JPH11213874A - Manufacture of barrier for plasma display panel - Google Patents

Manufacture of barrier for plasma display panel

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Publication number
JPH11213874A
JPH11213874A JP10015576A JP1557698A JPH11213874A JP H11213874 A JPH11213874 A JP H11213874A JP 10015576 A JP10015576 A JP 10015576A JP 1557698 A JP1557698 A JP 1557698A JP H11213874 A JPH11213874 A JP H11213874A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
barrier
barrier material
substrate
pts
layer
Prior art date
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Pending
Application number
JP10015576A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroyuki Tanaka
裕之 田仲
Seiji Tai
誠司 田井
Eiji Fujita
瑛二 藤田
Seikichi Tanno
清吉 丹野
Tetsuya Sudo
鉄也 須藤
Ikuo Mukai
郁夫 向
Tadayasu Fujieda
忠恭 藤枝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP10015576A priority Critical patent/JPH11213874A/en
Publication of JPH11213874A publication Critical patent/JPH11213874A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To easily manufacture with high accuracy a barrier in a good yield by pressing a female die having a recessed part to the layer of a barrier material formed on a substrate to deform the layer of the barrier material, removing the female die, forming a pattern consisting of the barrier material corresponding to the recessed part of the female die, and baking the pattern. SOLUTION: A barrier material contains an inorganic material, a binder resin, and an organic solvent as essential components. Examples of the inorganic material include glass powder and the like. It desirably has a softening point of 350-1,000 deg.C and a grain size of 0.1-5 μm. As the binder resin, a one having a TG of 0-50 deg.C and a weight average molecular weight of 10,000-180,000 is preferably used, and an acrylic resin is particularly desirable from the point of its satisfactory thermal decomposability in baking. The content of the binder resin is desirably set to 3-30 pts.wt. with respect to 100 pts.wt. of the inorganic material. As the solvent, an aprotic one having a high boiling point T (170-280 deg.C) is preferably used, and desirably added in an amount of 10-100 pts.wt. with respect to 100 pts.wt. of the inorganic material.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、コンピューター
端末や壁掛けテレビ、券売機において文字情報や映像情
報の表示装置として使用されるプラズマディスプレイパ
ネル(以下、PDPと略す)の障壁(バリアリブ)の製
造法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a barrier (rib) for a plasma display panel (hereinafter abbreviated as PDP) used as a display device for character information and video information in a computer terminal, a wall-mounted television, and a ticket vending machine. About.

【0002】[0002]

【従来の技術】PDPは透明電極が形成された前面板
と、データ電極や誘電層が形成された背面板の二枚の絶
縁板(以下ガラス板と略す)の内側に障壁、蛍光体層が
形成された構造よりなる。この障壁は直行する透明電極
群とデータ電極群との間に一定空間を保持したセル構造
を形成し、さらにNe、Xe等の稀ガスが封入され、透
明電極とデータ電極の交差部が印加電圧により放電、蛍
光体が発光する画素が形成され画像を表示する。図1に
AC型PDPの一例の断面模式図を示した。図1におい
て、1は基板、2は透明電極、3はデータ電極、4は障
壁、5は蛍光体、6は誘電体層及び7は保護層を示す。
2. Description of the Related Art A PDP has a barrier and a phosphor layer inside two insulating plates (hereinafter abbreviated as a glass plate) having a front plate on which a transparent electrode is formed and a rear plate on which a data electrode and a dielectric layer are formed. Consists of a formed structure. This barrier forms a cell structure that maintains a certain space between the orthogonal transparent electrode group and the data electrode group, and is filled with a rare gas such as Ne or Xe. As a result, a pixel that discharges and emits light from the phosphor is formed, and an image is displayed. FIG. 1 shows a schematic cross-sectional view of an example of an AC type PDP. In FIG. 1, 1 is a substrate, 2 is a transparent electrode, 3 is a data electrode, 4 is a barrier, 5 is a phosphor, 6 is a dielectric layer, and 7 is a protective layer.

【0003】上記の障壁は、その高さ、幅、パターンギ
ャップによってセル間での誤放電を防止し一定の放電区
間を得るための機能を有している。
The above barrier has a function of preventing erroneous discharge between cells and obtaining a constant discharge section by its height, width and pattern gap.

【0004】従来、上記障壁の形成方法として、厚膜印
刷法が実施されている。この方法は、電極が形成された
絶縁板上にスクリーン印刷機を使用して、所定の印刷パ
ターンマスクを介してペースト状の障壁材料を印刷、そ
の後乾燥を実施することからなる。ここで、一般には障
壁の高さは良好な放電および発光を得るためには100
μm〜200μm程度が要求されるためこの印刷、乾燥
の工程を5〜10回繰り返すことにより所定の障壁高さ
を得ている。
Conventionally, a thick film printing method has been used as a method for forming the barrier. This method includes printing a paste-like barrier material through a predetermined printing pattern mask using a screen printing machine on an insulating plate on which electrodes are formed, and then performing drying. Here, generally, the height of the barrier is 100 to obtain good discharge and light emission.
Since a thickness of about μm to 200 μm is required, a predetermined barrier height is obtained by repeating the printing and drying steps 5 to 10 times.

【0005】しかし近年、ディスプレイは大型化、画素
の微細化の傾向(例えば40インチ以上の画面サイズで
障壁の幅が100μm以下、高さが100μm以上の傾
向)があり、上記のスクリーン印刷法では、スクリーン
の伸び等により印刷パターンの精度が悪く、スクリーン
の寿命が短い、上記の重ね塗り時に印刷パターンの位置
合わせが困難、さらに熟練した印刷作業者が必要等の問
題があり、その他種々の障壁形成方法が検討されてい
る。
However, in recent years, displays have tended to become larger and pixels have become smaller (for example, a screen width of 40 inches or more and a barrier width of 100 μm or less and a height of 100 μm or more). There are problems such as poor printing pattern accuracy due to screen elongation and the like, short life of the screen, difficulty in positioning the printing pattern during the above-mentioned overcoating, and the need for a skilled printing operator. A forming method is being studied.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】請求項1の発明は、簡
便に歩留まりよく高精度な障壁を製造できるプラズマデ
ィスプレイの障壁の製造法を提供するものである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a barrier for a plasma display, which can easily manufacture a high-precision barrier with a high yield.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、基板上に形成
された障壁材料の層に、凹部を有する雌型を圧着させて
前記障壁材料の層を変形させた後雌型を除去し、前記雌
型の凹部に対応する障壁材料からなるパターンを基板上
に形成し、このパターンを焼成することを特徴とするプ
ラズマディスプレイの障壁の製造法に関する。
According to the present invention, a female mold having a concave portion is pressed against a barrier material layer formed on a substrate to deform the barrier material layer, and then the female mold is removed. The present invention relates to a method for manufacturing a barrier for a plasma display, comprising: forming a pattern made of a barrier material corresponding to the female concave portion on a substrate; and firing the pattern.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】本発明で使用される基板は、特に
制限はなく、例えば、セラミック板、プラスチック板、
ガラス板等が用いられる。この基板上には、電極、誘電
体層、保護層等が形成されていてもよい。電極を構成す
る材料としては、金、銀、銅、クロム、クロム−銅合金
等が用いられる。また、誘電体層材料としては、酸化
鉛、酸化硅素、酸化アルミ、酸化カルシウム、酸化マグ
ネシウム等が挙げられる。本発明で使用される雌型は、
作製されるべき障壁の形状に対応する凹部を有する。こ
の雌型を構成する材料としては特に制限はなく金属、セ
ラミック、プラスチック、ガラス等が挙げられるが、雌
型を除去する際の作業性の点から柔軟性のある、プラス
チックが好ましいものとして挙げられる。さらに、精度
の高い雌型として、シート状のプラスチック上に感光性
材料を塗布、乾燥し、所定のマスクを介して活性光線を
照射し、未硬化部分を現像により除去したものが挙げら
れる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The substrate used in the present invention is not particularly limited, and may be, for example, a ceramic plate, a plastic plate,
A glass plate or the like is used. An electrode, a dielectric layer, a protective layer, and the like may be formed on this substrate. Gold, silver, copper, chromium, chromium-copper alloy, or the like is used as a material forming the electrode. Examples of the dielectric layer material include lead oxide, silicon oxide, aluminum oxide, calcium oxide, and magnesium oxide. The female mold used in the present invention is
It has a recess corresponding to the shape of the barrier to be created. The material constituting the female mold is not particularly limited, and may be metal, ceramic, plastic, glass, or the like.Preferable is plastic, which is flexible in terms of workability when removing the female mold. . Further, as a high-precision female mold, there is a mold in which a photosensitive material is applied to a sheet-like plastic, dried, irradiated with an actinic ray through a predetermined mask, and an uncured portion is removed by development.

【0009】本発明における障壁材料は、無機材料、バ
インダ樹脂及び有機溶剤を必須成分とし、他に必要に応
じて、可塑剤、分散剤、密着性向上剤等の添加剤を含ん
でなる組成物である。障壁材料に使用される無機材料と
しては、ガラス粉末、アルミナ(Al23)、酸化チタ
ン、酸化亜鉛、酸化バリウム、酸化カリウム、酸化ナト
リウム、酸化カルシウム、酸化ジルコニウム、酸化カド
ミウム、酸化銅、酸化マグネシウム、酸化マンガン、酸
化ビスマス等の金属酸化物などが使用される。上記ガラ
ス粉末のガラス組成としては、PbO・B23・SiO
2、PbO・B23・ZnO・B23・SiO2等が挙げ
られる。これら無機材料の軟化点は、350〜1,00
0℃、粒度は、0.1〜5μmであることが、作業性、
障壁の強度等の点から好ましい。
The barrier material in the present invention is a composition comprising an inorganic material, a binder resin and an organic solvent as essential components and, if necessary, additives such as a plasticizer, a dispersant, and an adhesion improver. It is. Examples of the inorganic material used for the barrier material include glass powder, alumina (Al 2 O 3 ), titanium oxide, zinc oxide, barium oxide, potassium oxide, sodium oxide, calcium oxide, zirconium oxide, cadmium oxide, copper oxide, and oxide. Metal oxides such as magnesium, manganese oxide and bismuth oxide are used. The glass composition of the above glass powder is PbO.B 2 O 3 .SiO
2, PbO · B 2 O 3 · ZnO · B 2 O 3 · SiO 2 and the like. The softening point of these inorganic materials is 350 to 1,000.
0 ° C., the particle size is 0.1 to 5 μm,
It is preferable in terms of the strength of the barrier and the like.

【0010】障壁材料に使用されるバインダ樹脂として
は、特に制限なく公知の樹脂を使用しうるが、そのTg
が0〜50℃で、重量平均分子量が10,000〜18
0,000であることが好ましい。重量平均分子量が1
0,000未満であると、障壁材料からなるパターンの
強度が低下する傾向があり、一方、重量平均分子量が1
80,000を超えると障壁材料を調整する際溶剤に難
溶となり作業性が劣る傾向がある。また、Tgが0℃未
満であると、柔軟性が大きすぎて、障壁材料からなるパ
ターンが変形する傾向があり、一方、Tgが50℃を超
えると柔軟性が低下して、障壁材料からなるパターン一
部(特に角の部分)が欠ける傾向がある。なお、重量平
均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー
法により測定し、標準ポリスチレン検量線を用いて換算
した値である。バインダ樹脂として、アクリル系樹脂が
焼成時の熱分解性の良好な点で好ましい。また、バイン
ダ樹脂は、熱や光で2量化や重合して架橋する性質を有
していてもよい。
As the binder resin used for the barrier material, a known resin can be used without any particular limitation.
Is 0 to 50 ° C and the weight average molecular weight is 10,000 to 18
Preferably it is 000. Weight average molecular weight is 1
If it is less than 000, the strength of the pattern made of the barrier material tends to decrease, while the weight average molecular weight is 1
If it exceeds 80,000, it tends to be hardly soluble in a solvent when adjusting the barrier material, resulting in poor workability. When Tg is less than 0 ° C., the flexibility is too large, and the pattern formed of the barrier material tends to be deformed. On the other hand, when Tg exceeds 50 ° C., the flexibility is reduced and the barrier material is formed. Part of the pattern (especially corners) tends to be missing. The weight average molecular weight is a value measured by gel permeation chromatography and converted using a standard polystyrene calibration curve. As the binder resin, an acrylic resin is preferred because of its good thermal decomposability during firing. Further, the binder resin may have a property of being dimerized or polymerized by heat or light and crosslinked.

【0011】障壁材料中のバインダ樹脂の含有量は、無
機材料100重量部に対して3〜30重量部とすること
が好ましい。この含有量が3部未満であると、バインダ
ーとして機能せず、障壁材料からなるパターンが崩れる
傾向がある。また、30重量部を超えると、障壁材料中
の有機物を焼成により熱分解、消失させる工程でその熱
分解、消失前の溶融段階で流動性が過大となり障壁材料
からなるパターンの形状が変形する傾向がある。
The content of the binder resin in the barrier material is preferably 3 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the inorganic material. If the content is less than 3 parts, it does not function as a binder, and the pattern formed of the barrier material tends to be broken. On the other hand, if the amount exceeds 30 parts by weight, the flow of the organic matter in the barrier material is thermally decomposed and eliminated by firing, and the flowability becomes excessive in the melting stage before the thermal decomposition and disappearance, and the shape of the pattern formed of the barrier material tends to be deformed. There is.

【0012】障壁材料に使用される溶剤としては、例え
ば、トルエン、アセトン、メチルエチルケトン、メチル
イソブチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソル
ブ、γ−ブチルラクトン、N−メチルピロリドン、ジメ
チルホルムアミド、テトラメチルスルホン、ジエチレン
グリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモ
ノブチルエーテル、クロロホルム、塩化メチレン、メチ
ルアルコール、エチルアルコール、テトラリン、n−ブ
チルベンゼン、P−シメン、メチルナフタレン、シクロ
ヘキシルベンゼン、ジエチルベンゼン、ペンチルベンゼ
ン、ジペンチルベンゼン、P−メンタン、ビシクロヘキ
シル、ジペンテン、デカリン、ソルベッソ、テレピン油
等が挙げられる。これらは単独で又は2種類以上を組み
合わせて使用される。これらの有機溶剤のうちでも、高
沸点(170〜280℃)で非極性のものが、塗膜のレ
ベリング性が良好で雌形が樹脂で構成される場合これを
浸食せず好ましい。
Examples of the solvent used for the barrier material include toluene, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, γ-butyl lactone, N-methylpyrrolidone, dimethylformamide, tetramethyl sulfone, and diethylene glycol dimethyl ether. , Diethylene glycol monobutyl ether, chloroform, methylene chloride, methyl alcohol, ethyl alcohol, tetralin, n-butylbenzene, P-cymene, methylnaphthalene, cyclohexylbenzene, diethylbenzene, pentylbenzene, dipentylbenzene, P-menthane, bicyclohexyl, dipentene, Decalin, Solvesso, turpentine oil and the like. These are used alone or in combination of two or more. Among these organic solvents, non-polar ones having a high boiling point (170 to 280 ° C.) are preferable because they have good leveling properties of the coating film and do not erode when the female form is made of a resin.

【0013】障壁材料中の溶剤の含有量は、特に制限は
ないが、障壁材料の粘度が20〜200ポイズとなるよ
うな量を含有させることが好ましく、この量は、無機材
料100重量部に対して10〜100重量部程度であ
る。溶剤の含有量が10重量部未満であると組成物の粘
度が大きすぎて埋め込み性が低下する傾向があり、10
0重量部を超えると乾燥後の目減りが大きすぎる傾向が
ある。
Although the content of the solvent in the barrier material is not particularly limited, it is preferable that the content of the solvent is such that the viscosity of the barrier material is 20 to 200 poise, and this amount is based on 100 parts by weight of the inorganic material. On the other hand, it is about 10 to 100 parts by weight. When the content of the solvent is less than 10 parts by weight, the viscosity of the composition tends to be too large, and the embedding property tends to decrease.
If it exceeds 0 parts by weight, the loss after drying tends to be too large.

【0014】また、障壁材料は、基板への接着性の点か
らシランカップリング剤を含むことが好ましい。シラン
カップリング剤としては、例えば、γ−グリシドキシプ
ロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピル
トリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチル
ジメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジ
エトキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキ
シ)−エチルトリメトキシシラン、β−(3,4−エポ
キシシクロヘキシ)−エチルトリエトキシシラン等のエ
ポキシシランやN−β(アミノエチル)γ−アミノプロ
ピルトリメトキシシラン、N−β(アミノエチル)γ−
アミノプロピルトリエトキシシラン、N−β(アミノエ
チル)γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N
−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルメチルジエト
キシシン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N
−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン等
のアミノシランやγ−クロロプロピルトリメトキシシラ
ン、γ−クロロプロピルトリエトキシシラン、γ−クロ
ロプロピルメチルジメトキシシラン、γ−クロロプロピ
ルメチルジエトキシシラン等のクロロプロピルシランが
挙げられる。
It is preferable that the barrier material contains a silane coupling agent from the viewpoint of adhesiveness to the substrate. As the silane coupling agent, for example, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropyltriethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, Epoxysilanes such as β- (3,4-epoxycyclohexyl) -ethyltrimethoxysilane, β- (3,4-epoxycyclohexyl) -ethyltriethoxysilane and N-β (aminoethyl) γ-aminopropyltri Methoxysilane, N-β (aminoethyl) γ-
Aminopropyltriethoxysilane, N-β (aminoethyl) γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, N
-Β (aminoethyl) γ-aminopropylmethyldiethoxycin, γ-aminopropyltriethoxysilane, N
Aminophenyl such as -phenyl-γ-aminopropyltrimethoxysilane and chloropropyl such as γ-chloropropyltrimethoxysilane, γ-chloropropyltriethoxysilane, γ-chloropropylmethyldimethoxysilane, and γ-chloropropylmethyldiethoxysilane Silane.

【0015】障壁材料中のシランカップリング剤の含有
量は、無機材料100重量部に対して0.1〜5.0重
量部とすることが好ましい。0.1重量部未満である
と、接着性向上の効果が小さい傾向があり、5.0部を
超えると焼成時に残渣が残る傾向がある。
[0015] The content of the silane coupling agent in the barrier material is preferably 0.1 to 5.0 parts by weight based on 100 parts by weight of the inorganic material. If the amount is less than 0.1 part by weight, the effect of improving the adhesiveness tends to be small, and if it exceeds 5.0 parts, the residue tends to remain during firing.

【0016】以下、本発明によるプラズマディスプレイ
の障壁の製造の例を図2及び図3を用いて説明する。図
2(a)は、基板1上に形成された障壁材料の層4aを
示し、このような層は、例えば基板上に、障壁材料を塗
布し必要により乾燥することにより形成できる。塗布方
法としては、公知の方法を用いることができ、例えば、
ディップコート法、スピンコート法、ナイフコート法、
ロールコート法、スプレーコート法、バーコート法、カ
ーテンコート法等が挙げられる。図2(b)に障壁材料
の層4aに、凹部を有する雌型8を圧着させ障壁材料の
層4aを変形させた後の状態を示す。上記圧着させる方
法としては、特に制限なく公知の方法を用いることがで
き、例えばプレス法、ラミネート法等が挙げられる。こ
の際の温度、圧力は、特に制限はなく、強く圧着する
と、雌型8の凸部の上面が基板1に密着し、図2(b)
ではこの密着した状態を示している。なお、図2(b)
の雌型8は、ストライプ状の凹部を有するもので、図2
(b)は、ストライプ状の凹部の長手方向と垂直な面で
切った断面を示しており、雌型8のストライプ状の凹部
の長手方向の両端は、開いている。
Hereinafter, an example of manufacturing a barrier for a plasma display according to the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 2A shows a layer 4a of a barrier material formed on the substrate 1, and such a layer can be formed, for example, by applying the barrier material on the substrate and drying it if necessary. As a coating method, a known method can be used, for example,
Dip coating, spin coating, knife coating,
A roll coating method, a spray coating method, a bar coating method, a curtain coating method and the like can be mentioned. FIG. 2B shows a state after the female mold 8 having a concave portion is pressed against the barrier material layer 4a to deform the barrier material layer 4a. A known method can be used as the method for pressure bonding without any particular limitation, and examples thereof include a pressing method and a laminating method. The temperature and the pressure at this time are not particularly limited, and when strongly pressed, the upper surface of the convex portion of the female mold 8 comes into close contact with the substrate 1 and FIG.
Shows this close contact state. FIG. 2 (b)
The female mold 8 of FIG.
(B) shows a cross section taken along a plane perpendicular to the longitudinal direction of the stripe-shaped concave portion, and both ends of the female-shaped strip-shaped concave portion in the longitudinal direction are open.

【0017】図2(c)は雌型8を除去して障壁材料か
らなるパターン4bが基板1上に形成された状態を示
す。図2(d)は前記パターンを焼成して基板1上に障
壁4が形成された状態を示す。焼成は障壁材料からなる
パターン4bから樹脂バインダ等の有機物を除去し、強
度、ガス不透過性等を向上する目的で行われる。焼成の
温度と時間は、350〜580℃、1〜20時間程度で
ある。このようにして製造された基板1上の障壁4の厚
さ(高さ)は、50〜250μmであり、その幅は20
〜150μm程度である。
FIG. 2C shows a state in which the female mold 8 is removed and a pattern 4b made of a barrier material is formed on the substrate 1. FIG. 2D shows a state in which the pattern is baked to form a barrier 4 on the substrate 1. The firing is performed for the purpose of removing organic substances such as a resin binder from the pattern 4b made of the barrier material and improving the strength, gas impermeability, and the like. The firing temperature and time are about 350 to 580 ° C and about 1 to 20 hours. The thickness (height) of the barrier 4 on the substrate 1 thus manufactured is 50 to 250 μm, and the width thereof is 20 μm.
About 150 μm.

【0018】また、図2を用いて説明した上記とは別
で、弱く圧着し、雌型8の凸部の上面が基板と密着しな
い場合を、図3(a)〜(d)として示す。この場合
は、基板1は露出面なく障壁材料で覆われることにな
る。この場合、障壁部分を除いた部分であって基板上に
比較的薄い一定の厚さで存在する障壁材料の層は焼成後
誘電体層として働くため、障壁と誘電体層が一体化され
たものを一工程で一度に作成できる。
FIGS. 3 (a) to 3 (d) show a case where the upper surface of the convex portion of the female die 8 does not come into close contact with the substrate, which is different from the above described with reference to FIG. In this case, the substrate 1 is covered with a barrier material without an exposed surface. In this case, the layer of the barrier material, which is a portion excluding the barrier portion and has a relatively small thickness on the substrate, functions as a dielectric layer after firing, so that the barrier and the dielectric layer are integrated. Can be created at once in one process.

【0019】[0019]

【実施例】以下、実施例により本発明を説明する。The present invention will be described below with reference to examples.

【0020】製造例1〔雌型の製作〕 メタクリル酸メチル/アクリル酸エチル/メタクリル酸
共重合体(重量比53/30/17、重量平均分子量1
0万)の41重量部メチルセロソルブ/トルエン(重量
比8:2)溶液137g(固形分55g)、2,2−ビ
ス〔4−(メタクリロキシペンタエトキシ)フェニル〕
プロパン34g、γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル
−β−メタクリロイルオキシエチル−o−フタレート1
1g、2,2′−メチレンビス(4−エチル−6−t−
ブチルフェノール)0.1g、トリブロモメチルフェニ
ルスルフォン1.2g、シリコーンレベリング剤(トー
レシリコン(株)製、SH−193)0.04g、1,
7−ビス(9−アクリジニル)ヘプタン0.2g、ベン
ジルメチルケタール3g、ロイコクリスタルバイオレッ
ト1.0g、マラカイトグリーン0.05g、トルエン
7g、メチルエチルケトン13g及びメタノール3gを
配合し、感光性樹脂組成物の溶液を得た。
Production Example 1 [Production of Female Die] Methyl methacrylate / ethyl acrylate / methacrylic acid copolymer (weight ratio 53/30/17, weight average molecular weight 1)
000 g) in 41 parts by weight of methyl cellosolve / toluene (weight ratio 8: 2) 137 g (solid content 55 g), 2,2-bis [4- (methacryloxypentaethoxy) phenyl]
34 g of propane, γ-chloro-β-hydroxypropyl-β-methacryloyloxyethyl-o-phthalate 1
1 g, 2,2'-methylenebis (4-ethyl-6-t-
Butylphenol) 0.1 g, tribromomethylphenylsulfone 1.2 g, silicone leveling agent (SH-193, manufactured by Toray Silicon Co., Ltd.) 0.04 g, 1,
0.2 g of 7-bis (9-acridinyl) heptane, 3 g of benzyl methyl ketal, 1.0 g of leuco crystal violet, 0.05 g of malachite green, 7 g of toluene, 13 g of methyl ethyl ketone and 3 g of methanol, and a solution of a photosensitive resin composition I got

【0021】この感光性樹脂組成物の溶液を50μm厚
のポリエチレンテレフタレートフィルム(PET)上に
均一に塗布し、110℃の熱風対流式乾燥機で約10分
間乾燥して感光性フィルムを得た。乾燥後の感光層の膜
厚は75μmであった。次いで、得られた感光性フィル
ム2枚の感光層同士を貼りあわせ、厚さ150μmの感
光層が厚さ50μmのPET2枚に挟まれた感光性エレ
メントが得られた。
The solution of the photosensitive resin composition was uniformly coated on a 50 μm-thick polyethylene terephthalate film (PET) and dried with a hot air convection dryer at 110 ° C. for about 10 minutes to obtain a photosensitive film. The thickness of the photosensitive layer after drying was 75 μm. Next, the two photosensitive layers obtained were laminated together to obtain a photosensitive element in which a 150 μm-thick photosensitive layer was sandwiched between two 50 μm-thick PETs.

【0022】この感光性エレメントの一方のPET上に
ネガマスクを載置し、3kW高圧水銀灯(HMW−59
0、(株)オーク製作所製)で80mJ/cm2の露光を行い、
露光後5分以内に80℃で10分間加熱した。次いで、
ネガマスクを載置したのと反対側のPETを剥がした
後、30℃、1重量%炭酸ナトリウム水溶液でスプレー
現像を行った。さらに、1重量%クエン酸水溶液(20
℃)に2分間浸漬処理した後、水洗、水切りし、80℃
で5分間乾燥後、7kWメタルハライドランプ(HMW−
680、(株)オーク製作所製)で2000mJ/cm2露光を
行った後、150℃で100分加熱して、PET上にス
トライプ状レジストパターン(ライン/スペース=15
0μm/70μm、厚さ150μm)の形成された雌型
を得た。
A negative mask is placed on one PET of this photosensitive element, and a 3 kW high-pressure mercury lamp (HMW-59) is used.
0, manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) at 80 mJ / cm 2
Heated at 80 ° C. for 10 minutes within 5 minutes after exposure. Then
After peeling off the PET on the side opposite to the side on which the negative mask was placed, spray development was performed with a 1% by weight aqueous solution of sodium carbonate at 30 ° C. Furthermore, a 1% by weight aqueous citric acid solution (20
C.) for 2 minutes, then washed with water, drained, and
After drying for 5 minutes with a 7kW metal halide lamp (HMW-
680, Ltd. After 2000 mJ / cm 2 exposure in oak Seisakusho) and heated 100 minutes at 0.99 ° C., striped resist pattern on PET (line / space = 15
(0 μm / 70 μm, thickness 150 μm) was obtained.

【0023】製造例2〔障壁材料の調製〕 表1に示された材料をライカイ機に投入し15分間混練
してペースト状の障壁材料を得た。
Production Example 2 [Preparation of Barrier Material] The materials shown in Table 1 were put into a Raikai machine and kneaded for 15 minutes to obtain a paste-like barrier material.

【0024】[0024]

【表1】 [Table 1]

【0025】実施例1 〔(a)基板上に障壁材料の層を形成する工程〕 200mm×200mm×2mmのソーダガラス基板上に、製
造例2で得た障壁材料をバーコータを用いて全面に塗布
した。次いで、5トール以下で3分間の減圧脱泡を行っ
た後、室温で30分間放置し基板上に障壁材料の層を形
成た。塗布厚は150μmであった。
Example 1 [(a) Step of Forming Barrier Material Layer on Substrate] The barrier material obtained in Production Example 2 was applied to the entire surface of a 200 mm × 200 mm × 2 mm soda glass substrate using a bar coater. did. Next, after performing degassing under reduced pressure at 5 Torr or less for 3 minutes, the substrate was left at room temperature for 30 minutes to form a barrier material layer on the substrate. The coating thickness was 150 μm.

【0026】〔(b)凹部を有する雌型を圧着させて前
記障壁材料の層を変形させる工程〕 前記の工程で作製した、障壁材料組成物が塗布されたソ
ーダガラス基板上に製造例1で得た雌型を障壁材料の層
と雌型のストライプ状の空隙が開口している面が接する
ように配置し、次いで、ストライプと垂直にラミネータ
ロールが接するように線圧5×103N/mでラミネートし
てソーダガラス基板と雌型を圧着させて前記障壁材料の
層を変形させた(図2(b)に対応)。
[(B) Step of deforming the barrier material layer by pressing a female mold having a concave portion] On the soda glass substrate coated with the barrier material composition produced in the above-described step, the production example 1 was carried out. The obtained female mold is arranged so that the layer of the barrier material and the surface of the female strip-shaped void are in contact with each other, and then the linear pressure is 5 × 10 3 N / so that the laminator roll is perpendicular to the stripe. Then, the soda glass substrate was pressed against the female mold to deform the layer of the barrier material (corresponding to FIG. 2B).

【0027】〔(c)雌型を除去する工程〕 雌型の端部の空隙から染み出した障壁材料を除去した
後、雌型をストライプの長手方向に沿って、基板端部か
ら引き剥がし、ストライプ状の障壁材料からなるパター
ンが形成されたソーダガラス基板を得た。
[(C) Step of Removing Female Die] After removing the barrier material that has permeated from the void at the end of the female die, the female die is peeled off from the end of the substrate along the longitudinal direction of the stripe, A soda glass substrate on which a pattern made of a striped barrier material was formed was obtained.

【0028】〔(d)焼成工程〕 前記の(c)工程で作製した、ストライプ状の障壁材料
からなるパターンが形成されたソーダガラス基板を空気
中で、室温から380℃まで昇温速度が3℃/分で昇温
し、380℃で30分間保持、さらに550℃まで昇温
速度が5℃/分で昇温し、550℃で30分間保持後、
室温まで自然冷却することにより焼成して、障壁が形成
されたソーダガラス基板を製造した。得られた障壁が形
成されたソーダガラス基板の断面を電子顕微鏡(SE
M)で観察したところ図2(d)に示される様なストラ
イプ状の障壁が良好に形成されていることが確認され
た。
[(D) Firing Step] The soda glass substrate on which the pattern made of the striped barrier material formed in the above-mentioned step (c) is formed is heated at a temperature rising rate from room temperature to 380 ° C. C./min., Hold at 380.degree. C. for 30 minutes, and further increase the temperature up to 550.degree. C. at a rate of 5.degree. C./min.
The soda glass substrate on which the barrier was formed was manufactured by firing by naturally cooling to room temperature. A cross section of the soda glass substrate on which the obtained barrier is formed is observed with an electron microscope (SE).
Observation in (M) confirmed that a striped barrier as shown in FIG. 2D was well formed.

【0029】[0029]

【発明の効果】請求項1記載のプラズマディスプレイパ
ネルの障壁の製造法は、プラズマディスプレイパネルの
障壁形成を簡便に、且つ、高精度な形状を保持して行う
ことが出来るものである。
According to the method for manufacturing a barrier of a plasma display panel according to the first aspect, the barrier of the plasma display panel can be easily formed while maintaining a highly accurate shape.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】AC型PDPの断面模式図。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of an AC type PDP.

【図2】本発明によるプラズマディスプレイパネルの障
壁の製造の一例を示した断面模式図。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing an example of manufacturing a barrier of a plasma display panel according to the present invention.

【図3】本発明によるプラズマディスプレイパネルの障
壁の製造の他の一例を示した断面模式図。
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing another example of manufacturing a barrier of the plasma display panel according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2 透明電極 3 データ電極 4 障壁 4a 障壁材料の層 4b 障壁材料からなるパターン 5 蛍光体 6 誘電体層 7 保護膜 8 雌型 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Transparent electrode 3 Data electrode 4 Barrier 4a Barrier material layer 4b Barrier material pattern 5 Phosphor 6 Dielectric layer 7 Protective film 8 Female type

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 丹野 清吉 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社山崎工場内 (72)発明者 須藤 鉄也 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社山崎工場内 (72)発明者 向 郁夫 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社山崎工場内 (72)発明者 藤枝 忠恭 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社山崎工場内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Kiyoyoshi Tanno 4-3-1-1, Higashicho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture Inside the Hitachi Chemical Co., Ltd. Yamazaki Plant (72) Inventor Tetsuya Sudo 4--13 Higashicho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture No. 1 Hitachi Chemical Co., Ltd. Yamazaki Plant (72) Inventor Ikuo Mukai 4-3-1 Higashicho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture Hitachi Chemical Co., Ltd. Yamazaki Plant (72) Inventor Tadayoshi Fujieda Hitachi City, Ibaraki Prefecture 4-13-1, Higashicho Hitachi Chemical Co., Ltd. Yamazaki Plant

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板上に形成された障壁材料の層に、凹
部を有する雌型を圧着させて前記障壁材料の層を変形さ
せた後雌型を除去し、前記雌型の凹部に対応する障壁材
料からなるパターンを基板上に形成し、このパターンを
焼成することを特徴とするプラズマディスプレイの障壁
の製造法。
1. A female mold having a recess is pressed against a layer of a barrier material formed on a substrate to deform the barrier material layer, and the female mold is removed. A method of manufacturing a barrier for a plasma display, comprising: forming a pattern made of a barrier material on a substrate; and firing the pattern.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030017246A (en) * 2001-08-24 2003-03-03 주식회사 유피디 Fabrication method of soft mold for barrier rib in plasma display panel and method of forming barrier rib using the soft mold
JP2007513467A (en) * 2003-10-31 2007-05-24 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー Method for forming microstructure group on substrate and microstructure assembly used in the method
US7264526B2 (en) 2002-07-15 2007-09-04 Lg Electronics Inc. Method of manufacturing barrier ribs for PDP by capillary molding of paste and paste compositions therefor

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