JP2013003915A - Projected capacitive touch panel sensor, manufacturing method of the same and display device having projected capacitive touch panel sensor - Google Patents

Projected capacitive touch panel sensor, manufacturing method of the same and display device having projected capacitive touch panel sensor Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To achieve a projected capacitive touch panel sensor having a structure where electrodes and wiring or the like are integrally stacked on a front plate, without incurring increase in the number of processes and increase in manufacturing cost accompanying the increase in the number of processes.SOLUTION: On a surface of cover glass 2, there are formed a rectangular ring shaped frame part 3 which divides a rectangular display area, and jumper wiring 4 for connecting first transparent electrodes (not shown) aligned in an X direction. An annular first insulating film 5 covering the whole of the frame part and multiple second insulating films 6 each of which crosses each of the jumper wiring, extends in a Y direction, and partly overlaps with the jumper wiring are simultaneously formed in the same process, using the same material.

Description

本発明は、コンピュータの位置入力装置に関し、より特定的には、表示画面に重ねて用いられる部投影型静電容量式タッチパネルセンサー及びその製造方法、投影型静電容量式タッチパネルセンサーを備えた表示装置に関する。   The present invention relates to a position input device for a computer, and more specifically, a partial projection type capacitive touch panel sensor used on top of a display screen, a manufacturing method thereof, and a display including a projection type capacitive touch panel sensor. Relates to the device.

近年、携帯電話機や、携帯情報端末、カーナビゲーションシステムを始め、様々な電子機器の操作部にタッチパネルが採用されている。タッチパネルは、液晶パネル等の表示画面上に、指等の接触位置を検出可能な位置入力装置を貼り合わせて構成される。タッチパネルの方式としては、抵抗膜式、静電容量式、光学式、超音波式に大別されるが、それぞれメリット/デメリットがあるため用途に応じて使い分けられている。静電容量式には、更に、表面型と投影型とがある。投影型静電容量式タッチパネルは、X方向及びY方向にグリッド上に配列された複数の電極を備え、マルチタッチが可能であり、現在急速に普及しつつある。   In recent years, touch panels have been adopted for operation units of various electronic devices such as mobile phones, portable information terminals, and car navigation systems. The touch panel is configured by attaching a position input device capable of detecting a contact position of a finger or the like on a display screen such as a liquid crystal panel. The touch panel system is roughly classified into a resistance film type, a capacitance type, an optical type, and an ultrasonic type, and each has a merit / demerit, and is used properly according to the application. The capacitance type further includes a surface type and a projection type. A projected capacitive touch panel includes a plurality of electrodes arranged on a grid in the X direction and the Y direction, is capable of multi-touch, and is currently spreading rapidly.

投影型のタッチパネルセンサー基板には、フィルムタイプとガラスタイプがある。フィルムタイプには、軽量・割れにくい、というメリットがあるものの、高精細の配線パターンの形成が困難で、配線を覆う額縁部が大きくなり、表示エリアが狭くなるという問題や、表面の平滑性の差により、ガラスタイプより見栄えが悪いという問題がある。スマートフォンやタブレットコンピュータでは、ガラスタイプが採用されることが多く、今後は、ガラスタイプの普及が見込まれる。   Projection type touch panel sensor substrates include a film type and a glass type. Although the film type has the advantage of being lightweight and difficult to break, it is difficult to form a high-definition wiring pattern, the frame area covering the wiring is enlarged, the display area is narrowed, and the smoothness of the surface Due to the difference, there is a problem that it looks worse than the glass type. For smartphones and tablet computers, the glass type is often adopted, and the use of the glass type is expected in the future.

投影型タッチパネルセンサー基板は、一般的に5層構造、すなわち、金属配線、X方向用及びY方向用の2層の透明電極(ITO)、2層の透明電極間の層間絶縁層、表面の保護層からなる。また、層間絶縁層を有機膜で形成することによってガラス基板の片面に2層の透明電極層を形成した片面構造と、ガラス基板を層間絶縁層としても使用し、2層の透明電極層をガラスの両面に分けて形成した両面構造の2つに大別される。   Projection type touch panel sensor substrates generally have a five-layer structure, that is, metal wiring, two layers of transparent electrodes (ITO) for X and Y directions, an interlayer insulating layer between two layers of transparent electrodes, and surface protection. Consists of layers. In addition, a single-sided structure in which two transparent electrode layers are formed on one side of a glass substrate by forming an interlayer insulating layer with an organic film, and the glass substrate is also used as an interlayer insulating layer, and the two transparent electrode layers are made of glass. It is roughly divided into two types of double-sided structures formed separately on both sides.

ここで、携帯電話機等のディスプレイには、最表面には前面板(カバーガラス)を設けた構造を採用することが一般的である。このカバーガラスには周辺部の配線等を隠すための額縁部が形成される。この額縁部には、機器のデザインに応じて様々な色や模様を施すことができる。額縁部に色や模様を施す場合、スクリーン印刷で額縁部を形成することが一般的である。ただし、額縁部に色々な色や模様を施すとコストアップに繋がるため、額縁部は黒とするのが主流である。   Here, it is common for a display such as a mobile phone to employ a structure in which a front plate (cover glass) is provided on the outermost surface. The cover glass is formed with a frame portion for concealing peripheral wiring and the like. Various colors and patterns can be applied to the frame portion according to the design of the device. When applying a color or a pattern to a frame part, it is common to form a frame part by screen printing. However, it is mainstream that the frame portion is black because various colors and patterns are applied to the frame portion to increase the cost.

図10は、従来のタッチパネルセンサーの一例を示す断面図である。   FIG. 10 is a cross-sectional view showing an example of a conventional touch panel sensor.

タッチパネルセンサー71は、基板74と、ジャンパ配線75と、絶縁膜76と、透明電極77と、金属配線78と、保護膜79と、額縁部73を有するカバーガラス72とから構成されている。ジャンパ配線75は、紙面と直交する方向に並べて形成される島状の透明電極(図示せず)を接続するためのものである。図10の左右方向に延びる透明電極77は、ジャンパ配線75と立体交差しており、ジャンパ配線75と透明電極77との層間は、絶縁膜76によって絶縁されている。   The touch panel sensor 71 includes a substrate 74, a jumper wiring 75, an insulating film 76, a transparent electrode 77, a metal wiring 78, a protective film 79, and a cover glass 72 having a frame portion 73. The jumper wiring 75 is for connecting island-shaped transparent electrodes (not shown) formed side by side in a direction orthogonal to the paper surface. The transparent electrode 77 extending in the left-right direction in FIG. 10 intersects the jumper wiring 75 and the interlayer between the jumper wiring 75 and the transparent electrode 77 is insulated by an insulating film 76.

図10に示したタイプのタッチパネルセンサー71は、別々に形成したセンサー基板及びカバーガラス72を、接着剤80を介して貼り合わせることによって製造される。   The touch panel sensor 71 of the type shown in FIG. 10 is manufactured by bonding a separately formed sensor substrate and cover glass 72 via an adhesive 80.

特開2007−178758号公報JP 2007-178758 A 特開2009−69321号公報JP 2009-69321 A

図10に示したタッチパネルセンサー71の構造を採用する場合、カバーガラス72とセンサー基板との貼り合わせの際に両者の間に気泡が混入することがあり、これが歩留まりを低下させる要因となっている。また、現在は図10のようにカバーガラス72とセンサー基板とを別に形成する構成が主流ではあるが、両者を一体化することで、カバーガラスまたはフィルムを一層省略し、コストダウンや表示装置を薄型化を実現したいという要望がある。そこで、カバーガラスとセンサー基板との貼り合わせが不要となるようなタッチパネルセンサーの構造及び製造技術が求められている。   When the structure of the touch panel sensor 71 shown in FIG. 10 is adopted, air bubbles may be mixed between the cover glass 72 and the sensor substrate when they are bonded to each other, which causes a decrease in yield. . In addition, as shown in FIG. 10, the configuration in which the cover glass 72 and the sensor substrate are formed separately is currently the mainstream, but by integrating the two, the cover glass or film is further omitted, and the cost reduction and display device are reduced. There is a desire to realize a thinner design. Therefore, there is a need for a touch panel sensor structure and manufacturing technology that eliminates the need to bond the cover glass to the sensor substrate.

図11は、従来のタッチパネルセンサーの他の一例を示す断面図である。   FIG. 11 is a cross-sectional view showing another example of a conventional touch panel sensor.

図11のタッチパネルセンサー81は、カバーガラス72上に直接タッチパネルセンサーの各構成要素を一体的に形成したものである。具体的には、タッチパネルセンサー81は、カバーガラス72と、カバーガラス上に形成された額縁部83と、カバーガラス72のほぼ全面に形成された絶縁膜84と、ジャンパ配線85と、絶縁膜86と、透明電極87と、金属配線88と、保護膜89とから構成されている。ジャンパ配線85は、紙面と直交する方向に並べて形成される島状の透明電極(図示せず)を接続するためのものである。図11の左右方向に延びる透明電極87は、ジャンパ配線85と立体交差しており、ジャンパ配線85と透明電極87との層間は、絶縁膜86によって絶縁されている。このタッチパネルセンサー81の構造は、上述した片面構造に該当する。   The touch panel sensor 81 of FIG. 11 is obtained by integrally forming each component of the touch panel sensor directly on the cover glass 72. Specifically, the touch panel sensor 81 includes a cover glass 72, a frame portion 83 formed on the cover glass, an insulating film 84 formed on almost the entire surface of the cover glass 72, a jumper wiring 85, and an insulating film 86. And a transparent electrode 87, a metal wiring 88, and a protective film 89. The jumper wiring 85 is for connecting island-shaped transparent electrodes (not shown) formed side by side in a direction orthogonal to the paper surface. The transparent electrode 87 extending in the left-right direction in FIG. 11 intersects the jumper wiring 85 and the interlayer between the jumper wiring 85 and the transparent electrode 87 is insulated by an insulating film 86. The structure of the touch panel sensor 81 corresponds to the above-described single-side structure.

額縁部83を黒色とする場合、ネガ型フォトレジストを用いてフォトリソグラフィによって額縁部83を形成する方法と、スクリーン印刷でインキを印刷することによって額縁部83を形成する方法とが考えられる。ネガ型フォトレジストで黒色の額縁部83を形成する場合、カーボンやチタン等顔料を分散させた樹脂が用いられる。この場合、比抵抗値が1×1011以下の低抵抗であること、また、誘電率が10以上と高いことから、センサー基板の形成工程の前に、額縁部83を絶縁性の膜で覆う必要がある。一方、スクリーン印刷によって額縁部83を形成する場合、額縁部83の表面の凹凸が粗いことから、額縁部83上に設けた金属配線88が断線してしまう場合がある。そこで、ネガ型フォトレジストで額縁部83を形成した場合と同様に、額縁部83を絶縁膜84で覆う必要がある。 When the frame portion 83 is black, there are a method of forming the frame portion 83 by photolithography using a negative photoresist and a method of forming the frame portion 83 by printing ink by screen printing. When the black frame portion 83 is formed with a negative photoresist, a resin in which a pigment such as carbon or titanium is dispersed is used. In this case, since the specific resistance value is a low resistance of 1 × 10 11 or less and the dielectric constant is as high as 10 or more, the frame portion 83 is covered with an insulating film before the process of forming the sensor substrate. There is a need. On the other hand, when the frame portion 83 is formed by screen printing, the metal wiring 88 provided on the frame portion 83 may be disconnected because the surface of the frame portion 83 is rough. Therefore, it is necessary to cover the frame portion 83 with the insulating film 84 as in the case where the frame portion 83 is formed of a negative photoresist.

しかしながら、額縁部83を絶縁するための絶縁膜84を設けることによって、図11のタッチパネルセンサー81の層数は図10のタッチパネルセンサー70の層数から1層増加し、製造コストの増加に繋がる。   However, by providing the insulating film 84 for insulating the frame portion 83, the number of layers of the touch panel sensor 81 of FIG. 11 is increased by one from the number of layers of the touch panel sensor 70 of FIG. 10, leading to an increase in manufacturing cost.

それ故に、本発明は、前面板上に電極及び配線等を一体的に積層した構造の投影型静電容量式タッチパネルセンサーを、工程の増加及びこれに伴う製造コストの増加を招くことなく実現することを目的とする。   Therefore, the present invention realizes a projected capacitive touch panel sensor having a structure in which electrodes, wirings, and the like are integrally laminated on a front plate without incurring an increase in manufacturing process and associated manufacturing cost. For the purpose.

本発明に係る投影型静電容量式タッチパネルセンサーは、透明な前面板と、前面板の一方面上に遮光性材料によって形成され、矩形状の表示領域を区画する矩形環状の額縁部と、前面板の一方面上の表示領域内に形成され、表示領域の一辺と平行な第1の方向及びこれと直交する第2の方向に行列状に配列される複数のジャンパ配線と、額縁部の全体を覆う環状の第1の絶縁膜と、第1の絶縁膜と同一材料によって形成され、ジャンパ配線の各々と交差して第2の方向に延び、ジャンパ配線と部分的に重なる複数の第2の絶縁膜と、前面板の一方面上の表示領域内において、第1の方向および第2の方向に行列状に配列され、各々が第1の方向に隣接するジャンパ配線に接続される複数の第1の透明電極と、第1の透明電極の列間を第2の方向に延び、かつ、第2の絶縁膜上でジャンパ配線と交差するように、前面板の一方面上及び第2の絶縁膜上に形成される複数の第2の透明電極と、額縁部上方の第2の絶縁膜上に形成され、第1の透明電極および第2の透明電極に接続される複数の金属配線と、ジャンパ配線と、第1の透明電極と、第2の透明電極と、金属配線とを覆う第3の絶縁膜とを備える。   A projected capacitive touch panel sensor according to the present invention includes a transparent front plate, a rectangular annular frame portion that is formed of a light-shielding material on one surface of the front plate and defines a rectangular display area, A plurality of jumper wirings formed in a display area on one side of the face plate and arranged in a matrix in a first direction parallel to one side of the display area and a second direction perpendicular thereto, and the entire frame part And a plurality of second insulating films that are formed of the same material as the first insulating film, extend in the second direction across each of the jumper wirings, and partially overlap the jumper wirings. In the display region on the one surface of the insulating film and the front plate, a plurality of second electrodes are arranged in a matrix in the first direction and the second direction, and each is connected to a jumper wiring adjacent in the first direction. Between the transparent electrode of 1 and the row of the first transparent electrode is the second one And a plurality of second transparent electrodes formed on one surface of the front plate and on the second insulating film so as to intersect the jumper wiring on the second insulating film, and above the frame portion A plurality of metal wires formed on the second insulating film and connected to the first transparent electrode and the second transparent electrode, a jumper wire, a first transparent electrode, a second transparent electrode, and a metal A third insulating film covering the wiring.

本発明に係る投影型静電容量式タッチパネルセンサーの製造方法は、透明な前面板の一方面上に、遮光性材料を用いて、矩形状の表示領域を区画する矩形環状の額縁部を形成する工程と、前面板の一方面上の表示領域内に、表示領域の一辺と平行な第1の方向及びこれと直交する第2の方向に行列状に配列される複数のジャンパ配線を形成する工程と、額縁部の全体を覆う環状の第1の絶縁膜と、ジャンパ配線の各々と交差して第2の方向に延び、ジャンパ配線と部分的に重なる複数の第2の絶縁膜とを、同一材料を用いて同時に形成する工程と、前面板の一方面上の表示領域内に、第1の方向および第2の方向に行列状に配列され、各々が第1の方向に隣接するジャンパ配線に接続される複数の第1の透明電極を形成する工程と、第1の透明電極の列間を第2の方向に延び、かつ、第2の絶縁膜上でジャンパ配線と交差するように、前面板の一方面上及び第2の絶縁膜上に複数の第2の透明電極を形成する工程と、額縁部上方の第2の絶縁膜上に、第1の透明電極および第2の透明電極に接続される複数の金属配線を形成する工程と、ジャンパ配線と、第1の透明電極と、第2の透明電極と、金属配線とを覆う第3の絶縁膜を形成する工程とを備える。   In the method for manufacturing a projected capacitive touch panel sensor according to the present invention, a rectangular annular frame portion that divides a rectangular display region is formed on one surface of a transparent front plate using a light-shielding material. And a step of forming a plurality of jumper wirings arranged in a matrix in a first direction parallel to one side of the display region and a second direction perpendicular thereto in the display region on one surface of the front plate And an annular first insulating film that covers the entire frame portion, and a plurality of second insulating films that intersect with each of the jumper wirings and extend in the second direction and partially overlap the jumper wirings. The step of forming simultaneously using the material and the jumper wiring arranged in a matrix in the first direction and the second direction in the display area on one side of the front plate, each being adjacent to the first direction Forming a plurality of first transparent electrodes to be connected; and a first transparent electrode. A plurality of second transparent electrodes on one surface of the front plate and on the second insulating film so as to extend between the columns of electrodes in the second direction and intersect the jumper wiring on the second insulating film Forming a first transparent electrode and a plurality of metal wirings connected to the second transparent electrode on the second insulating film above the frame portion, jumper wiring, Forming a third insulating film covering the transparent electrode, the second transparent electrode, and the metal wiring.

工程の増加及びこれに伴う製造コストの増加を招くことなく、前面板上に電極及び配線等を一体的に積層した構造の投影型静電容量式タッチパネルセンサーを実現できる。   A projected capacitive touch panel sensor having a structure in which electrodes, wirings, and the like are integrally laminated on the front plate can be realized without increasing the number of processes and the accompanying increase in manufacturing cost.

実施形態に係るタッチパネルセンサーの平面図Plan view of the touch panel sensor according to the embodiment 図1に示したII−IIラインに沿う断面図Sectional view along the II-II line shown in FIG. 図1に示したIII−IIIラインに沿う断面図Sectional view along the III-III line shown in FIG. 実施形態に係るタッチパネルセンサーの製造工程を示す図The figure which shows the manufacturing process of the touchscreen sensor which concerns on embodiment. 図4に続く製造工程を示す図The figure which shows the manufacturing process following FIG. 図5に続く製造工程を示す図The figure which shows the manufacturing process following FIG. 図6に続く製造工程を示す図The figure which shows the manufacturing process following FIG. 図7に続く製造工程を示す図The figure which shows the manufacturing process following FIG. 図8に続く製造工程を示す図The figure which shows the manufacturing process following FIG. 従来のタッチパネルセンサーの一例を示す断面図Sectional drawing which shows an example of the conventional touch panel sensor 従来のタッチパネルセンサーの他の一例を示す断面図Sectional drawing which shows another example of the conventional touch panel sensor

以下、図1〜9を参照しながら実施形態に係る投影型静電容量式タッチパネルセンサー(以下、単に「タッチパネルセンサー」という)の構造及び製造方法を説明する。尚、図1〜9では、図示を簡略化するために、X方向及びY方向のそれぞれに2ラインの透明電極パターンのみが模式的に示されている。実際には、X方向及びY方向に多数の電極ラインが設けられる。   Hereinafter, the structure and manufacturing method of a projected capacitive touch panel sensor (hereinafter simply referred to as “touch panel sensor”) according to the embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 9 schematically show only two lines of transparent electrode patterns in each of the X direction and the Y direction in order to simplify the illustration. Actually, a large number of electrode lines are provided in the X direction and the Y direction.

図1は、実施形態に係るタッチパネルセンサーの平面図であり、図2は、図1に示したII−IIラインに沿う断面図であり、図3は、図1に示したIII−IIIラインに沿う断面図である。   1 is a plan view of the touch panel sensor according to the embodiment, FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line II-II shown in FIG. 1, and FIG. 3 is taken along line III-III shown in FIG. It is sectional drawing which follows.

タッチパネルセンサー1は、液晶パネルや有機ELパネル等の表示パネルと組み合わせて用いられる位置入力装置である。タッチパネルセンサー1は、X方向に延びる電極パターン及びY方向に延びる電極パターンを有し、指が接触または近接した電極の静電容量変化を検出することによって、指の座標を特定する。   The touch panel sensor 1 is a position input device used in combination with a display panel such as a liquid crystal panel or an organic EL panel. The touch panel sensor 1 has an electrode pattern extending in the X direction and an electrode pattern extending in the Y direction, and specifies the coordinates of the finger by detecting a change in electrostatic capacitance of the electrode that is in contact with or close to the finger.

具体的には、タッチパネルセンサー1は、カバーガラス2と、額縁部3と、複数のジャンパ配線4と、第1の絶縁膜5と、複数の第2の絶縁膜6と、複数の第1の透明電極8と、複数の第2の透明電極9と、金属配線11と、第3の絶縁膜7とを備える。   Specifically, the touch panel sensor 1 includes a cover glass 2, a frame portion 3, a plurality of jumper wires 4, a first insulating film 5, a plurality of second insulating films 6, and a plurality of first films. A transparent electrode 8, a plurality of second transparent electrodes 9, a metal wiring 11, and a third insulating film 7 are provided.

カバーガラス72は、タッチパネルセンサーの最表面となる透明な前面板であり、使用者によってタッチされる部材である。本実施形態では、前面板としてカバーガラス2を使用した例を説明するが、ガラスに代えて、透明フィルムを前面板として使用しても良い。   The cover glass 72 is a transparent front plate serving as the outermost surface of the touch panel sensor, and is a member that is touched by the user. In the present embodiment, an example in which the cover glass 2 is used as the front plate will be described, but a transparent film may be used as the front plate in place of the glass.

額縁部3は、遮光性材料を用いてカバーガラス2の一方面に形成される遮光層であり、中央の窓部分に矩形状の表示領域10を区画し、タッチパネルセンサー1の周縁部に設けられる配線を隠す役割を果たす。額縁部3は、カバーガラス2の周縁部に形成された矩形環状である。額縁部3は、ネガ型フォトレジストまたはインキを用いて形成される。額縁部3は、黒色であることが一般的である。   The frame part 3 is a light shielding layer formed on one surface of the cover glass 2 using a light shielding material, and a rectangular display area 10 is defined in a central window part, and is provided on the peripheral part of the touch panel sensor 1. It plays a role of hiding wiring. The frame portion 3 is a rectangular ring formed on the peripheral edge of the cover glass 2. The frame portion 3 is formed using a negative photoresist or ink. The frame portion 3 is generally black.

ジャンパ配線4は、電気伝導性と透明性とを有する材料を用いて、表示領域10内のカバーガラス2上に形成されている。ジャンパ配線4は、表示領域10の一辺と平行なX方向及びこれと直交するY方向に間欠的かつ行列状に配列されている。ジャンパ配線4は、X方向の電極パターンを構成する透明電極8を接続するためのものである。ジャンパ配線4は、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)によって形成される。   The jumper wiring 4 is formed on the cover glass 2 in the display area 10 using a material having electrical conductivity and transparency. The jumper wiring 4 is arranged intermittently and in a matrix in the X direction parallel to one side of the display area 10 and the Y direction orthogonal thereto. The jumper wiring 4 is for connecting the transparent electrodes 8 constituting the electrode pattern in the X direction. The jumper wiring 4 is made of, for example, ITO (Indium Tin Oxide).

第1の絶縁膜5は、額縁部3の全体を覆うように環状に形成されている。額縁部3がネガ型フォトレジストのような比較的抵抗の低い材料で形成される場合、第1の絶縁膜5は、額縁部3を絶縁するために設けられる。また、額縁部3がインキによって印刷される場合、額縁部3表面の凹凸によって金属配線11の損傷を防止するために設けられる。   The first insulating film 5 is formed in an annular shape so as to cover the entire frame portion 3. When the frame portion 3 is formed of a material having a relatively low resistance such as a negative photoresist, the first insulating film 5 is provided to insulate the frame portion 3. Moreover, when the frame part 3 is printed with ink, it is provided in order to prevent the metal wiring 11 from being damaged by the irregularities on the surface of the frame part 3.

複数の第2の絶縁膜6は、ジャンパ配線4の各々に対応して設けられる。第2の絶縁膜6の各々は、対応するジャンパ配線4と交差してY方向に延びるように形成され、X方向におけるジャンパ配線4の中央部と部分的に重なっている。第2の絶縁膜6は、ジャンパ配線4と透明電極6との間の層間絶縁膜として機能する。ジャンパ配線4と第1の透明電極8とのX方向の接続を可能とするため、第2の絶縁膜6はジャンパ配線4の両端部とは重なっていない。第2の絶縁膜6は、第1の絶縁膜5と同一材料及び同一工程で形成されるが、この点は更に後述する。   The plurality of second insulating films 6 are provided corresponding to each of the jumper wirings 4. Each of the second insulating films 6 is formed so as to cross the corresponding jumper wiring 4 and extend in the Y direction, and partially overlaps the central portion of the jumper wiring 4 in the X direction. The second insulating film 6 functions as an interlayer insulating film between the jumper wiring 4 and the transparent electrode 6. In order to enable the X-direction connection between the jumper wiring 4 and the first transparent electrode 8, the second insulating film 6 does not overlap with both ends of the jumper wiring 4. The second insulating film 6 is formed by the same material and the same process as the first insulating film 5, and this point will be described later.

第1の透明電極8は、Y座標を検出するためのものである。第1の透明電極8は、電気伝導性と透明性とを有する材料を用いて、表示領域10内のカバーガラス2上に形成されている。第1の透明電極8は、X方向及びY方向に間欠的かつ行列状に配列され、X方向に隣接するジャンパ配線4に電気的に接続されている。第1の透明電極8は、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)によって形成される。   The first transparent electrode 8 is for detecting the Y coordinate. The first transparent electrode 8 is formed on the cover glass 2 in the display region 10 using a material having electrical conductivity and transparency. The first transparent electrodes 8 are intermittently arranged in a matrix in the X direction and the Y direction, and are electrically connected to the jumper wiring 4 adjacent in the X direction. The first transparent electrode 8 is made of, for example, ITO (Indium Tin Oxide).

第2の透明電極9は、X座標を検出するためのものである。本実施形態では、第2の透明電極9は、第1の透明電極8と同一材料を用いて、第1の透明電極8と同時に形成される。第2の透明電極9は、Y方向に整列する第1の透明電極8の列間をY方向に延び、図2に示すように、第2の絶縁膜6上でジャンパ配線4と立体交差している。   The second transparent electrode 9 is for detecting the X coordinate. In the present embodiment, the second transparent electrode 9 is formed at the same time as the first transparent electrode 8 using the same material as the first transparent electrode 8. The second transparent electrode 9 extends in the Y direction between the columns of the first transparent electrodes 8 aligned in the Y direction, and three-dimensionally intersects with the jumper wiring 4 on the second insulating film 6 as shown in FIG. ing.

金属配線11は、額縁部3を覆う第1の絶縁膜5上に形成され、カバーガラス2の周縁部に位置する第1の透明電極8及び第2の透明電極9に電気的に接続されている。   The metal wiring 11 is formed on the first insulating film 5 that covers the frame portion 3, and is electrically connected to the first transparent electrode 8 and the second transparent electrode 9 that are located at the peripheral edge of the cover glass 2. Yes.

第3の絶縁膜7は、ジャンパ配線4と、第1の透明電極8と、第2の透明電極9と、金属配線11とを覆うように、カバーガラス2のほぼ全面に形成されている。第3の絶縁膜7は、カバーガラス2上に形成された各構成要素を保護する保護膜として機能する。   The third insulating film 7 is formed on almost the entire surface of the cover glass 2 so as to cover the jumper wiring 4, the first transparent electrode 8, the second transparent electrode 9, and the metal wiring 11. The third insulating film 7 functions as a protective film that protects each component formed on the cover glass 2.

ここで、本実施形態に係るタッチパネルセンサー1の製造方法を説明する。   Here, a manufacturing method of the touch panel sensor 1 according to the present embodiment will be described.

図4〜9は、実施形態に係るタッチパネルセンサーの製造工程を示す図である。図4〜9において、(a)は断面図であり、(b)は平面図である。また、図4〜9の(b)に示す二点鎖線は、(a)の断面図の切断位置を表す。   4-9 is a figure which shows the manufacturing process of the touchscreen sensor which concerns on embodiment. 4-9, (a) is a cross-sectional view and (b) is a plan view. Moreover, the dashed-two dotted line shown to (b) of FIGS. 4-9 represents the cutting position of sectional drawing of (a).

まず、図4に示すように、遮光性材料を用いて、カバーガラス2の一方面上に矩形環状の額縁部3を形成する。遮光性材料としてネガ型フォトレジストを用いる場合、コーターを用いてカバーガラス2上にフォトレジストを塗布し、プリベークを行う。プリベークによってフォトレジスト中の溶剤を除去した後、額縁部3に対応するマスクパターンが形成されたフォトマスクを用いてプロキシミティー露光を行い、フォトレジストにマスクパターンを転写する。その後、現像処理を行うことによって、額縁部3が形成される。あるいは、遮光性材料としてインキを用いて、スクリーン印刷によってカバーガラス2に額縁部3を積層しても良い。   First, as shown in FIG. 4, a rectangular annular frame portion 3 is formed on one surface of the cover glass 2 using a light shielding material. When a negative photoresist is used as the light shielding material, the photoresist is applied onto the cover glass 2 using a coater, and prebaked. After removing the solvent in the photoresist by pre-baking, proximity exposure is performed using a photomask on which a mask pattern corresponding to the frame portion 3 is formed, and the mask pattern is transferred to the photoresist. Then, the frame part 3 is formed by performing a development process. Alternatively, the frame portion 3 may be laminated on the cover glass 2 by screen printing using ink as a light shielding material.

次に、図5に示すように、額縁部3によって区画された表示領域10に、X方向及びY方向に配列される複数のジャンパ配線4を形成する。具体的には、カバーガラス2の全面にスパッタリングによってITO膜を形成した後、形成したITO膜上にポジ型フォトレジストを塗布し、プリベークを行う。ジャンパ配線4に対応するマスクパターンが形成されたフォトマスクを用いてプロキシミティー露光を行い、フォトレジストにマスクパターンを転写する。現像後、ジャンパ配線となる部分(フォトレジストが残存している部分)以外のITO膜をエッチング除去する。その後、残存したポジレジストを剥離することによって、カバーガラス2上にジャンパ配線4が形成される。   Next, as shown in FIG. 5, a plurality of jumper wirings 4 arranged in the X direction and the Y direction are formed in the display area 10 partitioned by the frame portion 3. Specifically, an ITO film is formed on the entire surface of the cover glass 2 by sputtering, and then a positive photoresist is applied on the formed ITO film and prebaked. Proximity exposure is performed using a photomask on which a mask pattern corresponding to the jumper wiring 4 is formed, and the mask pattern is transferred to the photoresist. After the development, the ITO film other than the portion that becomes the jumper wiring (the portion where the photoresist remains) is removed by etching. Thereafter, the remaining positive resist is peeled off to form the jumper wiring 4 on the cover glass 2.

次に、図6に示すように、額縁部3の全体を覆う矩形環状の第1の絶縁膜5と、ジャンパ配線4の一部と交差する第2の絶縁膜6とを同時に形成する。具体的には、カバーガラス2の全面に絶縁性樹脂よりなるフォトレジストを塗布し、プリベークを行う。第1の絶縁膜5及び第2の絶縁膜6に対応するマスクパターンが形成されたフォトマスクを用いてプロキシミティー露光を行い、フォトレジストにマスクパターンを転写する。その後、現像処理を行うことによって、第1の絶縁膜5及び第2の絶縁膜6が形成される。   Next, as shown in FIG. 6, a rectangular annular first insulating film 5 that covers the entire frame portion 3 and a second insulating film 6 that intersects a part of the jumper wiring 4 are formed simultaneously. Specifically, a photoresist made of an insulating resin is applied to the entire surface of the cover glass 2 and prebaked. Proximity exposure is performed using a photomask in which a mask pattern corresponding to the first insulating film 5 and the second insulating film 6 is formed, and the mask pattern is transferred to the photoresist. Thereafter, development processing is performed to form the first insulating film 5 and the second insulating film 6.

次に、図7に示すように、額縁部3の上面を覆う第2の絶縁膜6上に金属配線11を形成する。具体的には、カバーガラス2の全面にスパッタリングによって金属薄膜を形成した後、形成した金属薄膜上にポジ型フォトレジストを塗布し、プリベークを行う。金属配線11に対応するマスクパターンが形成されたフォトマスクを用いてプロキシミティー露光を行い、フォトレジストにマスクパターンを転写する。現像後、金属配線となる部分(フォトレジストが残存している部分)以外の金属薄膜をエッチング除去する。その後、残存したポジレジストを剥離することによって、第2の絶縁膜6上に金属配線11が形成される。尚、金属配線11は、Mo/Al/Moの積層体、Ag、Ag合金等によって形成できる。   Next, as shown in FIG. 7, the metal wiring 11 is formed on the second insulating film 6 that covers the upper surface of the frame portion 3. Specifically, after forming a metal thin film on the entire surface of the cover glass 2 by sputtering, a positive photoresist is applied on the formed metal thin film and prebaked. Proximity exposure is performed using a photomask in which a mask pattern corresponding to the metal wiring 11 is formed, and the mask pattern is transferred to the photoresist. After the development, the metal thin film other than the portion that becomes the metal wiring (the portion where the photoresist remains) is removed by etching. Thereafter, the remaining positive resist is removed to form the metal wiring 11 on the second insulating film 6. The metal wiring 11 can be formed of a Mo / Al / Mo laminate, Ag, an Ag alloy, or the like.

次に、図8に示すように、第1の透明電極8及び第2の透明電極9を同時に形成する。具体的には、カバーガラス2の全面にスパッタリングによってITO膜を形成した後、形成したITO膜上にポジ型フォトレジストを塗布し、プリベークを行う。第1の透明電極8及び第2の透明電極9に対応するマスクパターンが形成されたフォトマスクを用いてプロキシミティー露光を行い、フォトレジストにマスクパターンを転写する。現像後、第1の透明電極8及び第2の透明電極9となる部分(フォトレジストが残存している部分)以外のITO膜をエッチング除去する。その後、残存したポジレジストを剥離することによって、第1の透明電極8及び第2の透明電極9が形成される。   Next, as shown in FIG. 8, the first transparent electrode 8 and the second transparent electrode 9 are formed simultaneously. Specifically, an ITO film is formed on the entire surface of the cover glass 2 by sputtering, and then a positive photoresist is applied on the formed ITO film and prebaked. Proximity exposure is performed using a photomask on which a mask pattern corresponding to the first transparent electrode 8 and the second transparent electrode 9 is formed, and the mask pattern is transferred to the photoresist. After the development, the ITO film other than the portions to be the first transparent electrode 8 and the second transparent electrode 9 (the portion where the photoresist remains) is removed by etching. Then, the 1st transparent electrode 8 and the 2nd transparent electrode 9 are formed by peeling the remaining positive resist.

そして、図9に示すように、ジャンパ配線4と、第1の透明電極8と、第2の透明電極9と、金属配線11とを覆う第3の絶縁膜7を形成する。具体的には、カバーガラス2の全面に絶縁性樹脂よりなるフォトレジストを塗布し、プリベークを行う。第3の絶縁膜7に対応するマスクパターンが形成されたフォトマスクを用いてプロキシミティー露光を行い、フォトレジストにマスクパターンを転写する。その後、現像処理を行うことによって、第3の絶縁膜7が形成される。   Then, as shown in FIG. 9, a third insulating film 7 that covers the jumper wiring 4, the first transparent electrode 8, the second transparent electrode 9, and the metal wiring 11 is formed. Specifically, a photoresist made of an insulating resin is applied to the entire surface of the cover glass 2 and prebaked. Proximity exposure is performed using a photomask on which a mask pattern corresponding to the third insulating film 7 is formed, and the mask pattern is transferred to the photoresist. Thereafter, the third insulating film 7 is formed by performing development processing.

このような工程を経ることによって、本実施形態に係るタッチパネルセンサー1が完成する。本実施形態では、図6に示した工程において、額縁部3を覆う第1の絶縁膜5を、ジャンパ配線4と第2の絶縁膜6との層間絶縁膜となる第2の絶縁膜6と同一材料を用いて同時に形成するため、第1の絶縁膜5を形成するための別途の工程を必要としない。したがって、カバーガラス2上に透明電極等を一体的に積層した構造を採用しつつ、製造工程及び製造コストの増加を招くことなく、タッチパネルセンサー1を実現することができる。   Through such steps, the touch panel sensor 1 according to the present embodiment is completed. In the present embodiment, in the step shown in FIG. 6, the first insulating film 5 that covers the frame portion 3 is replaced with the second insulating film 6 that becomes an interlayer insulating film between the jumper wiring 4 and the second insulating film 6. Since the same material is used for simultaneous formation, a separate process for forming the first insulating film 5 is not required. Therefore, the touch panel sensor 1 can be realized without increasing the manufacturing process and the manufacturing cost while adopting the structure in which the transparent electrode or the like is integrally laminated on the cover glass 2.

尚、本実施形態に係るタッチパネルセンサー1は、液晶パネルや有機ELパネル等の表示パネルと組み合わされ、位置入力装置を備えた表示装置として使用される。表示パネルは、複数の画素が行列状に配列された画素領域を有し、入力信号に基づいて、画素領域に画像を構成する。タッチパネルセンサー1は、表示領域10が表示パネルの画素領域に重なるように、表示パネルの前面に配置される。   The touch panel sensor 1 according to the present embodiment is used as a display device including a position input device in combination with a display panel such as a liquid crystal panel or an organic EL panel. The display panel has a pixel region in which a plurality of pixels are arranged in a matrix, and forms an image in the pixel region based on an input signal. The touch panel sensor 1 is disposed on the front surface of the display panel so that the display area 10 overlaps the pixel area of the display panel.

本発明は、スマートフォンやタブレットコンピュータ、カーナビゲーションシステム等の電子機器用の位置入力装置として利用できる。   The present invention can be used as a position input device for electronic devices such as smartphones, tablet computers, and car navigation systems.

1 タッチパネルセンサー
2 カバーガラス
3 額縁部
4 ジャンパ配線
5 第1の絶縁膜
6 第2の絶縁膜
7 第3の絶縁膜
8 第1の透明電極
9 第2の透明電極
10 表示領域
11 金属配線
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Touch panel sensor 2 Cover glass 3 Frame part 4 Jumper wiring 5 1st insulating film 6 2nd insulating film 7 3rd insulating film 8 1st transparent electrode 9 2nd transparent electrode 10 Display area 11 Metal wiring

Claims (7)

投影型静電容量式タッチパネルセンサーであって、
透明な前面板と、
前記前面板の一方面上に遮光性材料によって形成され、矩形状の表示領域を区画する矩形環状の額縁部と、
前記前面板の一方面上の前記表示領域内に形成され、前記表示領域の一辺と平行な第1の方向及びこれと直交する第2の方向に行列状に配列される複数のジャンパ配線と、
前記額縁部の全体を覆う環状の第1の絶縁膜と、
前記第1の絶縁膜と同一材料によって形成され、前記ジャンパ配線の各々と交差して前記第2の方向に延び、前記ジャンパ配線と部分的に重なる複数の第2の絶縁膜と、
前記前面板の一方面上の前記表示領域内において、前記第1の方向および前記第2の方向に行列状に配列され、各々が前記第1の方向に隣接するジャンパ配線に接続される複数の第1の透明電極と、
前記第1の透明電極の列間を前記第2の方向に延び、かつ、前記第2の絶縁膜上で前記ジャンパ配線と交差するように、前記前面板の前記一方面上及び前記第2の絶縁膜上に形成される複数の第2の透明電極と、
前記額縁部上方の前記第2の絶縁膜上に形成され、前記第1の透明電極および前記第2の透明電極に接続される複数の金属配線と、
前記ジャンパ配線と、前記第1の透明電極と、前記第2の透明電極と、前記金属配線とを覆う第3の絶縁膜とを備える、投影型静電容量式タッチパネルセンサー。
A projected capacitive touch panel sensor,
A transparent front plate,
A rectangular annular frame portion that is formed of a light-shielding material on one surface of the front plate and defines a rectangular display region;
A plurality of jumper wirings formed in the display region on one surface of the front plate and arranged in a matrix in a first direction parallel to one side of the display region and a second direction perpendicular thereto;
An annular first insulating film covering the entire frame portion;
A plurality of second insulating films formed of the same material as the first insulating film, extending in the second direction across each of the jumper wirings and partially overlapping the jumper wirings;
In the display area on one surface of the front plate, a plurality of rows arranged in a matrix in the first direction and the second direction, each connected to a jumper wiring adjacent in the first direction A first transparent electrode;
The first transparent electrode extends between the first transparent electrodes in the second direction and intersects the jumper wiring on the second insulating film and on the one surface of the front plate and the second surface. A plurality of second transparent electrodes formed on the insulating film;
A plurality of metal wirings formed on the second insulating film above the frame portion and connected to the first transparent electrode and the second transparent electrode;
A projected capacitive touch panel sensor, comprising: a jumper wiring; the first transparent electrode; the second transparent electrode; and a third insulating film covering the metal wiring.
前記額縁部は、ネガ型のフォトレジストによって形成される、請求項1に記載の投影型静電容量式タッチパネルセンサー。   The projected capacitive touch panel sensor according to claim 1, wherein the frame portion is formed of a negative photoresist. 前記額縁部は、スクリーン印刷用のインキによって形成される、請求項1に記載の投影型静電容量式タッチパネルセンサー。   The projected capacitive touch panel sensor according to claim 1, wherein the frame portion is formed of screen printing ink. 表示装置であって、
複数の画素が行列状に配列された画素領域を有し、入力信号に基づいて、前記画素領域に画像を構成する表示パネルと、
前記画素領域を覆うように取り付けられる、請求項1〜3のいずれかに記載の投影型静電容量式タッチパネルセンサーとを備える、表示装置。
A display device,
A display panel having a pixel region in which a plurality of pixels are arranged in a matrix, and forming an image in the pixel region based on an input signal;
A display apparatus comprising: the projected capacitive touch panel sensor according to claim 1, which is attached so as to cover the pixel region.
投影型静電容量式タッチパネルセンサーの製造方法であって、
透明な前面板の一方面上に、遮光性材料を用いて、矩形状の表示領域を区画する矩形環状の額縁部を形成する工程と、
前記前面板の一方面上の前記表示領域内に、前記表示領域の一辺と平行な第1の方向及びこれと直交する第2の方向に行列状に配列される複数のジャンパ配線を形成する工程と、
前記額縁部の全体を覆う環状の第1の絶縁膜と、前記ジャンパ配線の各々と交差して前記第2の方向に延び、前記ジャンパ配線と部分的に重なる複数の第2の絶縁膜とを、同一材料を用いて同時に形成する工程と、
前記前面板の一方面上の前記表示領域内に、前記第1の方向および前記第2の方向に行列状に配列され、各々が前記第1の方向に隣接するジャンパ配線に接続される複数の第1の透明電極を形成する工程と、
前記第1の透明電極の列間を前記第2の方向に延び、かつ、前記第2の絶縁膜上で前記ジャンパ配線と交差するように、前記前面板の前記一方面上及び前記第2の絶縁膜上に複数の第2の透明電極を形成する工程と、
前記額縁部上方の前記第2の絶縁膜上に、前記第1の透明電極および前記第2の透明電極に接続される複数の金属配線を形成する工程と、
前記ジャンパ配線と、前記第1の透明電極と、前記第2の透明電極と、前記金属配線とを覆う第3の絶縁膜を形成する工程とを備える、投影型静電容量式タッチパネルセンサーの製造方法。
A method of manufacturing a projected capacitive touch panel sensor,
Forming a rectangular ring-shaped frame portion that divides a rectangular display region on one surface of the transparent front plate using a light-shielding material;
Forming a plurality of jumper wirings arranged in a matrix in a first direction parallel to one side of the display region and a second direction perpendicular thereto in the display region on one surface of the front plate; When,
An annular first insulating film that covers the entire frame portion, and a plurality of second insulating films that intersect with each of the jumper wirings and extend in the second direction and partially overlap the jumper wirings Forming simultaneously using the same material;
In the display area on one surface of the front plate, a plurality of rows arranged in a matrix in the first direction and the second direction, each connected to a jumper wiring adjacent in the first direction Forming a first transparent electrode;
The first transparent electrode extends between the first transparent electrodes in the second direction and intersects the jumper wiring on the second insulating film and on the one surface of the front plate and the second surface. Forming a plurality of second transparent electrodes on the insulating film;
Forming a plurality of metal wirings connected to the first transparent electrode and the second transparent electrode on the second insulating film above the frame portion;
Manufacturing a projected capacitive touch panel sensor, comprising: forming a third insulating film that covers the jumper wiring, the first transparent electrode, the second transparent electrode, and the metal wiring. Method.
前記額縁部を形成する工程において、前記額縁部は、ネガ型のフォトレジストをパターニングすることによって形成される、請求項5に記載の投影型静電容量式タッチパネルセンサーの製造方法。   6. The method of manufacturing a projected capacitive touch panel sensor according to claim 5, wherein in the step of forming the frame portion, the frame portion is formed by patterning a negative photoresist. 前記額縁部を形成する工程において、前記額縁部は、インキをスクリーン印刷することによって形成される、請求項5に記載の投影型静電容量式タッチパネルセンサーの製造方法。   The method of manufacturing a projected capacitive touch panel sensor according to claim 5, wherein in the step of forming the frame portion, the frame portion is formed by screen-printing ink.
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014224937A (en) * 2013-05-17 2014-12-04 大日本印刷株式会社 Front face protective plate for display device with wiring line and method for manufacturing the protective plate, and display device
JP2015018532A (en) * 2013-07-10 2015-01-29 サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. Touch sensor
KR20150095417A (en) * 2014-02-13 2015-08-21 엘지이노텍 주식회사 Touch window
WO2015182662A1 (en) * 2014-05-28 2015-12-03 京セラ株式会社 Mobile terminal device
JP2015535627A (en) * 2013-06-04 2015-12-14 ティーピーケイ タッチ ソリューションズ(シアメン)インコーポレーテッド Touch panel and manufacturing method thereof
JP2015228107A (en) * 2014-05-30 2015-12-17 富士フイルム株式会社 Transparent resin film, transfer film, conductive film laminate, capacitance type input device, and image display device
WO2020097755A1 (en) * 2018-11-12 2020-05-22 Boe Technology Group Co., Ltd. Touch substrate, touch control display apparatus, and method of fabricating touch substrate
CN113867572A (en) * 2021-10-09 2021-12-31 武汉天马微电子有限公司 Display panel and display device

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107765917B (en) * 2017-10-18 2021-08-27 京东方科技集团股份有限公司 Preparation method of touch panel, touch panel and touch device
CN109213391B (en) 2018-09-25 2020-11-17 京东方科技集团股份有限公司 Touch display panel, manufacturing method thereof and display device

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002296609A (en) * 2001-03-29 2002-10-09 Nec Corp Liquid crystal display device and its manufacturing method
US20100164881A1 (en) * 2008-12-25 2010-07-01 Au Optronics Corp. Touch Panel Structure
WO2010150668A1 (en) * 2009-06-23 2010-12-29 ジオマテック株式会社 Capacitance type input device and production method thereof
JP2011090443A (en) * 2009-10-21 2011-05-06 Optrex Corp Projection type capacitance touch panel, method of manufacturing the same, and electronic equipment
US20110134070A1 (en) * 2009-12-03 2011-06-09 Transtouch Technology Inc. Capacitive touch panel

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002296609A (en) * 2001-03-29 2002-10-09 Nec Corp Liquid crystal display device and its manufacturing method
US20100164881A1 (en) * 2008-12-25 2010-07-01 Au Optronics Corp. Touch Panel Structure
WO2010150668A1 (en) * 2009-06-23 2010-12-29 ジオマテック株式会社 Capacitance type input device and production method thereof
JP2011090443A (en) * 2009-10-21 2011-05-06 Optrex Corp Projection type capacitance touch panel, method of manufacturing the same, and electronic equipment
US20110134070A1 (en) * 2009-12-03 2011-06-09 Transtouch Technology Inc. Capacitive touch panel

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014224937A (en) * 2013-05-17 2014-12-04 大日本印刷株式会社 Front face protective plate for display device with wiring line and method for manufacturing the protective plate, and display device
JP2015535627A (en) * 2013-06-04 2015-12-14 ティーピーケイ タッチ ソリューションズ(シアメン)インコーポレーテッド Touch panel and manufacturing method thereof
JP2015018532A (en) * 2013-07-10 2015-01-29 サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. Touch sensor
KR102237915B1 (en) * 2014-02-13 2021-04-08 엘지이노텍 주식회사 Touch window
KR20150095417A (en) * 2014-02-13 2015-08-21 엘지이노텍 주식회사 Touch window
WO2015182662A1 (en) * 2014-05-28 2015-12-03 京セラ株式会社 Mobile terminal device
US10241600B2 (en) 2014-05-28 2019-03-26 Kyocera Corporation Mobile terminal
JP2015226204A (en) * 2014-05-28 2015-12-14 京セラ株式会社 Portable terminal
JP2015228107A (en) * 2014-05-30 2015-12-17 富士フイルム株式会社 Transparent resin film, transfer film, conductive film laminate, capacitance type input device, and image display device
WO2020097755A1 (en) * 2018-11-12 2020-05-22 Boe Technology Group Co., Ltd. Touch substrate, touch control display apparatus, and method of fabricating touch substrate
US11216132B2 (en) 2018-11-12 2022-01-04 Hefei Xinsheng Optoelectronics Technology Co., Ltd. Touch substrate, touch control display apparatus, and method of fabricating touch substrate
CN113867572A (en) * 2021-10-09 2021-12-31 武汉天马微电子有限公司 Display panel and display device
CN113867572B (en) * 2021-10-09 2024-01-23 武汉天马微电子有限公司 Display panel and display device

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