JP5760376B2 - SUPPORT, GLASS SUBSTRATE LAMINATE, PANEL FOR DISPLAY DEVICE WITH SUPPORT, ORGANOPOLYSILOXANE COMPOSITION, AND PROCESS FOR PRODUCING DISPLAY DEVICE PANEL - Google Patents

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Description

本発明は、支持体、ガラス基板積層体、支持体付き表示装置用パネル、オルガノポリシロキサン組成物、および表示装置用パネルの製造方法に関する。   The present invention relates to a support, a glass substrate laminate, a panel for a display device with a support, an organopolysiloxane composition, and a method for producing a panel for a display device.

液晶表示装置(LCD)、有機EL表示装置(OLED)、特にデジタルカメラや携帯電話等の携帯型表示装置の分野では、表示装置の軽量化、薄型化が重要な課題となっている。
この課題に対応するために、表示装置に用いるガラス基板の板厚をさらに薄くすることが望まれている。ガラス基板の板厚を薄くする一般的な方法としては、表示装置用部材をガラス基板の表面に形成する前または形成した後に、化学エッチングを用いてガラス基板をエッチング処理し、必要に応じてさらに物理研磨して薄くする方法が行われる。
In the field of liquid crystal display devices (LCD), organic EL display devices (OLED), especially portable display devices such as digital cameras and mobile phones, weight reduction and thinning of display devices are important issues.
In order to cope with this problem, it is desired to further reduce the thickness of the glass substrate used in the display device. As a general method for reducing the thickness of the glass substrate, the glass substrate is etched using chemical etching before or after the display device member is formed on the surface of the glass substrate, and further if necessary. A method of thinning by physical polishing is performed.

しかしながら、表示装置用部材をガラス基板の表面に形成する前にエッチング処理等をしてガラス基板の板厚を薄くすると、ガラス基板の強度が低下し、たわみ量も大きくなる。そのため、既存の表示装置用パネルの製造ラインで処理することが困難になるという問題が生じる。
また、表示装置用部材をガラス基板の表面に形成した後にエッチング処理等をしてガラス基板の板厚を薄くすると、表示装置用部材をガラス基板の表面に形成する過程においてガラス基板の表面に形成された微細な傷が顕在化する問題、すなわちエッチピット(etchpit)の発生という問題が生じる。
However, if the thickness of the glass substrate is reduced by performing an etching process or the like before forming the display device member on the surface of the glass substrate, the strength of the glass substrate is lowered and the amount of deflection is increased. Therefore, there arises a problem that it becomes difficult to perform processing in the existing display device panel production line.
In addition, if the thickness of the glass substrate is reduced by performing an etching process after forming the display device member on the surface of the glass substrate, it is formed on the surface of the glass substrate in the process of forming the display device member on the surface of the glass substrate. There arises a problem that the formed fine scratches are manifested, that is, a problem of generation of etch pits.

そこで、このような問題を解決することを目的として、板厚の薄いガラス基板と支持基板とを樹脂層を介して貼り合わせて積層体とし、その状態で表示装置を製造するための所定の処理を実施し、その後、ガラス基板表面と樹脂層の剥離性表面とを剥離する方法等が提案されている。
例えば、特許文献1には、ガラス基板と、支持基板とを積層させてなるガラス基板積層体であって、上記ガラス基板と上記支持基板とが、剥離性表面を有し、さらに非粘着性を示すシリコーン樹脂層を介して積層されていることを特徴とするガラス基板積層体が記載されている。
一方、シリコーン樹脂層に関連した技術として、例えば、特許文献2において、優れた剥離特性を有し、かつ、皮膜背面へのシリコーン移行の少ない硬化皮膜を形成するためのオルガノポリシロキサン組成物が提案されている。
Therefore, for the purpose of solving such problems, a predetermined process for manufacturing a display device in that state by laminating a thin glass substrate and a supporting substrate together through a resin layer. After that, a method of peeling the glass substrate surface and the peelable surface of the resin layer has been proposed.
For example, Patent Document 1 discloses a glass substrate laminate obtained by laminating a glass substrate and a support substrate, and the glass substrate and the support substrate have a peelable surface and are non-adhesive. A glass substrate laminate is described which is laminated via a silicone resin layer shown.
On the other hand, as a technology related to the silicone resin layer, for example, Patent Document 2 proposes an organopolysiloxane composition for forming a cured film having excellent peeling characteristics and little silicone migration to the back surface of the film. Has been.

国際公開第2007/018028号International Publication No. 2007/018028 特開2009−114285号公報JP 2009-114285 A

近年、TFTアレイなどの表示装置用部材の製造のためには、450℃程度という高温環境下での製造プロセスが実施されている。そのため、特許文献1に記載されるようなガラス基板積層体を該プロセスに適用するためには、このような高温条件でも分解を生じない優れた耐熱性を示す樹脂層が必要とされている。
本発明者らは、特許文献1に具体的に記載されるシリコーン樹脂層を使用して、高温条件下での耐熱性について検討を行ったところ、該シリコーン樹脂層の耐熱性は実用的な観点からは必ずしも満足いくものではなく、さらなる改良が必要であった。
また、本発明者らは、特許文献2に具体的に記載されるオルガノポリシロキサン組成物を使用して得られる硬化物の耐熱性についても検討を行ったところ、該硬化物においても耐熱性は必ずしも十分ではなかった。
In recent years, a manufacturing process in a high temperature environment of about 450 ° C. has been performed for manufacturing a member for a display device such as a TFT array. Therefore, in order to apply the glass substrate laminate as described in Patent Document 1 to the process, a resin layer exhibiting excellent heat resistance that does not decompose even under such a high temperature condition is required.
When the present inventors examined the heat resistance under high temperature conditions using the silicone resin layer specifically described in Patent Document 1, the heat resistance of the silicone resin layer is a practical viewpoint. Was not always satisfactory, and further improvements were needed.
Moreover, when the present inventors also examined the heat resistance of a cured product obtained by using the organopolysiloxane composition specifically described in Patent Document 2, the heat resistance of the cured product was also It was not always enough.

そこで、本発明は、上記問題点を解決すべく、耐熱性に優れ、積層されたガラス基板を破壊することなく短時間に剥離することができ、TFTアレイの製造など高温条件下の製造プロセスにも適用できるガラス基板を支持するための支持体を提供することを目的とする。
さらに、本発明は、オルガノポリシロキサン組成物、ガラス基板積層体、支持体付き表示装置用パネル、および表示装置用パネルの製造方法を提供することも目的とする。
In order to solve the above problems, the present invention is excellent in heat resistance, can be peeled off in a short time without destroying the laminated glass substrate, and can be applied to a manufacturing process under a high temperature condition such as manufacturing a TFT array. An object of the present invention is to provide a support for supporting a glass substrate that can be applied.
Another object of the present invention is to provide an organopolysiloxane composition, a glass substrate laminate, a display device panel with a support, and a method for producing a display device panel.

本発明者らは、従来技術について鋭意検討を行った結果、樹脂層中における白金系触媒の量が所定量であると、硬化シリコーン樹脂層の分解が抑制されるという知見を見出した。
本発明者らは、上記知見に基づき、以下に示す手段により上記目的を達成しうることを見出した。
As a result of intensive studies on the prior art, the present inventors have found that the decomposition of the cured silicone resin layer is suppressed when the amount of the platinum-based catalyst in the resin layer is a predetermined amount.
Based on the above findings, the present inventors have found that the above object can be achieved by the following means.

すなわち、上記目的を達成するために、本発明の第1の態様は、
支持基板と支持基板の片面に設けられた剥離性表面を有する硬化シリコーン樹脂層とを有する、硬化シリコーン樹脂層表面にガラス基板を積層するための支持体であり、
硬化シリコーン樹脂層が、(A)アルケニル基を有する直鎖状オルガノポリシロキサンと、(B)ケイ素原子に結合した水素原子を有するオルガノポリシロキサンと、(C)白金系触媒とを少なくとも含有し、(C)成分の含有量が(A)成分および(B)成分の合計量に対して白金換算で900〜3000質量ppmである付加反応で硬化するオルガノポリシロキサン組成物を、支持基板表面上で硬化させることにより形成された硬化シリコーン樹脂層であることを特徴とする支持体を提供するものである。
第1の態様において、硬化シリコーン樹脂層の厚みが5〜50μmであることが好ましい。
That is, in order to achieve the above object, the first aspect of the present invention provides:
A support for laminating a glass substrate on the surface of a cured silicone resin layer, comprising a support substrate and a cured silicone resin layer having a peelable surface provided on one side of the support substrate,
The cured silicone resin layer contains at least (A) a linear organopolysiloxane having an alkenyl group, (B) an organopolysiloxane having a hydrogen atom bonded to a silicon atom, and (C) a platinum-based catalyst, The organopolysiloxane composition cured by an addition reaction in which the content of the component (C) is 900 to 3000 mass ppm in terms of platinum with respect to the total amount of the components (A) and (B) The present invention provides a support characterized in that it is a cured silicone resin layer formed by curing.
In the first aspect, the thickness of the cured silicone resin layer is preferably 5 to 50 μm.

本発明の第2の態様は、支持基板とガラス基板とそれらの間に存在する硬化シリコーン樹脂層とを有するガラス基板積層体であり、
硬化シリコーン樹脂層が、(A)アルケニル基を有する直鎖状オルガノポリシロキサンと、(B)ケイ素原子に結合した水素原子を有するオルガノポリシロキサンと、(C)白金系触媒とを少なくとも含有し、(C)成分の含有量が(A)成分および(B)成分の合計量に対して白金換算で900〜3000質量ppmである、付加反応で硬化するオルガノポリシロキサン組成物の硬化物からなり、
ガラス基板と硬化シリコーン樹脂層との間の剥離強度が支持基板と硬化シリコーン樹脂層との間の剥離強度よりも低いことを特徴とするガラス基板積層体を提供するものである。
本発明の第2の態様においては、硬化シリコーン樹脂層が、支持基板表面に接触しかつガラス基板表面には接触していない状態にあるオルガノポリシロキサン組成物を硬化させ、オルガノポリシロキサン組成物硬化後にガラス基板表面に接触させて形成された層であることが好ましい。
本発明の第2の態様においては、400℃以上の温度に10分以上暴露される用途に使用されることが好ましい。
The second aspect of the present invention is a glass substrate laminate having a support substrate, a glass substrate, and a cured silicone resin layer present between them.
The cured silicone resin layer contains at least (A) a linear organopolysiloxane having an alkenyl group, (B) an organopolysiloxane having a hydrogen atom bonded to a silicon atom, and (C) a platinum-based catalyst, The content of the component (C) is a cured product of an organopolysiloxane composition that cures by an addition reaction, which is 900 to 3000 ppm by mass in terms of platinum with respect to the total amount of the components (A) and (B),
The present invention provides a glass substrate laminate, wherein the peel strength between the glass substrate and the cured silicone resin layer is lower than the peel strength between the support substrate and the cured silicone resin layer.
In the second aspect of the present invention, the organopolysiloxane composition is cured by curing the organopolysiloxane composition in a state where the cured silicone resin layer is in contact with the support substrate surface and not in contact with the glass substrate surface. It is preferable that the layer is formed by contacting the glass substrate surface later.
In the 2nd aspect of this invention, it is preferable to use for the use exposed to the temperature of 400 degreeC or more for 10 minutes or more.

本発明の第3の態様は、第2の態様のガラス基板表面上に、表示装置用パネルの構成部材の少なくとも一部を形成してなる、表示装置用パネル製造用の支持体付き表示装置用パネルを提供するものである。   According to a third aspect of the present invention, there is provided a display device with a support for manufacturing a display device panel, wherein at least a part of the constituent members of the display device panel is formed on the glass substrate surface of the second aspect. A panel is provided.

本発明の第4の態様は、第2の態様のガラス基板積層体のガラス基板表面上に、表示装置用パネルの構成部材の少なくとも一部を形成し、その後ガラス基板と硬化シリコーン樹脂層付支持基板とを分離することを特徴とするガラス基板を有する表示装置用パネルの製造方法を提供するものである。   In the fourth aspect of the present invention, at least a part of the constituent members of the display device panel is formed on the glass substrate surface of the glass substrate laminate of the second aspect, and then the glass substrate and the support with the cured silicone resin layer are supported. The present invention provides a method for manufacturing a panel for a display device having a glass substrate, wherein the substrate is separated from the substrate.

本発明の第5の態様は、ガラス基板に対する剥離性樹脂層を形成する用途に用いられる、オルガノポリシロキサン組成物であって、
(A)アルケニル基を有する直鎖状オルガノポリシロキサンと、(B)ケイ素原子に結合した水素原子を有するオルガノポリシロキサンと、(C)白金系触媒とを少なくとも含有し、(C)成分の含有量が(A)成分および(B)成分の合計量に対して白金換算で900〜3000質量ppmであることを特徴とする、付加反応で硬化するオルガノポリシロキサン組成物を提供するものである。
5th aspect of this invention is an organopolysiloxane composition used for the use which forms the peelable resin layer with respect to a glass substrate,
(A) a linear organopolysiloxane having an alkenyl group, (B) an organopolysiloxane having a hydrogen atom bonded to a silicon atom, and (C) a platinum-based catalyst. The present invention provides an organopolysiloxane composition curable by addition reaction, characterized in that the amount is 900 to 3000 ppm by mass in terms of platinum with respect to the total amount of the component (A) and the component (B).

本発明の第5の態様においては、硬化物が400℃以上の温度に10分以上暴露される用途に使用されることが好ましい。また、本発明の第5の態様においては、硬化物がガス非透過性の面材で密閉された状態で400℃以上の温度に10分以上暴露される用途に使用されることも好ましい。   In the 5th aspect of this invention, it is preferable to use for the use to which a hardened | cured material is exposed to the temperature of 400 degreeC or more for 10 minutes or more. Moreover, in the 5th aspect of this invention, it is also preferable to use for the use to which the hardened | cured material is exposed to the temperature of 400 degreeC or more for 10 minutes or more in the state sealed with the gas-impermeable face material.

本発明によれば、耐熱性に優れ、積層されたガラス基板を破壊することなく短時間に剥離することができ、TFTアレイの製造など高温条件下の製造プロセスにも適用できるガラス基板を支持するための支持体を提供することができる。
さらに、本発明によれば、オルガノポリシロキサン組成物、ガラス基板積層体、支持体付き表示装置用パネル、および表示装置用パネルの製造方法を提供することもできる。
According to the present invention, a glass substrate that has excellent heat resistance, can be peeled off in a short time without breaking the laminated glass substrate, and can be applied to a manufacturing process under a high temperature condition such as manufacturing a TFT array is supported. A support can be provided.
Furthermore, according to this invention, the manufacturing method of the organopolysiloxane composition, the glass substrate laminated body, the panel for display apparatuses with a support body, and the panel for display apparatuses can also be provided.

本発明に係る支持体付き表示装置用パネルの一実施形態の模式的断面図である。It is typical sectional drawing of one Embodiment of the panel for display apparatuses with a support which concerns on this invention.

以下に、本発明に係るオルガノポリシロキサン組成物、支持体、ガラス基板積層体、および、支持体付き表示装置用パネルについて詳述する。
まず、以下に、オルガノポリシロキサン組成物(構成成分など)について詳述する。
該組成物の特徴としては、白金系触媒の量が挙げられる。つまり、本発明においては、従来技術よりもより多くの白金系触媒を使用することにより、高温条件下での樹脂の分解に伴い発生するラジカル(例えば、・O−Si)が白金系触媒によって捕捉(トラップ)される。その結果、発生したラジカルによる連鎖的な樹脂の分解が抑制され、硬化シリコーン樹脂層の耐熱性が向上するという特徴を有する。なお、上記のような効果は、樹脂層が支持基板とガラス基板との間に挟まれた密閉状態の場合により顕著に表れる。
Hereinafter, the organopolysiloxane composition, the support, the glass substrate laminate, and the display-equipped panel for the support according to the present invention will be described in detail.
First, the organopolysiloxane composition (components, etc.) will be described in detail below.
A characteristic of the composition includes the amount of a platinum-based catalyst. In other words, in the present invention, by using a larger amount of platinum-based catalyst than in the prior art, radicals (for example, .O-Si) generated with the decomposition of the resin under high temperature conditions are captured by the platinum-based catalyst. (Trap). As a result, the decomposition of the chained resin by the generated radicals is suppressed, and the heat resistance of the cured silicone resin layer is improved. In addition, the above effects are more prominent in a sealed state in which the resin layer is sandwiched between the support substrate and the glass substrate.

<オルガノポリシロキサン組成物>
本発明に係るオルガノポリシロキサン組成物には、以下の3つの成分が含有される。
(A)成分:アルケニル基を有する直鎖状オルガノポリシロキサン(以下、オルガノアルケニルポリシロキサンともいう。)
(B)成分:ケイ素原子に結合した水素原子を有するオルガノポリシロキサン(以下、オルガノハイドロジェンポリシロキサンともいう。)
(C)成分:白金系触媒
また、(C)成分の含有量は、(A)成分および(B)成分の合計量に対して、白金換算で900〜3000質量ppmである。
また、必要に応じて、組成物中には(D)成分:付加反応抑制剤が含有されていてもよい。
以下に、各構成成分について詳述する。
<Organopolysiloxane composition>
The organopolysiloxane composition according to the present invention contains the following three components.
Component (A): Linear organopolysiloxane having an alkenyl group (hereinafter also referred to as organoalkenyl polysiloxane)
Component (B): organopolysiloxane having a hydrogen atom bonded to a silicon atom (hereinafter also referred to as organohydrogenpolysiloxane)
Component (C): Platinum-based catalyst The content of the component (C) is 900 to 3000 ppm in terms of platinum with respect to the total amount of the component (A) and the component (B).
Moreover, (D) component: addition reaction inhibitor may contain in the composition as needed.
Below, each component is explained in full detail.

<(A)成分:オルガノアルケニルポリシロキサン>
(A)成分であるオルガノアルケニルポリシロキサンは、1分子中にアルケニル基を有する直鎖状オルガノポリシロキサンである。
<(A) component: Organoalkenyl polysiloxane>
The organoalkenyl polysiloxane as component (A) is a linear organopolysiloxane having an alkenyl group in one molecule.

アルケニル基としては特に限定されないが、例えば、ビニル基(エテニル基)、アリル基(2−プロペニル基)、ブテニル基、ペンテニル基、ヘキシニル基などが挙げられ、中でも耐熱性に優れる点から、ビニル基が好ましい。
一分子中に含まれるアルケニル基の数は、2個以上であることが好ましい。
また、オルガノアルケニルポリシロキサン中におけるアルケニル基の含有量は特に制限されないが、得られる樹脂層の耐熱性が優れる点で、0.03〜10mol%が好ましく、0.05〜5mol%がより好ましく、0.1〜3mol%が特に好ましい。アルケニル基の含有量が高すぎると、粘度の増加により取扱いが難しくなることがある。
Although it does not specifically limit as an alkenyl group, For example, a vinyl group (ethenyl group), an allyl group (2-propenyl group), a butenyl group, a pentenyl group, a hexynyl group etc. are mentioned, Among these, since it is excellent in heat resistance, a vinyl group Is preferred.
The number of alkenyl groups contained in one molecule is preferably 2 or more.
Further, the content of the alkenyl group in the organoalkenyl polysiloxane is not particularly limited, but is preferably 0.03 to 10 mol%, more preferably 0.05 to 5 mol%, in terms of excellent heat resistance of the resulting resin layer. 0.1 to 3 mol% is particularly preferable. If the alkenyl group content is too high, handling may be difficult due to an increase in viscosity.

オルガノアルケニルポリシロキサンの25℃における粘度は特に制限されないが、取扱い性、および、得られる硬化シリコーン樹脂層の耐熱性の点から、40〜10000cPが好ましく、40〜5000cPがより好ましい。   The viscosity at 25 ° C. of the organoalkenylpolysiloxane is not particularly limited, but is preferably 40 to 10000 cP, more preferably 40 to 5000 cP, from the viewpoints of handleability and the heat resistance of the resulting cured silicone resin layer.

一般に、直線状のオルガノポリシロキサンの両末端の1官能性単位はM単位と呼ばれ、両末端以外の2官能性の単位はD単位と呼ばれ、n個のD単位を有する線状のオルガノポリシロキサンの構造は、M(D)nMで表される。また、各単位の平均組成を表す場合、M2(D)nで表されることもある。 In general, monofunctional units at both ends of a linear organopolysiloxane are called M units, and bifunctional units other than both ends are called D units, and linear organopolysiloxanes having n D units are used. The structure of polysiloxane is represented by M (D) n M. Moreover, when expressing the average composition of each unit, it may be represented by M 2 (D) n .

オルガノアルケニルポリシロキサンにおいて、アルケニル基はM単位またはD単位に存在し、M単位とD単位の両方に存在していてもよい。硬化速度の点から、少なくともM単位に存在していることが好ましく、2個のM単位の両方に存在していることが好ましい。また、M単位のみにアルケニル基を有するオルガノアルケニルポリシロキサンは、それが高分子量になるほど1分子あたりのアルケニル基濃度が低くなり硬化シリコーン樹脂層の架橋密度が低下するため、耐熱性の低下をもたらすおそれがあることより、M単位とともにD単位の一部にもアルケニル基を有していることが好ましい。   In the organoalkenyl polysiloxane, the alkenyl group is present in the M unit or D unit, and may be present in both the M unit and D unit. From the viewpoint of curing speed, it is preferably present at least in M units, and preferably present in both two M units. In addition, organoalkenylpolysiloxanes having alkenyl groups only in M units have a lower heat resistance because the higher the molecular weight, the lower the alkenyl group concentration per molecule and the lower the crosslinking density of the cured silicone resin layer. Since there exists a possibility, it is preferable to have an alkenyl group in a part of D unit with M unit.

オルガノアルケニルポリシロキサンとしては、下記式(1)で表される平均組成の直鎖状オルガノポリシロキサンが好ましい。
(M1a(M2b(D1c(D2d ・・・(1)
ただし、M1はアルケニル基を有しないM単位、M2はアルケニル基を有するM単位、D1はアルケニル基を有しないD単位、およびD2はアルケニル基を有するD単位を表し、aは0〜2の数、bは0〜2の数でa+b=2、cは0以上の数、dは0以上の数でc+d=nである(ただし、b+dは2以上)。なお、nは1〜1500が好ましい。
より好ましい式(1)で表されるオルガノアルケニルポリシロキサンは、aが0以上1未満の数、bは1以上2以下の数、cは1以上の数、dは1以上の数である。
As the organoalkenylpolysiloxane, a linear organopolysiloxane having an average composition represented by the following formula (1) is preferable.
(M 1 ) a (M 2 ) b (D 1 ) c (D 2 ) d (1)
Where M 1 is an M unit having no alkenyl group, M 2 is an M unit having an alkenyl group, D 1 is a D unit having no alkenyl group, and D 2 is a D unit having an alkenyl group, and a is 0 The number of ˜2, b is a number of 0 to 2, a + b = 2, c is a number of 0 or more, d is a number of 0 or more, and c + d = n (where b + d is 2 or more). In addition, n is preferably 1 to 1500.
In the more preferred organoalkenylpolysiloxane represented by the formula (1), a is a number of 0 or more and less than 1, b is a number of 1 or more and 2 or less, c is a number of 1 or more, and d is a number of 1 or more.

2単位はアルケニル基を2個または3個有してもよいが、好ましくは1個有する。D2単位はアルケニル基を2個有してもよいが、好ましくは1個有する。アルケニル基としてはビニル基が好ましい。M1単位、D1単位、M2単位、D2単位は、下記式で表されるものであることが好ましい。R1〜R5は、それぞれ独立に、炭素数4以下のアルキル基もしくはフルオロアルキル基、またはフェニル基を表す。R1〜R5は、好ましくはすべてメチル基である。 The M 2 unit may have two or three alkenyl groups, but preferably has one. The D 2 unit may have two alkenyl groups, but preferably has one. The alkenyl group is preferably a vinyl group. The M 1 unit, D 1 unit, M 2 unit, and D 2 unit are preferably those represented by the following formulae. R 1 to R 5 each independently represents an alkyl group or fluoroalkyl group having 4 or less carbon atoms, or a phenyl group. R 1 to R 5 are preferably all methyl groups.

式(1)はオルガノアルケニルポリシロキサンにおけるオルガノシロキサン単位の平均の組成を示すものであり、オルガノアルケニルポリシロキサンの個々の分子は、aは0から2である整数、bは0から2である整数でa+b=2を満たし、cは0以上の整数、dは0以上の整数である。オルガノアルケニルポリシロキサンは1分子あたりアルケニル基を2個以上有することより、b+dが2以上である。
直鎖状の構造を有する化合物である上記オルガノアルケニルポリシロキサンは、アルケニル基を有する他のオルガノポリシロキサン(分岐状オルガノポリシロキサンなど)との混合物であってもよいが、通常、オルガノアルケニルポリシロキサンのみが使用される。ただし、オルガノアルケニルポリシロキサンは、2種以上のオルガノアルケニルポリシロキサン混合物であってもよい。なお、異なるLa値を示す2種のオルガノアルケニルポリシロキサンを併用すると、より有利な効果が得られる。La値に関しては、後段で説明する。
また、式(1)で表わされるオルガノアルケニルポリシロキサンにおいてD1とD2がいずれも多数存在する場合、D1とD2の配列はランダム共重合鎖構造であってもブロック共重合鎖構造であってもよい。
なお、オルガノアルケニルポリシロキサンとしては国際公開第2007/018028号に記載の以下式(A)や式(B)で表されるオルガノアルケニルポリシロキサンを使用できる。以下式(A)および(B)中、pは1〜1500の整数を表し、qは1〜1500の整数を表す。p+q=nである。
Formula (1) shows the average composition of the organosiloxane units in the organoalkenyl polysiloxane, and each molecule of the organoalkenyl polysiloxane is an integer where a is an integer from 0 to 2, and b is an integer from 0 to 2. And a + b = 2 is satisfied, c is an integer of 0 or more, and d is an integer of 0 or more. Since the organoalkenyl polysiloxane has two or more alkenyl groups per molecule, b + d is 2 or more.
The organoalkenylpolysiloxane which is a compound having a linear structure may be a mixture with another organopolysiloxane having an alkenyl group (such as a branched organopolysiloxane). Only used. However, the organoalkenyl polysiloxane may be a mixture of two or more organoalkenyl polysiloxanes. In addition, when two types of organoalkenylpolysiloxanes having different La values are used in combination, a more advantageous effect can be obtained. The La value will be described later.
In addition, when there are a large number of D 1 and D 2 in the organoalkenyl polysiloxane represented by the formula (1), the arrangement of D 1 and D 2 is a block copolymer chain structure even if it is a random copolymer chain structure. There may be.
As the organoalkenyl polysiloxane, organoalkenyl polysiloxanes represented by the following formulas (A) and (B) described in International Publication No. 2007/018028 can be used. In the following formulas (A) and (B), p represents an integer of 1 to 1500, and q represents an integer of 1 to 1500. p + q = n.

オルガノアルケニルポリシロキサンの100グラムあたりのアルケニル基の当量数Laは、0.001≦La≦30の範囲にあることが好ましい。より好ましいLaは0.0015≦La≦20であり、さらに好ましくは0.002≦La≦15である。Laをこの範囲とすることにより、硬化シリコーン樹脂の耐熱性が良好となり、また硬化シリコーン樹脂の層とガラス基板との剥離強度の経時安定性が向上する。   The equivalent number La of alkenyl groups per 100 grams of the organoalkenyl polysiloxane is preferably in the range of 0.001 ≦ La ≦ 30. More preferable La is 0.0015 ≦ La ≦ 20, and further preferably 0.002 ≦ La ≦ 15. By setting La within this range, the heat resistance of the cured silicone resin is improved, and the temporal stability of the peel strength between the cured silicone resin layer and the glass substrate is improved.

<(B)成分:オルガノハイドロジェンポリシロキサン>
(B)成分であるオルガノハイドロジェンポリシロキサンは、ケイ素原子に結合した水素原子を有するオルガノポリシロキサンである。
オルガノハイドロジェンポリシロキサン中におけるケイ素原子と結合する水素原子の数は、得られる硬化シリコーン樹脂層の耐熱性が良好である点から、2個以上であることが好ましく、2〜200個がより好ましく、6〜100個が特に好ましい。
<(B) component: organohydrogenpolysiloxane>
The (B) component organohydrogenpolysiloxane is an organopolysiloxane having a hydrogen atom bonded to a silicon atom.
The number of hydrogen atoms bonded to silicon atoms in the organohydrogenpolysiloxane is preferably 2 or more, more preferably 2 to 200, from the viewpoint of good heat resistance of the resulting cured silicone resin layer. 6 to 100 are particularly preferred.

オルガノハイドロジェンポリシロキサンの25℃における粘度は特に制限されないが、取扱い性、および、得られる硬化シリコーン樹脂層の耐熱性の点から、1〜1000cPが好ましく、5〜800cPがより好ましい。   The viscosity of the organohydrogenpolysiloxane at 25 ° C. is not particularly limited, but is preferably 1 to 1000 cP, more preferably 5 to 800 cP, from the viewpoints of handleability and the heat resistance of the resulting cured silicone resin layer.

オルガノハイドロジェンポリシロキサンは直鎖状でも、分岐状でもよく、得られる硬化シリコーン樹脂層の耐熱性の点からは、直鎖状が好ましい。
直鎖状の場合、水素原子はM単位またはD単位に存在し、M単位とD単位の両方に存在していてもよい。硬化速度の点から、少なくともM単位に存在していることが好ましく、2個のM単位の両方に存在していることが好ましい。
The organohydrogenpolysiloxane may be linear or branched, and is preferably linear from the viewpoint of the heat resistance of the resulting cured silicone resin layer.
In the case of a straight chain, the hydrogen atom is present in the M unit or D unit, and may be present in both the M unit and D unit. From the viewpoint of curing speed, it is preferably present at least in M units, and preferably present in both two M units.

オルガノハイドロジェンポリシロキサンとしては、下記式(2)で表される平均組成の直鎖状のオルガノハイドロジェンポリシロキサンが好ましい。
(M3α(M4β(D3γ(D4δ ・・・(2)
ただし、M3はケイ素原子に結合した水素原子が存在しないM単位、M4はケイ素原子に結合した水素原子が存在するM単位、D3はケイ素原子に結合した水素原子が存在しないD単位、およびD4はケイ素原子に結合した水素原子が存在するD単位を表し、αは0以上2未満の数、βは0でない2以下の数でα+β=2、γは0を超える数、δは0以上の数でγ+δ=mである。なお、mは1〜150が好ましい。
より好ましいオルガノハイドロジェンポリシロキサンは、αは0以上1未満の数、βは1以上2以下の数、γは1以上の数、δは1以上の数である。
As the organohydrogenpolysiloxane, a linear organohydrogenpolysiloxane having an average composition represented by the following formula (2) is preferable.
(M 3 ) α (M 4 ) β (D 3 ) γ (D 4 ) δ (2)
Where M 3 is an M unit in which no hydrogen atom bonded to a silicon atom is present, M 4 is an M unit in which a hydrogen atom bonded to a silicon atom is present, D 3 is a D unit in which no hydrogen atom bonded to a silicon atom is present, And D 4 represents a D unit in which a hydrogen atom bonded to a silicon atom is present, α is a number of 0 or more and less than 2, β is a number of 2 or less that is not 0, α + β = 2, γ is a number exceeding 0, and δ is A number greater than or equal to 0 is γ + δ = m. In addition, m is preferably 1 to 150.
More preferable organohydrogenpolysiloxanes are such that α is a number of 0 or more and less than 1, β is a number of 1 or more and 2 or less, γ is a number of 1 or more, and δ is a number of 1 or more.

4単位はケイ素原子に結合した水素原子を2個または3個有してもよいが、好ましくは1個有する。D4単位はケイ素原子に結合した水素原子を2個有してもよいが、好ましくは1個有する。M3単位、D3単位、M4単位、D4単位は、下記式で表されるものであることが好ましい。R1〜R5は、それぞれ独立に、炭素数4以下のアルキル基もしくはフルオロアルキル基、またはフェニル基を表す。R1〜R5は好ましくはすべてメチル基である。 The M 4 unit may have two or three hydrogen atoms bonded to a silicon atom, but preferably has one. The D 4 unit may have two hydrogen atoms bonded to a silicon atom, but preferably has one. The M 3 unit, D 3 unit, M 4 unit, and D 4 unit are preferably those represented by the following formulae. R 1 to R 5 each independently represents an alkyl group or fluoroalkyl group having 4 or less carbon atoms, or a phenyl group. R 1 to R 5 are preferably all methyl groups.

4単位が存在する場合(δが0でない場合)、D3とD4の存在比であるγ/δは、分子中のケイ素原子に結合した水素原子の密度を表す指標である。この存在比(γ/δ)は、0.2〜30が好ましく、特に0.5〜20が好ましい。この存在比が小さすぎると硬化シリコーン樹脂中に未反応のケイ素原子に結合した水素原子の残存量が多くなることより、硬化シリコーン樹脂のガラス基板に対する剥離強度の経時的変化が大きくなり、また耐熱性の低下をもたらすおそれがある。また、存在比が大きすぎると、硬化シリコーン樹脂の架橋密度が低下するため、耐熱性の低下をもたらすおそれがある。 When D 4 units are present (when δ is not 0), γ / δ, which is the abundance ratio between D 3 and D 4 , is an index representing the density of hydrogen atoms bonded to silicon atoms in the molecule. The abundance ratio (γ / δ) is preferably 0.2 to 30, and particularly preferably 0.5 to 20. If this abundance ratio is too small, the residual amount of hydrogen atoms bonded to unreacted silicon atoms in the cured silicone resin increases, so that the change in peel strength of the cured silicone resin with respect to the glass substrate increases with time, and heat resistance is increased. There is a risk of deteriorating sex. On the other hand, if the abundance ratio is too large, the crosslink density of the cured silicone resin decreases, which may cause a decrease in heat resistance.

4単位とD4単位の存在比を表すβ/δは、15≦(β/δ)×1000≦1500であることが好ましい。より好ましくは15≦(β/δ)×1000≦1000であり、特に15≦(β/δ)×1000≦500であることが好ましい。(β/δ)×1000が15以上であれば、分子量、架橋密度が大きくなりすぎることなく反応性が良好であるため、未反応基に起因する剥離強度の経時変化が少なく剥離強度が安定である。一方、(β/δ)×1000が1500以下であれば分子量、架橋密度が適正であるため強度等の物性が良好である。 Β / δ representing the abundance ratio of M 4 units to D 4 units is preferably 15 ≦ (β / δ) × 1000 ≦ 1500. More preferably, 15 ≦ (β / δ) × 1000 ≦ 1000, and particularly preferably 15 ≦ (β / δ) × 1000 ≦ 500. If (β / δ) × 1000 is 15 or more, the molecular weight and the crosslinking density are not excessively high, and the reactivity is good. Therefore, the peel strength due to unreacted groups is less changed with time, and the peel strength is stable. is there. On the other hand, if (β / δ) × 1000 is 1500 or less, the molecular weight and the crosslink density are appropriate, so that physical properties such as strength are good.

なお、オルガノハイドロジェンポリシロキサンとしては、国際公開第2007/018028号に記載の以下式(C)で表されるオルガノハイドロジェンポリシロキサン(β=0の化合物に該当)を使用することもできる。以下式(C)中、xは0〜150の整数を表し、yは1〜150の整数を表す。x+y=mである。   An organohydrogenpolysiloxane represented by the following formula (C) described in International Publication No. 2007/018028 can also be used as the organohydrogenpolysiloxane (corresponding to a compound with β = 0). In the following formula (C), x represents an integer of 0 to 150, and y represents an integer of 1 to 150. x + y = m.

オルガノポリシロキサン組成物におけるオルガノアルケニルポリシロキサンとオルガノハイドロジェンポリシロキサンとの含有比率は特に限定されないが、オルガノハイドロジェンポリシロキサンのケイ素原子に結合した水素原子と、オルガノアルケニルポリシロキサン中の全アルケニル基とのモル比(水素原子/アルケニル基)が0.7〜1.05となるように調整することが好ましい。なかでも、0.8〜1.0となるように含有比率を調整することが好ましい。ケイ素原子に結合した水素原子とアルケニル基とのモル比が1.05を超える場合には、硬化シリコーン樹脂の長期間放置後の剥離力が上昇するおそれがある。また、ケイ素原子に結合した水素原子とアルケニル基のモル比が0.7未満である場合には、硬化シリコーン樹脂の架橋密度が低下するため、耐薬品性等に問題が生じるおそれがある。   The content ratio of the organoalkenylpolysiloxane and the organohydrogenpolysiloxane in the organopolysiloxane composition is not particularly limited. And the molar ratio (hydrogen atom / alkenyl group) is preferably adjusted to 0.7 to 1.05. Especially, it is preferable to adjust a content ratio so that it may become 0.8-1.0. When the molar ratio between the hydrogen atom bonded to the silicon atom and the alkenyl group exceeds 1.05, the peel strength of the cured silicone resin after standing for a long time may increase. In addition, when the molar ratio of the hydrogen atom bonded to the silicon atom and the alkenyl group is less than 0.7, the crosslink density of the cured silicone resin is lowered, which may cause a problem in chemical resistance.

<(C)成分:白金系触媒>
(C)成分は白金系触媒であり、(A)成分中のアルケニル基と、(B)成分中のケイ素原子に結合した水素原子との反応を促進する触媒である。
白金系触媒としては、公知のものを用いることができる。具体的には、白金微粉末、白金黒、塩化第一白金酸、塩化第二白金酸などの塩化白金酸、四塩化白金、塩化白金酸のアルコール化合物若しくはアルデヒド化合物、白金のオレフィン錯体、アルケニルシロキサン錯体若しくはカルボニル錯体などがあげられる。より具体的には、白金のアルケニルシロキサン錯体などの市販品(例えば、信越シリコーン株式会社製、CAT−PL−56)を使用することができる。
<(C) component: platinum-based catalyst>
Component (C) is a platinum-based catalyst that promotes the reaction between the alkenyl group in component (A) and the hydrogen atom bonded to the silicon atom in component (B).
A known catalyst can be used as the platinum-based catalyst. Specifically, platinum fine powder, platinum black, chloroplatinic acid such as chloroplatinic acid, dichloroplatinic acid, platinum tetrachloride, alcohol compound or aldehyde compound of chloroplatinic acid, platinum olefin complex, alkenylsiloxane And a complex or a carbonyl complex. More specifically, commercially available products such as platinum alkenylsiloxane complex (for example, CAT-PL-56 manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd.) can be used.

オルガノポリシロキサン組成物における白金系触媒の含有量は、(A)成分および(B)成分の合計量に対して、白金換算で900〜3000質量ppmである。なかでも、得られる硬化シリコーン樹脂層の耐熱性と、オルガノポリシロキサン組成物の塗布性(液の保存安定性)の点で、1100〜3000質量ppmが好ましく、1500〜3000質量ppmがより好ましい。900質量ppm以上であると、得られる硬化シリコーン樹脂層の耐熱性が良好である。3000質量ppm以下であると、組成物の塗布性(液の保存安定性)が良好である。
耐熱性が良好であるとは、液晶表示用部材等を製造する時の条件(温度・時間)で、硬化シリコーン樹脂層の重量減量が少ないことを指す。具体的には1回の加熱において、ガラス積層体中の硬化シリコーン樹脂層の初期の樹脂重量に対し、50重量%以上残存していることが好ましく、70重量%以上残存していることがより好ましい。
塗布性(液の保存安定性)が良好であるとは、具体的には室温で保管中に粘度上昇が小さく、塗布した時に良好な表面状態の塗膜が得られることを指す。増粘の程度に関しては、室温で組成物を1か月保存した場合、組成物の粘度が初期の粘度に対して1.1倍以内であることが好ましい。
The content of the platinum-based catalyst in the organopolysiloxane composition is 900 to 3000 mass ppm in terms of platinum with respect to the total amount of the component (A) and the component (B). Especially, 1100-3000 mass ppm is preferable and 1500-3000 mass ppm is more preferable at the point of the heat resistance of the cured silicone resin layer obtained, and the applicability | paintability (storage stability of a liquid) of an organopolysiloxane composition. The heat resistance of the obtained cured silicone resin layer is favorable in it being 900 mass ppm or more. When it is 3000 ppm by mass or less, the coating property (storage stability of the liquid) of the composition is good.
Good heat resistance means that the weight loss of the cured silicone resin layer is small under the conditions (temperature / time) for producing a liquid crystal display member or the like. Specifically, it is preferable that 50% by weight or more of the initial resin weight of the cured silicone resin layer in the glass laminate remains in one heating, and more than 70% by weight remains. preferable.
Specifically, the coating property (storage stability of the liquid) means that the increase in viscosity is small during storage at room temperature, and a coating film having a good surface condition can be obtained when it is applied. Regarding the degree of thickening, when the composition is stored for 1 month at room temperature, the viscosity of the composition is preferably within 1.1 times the initial viscosity.

<(D)成分:付加反応抑制剤>
(D)成分は付加反応抑制剤であり、白金系触媒による反応を制御する目的で使用する化合物である。なお、(D)成分は、任意の成分であり、必要に応じて使用される。
付加反応抑制剤としては、公知のものを使用することができる。具体的には、ベンゾトリアゾール系化合物(特公昭40−25069号公報)、アセチレンアルコール系化合物(特公昭44−31476号公報)、ビニル基含有ポリシロキサン化合物(特公昭48−10947号公報)、ハイドロパーオキサイド(特公昭57−20340号公報)、アミン系化合物(特開昭63−56563号公報)などが挙げられる。好適にはアセチレンあるいはアセチレンアルコール含有化合物から選択することができる。より具体的には3−メチル−1−ブチン−3−オール、3−メチル−1−ペンチン−3−オール、エチニルシクロヘキサノール、3,5−ジメチル−1−ヘキシン−3−オールなどを挙げることができる。
<(D) component: addition reaction inhibitor>
Component (D) is an addition reaction inhibitor and is a compound used for the purpose of controlling the reaction by the platinum-based catalyst. In addition, (D) component is arbitrary components and is used as needed.
Known addition reaction inhibitors can be used. Specifically, benzotriazole compounds (Japanese Patent Publication No. 40-25069), acetylene alcohol compounds (Japanese Patent Publication No. 44-31476), vinyl group-containing polysiloxane compounds (Japanese Patent Publication No. 48-10947), hydro Examples thereof include peroxides (Japanese Patent Publication No. 57-20340) and amine compounds (Japanese Patent Laid-Open No. 63-56563). Preferably, it can be selected from acetylene or acetylene alcohol-containing compounds. More specifically, 3-methyl-1-butyn-3-ol, 3-methyl-1-pentyn-3-ol, ethynylcyclohexanol, 3,5-dimethyl-1-hexyn-3-ol, etc. Can do.

オルガノポリシロキサン組成物における付加反応抑制剤の含有量は特に制限されないが、組成物の硬化反応の制御の点から、組成物全量に対して、0.1〜15質量%が好ましく、0.1〜10質量%がより好ましい。   The content of the addition reaction inhibitor in the organopolysiloxane composition is not particularly limited, but is preferably 0.1 to 15% by mass with respect to the total amount of the composition in terms of controlling the curing reaction of the composition, 10 mass% is more preferable.

(その他の添加剤)
本発明におけるオルガノポリシロキサン組成物には、必要に応じて本発明の効果を損なわない範囲で、各種添加剤が含有されていてもよい。例えば、各種シリカ、炭酸カルシウム、酸化鉄などの無機フィラーなどを含有していてもよい。
また、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、トルエン、キシレンなどの有機溶媒や水などの分散媒は、硬化シリコーン樹脂層を構成しない成分であるが、オルガノポリシロキサン組成物の塗布のための作業性向上などの目的で使用することができる。
(Other additives)
Various additives may be contained in the organopolysiloxane composition according to the present invention as long as the effects of the present invention are not impaired. For example, you may contain inorganic fillers, such as various silicas, calcium carbonate, and iron oxide.
In addition, organic solvents such as hexane, heptane, octane, toluene and xylene, and dispersion media such as water are components that do not constitute the cured silicone resin layer, but include improved workability for application of the organopolysiloxane composition. Can be used for purposes.

上記オルガノポリシロキサン組成物は、種々の用途に使用することができ、剥離性表面を有する樹脂層(剥離性樹脂層)の形成に使用されることが好ましい。なかでも、ガラス基板に対して剥離性を示す樹脂層を形成するために使用されることが好ましい。つまり、ガラス基板に対する剥離性樹脂層の形成用組成物であることが好ましい。
また、上記オルガノポリシロキサン組成物は、その硬化物である硬化シリコーン樹脂が400℃以上の温度に10分以上暴露される用途に使用されることも好ましい。
さらに、上記オルガノポリシロキサン組成物は、その硬化物である硬化シリコーン樹脂がガス非透過性の面材で密閉された状態で400℃以上の温度に10分以上暴露される用途に使用されることも好ましい。なお、ガス非透過性の面材としては、例えば、ガラス基板などが挙げられる。
The organopolysiloxane composition can be used for various applications, and is preferably used for forming a resin layer having a peelable surface (peelable resin layer). Especially, it is preferable to use in order to form the resin layer which shows peelability with respect to a glass substrate. That is, it is preferably a composition for forming a peelable resin layer on a glass substrate.
The organopolysiloxane composition is also preferably used for applications in which a cured silicone resin, which is a cured product thereof, is exposed to a temperature of 400 ° C. or higher for 10 minutes or longer.
Furthermore, the organopolysiloxane composition should be used in applications where the cured silicone resin, which is the cured product, is exposed to a temperature of 400 ° C. or more for 10 minutes or more in a state of being sealed with a gas-impermeable face material. Is also preferable. In addition, as a gas impermeable face material, a glass substrate etc. are mentioned, for example.

<支持体、ガラス基板積層体、支持体付き表示装置用パネル>
図1は、本発明の支持体付き表示装置用パネルの一実施形態の模式的断面図である。
同図に示す支持体付き表示装置用パネル10は、本発明に係る支持体20を備えているもので、支持基板12、樹脂層(硬化シリコーン樹脂層)14、ガラス基板16、表示装置用パネルの構成部材18をこの順で積層した積層構造を有する。なお、各層の厚さは、該図によって限定されない。
なお、支持基板12と樹脂層14とは本発明に係る支持体20を構成し、支持体20とガラス基板16とは本発明に係るガラス基板積層体30を構成し、ガラス基板16と表示装置用パネルの構成部材18とは表示装置用パネル40(支持体20がないもの)を構成する。
以下に、本発明に係る支持体20、ガラス基板積層体30、表示装置用パネル40、支持体付き表示装置用パネル10を構成する各層について説明する。
<Support, glass substrate laminate, panel for display with support>
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of an embodiment of a display panel with a support according to the present invention.
A display device panel 10 with a support shown in FIG. 1 includes a support 20 according to the present invention, and includes a support substrate 12, a resin layer (cured silicone resin layer) 14, a glass substrate 16, and a display device panel. The constituent members 18 are stacked in this order. Note that the thickness of each layer is not limited by the drawing.
The support substrate 12 and the resin layer 14 constitute the support 20 according to the present invention, the support 20 and the glass substrate 16 constitute the glass substrate laminate 30 according to the present invention, and the glass substrate 16 and the display device. The panel structural member 18 constitutes a display device panel 40 (without the support 20).
Below, each layer which comprises the support body 20, the glass substrate laminated body 30, the display apparatus panel 40, and the display apparatus panel 10 with a support body which concern on this invention is demonstrated.

<支持基板>
本発明で使用される支持基板12は、後述する樹脂層14を介してガラス基板16を支持し、ガラス基板16の強度を補強するためのものであれば、特に限定されない。
支持基板12の材質としては特に制限されないが、工業的な入手の容易性の観点より、ガラス、シリコン、合成樹脂、金属等が好適な例として例示される。なかでも、支持基板12としては、ガラス板、シリコンウエハ、合成樹脂板または金属板であることが好ましい。
<Support substrate>
The support substrate 12 used in the present invention is not particularly limited as long as it supports the glass substrate 16 through a resin layer 14 described later and reinforces the strength of the glass substrate 16.
Although it does not restrict | limit especially as a material of the support substrate 12, Glass, a silicon | silicone, a synthetic resin, a metal, etc. are illustrated as a suitable example from a viewpoint of industrial availability. Among these, the support substrate 12 is preferably a glass plate, a silicon wafer, a synthetic resin plate, or a metal plate.

支持基板12の材質としてガラスを採用する場合、その組成は、例えばアルカリ金属酸化物を含有するガラス(ソーダライムガラスなど)、無アルカリガラスなどの種々の組成のガラスを使用できる。中でも、熱収縮率が小さいことから無アルカリガラスであることが好ましい。
ガラス基板16と支持基板12に用いるガラスとの線膨張係数の差は、150×10−7/℃以下であることが好ましく、100×10−7/℃以下であることがより好ましく、50×10−7/℃以下であることがさらに好ましい。ガラス基板16のガラスと支持基板12のガラスとは同一材質のガラスであってもよい。この場合は、両ガラスの線膨張係数の差は0である。
When glass is employed as the material of the support substrate 12, glass having various compositions such as glass containing alkali metal oxide (such as soda lime glass) and non-alkali glass can be used. Among these, alkali-free glass is preferable because of its low thermal shrinkage rate.
The difference in coefficient of linear expansion between the glass substrate 16 and the glass used for the support substrate 12 is preferably 150 × 10 −7 / ° C. or less, more preferably 100 × 10 −7 / ° C. or less, and 50 × More preferably, it is 10 −7 / ° C. or less. The glass of the glass substrate 16 and the glass of the support substrate 12 may be made of the same material. In this case, the difference between the linear expansion coefficients of both glasses is zero.

支持基板12の材質としてプラスチック(合成樹脂)を採用する場合、その種類は特に制限されず、例えば、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリイミド樹脂、フッ素樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアラミド樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエーテルケトン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、ポリアクリル樹脂、各種液晶ポリマー樹脂、シリコーン樹脂などが例示される。   When plastic (synthetic resin) is adopted as the material of the support substrate 12, the type is not particularly limited. For example, polyethylene terephthalate resin, polycarbonate resin, polyimide resin, fluorine resin, polyamide resin, polyaramid resin, polyethersulfone resin, Examples include polyether ketone resins, polyether ether ketone resins, polyethylene naphthalate resins, polyacrylic resins, various liquid crystal polymer resins, and silicone resins.

支持基板12の材質として金属を採用する場合、その種類は特に制限されず、例えば、ステンレス鋼、銅などが例示される。   When a metal is adopted as the material of the support substrate 12, the type is not particularly limited, and examples thereof include stainless steel and copper.

支持基板12の耐熱性は特に制限されないが、該支持基板12上にガラス基板16を積層した上で、表示装置用部材のTFTアレイなどを形成する場合は耐熱性が高いことが好ましい。具体的にはその材料サンプルを空気雰囲気下、10℃毎分のスピードで加熱して行った場合の重量減量がサンプル重量の5%を超えるときの温度を、5%加熱重量減温度と定義し、該温度が300℃以上であることが好ましい。更に350℃以上であることがより好ましい。
この場合、耐熱性の点では上記したガラスはどれも当てはまる。
耐熱性の観点より好ましいプラスチック材料としては、ポリイミド樹脂、フッ素樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアラミド樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエーテルケトン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、各種液晶ポリマー樹脂等が例示される。
The heat resistance of the support substrate 12 is not particularly limited. However, when a glass substrate 16 is laminated on the support substrate 12 and a TFT array of a display device member is formed, the heat resistance is preferably high. Specifically, the temperature at which the weight loss when the material sample is heated at 10 ° C./min in an air atmosphere exceeds 5% of the sample weight is defined as the 5% heating weight loss temperature. The temperature is preferably 300 ° C. or higher. Furthermore, it is more preferable that it is 350 degreeC or more.
In this case, any of the above glasses is applicable in terms of heat resistance.
Preferred plastic materials from the viewpoint of heat resistance include polyimide resins, fluororesins, polyamide resins, polyaramid resins, polyethersulfone resins, polyetherketone resins, polyetheretherketone resins, polyethylene naphthalate resins, and various liquid crystal polymer resins. Illustrated.

支持基板12の厚さは特に限定されないが、本発明のガラス基板積層体30を現行の表示装置用パネルの製造ラインで処理できる厚さであることが好ましい。例えば、現在、液晶表示装置に使用されているガラス基板の厚さは主に0.5〜1.2mmの範囲にあり、特に0.7mmが多い。本発明では主にこれよりも薄いガラス基板を使用することを想定している。この際、ガラス基板積層体30の厚さが現行のガラス基板と同程度の厚さであれば、現行の製造ラインに容易に適合できる。
例えば、現行の製造ラインが厚さ0.5mmのガラス基板を処理するように設計されたものであって、ガラス基板16の厚さが0.1mmである場合、支持基板12の厚さと樹脂層14の厚さとの和を0.4mmとする。また、現行の製造ラインは厚さが0.7mmのガラス基板を処理するように設計されているものが最も一般的であるが、例えば、ガラス基板16の厚さが0.4mmならば、支持基板12の厚さと樹脂層14の厚さとの和を0.3mmとする。
Although the thickness of the support substrate 12 is not specifically limited, It is preferable that it is the thickness which can process the glass substrate laminated body 30 of this invention with the manufacturing line of the present panel for display apparatuses. For example, the thickness of a glass substrate currently used in a liquid crystal display device is mainly in the range of 0.5 to 1.2 mm, and particularly 0.7 mm. In the present invention, it is mainly assumed that a thinner glass substrate is used. At this time, if the thickness of the glass substrate laminate 30 is about the same as the current glass substrate, it can be easily adapted to the current production line.
For example, when the current production line is designed to process a glass substrate having a thickness of 0.5 mm and the thickness of the glass substrate 16 is 0.1 mm, the thickness of the support substrate 12 and the resin layer The sum of the thickness of 14 is 0.4 mm. In addition, the current production line is most commonly designed to process a glass substrate having a thickness of 0.7 mm. For example, if the thickness of the glass substrate 16 is 0.4 mm, it is supported. The sum of the thickness of the substrate 12 and the thickness of the resin layer 14 is set to 0.3 mm.

本発明におけるガラス基板16は液晶表示装置に限られるものではなく、また本発明は、ガラス基板積層体30を現行の表示装置用パネル40の製造ラインに適合させることのみを目的とするものではない。したがって、支持基板12の厚さは限定されるものではないが、0.1〜1.1mmの厚さであることが好ましい。さらに、支持基板12の厚さは、ガラス基板16よりも厚いことが好ましい。また、支持基板12がガラス板である場合は、特に0.3mm以上であることが好ましい。支持基板12がガラス板である場合、その厚さは0.3〜0.8mmであることがより好ましく、0.4〜0.7mmであることがさらに好ましい。   The glass substrate 16 in the present invention is not limited to the liquid crystal display device, and the present invention is not intended only to adapt the glass substrate laminate 30 to the current production line for the display device panel 40. . Therefore, the thickness of the support substrate 12 is not limited, but is preferably 0.1 to 1.1 mm. Further, the thickness of the support substrate 12 is preferably thicker than the glass substrate 16. Moreover, when the support substrate 12 is a glass plate, it is preferable that it is especially 0.3 mm or more. When the support substrate 12 is a glass plate, the thickness is more preferably 0.3 to 0.8 mm, and further preferably 0.4 to 0.7 mm.

上述した各種材料で構成される支持基板12の表面は、支持基板12としてガラス基板を採用する場合は、研磨処理された研磨面でもよく、または研磨処理されていない非エッチング面(生地面)であってもよい。生産性およびコストの点からは、非エッチング面(生地面)であることが好ましい。   When the glass substrate is adopted as the support substrate 12, the surface of the support substrate 12 composed of the various materials described above may be a polished surface that is polished or a non-etched surface (fabric surface) that is not polished. There may be. From the viewpoint of productivity and cost, a non-etched surface (fabric surface) is preferable.

支持基板12は第1主面および第2主面を有しており、その形状は限定されないが、矩形であることが好ましい。ここで、矩形とは、実質的に略矩形であり、周辺部の角を切り落とした(コーナーカットした)形状をも含む。
支持基板12の大きさは限定されないが、例えば矩形の場合は100〜2000mm×100〜2000mmであってよく、500〜1000mm×500〜1000mmであることが好ましい。
The support substrate 12 has a first main surface and a second main surface, and the shape thereof is not limited, but is preferably rectangular. Here, the rectangle is substantially a rectangle and includes a shape obtained by cutting off the corners of the peripheral portion (corner cut).
Although the magnitude | size of the support substrate 12 is not limited, For example, in the case of a rectangle, it may be 100-2000 mm x 100-2000 mm, and it is preferable that it is 500-1000 mm x 500-1000 mm.

<樹脂層(硬化シリコーン樹脂層)>
樹脂層14は、上述した支持基板12の第1主面上に固定され、ガラス基板16が積層されたガラス基板積層体30においては、第1主面および第2主面を有するガラス基板16の第1主面に密着している。ガラス基板16の第1主面と樹脂層14との間の剥離強度は、支持基板12の第1主面と樹脂層14との間の剥離強度よりも低いことが必要である。すなわち、ガラス基板16と支持基板12とを分離する際には、ガラス基板16の第1主面と樹脂層14との界面で剥離し、支持基板12の第1主面と樹脂層14との界面では剥離し難いことが必要である。このため、樹脂層14はガラス基板16の第1主面と密着するが、ガラス基板16を容易に剥離することができる表面特性を有する。すなわち、樹脂層14は、ガラス基板16の第1主面に対してある程度の結合力で結合してガラス基板16の位置ずれなどを防止していると同時に、ガラス基板16を剥離する際には、ガラス基板16を破壊することなく、容易に剥離できる程度の結合力で結合している。本発明では、この樹脂層14表面の容易に剥離できる性質を剥離性という。一方、支持基板12の第1主面と樹脂層14とは相対的に剥離しがたい結合力で結合している。
<Resin layer (cured silicone resin layer)>
The resin layer 14 is fixed on the first main surface of the support substrate 12 described above, and in the glass substrate laminate 30 in which the glass substrate 16 is laminated, the glass substrate 16 having the first main surface and the second main surface. The first main surface is in close contact. The peel strength between the first main surface of the glass substrate 16 and the resin layer 14 needs to be lower than the peel strength between the first main surface of the support substrate 12 and the resin layer 14. That is, when separating the glass substrate 16 and the support substrate 12, the glass substrate 16 is peeled off at the interface between the first main surface of the glass substrate 16 and the resin layer 14, and the first main surface of the support substrate 12 and the resin layer 14 are separated. It must be difficult to peel off at the interface. For this reason, although the resin layer 14 adheres to the 1st main surface of the glass substrate 16, it has the surface characteristic which can peel the glass substrate 16 easily. That is, the resin layer 14 is bonded to the first main surface of the glass substrate 16 with a certain bonding force to prevent the glass substrate 16 from being displaced, and at the same time, when the glass substrate 16 is peeled off. The glass substrate 16 is bonded with a bonding force that can be easily peeled without breaking the glass substrate 16. In this invention, the property which can peel this resin layer 14 surface easily is called peelability. On the other hand, the first main surface of the support substrate 12 and the resin layer 14 are bonded with a bonding force that is relatively difficult to peel.

本発明のガラス基板積層体30において、樹脂層14とガラス基板16とは粘着剤が有するような粘着力によっては付いておらず、固体分子間におけるファンデルワールス力に起因する力、すなわち、密着力によって付いていることが好ましい。
一方、樹脂層14の上記支持基板12の第1主面に対する結合力は、ガラス基板16の第1主面に対する結合力よりも相対的に高い。本発明ではガラス基板16の第1主面に対する結合を密着といい、支持基板12の第1主面に対する結合を固定という。
また、樹脂層14の柔軟性が高いので、ガラス基板16と樹脂層14との間へ気泡や塵介等の異物が混入しても、ガラス基板16のゆがみ欠陥の発生を抑制することができる。
In the glass substrate laminate 30 of the present invention, the resin layer 14 and the glass substrate 16 are not attached by the adhesive force that the adhesive has, and the force caused by the van der Waals force between the solid molecules, that is, the adhesion It is preferable that it is attached by force.
On the other hand, the bonding force of the resin layer 14 to the first main surface of the support substrate 12 is relatively higher than the bonding force of the glass substrate 16 to the first main surface. In the present invention, the bonding of the glass substrate 16 to the first main surface is referred to as adhesion, and the bonding of the support substrate 12 to the first main surface is referred to as fixing.
Further, since the resin layer 14 is highly flexible, even if foreign matter such as bubbles or dust is mixed between the glass substrate 16 and the resin layer 14, it is possible to suppress the occurrence of distortion defects in the glass substrate 16. .

樹脂層14のガラス基板16の第1主面に対する剥離強度を相対的に低くし、樹脂層14の支持基板12の第1主面に対する剥離強度を相対的に高くするために、上述したオルガノポリシロキサン組成物を支持基板12の第1主面上で硬化させて硬化シリコーン樹脂からなる樹脂層14を形成し、その後に硬化シリコーン樹脂からなる樹脂層14にガラス基板16を積層して密着させることが好ましい。本発明における硬化シリコーン樹脂は剥離紙などに使用される非粘着性の硬化シリコーン樹脂と同様の樹脂であり、ガラス基板16と密着させても剥離強度は低い。しかし、硬化シリコーン樹脂となるオルガノポリシロキサン組成物を支持基板12表面で硬化させると、硬化反応時の支持基板12表面との相互作用により接着し、硬化後の樹脂層14と支持基板12表面との剥離強度は高くなると考えられる。したがって、ガラス基板16と支持基板12とが同じ材質からなるものであっても、樹脂層14と両者間の剥離強度に差を設けることができる。   In order to relatively lower the peel strength of the resin layer 14 with respect to the first main surface of the glass substrate 16 and to relatively increase the peel strength of the resin layer 14 with respect to the first main surface of the support substrate 12, A siloxane composition is cured on the first main surface of the support substrate 12 to form a resin layer 14 made of a cured silicone resin, and then a glass substrate 16 is laminated and adhered to the resin layer 14 made of a cured silicone resin. Is preferred. The cured silicone resin in the present invention is the same resin as the non-adhesive cured silicone resin used for release paper and the like, and even if it is in close contact with the glass substrate 16, the peel strength is low. However, when the organopolysiloxane composition to be a cured silicone resin is cured on the surface of the support substrate 12, it adheres by interaction with the surface of the support substrate 12 during the curing reaction, and the cured resin layer 14 and the surface of the support substrate 12 It is considered that the peel strength of the is increased. Therefore, even if the glass substrate 16 and the support substrate 12 are made of the same material, a difference can be provided in the peeling strength between the resin layer 14 and both.

ガラス基板16の第1主面に対する剥離強度と支持基板12の第1主面に対する剥離強度に差を設けた樹脂層14の形成は、上記方法に限られるものではない。例えば、樹脂層14表面に対する密着性がガラス基板16よりも高い材質の支持基板12を用いる場合には、フィルム状の樹脂層14(硬化シリコーン樹脂フィルム)を介在させてガラス基板16と支持基板12とを同時に積層することができる。
また、オルガノポリシロキサン組成物の硬化による接着性がガラス基板16に対して充分低くかつその接着性が支持基板12に対して充分高い場合は、ガラス基板16と支持基板12の間でオルガノポリシロキサン組成物を硬化させて樹脂層14を形成することができる。
支持基板12がガラス基板16と同様のガラス材料からなる場合であっても、支持基板12表面の接着性を高める処理を施して樹脂層14に対する剥離強度を高めることもできる。例えば、ガラス材料からなる支持基板12表面にシラノール基の濃度を高める処理を施して樹脂層14との結合力を高めることができる。
The formation of the resin layer 14 with a difference between the peel strength with respect to the first main surface of the glass substrate 16 and the peel strength with respect to the first main surface of the support substrate 12 is not limited to the above method. For example, when the support substrate 12 made of a material having higher adhesion to the surface of the resin layer 14 than the glass substrate 16 is used, the glass substrate 16 and the support substrate 12 are interposed with a film-like resin layer 14 (cured silicone resin film) interposed therebetween. Can be laminated simultaneously.
Further, when the adhesion of the organopolysiloxane composition by curing to the glass substrate 16 is sufficiently low and the adhesion to the support substrate 12 is sufficiently high, the organopolysiloxane is interposed between the glass substrate 16 and the support substrate 12. The resin layer 14 can be formed by curing the composition.
Even when the support substrate 12 is made of the same glass material as that of the glass substrate 16, it is possible to increase the peel strength with respect to the resin layer 14 by performing a process for improving the adhesion of the surface of the support substrate 12. For example, the surface of the support substrate 12 made of a glass material can be treated to increase the concentration of silanol groups to increase the bonding force with the resin layer 14.

<樹脂層の形成>
上述したように、オルガノポリシロキサン組成物を支持基板12の第1主面上で硬化させて、硬化シリコーン樹脂からなる樹脂層14を形成することが好ましい。そのために、オルガノポリシロキサン組成物を支持基板12の片面に塗布してオルガノポリシロキサン組成物の層を形成し、次いでオルガノポリシロキサン組成物を硬化させて硬化シリコーン樹脂層を形成する。
オルガノポリシロキサン組成物の層の形成は、オルガノポリシロキサン組成物が流動性の組成物の場合はそのまま塗布し、オルガノポリシロキサン組成物が流動性の低い組成物や流動性のない組成物の場合は、有機溶剤を配合して塗布する。また、オルガノポリシロキサン組成物の乳化液や分散液などを使用することもできる。有機溶剤などの揮発性成分を含む塗膜は、次いでその揮発性成分を蒸発除去してオルガノポリシロキサン組成物の層とする。オルガノポリシロキサン組成物の硬化は、揮発性成分の蒸発除去と連続して行うことができる。
<Formation of resin layer>
As described above, it is preferable to cure the organopolysiloxane composition on the first main surface of the support substrate 12 to form the resin layer 14 made of a cured silicone resin. For this purpose, the organopolysiloxane composition is applied to one side of the support substrate 12 to form a layer of the organopolysiloxane composition, and then the organopolysiloxane composition is cured to form a cured silicone resin layer.
When the organopolysiloxane composition is a fluid composition, the organopolysiloxane composition is formed as it is, and the organopolysiloxane composition is applied as it is, and the organopolysiloxane composition is a composition with low fluidity or non-fluidity. Is applied by blending an organic solvent. Also, an emulsion or dispersion of an organopolysiloxane composition can be used. The coating film containing a volatile component such as an organic solvent is then evaporated to remove the volatile component to form a layer of an organopolysiloxane composition. Curing of the organopolysiloxane composition can be performed continuously with the removal of volatile components by evaporation.

オルガノポリシロキサン組成物の硬化は上記方法に限られるものではない。例えば、オルガノポリシロキサン組成物を何らかの剥離性表面上で硬化して硬化シリコーン樹脂のフィルムを製造し、このフィルムを支持基板12と積層して支持体20を製造することができる。また、オルガノポリシロキサン組成物が揮発性成分を含まない場合、上記のように、ガラス基板16と支持基板12の間に挟持して硬化させることができる。   Curing of the organopolysiloxane composition is not limited to the above method. For example, the organopolysiloxane composition can be cured on some peelable surface to produce a cured silicone resin film, and this film can be laminated to the support substrate 12 to produce the support 20. When the organopolysiloxane composition does not contain a volatile component, it can be cured by being sandwiched between the glass substrate 16 and the support substrate 12 as described above.

オルガノポリシロキサン組成物を支持基板12の片面に塗布してオルガノポリシロキサン組成物の層を形成する場合、塗布方法は特に限定されず、従来公知の方法が挙げられる。公知の方法としては、スプレーコート法、ダイコート法、スピンコート法、ディップコート法、ロールコート法、バーコート法、スクリーン印刷法、グラビアコート法が挙げられる。このような方法の中から、組成物の種類に応じて適宜選択することができる。例えば、オルガノポリシロキサン組成物に揮発性成分を配合していない場合、ダイコート法、スピンコート法またはスクリーン印刷法が好ましい。溶剤などの揮発性成分を配合した組成物の場合、硬化前に加熱等で揮発性成分を除去してから硬化させる。   When the organopolysiloxane composition is applied to one side of the support substrate 12 to form a layer of the organopolysiloxane composition, the application method is not particularly limited, and a conventionally known method can be used. Known methods include spray coating, die coating, spin coating, dip coating, roll coating, bar coating, screen printing, and gravure coating. From such a method, it can select suitably according to the kind of composition. For example, when a volatile component is not blended in the organopolysiloxane composition, a die coating method, a spin coating method, or a screen printing method is preferable. In the case of a composition containing a volatile component such as a solvent, the composition is cured after removing the volatile component by heating or the like before curing.

オルガノポリシロキサン組成物を硬化させる条件としては、使用されるオルガノポリシロキサンなどの種類によって異なり、適宜最適な条件が選択される。通常、加熱温度としては50〜300℃が好ましく、100℃〜270℃がより好ましく、処理時間としては5〜300分が好ましく、5〜180分が好ましい。   The conditions for curing the organopolysiloxane composition vary depending on the type of organopolysiloxane used, and the optimum conditions are appropriately selected. Usually, the heating temperature is preferably 50 to 300 ° C, more preferably 100 ° C to 270 ° C, and the treatment time is preferably 5 to 300 minutes, more preferably 5 to 180 minutes.

樹脂層14が低シリコーン移行性を有していれば、ガラス基板16を剥離した際に、樹脂層14中の成分がガラス基板に移行しにくい。シリコーン移行性とは、シリコーン樹脂中の比較的低分子量のシリコーン成分がシリコーン樹脂表面からシリコーン樹脂に接した他の材料の表面に移行する現象をいう。本発明においては、樹脂層14の硬化シリコーン樹脂中に存在する、未反応のオルガノポリシロキサン、オルガノポリシロキサンの分解物、硬化シリコーン樹脂の分解物などが移行しやすいシリコーン成分となる。
低シリコーン移行性を有する樹脂層14とするためには、樹脂層14中に未反応のオルガノポリシロキサン成分が残らないように硬化反応をできるだけ進行させることが好ましい。上記のような反応温度および反応時間であると、樹脂層14中に未反応のオルガノポリシロキサン成分が実質的に残らないようにすることができるので好ましい。上記した反応時間よりも長すぎたり、反応温度が高すぎたりする場合には、オルガノポリシロキサン成分や硬化シリコーン樹脂の酸化分解が同時に起こり低分子量のオルガノポリシロキサン成分が生成して、シリコーン移行性が高くなるおそれがある。樹脂層14中に未反応のオルガノポリシロキサン成分が残らないように硬化反応をできるだけ進行させることは、加熱処理後の剥離性を良好にするためにも好ましい。
If the resin layer 14 has low silicone migration, when the glass substrate 16 is peeled off, the components in the resin layer 14 are difficult to migrate to the glass substrate. Silicone transferability refers to a phenomenon in which a relatively low molecular weight silicone component in a silicone resin moves from the surface of the silicone resin to the surface of another material in contact with the silicone resin. In the present invention, unreacted organopolysiloxane, decomposed product of organopolysiloxane, decomposed product of cured silicone resin, etc. present in the cured silicone resin of the resin layer 14 are silicone components that easily migrate.
In order to obtain the resin layer 14 having low silicone migration, it is preferable to proceed the curing reaction as much as possible so that an unreacted organopolysiloxane component does not remain in the resin layer 14. The reaction temperature and reaction time as described above are preferable because substantially no unreacted organopolysiloxane component remains in the resin layer 14. If the reaction time is too long or the reaction temperature is too high, the organopolysiloxane component and the cured silicone resin are simultaneously oxidized and decomposed to produce a low molecular weight organopolysiloxane component, resulting in silicone migration. May increase. It is preferable to allow the curing reaction to proceed as much as possible so that an unreacted organopolysiloxane component does not remain in the resin layer 14 in order to improve the peelability after the heat treatment.

なお、樹脂層14と支持基板12との高い固定力(高い剥離強度)を付与するために、支持基板12表面に表面改質処理(プライミング処理)を行ってもよい。例えば、シランカップリング剤のような化学的に固定力を向上させる化学的方法(プライマー処理)や、フレーム(火炎)処理のように表面活性基を増加させる物理的方法、サンドブラスト処理のように表面の粗度を増加させることにより引っかかりを増加させる機械的処理方法などが例示される。   In addition, in order to provide a high fixing force (high peel strength) between the resin layer 14 and the support substrate 12, surface modification treatment (priming treatment) may be performed on the surface of the support substrate 12. For example, a chemical method (primer treatment) that improves the fixing force chemically such as a silane coupling agent, a physical method that increases surface active groups such as a flame (flame) treatment, or a surface such as a sandblast treatment Examples of such a mechanical processing method increase the catch by increasing the roughness of the material.

上記硬化シリコーン樹脂からなる樹脂層14の厚さは特に限定されず、ガラス基板16の種類などにより適宜最適な厚さが選択される。なかでも、5〜50μmであることが好ましく、5〜30μmであることがより好ましく、7〜30μmであることがさらに好ましい。樹脂層14の厚さがこのような範囲であると、ガラス基板16表面と樹脂層14との密着がより良好となる。また、気泡や異物が介在しても、ガラス基板16のゆがみ欠陥の発生をより抑制することができる。また、樹脂層14の厚さが厚すぎると、形成するのに時間および材料を要するため経済的ではない。
なお、樹脂層14は2層以上からなっていてもよい。この場合「樹脂層の厚さ」は全ての層の合計の厚さを意味するものとする。
また、樹脂層14が2層以上からなる場合は、各々の層を形成する樹脂の種類が異なってもよい。
The thickness of the resin layer 14 made of the cured silicone resin is not particularly limited, and an optimal thickness is appropriately selected depending on the type of the glass substrate 16 and the like. Especially, it is preferable that it is 5-50 micrometers, It is more preferable that it is 5-30 micrometers, It is further more preferable that it is 7-30 micrometers. When the thickness of the resin layer 14 is within such a range, the adhesion between the surface of the glass substrate 16 and the resin layer 14 becomes better. Moreover, even if air bubbles or foreign substances are present, the occurrence of distortion defects in the glass substrate 16 can be further suppressed. In addition, if the thickness of the resin layer 14 is too thick, it takes time and materials to form the resin layer 14 and is not economical.
The resin layer 14 may be composed of two or more layers. In this case, “the thickness of the resin layer” means the total thickness of all the layers.
Moreover, when the resin layer 14 consists of two or more layers, the kind of resin which forms each layer may differ.

樹脂層14は、その剥離性表面の表面張力が30mN/m以下であることが好ましく、25mN/m以下であることがより好ましく、22mN/m以下であることがさらに好ましい。下限については特に限定はないが、15mN/m以上であることが好ましい。
このような表面張力であると、より容易にガラス基板16表面と剥離することができ、同時にガラス基板16表面との密着も十分になる。
The resin layer 14 preferably has a peelable surface tension of 30 mN / m or less, more preferably 25 mN / m or less, and even more preferably 22 mN / m or less. Although there is no limitation in particular about a minimum, it is preferred that it is 15mN / m or more.
With such surface tension, it can be more easily peeled off from the surface of the glass substrate 16, and at the same time, adhesion to the surface of the glass substrate 16 is sufficient.

樹脂層14はガラス転移点が室温(25℃程度)よりも低い、またはガラス転移点を有しない材料からなることが好ましい。上記のようなガラス転移点であれば、非粘着性を維持しながら適度な弾力性も併せ持つ事が出来、より容易にガラス基板16表面と剥離することができ、同時にガラス基板16表面との密着も十分になるからである。   The resin layer 14 is preferably made of a material having a glass transition point lower than room temperature (about 25 ° C.) or having no glass transition point. If the glass transition point is as described above, it can have moderate elasticity while maintaining non-adhesiveness, and can be more easily peeled off from the surface of the glass substrate 16, and at the same time adheres to the surface of the glass substrate 16. It will be enough.

また、樹脂層14は優れた耐熱性を有していることが好ましい。例えば、ガラス基板16の第2主面上に表示装置用パネルの構成部材18を形成する場合に、本発明のガラス基板積層体30を高温条件下の熱処理に供し得るからである。本発明における上記硬化シリコーン樹脂はこの熱処理に耐える充分な耐熱性を有する。
より具体的には、本発明における硬化シリコーン樹脂からなる樹脂層14の熱分解開始温度は、ガラス基板積層状態で400℃以上とすることができる。この耐熱温度は、420℃以上がより好ましく、430℃〜450℃が特に好ましい。上記範囲内であれば、TFTアレイの製造プロセスなど高温条件(約400℃以上)下においても樹脂層14の分解が抑制され、ガラス基板積層体30中の発泡の発生などがより抑制される。
Moreover, it is preferable that the resin layer 14 has the outstanding heat resistance. For example, when forming the structural member 18 of the panel for display devices on the 2nd main surface of the glass substrate 16, the glass substrate laminated body 30 of this invention can be used for the heat processing on high temperature conditions. The cured silicone resin in the present invention has sufficient heat resistance to withstand this heat treatment.
More specifically, the thermal decomposition start temperature of the resin layer 14 made of the cured silicone resin in the present invention can be 400 ° C. or higher in the glass substrate laminated state. The heat resistant temperature is more preferably 420 ° C. or higher, and particularly preferably 430 ° C. to 450 ° C. If it is in the said range, decomposition | disassembly of the resin layer 14 will be suppressed also under high temperature conditions (about 400 degreeC or more), such as a manufacturing process of a TFT array, and generation | occurrence | production of the foam in the glass substrate laminated body 30 will be suppressed more.

なお、熱分解開始温度は、次の測定方法で表される。
50mm角の支持基板(厚さ=約0.4〜0.6mm)上に樹脂層(厚さ=約15〜20μm)を形成し、同じく50mm角のガラス基板(厚さ=約0.1〜0.4mm)をさらに積層した物を評価サンプルとする。そして、該サンプルを300℃に加熱したホットプレートに載置し、10℃毎分の昇温スピードで加熱し、サンプル内に発泡現象が確認された温度を熱分解開始温度と定義する。
The thermal decomposition start temperature is expressed by the following measurement method.
A resin layer (thickness = about 15-20 μm) is formed on a 50 mm square support substrate (thickness = about 0.4-0.6 mm), and a 50 mm square glass substrate (thickness = about 0.1-0.1 mm). An evaluation sample is obtained by further stacking 0.4 mm). Then, the sample is placed on a hot plate heated to 300 ° C., heated at a heating rate of 10 ° C. per minute, and the temperature at which the foaming phenomenon is confirmed in the sample is defined as the thermal decomposition start temperature.

<支持体>
本発明に係る支持体20は、図示例においては、上記した支持基板12と樹脂層14とから構成される。樹脂層14表面は良好な剥離性能を示すため、その上の積層されたガラス基板16を破壊することなく剥離することができる。そのため、ガラス基板を支持するための支持体として好適に使用できる。また、他の用途としては、有機EL照明用ガラス基板の支持体などが挙げられる。
なお、上述したように、支持基板表面上で上記オルガノポリシロキサン組成物を硬化させることにより形成された樹脂層14を備える支持体であることが好ましい。
<Support>
In the illustrated example, the support 20 according to the present invention includes the support substrate 12 and the resin layer 14 described above. Since the surface of the resin layer 14 exhibits good peeling performance, it can be peeled without destroying the laminated glass substrate 16 thereon. Therefore, it can be suitably used as a support for supporting the glass substrate. Moreover, as another use, the support body of the glass substrate for organic EL lighting, etc. are mentioned.
In addition, as above-mentioned, it is preferable that it is a support body provided with the resin layer 14 formed by hardening the said organopolysiloxane composition on the support substrate surface.

<ガラス基板>
ガラス基板16は、その上に後述する表示装置用パネルの構成部材18を形成して、表示装置用パネルを製造するためのガラス基板である。
本発明で使用されるガラス基板16の製造方法は特に限定されず、従来公知の方法で製造することができる。例えば、従来公知のガラス原料を溶解し溶融ガラスとした後、フロート法、フュージョン法、スロットダウンドロー法、リドロー法、引き上げ法等によって板状に成形して得ることができる。また、市販品を用いることもできる。
<Glass substrate>
The glass substrate 16 is a glass substrate for producing a display device panel by forming a constituent member 18 of the display device panel, which will be described later, on the glass substrate 16.
The manufacturing method of the glass substrate 16 used by this invention is not specifically limited, It can manufacture by a conventionally well-known method. For example, it can be obtained by melting a conventionally known glass raw material into a molten glass and then forming it into a plate shape by a float method, a fusion method, a slot down draw method, a redraw method, a pulling method or the like. Commercial products can also be used.

ガラス基板16の厚さ、形状、大きさ、物性(熱収縮率、表面形状、耐薬品性等)、組成等は特に限定されず、例えば、従来のLCD、OLED等の表示装置用のガラス基板と同様であってよい。   The thickness, shape, size, physical properties (heat shrinkage rate, surface shape, chemical resistance, etc.), composition, etc. of the glass substrate 16 are not particularly limited. For example, a glass substrate for a display device such as a conventional LCD or OLED It may be the same.

ガラス基板16の厚さは特に限定されないが、0.7mm未満であることが好ましく、0.5mm以下であることがより好ましく、0.4mm以下であることがさらに好ましい。また、0.05mm以上であることが好ましく、0.07mm以上であることがより好ましく、0.1mm以上であることがさらに好ましい。   The thickness of the glass substrate 16 is not particularly limited, but is preferably less than 0.7 mm, more preferably 0.5 mm or less, and even more preferably 0.4 mm or less. Further, it is preferably 0.05 mm or more, more preferably 0.07 mm or more, and further preferably 0.1 mm or more.

ガラス基板16は第1主面および第2主面を有しており、その形状は限定されないが、矩形であることが好ましい。ここで、矩形とは、実質的に略矩形であり、周辺部の角を切り落とした(コーナーカットした)形状をも含む。   The glass substrate 16 has the 1st main surface and the 2nd main surface, Although the shape is not limited, It is preferable that it is a rectangle. Here, the rectangle is substantially a rectangle and includes a shape obtained by cutting off the corners of the peripheral portion (corner cut).

ガラス基板16の大きさは限定されないが、例えば、矩形の場合は100〜2000mm×100〜2000mmであってよく、500〜1000mm×500〜1000mmであることが好ましい。   Although the magnitude | size of the glass substrate 16 is not limited, For example, in the case of a rectangle, it may be 100-2000 mm x 100-2000 mm, and it is preferable that it is 500-1000 mm x 500-1000 mm.

このような好ましい厚さおよび好ましい大きさであれば、本発明のガラス基板積層体30はガラス基板16と支持体20とを容易に剥離することができる。   With such a preferable thickness and preferable size, the glass substrate laminate 30 of the present invention can easily peel the glass substrate 16 and the support 20 from each other.

ガラス基板16の熱収縮率、表面形状、耐薬品性等の特性も特に限定されず、製造する表示装置用パネルの種類により異なる。
ただし、ガラス基板16の熱収縮率は小さいことが好ましい。具体的には熱収縮率の指標である線膨張係数が150×10−7/℃以下であることが好ましく、100×10−7/℃以下であることがより好ましく、45×10−7/℃以下であることがさらに好ましい。その理由としては、熱収縮率が大きいと高精細な表示装置を作り難くなるためである。
なお、本発明において線膨張係数はJIS R3102(1995年)に規定のものを意味する。
ガラス基板16は、例えば、アルカリガラスや無アルカリガラスなどからなる。中でも、熱収縮率が小さいことから無アルカリガラスであることが好ましい。
Properties of the glass substrate 16 such as heat shrinkage, surface shape, chemical resistance, etc. are not particularly limited, and vary depending on the type of display device panel to be manufactured.
However, the thermal contraction rate of the glass substrate 16 is preferably small. Specifically, the linear expansion coefficient, which is an index of the thermal shrinkage rate, is preferably 150 × 10 −7 / ° C. or less, more preferably 100 × 10 −7 / ° C. or less, and 45 × 10 −7 / ° C. More preferably, it is not higher than ° C. This is because it is difficult to produce a high-definition display device when the thermal shrinkage rate is large.
In addition, in this invention, a linear expansion coefficient means a thing prescribed | regulated to JISR3102 (1995).
The glass substrate 16 is made of, for example, alkali glass or non-alkali glass. Among these, alkali-free glass is preferable because of its low thermal shrinkage rate.

上述したガラス基板16の表面は、研磨処理された研磨面でもよく、または研磨処理されていない非エッチング面(生地面)であってもよい。すなわち、作製する表示パネルの要求精度に応じて平坦性を満たす物を適宜選択すればよい。   The surface of the glass substrate 16 described above may be a polished surface that has been subjected to polishing treatment, or may be a non-etched surface (fabric surface) that has not been subjected to polishing treatment. That is, a material that satisfies flatness may be selected as appropriate in accordance with the required accuracy of the display panel to be manufactured.

<ガラス基板積層体>
本発明に係るガラス基板積層体30は、図示例においては、上記した支持基板12、樹脂層14、ガラス基板16から構成される。ガラス基板積層体は、400℃以上の温度に10分以上暴露される用途に使用されることが好ましい。なお、上記のような用途としては、具体的には、後述する表示装置用パネルを製造する用途などが挙げられる。
上述したように、樹脂層14は剥離性表面を有し、ガラス基板16や表示装置用パネル40(表示装置用パネルの構成部材18が形成されたガラス基板16)を容易に剥離することができる。より具体的には、樹脂層14表面とガラス基板16表面との間の剥離強度が、8.5N/25mm以下であることが好ましく、7.8N/25mm以下がより好ましく、4.5N/25mm以下が特に好ましい。上記強度内であれば、剥離時の樹脂層14の破壊や、ガラス基板16等の破壊などが起こりにくく、好ましい。下限については、ガラス基板16が樹脂層14上で位置ずれを起こさない程度の密着力を有していればよく、通常は1.0N/25mm以上であることが好ましい。
<Glass substrate laminate>
In the illustrated example, the glass substrate laminate 30 according to the present invention includes the support substrate 12, the resin layer 14, and the glass substrate 16 described above. It is preferable that a glass substrate laminated body is used for the use exposed to the temperature of 400 degreeC or more for 10 minutes or more. In addition, specifically as an above-mentioned use, the use etc. which manufacture the panel for display apparatuses mentioned later are mentioned.
As described above, the resin layer 14 has a peelable surface, and can easily peel off the glass substrate 16 and the display device panel 40 (the glass substrate 16 on which the constituent member 18 of the display device panel is formed). . More specifically, the peel strength between the surface of the resin layer 14 and the surface of the glass substrate 16 is preferably 8.5 N / 25 mm or less, more preferably 7.8 N / 25 mm or less, and 4.5 N / 25 mm. The following are particularly preferred: If it is in the said intensity | strength, destruction of the resin layer 14 at the time of peeling, destruction of the glass substrate 16, etc. hardly occur, and it is preferable. About a lower limit, the glass substrate 16 should just have the adhesive force of the grade which does not raise | generate a position shift on the resin layer 14, and it is preferable that it is 1.0 N / 25mm or more normally.

樹脂層14表面とガラス基板16表面との間の剥離強度は、次の測定方法により表される。
25×50mm角の支持基板(厚さ=約0.4〜0.6mm)上の全面に樹脂層(厚さ=約15〜20μm)を形成し、25×75mm角のガラス基板(厚さ=約0.1〜0.4mm)を積層した物を評価サンプルとする。そして、該サンプルの支持基板の非吸着面を両面テープで台の端に固定したうえで、はみ出しているガラス基板(25×25mm)の中央部を、デジタルフォースゲージを用いて垂直に突き上げ、剥離強度を測定する。
The peel strength between the resin layer 14 surface and the glass substrate 16 surface is represented by the following measurement method.
A resin layer (thickness = about 15 to 20 μm) is formed on the entire surface of a 25 × 50 mm square support substrate (thickness = about 0.4 to 0.6 mm), and a 25 × 75 mm square glass substrate (thickness = An evaluation sample is obtained by laminating about 0.1 to 0.4 mm). Then, after fixing the non-adsorption surface of the support substrate of the sample to the end of the table with double-sided tape, the center part of the protruding glass substrate (25 × 25 mm) is pushed up vertically using a digital force gauge and peeled off. Measure strength.

一方、樹脂層14表面と支持基板12表面との間の剥離強度は、9.8N/25mm以上であることが好ましく、14.7N/25mm以上がより好ましく、19.6N/25mm以上が特に好ましい。上記剥離強度を有する場合、ガラス基板16等を樹脂層14から剥離する時にこの支持基板12と樹脂層14の剥離は起こり難く、ガラス基板積層体30からガラス基板16等と支持体20(支持基板12と樹脂層14の積層体)とに容易に分離することができる。上記のように、支持基板12上で硬化性シリコーン樹脂組成物を硬化させることで、この剥離強度を容易に達成することができる。また、樹脂層14表面と支持基板12表面との間の剥離強度があまりに高すぎると、支持基板12の再利用等のために支持基板12と樹脂層14の剥離が必要となった際に、その剥離が困難になるおそれがある。したがって、樹脂層14表面と支持基板12表面との間の剥離強度は29.4N/25mm以下が好ましい。
また、樹脂層14表面と支持基板12表面との間の剥離強度は、樹脂層14表面とガラス基板16表面との間の剥離強度よりも、10N/25mm以上高いことが好ましく、15N/25mm以上高いことが好ましい。
On the other hand, the peel strength between the resin layer 14 surface and the support substrate 12 surface is preferably 9.8 N / 25 mm or more, more preferably 14.7 N / 25 mm or more, and particularly preferably 19.6 N / 25 mm or more. . In the case of having the above-described peel strength, when the glass substrate 16 or the like is peeled from the resin layer 14, the support substrate 12 and the resin layer 14 are unlikely to peel off, and the glass substrate 16 or the like and the support 20 (supporting substrate 20 12 and a laminate of the resin layer 14). As described above, this peel strength can be easily achieved by curing the curable silicone resin composition on the support substrate 12. Also, if the peel strength between the surface of the resin layer 14 and the surface of the support substrate 12 is too high, when the support substrate 12 and the resin layer 14 need to be peeled for reuse of the support substrate 12, There is a possibility that the peeling becomes difficult. Therefore, the peel strength between the resin layer 14 surface and the support substrate 12 surface is preferably 29.4 N / 25 mm or less.
Further, the peel strength between the resin layer 14 surface and the support substrate 12 surface is preferably 10 N / 25 mm or more higher than the peel strength between the resin layer 14 surface and the glass substrate 16 surface, and 15 N / 25 mm or more. High is preferred.

<ガラス基板積層体の製造方法>
ガラス基板積層体30の製造は、支持体20の樹脂層14の表面にガラス基板16を積層する方法(積層方法)が好ましい。しかし、ガラス基板積層体30の製造方法は、この積層方法に限られるものではない。積層方法では、ガラス基板16の第1主面と樹脂層14の剥離性表面とは、非常に近接した、相対する固体分子間におけるファンデルワールス力に起因する力、すなわち、密着力によって結合させることができると考えられる。したがって、この場合、支持基板12とガラス基板16とを樹脂層14を介して積層させた状態に保持することができる。
以下、支持体20の樹脂層14の表面にガラス基板16を積層する方法によるガラス基板積層体30の製造方法を説明する。
<Method for producing glass substrate laminate>
The glass substrate laminate 30 is preferably manufactured by a method (laminate method) in which the glass substrate 16 is laminated on the surface of the resin layer 14 of the support 20. However, the manufacturing method of the glass substrate laminate 30 is not limited to this lamination method. In the laminating method, the first main surface of the glass substrate 16 and the peelable surface of the resin layer 14 are bonded together by a force caused by van der Waals force between adjacent solid molecules, that is, an adhesion force. It is considered possible. Therefore, in this case, the support substrate 12 and the glass substrate 16 can be held in a state of being laminated via the resin layer 14.
Hereinafter, the manufacturing method of the glass substrate laminated body 30 by the method of laminating | stacking the glass substrate 16 on the surface of the resin layer 14 of the support body 20 is demonstrated.

支持基板12に固定された樹脂層14の表面にガラス基板16を積層させる方法は特に限定されず、公知の方法を用いて実施することができる。例えば、常圧環境下で樹脂層14の表面にガラス基板16を重ねた後、加圧チャンバーを用いた非接触圧着方法、ロールやプレスを用いて樹脂層14とガラス基板16とを圧着させる方法などが挙げられる。加圧チャンバー、ロール、プレスなどで圧着することにより、樹脂層14とガラス基板16とがより密着するので好ましい。また、気体による加圧、およびロールまたはプレスによる圧着により、樹脂層14とガラス基板16との間に混入している気泡が比較的容易に除去されるので好ましい。真空ラミネート法や真空プレス法により圧着すると、気泡の混入の抑制や良好な密着の確保がより良好に行われるのでより好ましい。真空下で圧着することにより、微少な気泡が残存した場合でも加熱により気泡が成長することがなく、ガラス基板16のゆがみ欠陥につながりにくいという利点もある。   The method for laminating the glass substrate 16 on the surface of the resin layer 14 fixed to the support substrate 12 is not particularly limited, and can be carried out using a known method. For example, after laminating the glass substrate 16 on the surface of the resin layer 14 in a normal pressure environment, a non-contact pressure bonding method using a pressure chamber, or a method of pressure bonding the resin layer 14 and the glass substrate 16 using a roll or a press. Etc. It is preferable that the resin layer 14 and the glass substrate 16 are more closely adhered to each other by pressure bonding with a pressure chamber, a roll, a press or the like. Further, it is preferable because air bubbles mixed between the resin layer 14 and the glass substrate 16 are relatively easily removed by pressurization with gas and pressure bonding with a roll or press. When pressure bonding is performed by a vacuum laminating method or a vacuum pressing method, it is more preferable because the suppression of the mixing of bubbles and the securing of good adhesion are performed better. By pressure bonding under vacuum, there is an advantage that even if minute bubbles remain, the bubbles do not grow by heating, and the glass substrate 16 is unlikely to be distorted.

支持体20とガラス基板16とを積層させる際には、ガラス基板16の表面を十分に洗浄し、クリーン度の高い環境で積層することが好ましい。樹脂層14とガラス基板16との間に異物が混入しても、樹脂層14が変形するのでガラス基板16の表面の平坦性に影響を与えることはないが、クリーン度が高いほどその平坦性は良好となるので好ましい。   When laminating the support 20 and the glass substrate 16, it is preferable that the surface of the glass substrate 16 is sufficiently washed and laminated in an environment with a high degree of cleanliness. Even if a foreign substance is mixed between the resin layer 14 and the glass substrate 16, the resin layer 14 is deformed and thus does not affect the flatness of the surface of the glass substrate 16. Is preferable because it becomes favorable.

<表示装置用パネルの構成部材>
本発明において、表示装置用パネルの構成部材18とは、ガラス基板を使用したLCD、OLED等の表示装置において、ガラス基板16上に形成された部材やその一部をいう。例えば、LCD、OLED等の表示装置においては、ガラス基板16の表面にTFTアレイ(以下、単に「アレイ」という。)、保護層、カラーフィルタ、液晶、ITOからなる透明電極等、各種回路パターン等の部材、またはこれらを組み合わせたものが形成される。また、例えば、OLEDからなる表示装置においては、ガラス基板16上に形成された透明電極、ホール注入層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層等が挙げられる。ガラス基板16と構成部材18からなる表示装置用パネル40は、上記部材の少なくとも一部が形成されたガラス基板である。したがって、例えば、アレイが形成されたガラス基板や透明電極が形成されたガラス基板が表示装置用パネル40である。
<Components of display panel>
In the present invention, the constituent member 18 of the display device panel refers to a member formed on the glass substrate 16 or a part thereof in a display device such as an LCD or an OLED using a glass substrate. For example, in a display device such as an LCD or OLED, various circuit patterns such as a TFT array (hereinafter simply referred to as “array”), a protective layer, a color filter, a liquid crystal, a transparent electrode made of ITO, etc. on the surface of the glass substrate 16. These members or a combination of these members is formed. Further, for example, in a display device made of OLED, a transparent electrode, a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, and the like formed on the glass substrate 16 can be used. The display device panel 40 including the glass substrate 16 and the constituent member 18 is a glass substrate on which at least a part of the above members is formed. Therefore, for example, the display device panel 40 is a glass substrate on which an array is formed or a glass substrate on which a transparent electrode is formed.

<支持体付き表示装置用パネル>
支持体付き表示装置用パネル10は、図示例においては、支持基板12、樹脂層14、ガラス基板16、表示装置用パネルの構成部材18から構成される。
なお、支持体付き表示装置用パネル10には、例えば、アレイがガラス基板の第2主面に形成された支持体付き表示装置用パネルのアレイ形成面と、カラーフィルタがガラス基板の第2主面に形成された他の支持体付き表示装置用パネルのカラーフィルタ形成面とを、シール材等を介して貼り合わされた形態も含まれる。
<Panel for display with support>
In the illustrated example, the support-equipped display device panel 10 includes a support substrate 12, a resin layer 14, a glass substrate 16, and a component 18 of the display device panel.
The display device panel with support 10 includes, for example, an array formation surface of the support device display panel in which the array is formed on the second main surface of the glass substrate, and a color filter is the second main surface of the glass substrate. A form in which the color filter forming surface of the display device panel with another support formed on the surface is bonded via a sealing material or the like is also included.

また、このような支持体付き表示装置用パネル10から、表示装置用パネル40を得ることができる。つまり、支持体付き表示装置用パネル10から、ガラス基板16と支持基板12に固定されている樹脂層14とを剥離して、表示装置用パネルの構成部材18およびガラス基板16を有する表示装置用パネル40を得ることができる。
また、このような表示装置用パネルから表示装置を得ることができる。表示装置としてはLCD、OLEDが挙げられる。LCDとしてはTN型、STN型、FE型、TFT型、MIM型が挙げられる。
Further, the display device panel 40 can be obtained from the support-equipped display device panel 10. That is, the glass substrate 16 and the resin layer 14 fixed to the support substrate 12 are peeled from the display device panel 10 with the support, and the display device panel component member 18 and the glass substrate 16 are used. A panel 40 can be obtained.
Further, a display device can be obtained from such a display device panel. Examples of the display device include an LCD and an OLED. Examples of LCD include TN type, STN type, FE type, TFT type, and MIM type.

<支持体付き表示装置用パネルの製造方法>
上述した支持体付き表示装置用パネルの製造方法は特に限定されないが、上記したガラス基板積層体30のガラス基板16表面上に、表示装置用パネルの構成部材18の少なくとも一部を形成することが好ましい。
<Method for producing panel for display device with support>
Although the manufacturing method of the panel for display apparatuses with a support mentioned above is not specifically limited, Forming at least one part of constituent member 18 of a panel for display apparatuses may be formed on the glass substrate 16 surface of glass substrate layered product 30 mentioned above. preferable.

ガラス基板積層体30のガラス基板16表面上に、表示装置用パネルの構成部材18の少なくとも一部を形成する方法は特に限定されず、表示装置用パネルの構成部材18の種類に応じて従来公知の方法が実施される。
例えば、OLEDを製造する場合を例にとると、ガラス基板積層体30のガラス基板16の第2主面上に有機EL構造体を形成するために、ガラス基板16の第2主面上に透明電極を形成する、透明電極を形成した面上にホール注入層・ホール輸送層・発光層・電子輸送層等を蒸着する、裏面電極を形成する、封止板を用いて封止する、等の各種の層形成や処理が行われる。これらの層形成や処理として、具体的には、例えば、成膜処理、蒸着処理、封止板の接着処理等が挙げられる。これら構成部材の形成は、表示装置用パネルに必要な全構成部材の形成の一部であってもよい。その場合、その一部の構成部材を形成したガラス基板16を樹脂層14から剥離した後、残りの構成部材をガラス基板16上に形成して表示装置用パネルを製造する。
A method for forming at least a part of the constituent member 18 of the display device panel on the surface of the glass substrate 16 of the glass substrate laminate 30 is not particularly limited, and conventionally known according to the type of the constituent member 18 of the display device panel. The method is implemented.
For example, taking the case of manufacturing an OLED as an example, in order to form an organic EL structure on the second main surface of the glass substrate 16 of the glass substrate laminate 30, it is transparent on the second main surface of the glass substrate 16. Form an electrode, deposit a hole injection layer, hole transport layer, light emitting layer, electron transport layer, etc. on the surface on which a transparent electrode is formed, form a back electrode, seal using a sealing plate, etc. Various layer formation and processing are performed. Specific examples of the layer formation and processing include film formation processing, vapor deposition processing, sealing plate adhesion processing, and the like. The formation of these constituent members may be part of the formation of all the constituent members necessary for the display device panel. In that case, after the glass substrate 16 on which some of the constituent members are formed is peeled off from the resin layer 14, the remaining constituent members are formed on the glass substrate 16 to manufacture a display device panel.

<表示装置用パネルの製造方法>
上述した支持体付き表示装置用パネル10を得た後、さらに、支持体付き表示装置用パネル40におけるガラス基板16の第1主面と樹脂層14の剥離性表面とを剥離して、表示装置用パネル40を得ることができる。上記のように、剥離時のガラス基板16上の構成部材が表示装置用パネルに必要な全構成部材の形成の一部である場合には、その後残りの構成部材をガラス基板16上に形成して表示装置用パネル40を製造する。
<Method for Manufacturing Display Panel>
After obtaining the above-described display device panel 10 with a support, the first main surface of the glass substrate 16 and the peelable surface of the resin layer 14 in the display device panel 40 with a support are further peeled to obtain a display device. Panel 40 can be obtained. As described above, when the constituent members on the glass substrate 16 at the time of peeling are a part of the formation of all the constituent members necessary for the display device panel, the remaining constituent members are then formed on the glass substrate 16. Thus, the display device panel 40 is manufactured.

ガラス基板16の第1主面と樹脂層14の剥離性表面とを剥離する方法は、特に限定されない。具体的には、例えば、ガラス基板16と樹脂層14との界面に鋭利な刃物状のものを差し込み、剥離のきっかけを与えた上で、水と圧縮空気との混合流体を吹き付けたりして剥離することができる。好ましくは、支持体付き表示装置用パネル10の支持基板12が上側、パネル側が下側となるように定盤上に設置し、パネル側基板を定盤上に真空吸着し(両面に支持基板が積層されている場合は順次行う)、この状態でまず刃物をガラス基板16−樹脂層14界面に刃物を侵入させる。そして、その後に支持基板12側を複数の真空吸着パッドで吸着し、刃物を差し込んだ箇所付近から順に真空吸着パッドを上昇させる。そうすると樹脂層14とパネル側ガラス基板16との界面へ空気層が形成され、その空気層が界面の全面に広がり、支持基板12を容易に剥離することができる(支持体付き表示装置用パネル10の両面に支持基板12が積層されている場合は、上記剥離工程を片面ずつ繰り返す)。   The method of peeling the 1st main surface of the glass substrate 16 and the peelable surface of the resin layer 14 is not specifically limited. Specifically, for example, a sharp blade-like object is inserted into the interface between the glass substrate 16 and the resin layer 14 and given a trigger for peeling, and then the peeling is performed by spraying a mixed fluid of water and compressed air. can do. Preferably, the support substrate 12 of the display device panel with support 10 is placed on the surface plate so that the support substrate 12 is on the upper side and the panel side is on the lower side, and the panel side substrate is vacuum-adsorbed on the surface plate (the support substrate is on both sides). In this state, the blade is first inserted into the glass substrate 16-resin layer 14 interface. Then, the support substrate 12 side is sucked by a plurality of vacuum suction pads, and the vacuum suction pads are raised in order from the vicinity of the place where the blade is inserted. As a result, an air layer is formed at the interface between the resin layer 14 and the panel-side glass substrate 16, and the air layer spreads over the entire interface, so that the support substrate 12 can be easily peeled off (panel 10 for display device with support). In the case where the support substrate 12 is laminated on both sides, the above peeling process is repeated one side at a time).

また、上述した表示装置用パネル40を得た後、さらに、得られた表示装置用パネル40を用いて表示装置を製造することができる。ここで表示装置を得る操作は特に限定されず、例えば、従来公知の方法で表示装置を製造することができる。   Moreover, after obtaining the display device panel 40 described above, a display device can be manufactured by using the obtained display device panel 40. Here, the operation for obtaining the display device is not particularly limited. For example, the display device can be manufactured by a conventionally known method.

例えば、表示装置としてTFT−LCDを製造する場合、従来公知のガラス基板上にアレイを形成する工程、カラーフィルタを形成する工程、アレイが形成されたガラス基板とカラーフィルタが形成されたガラス基板とをシール材等を介して貼り合わせる工程(アレイ・カラーフィルタ貼り合わせ工程)等の各種工程と同様であってよい。より具体的には、これらの工程で実施される処理として、例えば、純水洗浄、乾燥、成膜、レジスト液塗布、露光、現像、エッチングおよびレジスト除去が挙げられる。さらに、アレイ・カラーフィルタ貼り合わせ工程を実施した後に行われる工程として、液晶注入工程および該処理の実施後に行われる注入口の封止工程があり、これらの工程で実施される処理が挙げられる。   For example, when manufacturing a TFT-LCD as a display device, a step of forming an array on a conventionally known glass substrate, a step of forming a color filter, a glass substrate on which an array is formed, and a glass substrate on which a color filter is formed May be the same as various steps such as a step of bonding together through a sealing material or the like (array / color filter bonding step). More specifically, examples of the processing performed in these steps include pure water cleaning, drying, film formation, resist solution application, exposure, development, etching, and resist removal. Furthermore, as a process performed after implementing an array color filter bonding process, there exists a liquid-crystal injection | pouring process and the sealing process of the injection port performed after implementation of this process, The process implemented by these processes is mentioned.

以下に示す実施例において作製されるガラス基板積層体に関して、次に示す項目の評価を行った。   The following items were evaluated for the glass substrate laminates produced in the following examples.

<実施例1>
縦350mm、横300mm、板厚0.5mmのガラス基板(「AN100」、線膨張係数38×10-7/℃の無アルカリガラス板:旭硝子株式会社製)を支持基板として用意し、純水洗浄、UV洗浄して表面を浄化して表面を清浄化した支持基板を得た。
次に、成分(A)として直鎖状ビニルメチルポリシロキサン(「VDT−127」、25℃における粘度700−800cP(センチポアズ):アズマックス製、オルガノポリシロキサン1molにおけるビニル基のmol%:0.325)と、成分(B)として直鎖状メチルヒドロポリシロキサン(「HMS−301」、25℃における粘度25−35cP(センチポアズ):アズマックス製、1分子内におけるケイ素原子に結合した水素原子の数:8個)と、全アルケニル基と全ケイ素原子に結合した水素原子とのモル比(水素原子/アルケニル基)が0.9となるように混合し、このシロキサン混合物100重量部に対して、成分(D)として1−エチニル−1−シクロヘキサノールを0.3質量部加えた。次いで、成分(A)と成分(B)との合計量に対して、白金換算で1100ppmとなるように白金系触媒(信越シリコーン株式会社製、CAT−PL−56)を加えて、オルガノポリシロキサン組成物を得た。
得られた組成物を、先に清浄化した支持基板の第1主面上にスピンコータにより塗工した(2000rpm、20秒間、塗工量20g/m2)。その後、支持基板上に塗工した混合物を大気中で180℃、60分間加熱硬化させ、支持基板上に縦350mm×横300mm、厚さ30μmの硬化シリコーン樹脂層を形成し、支持体Aを得た。なお、硬化シリコーン樹脂層の表面張力は、20.0N/mであった。
<Example 1>
Prepare a glass substrate (“AN100”, linear expansion coefficient 38 × 10 −7 / ° C. non-alkali glass plate: manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) having a length of 350 mm, a width of 300 mm, and a thickness of 0.5 mm as a support substrate and washed with pure water Then, the substrate was cleaned by UV cleaning to obtain a support substrate having a cleaned surface.
Next, as a component (A), linear vinylmethylpolysiloxane (“VDT-127”, viscosity at 25 ° C. 700-800 cP (centipoise): manufactured by Azumax, mol% of vinyl group in 1 mol of organopolysiloxane: 0.325 ) And linear methylhydropolysiloxane (“HMS-301” as component (B), viscosity 25-35 cP (centipoise) at 25 ° C .: manufactured by Asmax, the number of hydrogen atoms bonded to silicon atoms in one molecule: 8) and the molar ratio of all alkenyl groups to hydrogen atoms bonded to all silicon atoms (hydrogen atom / alkenyl group) is 0.9, and the component is added to 100 parts by weight of this siloxane mixture. As (D), 0.3 part by mass of 1-ethynyl-1-cyclohexanol was added. Next, a platinum-based catalyst (CAT-PL-56 manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd.) is added to the total amount of the component (A) and the component (B) so as to be 1100 ppm in terms of platinum, and organopolysiloxane A composition was obtained.
The obtained composition was applied onto the first main surface of the previously cleaned support substrate by a spin coater (2000 rpm, 20 seconds, coating amount 20 g / m 2 ). Thereafter, the mixture coated on the support substrate is heated and cured in the atmosphere at 180 ° C. for 60 minutes to form a cured silicone resin layer having a length of 350 mm × width of 300 mm and a thickness of 30 μm on the support substrate, thereby obtaining a support A. It was. The surface tension of the cured silicone resin layer was 20.0 N / m.

一方、縦350mm、横300mm、板厚0.2mmのガラス基板(「AN100」、線膨張係数38×10-7/℃の無アルカリガラス板:旭硝子株式会社製)を純水洗浄、UV洗浄し、樹脂基板の表面を清浄化した。
その後、支持体Aとガラス基板とを位置合わせしたうえで、真空プレス装置を用いて、室温下で、ガラス基板の第1主面と、支持体Aの硬化シリコーン樹脂層の剥離性表面とを密着させガラス基板積層体Aを得た。
On the other hand, a glass substrate having a length of 350 mm, a width of 300 mm, and a thickness of 0.2 mm (“AN100”, an alkali-free glass plate having a linear expansion coefficient of 38 × 10 −7 / ° C .: manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) is washed with pure water and UV The surface of the resin substrate was cleaned.
Then, after aligning the support A and the glass substrate, using a vacuum press apparatus, the first main surface of the glass substrate and the peelable surface of the cured silicone resin layer of the support A are used at room temperature. The glass substrate laminate A was obtained by close contact.

<実施例2>
白金系触媒量が成分(A)と成分(B)との合計量に対して、白金換算で1500ppmとなるようにした以外は、実施例1と同様の手順に従って、ガラス基板積層体を得た。なお、硬化シリコーン樹脂層の表面張力は、20.2N/mであった。
<Example 2>
A glass substrate laminate was obtained according to the same procedure as in Example 1 except that the platinum catalyst amount was 1500 ppm in terms of platinum with respect to the total amount of the component (A) and the component (B). . The surface tension of the cured silicone resin layer was 20.2 N / m.

<実施例3>
白金系触媒量が成分(A)と成分(B)との合計量に対して、白金換算で2000ppmとなるようにした以外は、実施例1と同様の手順に従って、ガラス基板積層体を得た。なお、硬化シリコーン樹脂層の表面張力は、20.0N/mであった。
<Example 3>
A glass substrate laminate was obtained according to the same procedure as in Example 1, except that the platinum catalyst amount was 2000 ppm in terms of platinum with respect to the total amount of the component (A) and the component (B). . The surface tension of the cured silicone resin layer was 20.0 N / m.

なお、後述するガラス基板と硬化シリコーン樹脂層との間で剥離が進行する剥離性試験の結果より、実施例1〜3におけるガラス基板と硬化シリコーン樹脂層との間の剥離強度は、支持基板と硬化シリコーン樹脂層との間の剥離強度よりも低いことが確認された。   In addition, from the result of the peelability test in which peeling proceeds between a glass substrate and a cured silicone resin layer described later, the peel strength between the glass substrate and the cured silicone resin layer in Examples 1 to 3 is It was confirmed that it was lower than the peel strength between the cured silicone resin layer.

<比較例1>
白金系触媒量が成分(A)と成分(B)との合計量に対して、白金換算で200ppmとなるようにした以外は、実施例1と同様の手順に従って、ガラス基板積層体を得た。
<Comparative Example 1>
A glass substrate laminate was obtained according to the same procedure as in Example 1 except that the platinum catalyst amount was 200 ppm in terms of platinum with respect to the total amount of the component (A) and the component (B). .

<比較例2>
白金系触媒量が成分(A)と成分(B)との合計量に対して、白金換算で700ppmとなるようにした以外は、実施例1と同様の手順に従って、ガラス基板積層体を得た。
<Comparative Example 2>
A glass substrate laminate was obtained according to the same procedure as in Example 1, except that the amount of the platinum-based catalyst was 700 ppm in terms of platinum with respect to the total amount of the component (A) and the component (B). .

次に、以下に示す項目の評価を行った。   Next, the following items were evaluated.

<耐熱試験>
20mm×20mm角の上記ガラス基板積層体を卓上型ランプ加熱装置(アルバック理工製 MILA-5000)に投入し、450℃の温度で1時間加熱処理を行った。その後、室温まで冷却し、加熱前後での硬化シリコーン樹脂層の残存重量を確認した。尚、この加熱処理の温度は、液晶パネルの製造工程における加熱温度と略同じである。
通常、液晶パネルの製造工程においては、通常、少なくとも2回、450℃の加熱処理工程が実施される。そこで、上記耐熱試験において、残存重量%[(加熱後の樹脂層の重量/加熱前の樹脂層の重量)×100]が70重量%以上であれば「A」、50重量%以上であれば「B」、40重量%以上であれば、「C」と評価した。なお、50重量%以上であれば、上記2回の加熱処理工程を経ても樹脂層が残存し得る。40重量%以上であれば、加熱処理後でもガラス基板を支持体上に良好に保持し得る。一方、40重量%未満の場合を、「D」と評価した。
<Heat resistance test>
The glass substrate laminate having a size of 20 mm × 20 mm was placed in a table lamp heating device (MILA-5000 manufactured by ULVAC-RIKO) and heat-treated at a temperature of 450 ° C. for 1 hour. Then, it cooled to room temperature and confirmed the residual weight of the hardening silicone resin layer before and behind a heating. In addition, the temperature of this heat processing is substantially the same as the heating temperature in the manufacturing process of a liquid crystal panel.
Usually, in the manufacturing process of a liquid crystal panel, a heat treatment process at 450 ° C. is usually performed at least twice. Therefore, in the heat resistance test, if the remaining weight% [(weight of the resin layer after heating / weight of the resin layer before heating) × 100] is 70% by weight or more, “A”, and if it is 50% by weight or more, When “B” was 40% by weight or more, “C” was evaluated. In addition, if it is 50 weight% or more, a resin layer can remain | survive even if it passes through the said 2 times heat processing process. If it is 40 weight% or more, a glass substrate can be favorably hold | maintained on a support body even after heat processing. On the other hand, the case of less than 40% by weight was evaluated as “D”.

<密着試験>
上記ガラス基板積層体のガラス基板の第2主面が上側となるように水平盤上に載置し、ガラス基板の第2主面の中央を直径20mmの吸着パッドで吸着して、鉛直方向に速度25mm/秒で持ち上げて、ガラス基板と支持基板とが分離せず、良好な密着力があるかどうかを評価した。
分離しなかった場合を密着性「○」と評価し、分離した場合を密着性「×」と評価した。
<Adhesion test>
The glass substrate laminate is placed on a horizontal plate so that the second main surface of the glass substrate is on the upper side, and the center of the second main surface of the glass substrate is adsorbed with an adsorption pad having a diameter of 20 mm, It was lifted at a speed of 25 mm / sec, and it was evaluated whether the glass substrate and the supporting substrate were not separated and had good adhesion.
The case where it was not separated was evaluated as adhesion “◯”, and the case where it was separated was evaluated as adhesion “x”.

<剥離性評価>
上記ガラス基板積層体を10組用意し、60℃、90%RHの恒温高湿槽に24時間投入し、その後、恒温高湿槽からガラス基板積層体を取り出し220℃で、4時間加熱した。
加熱処理されたガラス基板積層体のガラス基板の第2主面を定盤に真空吸着させたうえで、ガラス基板積層体の1つのコーナー部のガラス基板と硬化シリコーン樹脂層との界面に、厚さ0.1mmのステンレス製刃物を差し込み、上記ガラス基板の第1主面と硬化シリコーン樹脂層の剥離性表面との剥離のきっかけを与えた。
そして、ガラス基板積層体の支持基板の第2主面を90mmピッチで複数の真空吸着パッドで吸着した上で、上記剥離きっかけを与えたコーナー部に近い吸着パッドから順に上昇させることにより、ガラス基板の第1主面と硬化シリコーン樹脂層の剥離性表面とを剥離した。この処理を用意した10組のガラス基板積層体に対して連続して10回行い、何組の積層体がガラスの割れや硬化シリコーン樹脂層の破壊なく剥離できたかを評価した。
測定した10組中1組でも、ガラスの割れや硬化シリコーン樹脂層の破壊が生じた場合は「×」とし、10組すべて問題なく剥離できた場合を「○」として評価した。
<Peelability evaluation>
Ten sets of the above glass substrate laminates were prepared, put into a constant temperature and high humidity bath of 60 ° C. and 90% RH for 24 hours, and then the glass substrate laminate was taken out from the constant temperature and high humidity bath and heated at 220 ° C. for 4 hours.
After the second main surface of the glass substrate of the heat-treated glass substrate laminate is vacuum-adsorbed on a surface plate, a thickness is formed at the interface between the glass substrate and the cured silicone resin layer at one corner of the glass substrate laminate. A stainless steel blade having a thickness of 0.1 mm was inserted to give a trigger for peeling between the first main surface of the glass substrate and the peelable surface of the cured silicone resin layer.
And after adsorb | sucking the 2nd main surface of the support substrate of a glass substrate laminated body with a several vacuum suction pad by 90 mm pitch, it raises in order from the suction pad near the corner part which gave the said peeling trigger, and thereby a glass substrate The first main surface and the peelable surface of the cured silicone resin layer were peeled off. This treatment was continuously performed 10 times for 10 sets of glass substrate laminates prepared, and it was evaluated how many sets of laminates could be peeled without breaking the glass or breaking the cured silicone resin layer.
Even in one of the 10 pairs measured, “X” was evaluated when the glass was broken or the cured silicone resin layer was broken, and “◯” was evaluated when all 10 pairs could be peeled without problems.

実施例1〜3、および比較例1〜2で得られたガラス基板積層体を用いて、上記評価を行った結果を、表1にまとめて示す。   Table 1 shows the results of the above evaluation using the glass substrate laminates obtained in Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 and 2.

上記表1の結果より、本発明のオルガノポリシロキサン組成物を使用して得られる硬化シリコーン樹脂層は、優れた耐熱性、密着性、剥離性を示した。
特に、比較例1および2との比較から分かるように、優れた耐熱性を示しており、TFTアレイの製造など高温条件下の製造プロセスにも好適に適用できることが確認された。
From the result of the said Table 1, the cured silicone resin layer obtained using the organopolysiloxane composition of this invention showed the outstanding heat resistance, adhesiveness, and peelability.
In particular, as can be seen from the comparison with Comparative Examples 1 and 2, it has been shown that it has excellent heat resistance and can be suitably applied to a manufacturing process under high-temperature conditions such as manufacturing of a TFT array.

(実施例4)
本例では、実施例2で得たガラス基板積層体Bを用いてLCDを製造する。
2枚のガラス基板積層体Bを準備して、1枚はアレイ形成工程に供してガラス基板の第2主面上にアレイを形成する。残りの1枚は、カラーフィルタ形成工程に供して、ガラス基板の第2主面上にカラーフィルタを形成する。本例のアレイ形成工程時の加熱条件は450℃、1時間である。
アレイが形成された積層体B1(本発明の支持体付き表示装置用パネル)と、カラーフィルタが形成された積層体B2(本発明の支持体付き表示装置用パネル)とをそれぞれ支持基板が外側になるようにシール材を介して貼り合わせ、両側に積層体が着いたLCDの空セルを得る。
Example 4
In this example, an LCD is manufactured using the glass substrate laminate B obtained in Example 2.
Two glass substrate laminates B are prepared, and one is subjected to an array forming process to form an array on the second main surface of the glass substrate. The remaining one sheet is subjected to a color filter forming step to form a color filter on the second main surface of the glass substrate. The heating conditions in the array formation process of this example are 450 ° C. and 1 hour.
The support B is the outer side of the laminate B1 (display panel with support according to the present invention) in which the array is formed and the laminate B2 (display panel with support according to the present invention) in which the color filter is formed. Thus, an LCD empty cell having a laminate on both sides is obtained.

続いて、積層体B1の第2主面を定盤に真空吸着させ、積層体B2のコーナー部のガラス基板と樹脂層との界面に、厚さ0.1mmのステンレス製刃物を差し込み、ガラス基板の第1主面と樹脂層の剥離性表面との剥離のきっかけを与える。そして、積層体B2の支持基板の第2主面を24個の真空吸着パッドで吸着した上で、積層体B2のコーナー部に近い吸着パッドから順に上昇させる。その結果、定盤上に、積層体B1の支持基板が付いたLCDの空セルのみを残し、樹脂層が固定された支持基板を剥離することができる。   Subsequently, the second main surface of the laminated body B1 is vacuum-adsorbed on the surface plate, and a stainless steel knife having a thickness of 0.1 mm is inserted into the interface between the glass substrate and the resin layer at the corner of the laminated body B2, and the glass substrate This provides a trigger for peeling between the first main surface and the peelable surface of the resin layer. And after adsorbing the 2nd main surface of the support substrate of layered product B2 with 24 vacuum suction pads, it raises in order from the suction pad near the corner part of layered product B2. As a result, it is possible to peel off the support substrate to which the resin layer is fixed, leaving only the LCD empty cells with the support substrate of the laminate B1 on the surface plate.

次に、第1主面にカラーフィルタが形成されたガラス基板の第2主面を定盤に真空吸着させ、積層体B1のコーナー部のガラス基板と樹脂層との界面に、厚さ0.1mmのステンレス製刃物を差し込み、ガラス基板の第1主面と樹脂層の剥離性表面との剥離のきっかけを与える。そして、積層体B1の支持基板の第2主面を24個の真空吸着パッドで吸着した上で、積層体B1のコーナー部に近い吸着パッドから順に上昇させる。その結果、定盤上にLCDセルのみを残し、樹脂層が固定された支持基板を剥離することができる。こうして、厚さ0.1mmのガラス基板で構成されるLCDの空セルが得られる。   Next, the second main surface of the glass substrate having the color filter formed on the first main surface is vacuum-adsorbed on the surface plate, and a thickness of 0. 0 is formed at the interface between the glass substrate and the resin layer at the corner portion of the laminate B1. A 1 mm stainless steel blade is inserted to give a trigger for peeling between the first main surface of the glass substrate and the peelable surface of the resin layer. And after adsorbing the 2nd main surface of the support substrate of layered product B1 with 24 vacuum suction pads, it raises in an order from the suction pad near the corner part of layered product B1. As a result, only the LCD cell is left on the surface plate, and the support substrate to which the resin layer is fixed can be peeled off. In this way, an empty cell of the LCD composed of a glass substrate having a thickness of 0.1 mm is obtained.

続いて、LCDの空セルを切断し、縦51mm×横38mmの168個のLCDの空セルに分断した後、液晶注入工程および注入口の封止工程を実施してLCDセルを完成する。完成されたLCDセルに偏光板を貼付する工程を実施し、続いてモジュール形成工程を実施してLCDを得る。こうして得られるLCDは、特性上問題は生じない。   Subsequently, the empty cell of the LCD is cut and divided into 168 empty cells of 51 mm long × 38 mm wide, and then a liquid crystal injection step and an injection port sealing step are performed to complete the LCD cell. A step of attaching a polarizing plate to the completed LCD cell is performed, and then a module forming step is performed to obtain an LCD. The LCD obtained in this way does not have a problem in characteristics.

実施例1〜4によれば、白金触媒を白金換算で900ppm以上添加することにより比較例の添加量に比べて400℃以上で10分以上加熱する条件で、樹脂層の分解量が顕著に低減することができる。さらに1100ppm以上する場合は樹脂層の分解量が50%未満であり、同じ加熱条件を2回繰り返すことが可能である。   According to Examples 1 to 4, by adding a platinum catalyst in an amount of 900 ppm or more in terms of platinum, the amount of decomposition of the resin layer is significantly reduced under the condition of heating at 400 ° C. or more for 10 minutes or more as compared with the addition amount of the comparative example. can do. Furthermore, when it is 1100 ppm or more, the decomposition amount of the resin layer is less than 50%, and the same heating condition can be repeated twice.

10 支持体付き表示装置用パネル
12 支持基板
14 樹脂層
16 ガラス基板
18 表示装置用パネルの構成部材
20 支持体
30 ガラス基板積層体
40 表示装置用パネル
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Display device panel with support body 12 Support substrate 14 Resin layer 16 Glass substrate 18 Component member of display device panel 20 Support body 30 Glass substrate laminated body 40 Display device panel

Claims (14)

支持基板と支持基板の片面に設けられた剥離性表面を有する硬化シリコーン樹脂層とを有する、前記硬化シリコーン樹脂層表面にガラス基板を積層するための支持体であり、
前記硬化シリコーン樹脂層が、(A)アルケニル基を有する直鎖状オルガノポリシロキサンと、(B)ケイ素原子に結合した水素原子を有するオルガノポリシロキサンと、(C)白金系触媒とを少なくとも含有し、前記(C)成分の含有量が前記(A)成分および前記(B)成分の合計量に対して白金換算で900〜3000質量ppmである付加反応で硬化するオルガノポリシロキサン組成物を、前記支持基板表面上で硬化させることにより形成された硬化シリコーン樹脂層であり、
400℃以上の温度に10分以上暴露される用途に使用されることを特徴とする支持体。
A support for laminating a glass substrate on the surface of the cured silicone resin layer, comprising a support substrate and a cured silicone resin layer having a peelable surface provided on one side of the support substrate;
The cured silicone resin layer contains at least (A) a linear organopolysiloxane having an alkenyl group, (B) an organopolysiloxane having a hydrogen atom bonded to a silicon atom, and (C) a platinum-based catalyst. The organopolysiloxane composition cured by an addition reaction in which the content of the component (C) is 900 to 3000 mass ppm in terms of platinum with respect to the total amount of the component (A) and the component (B), cured silicone resin layer der formed by curing on the support surface of the substrate is,
A support characterized in that it is used for applications exposed to a temperature of 400 ° C or higher for 10 minutes or longer .
前記硬化シリコーン樹脂層の厚みが5〜50μmである、請求項1に記載の支持体。   The support according to claim 1, wherein the cured silicone resin layer has a thickness of 5 to 50 μm. 前記(C)成分の含有量が前記(A)成分および前記(B)成分の合計量に対して白金換算で1500〜3000質量ppmである、請求項1または2に記載の支持体。   The support according to claim 1 or 2, wherein the content of the component (C) is 1500 to 3000 mass ppm in terms of platinum with respect to the total amount of the component (A) and the component (B). 前記オルガノポリシロキサン組成物が、さらに付加反応抑制剤を含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の支持体。   The support according to any one of claims 1 to 3, wherein the organopolysiloxane composition further contains an addition reaction inhibitor. 支持基板とガラス基板とそれらの間に存在する硬化シリコーン樹脂層とを有するガラス基板積層体であり、
前記硬化シリコーン樹脂層が、(A)アルケニル基を有する直鎖状オルガノポリシロキサンと、(B)ケイ素原子に結合した水素原子を有するオルガノポリシロキサンと、(C)白金系触媒とを少なくとも含有し、前記(C)成分の含有量が前記(A)成分および前記(B)成分の合計量に対して白金換算で900〜3000質量ppmである、付加反応で硬化するオルガノポリシロキサン組成物の硬化物からなり、
前記ガラス基板と前記硬化シリコーン樹脂層との間の剥離強度が前記支持基板と前記硬化シリコーン樹脂層との間の剥離強度よりも低く、
400℃以上の温度に10分以上暴露される用途に使用されることを特徴とするガラス基板積層体。
A glass substrate laminate having a supporting substrate, a glass substrate and a cured silicone resin layer present between them,
The cured silicone resin layer contains at least (A) a linear organopolysiloxane having an alkenyl group, (B) an organopolysiloxane having a hydrogen atom bonded to a silicon atom, and (C) a platinum-based catalyst. Curing of an organopolysiloxane composition cured by an addition reaction, wherein the content of the component (C) is 900 to 3000 ppm by mass in terms of platinum with respect to the total amount of the component (A) and the component (B). Made of things,
Rather lower than the peeling strength between the peeling strength between the supporting substrate and the cured silicone resin layer between the glass substrate and the cured silicone resin layer,
A glass substrate laminate, which is used for an application that is exposed to a temperature of 400 ° C. or more for 10 minutes or more .
前記(C)成分の含有量が前記(A)成分および前記(B)成分の合計量に対して白金換算で1500〜3000質量ppmである、請求項5に記載のガラス基板積層体。   The glass substrate laminate according to claim 5, wherein the content of the component (C) is 1500 to 3000 mass ppm in terms of platinum with respect to the total amount of the component (A) and the component (B). 前記オルガノポリシロキサン組成物が、さらに付加反応抑制剤を含む、請求項5または6に記載のガラス基板積層体。   The glass substrate laminate according to claim 5 or 6, wherein the organopolysiloxane composition further contains an addition reaction inhibitor. 前記硬化シリコーン樹脂層が、支持基板表面に接触しかつガラス基板表面には接触していない状態にある前記オルガノポリシロキサン組成物を硬化させ、オルガノポリシロキサン組成物硬化後に前記ガラス基板表面に接触させて形成された層である、請求項5〜7のいずれか一項に記載のガラス基板積層体。   The cured silicone resin layer cures the organopolysiloxane composition in contact with the support substrate surface and not in contact with the glass substrate surface, and contacts the glass substrate surface after the organopolysiloxane composition is cured. The glass substrate laminate according to any one of claims 5 to 7, wherein the glass substrate laminate is a layer formed as described above. 請求項5〜のいずれか一項に記載のガラス基板積層体のガラス基板表面上に、表示装置用パネルの構成部材の少なくとも一部を形成してなる、表示装置用パネル製造用の支持体付き表示装置用パネル。 A support for manufacturing a panel for a display device, wherein at least a part of constituent members of the panel for a display device is formed on the glass substrate surface of the glass substrate laminate according to any one of claims 5 to 8. Panel for display. 請求項5〜のいずれか一項に記載のガラス基板積層体のガラス基板表面上に、表示装置用パネルの構成部材の少なくとも一部を形成し、その後ガラス基板と硬化シリコーン樹脂層付支持基板とを分離することを特徴とするガラス基板を有する表示装置用パネルの製造方法。 At least a part of the constituent members of the display device panel is formed on the glass substrate surface of the glass substrate laminate according to any one of claims 5 to 8 , and then the glass substrate and the support substrate with the cured silicone resin layer A method for manufacturing a panel for a display device having a glass substrate. ガラス基板に対する剥離性樹脂層を形成する用途に用いられる、オルガノポリシロキサン組成物であって、
(A)アルケニル基を有する直鎖状オルガノポリシロキサンと、(B)ケイ素原子に結合した水素原子を有するオルガノポリシロキサンと、(C)白金系触媒とを少なくとも含有し、
前記(C)成分の含有量が、前記(A)成分および前記(B)成分の合計量に対して、白金換算で900〜3000質量ppmであり、
硬化物が400℃以上の温度に10分以上暴露される用途に使用されることを特徴とする、付加反応で硬化するオルガノポリシロキサン組成物。
An organopolysiloxane composition for use in forming a peelable resin layer on a glass substrate,
(A) a linear organopolysiloxane having an alkenyl group, (B) an organopolysiloxane having a hydrogen atom bonded to a silicon atom, and (C) a platinum-based catalyst,
The content of the component (C), the total amount of the component (A) and the component (B), Ri 900-3000 ppm by mass der in terms of platinum,
An organopolysiloxane composition cured by an addition reaction, wherein the cured product is used in an application in which the cured product is exposed to a temperature of 400 ° C. or higher for 10 minutes or longer .
ガラス基板に対する剥離性樹脂層を形成する用途に用いられる、オルガノポリシロキサン組成物であって、An organopolysiloxane composition for use in forming a peelable resin layer on a glass substrate,
(A)アルケニル基を有する直鎖状オルガノポリシロキサンと、(B)ケイ素原子に結合した水素原子を有するオルガノポリシロキサンと、(C)白金系触媒とを少なくとも含有し、  (A) a linear organopolysiloxane having an alkenyl group, (B) an organopolysiloxane having a hydrogen atom bonded to a silicon atom, and (C) a platinum-based catalyst,
前記(C)成分の含有量が、前記(A)成分および前記(B)成分の合計量に対して、白金換算で900〜3000質量ppmであり、  The content of the component (C) is 900 to 3000 ppm by mass in terms of platinum with respect to the total amount of the component (A) and the component (B).
硬化物がガス非透過性の面材で密閉された状態で400℃以上の温度に10分以上暴露される用途に使用されることを特徴とする、付加反応で硬化するオルガノポリシロキサン組成物。An organopolysiloxane composition cured by an addition reaction, wherein the cured product is used for an application in which the cured product is exposed to a temperature of 400 ° C. or more for 10 minutes or more in a state of being sealed with a gas-impermeable face material.
前記(C)成分の含有量が前記(A)成分および前記(B)成分の合計量に対して白金換算で1500〜3000質量ppmである、請求項11または12に記載のオルガノポリシロキサン組成物。 The organopolysiloxane composition according to claim 11 or 12 , wherein the content of the component (C) is 1500 to 3000 ppm by mass in terms of platinum with respect to the total amount of the component (A) and the component (B). . さらに付加反応抑制剤を含む、請求項11〜13のいずれか一項に記載のオルガノポリシロキサン組成物。 The organopolysiloxane composition according to any one of claims 11 to 13 , further comprising an addition reaction inhibitor.
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