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Se provee un aparato para la deposición al vacío y/o un entorno de procesamiento que incluye una pluralidad de módulos dispuestos de manera configurable de manera de formar el aparato para la deposición al vacío o el entorno de procesamiento de acuerdo con un diseño de proceso predeterminado. La pluralidad de módulos son individuales y separables, e incluyen uno o más de los siguientes: un módulo de proceso configurado para llevar a cabo un proceso sobre un sustrato; un módulo de transporte configurado para asegurar el sustrato y transferir el sustrato desde un primer módulo de entre la pluralidad de módulos hacia un segundo módulo de entre una pluralidad de módulos; y un módulo de almacenamiento configurado para alojar el sustrato.
ARP1301022842013-01-162013-06-27Disposicion de deposicion al vacio
AR091594A1
(es)