JP5651327B2 - Glass welding method - Google Patents

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Description

本発明は、ガラス部材同士を溶着してガラス溶着体を製造するガラス溶着方法に関する。   The present invention relates to a glass welding method for producing a glass welded body by welding glass members together.

上記技術分野における従来のガラス溶着方法として、レーザ光吸収性顔料を含むガラス層を、溶着予定領域に沿うように一方のガラス部材に焼き付けた後、そのガラス部材にガラス層を介して他方のガラス部材を重ね合わせ、溶着予定領域に沿ってレーザ光を照射することにより、一方のガラス部材と他方のガラス部材とを溶着する方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。   As a conventional glass welding method in the above technical field, a glass layer containing a laser light-absorbing pigment is baked on one glass member along the planned welding region, and then the other glass is placed on the glass member via the glass layer. A method is known in which one glass member and the other glass member are welded by overlapping the members and irradiating a laser beam along the planned welding region (see, for example, Patent Document 1).

特表2006−524419号公報JP-T-2006-524419

しかしながら、レーザ光の照射によってガラス部材同士を溶着すると、ガラス部材にクラックが生じる場合があった。   However, when glass members are welded together by laser light irradiation, cracks may occur in the glass members.

そこで、本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、信頼性の高いガラス溶着体を製造することができるガラス溶着方法を提供することを目的とする。   Then, this invention is made | formed in view of such a situation, and it aims at providing the glass welding method which can manufacture a reliable glass welded body.

本発明者は、上記目的を達成するために鋭意検討を重ねた結果、レーザ光の照射によるガラス部材同士の溶着においてガラス部材にクラックが生じるのは、図11に示されるように、レーザ光の照射時にガラス層の温度が融点Tmを超えるとガラス層のレーザ光吸収率が急激に高くなることに起因していることを突き止めた。つまり、ガラス部材同士の間に配置されたガラス層においては、ガラスフリットの粒子性等によって、レーザ光吸収性顔料の吸収特性を上回る光散乱が起こり、レーザ光吸収率が低い状態となっている(例えば、可視光下において白っぽく見える)。そこで、図12に示されるように、ガラス層の温度が融点Tmよりも高く且つ結晶化温度Tcよりも低い温度TpとなるようにレーザパワーPでレーザ光を照射すると、ガラスフリットの溶融によって粒子性が崩れるなどして、レーザ光吸収性顔料の吸収特性が顕著に現れ、ガラス層のレーザ光吸収率が急激に高くなる(例えば、可視光下において黒っぽく或いは緑っぽく見える)。これにより、ガラス層において想定以上のレーザ光の吸収が起こり、入熱過多によるヒートショックでガラス部材にクラックが生じるのである。   As a result of intensive studies in order to achieve the above object, the present inventor, as shown in FIG. 11, shows that the glass member is cracked in the welding of the glass members by the irradiation of the laser beam. When the temperature of the glass layer exceeded the melting point Tm at the time of irradiation, it was ascertained that this was due to the rapid increase in the laser light absorption rate of the glass layer. That is, in the glass layer disposed between the glass members, light scattering exceeding the absorption characteristics of the laser light absorbing pigment occurs due to the particle property of the glass frit and the like, and the laser light absorption rate is low. (For example, it looks whitish under visible light). Therefore, as shown in FIG. 12, when the laser beam is irradiated with the laser power P such that the temperature of the glass layer is higher than the melting point Tm and lower than the crystallization temperature Tc, particles are melted due to melting of the glass frit. For example, the absorption characteristics of the laser light-absorbing pigment appear remarkably, and the laser light absorption rate of the glass layer increases rapidly (for example, it looks blackish or greenish under visible light). As a result, absorption of laser light more than expected occurs in the glass layer, and cracks occur in the glass member due to heat shock due to excessive heat input.

本発明者は、この知見に基づいて更に検討を重ね、本発明を完成させるに至った。すなわち、本発明に係るガラス溶着方法は、第1のガラス部材と第2のガラス部材とを溶着してガラス溶着体を製造するガラス溶着方法であって、レーザ光吸収材及びガラス粉を含むガラス層を、溶着予定領域に沿うように第1のガラス部材に配置する工程と、第1のガラス部材にガラス層を介して第2のガラス部材が重ね合わせられた状態で、第1の入熱量を有する第1のレーザ光を溶着予定領域に沿って照射することによりガラス層を溶融させ、第1のレーザ光の進行方向と交差する方向におけるガラス層の溶融率が所定値を越えたときに、第1の入熱量から第1の入熱量よりも少ない第2の入熱量に切り替えて、第2の入熱量を有する第1のレーザ光を溶着予定領域に沿って照射することによりガラス層を溶融させ、第1のガラス部材と第2のガラス部材とを溶着する工程と、を含むことを特徴とする。   The present inventor has further studied based on this finding and has completed the present invention. That is, the glass welding method according to the present invention is a glass welding method for manufacturing a glass welded body by welding a first glass member and a second glass member, and includes a glass containing a laser light absorbing material and glass powder. A first heat input amount in a state in which the layer is disposed on the first glass member so as to be along the planned welding region, and the second glass member is superimposed on the first glass member via the glass layer. When the glass layer is melted by irradiating the first laser beam having a predetermined welding area along the region to be welded, and the melting rate of the glass layer in the direction intersecting the traveling direction of the first laser beam exceeds a predetermined value By switching from the first heat input amount to the second heat input amount smaller than the first heat input amount, the glass layer is irradiated by irradiating the first laser beam having the second heat input amount along the planned welding region. Melted first glass member Characterized in that it comprises a step of welding the second glass member.

このガラス溶着方法では、溶着予定領域に沿って第1のレーザ光を照射してガラス層を溶融させる際、第1の入熱量を有する第1のレーザ光を溶着予定領域に沿って照射することによりガラス層を溶融させ、第1のレーザ光の進行方向と交差する方向におけるガラス層の溶融率が所定値を越えたときに入熱量を切り替えて、第1の入熱量よりも少ない第2の入熱量を有する第1のレーザ光を溶着予定領域に沿って照射することにより、ガラス層を溶融させ、第1のガラス部材と第2のガラス部材とを溶着する。このガラス層の溶融時には、ガラス層の溶融率が所定値を越えるとガラス層のレーザ光吸収率が急激に高くなるが、それ以降、第1の入熱量よりも少ない第2の入熱量を有する第1のレーザ光を照射するようにしているため、ガラス層が入熱過多の状態となることが抑止される。このような入熱量の切替えにより、第1のレーザ光の照射によって第1のガラス部材と第2のガラス部材とを溶着しても、ガラス部材にクラックが生じるなど、ガラス部材が破損するのを防止することができる。従って、このガラス溶着方法によれば、第1のガラス部材及び第2のガラス部材にクラックが生じるのを防止して、信頼性の高いガラス溶着体を製造することが可能となる。なお、「入熱量」とは、第1のレーザ光がその照射領域で有するエネルギ密度である。また、「ガラス層の溶融率」とは、第1のレーザ光の進行方向と交差する方向において、「ガラス層の溶融部分の幅」が「ガラス層の全幅」に占める割合である。   In this glass welding method, when the glass layer is melted by irradiating the first laser beam along the planned welding region, the first laser beam having the first heat input amount is irradiated along the planned welding region. When the melting rate of the glass layer in the direction crossing the traveling direction of the first laser beam exceeds a predetermined value, the heat input amount is switched to reduce the second heat input amount smaller than the first heat input amount. By irradiating the first laser beam having a heat input amount along the planned welding region, the glass layer is melted, and the first glass member and the second glass member are welded. At the time of melting of the glass layer, if the melting rate of the glass layer exceeds a predetermined value, the laser light absorption rate of the glass layer rapidly increases, but thereafter, the glass layer has a second heat input amount smaller than the first heat input amount. Since the first laser beam is irradiated, the glass layer is prevented from being in an excessive heat input state. By switching the amount of heat input, even if the first glass member and the second glass member are welded by the irradiation of the first laser beam, the glass member is damaged, for example, a crack occurs in the glass member. Can be prevented. Therefore, according to this glass welding method, it is possible to prevent a crack from occurring in the first glass member and the second glass member, and to manufacture a highly reliable glass welded body. The “heat input amount” is an energy density that the first laser beam has in its irradiation region. The “melting rate of the glass layer” is the ratio of the “width of the molten portion of the glass layer” to the “total width of the glass layer” in the direction intersecting the traveling direction of the first laser beam.

本発明に係るガラス溶着方法においては、第1のレーザ光の照射パワーを低下させることにより、第1の入熱量から第2の入熱量に切り替えることが好ましい。この場合、照射パワーの低下により入熱量の切替えを行っているため、第1の入熱量から第2の入熱量へ確実に切り替えることが可能となる。   In the glass welding method according to the present invention, it is preferable to switch from the first heat input amount to the second heat input amount by reducing the irradiation power of the first laser light. In this case, since the heat input amount is switched due to a decrease in irradiation power, it is possible to surely switch from the first heat input amount to the second heat input amount.

本発明に係るガラス溶着方法においては、ガラス層に対する第1のレーザ光の進行速度を上昇させることにより、第1の入熱量から第2の入熱量に切り替えることが好ましい。この場合、第1のレーザ光の進行速度の上昇により入熱量の切替えを行っているため、第1の入熱量から第2の入熱量へ確実に切り替えることが可能となる。しかも、進行速度を上昇させて切替えを行うことから、ガラス層の定着に要する時間を短縮化させることが可能となる。なお、「ガラス層に対する第1のレーザ光の進行速度」とは、第1のレーザ光の相対的な進行速度を意味し、第1のレーザ光が固定されてガラス層が移動する場合、ガラス層が固定されて第1のレーザ光が移動する場合、第1のレーザ光及びガラス層のそれぞれが移動する場合を含む。   In the glass welding method according to the present invention, it is preferable to switch from the first heat input amount to the second heat input amount by increasing the traveling speed of the first laser beam on the glass layer. In this case, since the heat input amount is switched by increasing the traveling speed of the first laser beam, it is possible to surely switch from the first heat input amount to the second heat input amount. Moreover, since the switching is performed by increasing the traveling speed, it is possible to shorten the time required for fixing the glass layer. The “advance speed of the first laser light relative to the glass layer” means the relative advance speed of the first laser light, and when the first laser light is fixed and the glass layer moves, glass is moved. The case where the first laser beam moves while the layer is fixed includes the case where each of the first laser beam and the glass layer moves.

本発明に係るガラス溶着方法においては、第1のレーザ光の照射開始から所定時間経過したときに、第1の入熱量から第2の入熱量に切り替えることが好ましい。この場合、予め求められた所定時間を制御するといった簡易な方法で第1の入熱量から第2の入熱量に容易に切り替えることが可能となる。しかも、同じ構成のガラス層の場合、第1のレーザ光の照射条件が同一であれば、所定時間を略同一とすることができるため、同じ構成のガラス層を連続して又は同時に複数溶融させることが容易に行え、製造効率を向上させることが可能となる。   In the glass welding method according to the present invention, it is preferable to switch from the first heat input amount to the second heat input amount when a predetermined time has elapsed from the start of irradiation with the first laser beam. In this case, it is possible to easily switch from the first heat input amount to the second heat input amount by a simple method of controlling the predetermined time obtained in advance. In addition, in the case of glass layers having the same configuration, if the irradiation conditions of the first laser beam are the same, the predetermined time can be made substantially the same, so that a plurality of glass layers having the same configuration are melted continuously or simultaneously. Can be easily performed, and manufacturing efficiency can be improved.

本発明に係るガラス溶着方法においては、ガラス層から放射される熱輻射光の強度が所定値まで上昇したときに、第1の入熱量から第2の入熱量に切り替えることが好ましい。この場合、ガラス層の溶融率が上昇するにつれて漸増するといった関連性を有する熱輻射光の強度を検出することで、入熱量の切替えを正確に行うことが可能となる。   In the glass welding method according to the present invention, it is preferable to switch from the first heat input to the second heat input when the intensity of the heat radiation emitted from the glass layer rises to a predetermined value. In this case, it is possible to accurately switch the amount of heat input by detecting the intensity of heat radiation having such a relationship that the glass layer gradually increases as the melting rate of the glass layer increases.

本発明に係るガラス溶着方法においては、ガラス層で反射された第1のレーザ光の反射光の強度が所定値まで低下したときに、第1の入熱量から第2の入熱量に切り替えることが好ましい。この場合、ガラス層の溶融率が上昇するにつれて漸減するといった関連性を有する反射光の強度を検出することで、入熱量の切替えを正確に行うことが可能となる。   In the glass welding method according to the present invention, when the intensity of the reflected light of the first laser beam reflected by the glass layer is reduced to a predetermined value, the first heat input amount is switched to the second heat input amount. preferable. In this case, it is possible to accurately switch the amount of heat input by detecting the intensity of reflected light having such a relationship that it gradually decreases as the melting rate of the glass layer increases.

本発明によれば、信頼性の高いガラス溶着体を製造することができる。   According to the present invention, a highly reliable glass welded body can be manufactured.

本発明に係るガラス溶着方法の一実施形態によって製造されたガラス溶着体の斜視図である。It is a perspective view of the glass welded body manufactured by one Embodiment of the glass welding method which concerns on this invention. 図1のガラス溶着体を製造するためのガラス溶着方法を説明するための斜視図である。It is a perspective view for demonstrating the glass welding method for manufacturing the glass welded body of FIG. 図1のガラス溶着体を製造するためのガラス溶着方法を説明するための斜視図である。It is a perspective view for demonstrating the glass welding method for manufacturing the glass welded body of FIG. 図1のガラス溶着体を製造するためのガラス溶着方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the glass welding method for manufacturing the glass welded body of FIG. 図1のガラス溶着体を製造するためのガラス溶着方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the glass welding method for manufacturing the glass welded body of FIG. 図1のガラス溶着体を製造するためのガラス溶着方法を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating the glass welding method for manufacturing the glass welded body of FIG. レーザ照射における温度分布を示す図である。It is a figure which shows the temperature distribution in laser irradiation. レーザ光の照射条件の切替えタイミングを示す図である。It is a figure which shows the switching timing of the irradiation conditions of a laser beam. レーザ光の照射条件の別の切替えタイミングを示す図である。It is a figure which shows another switching timing of the irradiation conditions of a laser beam. レーザ光の照射条件の別の切替えタイミングを示す図である。It is a figure which shows another switching timing of the irradiation conditions of a laser beam. ガラス層の温度とレーザ光吸収率との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the temperature of a glass layer, and a laser beam absorptance. レーザパワーとガラス層の温度との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between a laser power and the temperature of a glass layer.

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In addition, in each figure, the same code | symbol is attached | subjected to the same or an equivalent part, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

図1は、本発明に係るガラス溶着方法の一実施形態によって製造されたガラス溶着体の斜視図である。図1に示されるように、ガラス溶着体1は、溶着予定領域Rに沿って形成されたガラス層3を介して、ガラス部材(第1のガラス部材)4とガラス部材(第2のガラス部材)5とが溶着されたものである。ガラス部材4,5は、例えば、無アルカリガラスからなる厚さ0.7mmの矩形板状の部材であり、溶着予定領域Rは、ガラス部材4,5の外縁に沿って矩形環状に設定されている。ガラス層3は、例えば、低融点ガラス(バナジウムリン酸系ガラス、鉛ホウ酸ガラス等)からなり、溶着予定領域Rに沿って矩形環状に形成されている。   FIG. 1 is a perspective view of a glass welded body manufactured by an embodiment of a glass welding method according to the present invention. As shown in FIG. 1, the glass welded body 1 includes a glass member (first glass member) 4 and a glass member (second glass member) through a glass layer 3 formed along the planned welding region R. ) 5 is welded. The glass members 4 and 5 are, for example, rectangular plate-shaped members having a thickness of 0.7 mm made of alkali-free glass, and the welding planned region R is set in a rectangular ring shape along the outer edges of the glass members 4 and 5. Yes. The glass layer 3 is made of, for example, low-melting glass (vanadium phosphate glass, lead borate glass, etc.), and is formed in a rectangular ring shape along the planned welding region R.

次に、上述したガラス溶着体1を製造するためのガラス溶着方法について説明する。   Next, the glass welding method for manufacturing the glass welded body 1 mentioned above is demonstrated.

まず、図2に示されるように、ディスペンサやスクリーン印刷等によってフリットペーストを塗布することにより、溶着予定領域Rに沿ってガラス部材4の表面4aにペースト層6を形成する。フリットペーストは、例えば、低融点ガラス(バナジウムリン酸系ガラス、鉛ホウ酸ガラス等)からなる粉末状のガラスフリット(ガラス粉)2、酸化鉄等の無機顔料であるレーザ光吸収性顔料(レーザ光吸収材)、酢酸アミル等である有機溶剤、及びガラスの軟化点温度以下で熱分解する樹脂成分(アクリル等)であるバインダを混練したものである。フリットペーストは、レーザ光吸収性顔料(レーザ光吸収材)が予め添加された低融点ガラスを粉末状にしたガラスフリット(ガラス粉)、有機溶剤、及びバインダを混練したものであってもよい。つまり、ペースト層6は、ガラスフリット2、レーザ光吸収性顔料、有機溶剤及びバインダを含んでいる。   First, as shown in FIG. 2, a paste layer 6 is formed on the surface 4 a of the glass member 4 along the planned welding region R by applying a frit paste by a dispenser, screen printing, or the like. The frit paste is, for example, a powdery glass frit (glass powder) 2 made of low-melting glass (vanadium phosphate glass, lead borate glass, etc.), or a laser light absorbing pigment (laser) that is an inorganic pigment such as iron oxide. A light absorbing material), an organic solvent such as amyl acetate, and a binder that is a resin component (such as acrylic) that is thermally decomposed at a temperature lower than the softening point of glass. The frit paste may be obtained by kneading a glass frit (glass powder) obtained by powdering a low-melting glass to which a laser light absorbing pigment (laser light absorbing material) is added in advance, an organic solvent, and a binder. That is, the paste layer 6 includes the glass frit 2, the laser light absorbing pigment, the organic solvent, and the binder.

続いて、ペースト層6を乾燥させて有機溶剤を除去し、更に、ペースト層6を加熱してバインダを除去することにより、溶着予定領域Rに沿ってガラス部材4の表面4aにガラス層3を固着させる。なお、ガラス部材4の表面4aに固着したガラス層3は、ガラスフリット2の粒子性等によって、レーザ光吸収性顔料の吸収特性を上回る光散乱が起こり、レーザ光吸収率が低い状態となっている(例えば、可視光下において白っぽく見える)。   Subsequently, the paste layer 6 is dried to remove the organic solvent, and the paste layer 6 is heated to remove the binder, whereby the glass layer 3 is formed on the surface 4a of the glass member 4 along the planned welding region R. Secure. In addition, the glass layer 3 fixed to the surface 4a of the glass member 4 is in a state in which light scattering exceeding the absorption characteristics of the laser light absorbing pigment occurs due to the particle property of the glass frit 2 and the laser light absorption rate is low. (For example, it looks whitish under visible light).

続いて、図3に示されるように、ガラス層3が固着したガラス部材4に対し、ガラス層3を介してガラス部材5を重ね合わせる。そして、図4〜図6に示されるように、ガラス層3の溶着予定領域Rにおける照射開始位置Aに集光スポットを合わせて、レーザ光(第1のレーザ光)L1の照射を開始し、溶着予定領域Rに沿って図示矢印の進行方向に向かって照射を進める。   Subsequently, as shown in FIG. 3, the glass member 5 is superposed on the glass member 4 to which the glass layer 3 is fixed via the glass layer 3. Then, as shown in FIGS. 4 to 6, the focused spot is aligned with the irradiation start position A in the planned welding region R of the glass layer 3, and irradiation with the laser beam (first laser beam) L <b> 1 is started. Irradiation is advanced along the planned welding area R in the direction indicated by the arrow in the figure.

ところで、レーザ光L1は、図7に示されるように、幅方向(レーザ光L1の進行方向と略直交する方向)の中央部の温度が高く両端部に向かって温度が低くなる温度分布を有している。このため、図6に示されるように、ガラス層3の溶融率(レーザ光L1の進行方向と略直交する方向において、ガラス層3の溶融部分の幅がガラス層3の全幅に占める割合)が略ゼロである照射開始位置Aから溶融率が徐々に上昇して、溶融率が100%近い安定領域となる安定領域開始位置Bまでは所定の距離があり、照射開始位置Aから安定領域開始位置Bまでは、ガラス層3の溶融が幅方向の一部で行われる不安定領域となっている。   By the way, as shown in FIG. 7, the laser beam L1 has a temperature distribution in which the temperature in the central portion in the width direction (the direction substantially orthogonal to the traveling direction of the laser beam L1) is high and the temperature decreases toward both ends. doing. For this reason, as shown in FIG. 6, the melting rate of the glass layer 3 (the ratio of the width of the melted portion of the glass layer 3 to the total width of the glass layer 3 in the direction substantially orthogonal to the traveling direction of the laser beam L1). There is a predetermined distance from the irradiation start position A, which is substantially zero, to the stable region start position B where the melting rate gradually increases and becomes a stable region where the melting rate is close to 100%, and from the irradiation start position A to the stable region start position. Up to B, the glass layer 3 is an unstable region where the melting of the glass layer 3 is performed in part in the width direction.

この不安定領域では、ガラス層3の溶融が幅方向全体にわたって為されていないため、レーザ光吸収率が完全には高くなっていない。そこで、図8に示されるように、レーザ光L1は、安定領域のガラス層3に照射した場合に結晶化してしまうような強い照射条件、例えば、レーザ光L1の照射パワーが10Wといった第1の入熱量で照射を開始する。なお、入熱量とは、次の数式(1)で表わすことができ、本実施形態においては、進行速度やスポット径は一定となっているため、照射パワーによって入熱量が変化するようになっている。
入熱量(J/mm)=パワー密度(J・S/mm)÷進行速度(S)・・・(1)
In this unstable region, since the glass layer 3 is not melted over the entire width direction, the laser light absorption rate is not completely increased. Therefore, as shown in FIG. 8, the laser beam L1 is a strong irradiation condition that causes crystallization when irradiated to the glass layer 3 in the stable region, for example, the first irradiation power of the laser beam L1 is 10 W Irradiation starts with the amount of heat input. The amount of heat input can be expressed by the following formula (1). In this embodiment, since the traveling speed and the spot diameter are constant, the amount of heat input changes depending on the irradiation power. Yes.
Heat input (J / mm 2 ) = Power density (J · S / mm 2 ) ÷ Progress speed (S) (1)

その後、安定領域開始位置Bへ至ってガラス層3が幅方向全体にわたって溶融する安定領域となると、ガラス層3の温度が幅方向にわたって融点Tm以上となり、ガラスフリット2の溶融によって粒子性が崩れるなどして、レーザ光吸収性顔料の吸収特性が顕著に現れ、ガラス層3のレーザ光吸収率が幅方向全体にわたって急激に高くなり、溶融率が100%近くなる(例えば、可視光下において黒っぽく或いは緑っぽく見える)。これにより、ガラス層3において想定以上のレーザ光L1の吸収が起こり、ガラス層3への入熱が過多となる。   Thereafter, when the glass layer 3 reaches a stable region starting position B and becomes a stable region in which the glass layer 3 is melted over the entire width direction, the temperature of the glass layer 3 becomes equal to or higher than the melting point Tm in the width direction. Thus, the absorption characteristic of the laser light absorbing pigment appears remarkably, the laser light absorption rate of the glass layer 3 increases rapidly over the entire width direction, and the melting rate approaches 100% (for example, dark or green under visible light). Looks like). Thereby, absorption of the laser beam L1 more than expected occurs in the glass layer 3, and heat input to the glass layer 3 becomes excessive.

そこで、図8に示されるように、ガラス層3の溶融率が100%近くなる所定時間Xを経過した後(若しくはその直前)、すなわちガラス層3が幅方向全体において融点Tmを超えてレーザ光吸収率が急激に高くなった直後、レーザ光L1の照射パワーを照射パワー10Wから照射パワー8Wに低下させる切替えを行い、照射パワー10Wの第1の入熱量から照射パワー8Wの第2の入熱量へと入熱量の切替えを行う。本実施形態では、所定時間Xをガラス層3の構成毎に事前に求めており、予め求められた所定時間Xを制御するといった簡易な方法で第1の入熱量から第2の入熱量へと切り替えている。また、同じ構成のガラス層の場合、同じ入熱量に対しては略同一の溶融度合となるため、レーザ光L1の照射条件が同一であれば、所定時間Xを略同一とすることができる。   Therefore, as shown in FIG. 8, after a predetermined time X when the melting rate of the glass layer 3 becomes nearly 100% (or immediately before), that is, the glass layer 3 exceeds the melting point Tm in the entire width direction, and the laser beam is emitted. Immediately after the absorption rate suddenly increases, switching is performed to lower the irradiation power of the laser beam L1 from the irradiation power 10W to the irradiation power 8W, and the second heat input amount of the irradiation power 8W from the first heat input amount of the irradiation power 10W. The amount of heat input is switched. In the present embodiment, the predetermined time X is obtained in advance for each configuration of the glass layer 3, and from the first heat input to the second heat input by a simple method of controlling the predetermined time X obtained in advance. Switching. Further, in the case of glass layers having the same configuration, the melting degree is substantially the same for the same heat input, so that the predetermined time X can be made substantially the same if the irradiation conditions of the laser light L1 are the same.

その後、第2の入熱量である照射パワー8Wでレーザ照射を行い、溶着予定領域Rに沿って照射開始位置Aに戻るまで、レーザ光L1によるガラス層3への照射を続け、ガラス部材4とガラス部材5との溶着を終了させる。これにより、ガラス層3及びその周辺部分(ガラス部材4,5の表面4a,5a部分)が溶融・再固化し、ガラス部材4とガラス部材5とが溶着されて(溶着においては、ガラス層3が溶融し、ガラス部材4,5が溶融しない場合もある)、ガラス溶着体1が製造される。なお、必要に応じて、不安定領域にレーザ光L1を再照射して安定領域とするように、レーザ照射をオーバラップさせてもよい。   Thereafter, laser irradiation is performed with an irradiation power of 8 W, which is the second heat input amount, and irradiation to the glass layer 3 with the laser light L1 is continued until the irradiation start position A is returned along the planned welding region R, and the glass member 4 and The welding with the glass member 5 is terminated. Thereby, the glass layer 3 and its peripheral part (surface 4a, 5a part of the glass members 4 and 5) fuse | melt and resolidify, and the glass member 4 and the glass member 5 are welded (in welding, the glass layer 3 May melt and the glass members 4 and 5 may not melt), and the glass welded body 1 is manufactured. If necessary, the laser irradiation may be overlapped so that the unstable region is re-irradiated with the laser beam L1 to be a stable region.

このような入熱量を切り替える制御を行ってガラス部材4とガラス部材5との溶着を行うことにより、ガラス層3の過剰加熱が抑制され、ガラス部材4,5におけるヒートクラックの発生が防止される。なお、溶着後のガラス層3は、ガラスフリット2の溶融によって粒子性が崩れるなどして、レーザ光吸収性顔料の吸収特性が顕著に現れ、レーザ光吸収率が高い状態となる(例えば、可視光下において黒っぽく或いは緑っぽく見える)。   By performing such control of switching the amount of heat input and welding the glass member 4 and the glass member 5, overheating of the glass layer 3 is suppressed and generation of heat cracks in the glass members 4 and 5 is prevented. . In addition, the glass layer 3 after the welding is brought into a state in which the absorption property of the laser light absorbing pigment is remarkably exhibited and the laser light absorption rate is high (for example, visible) due to the collapse of the particle property due to the melting of the glass frit 2. It looks blackish or greenish under the light).

以上説明したように、ガラス溶着体1を製造するためのガラス溶着方法においては、溶着予定領域Rに沿ってレーザ光L1を照射してガラス層3を溶融させる際、第1の入熱量を有するレーザ光L1を溶着予定領域Rに沿って照射することによりガラス層3を溶融させ、レーザ光L1の進行方向と略直交する方向におけるガラス層3の溶融率が100%近くなった際に入熱量を切り替えて、第1の入熱量よりも少ない第2の入熱量を有するレーザ光L1を溶着予定領域Rに沿って照射することにより、ガラス層3を溶融させ、ガラス部材4とガラス部材5とを溶着する。このガラス層3の溶融時には、ガラス層3の溶融率が100%近くになるとガラス層3のレーザ光吸収率が急激に高くなるが、それ以降、第1の入熱量よりも少ない第2の入熱量を有するレーザ光L1を照射するようにしているため、ガラス層3が入熱過多の状態となることが抑止される。このような入熱量の切替えにより、レーザ光L1の照射によってガラス部材4とガラス部材5とを溶着しても、ガラス部材4,5にクラックが生じるなど、ガラス部材4,5が破損するのを防止することができる。従って、このガラス溶着方法によれば、ガラス部材4,5の破損を防止して、信頼性の高いガラス溶着体1を製造することが可能となる。   As described above, in the glass welding method for manufacturing the glass welded body 1, when the glass layer 3 is melted by irradiating the laser beam L <b> 1 along the planned welding region R, the first heat input amount is provided. The amount of heat input when the glass layer 3 is melted by irradiating the laser beam L1 along the planned welding region R and the melting rate of the glass layer 3 in the direction substantially perpendicular to the traveling direction of the laser beam L1 becomes close to 100%. Are switched, and the glass layer 3 is melted by irradiating the laser beam L1 having the second heat input amount smaller than the first heat input amount along the planned welding region R, and the glass member 4 and the glass member 5 To weld. When the glass layer 3 is melted, if the melting rate of the glass layer 3 is close to 100%, the laser light absorption rate of the glass layer 3 is rapidly increased. Thereafter, the second input less than the first heat input amount is obtained. Since the laser beam L1 having a heat quantity is irradiated, the glass layer 3 is prevented from being in an excessive heat input state. With such switching of the heat input amount, even if the glass member 4 and the glass member 5 are welded by the irradiation of the laser beam L1, the glass members 4 and 5 are damaged, for example, cracks are generated in the glass members 4 and 5. Can be prevented. Therefore, according to this glass welding method, it becomes possible to prevent the glass members 4 and 5 from being damaged and to manufacture the highly reliable glass welded body 1.

また、上述したガラス溶着方法においては、レーザ光L1の照射パワーを低下させることにより、第1の入熱量から第2の入熱量に切り替えている。このような照射パワーの低下により入熱量の切替えを行っているため、第1の入熱量から第2の入熱量へ確実に切り替えることが可能となる。   In the glass welding method described above, the first heat input amount is switched to the second heat input amount by reducing the irradiation power of the laser light L1. Since the amount of heat input is switched by such a decrease in irradiation power, it is possible to reliably switch from the first heat input amount to the second heat input amount.

また、上述したガラス溶着方法においては、レーザ光L1の照射開始から所定時間Xを経過したときに溶融率が100%近くなり、第1の入熱量から第2の入熱量に切り替えている。このため、予め求められた、溶融率が100%近くなる所定時間Xを制御するといった簡易な方法で第1の入熱量から第2の入熱量に容易に切り替えることが可能となる。しかも、同じ構成のガラス層の場合、レーザ光L1の照射条件が同一であれば、所定時間Xを略同一とすることができるため、同じ構成のガラス層3を連続して又は同時に複数溶融させることが容易に行え、複数のガラス溶着体1を製造する際の製造効率を大幅に向上させることが可能となる。   Further, in the glass welding method described above, the melting rate is close to 100% when a predetermined time X has elapsed from the start of irradiation with the laser light L1, and the first heat input amount is switched to the second heat input amount. For this reason, it is possible to easily switch from the first heat input amount to the second heat input amount by a simple method such as controlling the predetermined time X at which the melting rate is nearly 100%, which is obtained in advance. In addition, in the case of the glass layer having the same configuration, if the irradiation conditions of the laser beam L1 are the same, the predetermined time X can be made substantially the same, so that a plurality of glass layers 3 having the same configuration are melted continuously or simultaneously. Therefore, the manufacturing efficiency when manufacturing the plurality of glass welded bodies 1 can be greatly improved.

ところで、有機ELパッケージ等においては、容器自体が小型であるため、より薄型化されたガラス部材4,5が使用されることから、ガラス部材4,5の材料としては、割れを生じ難くすべく低膨張ガラスが選択されることが多い。このとき、ガラス層3の線膨張係数をガラス部材4,5の線膨張係数と合わせるために(すなわち、ガラス層3の線膨張係数を低くするために)、セラミックス等からなるフィラーをガラス層3に多量に含有させる。ガラス層3にフィラーを多量に含有させると、レーザ光L1の照射の前後でガラス層3のレーザ光吸収率がより一層大きく変化することになる。従って、上述したガラス溶着方法は、ガラス部材4,5の材料として低膨張ガラスを選択する場合に、特に有効である。   By the way, in the organic EL package or the like, since the container itself is small, the glass members 4 and 5 that are made thinner are used. Therefore, the material of the glass members 4 and 5 should be less likely to be cracked. Low expansion glass is often selected. At this time, in order to match the linear expansion coefficient of the glass layer 3 with the linear expansion coefficient of the glass members 4 and 5 (that is, to lower the linear expansion coefficient of the glass layer 3), a filler made of ceramics or the like is added to the glass layer 3. In a large amount. If the glass layer 3 contains a large amount of filler, the laser light absorption rate of the glass layer 3 will change much more before and after the irradiation with the laser light L1. Therefore, the glass welding method described above is particularly effective when low expansion glass is selected as the material of the glass members 4 and 5.

本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。   The present invention is not limited to the embodiment described above.

例えば、上記実施形態では、レーザ光L1の照射開始位置Aから所定時間Xを経過したときに溶融率が100%近くなり、第1の入熱量から第2の入熱量に切り替えるようにしているが、図9に示されるように、ガラス層3から放射される熱輻射光の強度が所定値Qまで上昇したときに、第1の入熱量から第2の入熱量へ切り替えるようにしてもよい。この場合、ガラス層3の溶融率が上昇するにつれて漸増するといった関連性を有する熱輻射光の強度を検出することで、入熱量の切替えを正確に行うことが可能となる。また、図10に示されるように、ガラス層3で反射されたレーザ光L1の反射光の強度が所定値Pまで低下したときに、第1の入熱量から第2の入熱量に切り替えるようにしてもよい。この場合、ガラス層3の溶融率が上昇するにつれて漸減するといった関連性を有する反射光の強度を検出することで、入熱量の切替えを正確に行うことが可能となる。   For example, in the above embodiment, the melting rate becomes nearly 100% when the predetermined time X has elapsed from the irradiation start position A of the laser beam L1, and the first heat input amount is switched to the second heat input amount. As shown in FIG. 9, when the intensity of the heat radiation emitted from the glass layer 3 rises to a predetermined value Q, the first heat input amount may be switched to the second heat input amount. In this case, it is possible to accurately switch the amount of heat input by detecting the intensity of heat radiation having such a relationship that the glass layer 3 gradually increases as the melting rate of the glass layer 3 increases. Further, as shown in FIG. 10, when the intensity of the reflected light of the laser light L1 reflected by the glass layer 3 decreases to a predetermined value P, the first heat input amount is switched to the second heat input amount. May be. In this case, it is possible to accurately switch the amount of heat input by detecting the intensity of reflected light having such a relationship that it gradually decreases as the melting rate of the glass layer 3 increases.

また、上記実施形態では、レーザ光L1の照射パワーを変更することによりガラス層3への入熱量を制御するようにしていたが、上述した数式(1)で示されるように、レーザ光L1の照射パワーを一定として、レーザ光L1の相対的な照射速度(つまり、レーザ光L1のガラス層3に対する進行速度)を上昇させることによりガラス層3への入熱量の切替えを行うようにしてもよい。この場合、レーザ光L1の進行速度の上昇により入熱量の切替えを行っているため、第1の入熱量から第2の入熱量へ確実に切り替えることが可能となる。しかも、進行速度を上昇させて切替えを行うことから、ガラス部材4とガラス部材5との溶着に要する時間を短縮化させることが可能となる。なお、進行速度を上昇させることで入熱量の切替えを行う場合、速度の加速過程が含まれる場合が多いため、切替えを行うべきタイミング(所定時間Xの経過時、又は熱輻射光若しくは反射光の強度が所定値)になる前に進行速度の切替え制御を開始して、実際に切替えを行うべきタイミングには切替えが完了していることが、ガラス層3の結晶化抑止の観点からは好ましい。   Further, in the above embodiment, the amount of heat input to the glass layer 3 is controlled by changing the irradiation power of the laser beam L1, but as shown in the above formula (1), the laser beam L1 The amount of heat input to the glass layer 3 may be switched by increasing the relative irradiation speed of the laser light L1 (that is, the traveling speed of the laser light L1 relative to the glass layer 3) while keeping the irradiation power constant. . In this case, since the heat input amount is switched by increasing the traveling speed of the laser light L1, it is possible to surely switch from the first heat input amount to the second heat input amount. Moreover, since the switching is performed by increasing the traveling speed, the time required for welding the glass member 4 and the glass member 5 can be shortened. Note that when the heat input is switched by increasing the traveling speed, the speed acceleration process is often included, so the timing at which the switching should be performed (when the predetermined time X has elapsed, or when the heat radiation light or reflected light is changed). It is preferable from the viewpoint of inhibiting crystallization of the glass layer 3 that the switching control of the advancing speed is started before the strength reaches a predetermined value, and the switching is completed at the timing when the switching should actually be performed.

また、上記実施形態では、固定されたガラス部材4,5に対してレーザ光L1を進行させるようにしているが、レーザ光L1が各ガラス部材4,5に対して相対的に進行すればよく、レーザ光L1を固定してガラス部材4,5を移動させるようにしてもよいし、ガラス部材4,5とレーザ光L1とをそれぞれ移動させるようにしてもよい。   Moreover, in the said embodiment, although the laser beam L1 is made to advance with respect to the fixed glass members 4 and 5, the laser beam L1 should just advance relatively with respect to each glass member 4 and 5. FIG. The glass members 4 and 5 may be moved while the laser beam L1 is fixed, or the glass members 4 and 5 and the laser beam L1 may be moved.

また、上記実施形態では、溶融率が100%といった所定値の際に入熱量の切替えを行っているが、ガラス層3が適切に溶融していれば、例えば溶融率が90%といった所定値の際に入熱量の切替えを行って、ガラス層3の結晶化を確実に抑止させるようにしてもよい。なお、溶融率が低いうちに入熱量を切替えると、切替えた後のレーザ光の吸収率が不十分となり、ガラス層の溶融処理を維持することができなくなるおそれがあることから、入熱量の切替えを行うための溶融率の所定値は80%が好ましい。   In the above embodiment, the heat input is switched when the melting rate is a predetermined value such as 100%. However, if the glass layer 3 is appropriately melted, for example, the melting rate is 90%. At this time, the amount of heat input may be switched to reliably suppress crystallization of the glass layer 3. If the heat input amount is switched while the melting rate is low, the absorption rate of the laser light after the switching becomes insufficient, and it may not be possible to maintain the melting treatment of the glass layer. The predetermined value of the melting rate for carrying out is preferably 80%.

また、レーザ光L1の照射は、ガラス部材4側から行ってもよいし、ガラス部材4の反対側から行ってもよい。   The irradiation with the laser beam L1 may be performed from the glass member 4 side or from the opposite side of the glass member 4.

1…ガラス溶着体、2…ガラスフリット(ガラス粉)、3…ガラス層、4…ガラス部材(第1のガラス部材)、5…ガラス部材(第2のガラス部材)、A…照射開始位置、B…安定領域開始位置、R…溶着予定領域、L1…レーザ光(第1のレーザ光)。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Glass welded body, 2 ... Glass frit (glass powder), 3 ... Glass layer, 4 ... Glass member (1st glass member), 5 ... Glass member (2nd glass member), A ... Irradiation start position, B: Stable region start position, R: Planned welding region, L1: Laser beam (first laser beam).

Claims (6)

第1のガラス部材と第2のガラス部材とを溶着してガラス溶着体を製造するガラス溶着方法であって、
レーザ光吸収材及びガラス粉を含むガラス層を、溶着予定領域に沿うように前記第1のガラス部材に配置する工程と、
前記第1のガラス部材に前記ガラス層を介して前記第2のガラス部材が重ね合わせられた状態で、第1の入熱量を有する第1のレーザ光を前記溶着予定領域に沿って照射することにより前記ガラス層を溶融させ、前記第1のレーザ光の進行方向と交差する方向における前記ガラス層の溶融率が所定値を越えたときに、前記第1の入熱量から前記第1の入熱量よりも少ない第2の入熱量に切り替えて、前記第2の入熱量を有する前記第1のレーザ光を前記溶着予定領域に沿って照射することにより前記ガラス層を溶融させ、前記第1のガラス部材と前記第2のガラス部材とを溶着する工程と、を含むことを特徴とするガラス溶着方法。
A glass welding method for producing a glass welded body by welding a first glass member and a second glass member,
A step of arranging a glass layer containing a laser light absorbing material and glass powder on the first glass member so as to follow the planned welding region,
Irradiating a first laser beam having a first heat input amount along the planned welding region in a state where the second glass member is superimposed on the first glass member via the glass layer. When the melting rate of the glass layer in a direction intersecting the traveling direction of the first laser beam exceeds a predetermined value, the first heat input amount is changed from the first heat input amount. The glass layer is melted by irradiating the first laser beam having the second heat input amount along the planned welding region by switching to a smaller second heat input amount. And a step of welding the member and the second glass member.
前記第1のレーザ光の照射パワーを低下させることにより、前記第1の入熱量から前記第2の入熱量に切り替えることを特徴とする請求項1記載のガラス溶着方法。   The glass welding method according to claim 1, wherein the first heat input amount is switched to the second heat input amount by reducing the irradiation power of the first laser light. 前記ガラス層に対する前記第1のレーザ光の進行速度を上昇させることにより、前記第1の入熱量から前記第2の入熱量に切り替えることを特徴とする請求項1記載のガラス溶着方法。   The glass welding method according to claim 1, wherein the first heat input amount is switched to the second heat input amount by increasing a traveling speed of the first laser light with respect to the glass layer. 前記第1のレーザ光の照射開始から所定時間経過したときに、前記第1の入熱量から前記第2の入熱量に切り替えることを特徴とする請求項1記載のガラス溶着方法。   2. The glass welding method according to claim 1, wherein the first heat input is switched to the second heat input when a predetermined time has elapsed from the start of irradiation of the first laser light. 前記ガラス層から放射される熱輻射光の強度が所定値まで上昇したときに、前記第1の入熱量から前記第2の入熱量に切り替えることを特徴とする請求項1記載のガラス溶着方法。   2. The glass welding method according to claim 1, wherein when the intensity of heat radiation light emitted from the glass layer increases to a predetermined value, the first heat input amount is switched to the second heat input amount. 前記ガラス層で反射された前記第1のレーザ光の反射光の強度が所定値まで低下したときに、前記第1の入熱量から前記第2の入熱量に切り替えることを特徴とする請求項1記載のガラス溶着方法。   The first heat input amount is switched to the second heat input amount when the intensity of the reflected light of the first laser light reflected by the glass layer decreases to a predetermined value. The glass welding method as described.
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