JP2677281B2 - Picture tube and picture tube reflection and antistatic treatment method - Google Patents

Picture tube and picture tube reflection and antistatic treatment method

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JP2677281B2
JP2677281B2 JP4298845A JP29884592A JP2677281B2 JP 2677281 B2 JP2677281 B2 JP 2677281B2 JP 4298845 A JP4298845 A JP 4298845A JP 29884592 A JP29884592 A JP 29884592A JP 2677281 B2 JP2677281 B2 JP 2677281B2
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conductive film
picture tube
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reflection
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昌由 沖山
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、受像管に関するもの
で、特にガラスパネルの帯電防止及び表面反射防止と反
射像の暈しを行った受像管と受像管の反射及び帯電防止
処理方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a picture tube, and more particularly to a picture tube having anti-static and anti-reflection of a glass panel and shading of a reflected image, and a reflection and anti-static treatment method for the picture tube. Is.

【0002】[0002]

【従来の技術】受像管では、高電圧が陽極電極として印
加された場合に、そのガラスパネル表面が帯電される。
この帯電によりパネル面に塵埃が吸着されてパネル面が
汚れたり、或いは手を近付けると、電撃を受けたような
不快感がある。
2. Description of the Related Art In a picture tube, the surface of its glass panel is charged when a high voltage is applied as an anode electrode.
Due to this charging, dust is adsorbed on the panel surface and the panel surface becomes dirty, or when a hand is brought close to the panel surface, there is an unpleasant sensation such as an electric shock.

【0003】このため、ガラスパネル表面に透明導電膜
を形成し、バルブ固定金具を通じて接地を行う帯電防止
型受像管が市販されている。この帯電防止型受像管に使
用されている透明導電膜の材料は、酸化錫(SnO3
や酸化インジウム(In23)のほかに、酸化チタン
(TiO2)等を主体としているが、その透明導電膜の
屈折率がガラス(n=1.52)に比べて約2.0と高
いため、一般的な膜厚の条件では、透明導電膜の膜厚が
増す程、ガラスパネル表面の反射像が強調される。
Therefore, an antistatic picture tube having a transparent conductive film formed on the surface of a glass panel and grounded through a valve fixing metal fitting is commercially available. The material of the transparent conductive film used in this antistatic picture tube is tin oxide (SnO 3 )
In addition to indium oxide (In 2 O 3 ) and titanium oxide (TiO 2 ) as the main component, the transparent conductive film has a refractive index of about 2.0 as compared with glass (n = 1.52). Since the thickness is high, the reflection image on the surface of the glass panel is emphasized as the thickness of the transparent conductive film increases under the condition of the general film thickness.

【0004】即ち、垂直入射の場合、フレネルの式にお
いて、入射光と反射光との間の位相角が(1)式の条件
を満たす場合は、反射光は最も強くなる。 (2m+1)π=(4π/λ)nd ……(1) λ…波長,n…屈折率,d…膜厚
That is, in the case of vertical incidence, in the Fresnel equation, when the phase angle between the incident light and the reflected light satisfies the condition of the equation (1), the reflected light becomes the strongest. (2m + 1) π = (4π / λ) nd (1) λ ... wavelength, n ... refractive index, d ... film thickness

【0005】先ず、標準とする光の波長λを550nm
として、ガラスパネルの表面における垂直の反射率は、
通常のガラスでは約4.3%であり、帯電防止(以下
では単に帯電膜と略称する)では図3に示すよう、70
0オングストローム付近で極大値約20%の反射率とな
る。前述の透明導電膜の材料を用いて、連続的な生産に
適した熱CVD法により帯電膜を形成する場合、その膜
厚が厚くなると、膜に亀裂が入る場合があり、数百オン
グストローム程度の膜厚が一層の場合の限界である。こ
の膜厚の範囲では、図3から明らかなように反射率を下
げるために、膜厚を薄くする必要があるが、膜の導電抵
抗は逆に増すことになってしまう。
First, the standard wavelength λ of light is 550 nm.
As a result, the vertical reflectance on the surface of the glass panel is
In ordinary glass is about 4.3%, the antistatic film (hereinafter
Is simply referred to as a charging film) , as shown in FIG.
The reflectance has a maximum value of about 20% near 0 angstrom. When the above-mentioned transparent conductive film material is used to form a charging film by a thermal CVD method suitable for continuous production, if the film thickness becomes thick, the film may crack, and the film may have a thickness of several hundred angstroms. This is the limit when the film thickness is one. In this range of film thickness, it is necessary to reduce the film thickness in order to reduce the reflectance as is clear from FIG. 3, but the conductive resistance of the film will increase.

【0006】従って、表面反射率が許容上限の範囲に設
定され、膜の導電抵抗が許容下限の1010Ω/□付近と
なる膜厚である約100〜150オングストロームをも
つ透明導電膜を用いて製品化された受像管が市販されて
いる。
Therefore, a transparent conductive film having a surface reflectance of about 100 to 150 angstroms, which is set to the upper limit of the allowable range and the conductive resistance of the film is near the lower limit of 10 10 Ω / □, is used. Commercialized picture tubes are commercially available.

【0007】次に表面反射率を改善し、反射像の輪郭を
暈して、見易さを改善している場合がある。この方法
は、帯電膜上に、アルコールを溶媒とした酸化珪素液を
スプレーして、帯電防止膜の表面を凹凸面として仕上げ
る方法であり、特開平2−72549号公報に開示され
ている。
Next, the surface reflectance may be improved and the contour of the reflected image may be shaded to improve the visibility. This method is a method of spraying a silicon oxide solution using alcohol as a solvent on the charging film to finish the surface of the antistatic film as an uneven surface, and is disclosed in JP-A-2-72549.

【0008】この従来の方法によれば、凹凸面の平均膜
厚を1000オングストロームとし、凹凸の高さ、即ち
面の粗さを0.5μmRz必要としている。このため、
面の凸部の頂上から少なくとも深さが60%の部分は膜
厚2000オングストローム以上となっており、図4に
示すように従来の帯電膜では、波長450〜680nm
の視感度領域で反射防止効果は殆ど生じない。従って、
凹部の谷間の部分の1000オングストローム前後の膜
厚の部分のみに反射防止効果が得られるというものであ
る。
According to this conventional method, the average film thickness of the uneven surface is set to 1000 Å, and the height of the uneven surface, that is, the surface roughness of 0.5 μmRz is required. For this reason,
At least 60% of the depth from the top of the convex portion of the surface has a film thickness of 2000 angstroms or more. As shown in FIG. 4, the conventional charging film has a wavelength of 450 to 680 nm.
The antireflection effect hardly occurs in the visibility region of. Therefore,
The antireflection effect can be obtained only in the portion having a film thickness of about 1000 Å in the valley portion of the recess.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】従来、反射防止膜に帯
電防止特性を持たせた多層膜方式は、高真空中にて蒸着
又はスパッタによる多層膜を形成して各層間の光の入射
と反射との位相差によって反射率を極めて効果的に低減
させたものである。多層膜方式の反射防止特性を図5に
示す。
Conventionally, a multilayer film system in which an antireflection film has an antistatic property is formed by forming a multilayer film by vapor deposition or sputtering in a high vacuum to allow the incidence and reflection of light between layers. The reflectivity is extremely effectively reduced by the phase difference between and. The antireflection property of the multilayer film system is shown in FIG.

【0010】この多層膜は、受像管のような大型の製品
を真空容器に入れて、ガラスパネルに積層形成されるも
のである。この多層膜は、高屈折率層と低屈折率層とを
交互に積層したものであり、各層に必要とされる材料を
10オングストローム単位の精度で膜を蒸着又はスパッ
タの繰返しによって形成するものである。
This multilayer film is formed by placing a large product such as a picture tube in a vacuum container and stacking it on a glass panel. This multilayer film is formed by alternately stacking high-refractive index layers and low-refractive index layers, and a material required for each layer is formed by repeating vapor deposition or sputtering with an accuracy of 10 angstrom units. is there.

【0011】この方法によれば、連続的に大量生産する
場合には、極めて大規模な装置を必要とし、作業性,製
品歩留りの向上についても困難な問題が多い。
According to this method, in the case of continuous mass production, an extremely large-scale apparatus is required, and there are many difficult problems in improving workability and product yield.

【0012】また、帯電膜を熱CVD法により形成する
方法がある。この方法は、高真空の雰囲気が必要でな
く、膜厚が精度よく形成できるため、大量生産に適して
おり、実用化されている。
There is also a method of forming the charging film by a thermal CVD method. This method is suitable for mass production and is put into practical use because it does not require a high vacuum atmosphere and the film thickness can be formed accurately.

【0013】そこで、熱CVD法を用いて、帯電膜の第
1層を形成し、第2層をスプレー方式(特開平2−72
549号公報)によって反射防止と散乱の機能を持たせ
た薄膜として形成した場合には、散乱面の凹部では、反
射防止の効果があるものの、凸部については、膜が厚く
(1)式の条件が成立しないため、反射防止効果はな
い。前述した方法を総合的に評価した場合、反射防止効
果が少ないという問題点と、更にスプレーによる膜形成
では、均一の膜厚を形成することが難しく、数百オング
ストロームの膜厚差が生じた部分に反射色のムラが発生
するという問題点があった。
Therefore, the thermal CVD method is used to form the first layer of the charging film, and the second layer is sprayed (Japanese Patent Laid-Open No. 2-72).
No. 549), a concave portion of the scattering surface has an antireflection effect when formed as a thin film having antireflection and scattering functions, but the convex portion has a thick film of the formula (1). Since the condition is not satisfied, there is no antireflection effect. When the above-mentioned methods are comprehensively evaluated, there is a problem that the antireflection effect is small, and further, it is difficult to form a uniform film thickness by spraying, and a film thickness difference of several hundred angstroms is generated. However, there is a problem that unevenness of the reflection color occurs.

【0014】更に特開昭60−39744号公報の例で
は、研摩ペース上でもろい粒子を使用して、ガラスパネ
ル表面に機械的な凹凸を形成し、更に反射防止膜は、真
空系のなかで、気相成長又はスパッタリングにより製作
されるものであった。
Further, in the example of Japanese Patent Laid-Open No. 60-39744, mechanical particles are formed on the glass panel surface by using brittle particles even on the polishing pace, and the antireflection film is formed in a vacuum system. It was manufactured by vapor phase growth or sputtering.

【0015】特開昭60−39744号公報に開示され
た方法は、機械的な凹凸付けを行った後に、塩溶液によ
る化学的処理によってガラスの補強を行う工程が必要で
ある。更に引例では、真空容器の中で15分間のグロー
放電による化学的活性化を行う必要があることは、前述
の多層の反射防止膜形成と同様であり、大量生産に必要
な作業性を得るには、非常に大規模な装置が必要とな
る。更に反射防止膜を真空中で気相成長又はスパッタリ
ングで製作する工程が必要であり、複雑な真空装置を追
加するため、簡便な方法で、反射防止膜を形成すること
ができず、製造コストの上昇を招来するという問題点が
あった。
The method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-39744 requires a step of reinforcing glass by chemical treatment with a salt solution after mechanical unevenness. Further, in the reference, it is necessary to perform chemical activation by glow discharge for 15 minutes in a vacuum container, which is the same as the above-mentioned multilayer antireflection film formation, and it is necessary to obtain workability necessary for mass production. Requires a very large scale equipment. Further, a step of manufacturing the antireflection film by vapor phase growth or sputtering in a vacuum is required, and since a complicated vacuum device is added, the antireflection film cannot be formed by a simple method, resulting in a low manufacturing cost. There was a problem that it would lead to a rise.

【0016】更に特開昭59−98442号公報に開示
された粗面化加工されたガラスパネル表面に透明導電膜
を付設した受像管については、公報の記載から明らかな
ように、導電層を真空蒸着によって形成する方法で実現
しており、前述の通り製造コスト高を招く方法であっ
た。そこでコストを改善するため、導電膜を熱CVD法
によって実現した場合には、従来の技術の項で説明した
ように、膜厚が厚くなると、反射率が増加するという問
題が生じてしまう。すなわち、例え粗面加工されたガラ
スパネル表面であっても、約100〜150オングスト
ロームの膜厚の反射防止膜を形成すると、グロス値(6
0度鏡面光沢度法による)が、従来約60である粗面の
場合には約10増加して、目視感覚として鏡面に近づ
き、粗面による散乱効果が感じられなくなる限界に到す
る。
Further, as for the picture tube disclosed in JP-A-59-98442, in which a transparent conductive film is attached to the surface of a glass panel having a roughened surface, the conductive layer is vacuumed, as is apparent from the description of the publication. It is realized by a method of forming by vapor deposition, and as described above, it is a method that causes a high manufacturing cost. Therefore, in order to improve the cost, in the case where the conductive film is realized by the thermal CVD method, the reflectance increases as the film thickness increases, as described in the section of the related art. That is, even if the glass panel surface is roughened, if the antireflection film having a film thickness of about 100 to 150 angstrom is formed, the gloss value (6
In the case of a rough surface which is conventionally about 60, the value of 0 degree (according to the specular gloss method) is increased by about 10 to approach a mirror surface as a visual feeling, and the scattering effect due to the rough surface cannot be sensed.

【0017】従って、帯電防止膜の膜厚が前述した範囲
に固定されるため、反射率と導電抵抗を低下させるには
限界があり、更に改善が必要となっていた。
Therefore, since the film thickness of the antistatic film is fixed within the above-mentioned range, there is a limit to lowering the reflectance and the conductive resistance, and further improvement is required.

【0018】本発明の目的は、CVD法及び回転塗布方
法によって形成される多層積層構造の帯電防止膜を有す
る受像管及び受像管の反射及び帯電防止処理方法を提供
することにある。
An object of the present invention is to provide a picture tube having a multi-layered antistatic film formed by a CVD method and a spin coating method, and a reflection and antistatic treatment method for the picture tube.

【0019】[0019]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る受像管は、散乱面と、透明導電膜と、
透明薄膜とを有し、パネル内面の蛍光体に電子ビームを
照射して該蛍光体を発光させる構造の受像管であって、
散乱面は、凹凸模様が付されたパネル外面であって、
記凹凸の高さが0.6μmRz乃至0.8μmRzの範
囲内である均質な表面粗さを有するものであり、透明
電膜は、散乱面上に積層形成され、その表面に凹凸模様
を有し、接地されるものであって、屈折率が約2であ
り、かつ膜厚がほぼ均一で約300オングストロームに
設定されたものであり、透明薄膜は、透明導電膜上に積
層形成され、その表面に凹凸模様を有し、屈折率が約
1.5であり、かつ平均膜厚が1100乃至1500オ
ングストロームに設定されたものである。
In order to achieve the above object, a picture tube according to the present invention comprises a scattering surface, a transparent conductive film , and
A picture tube having a transparent thin film and having a structure for irradiating the phosphor on the inner surface of the panel with an electron beam to cause the phosphor to emit light,
Scattering surface, a panel outer surface uneven pattern is attached, before
The height of the unevenness is in the range of 0.6 μm Rz to 0.8 μm Rz .
Are those having a homogeneous surface roughness is囲内, transparent
The electric film is laminated on the scattering surface, has an uneven pattern on the surface, and is grounded. The electric film has a refractive index of about 2 and a film thickness of about 300 angstroms. The transparent thin film was laminated on the transparent conductive film , had an uneven pattern on its surface, had a refractive index of about 1.5, and had an average film thickness of 1100 to 1500 angstroms. It is a thing.

【0020】[0020]

【0021】[0021]

【0022】また、本発明に係る受像管の反射及び帯電
防止処理方法は、物理的処理工程と、化学的処理工程
と、透明導電膜形成工程と、透明薄膜形成工程とを有
し、受像管のパネル外面に反射及び帯電防止処理を施す
上記受像管の反射及び帯電防止処理方法であって、物理
的処理工程は、受像管のパネル外表面に超硬微粒子を吹
き付けることにより、パネル外表面に凹凸を付す前処理
を行うものであり、化学的処理工程は、物理的処理がさ
れたパネル外表面に、さらに化学的なエッチング処理に
より凹凸模様を付して、散乱面として仕上げるものであ
り、透明導電膜形成工程は、散乱面上にCVD法によ
り、表面に凹凸模様を有する透明な導電膜を形成するも
のであり、透明薄膜形成工程は、アルコール系溶液を
記導電膜に滴下しつつ、パネルを回転させることによ
り、前記導電膜上に表面に凹凸模様を有する透明な薄膜
を塗布,形成するものである。
Further, the reflection and antistatic treatment method for a picture tube according to the present invention has a physical treatment step, a chemical treatment step, a transparent conductive film forming step, and a transparent thin film forming step. Reflective and antistatic treatment is applied to the outer surface of the panel
A method of reflection and antistatic treatment of the picture tube, the physical treatment step, by spraying ultra-hard particles on the panel outer surface of the picture tube, to perform a pretreatment to give unevenness to the panel outer surface, In the chemical treatment step, the outer surface of the panel that has been physically treated is further subjected to a chemical etching treatment to give an uneven pattern to finish as a scattering surface, and the transparent conductive film forming step is performed on the scattering surface. by CVD is intended to form a transparent conductive film having an uneven pattern on the surface, a transparent thin film forming step, before the alcoholic solution
The transparent thin film having an uneven pattern on the surface is applied and formed on the conductive film by rotating the panel while dropping the conductive film .

【0023】[0023]

【作用】受像管のガラスパネルの表面に超硬微粒子を吹
き付ける物理的前処理を施した後、高圧の酸及びアルカ
リによる化学的なエッチングにより表面粗さ0.6μm
Rz乃至0.8μmRzの凹凸面を作り、その表面にア
ンチモンをドープした酸化錫又は錫をドープした酸化イ
ンジウム等をCVD法によって凹凸の表面形状に沿わせ
て精度良く約300オングストロームの厚さの帯電膜の
第1層を形成する。更にその上に酸化珪素を含んだ、極
めて希釈なアルコール系溶液を滴下し、回転塗布方式に
よって、凹凸面上に薄膜の第2層を形成する。以上の構
成によって散乱面上に2層の膜を積層して帯電防止及び
反射光量の低減及び反射像の輪郭を暈した効果を得る。
[Function] After the physical pretreatment of spraying ultra-hard particles on the surface of the glass panel of the picture tube, the surface roughness is 0.6 μm by chemical etching with high-pressure acid and alkali.
Rz to 0.8 μm Rz uneven surface is formed, and antimony-doped tin oxide or tin-doped indium oxide is deposited on the surface of the uneven surface by the CVD method with accuracy of about 300 angstroms. Form the first layer of the membrane. Further, an extremely dilute alcohol-based solution containing silicon oxide is dropped thereon, and a thin film second layer is formed on the uneven surface by a spin coating method. With the above-described structure, two layers of films are laminated on the scattering surface, and the effects of preventing charging, reducing the amount of reflected light, and blurring the contour of the reflected image are obtained.

【0024】[0024]

【実施例】以下に図面を参照しながら本発明について詳
細に説明する。図1(a)は、本発明の実施例に係る受
像管を示す断面図、(b)はガラスパネルを示す拡大断
面図である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail below with reference to the drawings. FIG. 1A is a sectional view showing a picture tube according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1B is an enlarged sectional view showing a glass panel.

【0025】図1において、受像管のガラスパネルの内
面には、蛍光体層2とアルミ膜層3とが積層形成されて
いる。そして、高電圧の印加により電子銃から放出され
た電子ビーム4が蛍光体層2及びアルミ膜層3に照射さ
れ、蛍光体が発光する構造となっている。この高電圧印
加の過渡において、蛍光体層2及びアルミ膜層3の積層
体と対向するガラスパネル面1は帯電する。
In FIG. 1, a phosphor layer 2 and an aluminum film layer 3 are laminated on the inner surface of a glass panel of a picture tube. Then, the phosphor layer 2 and the aluminum film layer 3 are irradiated with the electron beam 4 emitted from the electron gun by applying a high voltage, and the phosphor emits light. In this transient of high voltage application, the glass panel surface 1 facing the laminate of the phosphor layer 2 and the aluminum film layer 3 is charged.

【0026】そこで、図2に示すように従来のガラスパ
ネルの表面には、帯電を防止する帯電膜5を形成し、こ
の膜5を接地しており、更に帯電膜5上に反射像の輪郭
を暈すために散乱薄膜(又は反射防止膜)6を形成した
ものがあった。
Therefore, as shown in FIG. 2, a charging film 5 for preventing charging is formed on the surface of a conventional glass panel, and this film 5 is grounded, and the outline of the reflected image is further formed on the charging film 5. In some cases, a scattering thin film (or an antireflection film) 6 was formed in order to improve the brightness.

【0027】図2に示す下層の透明の帯電膜5は、図3
に示すように、その屈折率と膜厚の積(n×d)が光の
主波長の1/4に等しくなるまでは、反射率が増加傾向
を示す。例えば、屈折率2.0で、光の主波長550n
mの場合、膜厚が約700オングストロームに至るま
で、反射率は増加するため、膜厚を抑える必要がある。
The lower transparent charging film 5 shown in FIG.
As shown in, the reflectance tends to increase until the product (n × d) of the refractive index and the film thickness becomes equal to ¼ of the dominant wavelength of light. For example, the refractive index is 2.0 and the dominant wavelength of light is 550n.
In the case of m, the reflectance increases until the film thickness reaches about 700 Å, so it is necessary to suppress the film thickness.

【0028】一方、帯電防止効果を向上させるには、膜
厚を厚くして導電抵抗を下げる必要があり、実用的には
膜厚範囲で妥協点を見出さざるを得なかった。例えば、
帯電膜としてアンチモンをドープした酸化錫は、前述と
同様に屈折率(n)2.0であるから、上記の条件から
膜厚を100〜150オングストロームとして、反射率
を実用的な範囲の下限に抑えた結果、導電抵抗値は10
9〜1010Ω/□となり、帯電防止効果の限界付近に極
限されてはいるが、製品として実用化されている。これ
を更に導電抵抗を下げても、反射率の増加を抑えるに
は、多層膜を形成させれば良いが、前述の通り製造上難
しい面が多く、代りに2層膜による生産性の良い方法が
特開平2−72549号公報に開示されている。
On the other hand, in order to improve the antistatic effect, it is necessary to increase the film thickness to reduce the conductive resistance, and practically, there was no choice but to find a compromise in the film thickness range. For example,
Since tin oxide doped with antimony as the charging film has a refractive index (n) of 2.0 as described above, the film thickness is set to 100 to 150 angstroms and the reflectance is set to the lower limit of the practical range from the above conditions. As a result of suppressing, the conductive resistance value is 10
It is 9 to 10 10 Ω / □, which is the limit of the antistatic effect, but it has been put to practical use as a product. In order to suppress the increase in reflectance even if the conductive resistance is further reduced, a multilayer film may be formed. However, as described above, there are many difficult aspects in manufacturing, and instead, a method of using a two-layer film with good productivity is used. Is disclosed in JP-A-2-72549.

【0029】この方法によれば、導電抵抗を下げる場合
に起こる反射率増加に対する抑制と、反射像の暈し効果
とを同時に得ようとするものであり、先ず導電抵抗を下
げる実用的な方法については、本発明も同様の製造方式
を採用しているので、本発明で実施した例をもとに説明
する。
According to this method, it is intended to simultaneously obtain the suppression of the increase in reflectance that occurs when the conductive resistance is lowered and the effect of blurring the reflected image. First, a practical method for lowering the conductive resistance will be described. Since the present invention also employs the same manufacturing method, an explanation will be given based on an example implemented in the present invention.

【0030】帯電膜は、膜厚が厚い程、導電抵抗が低く
なるため、所望の抵抗値が得られる膜厚まで厚さを増す
必要がある。一般には、106Ω/□以下の抵抗値があ
れば、理想的である。
The thicker the charging film, the lower the conductive resistance, and therefore it is necessary to increase the thickness to a film thickness at which a desired resistance value can be obtained. In general, a resistance value of 10 6 Ω / □ or less is ideal.

【0031】一方、熱CVD法によって、例えば、アン
チモンドープ酸化錫又は錫をドープした酸化インジウム
が経済的な面を考慮して1回の成膜よって形成できる実
用的な膜厚の限界は、ほぼ300オングストロームであ
り、この膜厚における導電抵抗は、105〜106Ω/□
である。
On the other hand, the practical practical limit of the film thickness that can be formed by thermal CVD method, for example, antimony-doped tin oxide or tin-doped indium oxide by one-time film formation is almost in consideration. It is 300 Å, and the conductive resistance at this film thickness is 10 5 to 10 6 Ω / □.
It is.

【0032】従って、上記の条件により平滑なガラスパ
ネル面へ屈折率(n)2.0,膜厚300オングストロ
ームの帯電膜5を第1層として形成し、次に酸化珪素
(SiO2)を主体とした透明薄膜を回転塗布方法によ
り各種の膜厚に形成し、光の波長に対する反射率を実測
した結果を図4に示してある。
Therefore, under the above conditions, a charging film 5 having a refractive index (n) of 2.0 and a film thickness of 300 Å is formed as a first layer on a smooth glass panel surface, and then silicon oxide (SiO 2 ) is mainly used. FIG. 4 shows the results of actually measuring the reflectance with respect to the wavelength of light by forming the transparent thin film having various thicknesses by a spin coating method.

【0033】図4に示すように視感度が最も高い波長5
50nm付近で極小となる透明薄膜の膜厚は、1100
オングストロームである。この波長領域(500〜55
0オングストローム)の反射率が極小であるため、反射
像は一層暗く感じられ、更に反射色は青紫色であり、視
覚上感じの良い色と受け止められていた。
As shown in FIG. 4, the wavelength 5 having the highest luminosity factor is used.
The film thickness of the transparent thin film which becomes the minimum around 50 nm is 1100.
Angstrom. This wavelength range (500-55
Since the reflectance of 0 angstroms) was extremely small, the reflected image was felt to be darker, and the reflected color was bluish purple, which was perceived as a visually pleasing color.

【0034】しかし反射像は、図5に示す平滑なガラス
パネル面へ形成した多層反射防止膜の反射率特性のよう
に、可視領域ではガラスの表面反射率4.3%に比べて
0.4%以下となっており著しい反射防止効果がある
が、これを2層膜とした場合は図6に示す反射率の特性
図からわかるように、視感度領域での反射率は、0.8
%である。これは、ガラス表面反射に比べ、反射防止効
果は現われているが、散乱面により輪郭をぼかした反射
像を見なれた目には、反射像の輪郭が明瞭であるため、
改善する必要がある。
However, the reflection image shows 0.4% in comparison with the surface reflectance of 4.3% of the glass in the visible region, as shown in the reflectance characteristic of the multilayer antireflection film formed on the smooth glass panel surface shown in FIG. %, Which has a significant antireflection effect, but when this is a two-layer film, the reflectance in the luminosity region is 0.8, as can be seen from the reflectance characteristic diagram shown in FIG.
%. This shows the antireflection effect compared to the reflection on the glass surface, but the contour of the reflection image is clear to the eyes when the reflection image whose contour is blurred by the scattering surface is seen,
Need to improve.

【0035】そこで、例えば特開平2−72549号公
報において、帯電膜5上に酸化珪素をスプレーにより吹
き付けて、散乱薄膜6の平均膜厚を反射率の極小となる
1000オングストロームにすることが提案されてい
る。しかし、散乱薄膜6の表面粗さは、0.5μmRz
が必要であることから、凹凸の面の凸部は、反射防止効
果が少なく、凹面部分の反射防止効果により、総合的に
は、帯電防止膜5の膜厚を上げた場合の反射率の増加を
抑制して、反射率を5.3%とすることができたが、ガ
ラスの反射率4.3%を大幅に下回る程の効果は得られ
なかった。
Therefore, for example, in Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No. 2-72549, it is proposed to spray silicon oxide onto the charging film 5 by a spray so that the average film thickness of the scattering thin film 6 becomes 1000 angstrom at which the reflectance is minimized. ing. However, the surface roughness of the scattering thin film 6 is 0.5 μmRz.
Therefore, the convex portion of the uneven surface has little antireflection effect, and the antireflection effect of the concave surface portion generally increases the reflectance when the film thickness of the antistatic film 5 is increased. Although the reflectance could be suppressed to 5.3% by suppressing the above, the effect that was significantly lower than the reflectance of glass of 4.3% was not obtained.

【0036】そこで、本発明では、先ず帯電膜7の第1
層を形成する前に、ガラスパネル面1の表面に高圧ノズ
ルから超高微粒子を吹き付けて物理的な前処理を行い、
次いで酸性液及びアルカリ性液を高圧乃至低圧で交互に
吹き付ける化学的なエッチングにより、均質な凹凸のガ
ラス散乱面9を形成している。
Therefore, in the present invention, first, the first charging film 7
Before forming the layer, the glass panel surface 1 is subjected to a physical pretreatment by spraying ultra-high particles from a high-pressure nozzle.
Next, the glass scattering surface 9 having a uniform unevenness is formed by chemical etching in which an acidic liquid and an alkaline liquid are alternately sprayed at high pressure or low pressure.

【0037】本発明によれば、ガラスパネル面1に吹き
付ける粒子の形状と粒径及び吹き付け条件を整えて前処
理を行うと、その後の酸性とアルカリ性液の吹き付けの
条件を整えることによって、ガラスパネル全体で均一な
散乱面を形成することができる。
According to the present invention, when the shape and particle size of the particles to be sprayed on the glass panel surface 1 are adjusted and pre-treatment is carried out, the conditions for the subsequent spraying of the acidic and alkaline liquids are adjusted so that the glass panel It is possible to form a uniform scattering surface as a whole.

【0038】実施例において、表面の粗さを、0.4μ
mRzから1.0μmRzまでの範囲までに変更して試
作を行い、この散乱面に、400℃を超える高温でアン
チモンをドープした酸化錫を霧状に拡散吹き付けを行
う、いわゆる熱CVD法によって微細な凹凸面へほぼ均
一に膜厚300オングストロームの帯電膜7すなわち帯
電防止膜としての透明導電膜を形成する。この状態で表
面抵抗は106 Ω/□であるから、充分な導電抵抗であ
る。さらに帯電膜7上に粘度が極めて低粘度(2〜4C
PS)の酸化珪素を主体としたアルコール希釈溶液を滴
下しながら、膜厚が均一になるような回転数の組合せに
よって、ガラスパネルを回転させ、凹凸の面に1100
オングストローム程度の透明薄膜8を形成する。
In the embodiment, the surface roughness is 0.4 μm.
A prototype was made by changing the range from mRz to 1.0 μmRz, and antimony-doped tin oxide was atomized and sprayed onto this scattering surface at a high temperature of over 400 ° C. The charging film 7 having a film thickness of 300 angstroms, that is, the belt, is almost uniformly formed on the uneven surface.
A transparent conductive film as an antistatic film is formed. In this state, the surface resistance is 10 6 Ω / □, which is a sufficient conductive resistance. Furthermore, the viscosity on the charging film 7 is extremely low (2-4C).
The glass panel is rotated by dropping the alcohol diluted solution containing silicon oxide (PS) as the main component and rotating the glass panel at a combination of the rotational speeds so that the film thickness becomes uniform.
A transparent thin film 8 having a thickness of about angstrom is formed.

【0039】本発明の反射防止膜の反射率測定結果を図
7に示す。図7から明らかなように、反射率は図6のも
のに比べて、その極小値が0.8%まで上昇したが、光
の波長変化に対する反射率の変化が略4%以下に抑えら
れて少ないため、反射色の青紫色は多少薄らいでいる。
さらに、視感度領域での反射率は1.3%であり、前述
の平滑なガラスパネル面へ塗布した場合の反射特性(図
6)の視感度領域の反射率に比べて若干反射率が上がる
ものの、ぼかし効果により同等以上の効果が得られた。
この条件の試作品の表面粗さについては、OA作業にお
いて、OA作業が行われる室内の天井灯の映り込みによ
る反射像の輪郭の暈し具合と、今回評価に使用した高密
度表示画像は、1024ドット(水平方向)×768ラ
イン(走査線数)によって形成された英字であるが、こ
の表示した文字は、最近増々増加している反転表示(白
地に黒抜き文字)法により評価したところ、白地の部分
の走査線と、表面粗さとの干渉により発生するいわゆる
ギラツキ現象が見られた。従って、前記暈し具合と、上
記ギラツキ現象については、相対する特性であり、これ
については、適当な値を求める。そこで、ガラスパネル
面1の表面粗さを0.4μmRzから1.0μmRzま
での試作品を作成し、これに2層の膜を積層して、評価
を行った結果を図8に示す。
The results of measuring the reflectance of the antireflection film of the present invention are shown in FIG. As is apparent from FIG. 7, the minimum value of the reflectance is increased to 0.8% as compared with that of FIG. 6, but the change of the reflectance with respect to the wavelength change of light is suppressed to about 4% or less. Due to the small number, the bluish purple color of the reflected color is slightly faint.
Furthermore, the reflectance in the luminosity region is 1.3%, which is slightly higher than the reflectance in the luminosity region of the reflection characteristics (FIG. 6) when applied to the smooth glass panel surface described above. However, the same or better effect was obtained due to the blurring effect.
Regarding the surface roughness of the prototype under these conditions, in the OA work, the blurring of the contour of the reflected image due to the reflection of the ceiling light in the room where the OA work is performed, and the high-density display image used for this evaluation are: Although it is an alphabetic character formed by 1024 dots (horizontal direction) x 768 lines (number of scanning lines), this displayed character was evaluated by the reverse display (black character on white background) which has been increasing recently. A so-called glare phenomenon occurred due to the interference between the scanning lines on the white background and the surface roughness. Therefore, the faintness and the glare phenomenon are opposite characteristics, and appropriate values are obtained. Therefore, FIG. 8 shows the results of evaluation by making a prototype with a surface roughness of the glass panel surface 1 from 0.4 μm Rz to 1.0 μm Rz, and laminating a two-layer film on the prototype.

【0040】図8の評価結果によれば、0.6μmRz
から0.8μmRzの表面粗さのガラスパネルの使用が
適当であるという結果が得られた。
According to the evaluation result of FIG. 8, 0.6 μmRz
From this, it was found that the use of a glass panel having a surface roughness of 0.8 μmRz is suitable.

【0041】[0041]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、2層の透
明帯電膜と透明薄膜との膜厚の相互調整によって反射防
止効果を向上させることにより、視感度領域における反
射率を1.3%としてパネル表面での反射を約1/3程
度に抑制できる。しかも、ガラス散乱面により反射像の
暈し効果を向上させることにより、反射色はやや薄い青
紫色であり、視覚上感じの良い色調とすることができ
る。従って、青紫色の反射像の光量は抑えられ、その輪
郭は暈せることができ、周囲光による反射像が表面画像
の観測の妨げとならず、見易い画面を実現できる。さら
に導電膜による導電抵抗は106Ω/□となっており、
帯電防止特性を向上できるという効果を有する。
As described above, the present invention improves the antireflection effect by mutually adjusting the film thickness of the two-layer transparent charging film and the transparent thin film, so that the reflectance in the luminosity region is 1.3. %, The reflection on the panel surface can be suppressed to about 1/3. Moreover, by improving the opacity effect of the reflected image by the glass scattering surface, the reflected color is a slightly pale bluish purple, and it is possible to obtain a visually pleasing color tone. Therefore, the light amount of the bluish-purple reflected image is suppressed, the contour thereof can be blurred, the reflected image of ambient light does not hinder the observation of the surface image, and an easily viewable screen can be realized. Furthermore, the conductive resistance of the conductive film is 10 6 Ω / □,
It has the effect of improving the antistatic property.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】(a)は本発明の一実施例に係る受像管を示す
断面図、(b)は拡大断面図である。
1A is a sectional view showing a picture tube according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1B is an enlarged sectional view.

【図2】(a)は従来の受像管を示す断面図、(b)は
拡大断面図である。
2A is a sectional view showing a conventional picture tube, and FIG. 2B is an enlarged sectional view.

【図3】帯電防止膜の膜厚と反射率を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a film thickness and a reflectance of an antistatic film.

【図4】透明膜の膜厚変化に対する波長と反射率を示す
図である。
FIG. 4 is a diagram showing a wavelength and a reflectance with respect to a change in film thickness of a transparent film.

【図5】多層反射防止膜の波長と反射率を示す図であ
る。
FIG. 5 is a diagram showing a wavelength and a reflectance of a multilayer antireflection film.

【図6】2層反射防止膜の波長と反射率を示す図であ
る。
FIG. 6 is a diagram showing the wavelength and reflectance of a two-layer antireflection film.

【図7】散乱面に2層反射防止膜を形成した場合の波長
と反射率を示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing a wavelength and a reflectance when a two-layer antireflection film is formed on a scattering surface.

【図8】表面粗さによる反射像の暈し具合と画像のギラ
ツキの関係を示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing the relationship between the degree of reflection image reflection due to surface roughness and the image glare.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ガラスパネル面 5,7 帯電膜 6 散乱薄膜 8 透明薄膜 9 ガラス散乱面 1 glass panel surface 5,7 charging film 6 scattering thin film 8 transparent thin film 9 glass scattering surface

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 沖山 昌由 東京都港区芝五丁目7番1号 日本電気 株式会社内 (72)発明者 伴野 務 東京都港区芝五丁目7番1号 日本電気 株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−34840(JP,A) 特開 平4−74568(JP,A) 実開 昭63−133049(JP,U) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued Front Page (72) Inventor Masayuki Okiyama 5-7-1 Shiba, Minato-ku, Tokyo Within NEC Corporation (72) Inventor Tsutomu Banno 5-7-1 Shiba, Minato-ku, Tokyo Japan Electric Co., Ltd. (56) Reference JP-A-63-34840 (JP, A) JP-A-4-74568 (JP, A) Actual development Sho-63-133049 (JP, U)

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 散乱面と、透明導電膜と、透明薄膜とを
有し、パネル内面の蛍光体に電子ビームを照射して該蛍
光体を発光させる構造の受像管であって、 散乱面は、凹凸模様が付されたパネル外面であって、
記凹凸の高さが0.6μmRz乃至0.8μmRzの範
囲内である均質な表面粗さを有するものであり、 透明導電膜は、散乱面上に積層形成され、その表面に凹
凸模様を有し、接地されるものであって、屈折率が約2
であり、かつ膜厚がほぼ均一で約300オングストロー
ムに設定されたものであり、 透明薄膜は、透明導電膜上に積層形成され、その表面に
凹凸模様を有し、屈折率が約1.5であり、かつ平均
厚が1100乃至1500オングストロームに設定され
たものであることを特徴とする受像管。
1. A picture tube having a scattering surface, a transparent conductive film, and a transparent thin film, and having a structure for irradiating the phosphor on the inner surface of the panel with an electron beam to cause the phosphor to emit light. , a panel outer surface uneven pattern is attached, before
The height of the unevenness is in the range of 0.6 μm Rz to 0.8 μm Rz .
The transparent conductive film has a uniform surface roughness inside, is laminated on the scattering surface, has an uneven pattern on the surface, and is grounded, and has a refractive index of about 2
, And the and is intended film thickness is set to about 300 angstroms in substantially uniform, transparent thin film is laminated on the transparent conductive film has an uneven pattern on its surface, a refractive index of about 1.5 And the average film thickness is set to 1100 to 1500 angstroms.
【請求項2】 物理的処理工程と、化学的処理工程と、
透明導電膜形成工程と、透明薄膜形成工程とを有し、受
像管のパネル外面に反射及び帯電防止処理を施す請求項
1記載の受像管の反射及び帯電防止処理方法であって、 物理的処理工程は、受像管のパネル外表面に超硬微粒子
を吹き付けることにより、パネル外表面に凹凸を付す前
処理を行うものであり、 化学的処理工程は、物理的処理がされたパネル外表面
に、さらに化学的なエッチング処理により凹凸模様を付
して、散乱面として仕上げるものであり、 透明導電膜形成工程は、散乱面上にCVD法により、表
面に凹凸模様を有する透明な導電膜を形成するものであ
り、 透明薄膜形成工程は、アルコール系溶液を前記導電膜
滴下しつつ、パネルを回転させることにより、前記導電
上に表面に凹凸模様を有する透明な薄膜を塗布,形成
するものであることを特徴とする受像管の反射及び帯電
防止処理方法。
2. A physical treatment step and a chemical treatment step,
A transparent conductive film forming step, a transparent thin film forming step, the reflection and antistatic treatment applied to the outer panel surface of the CRT claims
The reflection and antistatic treatment method for a picture tube according to 1 , wherein the physical treatment step is a pretreatment for imparting irregularities to the outer surface of the panel by spraying ultrafine particles on the outer surface of the panel of the picture tube. There, the chemical treatment step, the physical treatment panels outer surface, denoted by the uneven pattern by further chemical etching treatment, which finished as a scattering surface, the transparent conductive film forming step, the scattering surface A transparent conductive film having a concavo-convex pattern on the surface is formed on the conductive film by a CVD method. In the transparent thin film forming step, the alcohol-based solution is dropped onto the conductive film and the panel is rotated to rotate the conductive film.
Reflection and antistatic treatment method of the picture tube, characterized in that the transparent thin film having an uneven pattern on the surface on the film coating, and forms.
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