JP5480507B2 - レーザ干渉計 - Google Patents
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Description
このようなレーザ干渉計では、干渉光の強度を電気信号に変換し、変換した電気信号をサンプリングしてサンプリング値を取得するサンプリング手段を備え、サンプリング手段にて取得されるサンプリング値と、レーザ光の中心波長とに基づいて、測定面の変位を算出している。したがって、レーザ光の中心波長の安定度が高いレーザ光源が必要となる。
特許文献2に記載のヨウ素安定化レーザ光源では、変調信号にてレーザ光を変調することでヨウ素の飽和吸収線を検出してレーザ光の中心波長を安定化して射出している。
ここで、射出されるレーザ光には変調信号が重畳されているので、レーザ光の波長は、中心波長を中心として僅かに変動することになる。したがって、このようなレーザ光源(以下、変調レーザ光源とする)を備えるレーザ干渉計では、レーザ光の波長が中心波長とは異なる波長となるときにサンプリング値を取得すると、測定面の変位の算出誤差が生じ、ひいては被測定物の変位の測定誤差が生じるという問題がある。
このため、変調レーザ光源を備えるレーザ干渉計において、測定誤差を低減させる方法が望まれている。
ここで、レーザ光源の変調信号と同期することでレーザ光の波長が中心波長となるときにサンプリング値を取得して測定誤差を低減する方法(以下、周波数同期方法とする)が考えられる。
レーザ光に含まれる変調成分により、レーザ光の波長がTLの周期で変化している。
なお、レーザ干渉計は、タイミング信号のLレベルからHレベルへの立ち上がりでサンプリングを行うものとする。
レーザ光の変調周期TLとタイミング信号の周期TTを等しくして、タイミング信号に同期して干渉光をサンプリングすると、タイミング信号と、レーザ光に含まれる変調成分との位相差が0°の場合には、図11(A)に示すように、レーザ干渉計は、レーザ光の波長が中心波長となるときにサンプリング値を取得することができる。
ここで、タイミング信号とレーザ光に含まれる変調成分との間に位相差が発生する原因としては、例えば、変調レーザ光源において、レーザ光を変調する素子の周波数特性に起因して変調信号、及びレーザ光に含まれる変調成分に位相差が生じる場合や、サンプリング手段において、干渉光をサンプリングするADC(Analog to Digital Converter)の遅延時間に起因してタイミング信号、及びサンプリング値に位相差が生じる場合が挙げられる。なお、以下では、ADCの遅延時間に起因して生じる位相差については考慮しないものとして説明する。
したがって、周波数同期方法によると、タイミング信号と、レーザ光に含まれる変調成分との間に位相差がある場合には、レーザ光の波長が中心波長とは異なるときにサンプリング値を取得することになり、測定誤差を低減することができないという問題がある。
ここで、平均するサンプリング値の数は、サンプリング周波数に応じて定まり、例えば、2倍のサンプリング周波数を用いた場合には、2個のサンプリング値を平均し、a倍のサンプリング周波数を用いた場合には、a個のサンプリング値を平均すればよい。
このような構成によれば、前述したレーザ干渉計と同様の作用効果を奏することができる。
本発明によれば、平均値算出手段は、サンプリング周波数に応じた区間の移動平均値を算出することで平均値を算出しているので、前述の方法と比較して平均値の算出速度を向上させることができ、ひいてはレーザ干渉計の測定速度を向上させることができる。
以下、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
〔レーザ干渉計の概略構成〕
図1は、本発明の第1実施形態に係るレーザ干渉計1を示す模式図である。
レーザ干渉計1は、図1に示すように、レーザ光を射出するレーザ光源2と、レーザ光源2から射出されるレーザ光を導光する導光装置3と、導光装置3を介したレーザ光を反射する参照鏡4、及び測定鏡5と、参照鏡4、及び測定鏡5にて反射され、導光装置3を介した光を受光する受光装置6と、受光装置6にて受光される光に基づいて、測定鏡5の変位を算出することで被測定物(図示略)の変位を測定する測定装置7とを備える。なお、図1では、レーザ光源2から射出され、受光装置6に至るレーザ光の光軸を実線で示している。
参照鏡4は、所定の位置に設けられ、レーザ光を反射する参照面4Aを有している。
測定鏡5は、被測定物に取り付けられ、レーザ光を反射する測定面5Aを有している。
偏光ビームスプリッタ32から参照鏡4に導かれた光(以下、参照光とする)は、参照面4Aにて反射され、偏光ビームスプリッタ32に再び入射する。このとき、参照光は、1/4波長板33を2度通過するので、偏光方向が90度回転し、偏光分離膜32Aに対してP偏光の光となる。したがって、参照光は、偏光分離膜32Aを透過して受光装置6に射出される。
このようにして、偏光ビームスプリッタ32は、参照光、及び測定光を合成した干渉光を受光装置6に射出する。
サンプリング手段71は、レーザ光源2から出力される変調信号と同じ周波数の方形波信号に基づいて、所定のタイミング信号を発生させるタイミング信号発生器711と、タイミング信号発生器711から出力されるタイミング信号に基づいて、光電変換素子63,64にて電気信号に変換された干渉光をサンプリングしてサンプリング値を取得するADC712,713とを備える。
タイミング信号発生器711は、変調信号より大きい周波数のタイミング信号を出力する場合には、前述の方形波信号を逓倍することでタイミング信号を出力し、変調信号より小さい周波数のタイミング信号を出力する場合には、前述の方形波信号を分周することでタイミング信号を出力する。
具体的に、レーザ光源2から出力される方形波信号の周期をTとすれば(図2(A)参照)、タイミング信号発生器711にて方形波信号を2逓倍したときのタイミング信号の周期は(1/2)×Tとなる(図2(B)参照)。
また、タイミング信号発生器711にて方形波信号を2分周したときのタイミング信号の周期は2Tとなる(図2(C)参照)。
なお、本実施形態では、タイミング信号発生器711は、方形波信号を2逓倍したときのタイミング信号を出力する(図2(B)参照)。したがって、ADC712,713は、変調信号の周波数に対して2倍の周波数となるサンプリング周波数で干渉光をサンプリングしてサンプリング値を取得する。
例えば、タイミング信号と、レーザ光に含まれる変調成分との位相差が0°の場合には、図3(A)に示すように、サンプリング手段71は、レーザ光の波長が中心波長となるときに干渉光をサンプリングしてサンプリング値を取得する。
また、タイミング信号と、レーザ光に含まれる変調成分との位相差が90°の場合には、図3(B)に示すように、サンプリング手段71は、レーザ光の波長が最大値、及び最小値となるときに干渉光をサンプリングしてサンプリング値を取得する。
平均値算出手段721は、サンプリング手段71にて取得される時系列のサンプリング値をサンプリング手段71のサンプリング周波数、すなわちタイミング信号の周波数に応じて平均して平均値を算出する。
具体的に、タイミング信号は、方形波信号を2逓倍して出力されているので、平均値算出手段721は、以下の式(1)に示すように、サンプリング手段71にて2個のサンプリング値d2k−1,d2kが取得されるごとに、平均値Dkを算出する。
また、タイミング信号と、レーザ光に含まれる変調成分との位相差が90°の場合には、図4(B)に示すように、サンプリング手段71は、レーザ光の波長が最大値、及び最小値となるときに干渉光をサンプリングしてサンプリング値を取得する。具体的に、隣接する2個のサンプリング値のうち、一方のサンプリング値を取得したときのレーザ光の波長は最大値を取ることになり、他方のサンプリング値を取得したときのレーザ光の波長は最小値をとることになる。
以下、平均値算出手段721にて平均値を算出したときの波長偏差と、前述した周波数同期方法を用いたときの波長偏差とを比較する。
周波数同期方法を用いたときの波長偏差は、図5に示すように、タイミング信号と、レーザ光に含まれる変調成分との位相差に応じて周期的に変動する(図5中三角印)。
これに対して、平均値算出手段721にて平均値を算出したときの波長偏差は、タイミング信号と、レーザ光に含まれる変調成分との位相差に関わらず0となる(図5中丸印)。
周波数同期方法を用いたときの最大波長偏差は、図6に示すように、変調信号の振幅が大きくなるに従って大きくなる(図6中菱形印)。
これに対して、平均値算出手段721にて平均値を算出したときの最大波長偏差は、変調信号の振幅の大きさに関わらず0となる(図6中丸印)。
まず、サンプリング手段71にてサンプリング値d2k−1,d2kを取得したときの波長偏差を、以下の式(2),(3)に示すように、最大波長偏差Δλと、位相差Δθとで表す。
まず、サンプリング手段71にてサンプリング値da(k−1)+m+1を取得したときの波長偏差を、以下の式(6)に示すように、最大波長偏差Δλと、位相差Δθとで表す。
タイミング信号の倍率が2以上の整数倍の場合には、図7に示すように、波長偏差は0となる(図7中菱形印)。
偏光ビームスプリッタ32から射出される干渉光の明るさは、偏光ビームスプリッタ32から参照鏡4までの光路D1と、測定鏡5までの光路D2との光路差(D2−D1)の変化に対して周期的に明暗を繰り返す。具体的に、例えば、レーザ光源2の中心波長を532nmとした場合には、干渉光の明るさは、レーザ光源2の中心波長の1/2の光路差(266nm)の変化を1周期として明暗を繰り返す。
よって、振幅A,Bを正規化し、オフセットVa,Vbを除去すれば、電気信号φA´,φB´は、以下の式(16),(17)で表される。
ここで、光路差(D1−D2)が1周期変化すると、θは2π変化するので、レーザ光源2の中心波長の1/2をλiとし、周期の数をNとすれば、光路差は、以下の式(18)によって表される。
(1)レーザ干渉計1は、所定の周波数を有する変調信号にてレーザ光を変調することでレーザ光の中心波長を安定化して射出するレーザ光源2と、サンプリング手段71と、平均値算出手段721とを備えるので、タイミング信号と、レーザ光に含まれる変調成分との間に位相差がある場合であっても測定誤差を低減させることができる。したがって、レーザ干渉計1は、製造コストを低減させることができ、構成を簡素化することができる。
以下、本発明の第2実施形態を図面に基づいて説明する。
図8は、本発明の第2実施形態に係るレーザ干渉計1Aを示す模式図である
なお、以下の説明では、既に説明した部分については、同一符号を付してその説明を省略する。
前記第1実施形態では、レーザ干渉計1は、平均値算出手段721を備え、平均値算出手段721は、サンプリング手段71にてサンプリング周波数に応じた数のサンプリング値が取得されるごとに、平均値を算出していた。
これに対して、本実施形態では、図8に示すように、レーザ干渉計1Aは、平均値算出手段721Aを備え、平均値算出手段721Aは、サンプリング周波数に応じた区間の移動平均値を算出する点で異なる。
なお、図9、及び図10では、レーザ光に含まれる変調成分をグラフGLとし、波長偏差を縦軸とし、時間を横軸としている。また、図9、及び図10において、上図は、サンプリング手段71にてサンプリング値を取得したときのレーザ光の波長(丸印)を示し、下図は、平均値算出手段721Aにて平均値を算出したときのレーザ光の波長(三角印)を示している。
また、タイミング信号と、レーザ光に含まれる変調成分との位相差が90°の場合には、図10に示すように、サンプリング手段71は、レーザ光の波長が最大値、及び最小値となるときに干渉光をサンプリングしてサンプリング値を取得する。
したがって、平均値算出手段721Aにて移動平均値を算出したときのレーザ光の波長は、タイミング信号と、レーザ光に含まれる変調成分との位相差が0°、及び90°のいずれの場合であっても、中心波長をとることになる。
(2)平均値算出手段721Aは、サンプリング周波数に応じた区間の移動平均値を算出することで平均値を算出しているので、前記第1実施形態における平均値算出手段721と比較して平均値の算出速度を向上させることができ、ひいてはレーザ干渉計1Aの測定速度を向上させることができる。
なお、本発明は前記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記各実施形態では、タイミング信号の変調信号に対する倍率は2倍に設定されていたが、3以上の整数倍であってもよい。要するに、サンプリング手段は、変調信号の周波数に対して2以上の整数倍となる周波数のサンプリング周波数で干渉光をサンプリングしてサンプリング値を取得するように構成されていればよい。
2…レーザ光源
4A…参照面
5A…測定面
71…サンプリング手段
721,721A…平均値算出手段
Claims (3)
- レーザ光を射出するレーザ光源と、所定の位置に設けられ、前記レーザ光を反射する参照面と、被測定物に取り付けられ、前記レーザ光を反射する測定面とを備え、前記参照面、及び前記測定面にて反射される光の干渉光に基づいて、前記測定面の変位を算出することで前記被測定物の変位を測定するレーザ干渉計であって、
前記レーザ光源は、所定の周波数を有する変調信号にてレーザ光を変調することでレーザ光の中心波長を安定化して射出するとともに、前記変調信号と同じ周波数の方形波信号を出力し、
前記レーザ光源から出力された前記方形波信号に基づいて、前記変調信号の周波数に対して2以上の整数倍となる周波数のサンプリング周波数で前記干渉光をサンプリングしてサンプリング値を取得するサンプリング手段と、
前記サンプリング手段にて取得される時系列の前記サンプリング値を前記サンプリング周波数に応じて平均して平均値を算出する平均値算出手段とを備え、
前記平均値算出手段にて算出された平均値に基づいて、前記測定面の変位を算出することを特徴とするレーザ干渉計。 - 請求項1に記載のレーザ干渉計において、
前記平均値算出手段は、前記サンプリング手段にて前記サンプリング周波数に応じた数の前記サンプリング値が取得されるごとに平均値を算出することを特徴とするレーザ干渉計。 - 請求項1に記載のレーザ干渉計において、
前記平均値算出手段は、前記サンプリング周波数に応じた区間の移動平均値を算出することを特徴とするレーザ干渉計。
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