AR042279A1

AR042279A1 - PLASMA CATALYST

Info

Publication number: AR042279A1
Application number: ARP030104449A
Authority: AR
Original assignee: Dana Corp
Priority date: 2002-12-04
Filing date: 2003-12-03
Publication date: 2005-06-15
Also published as: TW200417292A; TWI334319B

Abstract

Se proporcionan métodos y aparatos para encender, modular, y sustentar un plasma para diversos procesos y tratamiento de plasma. En una realización, un plasma es encendido exponiendo un gas en una cavidad de procesamiento de múltiples modos a radiaciones electromagnéticas que tienen frecuencia comprendida entre aproximadamente 1 MHz y aproximadamente 333 GHz en la presencia de un catalizador del plasma, que puede ser pasivo o activo. Un catalizador del plasma pasivo puede incluir, por ejemplo, cualquier objeto capaz de inducir un plasma deformado un campo eléctrico local. Un catalizador de plasma activo puede incluir cualquier partícula o paquete de onda de alta energía capaz de transferir una suficiente cantidad de energía a un átomo o molécula gaseosa para remover por lo menos un electrón del átomo o molécula gaseosa, en la presencia de radiaciones electromagnéticas.Methods and apparatus for lighting, modulating, and supporting a plasma for various processes and plasma treatment are provided. In one embodiment, a plasma is ignited by exposing a gas in a multi-mode processing cavity to electromagnetic radiation having a frequency between about 1 MHz and about 333 GHz in the presence of a plasma catalyst, which can be passive or active. A passive plasma catalyst can include, for example, any object capable of inducing a deformed plasma to a local electric field. An active plasma catalyst can include any high energy wave particle or packet capable of transferring a sufficient amount of energy to an atom or gaseous molecule to remove at least one electron from the gaseous atom or molecule, in the presence of electromagnetic radiation.