisches Plättchen (Permanentmagnet) um den Arbeitspunkt des Sensors einzustellen.
[0013] Das Resonatorplättchen besteht aus einem magnetostriktiven Material, das in einer Schutzhülle so eingebracht ist, dass das Plättchen mechanisch frei schwingen kann. Ein magnetostriktives Element ändert seine geometrische Ausdehnung als Funktion des angelegten Magnetfeldes. Somit kann durch einen magnetischen Feldpuls das Plättchen gedehnt werden. Der Feldpuls kann beispielsweise mit einer Sendespule, die in die Nähe des Resonatorplättchens gehalten wird, erzeugt werden. Nach Abschalten des Feldes schwingt das ausgedehnte Sensorelement zurück. Die Schwingungsfrequenz bzw. Resonanzfrequenz ist für den magnetischen Sensor charakteristisch und hängt von dem angelegten Magnetfeld ab. Das mechanisch schwingende Resonatorplättchen sendet, wieder auf Grund des Effekts der Magnetostriktion, ein magnetisches Wechselfeld aus. Dieses Magnetfeld kann mit einem Magnetfeldsensor z.B. eine Spule berührungsfrei detektiert werden. Das Signal des Sensors kann noch 1-2 m entfernt vom Magnetfeldsensor empfangen werden.
[0014] Das Biasplättchen besteht aus einem magnetostriktiven Material, das auf den Körper, dessen Spannungen gemessen werden sollen, aufgebracht, z.B. verklebt, wird. Wird der Körper verformt, ändert sich damit zwangsweise die Länge des Biasplättchens, was eine Änderung der Magnetisierung und in Folge eine Änderung des magnetischen Streufeldes nach sich zieht. Konsequenterweise ändert sich dadurch die Resonanzfrequenz des Resonatorplättchens. Aus der Änderung der Resonanzfrequenz kann somit auf die mechanische Spannung des Biasplättchens geschlossen werden.
[0015] Der Permanentmagnet wird benötigt, um den Arbeitspunkt des Sensors einzustellen. Trotz dieser praktischen Bedeutung ist er für das der Erfindung zugrundeliegende Konzept nicht so wichtig. Sowohl das Resonatorplättchen als auch das Biasplättchen benötigen ein gewisses äußeres Feld, um die gewünschte Funktionalität zu zeigen. Durch die Anordnung von mehreren Sensoren lässt sich der Einfluss des Erdmagnetfeldes auf das Signal kompensieren.
[0016] In einer zweiten Ausgestaltung wird statt des Biasplättchens ein Permanentmagnet verwendet, der beispielsweise mehrere Magnetelemente in einer elastischen Kunststoffmatrix aufweist; auch er wird auf den Körper, dessen Spannungen gemessen werden sollen, aufgebracht, z.B. verklebt. Durch die mechanischen Spannungen ändert sich die Lage der magnetischen Elemente zueinander und damit das auf das Resonatorplättchen wirkende Magnetfeld, somit wiederum dessen Resonanzfrequenz.
[0017] Statt eines solchen Magneten können auch zwei diskrete Permanentmagneten, die in gewissem Abstand voneinander am Körper befestigt sind, verwendet werden. Durch die mechanischen Spannungen ändert sich der Abstand der beiden Magneten voneinander und damit deren Magnetfeld.
[0018] Somit sind die erfindungsgemäßen Sensoren für drahtlose Spannungsmessungen geeignet und insbesondere dort einsetzbar, wo eine Verkabelung nur mit hohem Aufwand und/oder mit Einschränkungen in der Anwendung durchführbar ist.
[0019] Zu den Bauteilen kann im Einzelnen ausgeführt werden:
RESONATORPLÄTTCHEN
[0020] Magnetostriktives Material. Kann z.B. ein amorphes Plättchen sein. Legierungen die Fe, Co, Ni, Tb, Cu, Dy, Pd, B, P, C bzw. Gd enthalten sind brauchbar. Es kann auch ein nanokristal-lines Plättchen sein mit Korngrößen zwischen 1nm und 1 Mikrometer und Tb, Dy, Fe, Co, Ni, B, P, C, Gd, Si, B, Nb bzw. Mo enthalten. 2/13 österreichisches Patentamt AT507 303B1 2010-04-15
PERMANENTMAGNET
[0021] Ist ein Permanentmagnet und dient zum Einstellen des Arbeitspunktes. Brauchbar sind beispielsweise Alnico Magnete, Legierungen auf der Basis von Fe-Oxid, Barium/Strontium-Carbonate, Ticonal, Verbindungen, die Sm, Ni, Co, Nd, Fe bzw. B enthalten.
BIASPLÄTTCHEN
[0022] Ist ein Magnet, dessen Magnetisierung und in Folge dessen Streufeld von der mechanischen Spannung abhängt; beruht auf der Ausnutzung des inversen magnetoelastischen Effekts, des Villari Effekts. Es kann beispielsweise ein magnetostriktives Plättchen sein oder ein Permanentmagnet, dessen Streufeld abnimmt, wenn er gedehnt wird, verwendet werden. In eine nichtmagnetische Matrix z.B. aus diversen Kunststoffen, Vinyl, Elastomere, etc. eingebettete magnetische Materialien, wie z.B. Permanentmagnete, magnetostriktive Materialien sind ebenfalls möglich.
[0023] Die Bezeichnung „Plättchen" wird wegen der naheliegenden Form dieser Bauteile verwendet, ohne dass es notwendig wäre, diese wirklich so auszubilden. Zum Aufbau des Sensors ist noch zu sagen, dass es sich erst durch die Ausnutzung des Magnetfeldes des Biasplättchens bzw. der Permanentmagneten als möglich erwiesen hat, das Resonatorplättchen passend zu beeinflussen. Alle Versuche einer direkten Übertragung der mechanischen Spannungen, zum Beispiel durch Einklemmen, erwiesen sich als ungeeignet. Dies bring auch mit sich, dass das Resonatorplättchen möglichst „frei" bzw. „lose" im Sensor angeordnet sein soll, also nicht aufgeklebt, verschweißt, etc., sondern sanft gehalten, z.B. durch eine Schichte aus Schaumgummi od. dgl.
[0024] Die Erfindung wird im Folgenden anhand der Zeichnung näher erläutert. Dabei zeigt, bzw. zeigen, ganz schematisch: [0025] die Fig. 1 einen erfindungsgemäßen Sensor, [0026] die Fig. 2 ein Detail einer Variante, [0027] die Fig. 3 eine andere Darstellung des Sensors der Fig. 2, [0028] die Fig. 4, rein schematisch, die Arbeitsweise, [0029] die Fig. 5 mögliche Anregungen, [0030] die Fig. 6 den Zusammenhang zwischen Dehnung und Resonanzfrequenz und [0031] die Fig. 7 eine Ausgestaltung des Sensors.
[0032] Die Fig. 1 zeigt: In einem Gehäuse bzw. einer Schutzhülle 11 sind ein Permanentmagnet 1, der ein statisches Magnetfeld erzeugt und für die Einstellung des Arbeitspunktes des Sensors 2 notwenig ist; ein Resonatorplättchen 3, das im dargestellten Ausführungsbeispiel ein magnetostriktives Plättchen ist, dessen Resonanzfrequenz von den Umgebungsbedingungen, wie beispielsweise Temperatur, Druck und externe Magnetfelder abhängt; und ein Biasplättchen 5, z.B. ein magnetostriktives Plättchen, dessen Magnetisierung von der ihm aufgeprägten mechanischen Spannung abhängt, die, z.B. durch Aufkleben am zu untersuchenden Körper 7, auf das Biasplättchen 5 übertragen wird, untergebracht. Die Verbindung zwischen den einzelnen Teilen ist nicht näher dargestellt, es soll das Biasplättchen 5 möglichst fest mit dem Körper 7 verbunden sein, um die mechanischen Belastungen mitzumachen, und es soll das Resonatorplättchen möglichst lose angeordnet sein, um in seiner Deformation durch das Magnetfeld nicht behindert zu werden.
[0033] Statt eines magnetorestriktiven Plättchens können (Fig. 4) z.B. auch zwei Permanentmagnete 15 verwendet werden, die durch die zu messende Spannung des Körpers 7 (bzw. die daraus resultierende Kraft) in ihrer relativen Lage zueinander verändert werden, wodurch sich ihr Streufeld ändert.
[0034] Die jeweilige tatsächliche Anordnung der verschiedenen Plättchen kann von der in der 3/13 österreichisches Patentamt AT507 303B1 2010-04-15
Fig. 1 bzw. Fig. 4 gezeigten abweichen. So können z.B. die Plättchen 1 und 3 vertauscht werden. Die Schutzhülle 11, in die der Sensor 2 eingebettet ist, kann aus den unterschiedlichsten Materialien bestehen, solange weder die magnetischen noch die elektrischen Schwingungen verfälscht oder merklich gedämpft werden. Kunststoffe wie Thermoplaste, Duroplaste, Elastomere sind besonders bevorzugt. Bei Hochtemperaturanwendungen können feuerfeste Keramiken wie Verbindungen von Silicat-Rohstoffen, Verbindungen auf der Basis von Magnesit, Si-Oxide, Aluminiumoxid, Siliciumcarbid, Bornitrid, Zirkonoxid, Siliziumnitrid, Aluminiumnitrid, Wolframcarbid und Aluminiumtitanat verwendet werden.
[0035] Die Fig. 2 zeigt, rein schematisch, die Möglichkeit, dass bei Verwendung mehrerer magnetischer Sensoren 2, gezeigt sind zwei derartige Sensoren, störende Einflüsse von z.B. von äußeren Magnetfeldern (Erdmagnetfeld) und der Temperatur kompensiert werden können. Fig. 2. zeigt in der Aufsicht zwei Sensoren mit Permanentmagneten, deren mittlere Magnetisierung zumindest im Wesentlichen antiparallel verläuft, was durch die Pfeile Μ, M' angedeutet ist. Somit erhöht in einem Sensorelement das Erdmagnetfeld die Resonanzfrequenz, während es im anderen Sensorelement die Resonanzfrequenz erniedrigt. Um die Sensoren unterscheiden zu können, können Resonatorplättchen mit unterschiedlichen Eigenresonanzen verwendet werden. Realisiert kann dies z.B. durch unterschiedliche Länge, unterschiedliche Masse, unterschiedlichen E-Modul, unterschiedliches Bias Feld etc. werden.
[0036] Die Fig. 3 zeigt eine ähnliche Ausführungsform wie die Fig. 2, jedoch mit einer anderen Anordnung der einzelnen Bauteile wie magnetostriktive Plättchen 5, Permanentmagneten 1 und Resonatorplättchen 3.
[0037] Bei der Darstellung gemäß der Fig. 4 wird das veränderliche Streufeld von zwei Permanentmagneten 5 erzeugt. Wird der Messkörper 7 gedehnt, wird der Abstand zwischen den Permanentmagneten 5 erhöht. Optional kann ein zusätzlicher Permanentmagnet 1 verwendet werden, um den Arbeitspunkt einzustellen. Das Resonatorplättchen 3 ist mittig angeordnet.
[0038] Die Fig. 5 zeigt einige mögliche Anregungen des Sensors und die Signaldetektion. Die Anregung kann über Spulen 10 erfolgen, die magnetische Felder erzeugen z.B. Wechselfelder nahe der Resonanzfrequenz, oder statische Felder, die abgeschaltet werden. Die Anregungsspule kann einen magnetischen Kern besitzen, einen Ferritkern, einen weichmagnetischen, ferromagnetischen Kern, etc.. Es können aber auch alle andere Antennen 40, die Frequenzen zwischen 5 kHz und 900 kHz liefern, verwendet werden.
[0039] Die Detektion kann über die Anregungsspule 30 oder eine separate Empfangsspule 20 erfolgen. Die Detektion kann auch über Hallsensoren, GMR Sensoren, TMR Sensoren, Fluxga-te Sensoren oder Ferritantennen 50 erfolgen.
[0040] Die Fig. 6 zeigt einen Graph, der die Abhängigkeit der Resonanzfrequenz (in Hz) eines Prototyps des Sensors als Funktion der Dehnung ε (in mm/m) Körpers angibt. Die Länge des Sensors des Prototyps beträgt ca. 50 mm. Deutlich erkennt man den besonders gut brauchbaren Bereich bis zu einer Dehnung von etwa 0,5 mm/m, auf den ein nahezu „gesättigter" Abschnitt folgt. Durch entsprechenden Aufbau des Sensors kann man Dehnungen des Messobjektes in diesem Bereich entsprechend reduziert auf den Sensor übertragen und so besser messbar machen.
[0041] Die Fig. 7 zeigt einen Spannungs- und Drucksensor ähnlich dem der Fig. 1. Es ist aber ein zusätzliches Zwischenmaterial 6 auf das Biasplättchen 5 aufgebracht. Das zusätzliche Material kann ein Kunststoffsein, oder ein anderes Material mit hoher Elastizität, z.B. Elastomere oder Thermoplaste. Dieses Material hat die Aufgabe, Spannungen zufolge einer Kraft F1 und Dehnungen vom zu untersuchenden Körper 7 auf das Biasplättchen 5 übertragen. Es können bei geeigneter Wahl der Dicke und der Elastizität (Dicken von 1 Mikrometer bis 1 cm; E-Modul zwischen 0,001 GPa und 200 GPa) des Zwischenmaterials 6 Dehnungen, die auf das Biasplättchen 5 durch den Körper 7 übertragen werden, reduziert werden, was zu einem Einsatzbereich des Sensors für große Dehnungen führt. Es kann dadurch der Sensor so belastet werden, dass sein Arbeitsgebiet im messtechnisch günstigen, ansteigenden Teil des Graphen der Fig. 6 liegt. 4/13
Claims (10)
- österreichisches Patentamt AT507 303 B1 2010-04-15 [0042] Weiters kann der Sensor entsprechend der Fig. 7 auch für Druckspannungen zufolge einer Kraft entsprechend des Pfeiles F1 eingesetzt werden. Der Druck F1 quetscht das Zwischenmaterial 6 in Richtung der beiden Pfeile entsprechend F2 auseinander, wobei das Biasplättchen 5 gedehnt wird. Somit kann wieder eine Änderung der Resonanzfrequenz des Resonatorplättchens 3 durch Kräfte entsprechend dem Pfeil F1 gemessen werden. [0043] In der Beschreibung und den Ansprüchen wird wegen der leichteren Lesbarkeit zumeist nur von „Spannung(en)" gesprochen, darunter sind aber stets auch "Druck(e)" zu subsumieren, wie ja in der Mechanik und Dynamik fester Körper Druck eine Spannung mit negativem Vorzeichen ist. [0044] Es können mit den erfindungsgemäßen Vorrichtungen mechanische Spannungen gemessen werden, die eigentliche „Urmessgröße", ist aber die Resonanzfrequenz des Biasplättchens, die durch dessen sich ändernde Geometrie bestimmt wird, von der man schlussendlich zur Spannung bzw. durch Kenntnis der Geometrie des Sensors zu der eigentlich auf ihn wirkenden Kraft kommt. In Kenntnis der jeweiligen geometrischen, mechanischen und magnetischen Verhältnisse und der anwendbaren Kurve analog zu Fig. 6 kann von der Resonanzfrequenz direkt auf die jeweils gewünschte Größe geschlossen werden. [0045] Die Erfindung ist nicht auf die dargestellten und beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt, sondern kann verschiedentlich abgewandelt werden. Wesentlich ist, dass der Sensor ohne eigene Energieversorgung auskommt und die für den Messvorgang nötige Energie ebenso wie das Messergebnis, so wie oben beschrieben, berührungslos übertragen wird. [0046] Es sind auch unterschiedliche Kombinationen der gezeigten und beschriebenen Elemente möglich und es können in Zukunft selbstverständlich auch neue Materialien, die die angeführten Eigenschaften besitzen, verwendet werden, auch wenn unter Umständen deren Benennung nicht mit der derzeit üblichen überemstimmt. Der Grund für diese explizite Feststellung ist, dass sich gerade die Materialwissenschaften in rascher Entwicklung befinden und daraus keine Einschränkung des Schutzes abgeleitet werden soll. ALS LITERATUR ZUM STAND DER TECHNIK SEI GENANNT: 1. K. Zeng, C. Grünes, „Wireless Magnetoelastic Physical, Chemical, and Biological Sensors", IEEE Trans. Magn. 43 2007 2358. 2. G. Herzer, Der große Lauschangriff auf Ladendiebe, Physicalische Blätter, 57 2001 43.
- 2. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das veränderliche Magnetfeld des Biasplättchens (5) bzw. des zumindest einen Permanentmagneten (15) am Ort des Resonatorplättchens (3) wirkt.
- 3. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Änderung des Magnetfelds durch eine Änderung der Sättigung der Magnetisierung des zumindest einen Permanentmagneten (15) bewirkt wird. 5/13 österreichisches Patentamt AT507 303B1 2010-04-153. CA Grimes, K G Ong, K Loiselle, P G Stoyanov, D Kouzoudis, Y Liu, C Tong and F Tefiku, Magnetoelastic sensors for remote query environmental monitoring, Smart Mater. Struct. 8 1999 639-646. Patentansprüche 1. Sensor (2) zum Messen einer auf ihn einwirkenden mechanischen Spannung, dadurch gekennzeichnet, dass die zu messende mechanische Spannung unter Ausnutzung des inversen magnetoelastischen Effekts, des Villari Effekts mittels eines Biasplättchens (5) oder zumindest eines Permanentmagneten (15) in ein veränderliches Magnetfeld umgewandelt wird, und dass er ein schwingendes, magnetostriktives Resonatorplättchen (3), aufweist, auf das das veränderliche Magnetfeld wirkt.
- 4. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Änderung des Magnetfelds durch eine Änderung der relativen Position von zumindest zwei Permanentmagneten (15) zueinander erzeugt wird.
- 5. Sensor nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass er einen Permanentmagneten (1) aufweist, durch den der Arbeitspunkt des Sensors bestimmt wird.
- 6. Sensor nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Resonatorplättchen (3) lose im Gehäuse des Sensors angeordnet ist.
- 7. Sensor nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Biasplättchen (5) bzw. der zumindest eine Permanentmagnet (15) fest mit dem Körper (7), dessen mechanische Spannungen gemessen werden sollen, verbunden ist.
- 8. Sensor nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Biasplättchen (5) bzw. der zumindest eine Permanentmagnet (15) über ein Zwischenmaterial (6) fest mit dem Körper (7), dessen mechanische Spannungen gemessen werden sollen, verbunden ist.
- 9. Sensor (2) nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein zweiter, im Wesentlichen gleicher Sensor (2') in seiner Nähe, bevorzugt innerhalb einer gemeinsamen Umhüllung (11), angeordnet ist, dessen Permanentmagnet (V) eine mittlere Magnetisierung (M1) aufweist, die zumindest im Wesentlichen antiparallel zur mittleren Magnetisierung (M) des Permanentmagneten (1) des ersten Sensors verläuft.
- 10. Sensorpaar nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass, um die Sensoren (2, 2') unterscheiden zu können, Resonatorplättchen (3, 3') mit unterschiedlichen Eigenresonanzen verwendet werden, z.B. durch unterschiedliche Länge, unterschiedliche Masse, unterschiedlichen E-Modul, unterschiedliches Bias Feld. Hierzu 7 Blatt Zeichnungen 6/13
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