JP6591712B2 - Substrate processing apparatus, semiconductor device manufacturing method, and recording medium - Google Patents
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Description
本発明は、基板処理装置、半導体装置の製造方法および記録媒体に関するものである。 The present invention relates to a substrate processing apparatus, a semiconductor device manufacturing method, and a recording medium.
半導体装置(デバイス)の製造工程における基板処理では、例えば、複数枚の基板を一括して処理する縦型基板処理装置が使用されている。基板処理装置のメンテナンスの際には、基板処理装置周辺にメンテナンスエリアを確保する必要があり、メンテナンスエリアを確保するために、基板処理装置のフットプリントが大きくなってしまう場合がある(例えば、特許文献1)。 In substrate processing in a manufacturing process of a semiconductor device (device), for example, a vertical substrate processing apparatus that processes a plurality of substrates at once is used. During maintenance of the substrate processing apparatus, it is necessary to secure a maintenance area around the substrate processing apparatus, and the footprint of the substrate processing apparatus may become large in order to secure the maintenance area (for example, patents) Reference 1).
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、メンテナンスエリアを確保しつつフットプリントを低減させることが可能な技術を提供することにある。 This invention is made | formed in view of such a situation, The objective is to provide the technique which can reduce a footprint, ensuring a maintenance area.
本発明の一態様によれば、
基板処理用の第1の処理容器と、前記第1の処理容器の下方に配置され、前記第1の処理容器内外に基板を搬入出する第1の搬送室とを有する第1の処理モジュールと、
基板処理用の第2の処理容器と、前記第2の処理容器の下方に配置され、前記第2の処理容器内外に基板を搬入出する第2の搬送室を有し、前記第1の処理モジュールに隣接して配置される第2の処理モジュールと、
前記第1の処理容器内を排気する第1の排気系と、前記第1の処理容器内に処理ガスを供給する第1の供給系を含み、前記第1の処理モジュール背面に隣接して配置される第1のユーティリティ系と、
前記第2の処理容器内を排気する第2の排気系と、前記第2の処理容器内に処理ガスを供給する第2の供給系を含み、前記第2の処理モジュール背面に隣接して配置される第2のユーティリティ系と、
前記第1の搬送室の正面側及び前記第2の搬送室の正面側に隣接し、前記第1の搬送室内の第1の基板保持具及び前記第2の搬送室内の第2の基板保持具に前記基板を移載する移載室と、
を備えた基板処理装置であって、
前記第1の処理モジュール及び前記第2の処理モジュールの背面方向には、前記第1のユーティリティ系及び前記第2のユーティリティ系の間において、前記第1の処理モジュール、前記第2の処理モジュール及び前記移載室に対して共通に使用されるメンテナンスエリアが形成される技術が提供される。
According to one aspect of the invention,
A first processing module having a first processing container for processing a substrate, and a first transfer chamber which is disposed below the first processing container and carries the substrate into and out of the first processing container; ,
A second processing chamber for processing a substrate; and a second transfer chamber that is disposed below the second processing chamber and carries the substrate into and out of the second processing chamber. A second processing module disposed adjacent to the module;
A first exhaust system that exhausts the interior of the first processing container; and a first supply system that supplies a processing gas into the first processing container, and is disposed adjacent to the back surface of the first processing module. A first utility system,
A second exhaust system for exhausting the inside of the second processing container; and a second supply system for supplying a processing gas into the second processing container, and disposed adjacent to the rear surface of the second processing module. A second utility system,
A first substrate holder in the first transfer chamber and a second substrate holder in the second transfer chamber that are adjacent to the front side of the first transfer chamber and the front side of the second transfer chamber. A transfer chamber for transferring the substrate to
A substrate processing apparatus comprising:
In the back direction of the first processing module and the second processing module, the first processing module, the second processing module, and the like between the first utility system and the second utility system, A technique is provided in which a maintenance area that is commonly used for the transfer chamber is formed.
本発明によれば、メンテナンスエリアを確保しつつフットプリントを低減させることが可能となる。 According to the present invention, it is possible to reduce the footprint while securing the maintenance area.
以下、図面を参照しながら、本発明の限定的でない例示の実施形態について説明する。全図面中、同一または対応する構成については、同一または対応する参照符号を付し、重複する説明を省略する。また、後述する収納室9側を正面側(前側)、後述する搬送室6A、6B側を背面側(後ろ側)とする。さらに、後述する処理モジュール3A、3Bの境界線(隣接面)に向う側を内側、境界線から離れる側を外側とする。
Hereinafter, non-limiting exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In all the drawings, the same or corresponding components are denoted by the same or corresponding reference numerals, and redundant description is omitted. Further, the
本実施形態において、基板処理装置は、半導体装置(デバイス)の製造方法における製造工程の一工程として熱処理等の基板処理工程を実施する縦型基板処理装置(以下、処理装置と称する)2として構成されている。 In the present embodiment, the substrate processing apparatus is configured as a vertical substrate processing apparatus (hereinafter referred to as a processing apparatus) 2 that performs a substrate processing process such as a heat treatment as one process of the manufacturing process in the method of manufacturing a semiconductor device (device). Has been.
図1、2に示すように、処理装置2は隣接する2つの処理モジュール3A、3Bを備えている。処理モジュール3Aは、処理炉4Aと搬送室6Aにより構成される。処理モジュール3Bは、処理炉4Bと搬送室6Bにより構成される。処理炉4A、4Bの下方には、搬送室6A、6Bがそれぞれ配置されている。搬送室6A、6Bの正面側に隣接して、ウエハWを移載する移載機7を備える移載室8が配置されている。移載室8の正面側には、ウエハWを複数枚収納するポッド(フープ)5を収納する収納室9が連結されている。収納室9の全面にはI/Oポート22が設置され、I/Oポート22を介して処理装置2内外にポッド5が搬入出される。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
搬送室6A、6Bと移載室8との境界壁(隣接面)には、ゲートバルブ90A、90Bがそれぞれ設置される。移載室8内および搬送室6A、6B内には圧力検知器がそれぞれに設置されており、移載室8内の圧力は、搬送室6A、6B内の圧力よりも低くなるように設定されている。また、移載室8内および搬送室6A、6B内には酸素濃度検知器がそれぞれに設置されており、移載室8A内および搬送室6A、6B内の酸素濃度は大気中における酸素濃度よりも低く維持されている。移載室8の天井部には、移載室8内にクリーンエアを供給するクリーンユニット62Cが設置されており、移載室8内にクリーンエアとして、例えば、不活性ガスを循環させるように構成されている。移載室8内を不活性ガスにて循環パージすることにより、移載室8内を清浄な雰囲気とすることができる。このような構成により、移載室8内に搬送室6A、6B内のパーティクル等が混入することを抑制することができ、移載室8内および搬送室6A、6B内でウエハW上に自然酸化膜が形成されることを抑制することができる。
処理モジュール3Aおよび処理モジュール3Bは同一の構成を備えるため、以下においては、代表して処理モジュール3Aについてのみ説明する。 Since the processing module 3A and the processing module 3B have the same configuration, only the processing module 3A will be described below as a representative.
図4に示すように、処理炉4Aは、円筒形状の反応管10Aと、反応管10Aの外周に設置された加熱手段(加熱機構)としてのヒータ12Aとを備える。反応管は、例えば石英やSiCにより形成される。反応管10Aの内部には、基板としてのウエハWを処理する処理室14Aが形成される。反応管10Aには、温度検出器としての温度検出部16Aが設置される。温度検出部16Aは、反応管10Aの内壁に沿って立設されている。
As shown in FIG. 4, the
基板処理に使用されるガスは、ガス供給系としてのガス供給機構34Aによって処理室14A内に供給される。ガス供給機構34Aが供給するガスは、成膜される膜の種類に応じて換えられる。ここでは、ガス供給機構34Aは、原料ガス供給部、反応ガス供給部および不活性ガス供給部を含む。ガス供給機構34Aは後述する供給ボックス72Aに収納されている。
The gas used for substrate processing is supplied into the
原料ガス供給部は、ガス供給管36aを備え、ガス供給管36aには、上流方向から順に、流量制御器(流量制御部)であるマスフローコントローラ(MFC)38aおよび開閉弁であるバルブ40aが設けられている。ガス供給管36aはマニホールド18の側壁を貫通するノズル44aに接続される。ノズル44aは、反応管10内に上下方向に沿って立設し、ボート26に保持されるウエハWに向かって開口する複数の供給孔が形成されている。ノズル44aの供給孔を通してウエハWに対して原料ガスが供給される。
The raw material gas supply unit includes a
以下、同様の構成にて、反応ガス供給部からは、供給管36b、MFC38b、バルブ40bおよびノズル44bを介して、反応ガスがウエハWに対して供給される。不活性ガス供給部からは、供給管36c、36d、MFC38c、38d、バルブ40c、40dおよびノズル44a、44bを介して、ウエハWに対して不活性ガスが供給される。
Thereafter, the reaction gas is supplied from the reaction gas supply unit to the wafer W through the supply pipe 36b, the MFC 38b, the
反応管10Aの下端開口部には、円筒形のマニホールド18Aが、Oリング等のシール部材を介して連結され、反応管10Aの下端を支持している。マニホールド18Aの下端開口部は円盤状の蓋部22Aによって開閉される。蓋部22Aの上面にはOリング等のシール部材が設置されており、これにより、反応管10A内と外気とが気密にシールされる。蓋部22A上には断熱部24Aが載置される。
A cylindrical manifold 18A is connected to the lower end opening of the reaction tube 10A via a seal member such as an O-ring to support the lower end of the reaction tube 10A. The lower end opening of the manifold 18A is opened and closed by a disc-shaped
マニホールド18Aには、排気管46Aが取り付けられている。排気管46Aには、処理室14A内の圧力を検出する圧力検出器(圧力検出部)としての圧力センサ48Aおよび圧力調整器(圧力調整部)としてのAPC(Auto Pressure Controller)バルブ40Aを介して、真空排気装置としての真空ポンプ52Aが接続されている。このような構成により、処理室14A内の圧力を処理に応じた処理圧力とすることができる。主に、排気管46A、APCバルブ40A、圧力センサ48Aにより、排気系Aが構成される。排気系Aは後述する排気ボックス74Aに収納されている。
An
処理室14Aは、複数枚、例えば25〜150枚のウエハWを垂直に棚状に支持する基板保持具としてのボート26Aを内部に収納する。ボート26Aは、蓋部22Aおよび断熱部24Aを貫通する回転軸28Aにより、断熱部24Aの上方に支持される。回転軸28Aは蓋部22Aの下方に設置された回転機構30Aに接続されており、回転軸28Aは反応管10Aの内部を気密にシールした状態で回転可能に構成される。蓋部22は昇降機構としてのボートエレベータ32Aにより上下方向に駆動される。これにより、ボート26Aおよび蓋部22Aが一体的に昇降され、反応管10Aに対してボート26Aが搬入出される。
The
ボート26AへのウエハWの移載は搬送室6Aで行われる。図3に示すように、搬送室6A内の一側面(搬送室6Aの外側側面、搬送室6Bに面する側面と反対側の側面)には、クリーンユニット60Aが設置されており、搬送室6A内にクリーンエア(例えば、不活性ガス)を循環させるように構成されている。搬送室6A内に供給された不活性ガスは、ボート26Aを挟んでクリーンユニット60Aと対面する側面(搬送室6Bに面する側面)に設置された排気部62Aによって搬送室6A内から排気され、クリーンユニット60Aから搬送室6A内に再供給される(循環パージ)。搬送室6A内の圧力は移載室8内の圧力よりも低くなるように設定されている。また、搬送室6A内の酸素濃度は、大気中における酸素濃度よりも低くなるように設定されている。このような構成により、ウエハWの搬送作業中にウエハW上に自然酸化膜が形成されることを抑制することができる。
The transfer of the wafer W to the
回転機構30A、ボートエレベータ32A、ガス供給機構34AのMFC38a〜dおよびバルブ40a〜d、APCバルブ50Aには、これらを制御するコントローラ100が接続される。コントローラ100は、例えば、CPUを備えたマイクロプロセッサ(コンピュータ)からなり、処理装置2の動作を制御するよう構成される。コントローラ100には、例えばタッチパネル等として構成された入出力装置102が接続されている。コントローラ100は、処理モジュール3Aと処理モジュール3Bとで夫々に1つずつ設置されても良いし、共通して1つ設置されても良い。
A
コントローラ100には記憶媒体としての記憶部104が接続されている。記憶部104には、処理装置10の動作を制御する制御プログラムや、処理条件に応じて処理装置2の各構成部に処理を実行させるためのプログラム(レシピとも言う)が、読み出し可能に格納される。
A
記憶部104は、コントローラ100に内蔵された記憶装置(ハードディスクやフラッシュメモリ)であってもよいし、可搬性の外部記録装置(磁気テープ、フレキシブルディスクやハードディスク等の磁気ディスク、CDやDVD等の光ディスク、MO等の光磁気ディスク、USBメモリやメモリカード等の半導体メモリ)であってもよい。また、コンピュータへのプログラムの提供は、インターネットや専用回線等の通信手段を用いて行ってもよい。プログラムは、必要に応じて、入出力装置102からの指示等にて記憶部104から読み出され、読み出されたレシピに従った処理をコントローラ100が実行することで、処理装置2は、コントローラ100の制御のもと、所望の処理を実行する。コントローラ100は、コントローラボックス76A、76Bに収納される。
The
次に、上述の処理装置2を用い、基板上に膜を形成する処理(成膜処理)について説明する。ここでは、ウエハWに対して、原料ガスとしてDCS(SiH2 Cl2 :ジクロロシラン)ガスと、反応ガスとしてO2 (酸素)ガスとを供給することで、ウエハW上にシリコン酸化(SiO2)膜を形成する例について説明する。なお、以下の説明において、処理装置2を構成する各部の動作はコントローラ100により制御される。
Next, a process (film forming process) for forming a film on the substrate using the
(ウエハチャージおよびボートロード)
ゲートバルブ90Aを開き、ボート20Aに対してウエハWを搬送する。複数枚のウエハWがボート26Aに装填(ウエハチャージ)されると、ゲートバルブ90Aが閉じられる。ボート26Aは、ボートエレベータ32Aによって処理室14内に搬入(ボートロード)され、反応管10Aの下部開口は蓋部22Aによって気密に閉塞(シール)された状態となる。
(Wafer charge and boat load)
The
(圧力調整および温度調整)
処理室14A内が所定の圧力(真空度)となるように、真空ポンプ52Aによって真空排気(減圧排気)される。処理室14A内の圧力は、圧力センサ48Aで測定され、この測定された圧力情報に基づきAPCバルブ50Aが、フィードバック制御される。また、処理室14A内のウエハWが所定の温度となるように、ヒータ12Aによって加熱される。この際、処理室14Aが所定の温度分布となるように、温度検出部16Aが検出した温度情報に基づきヒータ12Aへの通電具合がフィードバック制御される。また、回転機構30Aによるボート26AおよびウエハWの回転を開始する。
(Pressure adjustment and temperature adjustment)
The
(成膜処理)
[原料ガス供給工程]
処理室14A内の温度が予め設定された処理温度に安定すると、処理室14A内のウエハWに対してDCSガスを供給する。DCSガスは、MFC38aにて所望の流量となるように制御され、ガス供給管36aおよびノズル44aを介して処理室14A内に供給される。
(Deposition process)
[Raw gas supply process]
When the temperature in the
[原料ガス排気工程]
次に、DCSガスの供給を停止し、真空ポンプ52Aにより処理室14A内を真空排気する。この時、不活性ガス供給部から不活性ガスとしてN2ガスを処理室14A内に供給しても良い(不活性ガスパージ)。
[Raw material gas exhaust process]
Next, the supply of DCS gas is stopped, and the inside of the
[反応ガス供給工程]
次に、処理室14A内のウエハWに対してO2ガスを供給する。O2ガスは、MFC38bにて所望の流量となるように制御され、ガス供給管36bおよびノズル44bを介して処理室14A内に供給される。
[Reactive gas supply process]
Next, O 2 gas is supplied to the wafer W in the
[反応ガス排気工程]
次に、O2ガスの供給を停止し、真空ポンプ52Aにより処理室14A内を真空排気する。この時、不活性ガス供給部からN2ガスを処理室14A内に供給しても良い(不活性ガスパージ)。
[Reactant gas exhaust process]
Next, the supply of O 2 gas is stopped, and the inside of the
上述した4つの工程を行うサイクルを所定回数(1回以上)行うことにより、ウエハW上に、所定組成および所定膜厚のSiO2膜を形成することができる。 By performing a cycle of performing the above-described four steps a predetermined number of times (one or more times), a SiO 2 film having a predetermined composition and a predetermined film thickness can be formed on the wafer W.
(ボートアンロードおよびウエハディスチャージ)
所定膜厚の膜を形成した後、不活性ガス供給部からN2ガスが供給され、処理室14A内がN2ガスに置換されると共に、処理室14Aの圧力が常圧に復帰される。その後、ボートエレベータ32Aにより蓋部22Aが降下されて、ボート26Aが反応管10Aから搬出(ボートアンロード)される。その後、処理済ウエハWはボート26Aより取出される(ウエハディスチャージ)。
(Boat unload and wafer discharge)
After forming a film with a predetermined thickness, N 2 gas is supplied from the inert gas supply unit, the inside of the
その後、ウエハWはポッド5に収納され処理装置2外に搬出されても良いし、処理炉4Bへ搬送され、例えば、アニール等の基板処理が連続して行われても良い。処理炉4AでのウエハWの処理後に連続して処理炉4BでウエハWの処理を行う場合、ゲートバルブ90Aおよび90Bを開とし、ボート26Aからボート26BへウエハWが直接搬送される。その後の処理炉4B内へのウエハWの搬入出は、上述の処理炉4Aによる基板処理と同様の手順にて行われる。また、処理炉4B内での基板処理は、例えば、上述の処理炉4Aによる基板処理と同様の手順にて行われる。
Thereafter, the wafer W may be stored in the
ウエハWにSiO2膜を形成する際の処理条件としては、例えば、下記が例示される。
処理温度(ウエハ温度):300℃〜700℃、
処理圧力(処理室内圧力)1Pa〜4000Pa、
DCSガス:100sccm〜10000sccm、
O2ガス:100sccm〜10000sccm、
N2ガス:100sccm〜10000sccm、
それぞれの処理条件を、それぞれの範囲内の値に設定することで、成膜処理を適正に進行させることが可能となる。
Examples of processing conditions for forming the SiO 2 film on the wafer W include the following.
Processing temperature (wafer temperature): 300 ° C. to 700 ° C.,
Processing pressure (processing chamber pressure) 1 Pa to 4000 Pa,
DCS gas: 100 sccm to 10000 sccm,
O 2 gas: 100 sccm to 10000 sccm,
N 2 gas: 100 sccm to 10000 sccm,
By setting each processing condition to a value within the respective range, it is possible to appropriately progress the film forming process.
次に、処理装置2の背面構成について説明する。
例えば、ボート26が破損した場合には、ボート26を交換する必要がある。また、反応管10が破損した場合や、反応管10のクリーニングが必要な場合は、反応管10を取り外す必要がある。このように、搬送室6や処理炉4におけるメンテナンスを実施する場合には、処理装置2の背面側のメンテナンスエリアからメンテナンスを行う。
Next, the back configuration of the
For example, when the boat 26 is damaged, it is necessary to replace the boat 26. Further, when the reaction tube 10 is damaged or when the reaction tube 10 needs to be cleaned, it is necessary to remove the reaction tube 10. Thus, when performing maintenance in the transfer chamber 6 and the processing furnace 4, the maintenance is performed from the maintenance area on the back side of the
図1に示すように、搬送室6A、6Bの背面側には、メンテナンス口78A、78Bがそれぞれ形成されている。メンテナンス口78Aは搬送室6Aの搬送室6B側に形成され、メンテナンス口78Bは搬送室6Bの搬送室6A側に形成される。メンテナンス口78A、78Bはメンテナンス扉80A、80Bにより開閉される。メンテナンス扉80A、80Bはヒンジ82A、82Bを基軸として回動可能に構成される。ヒンジ82Aは搬送室6Aの搬送室6B側に設置され、ヒンジ82Bは搬送室6Bの搬送室6A側に設置される。すなわち、ヒンジ82A、82Bは搬送室6A、6Bの背面側の隣接面に位置する内側角部付近に互いに隣接するように設置される。メンテナンスエリアは処理モジュール3A背面における処理モジュール3B側と処理モジュール3B背面における処理モジュール3A側とに形成されている。 As shown in FIG. 1, maintenance ports 78A and 78B are formed on the back sides of the transfer chambers 6A and 6B, respectively. The maintenance port 78A is formed on the transfer chamber 6B side of the transfer chamber 6A, and the maintenance port 78B is formed on the transfer chamber 6A side of the transfer chamber 6B. Maintenance ports 78A and 78B are opened and closed by maintenance doors 80A and 80B. The maintenance doors 80A and 80B are configured to be rotatable about the hinges 82A and 82B. The hinge 82A is installed on the transfer chamber 6B side of the transfer chamber 6A, and the hinge 82B is installed on the transfer chamber 6A side of the transfer chamber 6B. That is, the hinges 82A and 82B are installed so as to be adjacent to each other in the vicinity of the inner corner located on the adjacent surface on the back side of the transfer chambers 6A and 6B. The maintenance area is formed on the processing module 3B side on the back side of the processing module 3A and on the processing module 3A side on the back side of the processing module 3B.
想像線で示すように、メンテナンス扉80A、80Bがヒンジ82A、82Bを中心にして搬送室6A、6Bの背面側後方に水平に回動されることにより、背面メンテナンス口78A、78Bが開かれる。メンテナンス扉80Aは、搬送室6Aに向かって左開きに180°まで開放可能なように構成される。メンテナンス扉80Bは、搬送室6Bに向かって右開きに180°まで開放可能なように構成される。すなわち、搬送室6Aに向かって、メンテナンス扉80Aは時計回りに回動し、メンテナンス扉80Bは反時計回りに回動する。言い換えれば、メンテナンス扉80A、80Bは、互いに反対方向に回動される。メンテナンス扉80A、80Bは取外し可能に構成されており、取り外してメンテナンスを行っても良い。 As indicated by the imaginary line, the maintenance doors 80A and 80B are horizontally rotated around the hinges 82A and 82B toward the rear side of the transfer chambers 6A and 6B, thereby opening the rear maintenance ports 78A and 78B. The maintenance door 80A is configured to be able to open up to 180 ° to the left toward the transfer chamber 6A. The maintenance door 80B is configured to be able to open up to 180 ° to the right toward the transfer chamber 6B. That is, toward the transfer chamber 6A, the maintenance door 80A rotates clockwise, and the maintenance door 80B rotates counterclockwise. In other words, the maintenance doors 80A and 80B are rotated in opposite directions. The maintenance doors 80A and 80B are configured to be removable, and maintenance may be performed by removing them.
搬送室6A、6Bの背面近傍には、ユーティリティ系70A、70Bが設置されている。ユーティリティ系70A、70Bはメンテナンスリアを介在して対向して配置される。ユーティリティ系70A、70Bのメンテナンスを行う際は、ユーティリティ系70A、70Bの内側、すなわち、ユーティリティ系70A、70Bの間の空間(メンテナンスエリア)から行う。ユーティリティ系70A、70Bは、筐体側(搬送室6A、6B側)からそれぞれ順に、排気ボックス74A、74B、供給ボックス72A、72B、コントローラボックス76A、76Bで構成されている。ユーティリティ系70A、70Bの各ボックスのメンテナンス口はそれぞれ内側(メンテナンスエリア側)に形成されている。すなわち、ユーティリティ系70A、70Bの各ボックスのメンテナンス口は互いに向かい合うように形成されている。
排気ボックス74Aは、搬送室6Aの背面における搬送室6Bとは反対側に位置する外側角部に配置される。排気ボックス74Bは、搬送室6Bの背面における搬送室6Aとは反対側に位置する外側角部に配置される。すなわち、排気ボックス74A、74Bは、搬送室6A、6Bの外側側面と排気ボックス74A、74Bの外側側面とが平面に接続するように、平坦に(なめらかに)設置される。供給ボックス72Aは、排気ボックス74Aの搬送室6Aに隣接する側と反対側に隣接して配置される。供給ボックス72Bは、排気ボックス74Bの搬送室6Bに隣接する側と反対側に隣接して配置される。
The exhaust box 74A is disposed at an outer corner located on the opposite side to the transfer chamber 6B on the back surface of the transfer chamber 6A. The exhaust box 74B is disposed at an outer corner located on the opposite side of the transfer chamber 6B from the transfer chamber 6A. That is, the exhaust boxes 74A and 74B are installed flat (smoothly) so that the outer side surfaces of the transfer chambers 6A and 6B and the outer side surfaces of the exhaust boxes 74A and 74B are connected to a plane. The
上面視において、排気ボックス74A、74Bの厚さ(短辺方向の幅)は供給ボックス72A、72Bの厚さより小さくなっている。言い換えれば、排気ボックス74A、74Bよりも供給ボックス72A、72Bの方が、メンテナンスエリア側に突出している。供給ボックス72A、72B内には、ガス集積システムや多数の付帯設備が配置されているため、排気ボックス72A、72Bよりも厚さが大きくなってしまうことがある。そこで、排気ボックス72A、72Bを筐体側に設置することにより、メンテナンス扉80A,80B前のメンテナンスエリアを広く確保することができる。すなわち、上面視において、供給ボックス72A、72B間の距離よりも、排気ボックス74A、74B間の距離の方が大きくなっているため、供給ボックス72A,72Bを筐体側に設置するよりも、排気ボックス74A、74Bを筐体側に設置した方が、メンテナンススペースを広く確保することができる。
When viewed from above, the thickness (width in the short side direction) of the exhaust boxes 74A and 74B is smaller than the thickness of the
図3に示すように、ガス供給機構34A、34Bのファイナルバルブ(ガス供給系の最下段に位置するバルブ40a、40b)は、排気ボックス74A、74Bの上方に配置されている。好ましくは、排気ボックス74A、74Bの真上(直上)に配置されている。このような構成により、供給ボックス72A、72Bを筐体側から離れたところに設置しても、ファイナルバルブから処理室内への配管長を短くすることができるため、成膜の品質を向上させることができる。
As shown in FIG. 3, final valves (
図5に示すように、処理モジュール3A、3Bおよびユーティリティ系70A、70Bの各構成は、処理モジュール3A、3Bの隣接面S1に対して面対称に配置されている。排気管46A、46Bはそれぞれが角部方向を臨むように、すなわち、排気管46A、46Bが、排気ボックス74A、74B方向を臨むように反応管10A、10Bが設置される。また、ファイナルバルブからノズルまでの配管長が、処理モジュール3A、3Bで略同じ長さとなるように配管が配置されている。さらに、図5中の矢印で示すように、ウエハWの回転方向も処理炉4A、4Bにおいて互いに反対方向となるように構成される。
As shown in FIG. 5, the processing module 3A, 3B and
次に、処理装置2のメンテナンスについて説明する。
搬送室6A内が不活性ガスで循環パージされている場合、メンテナンス扉80Aを開放できないようにインターロックが設定されている。また、搬送室6A内の酸素濃度が大気圧における酸素濃度よりも低い場合も、メンテナンス扉80Aを開放できないようにインターロックが設定されている。メンテナンス扉80Bに関しても同様である。さらに、メンテナンス扉80A、80Bを開いているときは、ゲートバルブ90A、90Bを開放できないようにインターロックが設定されている。メンテナンス扉80A、80Bが開の状態でゲートバルブ90A、90Bを開とする場合は、処理装置2全体をメンテナンスモードとした上で、別途設置されているメンテナンススイッチをオンとすることにより、ゲートバルブ90A、90Bに関するインターロックが解除され、ゲートバルブ90A、90Bを開とすることができる。
Next, maintenance of the
When the inside of the transfer chamber 6A is circulated and purged with an inert gas, an interlock is set so that the maintenance door 80A cannot be opened. Further, the interlock is set so that the maintenance door 80A cannot be opened even when the oxygen concentration in the transfer chamber 6A is lower than the oxygen concentration at atmospheric pressure. The same applies to the maintenance door 80B. Further, when the maintenance doors 80A and 80B are opened, an interlock is set so that the
メンテナンス扉80Aを開ける際は、搬送室6A内の酸素濃度を大気中における酸素濃度以上、好ましくは、大気中における酸素濃度まで上昇させるために、クリーンユニット62Aから搬送室6A内に大気雰囲気を流入させる。この時、搬送室6A内の圧力が、移載室8内の圧力よりも高くならないように、搬送室6A内の循環パージを解除し、搬送室6A内の雰囲気を搬送室6A外に排気するとともに、クリーンユニット62Aのファンの回転数を循環パージ時の回転数よりも落とし、搬送室6A内への大気の流入量を制御する。このように制御することにより、搬送室6A内の酸素濃度を上昇させつつ、搬送室6A内の圧力を移載室8内の圧力よりも低く維持することができる。
When opening the maintenance door 80A, in order to raise the oxygen concentration in the transfer chamber 6A to the oxygen concentration in the atmosphere or higher, preferably to the oxygen concentration in the atmosphere, an air atmosphere flows into the transfer chamber 6A from the
搬送室6A内の酸素濃度が大気圧中における酸素濃度と同等となると、インターロックが解除され、メンテナンス扉80Aを開けることができる。この時、搬送室6A内の酸素濃度が大気圧中における酸素濃度と同等であっても、搬送室6A内の圧力が移載室8内の圧力よりも高い場合は、メンテナンス扉80Aを開放できないように設定されている。メンテナンス扉80Aが開放されると、クリーンユニット62Aのファンの回転数を、少なくとも循環パージ時の回転数よりも大きくする。より好適には、クリーンユニット62Aのファンの回転数を最大とする。
When the oxygen concentration in the transfer chamber 6A becomes equal to the oxygen concentration in atmospheric pressure, the interlock is released and the maintenance door 80A can be opened. At this time, even if the oxygen concentration in the transfer chamber 6A is equal to the oxygen concentration in atmospheric pressure, the maintenance door 80A cannot be opened if the pressure in the transfer chamber 6A is higher than the pressure in the transfer chamber 8. Is set to When the maintenance door 80A is opened, the rotational speed of the fan of the
移載室9内のメンテナンスは、移載室9の前方であって、ポッドオープナが設置されていない部分に形成されたメンテナンス口78Cから行われる。メンテナンス口78Cはメンテナンス扉によって開閉されるよう構成されている。上述のように、処理装置2全体をメンテナンスモードとした際は、ゲートバルブ90A、90Bを開として、ゲートバルブ90A、90B側よりメンテナンスすることも出来る。すなわち、移載室8内のメンテナンスは、装置正面からでも装置背面からでも、どちらからでも実施することができる。
Maintenance in the
<本実施形態による効果>
本実施形態によれば、以下に示す1つ又は複数の効果が得られる。
<Effects of this embodiment>
According to the present embodiment, one or more effects shown below can be obtained.
(1)ユーティリティ系を筐体側から排気ボックス、供給ボックスと配置することにより、処理装置背面のメンテナンスエリアを広くすることができる。このような構成により、搬送室背面のメンテナンス口を広く形成することができ、メンテナンス性を向上させることができる。また、処理装置背面のメンテナンスエリアを広くすることで、装置の両側にメンテナンスエリアを確保する必要がないため、装置のフットプリントを低減させることができる。 (1) By arranging the utility system from the housing side to the exhaust box and the supply box, the maintenance area on the rear surface of the processing apparatus can be widened. With such a configuration, the maintenance port on the back surface of the transfer chamber can be widely formed, and the maintainability can be improved. In addition, by widening the maintenance area on the back of the processing apparatus, it is not necessary to secure maintenance areas on both sides of the apparatus, so that the footprint of the apparatus can be reduced.
(2)左右の処理モジュールのユーティリティ系を処理装置の両外側側面に互いに対面して設置することにより、装置背面の空間を左右の処理モジュール共通のメンテナンスエリアとして使用することが可能となる。例えば、従来の装置においては、装置背面の両端に供給ボックスと排気ボックスとを対面するように設置していることがある。このような構成の装置を2つ並べた場合、2つ装置の境界線で、一方の排気ボックスと他方の供給ボックスとが隣接することになる。これに対して本実施形態によれば、2つの処理モジュールの境界線において、ユーティリティ系が配置されていないため、メンテナンスエリアを広く確保することができる。 (2) By installing the utility system of the left and right processing modules facing each other on both outer side surfaces of the processing apparatus, the space on the back of the apparatus can be used as a maintenance area common to the left and right processing modules. For example, in a conventional apparatus, a supply box and an exhaust box may be installed so as to face each other at both ends on the back of the apparatus. When two apparatuses having such a configuration are arranged, one exhaust box and the other supply box are adjacent to each other at the boundary line between the two apparatuses. On the other hand, according to the present embodiment, since a utility system is not arranged at the boundary line between two processing modules, a wide maintenance area can be secured.
(3)ガス供給系のファイナルバルブを排気ボックスの上方に設置することにより、ファイナルバルブから処理室までの配管長を短くすることができる。すなわち、ガス供給時のガス遅延や流量変動等を抑制することができ、成膜の品質を向上させることができる。通常、成膜の品質は、ガス流量やガス圧力等のガス供給条件に影響されるため、反応管内にガスを安定して供給するために供給ボックスを筐体近くに設置することが好まれる。しかしながら、本発明においては、ファイナルバルブを反応管の近くに設置することにより、成膜の品質に悪影響を及ぼすことなく、筐体から離れた位置に供給ボックスを配置することが可能となる。また、排気ボックスを処理容器(反応管)から延在される排気管よりも下方に配置し、その直上にファイナルバルブを配置することにより、処理室までの配管長を短くできる。さらに、ファイナルバルブを排気ボックスの直上に設置することにより、ファイナルバルブの交換等のメンテナンスが容易となる。 (3) By installing the final valve of the gas supply system above the exhaust box, the piping length from the final valve to the processing chamber can be shortened. That is, a gas delay or a flow rate fluctuation at the time of gas supply can be suppressed, and the film formation quality can be improved. Usually, since the quality of film formation is affected by gas supply conditions such as gas flow rate and gas pressure, it is preferable to install a supply box near the casing in order to stably supply gas into the reaction tube. However, in the present invention, by providing the final valve near the reaction tube, it is possible to dispose the supply box at a position away from the housing without adversely affecting the quality of film formation. Further, by disposing the exhaust box below the exhaust pipe extending from the processing vessel (reaction tube) and disposing the final valve immediately above it, the piping length to the processing chamber can be shortened. Further, by installing the final valve directly above the exhaust box, maintenance such as replacement of the final valve becomes easy.
(4)処理モジュールの境界を境として線対称に各構成を設置することにより、左右の処理モジュールでの成膜の品質のばらつきを抑制することができる。すなわち、処理モジュール内の各構成、ユーティリティ系、ガス供給管配置や排気配管配置を線対称に設置することにより、供給ボックスから反応管への配管長や、反応管から排気ボックスへの配管長を左右の処理モジュールで略同一とすることができる。これにより、左右の処理モジュールにおいて同様の条件で成膜を実施することができ、成膜の品質を揃えることができるため、生産性を向上させることができる。 (4) By disposing each configuration line-symmetrically with respect to the boundary between the processing modules, it is possible to suppress variations in film formation quality between the left and right processing modules. That is, by installing each configuration in the processing module, utility system, gas supply pipe arrangement and exhaust pipe arrangement symmetrically, the pipe length from the supply box to the reaction pipe and the pipe length from the reaction pipe to the exhaust box can be reduced. The left and right processing modules can be substantially the same. Accordingly, film formation can be performed under the same conditions in the left and right processing modules, and the quality of the film formation can be made uniform, so that productivity can be improved.
(5)メンテナンス扉を2つの処理モジュールの境界側に設置し、他方の処理モジュールに向けて回動するように構成することにより、メンテナンス扉を180度開放することができ、また、搬送室背面のメンテナンス口を広く形成することができるため、メンテナンス性を向上させることができる。 (5) The maintenance door can be opened 180 degrees by installing the maintenance door on the boundary between the two processing modules and rotating toward the other processing module. Since the maintenance port can be formed widely, the maintenance performance can be improved.
(6)一方の処理モジュールで基板処理を行いつつ、他方の処理モジュールや移載室内のメンテナンスをすることが可能となる。これにより、成膜処理を停止せずにメンテナンスができるため、装置の稼働率を上昇させることができ、生産性を向上させることができる。 (6) While performing substrate processing with one processing module, it becomes possible to perform maintenance on the other processing module and the transfer chamber. Thereby, since maintenance can be performed without stopping the film forming process, the operating rate of the apparatus can be increased and productivity can be improved.
(7)一方の処理モジュールのメンテナンス扉を開放する際、搬送室内の圧力を移載室内の圧力よりも低く維持しつつ、搬送室内の酸素濃度を大気圧における酸素濃度へ上昇させることにより、移載室側への搬送室から移載室への雰囲気の流入を抑制することができる。また、メンテナンス扉を開放後は搬送室内のクリーンユニットのファンの回転数を循環パージ時よりも上げることにより、メンテナンス扉開放後(搬送室を大気開放後)も、搬送室内から移載室内へ雰囲気が流入することを抑制することができる。このような構成により、一方の処理モジュールでメンテナンス扉を開放したとしても、他方の処理モジュールを稼働させ続けることが可能となる。すなわち、搬送室でメンテナンスを行っていても、移載室内の清浄雰囲気を保つことができ、また、移載室内の酸素濃度の上昇を抑制することができるため、稼働中の処理モジュールに悪影響を及ぼすことなく、停止中の処理モジュールをメンテナンスすることができる。これにより、一方の処理モジュールを稼働させた状態で他方の処理モジュールのメンテナンスをすることができるため、メンテナンスの際に処理装置全体の稼働を停止させる必要がなく、生産性を向上させることができる。 (7) When opening the maintenance door of one processing module, the oxygen concentration in the transfer chamber is increased to the oxygen concentration at atmospheric pressure while maintaining the pressure in the transfer chamber lower than the pressure in the transfer chamber. Inflow of the atmosphere from the transfer chamber to the transfer chamber to the transfer chamber can be suppressed. In addition, after opening the maintenance door, the rotational speed of the clean unit fan in the transfer chamber is increased from that during the circulation purge, so that the atmosphere from the transfer chamber to the transfer chamber can be maintained even after the maintenance door is opened (after the transfer chamber is opened to the atmosphere). Can be prevented from flowing in. With such a configuration, even if the maintenance door is opened in one processing module, the other processing module can continue to operate. That is, even if maintenance is performed in the transfer chamber, a clean atmosphere in the transfer chamber can be maintained, and an increase in oxygen concentration in the transfer chamber can be suppressed. Without being affected, it is possible to maintain the processing module being stopped. As a result, maintenance of the other processing module can be performed while one processing module is in operation, so that it is not necessary to stop operation of the entire processing apparatus during maintenance, and productivity can be improved. .
以上、本発明の実施形態を具体的に説明した。しかしながら、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。 The embodiment of the present invention has been specifically described above. However, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.
例えば、上述の実施形態では、原料ガスとしてDCSガスを用いる例について説明したが、本発明は、このような態様に限定されない。例えば、原料ガスとしては、DCSガスの他、HCD(Si2Cl6:ヘキサクロロジシラン)ガス、MCS(SiH3Cl:モノクロロシラン)ガス、TCS(SiHCl3:トリクロロシラン)ガス等の無機系ハロシラン原料ガスや、3DMAS(Si[N(CH3)2]3H:トリスジメチルアミノシラン)ガス、BTBAS(SiH2[NH(C4H9)]2:ビスターシャリブチルアミノシラン)ガス等のハロゲン基非含有のアミノ系(アミン系)シラン原料ガスや、MS(SiH4:モノシラン)ガス、DS(Si2H6:ジシラン)ガス等のハロゲン基非含有の無機系シラン原料ガスを用いることができる。 For example, in the above-described embodiment, the example in which the DCS gas is used as the source gas has been described, but the present invention is not limited to such an aspect. For example, as source gas, inorganic halosilane source materials such as DCS gas, HCD (Si 2 Cl 6 : hexachlorodisilane) gas, MCS (SiH 3 Cl: monochlorosilane) gas, TCS (SiHCl 3 : trichlorosilane) gas, etc. Halogen group-free such as gas, 3DMAS (Si [N (CH 3 ) 2 ] 3 H: trisdimethylaminosilane) gas, BTBAS (SiH 2 [NH (C 4 H 9 )] 2 : Bisthal butylaminosilane) gas, etc. Amino group (amine) silane source gas, MS (SiH 4 : monosilane) gas, DS (Si 2 H 6 : disilane) gas, and other inorganic group-free silane source gases can be used.
例えば、上述の実施形態では、SiO2膜を形成する例について説明した。しかしながら、本発明は、このような態様に限定されない。例えば、これらの他、もしくは、これらに加え、アンモニア(NH3)ガス等の窒素(N)含有ガス(窒化ガス)、プロピレン(C3H6)ガス等の炭素(C)含有ガス、三塩化硼素(BCl3)ガス等の硼素(B)含有ガス等を用い、SiN膜、SiON膜、SiOCN膜、SiOC膜、SiCN膜、SiBN膜、SiBCN膜等を形成することができる。これらの成膜を行う場合においても、上述の実施形態と同様な処理条件にて成膜を行うことができ、上述の実施形態と同様の効果が得られる。 For example, in the above-described embodiment, the example in which the SiO 2 film is formed has been described. However, the present invention is not limited to such an embodiment. For example, in addition to these, or in addition to these, nitrogen (N) -containing gas (nitriding gas) such as ammonia (NH 3 ) gas, carbon (C) -containing gas such as propylene (C 3 H 6 ) gas, trichloride A boron (B) -containing gas such as boron (BCl 3 ) gas or the like can be used to form a SiN film, a SiON film, a SiOCN film, a SiOC film, a SiCN film, a SiBN film, a SiBCN film, or the like. Even in the case where these films are formed, the films can be formed under the same processing conditions as in the above-described embodiment, and the same effects as in the above-described embodiment can be obtained.
また例えば、本発明は、ウエハW上に、チタン(Ti)、ジルコニウム(Zr)、ハフニウム(Hf)、タンタル(Ta)、ニオブ(Nb)、アルミニウム(Al)、モリブデン(Mo)、タングステン(W)等の金属元素を含む膜、すなわち、金属系膜を形成する場合においても、好適に適用可能である。 Further, for example, the present invention provides titanium (Ti), zirconium (Zr), hafnium (Hf), tantalum (Ta), niobium (Nb), aluminum (Al), molybdenum (Mo), tungsten (W) on the wafer W. The present invention can also be suitably applied to the case of forming a film containing a metal element such as
上述の実施形態では、ウエハW上に膜を堆積させる例について説明したが、本発明は、このような態様に限定されない。例えば、ウエハWやウエハW上に形成された膜等に対して、酸化処理、拡散処理、アニール処理、エッチング処理等の処理を行う場合にも、好適に適用可能である。 In the above-described embodiment, an example in which a film is deposited on the wafer W has been described. However, the present invention is not limited to such an aspect. For example, the present invention can also be suitably applied to a case where a process such as an oxidation process, a diffusion process, an annealing process, or an etching process is performed on the wafer W or a film formed on the wafer W.
また、上述の実施形態や変形例は、適宜組み合わせて用いることができる。このときの処理条件は、例えば上述の実施形態や変形例と同様な処理条件とすることができる。 Further, the above-described embodiments and modifications can be used in appropriate combination. The processing conditions at this time can be set to the same processing conditions as in the above-described embodiment or modification, for example.
3・・・処理モジュール
72・・・供給ボックス
74・・・排気ボックス
76・・・コントローラボックス
3 ... Processing module 72 ... Supply box 74 ...
Claims (42)
基板処理用の第2の処理容器と、前記第2の処理容器の下方に配置され、前記第2の処理容器内外に基板を搬入出する第2の搬送室を有し、前記第1の処理モジュールに隣接して配置される第2の処理モジュールと、
前記第1の処理容器内を排気する第1の排気系と、前記第1の処理容器内に処理ガスを供給する第1の供給系を含み、前記第1の処理モジュール背面に隣接して配置される第1のユーティリティ系と、
前記第2の処理容器内を排気する第2の排気系と、前記第2の処理容器内に処理ガスを供給する第2の供給系を含み、前記第2の処理モジュール背面に隣接して配置される第2のユーティリティ系と、
前記第1の搬送室の正面側及び前記第2の搬送室の正面側に隣接し、前記第1の搬送室内の第1の基板保持具及び前記第2の搬送室内の第2の基板保持具に前記基板を移載する移載室と、
を備え、
前記第1の処理モジュール及び前記第2の処理モジュールの背面方向には、前記第1のユーティリティ系及び前記第2のユーティリティ系の間において、前記第1の処理モジュール、前記第2の処理モジュール及び前記移載室に対して共通に使用されるメンテナンスエリアが形成される、基板処理装置。 A first processing module having a first processing container for processing a substrate, and a first transfer chamber which is disposed below the first processing container and carries the substrate into and out of the first processing container; ,
A second processing chamber for processing a substrate; and a second transfer chamber that is disposed below the second processing chamber and carries the substrate into and out of the second processing chamber. A second processing module disposed adjacent to the module;
A first exhaust system that exhausts the interior of the first processing container; and a first supply system that supplies a processing gas into the first processing container, and is disposed adjacent to the back surface of the first processing module. A first utility system,
A second exhaust system for exhausting the inside of the second processing container; and a second supply system for supplying a processing gas into the second processing container, and disposed adjacent to the rear surface of the second processing module. A second utility system,
A first substrate holder in the first transfer chamber and a second substrate holder in the second transfer chamber that are adjacent to the front side of the first transfer chamber and the front side of the second transfer chamber. A transfer chamber for transferring the substrate to
With
In the back direction of the first processing module and the second processing module, the first processing module, the second processing module, and the like between the first utility system and the second utility system, A substrate processing apparatus in which a maintenance area used in common for the transfer chamber is formed.
前記第2のユーティリティ系は、前記第2の供給系を含む第2の供給ボックスと、前記第2の排気系を含む第2の排気ボックスを含む請求項1に記載の基板処理装置。 The first utility system includes a first supply box including the first supply system, and a first exhaust box including the first exhaust system,
The substrate processing apparatus according to claim 1, wherein the second utility system includes a second supply box including the second supply system, and a second exhaust box including the second exhaust system.
前記コントローラは、前記メンテナンスエリアを介して前記第1の搬送室内のメンテナンスを行う前に、前記第1の搬送室内の圧力を前記移載室の圧力よりも低い圧力に維持しつつ、前記第1の搬送室内の酸素濃度を上昇させるよう制御可能に構成される請求項1または請求項2に記載の基板処理装置。 A controller for controlling the pressure in the first transfer chamber and the pressure in the transfer chamber;
The controller maintains the pressure in the first transfer chamber at a pressure lower than the pressure in the transfer chamber before performing maintenance in the first transfer chamber via the maintenance area. The substrate processing apparatus according to claim 1, wherein the substrate processing apparatus is configured to be controllable to increase an oxygen concentration in the transfer chamber.
前記コントローラは、前記第1の搬送室のメンテナンス扉が開放されている間、前記クリーンユニットのファンの回転数を、前記第1の搬送室内に前記クリーンエアーを供給しているときの回転数よりも大きくするよう制御可能に構成される請求項4に記載の基板処理装置。 The first transfer chamber and the second transfer chamber are configured to supply clean air by a clean unit provided on each outer side surface,
While the maintenance door of the first transfer chamber is open, the controller determines the rotation speed of the fan of the clean unit from the rotation speed when the clean air is supplied into the first transfer chamber. The substrate processing apparatus according to claim 4, wherein the substrate processing apparatus is configured to be controllable so as to be larger.
前記移載室、前記第1の搬送室及び前記第2の搬送室には、圧力検知器と酸素濃度検知器がそれぞれ設けられ、
前記移載室は、クリーンエアーを循環させるように構成される請求項1または請求項2に記載の基板処理装置。 A first gate valve and a second gate valve are provided on a boundary wall between the first transfer chamber and the transfer chamber and a boundary wall between the second transfer chamber and the transfer chamber, respectively. ,
The transfer chamber, the first transfer chamber, and the second transfer chamber are each provided with a pressure detector and an oxygen concentration detector,
The substrate processing apparatus according to claim 1, wherein the transfer chamber is configured to circulate clean air.
前記第2の搬送室は、前記第2の搬送室の背面において前記メンテナンスエリアに面し、前記第2の搬送室内の圧力が前記移載室の圧力よりも低く、かつ、前記第2の搬送室内の酸素濃度が大気中の酸素濃度以上のときに、開放可能に構成される第2のメンテナンス扉を有する請求項1または請求項2に記載の基板処理装置。 The first transfer chamber faces the maintenance area on the back surface of the first transfer chamber, the pressure in the first transfer chamber is lower than the pressure in the transfer chamber, and the first transfer chamber A first maintenance door configured to be openable when the oxygen concentration in the room is equal to or higher than the oxygen concentration in the atmosphere;
The second transfer chamber faces the maintenance area on the back surface of the second transfer chamber, the pressure in the second transfer chamber is lower than the pressure in the transfer chamber, and the second transfer chamber The substrate processing apparatus according to claim 1, further comprising a second maintenance door configured to be openable when the indoor oxygen concentration is equal to or higher than the oxygen concentration in the atmosphere.
前記収納室は、前記移載室の上方に前記ポッドを収納可能に構成され、前記収納室の前面で、前記基板処理装置の内外に前記ポッドを搬入出するI/Oポートを有する請求項1または請求項2に記載の基板処理装置。 A storage chamber is provided that is connected to the front side of the transfer chamber, and stores a pod that stores a plurality of the substrates.
2. The storage chamber is configured to be capable of storing the pod above the transfer chamber, and has an I / O port for carrying the pod in and out of the substrate processing apparatus on the front surface of the storage chamber. Alternatively, the substrate processing apparatus according to claim 2.
前記第2の排気ボックスは、前記第2の処理モジュールの、前記第1の処理モジュールと反対方向の外側側面と前記第2の排気ボックスの、前記第1の排気ボックスと反対方向の外側側面が平坦となるように設置される請求項2に記載の基板処理装置。 The first exhaust box has an outer side surface of the first processing module opposite to the second processing module and an outer side surface of the first exhaust box opposite to the second exhaust box. Installed to be flat,
The second exhaust box includes an outer side surface of the second processing module opposite to the first processing module and an outer side surface of the second exhaust box opposite to the first exhaust box. The substrate processing apparatus according to claim 2, wherein the substrate processing apparatus is installed to be flat.
前記第2の排気ボックスは、少なくとも前記第2の排気系が備えるAPCバルブを収納する請求項2に記載の基板処理装置。 The first exhaust box houses at least an APC valve provided in the first exhaust system,
The substrate processing apparatus according to claim 2, wherein the second exhaust box houses at least an APC valve included in the second exhaust system.
前記第2の供給ボックスは、少なくとも前記第2の供給系が備えるガス集積システムを収納する請求項2に記載の基板処理装置。 The first supply box houses at least a gas accumulation system provided in the first supply system,
The substrate processing apparatus according to claim 2, wherein the second supply box houses at least a gas integrated system included in the second supply system.
基板処理用の第2の処理容器と、前記第2の処理容器の下方に配置され、前記第2の処理容器内外に基板を搬入出する第2の搬送室を有し、前記第1の処理モジュールに隣接して配置される第2の処理モジュールと、
前記第1の処理容器内を排気する第1の排気系と、前記第1の処理容器内に処理ガスを供給する第1の供給系を含み、前記第1の処理モジュール背面に隣接して配置される第1のユーティリティ系と、
前記第2の処理容器内を排気する第2の排気系と、前記第2の処理容器内に処理ガスを供給する第2の供給系を含み、前記第2の処理モジュール背面に隣接して配置される第2のユーティリティ系と、
前記第1の搬送室の正面側及び前記第2の搬送室の正面側に隣接し、前記第1の搬送室内の第1の基板保持具及び前記第2の搬送室内の第2の基板保持具に前記基板を移載する移載室を備え、
前記第1の処理モジュール及び前記第2の処理モジュールの背面方向には、前記第1のユーティリティ系及び前記第2のユーティリティ系の間において、前記第1の処理モジュール、前記第2の処理モジュール及び前記移載室に対して共通に使用されるメンテナンスエリアが形成される基板処理装置を使用し、
前記移載室から前記第1の搬送室内の前記第1の基板保持具に基板を移載する工程と、
前記第1の搬送室から前記第1の処理容器に基板を搬送する工程と、
前記第1の処理容器内の基板に対して、前記第1の供給系からガスを供給しつつ、前記第1の排気系によって前記第1の処理容器内を排気し、前記基板を処理する第1処理工程と、
前記移載室から前記第2の搬送室内の前記第2の基板保持具に基板を移載する工程と、
前記第2の搬送室から前記第2の処理容器に基板を搬送する工程と、
前記第2の処理容器内の基板に対して、前記第2の供給系からガスを供給しつつ、前記第2の排気系によって前記第2の処理容器内を排気し、前記基板を処理する第2処理工程と、
を有する、半導体装置の製造方法。 A first processing container for substrate processing; a first processing module that is disposed below the first processing container and has a first transfer chamber that carries the substrate into and out of the first processing container;
A second processing chamber for processing a substrate; and a second transfer chamber that is disposed below the second processing chamber and carries the substrate into and out of the second processing chamber. A second processing module disposed adjacent to the module;
A first exhaust system that exhausts the interior of the first processing container; and a first supply system that supplies a processing gas into the first processing container, and is disposed adjacent to the back surface of the first processing module. A first utility system,
A second exhaust system for exhausting the inside of the second processing container; and a second supply system for supplying a processing gas into the second processing container, and disposed adjacent to the rear surface of the second processing module. A second utility system,
A first substrate holder in the first transfer chamber and a second substrate holder in the second transfer chamber that are adjacent to the front side of the first transfer chamber and the front side of the second transfer chamber. A transfer chamber for transferring the substrate to
In the back direction of the first processing module and the second processing module, the first processing module, the second processing module, and the like between the first utility system and the second utility system, Using a substrate processing apparatus in which a maintenance area commonly used for the transfer chamber is formed,
Transferring a substrate from the transfer chamber to the first substrate holder in the first transfer chamber;
Transferring the substrate from the first transfer chamber to the first processing container;
A process for processing the substrate by exhausting the interior of the first processing container by the first exhaust system while supplying gas from the first supply system to the substrate in the first processing container. 1 treatment process;
Transferring the substrate from the transfer chamber to the second substrate holder in the second transfer chamber;
Transferring the substrate from the second transfer chamber to the second processing container;
A process for processing the substrate by exhausting the inside of the second processing container by the second exhaust system while supplying gas from the second supply system to the substrate in the second processing container. Two processing steps;
A method for manufacturing a semiconductor device, comprising:
前記第1のユーティリティ系は、前記第1の供給系を含む第1の供給ボックスと、前記第1の排気系を含む第1の排気ボックスを含み、
前記第2のユーティリティ系は、前記第2の供給系を含む第2の供給ボックスと、前記第2の排気系を含む第2の排気ボックスを含む前記基板処理装置によって行われる請求項21に記載の半導体装置の製造方法。 The step of transferring the substrate, the step of transporting the substrate, the first processing step and the second processing step are:
The first utility system includes a first supply box including the first supply system, and a first exhaust box including the first exhaust system,
The said 2nd utility system is performed by the said substrate processing apparatus containing the 2nd supply box containing the said 2nd supply system, and the 2nd exhaust box containing the said 2nd exhaust system. Semiconductor device manufacturing method.
前記移載室から前記第2の搬送室内の前記第2の基板保持具に基板を移載する工程では、前記移載室及び前記第2の搬送室が所定圧力値及び所定酸素濃度になったら、前記第2の搬送室と前記移載室の境界壁に設けられた、第2のゲートバルブを開とする工程を有する請求項21または請求項22に記載の半導体装置の製造方法。 In the step of transferring the substrate from the transfer chamber to the first substrate holder in the first transfer chamber, when the transfer chamber and the first transfer chamber reach a predetermined pressure value and a predetermined oxygen concentration. A step of opening a first gate valve provided on a boundary wall between the first transfer chamber and the transfer chamber;
In the step of transferring a substrate from the transfer chamber to the second substrate holder in the second transfer chamber, when the transfer chamber and the second transfer chamber reach a predetermined pressure value and a predetermined oxygen concentration. 23. The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 21, further comprising a step of opening a second gate valve provided on a boundary wall between the second transfer chamber and the transfer chamber.
前記第2の搬送室のメンテナンス扉のロックを、前記第2の搬送室内の圧力が前記移載室内の圧力よりも低く、かつ、前記第2の搬送室内の酸素濃度が大気中の酸素濃度以上のときに解除する工程を更に有する請求項21または請求項22に記載の半導体装置の製造方法。 Locking the maintenance door of the first transfer chamber, the pressure in the first transfer chamber is lower than the pressure in the transfer chamber, and the oxygen concentration in the first transfer chamber is equal to or higher than the oxygen concentration in the atmosphere. The process of releasing at the time of
Locking the maintenance door of the second transfer chamber, the pressure in the second transfer chamber is lower than the pressure in the transfer chamber, and the oxygen concentration in the second transfer chamber is equal to or higher than the oxygen concentration in the atmosphere. 23. The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 21, further comprising a step of releasing at the time.
前記収納室で、前記移載室の上方に前記ポッドを収納する工程と、
前記収納室の前面のI/Oポートで、前記基板処理装置の内外に前記ポッドを搬入出する工程を更に有する請求項21または請求項22に記載の半導体装置の製造方法。 The substrate processing apparatus further includes a storage chamber that is connected to the front side of the transfer chamber, and stores a pod that stores a plurality of the substrates.
Storing the pod above the transfer chamber in the storage chamber;
23. The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 21, further comprising a step of carrying the pod in and out of the substrate processing apparatus at an I / O port on a front surface of the storage chamber.
前記移載室の前方であってポッドオープナが設置されていない部分に形成されたメンテナンス扉が開放可能に構成される前記基板処理装置によって行われる請求項30に記載の半導体装置の製造方法。 The step of transferring the substrate, the step of transporting the substrate, the first processing step, the second processing step, and the step of storing the pod,
31. The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 30, wherein the method is performed by the substrate processing apparatus configured to be openable in a maintenance door formed in a portion in front of the transfer chamber and where no pod opener is installed.
前記第1の搬送室、前記第2の搬送室、前記第1の排気ボックス、前記第2の排気ボックス、前記第1の供給ボックス及び前記第2の供給ボックスは、前記メンテナンスエリアに面したメンテナンス口をそれぞれ有し、前記メンテナンスエリアからメンテナンス可能に構成される前記基板処理装置によって行われる請求項22に記載の半導体装置の製造方法。 The step of transferring the substrate, the step of transporting the substrate, the first processing step and the second processing step are:
The first transfer chamber, the second transfer chamber, the first exhaust box, the second exhaust box, the first supply box, and the second supply box are maintained facing the maintenance area. 23. The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 22, wherein the method is performed by the substrate processing apparatus having a mouth and configured to be maintenanceable from the maintenance area.
前記第1の搬送室から前記第1の処理容器に基板を搬送する工程、
前記第1処理工程
のいずれかで、前記第2の搬送室内を前記メンテナンスエリアを介してメンテナンスすることが可能に構成される請求項21または請求項22に記載の半導体装置の製造方法。 Transferring a substrate from the transfer chamber to the first substrate holder in the first transfer chamber;
Transferring the substrate from the first transfer chamber to the first processing container;
23. The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 21, wherein the second transfer chamber can be maintained through the maintenance area in any of the first processing steps.
前記第2処理工程は、前記第2の処理モジュールの、前記第1の処理モジュールと反対方向の外側側面と前記第2の排気ボックスの、前記第1の排気ボックスと反対方向の外側側面とが、平坦となるように設置された前記第2の排気ボックスを使用する請求項22に記載の半導体装置の製造方法。 The first processing step includes an outer side surface of the first processing module opposite to the second processing module and an outer side surface of the first exhaust box opposite to the second exhaust box. Using the first exhaust box installed to be flat,
The second processing step includes an outer side surface of the second processing module opposite to the first processing module and an outer side surface of the second exhaust box opposite to the first exhaust box. The method for manufacturing a semiconductor device according to claim 22, wherein the second exhaust box installed to be flat is used.
前記第1の処理モジュールと前記第2の処理モジュールは、互いに隙間を設けずに配置された前記基板処理装置によって行われる請求項21または請求項22に記載の半導体装置の製造方法。 The step of transferring the substrate, the step of transporting the substrate, the first processing step and the second processing step are:
23. The method for manufacturing a semiconductor device according to claim 21, wherein the first processing module and the second processing module are performed by the substrate processing apparatus arranged without providing a gap therebetween.
前記第2処理工程では、前記第2の排気ボックスに収納された、前記第2の排気系が備えるAPCバルブにて前記第2の処理容器内の排気を制御する工程を有する請求項22に記載の半導体装置の製造方法。 The first processing step includes a step of controlling exhaust in the first processing container by an APC valve provided in the first exhaust system and housed in the first exhaust box.
The said 2nd process process has a process of controlling the exhaust_gas | exhaustion in a said 2nd process container with the APC valve with which the said 2nd exhaust system accommodated in the said 2nd exhaust box is equipped. Semiconductor device manufacturing method.
前記第2処理工程では、前記第2の供給ボックスに収納された、前記第2の供給系が備えるガス集積システムにて前記第2の処理容器内への前記処理ガスの供給を制御する工程を有する請求項22に記載の半導体装置の製造方法。 In the first processing step, a step of controlling the supply of the processing gas into the first processing container in a gas accumulation system provided in the first supply system and housed in the first supply box. Have
In the second processing step, a step of controlling the supply of the processing gas into the second processing container in a gas integrated system provided in the second supply system and housed in the second supply box. A method for manufacturing a semiconductor device according to claim 22.
前記メンテナンスエリアが、前記第1の処理モジュールの前記第1の搬送室及び前記第2の処理モジュールの前記第2の搬送室に対して共通に使用されるように構成された前記基板処理装置によって行われる請求項21または請求項22に記載の半導体装置の製造方法。 The step of transferring the substrate, the step of transporting the substrate, the first processing step and the second processing step are:
The substrate processing apparatus is configured such that the maintenance area is commonly used for the first transfer chamber of the first processing module and the second transfer chamber of the second processing module. 23. The method for manufacturing a semiconductor device according to claim 21, wherein the method is performed.
前記メンテナンスエリアが、前記第1の処理モジュールの前記第1の搬送室及び前記第2の処理モジュールの前記第2の搬送室の背面に隣接し、前記第1のユーティリティ系及び前記第2のユーティリティ系の間において、前記第1のユーティリティ系及び前記第2のユーティリティ系のいずれも存在しなくて、前記第1の搬送室及び前記第2の搬送室に対して共通に使用されるように構成された前記基板処理装置によって行われる請求項21または請求項22に記載の半導体装置の製造方法。 The step of transferring the substrate, the step of transporting the substrate, the first processing step and the second processing step are:
The maintenance area is adjacent to the back of the first transfer chamber of the first processing module and the second transfer chamber of the second processing module, and the first utility system and the second utility Between the systems, neither the first utility system nor the second utility system exists, and is configured to be used in common for the first transfer chamber and the second transfer chamber 23. The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 21, wherein the method is performed by the substrate processing apparatus.
前記メンテナンスエリアが、前記第1の処理モジュールの前記第1の搬送室の第1のメンテナンス扉及び前記第2の処理モジュールの前記第2の搬送室の第2のメンテナンス扉の背面に隣接し、前記第1のユーティリティ系及び前記第2のユーティリティ系の間において、前記第1のユーティリティ系及び前記第2のユーティリティ系のいずれも存在しなくて、前記第1のメンテナンス扉及び前記第2のメンテナンス扉の開閉に対して共通に使用されるように構成された前記基板処理装置によって行われる請求項21または請求項22に記載の半導体装置の製造方法。 The step of transferring the substrate, the step of transporting the substrate, the first processing step and the second processing step are:
The maintenance area is adjacent to the back of the first maintenance door of the first transfer chamber of the first processing module and the second maintenance door of the second transfer chamber of the second processing module; Between the first utility system and the second utility system, neither the first utility system nor the second utility system exists, and the first maintenance door and the second maintenance system are not present. 23. The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 21, wherein the method is performed by the substrate processing apparatus configured to be commonly used for opening and closing the door.
基板処理用の第2の処理容器と、前記第2の処理容器の下方に配置され、前記第2の処理容器内外に基板を搬入出する第2の搬送室を有し、前記第1の処理モジュールに隣接して配置される第2の処理モジュールと、
前記第1の処理容器内を排気する第1の排気系と、前記第1の処理容器内に処理ガスを供給する第1の供給系を含み、前記第1の処理モジュール背面に隣接して配置される第1のユーティリティ系と、
前記第2の処理容器内を排気する第2の排気系と、前記第2の処理容器内に処理ガスを供給する第2の供給系を含み、前記第2の処理モジュール背面に隣接して配置される第2のユーティリティ系と、
前記第1の搬送室の正面側及び前記第2の搬送室の正面側に隣接し、前記第1の搬送室内の第1の基板保持具及び前記第2の搬送室内の第2の基板保持具に前記基板を移載する移載室とを備え、
前記第1の処理モジュール及び前記第2の処理モジュールの背面方向には、前記第1のユーティリティ系及び前記第2のユーティリティ系の間において、前記第1の処理モジュール、前記第2の処理モジュール及び前記移載室に対して共通に使用されるメンテナンスエリアが形成される基板処理装置によって、
前記移載室から前記第1の搬送室内の前記第1の基板保持具に基板を移載する手順と、
前記第1の搬送室から前記第1の処理容器に基板を搬送する手順と、
前記第1の処理容器内の基板に対して、前記第1の供給系からガスを供給しつつ、前記第1の排気系によって前記第1の処理容器内を排気し、前記基板を処理する第1処理手順と、
前記移載室から前記第2の搬送室内の前記第2の基板保持具に基板を移載する手順と、
前記第2の搬送室から前記第2の処理容器に基板を搬送する手順と、
前記第2の処理容器内の基板に対して、前記第2の供給系からガスを供給しつつ、前記第2の排気系によって前記第2の処理容器内を排気し、前記基板を処理する第2処理手順と、
を行わせるコンピュータ読み取り可能な記録媒体に格納されたプログラム。 A first processing container for substrate processing; a first processing module that is disposed below the first processing container and has a first transfer chamber that carries the substrate into and out of the first processing container;
A second processing chamber for processing a substrate; and a second transfer chamber that is disposed below the second processing chamber and carries the substrate into and out of the second processing chamber. A second processing module disposed adjacent to the module;
A first exhaust system that exhausts the interior of the first processing container; and a first supply system that supplies a processing gas into the first processing container, and is disposed adjacent to the back surface of the first processing module. A first utility system,
A second exhaust system for exhausting the inside of the second processing container; and a second supply system for supplying a processing gas into the second processing container, and disposed adjacent to the rear surface of the second processing module. A second utility system,
A first substrate holder in the first transfer chamber and a second substrate holder in the second transfer chamber that are adjacent to the front side of the first transfer chamber and the front side of the second transfer chamber. And a transfer chamber for transferring the substrate to
In the back direction of the first processing module and the second processing module, the first processing module, the second processing module, and the like between the first utility system and the second utility system, By a substrate processing apparatus in which a maintenance area used in common for the transfer chamber is formed,
A procedure for transferring a substrate from the transfer chamber to the first substrate holder in the first transfer chamber;
A procedure for transferring a substrate from the first transfer chamber to the first processing container;
A process for processing the substrate by exhausting the interior of the first processing container by the first exhaust system while supplying gas from the first supply system to the substrate in the first processing container. 1 processing procedure;
A procedure for transferring a substrate from the transfer chamber to the second substrate holder in the second transfer chamber;
A procedure for transferring a substrate from the second transfer chamber to the second processing container;
A process for processing the substrate by exhausting the inside of the second processing container by the second exhaust system while supplying gas from the second supply system to the substrate in the second processing container. Two processing procedures;
A program stored in a computer-readable recording medium for performing
基板処理用の第2の処理容器と、前記第2の処理容器の下方に配置され、前記第2の処理容器内外に基板を搬入出する第2の搬送室を有し、前記第1の処理モジュールに隣接して配置される第2の処理モジュールと、
前記第1の処理容器内を排気する第1の排気系と、前記第1の処理容器内に処理ガスを供給する第1の供給系を含み、前記第1の処理モジュール背面に隣接して配置される第1のユーティリティ系と、
前記第2の処理容器内を排気する第2の排気系と、前記第2の処理容器内に処理ガスを供給する第2の供給系を含み、前記第2の処理モジュール背面に隣接して配置される第2のユーティリティ系と、
前記第1の搬送室の正面側及び前記第2の搬送室の正面側に隣接し、前記第1の搬送室内の第1の基板保持具及び前記第2の搬送室内の第2の基板保持具に前記基板を移載する移載室とを備え、
前記第1の処理モジュール及び前記第2の処理モジュールの背面方向には、前記第1のユーティリティ系及び前記第2のユーティリティ系の間において、前記第1の処理モジュール、前記第2の処理モジュール及び前記移載室に対して共通に使用されるメンテナンスエリアが形成される基板処理装置によって、
前記移載室から前記第1の搬送室内の前記第1の基板保持具に基板を移載する手順と、
前記第1の搬送室から前記第1の処理容器に基板を搬送する手順と、
前記第1の処理容器内の基板に対して、前記第1の供給系からガスを供給しつつ、前記第1の排気系によって前記第1の処理容器内を排気し、前記基板を処理する第1処理手順と、
前記移載室から前記第2の搬送室内の前記第2の基板保持具に基板を移載する手順と、
前記第2の搬送室から前記第2の処理容器に基板を搬送する手順と、
前記第2の処理容器内の基板に対して、前記第2の供給系からガスを供給しつつ、前記第2の排気系によって前記第2の処理容器内を排気し、前記基板を処理する第2処理手順と、
を行わせるプログラムを格納したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。 A first processing container for substrate processing; a first processing module that is disposed below the first processing container and has a first transfer chamber that carries the substrate into and out of the first processing container;
A second processing chamber for processing a substrate; and a second transfer chamber that is disposed below the second processing chamber and carries the substrate into and out of the second processing chamber. A second processing module disposed adjacent to the module;
A first exhaust system that exhausts the interior of the first processing container; and a first supply system that supplies a processing gas into the first processing container, and is disposed adjacent to the back surface of the first processing module. A first utility system,
A second exhaust system for exhausting the inside of the second processing container; and a second supply system for supplying a processing gas into the second processing container, and disposed adjacent to the rear surface of the second processing module. A second utility system,
A first substrate holder in the first transfer chamber and a second substrate holder in the second transfer chamber that are adjacent to the front side of the first transfer chamber and the front side of the second transfer chamber. And a transfer chamber for transferring the substrate to
In the back direction of the first processing module and the second processing module, the first processing module, the second processing module, and the like between the first utility system and the second utility system, By a substrate processing apparatus in which a maintenance area used in common for the transfer chamber is formed,
A procedure for transferring a substrate from the transfer chamber to the first substrate holder in the first transfer chamber;
A procedure for transferring a substrate from the first transfer chamber to the first processing container;
A process for processing the substrate by exhausting the interior of the first processing container by the first exhaust system while supplying gas from the first supply system to the substrate in the first processing container. 1 processing procedure;
A procedure for transferring a substrate from the transfer chamber to the second substrate holder in the second transfer chamber;
A procedure for transferring a substrate from the second transfer chamber to the second processing container;
A process for processing the substrate by exhausting the inside of the second processing container by the second exhaust system while supplying gas from the second supply system to the substrate in the second processing container. Two processing procedures;
A computer-readable recording medium storing a program for performing the operation.
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