JP5418130B2 - Capacitive touch panel sensor and method for manufacturing the touch panel sensor - Google Patents

Capacitive touch panel sensor and method for manufacturing the touch panel sensor Download PDF

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Description

本発明は、静電容量式タッチパネルセンサ、および当該タッチパネルセンサの製造方法に関する。また本発明は、当該タッチパネルセンサを備えたカラーフィルタ、および当該カラーフィルタの製造方法に関する。さらに本発明は、当該カラーフィルタを備えた表示装置に関する。   The present invention relates to a capacitive touch panel sensor and a method for manufacturing the touch panel sensor. Moreover, this invention relates to the manufacturing method of the color filter provided with the said touch panel sensor, and the said color filter. Furthermore, the present invention relates to a display device provided with the color filter.

タッチパネル機能を実現するためのタッチパネルセンサとして、静電容量式のタッチパネルセンサが知られている。容量結合式タッチパネルセンサにおいては、人間の指などの外部導体がタッチパネルセンサに接触(接近)するときに発生する静電容量の変化を利用して、タッチパネルセンサ上における人間の指などの外部導体の位置を検出する。静電容量式タッチパネルセンサには表面型と投影型とがあるが、マルチタッチの認識(多点認識)への対応に適していることから、投影型が注目を浴びている。   As a touch panel sensor for realizing a touch panel function, a capacitive touch panel sensor is known. In a capacitively coupled touch panel sensor, a change in capacitance generated when an external conductor such as a human finger contacts (approaches) the touch panel sensor is used to detect the external conductor such as a human finger on the touch panel sensor. Detect position. Capacitive touch panel sensors include a surface type and a projection type. The projection type is attracting attention because it is suitable for multi-touch recognition (multi-point recognition).

投影型静電容量式のタッチパネルセンサは、一般に、透明基材と、透明基材の上面においてx方向に並ぶよう配置された設けられた多数のx方向透明電極単位と、透明基材の下面においてy方向に並ぶよう配置された設けられた多数のy方向透明電極単位とを備えている。この場合、隣接するx方向透明電極単位同士は、x方向接続部によりx方向において接続され、また隣接するy方向透明電極単位同士は、y方向接続部によりy方向において接続されている。   A projected capacitive touch panel sensor generally includes a transparent substrate, a number of x-direction transparent electrode units arranged in the x direction on the upper surface of the transparent substrate, and a lower surface of the transparent substrate. a plurality of y-direction transparent electrode units provided so as to be arranged in the y-direction. In this case, adjacent x-direction transparent electrode units are connected in the x-direction by the x-direction connecting portion, and adjacent y-direction transparent electrode units are connected in the y-direction by the y-direction connecting portion.

また、x方向透明電極単位とy方向透明電極単位とを同一平面上に形成した投影型静電容量式のタッチパネルセンサも提案されている(例えば特許文献1)。特許文献1に記載のタッチパネルセンサは、透明基材と、透明基材の上面においてx方向に並ぶよう配置された多数のx方向透明電極単位と、透明基材の上面においてx方向透明電極単位間に位置する多数のy方向透明電極単位とを備えている。このうち、隣接するx方向透明電極単位同士は、x方向透明電極単位およびy方向透明電極単位と同一平面上に設けられたx方向接続部によりx方向において接続されている。また、隣接するy方向透明電極単位同士は、x方向接続部の上方に絶縁層を介して配置されたy方向接続部によりy方向において接続されている。特許文献1に記載のタッチパネルセンサにおいては、y方向接続部として、酸化インジウムスズなどの透明性を有する透明電極材料が用いられている。   A projection capacitive touch panel sensor in which an x-direction transparent electrode unit and a y-direction transparent electrode unit are formed on the same plane has also been proposed (for example, Patent Document 1). The touch panel sensor described in Patent Document 1 includes a transparent base material, a large number of x-direction transparent electrode units arranged in the x direction on the upper surface of the transparent base material, and an x-direction transparent electrode unit on the upper surface of the transparent base material. A large number of transparent electrodes in the y direction. Among these, adjacent x-direction transparent electrode units are connected in the x-direction by an x-direction connecting portion provided on the same plane as the x-direction transparent electrode unit and the y-direction transparent electrode unit. Adjacent y-direction transparent electrode units are connected in the y-direction by a y-direction connection portion disposed above the x-direction connection portion via an insulating layer. In the touch panel sensor described in Patent Document 1, a transparent electrode material having transparency, such as indium tin oxide, is used as the y-direction connecting portion.

また、多数のx方向透明電極単位およびy方向透明電極単位のうち周縁に位置するx方向透明電極単位およびy方向透明電極単位には、タッチパネルセンサに流れる電流を外部の制御部に伝えるための外周配線が設けられている。外周配線が設けられる領域は、タッチパネルセンサをTFT基板などと組み合わせて液晶表示装置を作製する際の液晶表示装置の非表示領域となっており、このため外周配線に透明性は要求されない。従って、外周配線の材料としては、電気伝導度の高い金属材料、例えば銀が用いられる。   In addition, among the many x-direction transparent electrode units and y-direction transparent electrode units, the x-direction transparent electrode unit and the y-direction transparent electrode unit located at the periphery include an outer periphery for transmitting a current flowing through the touch panel sensor to an external control unit. Wiring is provided. The region where the outer peripheral wiring is provided is a non-display region of the liquid crystal display device when the liquid crystal display device is manufactured by combining the touch panel sensor with a TFT substrate or the like, and therefore the outer peripheral wiring is not required to be transparent. Therefore, a metal material with high electrical conductivity, such as silver, is used as the material for the peripheral wiring.

実用新案登録第3144241号公報Utility Model Registration No. 3144241

特許文献1に記載のタッチパネルセンサを製造する場合、x方向透明電極単位、y方向透明電極単位およびx方向接続部を構成するための透明電極材料と、絶縁層と、y方向接続部を構成するための第2の透明電極材料と、外周配線を構成するための金属材料とが順次透明基材上に形成される。このように、透明基材上に4つの層を形成するため、工程が複雑になっている。   When the touch panel sensor described in Patent Document 1 is manufactured, the transparent electrode material, the insulating layer, and the y-direction connection portion for configuring the x-direction transparent electrode unit, the y-direction transparent electrode unit, and the x-direction connection portion are configured. For this purpose, a second transparent electrode material and a metal material for forming the outer peripheral wiring are sequentially formed on the transparent substrate. Thus, since four layers are formed on a transparent substrate, the process is complicated.

本発明は、このような課題を効果的に解決し得るタッチパネルセンサ、およびタッチパネルセンサの製造方法を提供することを目的とする。   An object of this invention is to provide the touchscreen sensor which can solve such a subject effectively, and the manufacturing method of a touchscreen sensor.

本発明による第1の静電容量式タッチパネルセンサは、平面状に延びる透明基材と、透明基材の上側においてx方向およびy方向に並ぶよう配置され、x方向にx方向接続部を介して接続されたx方向透明電極単位と、x方向透明電極単位間に位置するy方向透明電極単位とからなる多数の透明電極単位と、これら多数の透明電極単位の周縁に位置するx方向透明電極単位およびy方向透明電極単位に接続された外周配線と、を備え、x方向接続部は、透明電極単位の材料と同一の材料を用いて透明電極単位と同一平面上に形成され、隣接するy方向透明電極単位同士は、x方向接続部の上方に絶縁層を介して配置されたy方向接続部によりy方向において接続され、y方向接続部は、外周配線の材料と同一の材料を用いて外周配線とともに形成されることを特徴とする静電容量式タッチパネルセンサである。   The first capacitive touch panel sensor according to the present invention is arranged so as to be aligned in the x-direction and the y-direction on the upper side of the transparent base material that extends in a plane, and in the x-direction via an x-direction connection portion. A large number of transparent electrode units composed of connected x-direction transparent electrode units, and a y-direction transparent electrode unit located between the x-direction transparent electrode units, and an x-direction transparent electrode unit positioned at the periphery of these many transparent electrode units And the peripheral wiring connected to the y-direction transparent electrode unit, and the x-direction connecting portion is formed on the same plane as the transparent electrode unit using the same material as that of the transparent electrode unit, and is adjacent to the y-direction. The transparent electrode units are connected in the y direction by a y direction connecting portion disposed via an insulating layer above the x direction connecting portion, and the y direction connecting portion is made of the same material as that of the peripheral wiring. With wiring A capacitive touch panel sensor, characterized in that it is made.

本発明による第1のタッチパネルセンサの製造方法は、前記透明基材を準備する工程と、透明基材の上側の面上に透明電極材料を設ける工程と、設けられた透明電極材料をパターンニングして、前記x方向透明電極単位、前記y方向透明電極単位および前記x方向接続部を形成する工程と、x方向接続部上に前記絶縁層を形成する工程と、透明基材の上方から透明基材に導電性材料を設ける工程と、設けられた導電性材料をパターンニングして、前記外周配線および前記y方向接続部を形成する工程と、を備えたことを特徴とするタッチパネルセンサの製造方法である。   The first touch panel sensor manufacturing method according to the present invention includes a step of preparing the transparent substrate, a step of providing a transparent electrode material on the upper surface of the transparent substrate, and patterning the provided transparent electrode material. A step of forming the x-direction transparent electrode unit, the y-direction transparent electrode unit and the x-direction connection portion, a step of forming the insulating layer on the x-direction connection portion, and a transparent substrate from above the transparent substrate. A method for manufacturing a touch panel sensor, comprising: providing a conductive material on a material; and patterning the provided conductive material to form the outer peripheral wiring and the y-direction connecting portion. It is.

本発明による第2の静電容量式タッチパネルセンサは、平面状に延びる透明基材と、透明基材の上側においてx方向およびy方向に並ぶよう配置され、x方向にx方向接続部を介して接続されたx方向透明電極単位と、x方向透明電極単位間に位置するy方向透明電極単位とからなる多数の透明電極単位と、これら多数の透明電極単位の周縁に位置するx方向透明電極単位およびy方向透明電極単位に接続された外周配線と、を備え、x方向接続部は、透明電極単位の材料と同一の材料を用いて形成され、隣接するy方向透明電極単位同士は、x方向接続部の下方に絶縁膜を介して配置されたy方向接続部によりy方向において接続され、y方向接続部は、外周配線の材料と同一の材料を用いて外周配線とともに形成されることを特徴とする静電容量式タッチパネルセンサである。   A second capacitive touch panel sensor according to the present invention is arranged so as to be aligned in the x direction and the y direction on the upper side of the transparent base material extending in a planar shape, and in the x direction via the x direction connecting portion. A large number of transparent electrode units composed of connected x-direction transparent electrode units, and a y-direction transparent electrode unit located between the x-direction transparent electrode units, and an x-direction transparent electrode unit positioned at the periphery of these many transparent electrode units And an outer peripheral wiring connected to the y-direction transparent electrode unit, the x-direction connection portion is formed using the same material as the material of the transparent electrode unit, and adjacent y-direction transparent electrode units are arranged in the x-direction. It is connected in the y direction by a y direction connecting portion disposed below the connecting portion via an insulating film, and the y direction connecting portion is formed together with the outer peripheral wiring using the same material as that of the outer peripheral wiring. To A capacitive touch panel sensor.

本発明による第2のタッチパネルセンサの製造方法は、前記透明基材を準備する工程と、透明基材の上側の面上に導電性材料を設ける工程と、設けられた導電性材料をパターンニングして、前記外周配線および前記y方向接続部を形成する工程と、y方向接続部上に前記絶縁層を形成する工程と、透明基材の上方から透明基材に透明電極材料を設ける工程と、設けられた透明電極材料をパターンニングして、前記x方向透明電極単位、前記y方向透明電極単位および前記x方向接続部を形成する工程と、を備えたことを特徴とするタッチパネルセンサの製造方法である。   A second touch panel sensor manufacturing method according to the present invention includes a step of preparing the transparent substrate, a step of providing a conductive material on the upper surface of the transparent substrate, and patterning the provided conductive material. A step of forming the outer peripheral wiring and the y-direction connection portion, a step of forming the insulating layer on the y-direction connection portion, a step of providing a transparent electrode material on the transparent substrate from above the transparent substrate, And patterning the provided transparent electrode material to form the x-direction transparent electrode unit, the y-direction transparent electrode unit, and the x-direction connecting portion. It is.

本発明による第1および第2のタッチパネルセンサの製造方法において、前記導電性材料が金属材料からなっていてもよい。   In the first and second touch panel sensor manufacturing methods according to the present invention, the conductive material may be made of a metal material.

本発明によるタッチパネル機能付のカラーフィルタは、上記記載のタッチパネルセンサと、タッチパネルセンサの透明基材の上側または下側に設けられたブラックマトリクス層と、ブラックマトリクス層間に設けられた複数色の着色層と、を備えたことを特徴とする。   A color filter with a touch panel function according to the present invention includes the touch panel sensor described above, a black matrix layer provided on an upper side or a lower side of the transparent substrate of the touch panel sensor, and a plurality of colored layers provided between the black matrix layers. And.

本発明によるカラーフィルタにおいて、好ましくは、前記タッチパネルセンサのy方向接続部が、カラーフィルタの法線方向から見て前記ブラックマトリクス層に重なり合っている。   In the color filter according to the present invention, preferably, the y-direction connecting portion of the touch panel sensor overlaps the black matrix layer when viewed from the normal direction of the color filter.

本発明によるカラーフィルタの製造方法は、上記記載のタッチパネルセンサの製造方法によりタッチパネルセンサを形成する工程と、タッチパネルセンサの透明基材の上側または下側にブラックマトリクス層を形成する工程と、ブラックマトリクス層間に複数色の着色層を形成する工程と、を備えたことを特徴とする。   A method for producing a color filter according to the present invention includes a step of forming a touch panel sensor by the method for producing a touch panel sensor described above, a step of forming a black matrix layer on the upper side or the lower side of the transparent substrate of the touch panel sensor, and a black matrix. And a step of forming a colored layer of a plurality of colors between the layers.

本発明によるカラーフィルタの製造方法において、好ましくは、前記ブラックマトリクス層の形成工程において、前記タッチパネルセンサのy方向接続部が、カラーフィルタの法線方向から見て前記ブラックマトリクス層に重なり合うよう、ブラックマトリクス層が形成される。   In the color filter manufacturing method according to the present invention, preferably, in the black matrix layer forming step, the black-direction connection portion of the touch panel sensor is overlapped with the black matrix layer when viewed from the normal direction of the color filter. A matrix layer is formed.

本発明によるタッチパネル機能付の表示装置は、上記記載のカラーフィルタと、カラーフィルタに対向するよう設けられた表示基板と、を備え、カラーフィルタのタッチパネルセンサのy方向接続部が、カラーフィルタの法線方向から見て、カラーフィルタのブラックマトリクス層に重なり合っていることを特徴とする。   A display device with a touch panel function according to the present invention includes the above-described color filter and a display substrate provided so as to face the color filter, and the y-direction connection portion of the touch panel sensor of the color filter is a method of a color filter. It is characterized by overlapping with the black matrix layer of the color filter when viewed from the line direction.

本発明の第1の静電容量式タッチパネルセンサによれば、隣接するy方向電極単位同士は、x方向接続部の上方に絶縁層を介して配置されたy方向接続部によりy方向において接続されており、このy方向接続部は、外周配線の材料と同一の材料を用いて外周配線とともに形成されている。このようにy方向接続部を外周配線とともに形成することにより、より簡易な構成を有するタッチパネルセンサを提供することができる。   According to the first capacitive touch panel sensor of the present invention, adjacent y-direction electrode units are connected in the y-direction by the y-direction connecting portion disposed via the insulating layer above the x-direction connecting portion. The y-direction connecting portion is formed together with the peripheral wiring using the same material as that of the peripheral wiring. In this way, by forming the y-direction connection portion together with the outer peripheral wiring, a touch panel sensor having a simpler configuration can be provided.

本発明の第1の静電容量式タッチパネルセンサの製造方法によれば、前記透明基材を準備する工程と、透明基材の上側の面上に透明電極材料を設ける工程と、設けられた透明電極材料をパターンニングして、前記x方向透明電極単位、前記y方向透明電極単位および前記x方向接続部を形成する工程と、x方向接続部上に前記絶縁層を形成する工程と、透明基材の上方から透明基材に導電性材料を設ける工程と、設けられた導電性材料をパターンニングして、前記外周配線および前記y方向接続部を形成する工程と、により、タッチパネルセンサを製造することができる。このようにy方向接続部を外周配線とともに形成することにより、より簡易な工程によりタッチパネルセンサを製造することができる。   According to the first method for manufacturing a capacitive touch panel sensor of the present invention, the step of preparing the transparent substrate, the step of providing a transparent electrode material on the upper surface of the transparent substrate, and the provided transparent Patterning an electrode material to form the x-direction transparent electrode unit, the y-direction transparent electrode unit, and the x-direction connection portion; forming the insulating layer on the x-direction connection portion; A touch panel sensor is manufactured by providing a conductive material on a transparent base material from above the material, and patterning the provided conductive material to form the outer peripheral wiring and the y-direction connection portion. be able to. In this way, by forming the y-direction connection portion together with the outer peripheral wiring, the touch panel sensor can be manufactured by a simpler process.

本発明の第2の静電容量式タッチパネルセンサによれば、隣接するy方向電極単位同士は、x方向接続部の下方に絶縁層を介して配置されたy方向接続部によりy方向において接続されており、このy方向接続部は、外周配線の材料と同一の材料を用いて外周配線とともに形成されている。このようにy方向接続部を外周配線とともに形成することにより、より簡易な構成を有するタッチパネルセンサを提供することができる。   According to the second capacitive touch panel sensor of the present invention, adjacent y-direction electrode units are connected in the y-direction by the y-direction connecting portion disposed via the insulating layer below the x-direction connecting portion. The y-direction connecting portion is formed together with the peripheral wiring using the same material as that of the peripheral wiring. In this way, by forming the y-direction connection portion together with the outer peripheral wiring, a touch panel sensor having a simpler configuration can be provided.

本発明の第2の静電容量式タッチパネルセンサの製造方法によれば、前記透明基材を準備する工程と、透明基材の上側の面上に導電性材料を設ける工程と、設けられた導電性材料をパターンニングして、前記外周配線および前記y方向接続部を形成する工程と、y方向接続部上に前記絶縁層を形成する工程と、透明基材の上方から透明基材に透明電極材料を設ける工程と、設けられた透明電極材料をパターンニングして、前記x方向透明電極単位、前記y方向透明電極単位および前記x方向接続部を形成する工程と、により、タッチパネルセンサを製造することができる。このようにy方向接続部を外周配線とともに形成することにより、より簡易な工程によりタッチパネルセンサを製造することができる。   According to the second method for manufacturing a capacitive touch panel sensor of the present invention, the step of preparing the transparent substrate, the step of providing a conductive material on the upper surface of the transparent substrate, and the provided conductivity Patterning a conductive material to form the outer peripheral wiring and the y-direction connection part, forming the insulating layer on the y-direction connection part, and transparent electrode on the transparent base material from above the transparent base material A touch panel sensor is manufactured by providing a material and patterning the provided transparent electrode material to form the x-direction transparent electrode unit, the y-direction transparent electrode unit, and the x-direction connection portion. be able to. In this way, by forming the y-direction connection portion together with the outer peripheral wiring, the touch panel sensor can be manufactured by a simpler process.

本発明のタッチパネル機能付の表示装置は、上記記載のタッチパネルセンサを有するカラーフィルタと、カラーフィルタに対向するよう設けられた表示基板と、を備えている。このうちカラーフィルタにおいては、タッチパネルセンサのy方向接続部が、カラーフィルタの法線方向から見て、カラーフィルタのブラックマトリクス層に重なり合っている。このため、y方向接続部によって表示装置の表示特性が損なわれるのを防ぐことができる。   The display device with a touch panel function of the present invention includes a color filter having the touch panel sensor described above and a display substrate provided to face the color filter. Among these, in the color filter, the y-direction connecting portion of the touch panel sensor overlaps with the black matrix layer of the color filter when viewed from the normal direction of the color filter. For this reason, it can prevent that the display characteristic of a display apparatus is impaired by the y direction connection part.

図1(a)は、本実施の第1の実施の形態におけるタッチパネルセンサを示す平面図、図1(b)は、図1(a)のタッチパネルセンサをIb−Ib方向から見た縦断面図、図1(c)は、図1(a)のタッチパネルセンサをIc−Ic方向から見た縦断面図。FIG. 1A is a plan view showing a touch panel sensor according to the first embodiment, and FIG. 1B is a longitudinal sectional view of the touch panel sensor of FIG. 1A viewed from the Ib-Ib direction. FIG.1 (c) is the longitudinal cross-sectional view which looked at the touch-panel sensor of Fig.1 (a) from the Ic-Ic direction. 図2(a)は、本発明の第1の実施の形態における液晶表示装置を示す縦断面図、図2(b)は、図2(a)の液晶表示装置のカラーフィルタを矢印IIb−IIbから見た図、図2(c)は、図2(a)の液晶表示装置の表示基板を矢印IIc−IIcから見た図。2A is a longitudinal sectional view showing the liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 2B is a color filter of the liquid crystal display device of FIG. 2A indicated by arrows IIb-IIb. FIG. 2C is a view of the display substrate of the liquid crystal display device of FIG. 2A as viewed from arrows IIc-IIc. 図3Aは、本実施の第1の実施の形態におけるタッチパネルセンサを製造する方法を説明するための図。FIG. 3A is a diagram for explaining a method of manufacturing the touch panel sensor according to the first embodiment. 図3Bは、本実施の第1の実施の形態におけるタッチパネルセンサを製造する方法を説明するための図。FIG. 3B is a diagram for explaining a method of manufacturing the touch panel sensor according to the first embodiment. 図3Cは、本実施の第1の実施の形態におけるタッチパネルセンサを製造する方法を説明するための図。FIG. 3C is a diagram for explaining a method of manufacturing the touch panel sensor according to the first embodiment. 図3Dは、本実施の第1の実施の形態におけるタッチパネルセンサを製造する方法を説明するための図。FIG. 3D is a diagram for explaining a method of manufacturing the touch panel sensor according to the first embodiment. 図3Eは、本実施の第1の実施の形態におけるタッチパネルセンサを製造する方法を説明するための図。FIG. 3E is a diagram for explaining a method of manufacturing the touch panel sensor according to the first embodiment. 図4(a)は、比較例におけるタッチパネルセンサを示す平面図、図4(b)は、図4(a)のタッチパネルセンサをIVb−IVb方向から見た縦断面図、図4(c)は、図4(a)のタッチパネルセンサをIVc−IVc方向から見た縦断面図。4A is a plan view showing a touch panel sensor in a comparative example, FIG. 4B is a longitudinal sectional view of the touch panel sensor of FIG. 4A viewed from the IVb-IVb direction, and FIG. FIG. 5 is a longitudinal sectional view of the touch panel sensor of FIG. 4A as viewed from the direction IVc-IVc. 図5Aは、比較例におけるタッチパネルセンサを製造する方法を説明するための図。FIG. 5A is a diagram for explaining a method of manufacturing a touch panel sensor in a comparative example. 図5Bは、比較例におけるタッチパネルセンサを製造する方法を説明するための図。FIG. 5B is a diagram for explaining a method of manufacturing a touch panel sensor in a comparative example. 図5Cは、比較例におけるタッチパネルセンサを製造する方法を説明するための図。FIG. 5C is a diagram for explaining a method of manufacturing a touch panel sensor in a comparative example. 図5Dは、比較例におけるタッチパネルセンサを製造する方法を説明するための図。FIG. 5D is a diagram for explaining a method of manufacturing a touch panel sensor in a comparative example. 図6(a)は、本実施の第1の実施の形態の変形例におけるタッチパネルセンサを示す平面図、図6(b)は、図6(a)のタッチパネルセンサをVIb−VIb方向から見た縦断面図、図6(c)は、図6(a)のタッチパネルセンサをVIc−VIc方向から見た縦断面図。FIG. 6A is a plan view showing a touch panel sensor in a modification of the first embodiment, and FIG. 6B is a view of the touch panel sensor of FIG. 6A from the VIb-VIb direction. FIG. 6C is a longitudinal sectional view of the touch panel sensor of FIG. 6A viewed from the VIc-VIc direction. 図7(a)は、本実施の第2の実施の形態におけるタッチパネルセンサを示す平面図、図7(b)は、図7(a)のタッチパネルセンサをVIIb−VIIb方向から見た縦断面図、図7(c)は、図7(a)のタッチパネルセンサをVIIc−VIIc方向から見た縦断面図。FIG. 7A is a plan view showing the touch panel sensor according to the second embodiment, and FIG. 7B is a longitudinal sectional view of the touch panel sensor of FIG. 7A viewed from the VIIb-VIIb direction. FIG.7 (c) is the longitudinal cross-sectional view which looked at the touch-panel sensor of Fig.7 (a) from the VIIc-VIIc direction. 図8Aは、本実施の第2の実施の形態におけるタッチパネルセンサを製造する方法を説明するための図。FIG. 8A is a diagram for explaining a method of manufacturing the touch panel sensor according to the second embodiment. 図8Bは、本実施の第2の実施の形態におけるタッチパネルセンサを製造する方法を説明するための図。FIG. 8B is a diagram for explaining a method of manufacturing the touch panel sensor according to the second embodiment. 図8Cは、本実施の第2の実施の形態におけるタッチパネルセンサを製造する方法を説明するための図。FIG. 8C is a diagram for explaining a method of manufacturing the touch panel sensor according to the second embodiment. 図8Dは、本実施の第2の実施の形態におけるタッチパネルセンサを製造する方法を説明するための図。FIG. 8D is a diagram for explaining a method of manufacturing the touch panel sensor according to the second embodiment. 図8Eは、本実施の第2の実施の形態におけるタッチパネルセンサを製造する方法を説明するための図。FIG. 8E is a diagram for explaining a method of manufacturing the touch panel sensor according to the second embodiment. 図9(a)は、本実施の第3の形態におけるタッチパネルセンサを示す平面図、図9(b)は、図9(a)のタッチパネルセンサをIXb−IXb方向から見た縦断面図、図9(c)は、図9(a)のタッチパネルセンサをIXc−IXc方向から見た縦断面図。9A is a plan view showing a touch panel sensor according to the third embodiment, and FIG. 9B is a longitudinal sectional view of the touch panel sensor of FIG. 9A viewed from the IXb-IXb direction. 9 (c) is a longitudinal sectional view of the touch panel sensor of FIG. 9 (a) viewed from the IXc-IXc direction. 図10(a)は、本発明の第3の実施の形態における液晶表示装置を示す縦断面図、図10(b)は、図10(a)の液晶表示装置のカラーフィルタを矢印Xb−Xbから見た図、図10(c)は、図10(a)の液晶表示装置の表示基板を矢印Xc−Xcから見た図。FIG. 10A is a longitudinal sectional view showing a liquid crystal display device according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 10B is a color filter of the liquid crystal display device of FIG. FIG. 10C is a view of the display substrate of the liquid crystal display device of FIG. 10A as viewed from arrows Xc-Xc.

第1の実施の形態
以下、図1乃至図6を参照して、本発明の第1の実施の形態について説明する。まず図2により、本実施の形態における液晶表示装置(表示装置)60全体について説明する。なお本実施の形態においては表示装置の例として液晶表示装置60を示しているが、これに限定されることはなく、有機ELディスプレイやプラズマディスプレイなど、カラーフィルタを備えたその他の表示装置の場合においても、本願発明を適用することにより液晶表示装置60の場合と同様の効果を得ることができる。
First Embodiment Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. First, the entire liquid crystal display device (display device) 60 in the present embodiment will be described with reference to FIG. Although the liquid crystal display device 60 is shown as an example of the display device in the present embodiment, the present invention is not limited to this, and other display devices including color filters such as an organic EL display and a plasma display are used. In this case, the same effect as that of the liquid crystal display device 60 can be obtained by applying the present invention.

液晶表示装置
図2(a)に示すように、タッチパネル機能付の液晶表示装置60は、タッチパネル機能付のカラーフィルタ30と、カラーフィルタ30に対向するよう設けられたTFT基板(表示基板)50とを備えている。TFT基板50の下側には、TFT基板50に向って光を放射する光源(図示せず)が設けられている。また図2(a)に示すように、カラーフィルタ30とTFT基板50との間には液晶40が充填されており、この液晶40は封止材41により封止されている。
Liquid Crystal Display Device As shown in FIG. 2A, a liquid crystal display device 60 with a touch panel function includes a color filter 30 with a touch panel function, and a TFT substrate (display substrate) 50 provided to face the color filter 30. It has. A light source (not shown) that emits light toward the TFT substrate 50 is provided below the TFT substrate 50. Further, as shown in FIG. 2A, a liquid crystal 40 is filled between the color filter 30 and the TFT substrate 50, and the liquid crystal 40 is sealed with a sealing material 41.

また液晶表示装置60の上側(観察側)には、透光性を有した保護カバー(図示せず)を設けることができる。保護カバーは、カラーフィルタ30の後述するタッチパネルセンサ及び液晶表示装置60を保護するためのものであり、タッチパネル機能付の液晶表示装置60の入力面(タッチ面、接触面)として機能する。   Further, a protective cover (not shown) having translucency can be provided on the upper side (observation side) of the liquid crystal display device 60. The protective cover is for protecting a touch panel sensor (described later) of the color filter 30 and the liquid crystal display device 60, and functions as an input surface (touch surface, contact surface) of the liquid crystal display device 60 with a touch panel function.

図2(c)は、図2(a)に示す液晶表示装置60のTFT基板50を、カラーフィルタ30の法線方向、すなわち図2(a)に示す矢印IIc−IIcの方向から見た場合を示す図である。図2(c)に示すように、TFT基板50は、液晶40に印加される電圧を制御する複数の透明電極部52と、透明電極部52に制御電圧を印加する配線部53とを有している。このうち各透明電極部52は、各々が表示装置60の単位画素に対応している。   2C shows a case where the TFT substrate 50 of the liquid crystal display device 60 shown in FIG. 2A is viewed from the normal direction of the color filter 30, that is, the direction of arrows IIc-IIc shown in FIG. FIG. As shown in FIG. 2C, the TFT substrate 50 includes a plurality of transparent electrode portions 52 that control the voltage applied to the liquid crystal 40 and a wiring portion 53 that applies a control voltage to the transparent electrode portion 52. ing. Among these, each of the transparent electrode portions 52 corresponds to a unit pixel of the display device 60.

カラーフィルタ
次に図2(b)を参照して、カラーフィルタ30について説明する。図2(b)は、図2(a)に示す液晶表示装置60のカラーフィルタ30を、カラーフィルタ30の法線方向、すなわち図2(a)に示す矢印IIb−IIbの方向から見た場合を示す図である。図2(b)に示すように、カラーフィルタ30は、透明基材11と、透明基材11の下側(TFT基板50側)に設けられたブラックマトリクス層31と、ブラックマトリクス層31間に設けられた複数色の着色層32と、透明基材11の上側(観察側)に設けられたタッチパネルセンサ層12とを備えている。後述するように、透明基材11とタッチパネルセンサ層12とからタッチパネルセンサが構成される。
Color Filter Next, the color filter 30 will be described with reference to FIG. 2B shows a case where the color filter 30 of the liquid crystal display device 60 shown in FIG. 2A is viewed from the normal direction of the color filter 30, that is, the direction of arrows IIb-IIb shown in FIG. FIG. As shown in FIG. 2B, the color filter 30 includes a transparent base material 11, a black matrix layer 31 provided on the lower side (TFT substrate 50 side) of the transparent base material 11, and a black matrix layer 31. A plurality of colored layers 32 provided and a touch panel sensor layer 12 provided on the upper side (observation side) of the transparent substrate 11 are provided. As will be described later, a touch panel sensor is composed of the transparent substrate 11 and the touch panel sensor layer 12.

このうち透明基材11の材料は、TFT基板50の発光を外部に取り出すことができ、かつ水分および酸素を効率的に遮断することができる限り特に限定されるものではない。例えば、光透過性、安定性や耐久性等に優れたガラスやポリマー等を使用することができる。   Among these, the material of the transparent base material 11 is not particularly limited as long as the light emission of the TFT substrate 50 can be taken out and moisture and oxygen can be effectively blocked. For example, glass, polymer, etc. excellent in light transmittance, stability and durability can be used.

カラーフィルタ30のブラックマトリックス層31は、カラーフィルタ30の法線方向から見て上述したTFT基板50の配線部53に重なり合うよう配置されている。ブラックマトリックス層31としては、スパッタリング法、真空蒸着法等により厚み1000〜2000Å程度のクロム等の金属薄膜を形成し、この薄膜をパターニングして形成したもの、カーボン微粒子や金属酸化物等の遮光性粒子を含有させたポリイミド樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂等の樹脂層を形成し、この樹脂層をパターニングして形成したもの、および、カーボン微粒子や金属酸化物等の遮光性粒子を含有させた感光性樹脂層を形成し、この感光性樹脂層をパターニングして形成したもの等、遮光性を有するものを用いることができる。ブラックマトリックス層31の厚さは、要求される遮光性などに応じて適宜調整される。   The black matrix layer 31 of the color filter 30 is disposed so as to overlap the wiring portion 53 of the TFT substrate 50 described above when viewed from the normal direction of the color filter 30. The black matrix layer 31 is formed by forming a metal thin film of chromium or the like having a thickness of about 1000 to 2000 mm by sputtering or vacuum deposition, and patterning the thin film. Forming a resin layer made of polyimide resin, acrylic resin, epoxy resin or the like containing particles, patterning this resin layer, and photosensitive containing light-shielding particles such as carbon fine particles or metal oxides A light-shielding material such as a light-sensitive resin layer formed and patterned by patterning the photosensitive resin layer can be used. The thickness of the black matrix layer 31 is appropriately adjusted according to the required light shielding properties.

複数色の着色層32は、TFT基板50および液晶40を通った光の色を調整するものであり、少なくとも、赤色着色層、青色着色層および緑色着色層を含んでいる。
このうち赤色着色層に用いられる着色剤としては、例えば、ペリレン系顔料、レーキ顔料、アゾ系顔料、キナクリドン系顔料、アントラキノン系顔料、アントラセン系顔料、イソインドリン系顔料等が挙げられる。これらの顔料は単独で用いてもよく2種以上を混合して用いてもよい。
青色着色層に用いられる着色剤としては、例えば、銅フタロシアニン系顔料、アントラキノン系顔料、インダンスレン系顔料、インドフェノール系顔料、シアニン系顔料、ジオキサジン系顔料等が挙げられる。これらの顔料は単独で用いてもよく2種以上を混合して用いてもよい。
緑色着色層に用いられる着色剤としては、例えば、ハロゲン多置換フタロシアニン系顔料もしくはハロゲン多置換銅フタロシアニン系顔料等のフタロシアニン系顔料、トリフェニルメタン系塩基性染料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料等が挙げられる。これらの顔料もしくは染料は単独で用いてもよく2種以上を混合して用いてもよい。
複数色の着色層32が上記の赤色着色層、青色着色層および緑色着色層に限られることは無く、その他の色の着色層が含まれていてもよい。
The multi-colored colored layer 32 adjusts the color of light that has passed through the TFT substrate 50 and the liquid crystal 40, and includes at least a red colored layer, a blue colored layer, and a green colored layer.
Among these, examples of the colorant used in the red colored layer include perylene pigments, lake pigments, azo pigments, quinacridone pigments, anthraquinone pigments, anthracene pigments, and isoindoline pigments. These pigments may be used alone or in combination of two or more.
Examples of the colorant used in the blue colored layer include copper phthalocyanine pigments, anthraquinone pigments, indanthrene pigments, indophenol pigments, cyanine pigments, dioxazine pigments, and the like. These pigments may be used alone or in combination of two or more.
Examples of the colorant used in the green coloring layer include phthalocyanine pigments such as halogen polysubstituted phthalocyanine pigments or halogen polysubstituted copper phthalocyanine pigments, triphenylmethane basic dyes, isoindoline pigments, and isoindolinone pigments. And pigments. These pigments or dyes may be used alone or in combination of two or more.
The colored layers 32 of a plurality of colors are not limited to the above-described red colored layer, blue colored layer, and green colored layer, and other colored layers may be included.

なお、ブラックマトリクス層31および着色層32と液晶40の間に保護膜(図示せず)が設けられていてもよい。保護膜の材料としては、珪素、アルミニウム、亜鉛またはスズの酸化物または酸窒化物からなる透明材料、あるいはアクリル樹脂等の有機絶縁膜を挙げることができる。また、ブラックマトリクス層31及び着色層32の表面に、画素表示用の共通透明電極(図示せず)が設けられていてもよい。さらに、ブラックマトリクス層31上に、カラーフィルタ30とTFT基板50との間の空隙を保持するためのスペーサ(図示せず)が設けられていてもよい。   A protective film (not shown) may be provided between the black matrix layer 31 and the colored layer 32 and the liquid crystal 40. Examples of the material for the protective film include a transparent material made of an oxide or oxynitride of silicon, aluminum, zinc or tin, or an organic insulating film such as an acrylic resin. Further, a common transparent electrode (not shown) for pixel display may be provided on the surfaces of the black matrix layer 31 and the colored layer 32. Furthermore, a spacer (not shown) may be provided on the black matrix layer 31 to hold a gap between the color filter 30 and the TFT substrate 50.

タッチパネルセンサ
次に図1(a)(b)(c)を参照して、タッチパネルセンサ10について説明する。図1(a)(b)(c)に示すように、タッチパネルセンサ10は、平面状に延びる透明基材11と、透明基材11の上側の面11aにおいてx方向およびy方向に並ぶよう配置され、x方向にx方向接続部14を介して接続されたx方向透明電極単位13と、x方向透明電極単位13間に位置するy方向透明電極単位15とからなる多数の透明電極単位13,15と、これら多数の透明電極単位13,15の周縁に位置するx方向透明電極単位13およびy方向透明電極単位15に接続された外周配線17とを備えている。図1(a)に示すように、x方向透明電極単位13およびy方向透明電極単位15は各々略正方形の形状を有しており、x方向透明電極単位13およびy方向透明電極単位15の寸法はタッチパネルセンサ10によって検知される指又はペン等に対する必要解像度により決定され、例えば5mm×5mmとなっている。
Touch Panel Sensor Next, the touch panel sensor 10 will be described with reference to FIGS. 1 (a), (b), and (c). As shown in FIGS. 1A, 1B, and 1C, the touch panel sensor 10 is arranged so as to be aligned in the x direction and the y direction on the transparent base material 11 extending in a planar shape and the upper surface 11a of the transparent base material 11. A plurality of transparent electrode units 13 comprising an x-direction transparent electrode unit 13 connected in the x-direction via an x-direction connecting portion 14 and a y-direction transparent electrode unit 15 positioned between the x-direction transparent electrode units 13; 15, and an outer peripheral wiring 17 connected to the x-direction transparent electrode unit 13 and the y-direction transparent electrode unit 15 located at the periphery of the large number of transparent electrode units 13, 15. As shown in FIG. 1A, each of the x-direction transparent electrode unit 13 and the y-direction transparent electrode unit 15 has a substantially square shape, and the dimensions of the x-direction transparent electrode unit 13 and the y-direction transparent electrode unit 15 are as follows. Is determined by the required resolution for the finger or pen detected by the touch panel sensor 10 and is, for example, 5 mm × 5 mm.

ここで、図1(a)に示すように、多数の透明電極単位13,15の周縁に位置するx方向透明電極単位13と外周配線17とは、x方向透明電極単位13のx方向端子部13aを介して接続されている。同様に、多数の透明電極単位13,15の周縁に位置するy方向透明電極単位15と外周配線17とは、y方向透明電極単位15のy方向端子部15aを介して接続されている。x方向透明電極単位13およびy方向透明電極単位15からの電気信号は、外周配線17を介して表示装置60の制御部(図示せず)に伝えられる。   Here, as shown in FIG. 1 (a), the x-direction transparent electrode unit 13 and the outer peripheral wiring 17 positioned at the periphery of the large number of transparent electrode units 13 and 15 are the x-direction terminal portions of the x-direction transparent electrode unit 13. 13a is connected. Similarly, the y-direction transparent electrode unit 15 and the outer peripheral wiring 17 positioned at the periphery of the large number of transparent electrode units 13 and 15 are connected via the y-direction terminal portion 15 a of the y-direction transparent electrode unit 15. Electrical signals from the x-direction transparent electrode unit 13 and the y-direction transparent electrode unit 15 are transmitted to the control unit (not shown) of the display device 60 via the outer peripheral wiring 17.

また、図1(b)(c)に示すように、x方向接続部14は、透明電極単位13,15の材料と同一の材料である透明電極材料を用いて透明電極単位13,15と同一平面上に形成されている。一方、隣接するy方向電極単位15同士は、図1(c)に示すように、x方向接続部14の上方に絶縁層18を介して配置されたy方向接続部16によりy方向において接続されている。このy方向接続部16は、外周配線17の材料と同一の材料を用いて外周配線17とともに形成されており、このため後述するように、y方向接続部16と外周配線17とを別々の工程で形成する場合に比べて、より簡易にy方向接続部16と外周配線17とを形成することができる。これら透明電極単位13,15、x方向接続部14、y方向接続部16、外周配線17および絶縁層18により、上述のタッチパネルセンサ層12が構成されている。
なお説明の都合上、図1(a)においては絶縁層18の表示を省略している。
Further, as shown in FIGS. 1B and 1C, the x-direction connecting portion 14 is the same as the transparent electrode units 13 and 15 using a transparent electrode material that is the same material as the transparent electrode units 13 and 15. It is formed on a plane. On the other hand, adjacent y-direction electrode units 15 are connected in the y-direction by a y-direction connecting portion 16 disposed via an insulating layer 18 above the x-direction connecting portion 14 as shown in FIG. ing. The y-direction connecting portion 16 is formed together with the outer peripheral wiring 17 using the same material as that of the outer peripheral wiring 17, and therefore, as described later, the y-direction connecting portion 16 and the outer peripheral wiring 17 are separated from each other. Compared with the case of forming in this way, the y-direction connecting portion 16 and the outer peripheral wiring 17 can be formed more easily. The transparent electrode units 13 and 15, the x-direction connection portion 14, the y-direction connection portion 16, the outer peripheral wiring 17, and the insulating layer 18 constitute the touch panel sensor layer 12 described above.
For convenience of explanation, the display of the insulating layer 18 is omitted in FIG.

図1(a)に示すタッチパネルセンサ10において、透明電極単位13,15とx方向接続部14とy方向接続部16とを含む領域(図1(a)において点線で囲む領域)が、観察側の観察者(図示せず)に到達する光が通過する表示領域20Aとなっており、表示領域20Aよりも外側の領域が、観察側の観察者(図示せず)への光が通過しない外周非表示領域20Bとなっている。図1(a)に示すように、外周配線17は非表示領域20B内に設けられており、このため外周配線17によって液晶表示装置60の表示が妨げられることはない。   In the touch panel sensor 10 shown in FIG. 1A, an area including the transparent electrode units 13, 15, the x-direction connection part 14, and the y-direction connection part 16 (area surrounded by a dotted line in FIG. 1A) is the observation side. Is a display area 20A through which light reaching an observer (not shown) passes, and an area outside the display area 20A is an outer periphery through which light to an observer (not shown) on the observation side does not pass. It is a non-display area 20B. As shown in FIG. 1A, the outer peripheral wiring 17 is provided in the non-display area 20B, and therefore the display of the liquid crystal display device 60 is not hindered by the outer peripheral wiring 17.

次に、タッチパネルセンサ10を構成する要素についてそれぞれ詳述する。   Next, each element constituting the touch panel sensor 10 will be described in detail.

透明電極単位およびx方向接続部
はじめにx方向透明電極単位13、x方向接続部14およびy方向透明電極単位15について詳述する。上述のように、透明電極単位13,15およびx方向接続部14は、同一の透明電極材料により同一平面上に形成されている。透明電極材料としては、透明性を有するとともに、所要の導電性を有する材料が用いられる。例えば、透明電極材料として、インジウム錫酸化物(ITO)、酸化亜鉛、酸化インジウム、アンチモン添加酸化錫、フッ素添加酸化錫、アルミニウム添加酸化亜鉛、カリウム添加酸化亜鉛、シリコン添加酸化亜鉛や、酸化亜鉛−酸化錫系、酸化インジウム−酸化錫系、酸化亜鉛−酸化インジウム−酸化マグネシウム系などの金属酸化物を用いることができる。また、これらの金属酸化物が2種以上複合されてもよい。
Transparent electrode unit and x-direction connection portion First, the x-direction transparent electrode unit 13, the x-direction connection portion 14, and the y-direction transparent electrode unit 15 will be described in detail. As described above, the transparent electrode units 13 and 15 and the x-direction connecting portion 14 are formed on the same plane by the same transparent electrode material. As the transparent electrode material, a material having transparency and required conductivity is used. For example, as transparent electrode materials, indium tin oxide (ITO), zinc oxide, indium oxide, antimony-added tin oxide, fluorine-added tin oxide, aluminum-added zinc oxide, potassium-added zinc oxide, silicon-added zinc oxide, zinc oxide- Metal oxides such as tin oxide, indium oxide-tin oxide, and zinc oxide-indium oxide-magnesium oxide can be used. Two or more of these metal oxides may be combined.

透明電極材料を透明基材11上に設ける方法は特には限定されず、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、CVD法、塗工法、印刷法などを用いることができる。また、設けられた透明電極材料をパターンニングして透明電極単位13,15およびx方向接続部14を形成する方法も特には限定されず、フォトリソグラフィー法など、様々なパターンニング方法を適宜用いることができる。   The method for providing the transparent electrode material on the transparent substrate 11 is not particularly limited, and a sputtering method, a vacuum deposition method, an ion plating method, a CVD method, a coating method, a printing method, or the like can be used. In addition, the method of patterning the provided transparent electrode material to form the transparent electrode units 13 and 15 and the x-direction connection portion 14 is not particularly limited, and various patterning methods such as a photolithography method are appropriately used. Can do.

外周配線
次に外周配線17について詳述する。上述のように、外周配線17は、x方向透明電極単位13およびy方向透明電極単位15からの電気信号を表示装置60の制御部に伝えるためのものであり、外周配線17の材料としては電気伝導率の高い材料が好ましい。また上述のように、外周配線17は非表示領域20B内に設けられており、このため外周配線17の材料が透明性を有する必要はない。このため、外周配線17の材料として、好ましくは、前述の透明電極材料より高い電気伝導率を有する金属材料が用いられる。金属材料としては、例えば、アルミニウム、モリブデン、パラジウム、銀、クロム、銅等の金属及びそれらを主成分とする合金、あるいはそれら合金を含む積層体を用いることができる。
It will be described in detail the outer peripheral wiring then the outer peripheral wiring 17. As described above, the outer peripheral wiring 17 is for transmitting electrical signals from the x-direction transparent electrode unit 13 and the y-direction transparent electrode unit 15 to the control unit of the display device 60. A material with high conductivity is preferred. Further, as described above, the outer peripheral wiring 17 is provided in the non-display area 20B. Therefore, the material of the outer peripheral wiring 17 does not have to be transparent. For this reason, a metal material having a higher electric conductivity than that of the above-described transparent electrode material is preferably used as the material of the outer peripheral wiring 17. As the metal material, for example, a metal such as aluminum, molybdenum, palladium, silver, chromium, copper, an alloy containing them as a main component, or a laminate including these alloys can be used.

y方向接続部
次にy方向接続部16について詳述する。上述のように、y方向接続部16は、外周配線17の材料と同一の材料、すなわち金属材料から形成されており、このため、y方向接続部16のx方向における寸法(幅)が小さい場合であっても、隣接するy方向透明電極単位15同士を低抵抗で接続することができる。ここで、y方向接続部16のx方向における寸法(幅)は例えば5〜20μmの範囲内となっており、y方向における寸法(長さ)は例えば20〜500μmの範囲内となっている。
y-direction connection portion Next, the y-direction connection portion 16 will be described in detail. As described above, the y-direction connection portion 16 is formed of the same material as the material of the outer peripheral wiring 17, that is, a metal material. For this reason, the dimension (width) in the x-direction of the y-direction connection portion 16 is small. Even so, the adjacent y-direction transparent electrode units 15 can be connected with low resistance. Here, the dimension (width) in the x direction of the y-direction connecting portion 16 is in the range of 5 to 20 μm, for example, and the dimension (length) in the y direction is in the range of 20 to 500 μm, for example.

このように、y方向接続部16を外周配線17の材料と同一の金属材料から形成することにより、y方向接続部16をITOなどの透明電極材料から形成する場合に比べて、y方向接続部16の幅を小さくすることができる。このため、y方向接続部16によって液晶表示装置60の表示が妨げられることはほとんどない。   Thus, by forming the y-direction connection portion 16 from the same metal material as that of the outer peripheral wiring 17, the y-direction connection portion 16 is formed compared to the case of forming the y-direction connection portion 16 from a transparent electrode material such as ITO. The width of 16 can be reduced. For this reason, the display of the liquid crystal display device 60 is hardly hindered by the y-direction connecting portion 16.

好ましくは、図1(b)(c)に示すように、y方向接続部16は、カラーフィルタ30の法線方向から見てカラーフィルタ30のブラックマトリクス層31に重なり合うよう設けられている。このことにより、y方向接続部16によって液晶表示装置60の表示が妨げられることをさらに防ぐことができる。この場合、x方向におけるブラックマトリクス層31の幅は、透明基材11の厚さ、x方向におけるy方向接続部16の幅、液晶表示装置60の視野角などに応じて適宜設定されるが、例えば5〜100μmの範囲内となっている。   Preferably, as shown in FIGS. 1B and 1C, the y-direction connecting portion 16 is provided so as to overlap the black matrix layer 31 of the color filter 30 when viewed from the normal direction of the color filter 30. This can further prevent the display of the liquid crystal display device 60 from being hindered by the y-direction connecting portion 16. In this case, the width of the black matrix layer 31 in the x direction is appropriately set according to the thickness of the transparent substrate 11, the width of the y direction connection portion 16 in the x direction, the viewing angle of the liquid crystal display device 60, and the like. For example, it is in the range of 5 to 100 μm.

絶縁層
次に絶縁層18について詳述する。絶縁層18を形成する材料としては、透明性および電気絶縁性を有する材料が用いられ、例えばアクリル樹脂が用いられる。なお後に詳述するが、絶縁層18のうちy方向透明電極単位15のy方向における端部15bに対応する箇所には上下方向に貫通する穴18aが形成されている(図1(c)参照)。この穴18a内には、図1(c)に示すようにy方向接続部16が設けられており、このように絶縁層18の穴18aを介してy方向接続部16とy方向透明電極単位15とが接続されている。
Insulating Layer Next, the insulating layer 18 will be described in detail. As a material for forming the insulating layer 18, a material having transparency and electrical insulation is used, and for example, an acrylic resin is used. As will be described in detail later, a hole 18a penetrating in the vertical direction is formed in a portion corresponding to the end 15b in the y direction of the y-direction transparent electrode unit 15 in the insulating layer 18 (see FIG. 1C). ). In this hole 18a, a y-direction connecting portion 16 is provided as shown in FIG. 1C, and thus the y-direction connecting portion 16 and the y-direction transparent electrode unit are provided through the hole 18a of the insulating layer 18. 15 is connected.

次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。ここでは、タッチパネルセンサ10およびカラーフィルタ30の製造方法について説明する。   Next, the operation of the present embodiment having such a configuration will be described. Here, the manufacturing method of the touch panel sensor 10 and the color filter 30 will be described.

タッチパネルセンサの製造方法
はじめに、図3A(a)(b)(c)〜図3E(a)(b)(c)を参照して、タッチパネルセンサ10の製造方法について説明する。図3A(a)(b)(c)〜図3E(a)(b)(c)の各図において、(a)に示されている図は、製造中のタッチパネルセンサを示す平面図であり、(b)に示されている図は、(a)の製造中のタッチパネルセンサを各々IIIAb−IIIAb〜IIIEb−IIIEb方向から見た縦断面図であり、(c)に示されている図は、(a)の製造中のタッチパネルセンサを各々IIIAc−IIIAc〜IIIEc−IIIEc方向から見た縦断面図である。
Method for Manufacturing Touch Panel Sensor First, a method for manufacturing the touch panel sensor 10 will be described with reference to FIGS. 3A (a) (b) (c) to 3E (a) (b) (c). 3A (a) (b) (c) to FIG. 3E (a) (b) (c), the figure shown in (a) is a plan view showing a touch panel sensor during manufacture. (B) is a longitudinal sectional view of the touch panel sensor during manufacture of (a) as viewed from the direction of IIIAb-IIIAb to IIIEb-IIIEb, and FIG. It is the longitudinal cross-sectional view which looked at the touch panel sensor under manufacture of (a) from the IIIAc-IIIAc-IIIEc-IIIEc direction, respectively.

はじめに、透明基材11を準備し、次に図3A(a)(b)(c)に示すように、透明基材11の上側の面11a上に透明電極材料21を設ける。透明電極材料21を設けるための方法が特に限定されることはなく、例えばスパッタリングにより、透明基材11の上側の面11a上に透明電極材料21が設けられる。   First, the transparent base material 11 is prepared, and then the transparent electrode material 21 is provided on the upper surface 11a of the transparent base material 11 as shown in FIGS. 3A (a) (b) (c). The method for providing the transparent electrode material 21 is not particularly limited. For example, the transparent electrode material 21 is provided on the upper surface 11a of the transparent substrate 11 by sputtering.

次に、透明基材11の上側の面11a上に設けられた透明電極材料21をパターンニングして、図3B(a)に示すように、透明基材11の上側の面11a上に、多数の透明電極単位13,15およびx方向接続部14を形成する。ここで、図3B(a)(b)に示すように、x方向透明電極単位13はx方向に並ぶよう配置されており、また隣接するx方向透明電極単位13同士は、x方向接続部14により接続されている。また図3B(a)(c)に示すように、y方向透明電極単位15は、y方向に並ぶとともに、x方向透明電極単位13間およびx方向接続部14間に位置するよう配置されている。   Next, the transparent electrode material 21 provided on the upper surface 11a of the transparent base material 11 is patterned, and as shown in FIG. The transparent electrode units 13 and 15 and the x-direction connecting portion 14 are formed. Here, as shown in FIGS. 3B (a) and 3 (b), the x-direction transparent electrode units 13 are arranged in the x-direction, and the adjacent x-direction transparent electrode units 13 are connected to each other in the x-direction connection portion 14. Connected by. Further, as shown in FIGS. 3B (a) and 3 (c), the y-direction transparent electrode units 15 are arranged in the y-direction and are positioned between the x-direction transparent electrode units 13 and between the x-direction connection portions 14. .

透明電極材料21をパターンニングする方法は特には限定されず、様々な公知のパターンニング方法を用いることができ、例えばフォトリソグラフィー法を用いることができる。この場合、はじめに透明電極材料21上に感光層(図示せず)を形成し、次に当該感光層上に、透明電極単位13,15およびx方向接続部14のパターンに対応する所定のパターンを有するマスク(図示せず)を配置する。その後、マスクを介して感光層に露光光(例えば紫外線)を照射し、次に、感光層を現像する。これによって、透明電極単位13,15およびx方向接続部14のパターンに対応するパターンを有する感光層が透明電極材料21上に形成される。
次に、エッチングにより、透明基材11の上側の面11a上の透明電極材料21のうち感光層によって覆われていない箇所を除去する。このとき、エッチング液としては透明電極材料21を溶かすことができる液が用いられる。例えば透明電極材料21がITOからなる場合、エッチング液として塩化第二鉄などが用いられる。
その後、透明電極単位13,15およびx方向接続部14上に残留している感光層を、例えば2%水酸化カリウム等のアルカリ液により除去する。これによって、図3B(a)(b)(c)に示す透明電極単位13,15およびx方向接続部14が形成される。
The method for patterning the transparent electrode material 21 is not particularly limited, and various known patterning methods can be used. For example, a photolithography method can be used. In this case, a photosensitive layer (not shown) is first formed on the transparent electrode material 21, and then a predetermined pattern corresponding to the pattern of the transparent electrode units 13, 15 and the x-direction connecting portion 14 is formed on the photosensitive layer. A mask (not shown) is provided. Thereafter, the photosensitive layer is irradiated with exposure light (for example, ultraviolet rays) through a mask, and then the photosensitive layer is developed. As a result, a photosensitive layer having a pattern corresponding to the pattern of the transparent electrode units 13 and 15 and the x-direction connecting portion 14 is formed on the transparent electrode material 21.
Next, the part which is not covered with the photosensitive layer among the transparent electrode materials 21 on the upper surface 11a of the transparent base material 11 is removed by etching. At this time, a liquid capable of dissolving the transparent electrode material 21 is used as the etching liquid. For example, when the transparent electrode material 21 is made of ITO, ferric chloride or the like is used as an etching solution.
Thereafter, the photosensitive layer remaining on the transparent electrode units 13 and 15 and the x-direction connecting portion 14 is removed with an alkaline solution such as 2% potassium hydroxide. As a result, the transparent electrode units 13 and 15 and the x-direction connecting portion 14 shown in FIGS. 3B (a), (b) and (c) are formed.

次に、図3C(a)(b)(c)に示すように、透明電極単位13,15およびx方向接続部14上に絶縁層18を形成する。ここで絶縁層18は、図3C(a)に示すように、透明電極単位13,15およびx方向接続部14のうちx方向透明電極単位13のx方向端子部13aおよびy方向透明電極単位15のy方向端子部15aを覆わないように形成される。また図3C(a)(c)に示すように、絶縁層18において、y方向透明電極単位15のy方向における端部15bに対応する箇所には、上下方向に貫通する穴18aが形成されている。   Next, as shown in FIGS. 3C (a), (b), and (c), an insulating layer 18 is formed on the transparent electrode units 13 and 15 and the x-direction connecting portion 14. Here, as shown in FIG. 3C (a), the insulating layer 18 includes the transparent electrode units 13 and 15 and the x direction terminal portion 13a of the x direction transparent electrode unit 13 and the y direction transparent electrode unit 15 of the x direction connecting portion 14. The y-direction terminal portion 15a is formed so as not to be covered. As shown in FIGS. 3C (a) and 3 (c), in the insulating layer 18, a hole 18a penetrating in the vertical direction is formed at a position corresponding to the end portion 15b in the y direction of the y direction transparent electrode unit 15. Yes.

上述の絶縁層18を形成するための方法が特に限定されることはなく、例えば透明電極単位13,15およびx方向接続部14を形成する場合と同様に、スパッタリング、およびフォトリソグラフィー法によるパターンニングを行うことにより、上述の絶縁層18を形成することができる。   The method for forming the insulating layer 18 is not particularly limited. For example, as in the case where the transparent electrode units 13 and 15 and the x-direction connecting portion 14 are formed, patterning by sputtering and photolithography is performed. By performing the above, the insulating layer 18 described above can be formed.

次に、透明基材11の上方から透明基材11上に、金属材料からなる導電性材料22を設ける。この場合、図3D(a)(b)(c)に示すように、透明基材11の上側の面11aのうち外周非表示領域20Bに対応する領域、x方向端子部13a、y方向端子部15a、y方向透明電極単位15のy方向における端部15b、および絶縁層18が導電性材料22に接触する。一方、x方向透明電極単位13およびx方向接続部14は、絶縁層18により上方から覆われており、このためx方向透明電極単位13およびx方向接続部14が導電性材料22に接触することはない。
なお、導電性材料22を設けるための方法が特に限定されることはなく、例えばスパッタリングにより、透明基材11上に導電性材料22が設けられる。
Next, a conductive material 22 made of a metal material is provided on the transparent substrate 11 from above the transparent substrate 11. In this case, as shown in FIGS. 3D (a), (b), and (c), an area corresponding to the outer peripheral non-display area 20B, the x-direction terminal portion 13a, and the y-direction terminal portion of the upper surface 11a of the transparent substrate 11 15 a, the end 15 b in the y direction of the transparent electrode unit 15 in the y direction, and the insulating layer 18 are in contact with the conductive material 22. On the other hand, the x-direction transparent electrode unit 13 and the x-direction connection portion 14 are covered with the insulating layer 18 from above, and therefore the x-direction transparent electrode unit 13 and the x-direction connection portion 14 are in contact with the conductive material 22. There is no.
The method for providing the conductive material 22 is not particularly limited, and the conductive material 22 is provided on the transparent substrate 11 by, for example, sputtering.

次に、透明基材11上に設けられた導電性材料22をパターンニングして、図3E(a)(b)(c)に示すように、外周配線17およびy方向接続部16をともに形成する。ここで外周配線17は、透明基材11の上側の面11aのうち外周非表示領域20Bに対応する領域に配置されており、また外周配線17は、図3E(b)(c)に示すように、x方向端子部13aおよびy方向端子部15aに接続されている。また図3E(b)(c)に示すように、y方向接続部16は、絶縁層18の穴18aを介してy方向透明電極単位15のy方向における端部15bに接続されている。   Next, the conductive material 22 provided on the transparent substrate 11 is patterned to form both the outer peripheral wiring 17 and the y-direction connecting portion 16 as shown in FIGS. 3E (a) (b) (c). To do. Here, the outer peripheral wiring 17 is arranged in a region corresponding to the outer peripheral non-display area 20B in the upper surface 11a of the transparent base material 11, and the outer peripheral wiring 17 is as shown in FIGS. 3E (b) and 3 (c). The x-direction terminal portion 13a and the y-direction terminal portion 15a are connected to each other. 3E (b) and 3 (c), the y-direction connection portion 16 is connected to the end portion 15b in the y-direction of the y-direction transparent electrode unit 15 through the hole 18a of the insulating layer 18.

導電性材料22をパターンニングする方法は特には限定されず、様々な公知のパターンニング方法を用いることができる。例えば透明電極単位13,15およびx方向接続部14を形成する場合と同様に、フォトリソグラフィー法を用いることができる。この場合、エッチング液としては、金属材料からなる導電性材料22を溶かすことができる液が用いられる。例えば導電性材料22がアルミニウムまたはモリブデンからなる場合、燐酸、硝酸、酢酸、水を5:5:5:1の割合で配合してなる燐硝酢酸(水)をエッチング液として用いることができる。また、導電性材料22が銀または銀合金からなる場合、燐酸、硝酸、酢酸、水を4:1:4:4の割合で配合してなる燐硝酢酸(水)をエッチング液として用いることができる。さらに、導電性材料22がクロムからなる場合、硝酸セリウムアンモニウム、過塩素酸、水を17:4:70の割合で配合してなるエッチング液を用いることができる。   The method for patterning the conductive material 22 is not particularly limited, and various known patterning methods can be used. For example, the photolithography method can be used similarly to the case where the transparent electrode units 13 and 15 and the x-direction connection portion 14 are formed. In this case, as the etching solution, a solution that can dissolve the conductive material 22 made of a metal material is used. For example, when the conductive material 22 is made of aluminum or molybdenum, phosphoric acid acetic acid (water) obtained by blending phosphoric acid, nitric acid, acetic acid, and water in a ratio of 5: 5: 5: 1 can be used as an etching solution. When the conductive material 22 is made of silver or a silver alloy, phosphoric acid acetic acid (water) in which phosphoric acid, nitric acid, acetic acid, and water are mixed at a ratio of 4: 1: 4: 4 is used as an etching solution. it can. Further, when the conductive material 22 is made of chromium, an etching solution in which cerium ammonium nitrate, perchloric acid, and water are blended at a ratio of 17: 4: 70 can be used.

以上、図3A(a)(b)(c)〜図3E(a)(b)(c)を参照して説明した工程によって、本実施の形態におけるタッチパネルセンサ10が製造される。   The touch panel sensor 10 according to the present embodiment is manufactured through the steps described above with reference to FIGS. 3A (a) (b) (c) to 3E (a) (b) (c).

カラーフィルタの製造方法
次に、図1(b)(c)に示すように、上述の工程により得られたタッチパネルセンサ10の透明基材11の下側の面11b上に、ブラックマトリクス層31を形成し、その後、ブラックマトリクス層31間に複数色の着色層32を形成する。これによって、本実施の形態におけるタッチパネル機能付のカラーフィルタ30が得られる。
Method for producing a color filter Then, as shown in FIG. 1 (b) (c), on the lower surface 11b of the transparent substrate 11 of the touch panel sensor 10 obtained in the above steps, the black matrix layer 31 After that, a plurality of colored layers 32 are formed between the black matrix layers 31. Thereby, the color filter 30 with a touch panel function in the present embodiment is obtained.

このとき、タッチパネルセンサ10のy方向接続部16が、カラーフィルタ30の法線方向から見てブラックマトリクス層31に重なり合うよう、ブラックマトリクス層31を形成する。これによって、上述のとおり、液晶表示装置60の表示がy方向接続部16により妨げられることを防ぐことができる。   At this time, the black matrix layer 31 is formed so that the y-direction connecting portion 16 of the touch panel sensor 10 overlaps the black matrix layer 31 when viewed from the normal direction of the color filter 30. Thereby, as described above, it is possible to prevent the display of the liquid crystal display device 60 from being obstructed by the y-direction connecting portion 16.

ブラックマトリクス層31および着色層32を形成する方法は特には限定されず、例えばフォトリソグラフィー法によりブラックマトリクス層31および着色層32を形成することができる。   The method for forming the black matrix layer 31 and the colored layer 32 is not particularly limited. For example, the black matrix layer 31 and the colored layer 32 can be formed by a photolithography method.

また、このようにして得られたタッチパネル機能付のカラーフィルタ30に対向するよう上述のTFT基板50を設け、次にカラーフィルタ30とTFT基板50との間に液晶40を充填することにより、タッチパネル機能付の液晶表示装置60を製造することができる。   Further, the above-described TFT substrate 50 is provided so as to face the color filter 30 with a touch panel function obtained in this way, and then the liquid crystal 40 is filled between the color filter 30 and the TFT substrate 50 to thereby obtain a touch panel. A liquid crystal display device 60 with a function can be manufactured.

以下、本実施の形態におけるタッチパネルセンサ10、カラーフィルタ30および液晶表示装置60の効果についてまとめる。   Hereinafter, effects of the touch panel sensor 10, the color filter 30, and the liquid crystal display device 60 in the present embodiment will be summarized.

本実施の形態によれば、タッチパネルセンサ10において、隣接するy方向透明電極単位15同士は、x方向接続部14の上方に絶縁層18を介して配置されたy方向接続部16によりy方向において接続されており、このy方向接続部16は、外周配線17の材料と同一の材料を用いて外周配線17とともに形成されている。このようにy方向接続部16を外周配線17とともに形成することにより、より簡易な構成を有するタッチパネルセンサ10を提供することができる。   According to the present embodiment, in the touch panel sensor 10, the adjacent y-direction transparent electrode units 15 are arranged in the y-direction by the y-direction connection portion 16 disposed above the x-direction connection portion 14 via the insulating layer 18. The y-direction connection portion 16 is formed together with the outer peripheral wiring 17 using the same material as that of the outer peripheral wiring 17. In this way, by forming the y-direction connection portion 16 together with the outer peripheral wiring 17, the touch panel sensor 10 having a simpler configuration can be provided.

また本実施の形態によれば、タッチパネルセンサ10の製造方法は、透明基材11を準備する工程と、透明基材11の上側の面11a上に透明電極材料21を設ける工程と、設けられた透明電極材料21をパターンニングして、多数の透明電極単位13,15およびx方向接続部14を形成する工程と、x方向接続部14上に絶縁層18を形成する工程と、透明基材11の上方から透明基材11に導電性材料22を設ける工程と、設けられた導電性材料22をパターンニングして、外周配線17およびy方向接続部16をともに形成する工程とを備えている。このようにy方向接続部16を外周配線17とともに形成することにより、より簡易な工程によりタッチパネルセンサ10を製造することができる。   Moreover, according to this Embodiment, the manufacturing method of the touch panel sensor 10 was provided with the process of preparing the transparent base material 11, the process of providing the transparent electrode material 21 on the upper surface 11a of the transparent base material 11, and Patterning the transparent electrode material 21 to form a large number of transparent electrode units 13 and 15 and the x-direction connection portion 14, forming the insulating layer 18 on the x-direction connection portion 14, and the transparent substrate 11 A step of providing the conductive material 22 on the transparent substrate 11 from above and a step of patterning the provided conductive material 22 to form both the outer peripheral wiring 17 and the y-direction connection portion 16. Thus, by forming the y-direction connection portion 16 together with the outer peripheral wiring 17, the touch panel sensor 10 can be manufactured by a simpler process.

さらに本実施の形態によれば、外周配線17およびy方向接続部16は、同一の金属材料からなる。このため、y方向接続部16が透明電極材料からなる場合に比べて、y方向接続部16の電気伝導度を高くすることができ、これによって、y方向接続部16が透明電極材料からなる場合に比べて、y方向接続部16の幅を小さくすることができる。このことにより、y方向接続部16によって液晶表示装置60の表示が妨げられるのを防ぐことができる。   Furthermore, according to the present embodiment, the outer peripheral wiring 17 and the y-direction connecting portion 16 are made of the same metal material. For this reason, compared with the case where the y direction connection part 16 consists of transparent electrode materials, the electrical conductivity of the y direction connection part 16 can be made high, and, thereby, the y direction connection part 16 consists of transparent electrode materials. As compared with the above, the width of the y-direction connecting portion 16 can be reduced. Accordingly, it is possible to prevent the display of the liquid crystal display device 60 from being hindered by the y-direction connecting portion 16.

また本実施の形態によれば、タッチパネル機能付のカラーフィルタ30において、タッチパネルセンサ10のy方向接続部16が、カラーフィルタ30の法線方向から見てブラックマトリクス層31に重なり合っている。このことにより、y方向接続部16によって液晶表示装置60の表示が妨げられることをさらに防ぐことができる。   Further, according to the present embodiment, in the color filter 30 with the touch panel function, the y-direction connecting portion 16 of the touch panel sensor 10 overlaps the black matrix layer 31 when viewed from the normal direction of the color filter 30. This can further prevent the display of the liquid crystal display device 60 from being hindered by the y-direction connecting portion 16.

次に、図4〜図5Fを参照して、本願発明の効果を比較例と比較して説明する。図4(a)(b)(c)は、比較例におけるタッチパネルセンサ70を示す図である。図4(a)(b)(c)に示すタッチパネルセンサ70は、y方向接続部71が透明電極材料からなる点が異なるのみであり、他の構成は、図1乃至図3に示す本実施の形態におけるタッチパネルセンサ10と略同一である。   Next, with reference to FIGS. 4 to 5F, the effect of the present invention will be described in comparison with a comparative example. 4A, 4B, and 4C are diagrams showing the touch panel sensor 70 in the comparative example. The touch panel sensor 70 shown in FIGS. 4 (a), 4 (b), and 4 (c) is different only in that the y-direction connecting portion 71 is made of a transparent electrode material, and other configurations are the same as those of the embodiment shown in FIGS. It is substantially the same as the touch panel sensor 10 in the form.

図5A〜図5Fを参照して、比較例におけるタッチパネルセンサ70の製造方法について説明する。   With reference to FIG. 5A-FIG. 5F, the manufacturing method of the touch-panel sensor 70 in a comparative example is demonstrated.

はじめに、透明基材11を準備し、次に透明基材11の上側の面11a上に透明電極材料21を設ける。その後、透明基材11の上側の面11a上に設けられた透明電極材料21をパターンニングして、透明基材11の上側の面11a上に、多数の透明電極単位13,15およびx方向接続部14を形成する。次に、透明電極単位13,15およびx方向接続部14上に絶縁層18を形成する。ここまでの工程は、図3A〜図3Cに示す本実施の形態におけるタッチパネルセンサ10の製造方法と略同一であるので、詳細な説明は省略する。   First, the transparent substrate 11 is prepared, and then the transparent electrode material 21 is provided on the upper surface 11 a of the transparent substrate 11. Thereafter, the transparent electrode material 21 provided on the upper surface 11a of the transparent base material 11 is patterned, and on the upper surface 11a of the transparent base material 11, a large number of transparent electrode units 13, 15 and an x-direction connection are formed. Part 14 is formed. Next, the insulating layer 18 is formed on the transparent electrode units 13 and 15 and the x-direction connection portion 14. The steps so far are substantially the same as the manufacturing method of the touch panel sensor 10 in the present embodiment shown in FIGS. 3A to 3C, and thus detailed description thereof is omitted.

次に図5A(a)(b)(c)に示すように、絶縁層18上に透明電極材料72を設ける。その後、設けられた透明電極材料72をパターンニングすることにより、図5B(a)(b)(c)に示すように、隣接するy方向透明電極単位15同士を接続するy方向接続部71を形成する。   Next, as shown in FIGS. 5A (a), (b), and (c), a transparent electrode material 72 is provided on the insulating layer 18. Thereafter, by patterning the provided transparent electrode material 72, as shown in FIGS. 5B (a), (b), and (c), the y-direction connection portion 71 that connects the adjacent y-direction transparent electrode units 15 to each other is formed. Form.

次に図5C(a)(b)(c)に示すように、透明基材11の上方から透明基材11上に、金属材料からなる導電性材料22を設ける。その後、設けられた導電性材料22をパターンニングすることにより、図5D(a)(b)(c)に示すように外周配線17を形成する。   Next, as shown in FIGS. 5C (a), (b), and (c), a conductive material 22 made of a metal material is provided on the transparent base material 11 from above the transparent base material 11. Thereafter, by patterning the provided conductive material 22, the outer peripheral wiring 17 is formed as shown in FIGS. 5D (a), (b), and (c).

このように比較例によれば、タッチパネルセンサ70の製造工程において、はじめに透明電極材料21の形成およびパターンニングが行われ、次に絶縁層18の形成およびパターンニングが行われ、その後に透明電極材料72の形成およびパターンニングが行われ、次に導電性材料22の形成およびパターンニングが行われる。このように比較例によれば、タッチパネルセンサ70の製造工程において、4つの層の形成およびパターンニングが行われる。   Thus, according to the comparative example, in the manufacturing process of the touch panel sensor 70, the transparent electrode material 21 is first formed and patterned, and then the insulating layer 18 is formed and patterned, and then the transparent electrode material is formed. 72 is formed and patterned, and then conductive material 22 is formed and patterned. As described above, according to the comparative example, formation and patterning of four layers are performed in the manufacturing process of the touch panel sensor 70.

これに対して、本実施の形態によれば、はじめに透明電極材料21の形成およびパターンニングを行い、次に絶縁層18の形成およびパターンニングを行い、その後に導電性材料22の形成およびパターンニングを行うことにより、タッチパネルセンサ10を製造することができる。すなわち、本実施の形態によれば、3つの層の形成およびパターンニングを行うことにより、タッチパネルセンサ10を製造することができる。このように本実施の形態によれば、y方向接続部16を、外周配線17の材料と同一の材料を用いて外周配線17とともに形成することにより、より簡易な工程によってタッチパネルセンサ10を製造することが可能となっている。   On the other hand, according to the present embodiment, the transparent electrode material 21 is first formed and patterned, then the insulating layer 18 is formed and patterned, and then the conductive material 22 is formed and patterned. By performing this, the touch panel sensor 10 can be manufactured. That is, according to the present embodiment, the touch panel sensor 10 can be manufactured by forming and patterning three layers. Thus, according to the present embodiment, the touch panel sensor 10 is manufactured by a simpler process by forming the y-direction connecting portion 16 together with the outer peripheral wiring 17 using the same material as that of the outer peripheral wiring 17. It is possible.

また比較例によれば、透明電極材料72のパターンニングにおいてエッチング液が用いられる場合、当該エッチング液によって、透明電極材料21からなる透明電極単位13,15およびx方向接続部14が溶かされるおそれがある。従って比較例によれば、透明電極材料72をエッチングによりパターンニングするとき、透明電極単位13,15およびx方向接続部14がマスクされている必要がある。例えば透明電極材料72をエッチングによりパターンニングするとき、透明電極単位13,15およびx方向接続部14が絶縁層18によって完全に覆われている必要がある。   Further, according to the comparative example, when an etching solution is used in patterning the transparent electrode material 72, the transparent electrode units 13 and 15 and the x-direction connecting portion 14 made of the transparent electrode material 21 may be dissolved by the etching solution. is there. Therefore, according to the comparative example, when the transparent electrode material 72 is patterned by etching, the transparent electrode units 13 and 15 and the x-direction connecting portion 14 need to be masked. For example, when the transparent electrode material 72 is patterned by etching, the transparent electrode units 13 and 15 and the x-direction connection portion 14 need to be completely covered with the insulating layer 18.

これに対して、本実施の形態によれば、透明電極材料の形成およびパターンニングが行われるのは、前述のとおり、透明電極材料21から透明電極単位13,15およびx方向接続部14を形成するときのみとなっている。従って、導電性材料22用のエッチング液として透明電極材料を侵さないエッチング液が選択される場合、透明電極単位13,15およびx方向接続部14をマスクすることなく導電性材料22のパターンニングを行うことができる。このため、例えば図6に示すように、絶縁層18がx方向接続部14近傍にのみ設けられていてもよい。すなわち、x方向接続部14とy方向接続部16とが短絡するのを防ぐことができる程度の最小限の絶縁層18が設けられていればよい。   On the other hand, according to the present embodiment, the transparent electrode material is formed and patterned by forming the transparent electrode units 13 and 15 and the x-direction connecting portion 14 from the transparent electrode material 21 as described above. It is only when you do. Therefore, when an etchant that does not attack the transparent electrode material is selected as the etchant for the conductive material 22, the patterning of the conductive material 22 is performed without masking the transparent electrode units 13 and 15 and the x-direction connection portion 14. It can be carried out. For this reason, for example, as shown in FIG. 6, the insulating layer 18 may be provided only in the vicinity of the x-direction connecting portion 14. That is, it is only necessary to provide the minimum insulating layer 18 that can prevent the x-direction connection portion 14 and the y-direction connection portion 16 from being short-circuited.

第2の実施の形態
次に図7乃至図8Eを参照して、本発明の第2の実施の形態について説明する。ここで図7(a)は、本実施の第2の実施の形態におけるタッチパネルセンサを示す平面図であり、図7(b)は、図7(a)のタッチパネルセンサをVIIb−VIIb方向から見た縦断面図であり、図7(c)は、図7(a)のタッチパネルセンサをVIIc−VIIc方向から見た縦断面図である。図8A乃至図8Eは、本実施の第2の実施の形態におけるタッチパネルセンサを製造する方法を説明するための図である。
Second Embodiment Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 7 to 8E. 7A is a plan view showing the touch panel sensor according to the second embodiment, and FIG. 7B is a plan view of the touch panel sensor of FIG. 7A viewed from the VIIb-VIIb direction. FIG. 7C is a longitudinal sectional view of the touch panel sensor of FIG. 7A viewed from the VIIc-VIIc direction. 8A to 8E are diagrams for explaining a method of manufacturing the touch panel sensor according to the second embodiment.

図7乃至図8Eに示す第2の実施の形態は、y方向接続部が、x方向接続部の下方に絶縁膜を介して配置されている点が異なるのみであり、他の構成は、図1乃至図6に示す第1の実施の形態と略同一である。図7乃至図8Eに示す第2の実施の形態において、図1乃至図6に示す第1の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。   The second embodiment shown in FIGS. 7 to 8E differs from the second embodiment only in that the y-direction connection portion is disposed below the x-direction connection portion with an insulating film interposed therebetween. This is substantially the same as the first embodiment shown in FIGS. In the second embodiment shown in FIG. 7 to FIG. 8E, the same parts as those in the first embodiment shown in FIG. 1 to FIG.

カラーフィルタ
はじめに、本実施の形態におけるタッチパネル機能付のカラーフィルタ30Aについて説明する。図7(b)に示すように、カラーフィルタ30Aは、透明基材11と、透明基材11の下側(表示基板側)に設けられたブラックマトリクス層31と、ブラックマトリクス層31間に設けられた複数色の着色層32と、透明基材11の上側(観察側)に設けられたタッチパネルセンサ層12Aとを備えている。後述するように、透明基材11とタッチパネルセンサ層12Aとからタッチパネルセンサ10Aが構成される。
Color Filter First, the color filter 30A with a touch panel function in the present embodiment will be described. As shown in FIG. 7B, the color filter 30A is provided between the transparent matrix 11, the black matrix layer 31 provided on the lower side (display substrate side) of the transparent matrix 11, and the black matrix layer 31. And the touch panel sensor layer 12 </ b> A provided on the upper side (observation side) of the transparent substrate 11. As will be described later, the touch panel sensor 10A is configured by the transparent substrate 11 and the touch panel sensor layer 12A.

なお、当該カラーフィルタ30AとTFT基板(図示せず)とにより液晶表示装置(図示せず)を形成する場合、図1乃至図6に示す第1の実施の形態の場合と同様に、ブラックマトリクス層31および着色層32と液晶の間に保護膜(図示せず)が設けられていてもよい。保護膜の材料としては、珪素、アルミニウム、亜鉛またはスズの酸化物または酸窒化物からなる透明材料、あるいはアクリル樹脂等の有機絶縁膜を挙げることができる。また、ブラックマトリクス層31及び着色層32の表面に、画素表示用の共通透明電極(図示せず)が設けられていてもよい。さらに、ブラックマトリクス層31上に、カラーフィルタ30AとTFT基板との間の空隙を保持するためのスペーサ(図示せず)が設けられていてもよい。   When a liquid crystal display device (not shown) is formed by the color filter 30A and the TFT substrate (not shown), a black matrix is formed as in the case of the first embodiment shown in FIGS. A protective film (not shown) may be provided between the layer 31 and the colored layer 32 and the liquid crystal. Examples of the material for the protective film include a transparent material made of an oxide or oxynitride of silicon, aluminum, zinc or tin, or an organic insulating film such as an acrylic resin. Further, a common transparent electrode (not shown) for pixel display may be provided on the surfaces of the black matrix layer 31 and the colored layer 32. Furthermore, a spacer (not shown) may be provided on the black matrix layer 31 to hold a gap between the color filter 30A and the TFT substrate.

タッチパネルセンサ
次に図7(a)(b)(c)を参照して、本実施の形態におけるタッチパネルセンサ10Aについて説明する。図7(a)(b)(c)に示すように、タッチパネルセンサ10Aは、平面状に延びる透明基材11と、透明基材11の上側においてx方向およびy方向に並ぶよう配置され、x方向にx方向接続部14を介して接続されたx方向透明電極単位13と、x方向透明電極単位13間に位置するy方向透明電極単位15とからなる多数の透明電極単位13,15と、これら多数の透明電極単位13,15の周縁に位置するx方向透明電極単位13およびy方向透明電極単位15に接続された外周配線17とを備えている。
Touch Panel Sensor Next, with reference to FIGS. 7A, 7B, and 7C, the touch panel sensor 10A in the present embodiment will be described. As shown in FIGS. 7A, 7B, and 7C, the touch panel sensor 10A is arranged so as to be aligned in the x direction and the y direction on the upper side of the transparent base material 11 and the transparent base material 11 that extends in a plane. A number of transparent electrode units 13 and 15 comprising an x-direction transparent electrode unit 13 connected in the direction via an x-direction connecting portion 14 and a y-direction transparent electrode unit 15 positioned between the x-direction transparent electrode units 13; An x-direction transparent electrode unit 13 and an outer peripheral wiring 17 connected to the y-direction transparent electrode unit 15 are provided at the periphery of the large number of transparent electrode units 13 and 15.

ここで、図7(b)(c)に示すように、x方向接続部14は、透明電極単位13,15の材料と同一の材料である透明電極材料を用いて形成されている。また図7(b)(c)に示すように、x方向接続部14は、周縁に位置する透明電極単位13,15の一部を除いて、透明電極単位13,15と同一平面上に形成されている。一方、隣接するy方向電極単位15同士は、図7(c)に示すように、透明基材11の上側の面11a上に配置されたy方向接続部16によりy方向において接続されている。この場合、図7(b)に示すように、y方向接続部16とx方向接続部14との間には絶縁層18が介在されており、これによってy方向接続部16とx方向接続部14とが電気的に短絡するのが防がれている。   Here, as shown in FIGS. 7B and 7C, the x-direction connecting portion 14 is formed using a transparent electrode material that is the same material as the material of the transparent electrode units 13 and 15. Further, as shown in FIGS. 7B and 7C, the x-direction connecting portion 14 is formed on the same plane as the transparent electrode units 13 and 15 except for a part of the transparent electrode units 13 and 15 located at the periphery. Has been. On the other hand, adjacent y-direction electrode units 15 are connected in the y-direction by a y-direction connecting portion 16 disposed on the upper surface 11a of the transparent substrate 11, as shown in FIG. 7C. In this case, as shown in FIG. 7B, an insulating layer 18 is interposed between the y-direction connection portion 16 and the x-direction connection portion 14, thereby the y-direction connection portion 16 and the x-direction connection portion. 14 is prevented from being electrically short-circuited.

図1乃至図6に示す第1の実施の形態の場合と同様に、y方向接続部16は、外周配線17の材料と同一の材料を用いて外周配線17とともに形成されている。このため、y方向接続部16と外周配線17とを別々の工程で形成する場合に比べて、より簡易にy方向接続部16と外周配線17とを形成することができる。これら透明電極単位13,15、x方向接続部14、y方向接続部16、外周配線17および絶縁層18により、タッチパネルセンサ10Aのタッチパネルセンサ層12Aが構成されている。
なお説明の都合上、図7(a)においては絶縁層18の表示を省略している。
As in the case of the first embodiment shown in FIGS. 1 to 6, the y-direction connecting portion 16 is formed together with the peripheral wiring 17 using the same material as that of the peripheral wiring 17. For this reason, compared with the case where the y direction connection part 16 and the outer periphery wiring 17 are formed in a separate process, the y direction connection part 16 and the outer periphery wiring 17 can be formed more easily. The transparent electrode units 13 and 15, the x-direction connection portion 14, the y-direction connection portion 16, the outer peripheral wiring 17, and the insulating layer 18 constitute a touch panel sensor layer 12A of the touch panel sensor 10A.
For convenience of explanation, the display of the insulating layer 18 is omitted in FIG.

y方向接続部
次にy方向接続部16について詳述する。図1乃至図6に示す第1の実施の形態の場合と同様に、y方向接続部16は、外周配線17の材料と同一の材料、すなわち金属材料から形成されており、このため、y方向接続部16のx方向における寸法(幅)が小さい場合であっても、隣接するy方向透明電極単位15同士を低抵抗で接続することができる。ここで、y方向接続部16のx方向における寸法(幅)は例えば5〜20μmの範囲内となっており、y方向における寸法(長さ)は例えば20〜500μmの範囲内となっている。
y-direction connection portion Next, the y-direction connection portion 16 will be described in detail. As in the case of the first embodiment shown in FIGS. 1 to 6, the y-direction connection portion 16 is formed of the same material as the material of the outer peripheral wiring 17, that is, a metal material. Even when the dimension (width) in the x direction of the connecting portion 16 is small, the adjacent y-direction transparent electrode units 15 can be connected with low resistance. Here, the dimension (width) in the x direction of the y-direction connecting portion 16 is in the range of 5 to 20 μm, for example, and the dimension (length) in the y direction is in the range of 20 to 500 μm, for example.

このように、y方向接続部16を外周配線17の材料と同一の金属材料から形成することにより、y方向接続部16をITOなどの透明電極材料から形成する場合に比べて、y方向接続部16の幅を小さくすることができる。このため、本実施の形態におけるタッチパネルセンサ10Aを備えた液晶表示装置(図示せず)において、y方向接続部16によって液晶表示装置の表示が妨げられることはほとんどない。   Thus, by forming the y-direction connection portion 16 from the same metal material as that of the outer peripheral wiring 17, the y-direction connection portion 16 is formed compared to the case of forming the y-direction connection portion 16 from a transparent electrode material such as ITO. The width of 16 can be reduced. For this reason, in the liquid crystal display device (not shown) provided with the touch panel sensor 10 </ b> A in the present embodiment, the display of the liquid crystal display device is hardly hindered by the y-direction connecting portion 16.

好ましくは、図7(b)(c)に示すように、y方向接続部16は、カラーフィルタ30Aの法線方向から見てカラーフィルタ30Aのブラックマトリクス層31に重なり合うよう設けられている。このことにより、y方向接続部16によって液晶表示装置の表示が妨げられることをさらに防ぐことができる。この場合、x方向におけるブラックマトリクス層31の幅は、透明基材11の厚さ、x方向におけるy方向接続部16の幅、液晶表示装置の視野角などに応じて適宜設定されるが、例えば5〜100μの範囲内となっている。 Preferably, as shown in FIGS. 7B and 7C, the y-direction connecting portion 16 is provided so as to overlap the black matrix layer 31 of the color filter 30A when viewed from the normal direction of the color filter 30A. This can further prevent the display of the liquid crystal display device from being hindered by the y-direction connecting portion 16. In this case, the width of the black matrix layer 31 in the x direction is appropriately set according to the thickness of the transparent substrate 11, the width of the y direction connection portion 16 in the x direction, the viewing angle of the liquid crystal display device, etc. It is within the range of 5~100μ m.

絶縁層
次に絶縁層18について詳述する。図7(c)に示すように、絶縁層18のうちy方向接続部16のy方向における端部16aに対応する箇所には、上下方向に貫通する穴18aが形成されている。この穴18a内には、図7(c)に示すようにy方向透明電極単位15を構成する透明電極材料が充填されており、このように絶縁層18の穴18aを介して、y方向接続部16とy方向透明電極単位15とが接続されている。
Insulating Layer Next, the insulating layer 18 will be described in detail. As shown in FIG. 7C, a hole 18a penetrating in the vertical direction is formed in a portion of the insulating layer 18 corresponding to the end portion 16a in the y direction of the y direction connecting portion 16. The hole 18a is filled with a transparent electrode material constituting the y-direction transparent electrode unit 15 as shown in FIG. 7C. Thus, the y-direction connection is made through the hole 18a of the insulating layer 18. The part 16 and the y-direction transparent electrode unit 15 are connected.

次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。ここでは、タッチパネルセンサ10Aおよびカラーフィルタ30Aの製造方法について説明する。   Next, the operation of the present embodiment having such a configuration will be described. Here, the manufacturing method of the touch panel sensor 10A and the color filter 30A will be described.

タッチパネルセンサの製造方法
はじめに、図8A(a)(b)(c)〜図8E(a)(b)(c)を参照して、タッチパネルセンサ10Aの製造方法について説明する。図8A(a)(b)(c)〜図8E(a)(b)(c)の各図において、(a)に示されている図は、製造中のタッチパネルセンサを示す平面図であり、(b)に示されている図は、(a)の製造中のタッチパネルセンサを各々VIIIAb−VIIIAb〜VIIIEb−VIIIEb方向から見た縦断面図であり、(c)に示されている図は、(a)の製造中のタッチパネルセンサを各々VIIIAc−VIIIAc〜VIIIEc−VIIIEc方向から見た縦断面図である。
The manufacturing method Introduction of a touch panel sensor, with reference to FIG. 8A (a) (b) ( c) ~ Figure 8E (a) (b) ( c), a method for manufacturing a touch panel sensor 10A. 8A (a) (b) (c) to FIG. 8E (a) (b) (c), the figure shown in (a) is a plan view showing a touch panel sensor during manufacture. The figure shown in (b) is a longitudinal sectional view of the touch panel sensor during manufacture of (a) as seen from the directions VIIIAb-VIIIAb to VIIIEb-VIIIEb, respectively, and the figure shown in (c) It is the longitudinal cross-sectional view which looked at the touch panel sensor under manufacture of (a) from the VIIIAc-VIIIAc-VIIIEc-VIIIEc direction, respectively.

はじめに、透明基材11を準備し、次に図8A(a)(b)(c)に示すように、透明基材11の上側の面11a上に、金属材料からなる導電性材料22を設ける。導電性材料22を設けるための方法が特に限定されることはなく、例えばスパッタリングにより、透明基材11の上側の面11a上に導電性材料22が設けられる。   First, a transparent base material 11 is prepared, and then a conductive material 22 made of a metal material is provided on the upper surface 11a of the transparent base material 11, as shown in FIGS. . The method for providing the conductive material 22 is not particularly limited. For example, the conductive material 22 is provided on the upper surface 11a of the transparent substrate 11 by sputtering.

次に、透明基材11の上側の面11a上に設けられた導電性材料22をパターンニングして、図8B(a)に示すように、透明基材11の上側の面11a上に、外周配線17およびy方向接続部16をともに形成する。外周配線17は、図1乃至図6に示す第1の実施の形態の場合と同様に、透明基材11の上側の面11aのうち外周非表示領域20Bに対応する領域に配置される。   Next, the conductive material 22 provided on the upper surface 11a of the transparent base material 11 is patterned, and as shown in FIG. 8B (a), the outer periphery is formed on the upper surface 11a of the transparent base material 11. The wiring 17 and the y-direction connection portion 16 are formed together. The outer periphery wiring 17 is arrange | positioned in the area | region corresponding to the outer periphery non-display area | region 20B among the upper surfaces 11a of the transparent base material 11 similarly to the case of 1st Embodiment shown in FIG.

導電性材料22をパターンニングする方法は特には限定されず、様々な公知のパターンニング方法を用いることができる。例えば、図1乃至図6に示す第1の実施の形態の場合と同様に、フォトリソグラフィー法を用いることができる。   The method for patterning the conductive material 22 is not particularly limited, and various known patterning methods can be used. For example, a photolithography method can be used as in the case of the first embodiment shown in FIGS.

次に、図8C(a)(b)(c)に示すように、y方向接続部16上に絶縁層18を形成する。ここで図8C(a)(c)に示すように、絶縁層18において、y方向接続部16のy方向における端部16aに対応する箇所には、上下方向に貫通する穴18aが形成されている。   Next, as shown in FIGS. 8C (a), (b), and (c), an insulating layer 18 is formed on the y-direction connecting portion 16. Here, as shown in FIGS. 8C (a) and 8 (c), in the insulating layer 18, a hole 18a penetrating in the vertical direction is formed at a position corresponding to the end portion 16a in the y direction of the y direction connecting portion 16. Yes.

次に図8D(a)(b)(c)に示すように、透明基材11の上方から透明基材11上に透明電極材料21を設ける。透明電極材料21を設けるための方法が特に限定されることはなく、例えばスパッタリングにより、透明基材11の上側の面11a上に透明電極材料21が設けられる。   Next, as shown in FIGS. 8D (a), (b), and (c), a transparent electrode material 21 is provided on the transparent substrate 11 from above the transparent substrate 11. The method for providing the transparent electrode material 21 is not particularly limited. For example, the transparent electrode material 21 is provided on the upper surface 11a of the transparent substrate 11 by sputtering.

次に、透明基材11上に設けられた透明電極材料21をパターンニングして、図8E(a)に示すように、x方向透明電極単位13,x方向接続部14およびy方向透明電極単位15を形成する。ここで、図8E(a)(b)に示すように、x方向透明電極単位13はx方向に並ぶよう配置されており、また隣接するx方向透明電極単位13同士は、x方向接続部14により接続されている。また図8E(a)(c)に示すように、y方向透明電極単位15は、y方向に並ぶとともに、x方向透明電極単位13間およびx方向接続部14間に位置するよう配置されている。また図8E(c)に示すように、隣接するy方向透明電極単位15同士は、先に形成されているy方向接続部16により接続される。   Next, the transparent electrode material 21 provided on the transparent base material 11 is patterned, and as shown in FIG. 8E (a), the x-direction transparent electrode unit 13, the x-direction connecting portion 14, and the y-direction transparent electrode unit. 15 is formed. Here, as shown in FIGS. 8E (a) and 8 (b), the x-direction transparent electrode units 13 are arranged in the x-direction, and the adjacent x-direction transparent electrode units 13 are connected to each other in the x-direction connection portion 14. Connected by. Further, as shown in FIGS. 8E (a) and 8 (c), the y-direction transparent electrode units 15 are arranged in the y-direction and are positioned between the x-direction transparent electrode units 13 and between the x-direction connecting portions 14. . Further, as shown in FIG. 8E (c), adjacent y-direction transparent electrode units 15 are connected to each other by the y-direction connecting portion 16 formed in advance.

導電性材料22をパターンニングする方法は特には限定されず、様々な公知のパターンニング方法を用いることができる。例えば、図1乃至図6に示す第1の実施の形態の場合と同様に、フォトリソグラフィー法を用いることができる。   The method for patterning the conductive material 22 is not particularly limited, and various known patterning methods can be used. For example, a photolithography method can be used as in the case of the first embodiment shown in FIGS.

以上、図8A(a)(b)(c)〜図8E(a)(b)(c)を参照して説明した工程によって、本実施の形態におけるタッチパネルセンサ10Aが製造される。   The touch panel sensor 10A according to the present embodiment is manufactured through the steps described above with reference to FIGS. 8A (a) (b) (c) to 8E (a) (b) (c).

カラーフィルタの製造方法
次に、図7(b)(c)に示すように、上述の工程により得られたタッチパネルセンサ10Aの透明基材11の下側の面11b上に、ブラックマトリクス層31を形成し、その後、ブラックマトリクス層31間に複数色の着色層32を形成する。これによって、本実施の形態におけるタッチパネル機能付のカラーフィルタ30Aが得られる。
Method for producing a color filter Then, as shown in FIG. 7 (b) (c), on the lower surface 11b of the transparent substrate 11 of the touch panel sensor 10A obtained by the above process, the black matrix layer 31 After that, a plurality of colored layers 32 are formed between the black matrix layers 31. Thus, the color filter 30A with a touch panel function in the present embodiment is obtained.

このとき、タッチパネルセンサ10Aのy方向接続部16が、カラーフィルタ30Aの法線方向から見てブラックマトリクス層31に重なり合うよう、ブラックマトリクス層31を形成する。これによって、上述のとおり、液晶表示装置の表示がy方向接続部16によって妨げられることを防ぐことができる。   At this time, the black matrix layer 31 is formed so that the y-direction connecting portion 16 of the touch panel sensor 10A overlaps the black matrix layer 31 when viewed from the normal direction of the color filter 30A. Thereby, as described above, it is possible to prevent the display of the liquid crystal display device from being obstructed by the y-direction connecting portion 16.

ブラックマトリクス層31および着色層32を形成する方法は特には限定されず、例えばフォトリソグラフィー法によりブラックマトリクス層31および着色層32を形成することができる。   The method for forming the black matrix layer 31 and the colored layer 32 is not particularly limited. For example, the black matrix layer 31 and the colored layer 32 can be formed by a photolithography method.

また、このようにして得られたタッチパネル機能付のカラーフィルタ30Aに対向するよう表示基板(例えばTFT基板、図示せず)を設け、次にカラーフィルタ30AとTFT基板との間に液晶(図示せず)を充填することにより、タッチパネル機能付の液晶表示装置(図示せず)を製造することができる。   Further, a display substrate (for example, a TFT substrate, not shown) is provided so as to face the color filter 30A with a touch panel function obtained in this way, and then a liquid crystal (not shown) is provided between the color filter 30A and the TFT substrate. A liquid crystal display device with a touch panel function (not shown) can be manufactured.

以下、本実施の形態におけるタッチパネルセンサ10A、カラーフィルタ30Aの効果についてまとめる。   Hereinafter, effects of the touch panel sensor 10A and the color filter 30A in the present embodiment will be summarized.

本実施の形態によれば、タッチパネルセンサ10Aにおいて、隣接するy方向透明電極単位15同士は、x方向接続部14の下方に絶縁層18を介して配置されたy方向接続部16によりy方向において接続されており、このy方向接続部16は、外周配線17の材料と同一の材料を用いて外周配線17とともに形成されている。このようにy方向接続部16を外周配線17とともに形成することにより、より簡易な構成を有するタッチパネルセンサ10Aを提供することができる。   According to the present embodiment, in the touch panel sensor 10 </ b> A, adjacent y-direction transparent electrode units 15 are arranged in the y-direction by the y-direction connection portion 16 disposed via the insulating layer 18 below the x-direction connection portion 14. The y-direction connection portion 16 is formed together with the outer peripheral wiring 17 using the same material as that of the outer peripheral wiring 17. In this way, by forming the y-direction connection portion 16 together with the outer peripheral wiring 17, the touch panel sensor 10A having a simpler configuration can be provided.

また本実施の形態によれば、タッチパネルセンサ10Aの製造方法は、透明基材11を準備する工程と、透明基材11の上側の面11a上に導電性材料22を設ける工程と、設けられた導電性材料22をパターンニングして、外周配線17およびy方向接続部16をともに形成する工程と、y方向接続部16上に絶縁層18を形成する工程と、透明基材11の上方から透明基材11に透明電極材料21を設ける工程と、設けられた透明電極材料21をパターンニングして、x方向透明電極単位13、y方向透明電極単位15およびx方向接続部14を形成する工程とを備えている。このようにy方向接続部16を外周配線17とともに形成することにより、より簡易な工程によりタッチパネルセンサ10Aを製造することができる。   Moreover, according to this Embodiment, the manufacturing method of 10 A of touchscreen sensors was provided with the process of preparing the transparent base material 11, and the process of providing the electroconductive material 22 on the upper surface 11a of the transparent base material 11. Patterning the conductive material 22 to form both the peripheral wiring 17 and the y-direction connecting portion 16, forming the insulating layer 18 on the y-direction connecting portion 16, and transparent from above the transparent substrate 11 A step of providing the transparent electrode material 21 on the substrate 11, a step of patterning the provided transparent electrode material 21 to form the x-direction transparent electrode unit 13, the y-direction transparent electrode unit 15, and the x-direction connection portion 14; It has. By forming the y-direction connection portion 16 together with the outer peripheral wiring 17 in this manner, the touch panel sensor 10A can be manufactured by a simpler process.

さらに本実施の形態によれば、外周配線17およびy方向接続部16は、同一の金属材料からなる。このため、y方向接続部16が透明電極材料からなる場合に比べて、y方向接続部16の電気伝導度を高くすることができ、これによって、y方向接続部16が透明電極材料からなる場合に比べて、y方向接続部16の幅を小さくすることができる。このことにより、y方向接続部16によって液晶表示装置の表示が妨げられるのを防ぐことができる。   Furthermore, according to the present embodiment, the outer peripheral wiring 17 and the y-direction connecting portion 16 are made of the same metal material. For this reason, compared with the case where the y direction connection part 16 consists of transparent electrode materials, the electrical conductivity of the y direction connection part 16 can be made high, and, thereby, the y direction connection part 16 consists of transparent electrode materials. As compared with the above, the width of the y-direction connecting portion 16 can be reduced. Thereby, it is possible to prevent the display of the liquid crystal display device from being hindered by the y-direction connecting portion 16.

また本実施の形態によれば、タッチパネル機能付のカラーフィルタ30Aにおいて、タッチパネルセンサ10Aのy方向接続部16が、カラーフィルタ30Aの法線方向から見てブラックマトリクス層31に重なり合っている。このことにより、y方向接続部16によって液晶表示装置の表示が妨げられることをさらに防ぐことができる。   Further, according to the present embodiment, in the color filter 30A with a touch panel function, the y-direction connection portion 16 of the touch panel sensor 10A overlaps the black matrix layer 31 when viewed from the normal direction of the color filter 30A. This can further prevent the display of the liquid crystal display device from being hindered by the y-direction connecting portion 16.

第3の実施の形態
次に図9および図10を参照して、本発明の第3の実施の形態について説明する。ここで図9(a)は、本実施の第3の形態におけるタッチパネルセンサを示す平面図であり、図9(b)は、図9(a)のタッチパネルセンサをIXb−IXb方向から見た縦断面図であり、図9(c)は、図9(a)のタッチパネルセンサをIXc−IXc方向から見た縦断面図である。図10(a)は、本発明の第3の実施の形態における液晶表示装置を示す縦断面図であり、図10(b)は、図10(a)の液晶表示装置のカラーフィルタを矢印Xb−Xbから見た図であり、図10(c)は、図10(a)の液晶表示装置の表示基板を矢印Xc−Xcから見た図である。
Third Embodiment Next, with reference to FIGS. 9 and 10, a third embodiment of the present invention will be described. FIG. 9A is a plan view showing the touch panel sensor according to the third embodiment, and FIG. 9B is a longitudinal section of the touch panel sensor of FIG. 9A viewed from the IXb-IXb direction. FIG. 9C is a longitudinal sectional view of the touch panel sensor of FIG. 9A viewed from the IXc-IXc direction. FIG. 10A is a longitudinal sectional view showing a liquid crystal display device according to the third embodiment of the present invention. FIG. 10B shows a color filter of the liquid crystal display device shown in FIG. FIG. 10C is a view of the display substrate of the liquid crystal display device of FIG. 10A viewed from the arrow Xc-Xc.

図9および図10に示す第3の実施の形態は、カラーフィルタのブラックマトリクス層および複数色の着色層がタッチパネルセンサ層上に設けられている点が異なるのみであり、他の構成は、図1乃至図6に示す第1の実施の形態と略同一である。図9および図10に示す第2の実施の形態において、図1乃至図6に示す第1の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。   The third embodiment shown in FIG. 9 and FIG. 10 differs only in that the black matrix layer of the color filter and the colored layers of a plurality of colors are provided on the touch panel sensor layer. This is substantially the same as the first embodiment shown in FIGS. In the second embodiment shown in FIG. 9 and FIG. 10, the same parts as those in the first embodiment shown in FIG. 1 to FIG.

液晶表示装置
図10(a)(b)(c)に示すように、タッチパネル機能付の液晶表示装置60Bは、タッチパネル機能付のカラーフィルタ30Bと、カラーフィルタ30Bに対向するよう設けられたTFT基板(表示基板)50とを備えている。TFT基板50の下側には、TFT基板50に向って光を放射する光源(図示せず)が設けられている。また図10(a)に示すように、カラーフィルタ30BとTFT基板50との間には液晶40が充填されており、この液晶40は封止材41により封止されている。
Liquid Crystal Display Device As shown in FIGS. 10A, 10B, and 10C, a liquid crystal display device 60B with a touch panel function includes a color filter 30B with a touch panel function and a TFT substrate provided to face the color filter 30B. (Display substrate) 50. A light source (not shown) that emits light toward the TFT substrate 50 is provided below the TFT substrate 50. Further, as shown in FIG. 10A, a liquid crystal 40 is filled between the color filter 30 </ b> B and the TFT substrate 50, and the liquid crystal 40 is sealed with a sealing material 41.

カラーフィルタ
次に図9(a)(b)(c)および図10(a)を参照して、本実施の形態におけるカラーフィルタ30Bについて説明する。図9(a)(b)(c)および図10(a)に示すように、カラーフィルタ30Bは、透明基材11と、透明基材11の面11a上に設けられたタッチパネルセンサ層12と、タッチパネルセンサ層12上に設けられたブラックマトリクス層31と、ブラックマトリクス層31間に設けられた複数色の着色層32とを備えている。図1乃至図6に示す第1の実施の形態の場合と同様に、透明基材11とタッチパネルセンサ層12とからタッチパネルセンサ10が構成されている。タッチパネルセンサ層12およびタッチパネルセンサ10は、図1乃至図6に示す第1の実施の形態におけるタッチパネルセンサ層12およびタッチパネルセンサ10と略同一であるので、詳細な説明は省略する。
Color Filter Next, the color filter 30B in the present embodiment will be described with reference to FIGS. 9 (a), 9 (b), 9 (c) and FIG. 10 (a). As shown in FIGS. 9A, 9 </ b> B, and 9 </ b> C, the color filter 30 </ b> B includes a transparent substrate 11 and a touch panel sensor layer 12 provided on the surface 11 a of the transparent substrate 11. A black matrix layer 31 provided on the touch panel sensor layer 12 and a plurality of colored layers 32 provided between the black matrix layers 31 are provided. As in the case of the first embodiment shown in FIGS. 1 to 6, the touch panel sensor 10 is composed of the transparent substrate 11 and the touch panel sensor layer 12. Since the touch panel sensor layer 12 and the touch panel sensor 10 are substantially the same as the touch panel sensor layer 12 and the touch panel sensor 10 in the first embodiment shown in FIG. 1 to FIG.

上述のように、カラーフィルタ30Bにおいて、ブラックマトリクス層31および複数色の着色層32はタッチパネルセンサ層12の上に形成されている。この場合、図10(a)に示すように、透明基材11の面のうち、タッチパネルセンサ層12が形成されている面11aがTFT基板50側となっており、その反対側の面11bが観察側となっている。   As described above, in the color filter 30 </ b> B, the black matrix layer 31 and the colored layers 32 of a plurality of colors are formed on the touch panel sensor layer 12. In this case, as shown to Fig.10 (a), the surface 11a in which the touchscreen sensor layer 12 is formed among the surfaces of the transparent base material 11 is the TFT substrate 50 side, and the surface 11b on the opposite side is the surface 11b. It is the observation side.

本実施の形態によるタッチパネルセンサ10において、図9(c)に示すように、隣接するy方向透明電極単位15同士は、x方向接続部14の上方に絶縁層18を介して配置されたy方向接続部16によりy方向において接続されており、このy方向接続部16は、外周配線17の材料と同一の材料を用いて外周配線17とともに形成されている。このようにy方向接続部16を外周配線17とともに形成することにより、より簡易な構成を有するタッチパネルセンサ10を提供することができる。   In the touch panel sensor 10 according to the present embodiment, as shown in FIG. 9C, the adjacent y-direction transparent electrode units 15 are arranged in the y-direction above the x-direction connecting portion 14 via the insulating layer 18. The y-direction connection portion 16 is formed together with the outer peripheral wiring 17 by using the same material as that of the outer peripheral wiring 17. In this way, by forming the y-direction connection portion 16 together with the outer peripheral wiring 17, the touch panel sensor 10 having a simpler configuration can be provided.

また本実施の形態において、外周配線17およびy方向接続部16は、同一の金属材料から形成されている。このため、y方向接続部16が透明電極材料からなる場合に比べて、y方向接続部16の電気伝導度を高くすることができ、これによって、y方向接続部16が透明電極材料からなる場合に比べて、y方向接続部16の幅を小さくすることができる。このことにより、y方向接続部16によって液晶表示装置60Bの表示が妨げられるのを防ぐことができる。   In the present embodiment, the outer peripheral wiring 17 and the y-direction connecting portion 16 are made of the same metal material. For this reason, compared with the case where the y direction connection part 16 consists of transparent electrode materials, the electrical conductivity of the y direction connection part 16 can be made high, and, thereby, the y direction connection part 16 consists of transparent electrode materials. As compared with the above, the width of the y-direction connecting portion 16 can be reduced. Accordingly, it is possible to prevent the display of the liquid crystal display device 60B from being hindered by the y-direction connecting portion 16.

また本実施の形態によるカラーフィルタ30Bにおいて、図9(b)に示すように、タッチパネルセンサ10のy方向接続部16が、カラーフィルタ30Bの法線方向から見てブラックマトリクス層31に重なり合っている。このことにより、y方向接続部16によって液晶表示装置60Bの表示が妨げられることをさらに防ぐことができる。   In the color filter 30B according to the present embodiment, as shown in FIG. 9B, the y-direction connecting portion 16 of the touch panel sensor 10 overlaps the black matrix layer 31 when viewed from the normal direction of the color filter 30B. . Thus, it is possible to further prevent the display of the liquid crystal display device 60B from being hindered by the y-direction connecting portion 16.

なお本実施の形態において、カラーフィルタ30Bが、透明基材11と、透明基材11の面11a上に設けられたタッチパネルセンサ層12と、タッチパネルセンサ層12上に設けられたブラックマトリクス層31と、ブラックマトリクス層31間に設けられた複数色の着色層32とから構成されている例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、カラーフィルタ30Bは、透明基材11と、透明基材11の面11a上に設けられたタッチパネルセンサ層12A(図7および図8に示す第2の実施の形態参照)と、タッチパネルセンサ層12A上に設けられたブラックマトリクス層31と、ブラックマトリクス層31間に設けられた複数色の着色層32とを備えていてもよい。   In the present embodiment, the color filter 30B includes the transparent base material 11, the touch panel sensor layer 12 provided on the surface 11a of the transparent base material 11, and the black matrix layer 31 provided on the touch panel sensor layer 12. An example is shown in which a plurality of colored layers 32 provided between the black matrix layers 31 are formed. However, the color filter 30B is not limited to this, and the color filter 30B includes the transparent base material 11 and the touch panel sensor layer 12A provided on the surface 11a of the transparent base material 11 (second embodiment shown in FIGS. 7 and 8). A configuration), a black matrix layer 31 provided on the touch panel sensor layer 12 </ b> A, and a plurality of colored layers 32 provided between the black matrix layers 31.

また上記各実施の形態において、タッチパネル機能付の表示装置が、カラーフィルタと、カラーフィルタに対向するよう設けられたTFT基板とを備えた液晶表示装置からなる例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、表示装置が、有機ELディスプレイ、プラズマディスプレイなどのその他の表示装置であってもよい。   In each of the above-described embodiments, an example in which the display device with a touch panel function includes a liquid crystal display device including a color filter and a TFT substrate provided so as to face the color filter is shown. However, the present invention is not limited to this, and the display device may be another display device such as an organic EL display or a plasma display.

10 タッチパネルセンサ
10A タッチパネルセンサ
11 透明基材
11a 透明基材の上側の面
11b 透明基材の下側の面
12 タッチパネルセンサ層
12A タッチパネルセンサ層
13 x方向透明電極単位
13a x方向端子部
14 x方向接続部
15 y方向透明電極単位
15a y方向端子部
15b y方向における端部
16 y方向接続部
16a y方向における端部
17 外周配線
18 絶縁層
21 透明電極材料
22 導電性材料
30 カラーフィルタ
30A カラーフィルタ
30B カラーフィルタ
31 ブラックマトリクス層
32 着色層
40 液晶
41 封止材
50 TFT基板
52 透明電極部
53 配線部
60 液晶表示装置
60B 液晶表示装置
70 タッチパネルセンサ
71 y方向接続部
72 透明電極材料
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Touchscreen sensor 10A Touchscreen sensor 11 Transparent base material 11a Upper surface 11b of a transparent base material Lower surface 12 of a transparent base material Touch panel sensor layer 12A Touch panel sensor layer 13 X direction transparent electrode unit 13a X direction terminal part 14 X direction connection Portion 15 Y-direction transparent electrode unit 15a Y-direction terminal portion 15b End portion 16 in y-direction Y-direction connection portion 16a End portion 17 in y-direction Peripheral wiring 18 Insulating layer 21 Transparent electrode material 22 Conductive material 30 Color filter 30A Color filter 30B Color filter 31 Black matrix layer 32 Colored layer 40 Liquid crystal 41 Sealing material 50 TFT substrate 52 Transparent electrode portion 53 Wiring portion 60 Liquid crystal display device 60B Liquid crystal display device 70 Touch panel sensor 71 Y-direction connection portion 72 Transparent electrode material

Claims (6)

タッチパネル機能付のカラーフィルタにおいて、
平面状に延びる透明基材を備える静電容量式のタッチパネルセンサと、
タッチパネルセンサの透明基材の上側または下側に設けられたブラックマトリクス層と、
ブラックマトリクス層間に設けられた複数色の着色層と、を備え、
前記タッチパネルセンサは、
透明基材の上側においてx方向およびy方向に並ぶよう配置され、x方向にx方向接続部を介して接続されたx方向透明電極単位と、x方向透明電極単位間に位置するy方向透明電極単位とからなる多数の透明電極単位と、
これら多数の透明電極単位の周縁に位置するx方向透明電極単位およびy方向透明電極単位に接続された外周配線と、を備え、
x方向接続部は、透明電極単位の材料と同一の材料を用いて形成され、
隣接するy方向透明電極単位同士は、x方向接続部の下方に絶縁層を介して配置されたy方向接続部によりy方向において接続され、
y方向接続部は、外周配線の材料と同一の材料を用いて外周配線とともに形成され、
y方向接続部が、カラーフィルタの法線方向から見て前記ブラックマトリクス層に重なり合っていることを特徴とするカラーフィルタ。
In color filter with touch panel function,
A capacitive touch panel sensor comprising a transparent substrate extending in a planar shape;
A black matrix layer provided on the upper or lower side of the transparent substrate of the touch panel sensor;
A plurality of colored layers provided between the black matrix layers,
The touch panel sensor
An x-direction transparent electrode unit arranged so as to be aligned in the x-direction and the y-direction on the upper side of the transparent base material and connected in the x-direction via an x-direction connecting portion, and a y-direction transparent electrode positioned between the x-direction transparent electrode units A large number of transparent electrode units,
An outer peripheral wiring connected to the x-direction transparent electrode unit and the y-direction transparent electrode unit located at the periphery of the large number of transparent electrode units,
The x-direction connecting portion is formed using the same material as that of the transparent electrode unit,
Adjacent y-direction transparent electrode units are connected in the y-direction by a y-direction connection portion disposed via an insulating layer below the x-direction connection portion,
The y-direction connecting portion is formed together with the peripheral wiring using the same material as that of the peripheral wiring,
A color filter, wherein the y-direction connecting portion overlaps the black matrix layer as viewed from the normal direction of the color filter.
請求項1に記載のタッチパネル機能付のカラーフィルタの製造方法において、
平面状に延びる透明基材を備える静電容量式のタッチパネルセンサを形成する工程と、
タッチパネルセンサの透明基材の上側または下側にブラックマトリクス層を形成する工程と、
ブラックマトリクス層間に複数色の着色層を形成する工程と、を備え、
前記タッチパネルセンサを形成する工程は、
透明基材の上側の面上に導電性材料を設ける工程と、
設けられた導電性材料をパターンニングして、前記外周配線および前記y方向接続部を形成する工程と、
y方向接続部上に前記絶縁層を形成する工程と、
透明基材の上方から透明基材に透明電極材料を設ける工程と、
設けられた透明電極材料をパターンニングして、前記x方向透明電極単位、前記y方向透明電極単位および前記x方向接続部を形成する工程と、を備え、
前記ブラックマトリクス層の形成工程において、前記タッチパネルセンサのy方向接続部が、カラーフィルタの法線方向から見て前記ブラックマトリクス層に重なり合うよう、ブラックマトリクス層が形成されることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
In the manufacturing method of the color filter with a touch-panel function of Claim 1,
Forming a capacitive touch panel sensor including a transparent substrate extending in a planar shape;
Forming a black matrix layer on the upper or lower side of the transparent substrate of the touch panel sensor;
Forming a colored layer of a plurality of colors between black matrix layers,
The step of forming the touch panel sensor includes:
Providing a conductive material on the upper surface of the transparent substrate;
Patterning the provided conductive material to form the peripheral wiring and the y-direction connecting portion;
forming the insulating layer on the y-direction connecting portion;
Providing a transparent electrode material on the transparent substrate from above the transparent substrate;
Patterning the provided transparent electrode material to form the x-direction transparent electrode unit, the y-direction transparent electrode unit, and the x-direction connection portion, and
In the black matrix layer forming step, the black matrix layer is formed so that the y-direction connection portion of the touch panel sensor overlaps the black matrix layer when viewed from the normal direction of the color filter. Manufacturing method.
前記導電性材料が金属材料からなることを特徴とする請求項に記載のカラーフィルタの製造方法。 The method for manufacturing a color filter according to claim 2 , wherein the conductive material is made of a metal material. タッチパネル機能付の表示装置において、
請求項に記載のカラーフィルタと、
カラーフィルタに対向するよう設けられた表示基板と、を備え、
カラーフィルタのタッチパネルセンサのy方向接続部が、カラーフィルタの法線方向から見て、カラーフィルタのブラックマトリクス層に重なり合っていることを特徴とする表示装置。
In a display device with a touch panel function,
A color filter according to claim 1 ;
A display substrate provided to face the color filter,
A display device, wherein a y-direction connection portion of a touch panel sensor of a color filter overlaps with a black matrix layer of the color filter when viewed from a normal direction of the color filter.
静電容量式タッチパネルセンサにおいて、
平面状に延びる透明基材と、
透明基材の上側においてx方向およびy方向に並ぶよう配置され、x方向にx方向接続部を介して接続されたx方向透明電極単位と、x方向透明電極単位間に位置するy方向透明電極単位とからなる多数の透明電極単位と、
これら多数の透明電極単位の周縁に位置するx方向透明電極単位およびy方向透明電極単位に接続された外周配線と、を備え、
x方向接続部は、透明電極単位の材料と同一の材料を用いて透明電極単位と同一平面上に形成され、
隣接するy方向透明電極単位同士は、x方向接続部の上方に絶縁層を介して配置されたy方向接続部によりy方向において接続され、
y方向接続部は、外周配線の材料と同一の材料を、エッチング液を用いてパターニングすることにより、外周配線とともに形成され、
前記エッチング液として、透明電極単位およびx方向接続部の材料を侵さないエッチング液が用いられることを特徴とする静電容量式タッチパネルセンサ。
In capacitive touch panel sensors,
A transparent substrate extending in a planar shape;
An x-direction transparent electrode unit arranged so as to be aligned in the x-direction and the y-direction on the upper side of the transparent base material and connected in the x-direction via an x-direction connecting portion, and a y-direction transparent electrode positioned between the x-direction transparent electrode units A large number of transparent electrode units,
An outer peripheral wiring connected to the x-direction transparent electrode unit and the y-direction transparent electrode unit located at the periphery of the large number of transparent electrode units,
The x-direction connecting portion is formed on the same plane as the transparent electrode unit using the same material as the transparent electrode unit,
Adjacent y-direction transparent electrode units are connected in the y-direction by a y-direction connection portion disposed via an insulating layer above the x-direction connection portion,
The y-direction connecting portion is formed together with the outer peripheral wiring by patterning the same material as that of the outer peripheral wiring using an etching solution.
The capacitive touch panel sensor, wherein an etchant that does not attack the material of the transparent electrode unit and the x-direction connecting portion is used as the etchant.
請求項に記載のタッチパネルセンサの製造方法において、
前記透明基材を準備する工程と、
透明基材の上側の面上に透明電極材料を設ける工程と、
設けられた透明電極材料をパターンニングして、前記x方向透明電極単位、前記y方向透明電極単位および前記x方向接続部を形成する工程と、
x方向接続部上に前記絶縁層を形成する工程と、
透明基材の上方から透明基材に導電性材料を設ける工程と、
設けられた導電性材料を、エッチング液を用いてパターンニングして、前記外周配線および前記y方向接続部を形成する工程と、を備え、
前記エッチング液として、透明電極材料を侵さないエッチング液が用いられることを特徴とするタッチパネルセンサの製造方法。
In the manufacturing method of the touch panel sensor according to claim 5 ,
Preparing the transparent substrate;
Providing a transparent electrode material on the upper surface of the transparent substrate;
Patterning the provided transparent electrode material to form the x-direction transparent electrode unit, the y-direction transparent electrode unit, and the x-direction connection portion;
forming the insulating layer on the x-direction connecting portion;
Providing a conductive material on the transparent substrate from above the transparent substrate;
Patterning the provided conductive material using an etching solution to form the outer peripheral wiring and the y-direction connection portion, and
A method for manufacturing a touch panel sensor, wherein an etchant that does not attack a transparent electrode material is used as the etchant.
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