AT227797B - Einrichtung zum Einstellen und Verändern der Raumlage von in einer Behandlungskammer zu behandelnden Gegenständen - Google Patents

Einrichtung zum Einstellen und Verändern der Raumlage von in einer Behandlungskammer zu behandelnden Gegenständen

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Siegfried Dipl Ing Buesch
Rudolf Dr Hatschek
Franz Dr Pischinger
Hans Dipl Ing Dr Techn List
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Hans Dipl Ing Dr Techn List
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support

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