AT304716B - Verfahren zur automatischen Regelung einer thermischen Elektronenstrahlanlage und Einrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens - Google Patents
Verfahren zur automatischen Regelung einer thermischen Elektronenstrahlanlage und Einrichtung zur Durchführung dieses VerfahrensInfo
- Publication number
- AT304716B AT304716B AT550769A AT550769A AT304716B AT 304716 B AT304716 B AT 304716B AT 550769 A AT550769 A AT 550769A AT 550769 A AT550769 A AT 550769A AT 304716 B AT304716 B AT 304716B
- Authority
- AT
- Austria
- Prior art keywords
- carrying
- electron beam
- automatic control
- beam system
- thermal electron
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D23/00—Control of temperature
- G05D23/19—Control of temperature characterised by the use of electric means
- G05D23/27—Control of temperature characterised by the use of electric means with sensing element responsive to radiation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1247754A SU469163A1 (ru) | 1968-06-10 | 1968-06-10 | Электронно-лучева термическа установка |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| AT304716B true AT304716B (de) | 1973-01-25 |
Family
ID=20442679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| AT550769A AT304716B (de) | 1968-06-10 | 1969-06-10 | Verfahren zur automatischen Regelung einer thermischen Elektronenstrahlanlage und Einrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| AT (1) | AT304716B (de) |
| BE (1) | BE734363A (de) |
| CS (1) | CS162029B1 (de) |
| FR (1) | FR2010604A1 (de) |
| GB (1) | GB1263532A (de) |
| SE (1) | SE360539B (de) |
| SU (1) | SU469163A1 (de) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100263590A1 (en) * | 2008-12-01 | 2010-10-21 | United Technologies Corporation | Vapor Deposition Electron Beam Current Control |
-
1968
- 1968-06-10 SU SU1247754A patent/SU469163A1/ru active
-
1969
- 1969-06-09 SE SE818069A patent/SE360539B/xx unknown
- 1969-06-10 FR FR6919174A patent/FR2010604A1/fr not_active Withdrawn
- 1969-06-10 GB GB2931769A patent/GB1263532A/en not_active Expired
- 1969-06-10 AT AT550769A patent/AT304716B/de not_active IP Right Cessation
- 1969-06-10 BE BE734363D patent/BE734363A/xx unknown
- 1969-06-10 CS CS408969A patent/CS162029B1/cs unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2010604A1 (de) | 1970-02-20 |
| DE1929446A1 (de) | 1970-01-02 |
| CS162029B1 (de) | 1975-07-15 |
| BE734363A (de) | 1969-12-10 |
| SE360539B (de) | 1973-09-24 |
| GB1263532A (en) | 1972-02-09 |
| DE1929446B2 (de) | 1972-07-27 |
| SU469163A1 (ru) | 1975-04-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CH517854A (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Fadenkontrolle an Garnzubringen | |
| CH508322A (de) | Verfahren zur Herstellung einer Abbildung sowie Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
| CH405517A (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Regelung einer Reaktoranlage | |
| CH550260A (de) | Verfahren und vorrichtung zur automatischen steuerung einer spinnoperation mittels einer rechenanlage. | |
| CH433065A (de) | Verfahren und Einrichtung zur Fernmessung mit Hilfe modulierter Lichtbündel | |
| AT267180B (de) | Verfahren zur Herstellung einer wärmestabilen Zusammensetzung | |
| AT316167B (de) | Verfahren und Vorrichtung zur automatischen Fokussierung von Mikroskopen | |
| CH519814A (de) | Verfahren zur Steuerung einer Übertragungsanlage für hochgespannten Gleichstrom | |
| CH462288A (de) | Verfahren zur Regelung einer Anlage | |
| AT293564B (de) | Einrichtung zur automatischen Regelung des Betriebszustandes einer elektrothermischen Anlage | |
| CH422983A (de) | Verfahren und Anordnung zur Helligkeitsregelung einer Kathodenstrahlröhre | |
| CH489945A (de) | Verfahren zur Steuerung einer Stromrichteranordnung | |
| AT296479B (de) | Verfahren zur Isomerisierung aliphatischer Kohlenwasserstoffe | |
| CH479031A (de) | Verfahren zur Herstellung einer Flächenheizung oder -kühlung und vorfabriziertes Element zur Durchführung dieses Verfahrens | |
| AT304716B (de) | Verfahren zur automatischen Regelung einer thermischen Elektronenstrahlanlage und Einrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens | |
| CH459181A (de) | Verfahren zur Herstellung von Hydroxyalkylestern a,B-ungesättigter Carbonsäuren | |
| AT305833B (de) | Verfahren zur Herstellung einer Mineralwollbahn und Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens | |
| CH407187A (de) | Verfahren zur Regelung einer Kühlanlage und kühlanlage zur Durchführung des Verfahrens | |
| AT287133B (de) | Verfahren zur automatischen Steuerung des elektrischen Betriebszustands einer thermischen Elektronenstrahlanlage und Einrichtung zur Realisierung dieses Verfahrens | |
| CH411011A (de) | Verfahren und Einrichtung zur Regelung einer Kondensationsanlage | |
| CH531210A (de) | Schaltungsanordnung zur adaptiven Regelung einer Regelstrecke | |
| AT315741B (de) | Vorrichtung zur Mitnahme einer selbstfahrenden Last | |
| CH467145A (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Balghülle | |
| AT279460B (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Vorfabrikation einer Reihe von Bauelementen | |
| CH470023A (de) | Verfahren zur Steuerung einer Kettenschaltung |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| ELJ | Ceased due to non-payment of the annual fee |