KR100498600B1 - Method for collecting data detected by prometrix equipment during manufacturing semiconductor - Google Patents

Method for collecting data detected by prometrix equipment during manufacturing semiconductor Download PDF

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Abstract

1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야1. TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION

본 발명은 반도체 제조용 프로메트릭스 장비의 데이터를 수집하기 위한 방법과, 이를 실현시키기 위한 기록매체에 관한 것임.The present invention relates to a method for collecting data of prometric equipment for semiconductor manufacturing and a recording medium for realizing the same.

2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제2. The technical problem to be solved by the invention

본 발명은, 반도체 제조용 프로메트릭스 장비와 장비서버를 온라인으로 연결하고, 측정공정에서 발생하는 측정 데이터 수집을 작업자의 투입을 배제하여 처리하며, 쉬트를 작성하는 작업자의 오류를 방지하기 위한 반도체 제조용 프로메트릭스 장비의 데이터를 수집하기 위한 방법과, 이를 실현시키기 위한 기록매체를 제공하고자 함.The present invention provides a semiconductor manufacturing pro for connecting the prometric equipment for semiconductor manufacturing and the equipment server online, processing measurement data generated in the measuring process by eliminating the operator's input, and preventing an error of an operator who creates a sheet. It is intended to provide a method for collecting data of matrix equipment and a recording medium for realizing it.

3. 발명의 해결방법의 요지3. Summary of Solution to Invention

본 발명은, 장비서버와 프로메트릭스 장비사이에 온라인을 설정하는 제 1단계; 상기 프로메트릭스 장비에 카세트를 제공하는 제 2단계; 상기 프로메트릭스 장비가 제공된 카세트를 진행시키고, 상기 측정된 데이터를 상기 장비서버에 전송하는 제 3단계; 상기 장비서버가 측정 데이터를 데이터 수집 서버로 전송하며, 상기 데이터 수집 서버가 수신된 측정 데이터를 마스터 데이터베이스에 저장하는 제 4단계; 상기 카세트의 재측정여부를 판단하여, 카세트에 담긴 로트를 재측정하지 않아도 될 경우, 측정된 카세트를 회수하고, 상기 프로메트릭스 장비에서 다음 카세트의 측정공정을 진행시키고, 카세트에 담긴 로트를 재측정해야 할 경우, 상기 제 2단계부터 다시 진행하는 제 5단계; 및 상기 장비터미널을 이용하여 상기 프로메트릭스 장비의 모드를 오프라인으로 변경할 것인가를 판단하는 제 6단계를 포함한다.The present invention, the first step of establishing an online between the equipment server and the prometric equipment; Providing a cassette to the prometric equipment; A third step of advancing a cassette provided with the prometric equipment and transmitting the measured data to the equipment server; Transmitting, by the equipment server, the measurement data to a data collection server, and storing the received measurement data in a master database by the data collection server; If it is judged whether the cassette is re-measured and it is not necessary to re-measure the lot contained in the cassette, the measured cassette is recovered, the process of measuring the next cassette is performed in the prometric equipment, and the lot contained in the cassette is re-measured. If necessary, a fifth step of proceeding from the second step again; And a sixth step of determining whether to change the mode of the prometric equipment to offline using the equipment terminal.

4. 발명의 중요한 용도4. Important uses of the invention

본 발명은 프로메트릭스 장비의 데이터 수집방법에 이용됨.The present invention is used in a data collection method of prometric equipment.

Description

반도체 제조용 프로메트릭스 장비의 데이터를 수집하기 위한 방법{METHOD FOR COLLECTING DATA DETECTED BY PROMETRIX EQUIPMENT DURING MANUFACTURING SEMICONDUCTOR} METHOD FOR COLLECTING DATA DETECTED BY PROMETRIX EQUIPMENT DURING MANUFACTURING SEMICONDUCTOR}

본 발명은 반도체 제조공정상에서의 데이터 수집에 관한 것으로 특히, 프로메트릭스 장비에서 온라인으로 데이터를 수집하는 방법과, 이를 실현시키기 위한 기록매체에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to data collection on a semiconductor manufacturing process, and more particularly, to a method of collecting data online in a prometric equipment and a recording medium for realizing the same.

일반적으로, 프로메트릭스 장비는 특정공정에서 진행하는 웨이퍼의 두께를 측정하는 장비로, 장비서버와 온라인으로 연결되어 있지 않기 때문에, 프로메트릭스 장비에서의 데이터 수집은 작업자가 상기 프로메트릭스 장비에서 측정 웨이퍼가 진행할 때 발생하는 데이터를 직접 쉬트(sheet)에 기록함으로써 이루어졌다.In general, the prometric equipment is a device that measures the thickness of the wafer in a specific process. Since the prometric equipment is not connected to the equipment server online, the data collection in the prometric equipment is performed by the operator. This was done by directly recording the data as it proceeds in a sheet.

상기와 같은 종래의 프로메트릭스 장비에서의 데이터 수집방법은, 작업자가 측정데이터를 직접 쉬트에 기록하기 때문에 작업자의 업무가 가중될 뿐만 아니라, 측정데이터에 대한 오류가 발생하는등 신뢰적이지 못하며, 또한 상기 프로메트릭스 장비에서 발생하는 측정 데이터를 생산정보로서 이용하는데 부가작업이 필요한 문제가 있었다. The data collection method in the conventional prometric equipment as described above is not only reliable because the operator writes the measurement data directly to the sheet, but also causes an error on the measurement data. There is a problem that additional work is required to use the measurement data generated from the prometric equipment as production information.

또한, 상기 프로메트릭스 장비에서 진행되는 웨이퍼의 공정처리 사이클 타임이 증가하여 궁극적으로 수율을 하락시키는 문제로 작용하고 있다.In addition, the processing cycle time of the wafer proceeds in the prometric equipment is increased, which ultimately serves to reduce the yield.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명은, 반도체 제조용 프로메트릭스 장비와 장비서버를 온라인으로 연결하고, 측정공정에서 발생하는 측정 데이터 수집을 작업자의 투입을 배제한 상태에서 처리하며, 쉬트를 작성하는 작업자의 오류를 방지하기 위한 프로메트릭스 장비의 데이터를 수집하기 위한 방법과, 이를 실현시키기 위한 기록매체를 제공하는데 그 목적이 있다. In order to solve the above problems, the present invention connects the prometric equipment for semiconductor manufacturing and the equipment server online, and processes the collection of measurement data generated in the measurement process without removing the operator's input, and creates a sheet. The purpose of the present invention is to provide a method for collecting data of prometric equipment to prevent an error of an operator and a recording medium for realizing the same.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 장비서버와 프로메트릭스 장비사이에 온라인을 설정하는 제 1단계; 상기 프로메트릭스 장비에 카세트를 제공하는 제 2단계; 상기 프로메트릭스 장비가 제공된 카세트를 진행시키고, 상기 측정된 데이터를 상기 장비서버에 전송하는 제 3단계; 상기 장비서버가 측정 데이터를 데이터 수집 서버로 전송하며, 상기 데이터 수집 서버가 수신된 측정 데이터를 마스터 데이터베이스에 저장하는 제 4단계; 상기 카세트의 재측정여부를 판단하여, 카세트에 담긴 로트를 재측정하지 않아도 될 경우, 측정된 카세트를 회수하고, 상기 프로메트릭스 장비에서 다음 카세트의 측정공정을 진행시키고, 카세트에 담긴 로트를 재측정해야 할 경우, 상기 제 2단계부터 다시 진행하는 제 5단계; 및 상기 장비터미널을 이용하여 상기 프로메트릭스 장비의 모드를 오프라인으로 변경할 것인가를 판단하는 제 6단계를 포함한다.The present invention for achieving the above object, the first step of establishing an online between the equipment server and the prometric equipment; Providing a cassette to the prometric equipment; A third step of advancing a cassette provided with the prometric equipment and transmitting the measured data to the equipment server; Transmitting, by the equipment server, the measurement data to a data collection server, and storing the received measurement data in a master database by the data collection server; If it is judged whether the cassette is re-measured and it is not necessary to re-measure the lot contained in the cassette, the measured cassette is recovered, the process of measuring the next cassette is performed in the prometric equipment, and the lot contained in the cassette is re-measured. If necessary, a fifth step of proceeding from the second step again; And a sixth step of determining whether to change the mode of the prometric equipment to offline using the equipment terminal.

또한, 본 발명은, 장비서버와 프로메트릭스 장비사이에 온라인을 설정하는 제 1기능; 상기 프로메트릭스 장비에 카세트를 제공하는 제 2기능; 상기 프로메트릭스 장비가 제공된 카세트를 진행시키고, 상기 측정된 데이터를 상기 장비서버에 전송하는 제 3기능; 상기 장비서버가 측정 데이터를 데이터 수집 서버로 전송하며, 상기 데이터 수집 서버가 수신된 측정 데이터를 마스터 데이터베이스에 저장하는 제 4기능; 상기 카세트의 재측정여부를 판단하여, 카세트에 담긴 로트를 재측정하지 않아도 될 경우, 측정된 카세트를 회수하고, 상기 프로메트릭스 장비에서 다음 카세트의 측정공정을 진행시키고, 카세트에 담긴 로트를 재측정해야 할 경우, 상기 제 2기능부터 다시 수행하는 제 5기능; 및 상기 장비터미널을 이용하여 상기 프로메트릭스 장비의 모드를 오프라인으로 변경할 것인가를 판단하는 제 6기능을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록 매체를 제공한다.In addition, the present invention, the first function of setting the online between the equipment server and the prometric equipment; A second function of providing a cassette to the prometric equipment; A third function of advancing a cassette provided with the prometric equipment and transmitting the measured data to the equipment server; A fourth function of transmitting, by the equipment server, measurement data to a data collection server, and storing, by the data collection server, the received measurement data in a master database; If it is judged whether the cassette is re-measured and it is not necessary to re-measure the lot contained in the cassette, the measured cassette is recovered, the process of measuring the next cassette is performed in the prometric equipment, and the lot contained in the cassette is re-measured. If necessary, the fifth function to perform again from the second function; And a computer-readable recording medium having recorded thereon a program for realizing a sixth function of determining whether to change the mode of the prometric equipment to offline using the equipment terminal.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 일실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도1에 도시된 바와 같이, 본 발명이 적용되는 데이터 수집 시스템의 개략적인 구성은 다음과 같다.As shown in Fig. 1, a schematic configuration of a data collection system to which the present invention is applied is as follows.

작업자가 제공하는 데이터를 입력받으며, 공정의 진행상황을 감시하는 장비터미널(100)과, 상기 장비터미널로부터 작업자의 명령을 수신하고, 장비서버와 메세지를 수수하며 웨이퍼의 두께를 측정하기 위한 프로메트릭스 장비(110)와, 상기 프로메트릭스 장비와 메세지를 수수하고 로트가 프로메트릭스 장비의 공정을 진행하여 발생한 측정 데이터를 수신하며 작업자 데이터 수집 트랜잭션 메세지를 데이터 수집 서버로 전송하는 장비서버(120)와, 상기 장비서버로부터 작업자 데이터 수집 트랜잭션 메세지를 수신하며 작업자 데이터를 수집하여 마스터 데이터 베이스에 저장하는 데이터 수집 서버(130)와, 상기 데이터 수집 서버에서 수집한 작업자 데이터를 저장하는 마스터 데이터베이스(140)로 구성된다.Receives data provided by the operator, the equipment terminal 100 for monitoring the progress of the process, and receives the operator's command from the equipment terminal, receive the message with the equipment server, Prometrics for measuring the thickness of the wafer Equipment 110, receiving the message with the prometrics equipment, the equipment server 120 for receiving the measurement data generated by the lot proceeds to the process of the prometrics equipment and transmits the worker data collection transaction message to the data collection server, Data collection server 130 for receiving the worker data collection transaction message from the equipment server and collecting the worker data stored in the master database, and the master database 140 for storing the worker data collected by the data collection server do.

상기와 같이 구성되어 동작하는 반도체 제조용 프로메트릭스 장비의 데이터를 수집하기 위한 방법을 도2를 참조하여 설명한다.A method for collecting data of the semiconductor manufacturing prometric equipment configured and operated as described above will be described with reference to FIG. 2.

도2는 본 발명에 따른 반도체 제조용 프로메트릭스 장비의 데이터를 수집하기 위한 일실시예 흐름도이다.Figure 2 is a flow diagram of one embodiment for collecting data of the prometric equipment for semiconductor manufacturing according to the present invention.

먼저, 작업자는 장비터미널(100)을 이용하여 프로메트릭스 장비(110)의 모드를 온라인으로 설정할 것을 명령한다.First, the operator instructs to set the mode of the prometrics equipment 110 online using the equipment terminal 100.

상기 장비터미널(100)을 통하여 온라인 설정 명령을 수신한 상기 프로메트릭스 장비(110)는 장비서버(120)에 통신설정 요청을 한다. 상기 통신설정 요청을 수신한 장비서버(120)가 그 응답을 상기 장비서버(120)로 전송하면 프로메트릭스 장비(110)와 장비서버(120)는 온라인으로 설정된다(S200).After receiving the online setting command through the device terminal 100, the prometrics device 110 requests a communication setting from the device server 120. When the equipment server 120 receiving the communication setup request transmits the response to the equipment server 120, the prometric equipment 110 and the equipment server 120 are set online (S200).

다음으로, 작업자는 상기 프로메트릭스 장비(110)에 측정할 로트를 담고있는 카세트를 제공하고(S202), 상기 제공된 카세트의 데이터 예를 들면, 로트 아이디, 카세트 번호, 슬롯 번호의 데이터를 상기 장비터미널(110)을 이용하여 프로메트릭스 장비(120)에 전송하고, 공정 시작 명령을 전송한다.Next, the operator provides the cassette containing the lot to be measured to the prometrics equipment 110 (S202), the data of the provided cassette, for example, the data of the lot ID, cassette number, slot number of the equipment terminal And transmit the process start command using the 110.

이어서, 상기 프로메트릭스 장비(110)에 제공된 상기 카세트가 진행하게 된다(S204).Subsequently, the cassette provided to the prometric equipment 110 proceeds (S204).

측정공정이 진행하게 되면 상기 프로메트릭스 장비는 카세트에 담긴 웨이퍼의 측정이 모두 끝남에 따라 측정 데이터를 상기 장비서버(120)로 전송한다(S206). When the measurement process is performed, the prometric equipment transmits the measurement data to the equipment server 120 as the measurement of all the wafers in the cassette is finished (S206).

다음으로, 상기 프로메트릭스 장비(110)가 데이터 수집 메세지를 상기 장비서버(120)로 전송하면, 상기 장비서버(120)는 작업자 데이터 수집 메세지를 데이터 수집서버(130)로 전송한다.Next, when the prometric equipment 110 transmits a data collection message to the equipment server 120, the equipment server 120 transmits a worker data collection message to the data collection server 130.

이어서, 상기 데이터 수집서버(130)는 상기 장비서버(120)로부터 데이터를 취득하여 마스터 데이터베이스(140)에 저장한다(S208).Subsequently, the data collection server 130 obtains data from the equipment server 120 and stores the data in the master database 140 (S208).

다음으로, 작업자는 상기 장비터미널(100)을 통하여 상기 카세트에 담긴 로트를 재측정할 것인가를 소정의 기준에 따라 판단한다(S210).Next, the operator determines whether to re-measure the lot contained in the cassette through the equipment terminal 100 according to a predetermined criterion (S210).

상기 판단결과(S210), 재측정해야 할 경우, 상기 S202단계부터 다시 진행한다.If it is necessary to re-measure the determination result (S210), the process proceeds again from the step S202.

상기 판단결과(S210), 재측정하지 않아도 될 경우, 작업자는 상기 프로메트릭스 장비(110)에서 측정공정을 진행한 카세트를 회수하고, 프로메트릭스 장비(110)에서 다음 카세트가 측정공정을 진행한다(S212). If the determination result (S210), it is not necessary to re-measure, the operator recovers the cassette that the measurement process in the prometrics equipment 110, the next cassette proceeds the measurement process in the prometric equipment (110) ( S212).

이때, 작업자는 마스터 데이터베이스(140)에 저장된 측정 데이터를 조회하여 장비의 상태를 파악할 수 있으며, 또한 적절한 측정공정 파라마터를 설정할 수 있다.At this time, the operator can determine the state of the equipment by querying the measurement data stored in the master database 140, and also can set the appropriate measurement process parameters.

이어서, 작업자는 상기 프로메트릭스 장비의 결함으로 인하여 온라인 진행이 불가능할 경우, 상기 장비터미널(100)을 통하여 프로메트릭스 장비(110)의 모드를 오프라인(off-line)으로 변경할 것인가를 판단한다(S214).Subsequently, when it is impossible to proceed online due to a defect of the prometric equipment, the operator determines whether to change the mode of the prometric equipment 110 to off-line through the equipment terminal 100 (S214). .

상기 판단결과(S214), 오프라인으로 변경해야 할 경우, 상기 장비터미널(100)을 통하여 오프라인 설정 명령을 수신한 상기 프로메트릭스 장비(110)는 장비서버(120)에 오프라인 설정을 요청한다. 상기 오프라인 설정 요청을 수신한 장비서버(120)가 그 응답을 상기 장비서버(120)로 전송하면, 프로메트릭스 장비(110)와 장비서버(120)는 오프라인이 된다(S216).When the determination result (S214), to change to offline, the prometrics equipment 110 receives the offline setting command through the equipment terminal 100 requests the equipment server 120 to set offline. When the equipment server 120 receiving the offline setting request transmits the response to the equipment server 120, the prometric equipment 110 and the equipment server 120 go offline (S216).

상기 판단결과(S214), 오프라인으로 변경하지 않아도 될 경우, 상기 S202단계부터 다시 진행한다.If it is not necessary to change offline, the determination result (S214), and proceeds again from the step S202.

그러면, 도3을 참조하여 상기 도2의 방법에 따라 데이터를 수집하기 위한 일실시예 SECS-II(Semi Equipment Communications Standard-II) 메세지 흐름을 설명한다.Next, an embodiment of a Semi Equipment Communications Standard-II (SECS-II) message flow for collecting data according to the method of FIG. 2 will be described with reference to FIG.

먼저, 작업자는 상기 장비터미널을 이용하여 장비모드를 온라인으로 변경하라는 명령을 프로메트릭스 장비(110)로 입력한다(300).First, the operator inputs a command to change the mode of the equipment online by using the equipment terminal to the prometric equipment 110 (300).

상기 온라인 변경 명령을 수신한 상기 프로메트릭스 장비(110)가 장비서버(120)와 온라인 모드를 설정하기 위하여 존재확인 메세지(S1F1)를 상기 장비서버(120)에 전송하면, 상기 장비서버(120)는 프로메트릭스 장비(110)로 온라인 설정 메세지(S1F2)를 전송한다. 이로서, 상기 프로메트릭스 장비(110)와 장비서버(120)는 온라인모드로 통신할 수 있도록 설정된다.When receiving the online change command, when the prometric device 110 transmits a presence confirmation message S1F1 to the device server 120 to set the online mode with the device server 120, the device server 120. Sends an online setup message (S1F2) to the prometrics device (110). As such, the prometric equipment 110 and the equipment server 120 is set to communicate in the online mode.

이어서, 작업자가 상기 프로메트릭스 장비(110)에 장비모드를 반자동으로 변경할 것을 명령하면(302), 상기 프로메트릭스 장비(110)는 상기 장비서버(120)로 모드변경 메세지(S10F1)를 전송한다.Subsequently, when the operator instructs the prometric equipment 110 to change the equipment mode semi-automatically (302), the prometric equipment 110 transmits a mode change message (S10F1) to the equipment server 120.

다음으로, 작업자가 상기 프로메트릭스 장비(110)에 측정공정을 진행할 카세트의 데이터 예를들면, 로트 아이디, 카세트 번호, 슬롯 번호 등의 데이터를 상기 장비터미널(100)을 이용하여 입력하고(304), 상기 프로메트릭스 장비(110)에 측정공정을 진행할 카세트를 제공한다(306). Next, the operator inputs data of a cassette, for example, a lot ID, a cassette number, a slot number, etc., using the equipment terminal 100 to perform a measurement process on the prometric equipment 110 (304). In operation 306, the cassette for the measurement process is provided to the prometric equipment 110.

이어서, 작업자는 상기 장비터미널(100)을 이용하여 상기 프로메트릭스 장비(110)에 공정 시작 명령을 전송한다(308).Subsequently, the operator transmits a process start command to the prometric equipment 110 using the equipment terminal 100 (308).

상기 공정 시작 명령을 수신한 프로메트릭스 장비(110)에서 제공된 카세트는 측정공정을 실제로 진행하게 된다(310).The cassette provided from the prometric equipment 110 having received the process start command actually proceeds to the measurement process (310).

상기 프로메트릭스 장비(110)가 카세트에 담긴 로트의 측정을 마치면, 상기 프로메트릭스 장비(110)는 측정 데이터를 장비서버의 수신버퍼 크기로 나누어 상기 장비서버(120)로 전송(S6F5)하고, 상기 데이터를 수신한 장비서버(120)는 데이터 수신 메세지(S6F6)를 상기 프로메트릭스 장비(110)로 전송한다.When the prometrics device 110 finishes the measurement of the lot in the cassette, the prometrics device 110 divides the measurement data into the receiving buffer size of the device server and transmits the measured data to the device server 120 (S6F5). The equipment server 120 receiving the data transmits a data reception message S6F6 to the prometric equipment 110.

다음으로, 상기 프로메트릭스 장비(110)와 장비서버(120)은 상호간에 데이터 수집 메세지(S6F3) 및 데이터 수집 응답 메세지(S6F4)를 송수신한다.Next, the prometric device 110 and the equipment server 120 transmits and receives a data collection message (S6F3) and a data collection response message (S6F4) between each other.

이후, 작업자는 상기 장비서버(120)에 전송된 측정 데이터를 소정 기준으로 재측정여부를 판단한다(312).Thereafter, the worker determines whether to re-measure the measured data transmitted to the equipment server 120 based on a predetermined reference (312).

상기 판단결과(312), 재측정해야 할 경우, 도3의 "306"으로 복귀하여 다시 상기 프로메트릭스 장비(110)에 웨이퍼를 제공한다.As a result of the determination 312, if it is necessary to re-measure, the process returns to "306" of FIG. 3 to provide the wafer to the prometric equipment 110 again.

상기 판단결과(312), 재측정하지 않아도 될 경우, 작업자는 상기 프로메트릭스 장비(110)에서 측정공정을 진행한 카세트를 회수하고, 프로메트릭스 장비(110)에서 다음 카세트가 측정공정을 진행한다(314). In the determination result 312, when it is not necessary to re-measure, the operator recovers the cassette which has undergone the measurement process in the prometric equipment 110, and the next cassette proceeds the measurement process in the prometric equipment 110 ( 314).

이어서, 상기 프로메트릭스 장비의 결함으로 인하여 온라인 진행이 불가능할 경우, 작업자는 상기 장비터미널(100)을 통하여 프로메트릭스 장비(110)의 모드를 오프라인(off-line)으로 변경할 것인가를 판단한다(316).Subsequently, when it is impossible to proceed online due to a defect of the prometric equipment, the operator determines whether to change the mode of the prometric equipment 110 to off-line through the equipment terminal 100 (316). .

상기 판단결과(316), 오프라인으로 변경하지 않아도 될 경우, 도3의 "306"으로 복귀하여 다시 진행한다.If it is not necessary to change to offline, the determination result 316 returns to "306" in Figure 3 to proceed again.

상기 판단결과(316), 오프라인으로 변경해야 할 경우, 상기 장비터미널(100)을 통하여 오프라인 설정 명령을 수신한 상기 프로메트릭스 장비(110)는 장비서버(120)에 오프라인 설정을 요청한다. 상기 오프라인 설정 요청을 수신한 장비서버(120)가 모드 변경 메세지(S10F1)를 상기 장비서버(120)로 전송하면, 프로메트릭스 장비(110)와 장비서버(120)는 오프라인이 된다.If it is necessary to change to offline, as a result of the determination 316, the prometrics equipment 110 that receives the offline setting command through the equipment terminal 100 requests the equipment server 120 to set offline. When the equipment server 120 receiving the offline setting request transmits a mode change message S10F1 to the equipment server 120, the prometric equipment 110 and the equipment server 120 go offline.

이상에서 설명한 본 발명은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니다. The present invention described above is capable of various substitutions, modifications, and changes without departing from the spirit of the present invention for those skilled in the art to which the present invention pertains. It is not limited to the drawing.

상기와 같은 본 발명은, 반도체 제조용 프로메트릭스 장비에서 발생하는 측정 데이터를 작업자가 런 쉬트에 기록할 필요 없이 온라인으로 획득하므로써 작업자의 업무를 단순화시키며, 또한 상기 프로메트릭스 장비에서의 공정 사이클 타임을 감소시킴으로써 수율을 높일 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention simplifies the operator's work by acquiring the measurement data generated in the prometric equipment for semiconductor manufacturing online without the need for the operator to write the run sheet, and also reduces the process cycle time in the prometric equipment. By doing so, there is an effect of increasing the yield.

도1은 본 발명이 적용되는 데이터 수집 시스템의 개략적인 구성을 나타낸 블록 다이어그램.1 is a block diagram showing a schematic configuration of a data acquisition system to which the present invention is applied;

도2는 본 발명에 따른 프로메트릭스 장비의 데이터를 수집하기 위한 방법의 일실시예 흐름도.2 is an embodiment flow diagram of a method for collecting data of prometric equipment in accordance with the present invention.

도3은 상기 도2의 방법의 따라 데이터를 수집하기 위한 일실시예 SECS-II 메세지 흐름도.3 is a flow diagram of an embodiment SECS-II message for collecting data in accordance with the method of FIG.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

100 : 장비 터미널 110 : 프로메트릭스 장비100: equipment terminal 110: prometric equipment

120 : 장비서버 130 : 데이터 수집 서버120: equipment server 130: data collection server

140 : 마스터 데이터베이스140: master database

Claims (7)

삭제delete 프로메트릭스 장비가 장비서버로 존재확인 메세지를 전송하는 제 1단계;A first step of the prometrics equipment transmitting an existence confirmation message to the equipment server; 상기 장비서버가 프로메트릭스 장비로 온라인 설정 메세지를 전송하는 제 2단계;A second step of transmitting, by the equipment server, an online configuration message to the prometric equipment; 상기 프로메트릭스 장비의 모드를 반자동으로 변경하는 제 3단계;A third step of semi-automatically changing a mode of the prometric equipment; 상기 프로메트릭스 장비에 카세트를 제공하는 제 4단계;Providing a cassette to the prometric equipment; 상기 프로메트릭스 장비가 제공된 카세트를 진행시키고, 상기 측정된 데이터를 상기 장비서버에 전송하는 제 5단계;A fifth step of advancing the cassette provided with the prometric equipment and transmitting the measured data to the equipment server; 상기 장비서버가 측정 데이터를 데이터 수집 서버로 전송하며, 상기 데이터 수집 서버가 수신된 측정 데이터를 마스터 데이터베이스에 저장하는 제 6단계;A sixth step in which the equipment server transmits measurement data to a data collection server, and the data collection server stores the received measurement data in a master database; 상기 카세트의 재측정여부를 판단하여, 카세트에 담긴 로트를 재측정하지 않아도 될 경우, 측정된 카세트를 회수하고, 상기 프로메트릭스 장비에서 다음 카세트의 측정공정을 진행시키고, 카세트에 담긴 로트를 재측정해야 할 경우, 상기 제 4단계부터 다시 진행하는 제 7단계; 및If it is judged whether the cassette is re-measured and it is not necessary to re-measure the lot contained in the cassette, the measured cassette is recovered, the process of measuring the next cassette is performed in the prometric equipment, and the lot contained in the cassette is re-measured. If necessary, a seventh step of proceeding from the fourth step again; And 상기 장비터미널을 이용하여 상기 프로메트릭스 장비의 모드를 오프라인으로 변경할 것인가를 판단하는 제 8단계An eighth step of determining whether to change the mode of the prometrics equipment to offline using the equipment terminal; 를 포함하는 반도체 제조용 프로메트릭스 장비의 데이터를 수집하기 위한 방법.Method for collecting data of the prometric equipment for semiconductor manufacturing comprising a. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제 4단계는,The fourth step, 상기 프로메트릭스 장비가 장비터미널로부터 카세트 데이터를 입력받는 제 9단계;A ninth step in which the prometric equipment receives cassette data from an equipment terminal; 상기 프로메트릭스 장비가 외부로부터 카세트를 제공받는 제 10단계; 및A tenth step in which the prometric equipment is provided with a cassette from the outside; And 상기 프로메트릭스 장비가 상기 장비터미널로부터 공정시작 명령을 수신하는 제 11단계를 포함하는 반도체 제조용 프로메트릭스 장비의 데이터를 수집하기 위한 방법.And an eleventh step of receiving, by the prometric equipment, a process start command from the equipment terminal. 제 3항에 있어서, The method of claim 3, wherein 상기 제 5단계는,The fifth step, 상기 프로메트릭스 장비가 측정공정에서 발생한 측정 데이터를 상기 장비서버의 수신버퍼 크기로 나누어 전송하는 제 12단계; 및A twelfth step of transmitting, by the prometric equipment, measurement data generated in the measurement process by dividing the received buffer size of the equipment server; And 상기 측정 데이터를 수신한 상기 장비서버가 데이터 수신 메세지를 상기 프로메트릭스 장비로 전송하는 제 13단계를 포함하는 반도체 제조용 프로메트릭스 장비의 데이터를 수집하기 위한 방법.And a thirteenth step of sending, by the equipment server, the measurement data, a data reception message to the prometric equipment. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 제 6단계는,The sixth step, 상기 프로메트릭스 장비가 데이터 수집 메세지를 상기 장비서버로 전송하는 제 14단계;A 14th step of transmitting, by the prometric equipment, a data collection message to the equipment server; 상기 제 14단계 수행후, 상기 장비서버가 데이터 작업자 데이터 수집 메세지를 데이터 수집서버로 전송하는 제 15단계; 및A fifteenth step of transmitting, by the equipment server, a data worker data collection message to a data collection server after performing the fourteenth step; And 제 15단계 수행후, 상기 데이터 수집서버가 상기 장비서버로부터 데이터를 취득하여 마스터 데이터베이스에 저장하는 제 16단계를 포함하는 반도체 제조용 프로메트릭스 장비의 데이터를 수집하기 위한 방법.And performing a fifteenth step, wherein the data collection server acquires data from the equipment server and stores the data in a master database. 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 제 8단계의 판단결과, 오프라인으로 변경하지 않아도 될 경우, 상기 제 10단계부터 다시 진행하는 제 17단계;A seventeenth step of proceeding again from the tenth step if it is not necessary to change the offline result as the determination result of the eighth step; 상기 제 8단계의 판단결과, 오프라인으로 변경해야 할 경우, 상기 프로메트릭스 장비가 상기 장비터미널로부터 장비모드를 오프라인으로 변경하라는 명령을 입력받고, 장비모드를 오프라인으로 변경하는 제 18단계; 및An eighteenth step in which, when the determination result of the eighth step is required to change the offline, the prometric equipment receives a command to change the equipment mode to offline from the equipment terminal, and changes the equipment mode to offline; And 제 18단계 수행후, 상기 프로메트릭스 장비가 상기 장비서버로 모드변경 메세지를 전송하는 제 19단계를 포함하는 반도체 제조용 프로메트릭스 장비의 데이터를 수집하기 위한 방법.And performing a nineteenth step after the eighteenth step, wherein the prometric device transmits a mode change message to the device server. 반도체 제조공정에서 데이터의 수집방법을 수행하기 위한 시스템은,The system for performing a data collection method in a semiconductor manufacturing process, 프로메트릭스 장비가 장비서버로 존재확인 메세지를 전송하는 제 1기능; A first function of the prometrics equipment sending a presence confirmation message to the equipment server; 상기 장비서버가 프로메트릭스 장비로 온라인 설정 메세지를 전송하는 제 2기능;A second function of sending, by the device server, an online configuration message to a prometric device; 상기 프로메트릭스 장비의 모드를 반자동으로 변경하는 제 3기능;A third function of semi-automatically changing the mode of the prometrics equipment; 상기 프로메트릭스 장비에 카세트를 제공하는 제 4기능;A fourth function of providing a cassette to the prometric equipment; 상기 프로메트릭스 장비가 제공된 카세트를 진행시키고, 상기 측정된 데이터를 상기 장비서버에 전송하는 제 5기능;A fifth function of advancing a cassette provided with the prometric equipment and transmitting the measured data to the equipment server; 상기 장비서버가 측정 데이터를 데이터 수집 서버로 전송하며, 상기 데이터 수집 서버가 수신된 측정 데이터를 마스터 데이터베이스에 저장하는 제 6기능;A sixth function in which the equipment server transmits measurement data to a data collection server, and the data collection server stores the received measurement data in a master database; 상기 카세트의 재측정여부를 판단하여, 카세트에 담긴 로트를 재측정하지 않아도 될 경우, 측정된 카세트를 회수하고, 상기 프로메트릭스 장비에서 다음 카세트의 측정공정을 진행시키고, 카세트에 담긴 로트를 재측정해야 할 경우, 상기 제 4기능부터 다시 진행하는 제 7기능; 및If it is judged whether the cassette is re-measured and it is not necessary to re-measure the lot contained in the cassette, the measured cassette is recovered, the process of measuring the next cassette is performed in the prometric equipment, and the lot contained in the cassette is re-measured. If necessary, a seventh function proceeding from the fourth function again; And 상기 장비터미널을 이용하여 상기 프로메트릭스 장비의 모드를 오프라인으로 변경할 것인가를 판단하는 제 8기능An eighth function of deciding whether to change the mode of the prometrics equipment to offline using the equipment terminal; 을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록 매체. A computer-readable recording medium having recorded thereon a program for realizing this.
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