AT216049B - Verfahren zur Herstellung von Elektrodenmaterial für halbleitende Vorrichtungen - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von Elektrodenmaterial für halbleitende Vorrichtungen

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AT216049B
AT216049B AT778159A AT778159A AT216049B AT 216049 B AT216049 B AT 216049B AT 778159 A AT778159 A AT 778159A AT 778159 A AT778159 A AT 778159A AT 216049 B AT216049 B AT 216049B
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aluminum
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   <Desc/Clms Page number 1> 
 



  Verfahren zur Herstellung von Elektrodenmaterial für halbleitende Vorrichtungen Angemeldet am 28. Oktober 1959 (A   7781/59) ;   Priorität der Anmeldung in den Niederlanden vom 31. Oktober 1958 beansprucht. 
 EMI1.1 
 

 <Desc/Clms Page number 2> 

 



   In einen Tiegel aus Aluminiumoxyd wurden 17 g reines Aluminium eingeführt. Dieser Tiegel wurde bis zu 1450   C in einer aus 70 Vol.-% Stickstoff und 30 Vol.-% Wasserstoff bestehenden Mischgasatmosphäre erhitzt, wobei eine Schmelze reinen Aluminiums entstand. Anschliessend wurde das Aluminiumrohr auf dem Wolframstab in die Schmelze eingetaucht. Das Rohr schmolz schnell und das Pulver im Rohr legierte dabei mit dem Aluminium. Danach wurde der Wolframstab aus der Schmelze entfernt. 



  Der Tiegel wurde anschliessend auf Zimmertemperatur abgekühlt, wobei die erhaltene Aluminium-Sili-   zium-Bor-Legierung   erstarrte. 



   Dies ergab ein aus 95 Gew.-% Al, 4, 8 Gew.-% Si und   0, 2 Gew.-%   B bestehendes Elektrodenmaterial, was einem Gehalt von zirka   0, 5 Atom-% B   entspricht. Das Material lässt sich in Form einer dünnen Platte auswalzen, aus der Scheiben gestanzt werden können, die z. B. zum Aufschmelzen einer Elektrode auf einen Siliziumkörper verwendet werden. 



   Auf entsprechende Weise wurde eine Bor-Silizium-Legierung mit einem Borgehalt von 10   Gew.-% her-   gestellt und durch Auflösen dieser Legierung in Aluminium ein Elektrodenmaterial mit einem Gehalt von   2, 5 Atom-% B   hergestellt.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRUCH : Verfahren zur Herstellung von ein Grundmaterial und Bor enthaltendem Elektrodenmaterial, dadurch gekennzeichnet, dass Bor in einer Menge von einem oder beiden Elementen Germanium und/oder Silizium aufgelöst und die erhaltene Legierung anschliessend in einem aus Aluminium bestehenden Grundmaterial aufgelöst wird.
AT778159A 1958-10-31 1959-10-28 Verfahren zur Herstellung von Elektrodenmaterial für halbleitende Vorrichtungen AT216049B (de)

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