JP2021116400A - Polymer composition, cured film, and organic el element - Google Patents

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Abstract

To provide a polymer composition capable of giving a cured film which causes less outgassing and is excellent in heat resistance.SOLUTION: The polymer composition contains a polymer component (A), a reaction initiator (B), and a polyfunctional polymerizable compound (C). The polymer component (A) contains a structural unit (Uα) derived from at least one selected from the group consisting of an N-substituted maleimide compound having a monovalent cyclic hydrocarbon group and a (meth)acrylic compound having a monovalent cyclic hydrocarbon group. The structural unit (Uα) contains a structural unit (U1) derived from the N-substituted maleimide compound having a monovalent cyclic hydrocarbon group in an amount of 28 mass% or more based on the total amount of the structural unit (Uα) contained in the polymer component (A).SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、重合体組成物、硬化膜及び有機EL素子に関する。 The present invention relates to polymer compositions, cured films and organic EL devices.

有機エレクトロルミネッセンス素子(有機EL素子)は、陽極、有機発光層及び陰極を含む積層構造を有する発光素子であり、表示装置や照明装置等の用途において実用化が進められている。有機EL素子や液晶表示素子等の各種デバイスは、一般に、平坦化膜や層間絶縁膜、隔壁等の絶縁性の硬化膜を備えている。硬化膜を形成する材料としては、ポリイミドや(メタ)アクリル系重合体等が知られている(例えば、特許文献1参照)。 The organic electroluminescence element (organic EL element) is a light emitting element having a laminated structure including an anode, an organic light emitting layer, and a cathode, and is being put into practical use in applications such as display devices and lighting devices. Various devices such as organic EL elements and liquid crystal display elements generally include an insulating cured film such as a flattening film, an interlayer insulating film, and a partition wall. As a material for forming a cured film, polyimide, a (meth) acrylic polymer, or the like is known (see, for example, Patent Document 1).

特許文献1には、アクリル化合物由来の構造単位と、環状エーテル基を含む構造単位とを有し、アクリル化合物由来の構造単位の含有量が全構造単位に対して30質量%以上である樹脂と、反応開始剤と、多官能重合性化合物とを含有する組成物により硬化膜を形成することが開示されている。この特許文献1の組成物によれば、アウトガスの発生が少ない硬化膜を形成できることが特許文献1に記載されている。 Patent Document 1 describes a resin having a structural unit derived from an acrylic compound and a structural unit containing a cyclic ether group, and the content of the structural unit derived from the acrylic compound is 30% by mass or more with respect to the total structural unit. , It is disclosed that a cured film is formed by a composition containing a reaction initiator and a polyfunctional polymerizable compound. According to the composition of Patent Document 1, it is described in Patent Document 1 that a cured film that generates less outgas can be formed.

特開2018−39979号公報JP-A-2018-399979

硬化膜から発生するアウトガスは、有機EL素子等のデバイスの信頼性に影響を及ぼすことが考えられる。特に有機EL素子においては、より高精細であることが求められており、硬化膜から発生するアウトガスをできるだけ少なくする必要がある。また、素子の製造工程では、硬化膜に高温処理(例えば200℃以上の加熱処理)が施されることがある。このため、有機EL素子に適用される硬化膜としては、アウトガス低減を図るとともに、耐熱性に優れていることも求められる。 The outgas generated from the cured film is considered to affect the reliability of devices such as organic EL elements. In particular, organic EL devices are required to have higher definition, and it is necessary to reduce outgas generated from the cured film as much as possible. Further, in the device manufacturing process, the cured film may be subjected to a high temperature treatment (for example, a heat treatment at 200 ° C. or higher). Therefore, as a cured film applied to an organic EL element, it is required to reduce outgassing and to have excellent heat resistance.

本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、アウトガスの発生が少なく、耐熱性に優れた硬化膜を得ることができる重合体組成物を提供することを主たる目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a polymer composition capable of obtaining a cured film having less outgassing and excellent heat resistance.

上記課題を解決すべく、本発明によれば、以下の重合体組成物、硬化膜及び有機EL素子が提供される。 In order to solve the above problems, according to the present invention, the following polymer compositions, cured films and organic EL devices are provided.

[1]重合体成分(A)と、反応開始剤(B)と、多官能重合性化合物(C)と、を含有し、前記重合体成分(A)は、1価の環状炭化水素基を有するN−置換マレイミド化合物及び1価の環状炭化水素基を有する(メタ)アクリル化合物よりなる群から選択される少なくとも1種に由来する構造単位(Uα)を含み、前記構造単位(Uα)は、前記N−置換マレイミド化合物に由来する構造単位(U1)を、前記重合体成分(A)に含まれる前記構造単位(Uα)の全量に対して28質量%以上含む、重合体組成物。
[2]上記[1]の重合体組成物を用いて形成された硬化膜。
[3]上記[2]の硬化膜を備える有機EL素子。
[1] The polymer component (A), the reaction initiator (B), and the polyfunctional polymerizable compound (C) are contained, and the polymer component (A) contains a monovalent cyclic hydrocarbon group. The structural unit (Uα) comprises a structural unit (Uα) derived from at least one selected from the group consisting of an N-substituted maleimide compound having and a (meth) acrylic compound having a monovalent cyclic hydrocarbon group. A polymer composition containing 28% by mass or more of the structural unit (U1) derived from the N-substituted maleimide compound with respect to the total amount of the structural unit (Uα) contained in the polymer component (A).
[2] A cured film formed by using the polymer composition of the above [1].
[3] An organic EL device including the cured film of the above [2].

上記重合体成分(A)を含有する本発明の重合体組成物によれば、アウトガスの発生が少なく、耐熱性(具体的には、線膨張係数や熱付与後の透明性)に優れた硬化膜を得ることができる。こうした本発明の重合体組成物は、平坦化膜材料や隔壁材料、バンク材料として有用であり、特に有機EL素子の平坦化膜材料、隔壁材料及びバンク材料として有用である。 According to the polymer composition of the present invention containing the polymer component (A), outgas generation is small and curing is excellent in heat resistance (specifically, linear expansion coefficient and transparency after heat application). A film can be obtained. Such a polymer composition of the present invention is useful as a flattening film material, a partition wall material, and a bank material, and is particularly useful as a flattening film material, a partition wall material, and a bank material for an organic EL device.

トップエミッション型構造の有機EL素子の概略構成を示す図。The figure which shows the schematic structure of the organic EL element of the top emission type structure. ボトムエミッション型構造の有機EL素子の概略構成を示す図。The figure which shows the schematic structure of the organic EL element of the bottom emission type structure.

以下、実施態様に関連する事項について詳細に説明する。なお、本明細書において、「〜」を用いて記載された数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む意味である。「構造単位」とは、主鎖構造を主構成する単量体単位であって、少なくとも主鎖構造中に2個以上含まれる単位をいう。 Hereinafter, matters related to the embodiment will be described in detail. In addition, in this specification, the numerical value range described by using "~" means that the numerical value described before and after "~" is included as the lower limit value and the upper limit value. The "structural unit" is a monomer unit that mainly constitutes the main chain structure, and means a unit that is contained in at least two or more in the main chain structure.

<重合体組成物>
本開示の重合体組成物は、絶縁膜の形成用であり、好ましくは有機EL素子の絶縁膜を形成するために用いられる。本開示の重合体組成物は、重合体成分(A)と、反応開始剤(B)と、多官能重合性化合物(C)とを含有する。以下、各成分について詳述する。なお、各成分については、特に言及しない限り、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
<Polymer composition>
The polymer composition of the present disclosure is for forming an insulating film, and is preferably used for forming an insulating film for an organic EL device. The polymer composition of the present disclosure contains a polymer component (A), a reaction initiator (B), and a polyfunctional polymerizable compound (C). Hereinafter, each component will be described in detail. Unless otherwise specified, each component may be used alone or in combination of two or more.

ここで、本明細書において「炭化水素基」は、鎖状炭化水素基、脂環式炭化水素基及び芳香族炭化水素基を含む意味である。「鎖状炭化水素基」とは、主鎖に環状構造を含まず、鎖状構造のみで構成された直鎖状炭化水素基及び分岐状炭化水素基を意味する。ただし、飽和でも不飽和でもよい。「脂環式炭化水素基」とは、環構造としては脂環式炭化水素の構造のみを含み、芳香環構造を含まない炭化水素基を意味する。ただし、脂環式炭化水素の構造のみで構成されている必要はなく、その一部に鎖状構造を有するものも含む。「芳香族炭化水素基」とは、環構造として芳香環構造を含む炭化水素基を意味する。ただし、芳香環構造のみで構成されている必要はなく、その一部に鎖状構造や脂環式炭化水素の構造を含んでいてもよい。なお、脂環式炭化水素基及び芳香族炭化水素基が有する環構造は、炭化水素構造からなる置換基を有していてもよい。「環状炭化水素基」は、脂環式炭化水素基及び芳香族炭化水素基を含む意味である。 Here, the term "hydrocarbon group" as used herein means to include a chain hydrocarbon group, an alicyclic hydrocarbon group, and an aromatic hydrocarbon group. The "chain hydrocarbon group" means a linear hydrocarbon group and a branched hydrocarbon group which do not contain a cyclic structure in the main chain and are composed only of a chain structure. However, it may be saturated or unsaturated. The "alicyclic hydrocarbon group" means a hydrocarbon group containing only the alicyclic hydrocarbon structure as the ring structure and not containing the aromatic ring structure. However, it does not have to be composed only of the alicyclic hydrocarbon structure, and some of them have a chain structure. The "aromatic hydrocarbon group" means a hydrocarbon group containing an aromatic ring structure as a ring structure. However, it does not have to be composed of only an aromatic ring structure, and a chain structure or an alicyclic hydrocarbon structure may be included in a part thereof. The ring structure of the alicyclic hydrocarbon group and the aromatic hydrocarbon group may have a substituent composed of a hydrocarbon structure. "Cyclic hydrocarbon group" means to include an alicyclic hydrocarbon group and an aromatic hydrocarbon group.

[重合体成分(A)]
・構造単位(U1)
重合体成分(A)は、1価の環状炭化水素基を有するN−置換マレイミド化合物(以下「単量体A1」ともいう)に由来する構造単位(U1)を含む。単量体A1が有する環状炭化水素基は、単環、橋かけ環若しくはスピロ環を有する1価の脂環式炭化水素基、又は1価の芳香族炭化水素基であることが好ましい。当該1価の環状炭化水素基の具体例としては、脂環式炭化水素基として、例えばシクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、メチルシクロペンチル基、ジメチルシクロペンチル基、エチルシクロペンチル基、シクロペンテニル基、シクロヘプテニル基、ノルボルニル基、アダマンチル基、イソボロニル基、ジシクロペンタニル基、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカニル基、スピロビシクロペンタニル基等が挙げられる。また、芳香族炭化水素基としては、例えばフェニル基、メチルフェニル基、ジメチルフェニル基、エチルフェニル基、ベンジル基、フェネチル基、ナフチル基、アントリル基等が挙げられる。
[Polymer component (A)]
-Structural unit (U1)
The polymer component (A) contains a structural unit (U1) derived from an N-substituted maleimide compound having a monovalent cyclic hydrocarbon group (hereinafter, also referred to as “monomer A1”). The cyclic hydrocarbon group contained in the monomer A1 is preferably a monovalent alicyclic hydrocarbon group having a monocyclic ring, a crosslinked ring or a spiro ring, or a monovalent aromatic hydrocarbon group. Specific examples of the monovalent cyclic hydrocarbon group include alicyclic hydrocarbon groups such as cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, cyclooctyl group, methylcyclopentyl group, dimethylcyclopentyl group, ethylcyclopentyl group and cyclo. Examples thereof include a pentenyl group, a cycloheptenyl group, a norbornyl group, an adamantyl group, an isoboronyl group, a dicyclopentanyl group, a tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decanyl group, a spirobicyclopentanyl group and the like. Examples of the aromatic hydrocarbon group include a phenyl group, a methylphenyl group, a dimethylphenyl group, an ethylphenyl group, a benzyl group, a phenethyl group, a naphthyl group, an anthryl group and the like.

単量体A1が有する環状炭化水素基は、重合体組成物を用いて得られる塗膜の解像性、現像性及び耐熱性をより高くできる点で、上記のうち、単環若しくは橋かけ環を有する1価の脂環式炭化水素基であるか、又は1価の芳香族炭化水素基であることが好ましく、単環又は橋かけ環を有する1価の脂環式炭化水素基であることがより好ましく、単環を有する1価の脂環式炭化水素基であることがさらに好ましい。 Among the above, the cyclic hydrocarbon group contained in the monomer A1 is a monocyclic ring or a bridging ring in that the resolution, developability and heat resistance of the coating film obtained by using the polymer composition can be further improved. It is preferably a monovalent alicyclic hydrocarbon group having a monovalent or a monovalent aromatic hydrocarbon group, and is a monovalent alicyclic hydrocarbon group having a monocyclic ring or a bridging ring. Is more preferable, and a monovalent alicyclic hydrocarbon group having a single ring is further preferable.

構造単位(U1)は、具体的には下記式(1)で表される構造単位であることが好ましい。

Figure 2021116400
(式(1)中、Rは、1価の環状炭化水素基である。R及びRは、それぞれ独立して、水素原子又は炭素数1〜5のアルキル基である。) Specifically, the structural unit (U1) is preferably a structural unit represented by the following formula (1).
Figure 2021116400
(In the formula (1), R 1 is a monovalent cyclic hydrocarbon group. R 2 and R 3 are independently hydrogen atoms or alkyl groups having 1 to 5 carbon atoms.)

上記式(1)において、Rは、環状炭化水素基が有する環構造が窒素原子に直接結合していてもよく、環構造が2価の連結基を介して結合していてもよい。2価の連結基としては、例えばメチレン基、エチレン基、1,3−プロパンジイル基等のアルカンジイル基が挙げられる。これらのうち、Rは、耐熱性により優れた硬化膜を得ることができる点で、環状炭化水素基が有する環構造が窒素原子に直接結合していることが好ましく、脂環式炭化水素の構造が窒素原子に直接結合した脂環式炭化水素基がより好ましい。R及びRは、水素原子又はメチル基が好ましく、水素原子がより好ましい。 In the above formula (1), in R 1 , the ring structure of the cyclic hydrocarbon group may be directly bonded to the nitrogen atom, or the ring structure may be bonded via a divalent linking group. Examples of the divalent linking group include an alkanediyl group such as a methylene group, an ethylene group and a 1,3-propanediyl group. Of these, R 1 preferably has a ring structure of a cyclic hydrocarbon group directly bonded to a nitrogen atom in that a cured film having better heat resistance can be obtained, and is of an alicyclic hydrocarbon. An alicyclic hydrocarbon group whose structure is directly bonded to a nitrogen atom is more preferable. R 2 and R 3 are preferably a hydrogen atom or a methyl group, and more preferably a hydrogen atom.

単量体A1の具体例としては、芳香族炭化水素基を有する化合物として、例えばN−フェニルマレイミド、N−(2−メチルフェニル)マレイミド、N−(4−メチルフェニル)マレイミド、N−(4−エチルフェニル)マレイミド、N−(2,6−ジメチルフェニル)マレイミド、N−ベンジルマレイミド、N−ナフチルマレイミド等を;脂環式炭化水素基を有する化合物として、例えばN−シクロヘキシルマレイミド、N−シクロペンチルマレイミド、N−(2−メチルシクロヘキシル)マレイミド、N−(4−メチルシクロヘキシル)マレイミド、N−(4−エチルシクロヘキシル)マレイミド、N−(2,6−ジメチルシクロヘキシル)マレイミド、N−ノルボルニルマレイミド、N−トリシクロデシルマレイミド、N−アダマンチルマレイミド等を、それぞれ挙げることができる。単量体A1は、これらのうち、N−シクロへキシルマレイミド、N−(4−メチルシクロへキシル)マレイミド、N−フェニルマレイミド及びN−(4−メチルフェニル)マレイミドよりなる群から選択される少なくとも1種が好ましく、N−シクロへキシルマレイミド及びN−フェニルマレイミドのうち少なくともいずれかであることがより好ましい。 Specific examples of the monomer A1 include N-phenylmaleimide, N- (2-methylphenyl) maleimide, N- (4-methylphenyl) maleimide, and N- (4) as compounds having an aromatic hydrocarbon group. -Ethylphenyl) maleimide, N- (2,6-dimethylphenyl) maleimide, N-benzylmaleimide, N-naphthylmaleimide, etc .; as compounds having an alicyclic hydrocarbon group, for example, N-cyclohexylmaleimide, N-cyclopentyl Maleimide, N- (2-methylcyclohexyl) maleimide, N- (4-methylcyclohexyl) maleimide, N- (4-ethylcyclohexyl) maleimide, N- (2,6-dimethylcyclohexyl) maleimide, N-norbornyl maleimide , N-tricyclodecylmaleimide, N-adamantylmaleimide and the like, respectively. The monomer A1 is at least selected from the group consisting of N-cyclohexylmaleimide, N- (4-methylcyclohexyl) maleimide, N-phenylmaleimide and N- (4-methylphenyl) maleimide. One is preferable, and at least one of N-cyclohexylmaleimide and N-phenylmaleimide is more preferable.

重合体成分(A)において、構造単位(U1)の含有割合は、重合体成分(A)を構成する全構造単位に対して、15質量%を超え35質量%以下であることが好ましい。構造単位(U1)の含有割合が15質量%超であると、重合体組成物を用いて得られる硬化膜の耐熱性を十分に高くでき、例えば硬化膜上に配線を形成した場合にクラックの発生を抑制することができる点で好適である。一方、構造単位(U1)の含有割合が35質量%以下であると、重合体の溶解性を良好に保つことができる傾向がある。また、構造単位(U1)の含有割合を35質量%以下とすると、重合体のガラス転移温度を適度に高くすることができ、ネガ型の硬化膜とした場合にネガ体としての反応性が保たれることで現像性を良好にすることができる。上記観点から、構造単位(U1)の含有割合は、重合体成分(A)を構成する全構造単位に対して、より好ましくは16質量%以上であり、さらに好ましくは18質量%以上であり、特に好ましくは20質量%以上である。また、構造単位(U1)の含有割合は、重合体成分(A)を構成する全構造単位に対して、より好ましくは34質量%以下であり、さらに好ましくは32質量%以下であり、特に好ましくは30質量%以下である。 In the polymer component (A), the content ratio of the structural unit (U1) is preferably more than 15% by mass and 35% by mass or less with respect to all the structural units constituting the polymer component (A). When the content ratio of the structural unit (U1) is more than 15% by mass, the heat resistance of the cured film obtained by using the polymer composition can be sufficiently increased, and for example, cracks occur when wiring is formed on the cured film. It is preferable in that the occurrence can be suppressed. On the other hand, when the content ratio of the structural unit (U1) is 35% by mass or less, the solubility of the polymer tends to be kept good. Further, when the content ratio of the structural unit (U1) is 35% by mass or less, the glass transition temperature of the polymer can be appropriately raised, and the reactivity as a negative body is maintained when a negative type cured film is formed. Developability can be improved by dripping. From the above viewpoint, the content ratio of the structural unit (U1) is more preferably 16% by mass or more, still more preferably 18% by mass or more, based on all the structural units constituting the polymer component (A). Particularly preferably, it is 20% by mass or more. The content ratio of the structural unit (U1) is more preferably 34% by mass or less, still more preferably 32% by mass or less, and particularly preferably 32% by mass or less, based on all the structural units constituting the polymer component (A). Is 30% by mass or less.

重合体成分(A)を構成する重合体の主鎖は、良好な耐熱性や耐薬品性、現像性等を示す硬化膜を得ることができる点、及び単量体の選択の自由度が高い点で、重合性不飽和炭素−炭素結合を有する単量体(以下「不飽和単量体」ともいう)を用いて得られる重合体であることが好ましい。また、不飽和単量体を用いて得られる重合体によれば、絶縁膜材料として従来使用されているポリイミドに比べて低コスト化を図ることができる。不飽和単量体としては、例えば、(メタ)アクリル化合物、スチレン系化合物、マレイミド系化合物、ビニル化合物等が挙げられる。これらのうち、上記不飽和単量体は、少なくともマレイミド系化合物を含み、マレイミド系化合物と(メタ)アクリル化合物とを含むことが好ましい。なお、本明細書において「(メタ)アクリル」は、「アクリル」及び「メタクリル」を包含する意味である。また、「(メタ)アクリル化合物」は、「アクリル化合物」及び「メタクリル化合物」を包含する意味である。 The main chain of the polymer constituting the polymer component (A) has a high degree of freedom in selecting a monomer and that a cured film exhibiting good heat resistance, chemical resistance, developability, etc. can be obtained. In that respect, it is preferable that the polymer is obtained by using a monomer having a polymerizable unsaturated carbon-carbon bond (hereinafter, also referred to as “unsaturated monomer”). Further, according to the polymer obtained by using the unsaturated monomer, the cost can be reduced as compared with the polyimide conventionally used as the insulating film material. Examples of the unsaturated monomer include (meth) acrylic compounds, styrene compounds, maleimide compounds, vinyl compounds and the like. Of these, the unsaturated monomer preferably contains at least a maleimide-based compound, and preferably contains a maleimide-based compound and a (meth) acrylic compound. In addition, in this specification, "(meth) acrylic" means to include "acrylic" and "methacryl". Further, "(meth) acrylic compound" means to include "acrylic compound" and "methacryl compound".

重合体成分(A)は、環状炭化水素基を側鎖に有する構造単位として構造単位(U1)を含む。環状炭化水素基を側鎖に有する重合体は疎水性が適度に高く、現像性の高い硬化膜を得ることができるため、絶縁膜材料(特に有機EL素子用)として好適である。重合体成分(A)において、環状炭化水素基を側鎖に有する構造単位は、構造単位(U1)のみであってもよく、構造単位(U1)とは異なる構造単位をさらに含んでいてもよい。 The polymer component (A) contains a structural unit (U1) as a structural unit having a cyclic hydrocarbon group in the side chain. A polymer having a cyclic hydrocarbon group in a side chain has moderately high hydrophobicity and can obtain a cured film having high developability, and is therefore suitable as an insulating film material (particularly for an organic EL device). In the polymer component (A), the structural unit having a cyclic hydrocarbon group in the side chain may be only the structural unit (U1), or may further contain a structural unit different from the structural unit (U1). ..

環状炭化水素基を側鎖に有しかつ構造単位(U1)とは異なる構造単位は、透明性、解像性及び現像性の高い硬化膜を得ることができる点で、1価の環状炭化水素基を有する(メタ)アクリル化合物(以下「単量体A2」ともいう)に由来する構造単位が好ましい。これらの中でも特に、熱等による重合体主鎖の分解(解重合)が生じにくく、主鎖の分解に起因するアウトガスの発生を少なくできる点で、単量体A2は、1価の環状炭化水素基を有するアクリル化合物であることが好ましい。すなわち、重合体成分(A)は、構造単位(U1)と共に、1価の環状炭化水素基を有するアクリル化合物に由来する構造単位(以下「構造単位(U2)」という)を含むことが好ましい。 A structural unit having a cyclic hydrocarbon group in the side chain and different from the structural unit (U1) is a monovalent cyclic hydrocarbon in that a cured film having high transparency, resolution and developability can be obtained. A structural unit derived from a (meth) acrylic compound having a group (hereinafter, also referred to as “monomer A2”) is preferable. Among these, the monomer A2 is a monovalent cyclic hydrocarbon in that decomposition (depolymerization) of the polymer main chain due to heat or the like is unlikely to occur and outgas generation due to decomposition of the main chain can be reduced. It is preferably an acrylic compound having a group. That is, the polymer component (A) preferably contains a structural unit (U1) and a structural unit derived from an acrylic compound having a monovalent cyclic hydrocarbon group (hereinafter referred to as “structural unit (U2)”).

なお、以下では、単量体A1に由来する構造単位及び単量体A2に由来する構造単位を合わせて「構造単位(Uα)」ともいう。構造単位(Uα)が有する「1価の環状炭化水素基」は、炭化水素構造からなる基を意味し、エポキシ基等のヘテロ原子含有基を有するものは含まない。単量体A2において、1価の環状炭化水素基を有するメタクリル化合物の含有割合は、単量体A2の全量に対して、10質量%以下が好ましく、5質量%以下がより好ましく、1質量%以下がさらに好ましく、実質的に含まないことが特に好ましい。 In the following, the structural unit derived from the monomer A1 and the structural unit derived from the monomer A2 are collectively referred to as a “structural unit (Uα)”. The "monovalent cyclic hydrocarbon group" of the structural unit (Uα) means a group having a hydrocarbon structure, and does not include a group having a heteroatom-containing group such as an epoxy group. In the monomer A2, the content ratio of the methacrylic compound having a monovalent cyclic hydrocarbon group is preferably 10% by mass or less, more preferably 5% by mass or less, and 1% by mass with respect to the total amount of the monomer A2. The following are more preferable, and it is particularly preferable that the following is substantially not contained.

・構造単位(U2)
構造単位(U2)は、下記式(2)で表される構造単位であることが好ましい。

Figure 2021116400
(式(2)中、Rは、1価の環状炭化水素基である。) -Structural unit (U2)
The structural unit (U2) is preferably a structural unit represented by the following formula (2).
Figure 2021116400
(In the formula (2), R 4 is a monovalent cyclic hydrocarbon group.)

上記式(2)において、Rは、環状炭化水素基が有する環構造が窒素原子に直接結合していてもよく、環構造が2価の連結基(例えばアルカンジイル基)を介して結合していてもよい。Rの環状炭化水素基は、上記重合体組成物を用いて得られる膜の解像性、現像性及び透明性をより高くできる点で、脂環式炭化水素基であることが好ましい。 In the above formula (2), R 4 may be cyclic structure having a cyclic hydrocarbon group directly bonded to the nitrogen atom, the ring structure is bonded via a divalent linking group (e.g. alkanediyl group) May be. Cyclic hydrocarbon group R 4 is the resolution of the film obtained by using the polymer composition, in terms of the developing property and transparency can be higher, it is preferable that the alicyclic hydrocarbon group.

1価の環状炭化水素基を有するアクリル化合物の具体例としては、芳香族炭化水素基を有する化合物として、例えばフェニルアクリレート、ベンジルアクリレート、フェネチルアクリレート、2−ナフチルアクリレート等を;脂環式炭化水素基を有する化合物として、例えばシクロペンチルアクリレート、シクロへキシルアクリレート、シクロオクチルアクリレート、シクロへキセニルアクリレート、ノルボルニルアクリレート、アダマンチルアクリレート、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イルアクリレート等を、それぞれ挙げることができる。 Specific examples of the acrylic compound having a monovalent cyclic hydrocarbon group include, for example, phenyl acrylate, benzyl acrylate, phenethyl acrylate, 2-naphthyl acrylate and the like as a compound having an aromatic hydrocarbon group; an alicyclic hydrocarbon group. Examples of the compound having, for example, cyclopentyl acrylate, cyclohexyl acrylate, cyclooctyl acrylate, cyclohexenyl acrylate, norbornyl acrylate, adamantyl acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl. Acrylate and the like can be mentioned respectively.

重合体成分(A)において、構造単位(U2)の含有割合は、重合体成分(A)を構成する構造単位の全量に対して、0質量%を超え35質量%未満であることが好ましい。重合体成分(A)が構造単位(U2)を含むことで、ガラス転移温度Tgが高くなりすぎることを抑制しつつ、解像性及び現像性の高い膜を得ることができる点で好ましい。また、構造単位(U2)の含有割合を35質量%未満とすることにより、熱等による重合体側鎖の分解が生じにくく、重合体側鎖の分解に起因するアウトガスの発生を十分に低減できる点で好ましい。このような観点から、構造単位(U2)の含有割合は、重合体成分(A)を構成する全構造単位に対して、より好ましくは1質量%以上であり、さらに好ましくは5質量%以上であり、特に好ましくは10質量%以上である。また、構造単位(U2)の含有割合は、重合体成分(A)を構成する全構造単位に対して、より好ましくは33質量%以下であり、さらに好ましくは32質量%以下であり、またさらに好ましくは30質量%未満であり、よりさらに好ましくは28質量%以下であり、特に好ましくは25質量%以下である。 In the polymer component (A), the content ratio of the structural unit (U2) is preferably more than 0% by mass and less than 35% by mass with respect to the total amount of the structural units constituting the polymer component (A). It is preferable that the polymer component (A) contains the structural unit (U2) because a film having high resolution and developability can be obtained while suppressing the glass transition temperature Tg from becoming too high. Further, by setting the content ratio of the structural unit (U2) to less than 35% by mass, decomposition of the polymer side chain due to heat or the like is unlikely to occur, and the generation of outgas due to decomposition of the polymer side chain can be sufficiently reduced. preferable. From such a viewpoint, the content ratio of the structural unit (U2) is more preferably 1% by mass or more, still more preferably 5% by mass or more, based on all the structural units constituting the polymer component (A). Yes, particularly preferably 10% by mass or more. The content ratio of the structural unit (U2) is more preferably 33% by mass or less, still more preferably 32% by mass or less, and further preferably 32% by mass or less, based on all the structural units constituting the polymer component (A). It is preferably less than 30% by mass, more preferably 28% by mass or less, and particularly preferably 25% by mass or less.

重合体成分(A)と反応開始剤(B)と多官能重合性化合物(C)とを含有する重合体組成物において、重合体成分(A)における構造単位(U1)及び構造単位(U2)のそれぞれの含有割合は、好ましくは、重合体成分(A)を構成する全構造単位に対し、構造単位(U1)の含有割合が15質量%を超え35質量%以下であり、かつ構造単位(U2)の含有割合が0質量%を超え35質量%未満である。こうした範囲とすることにより、当該重合体組成物を用いて得られる硬化膜が、低アウトガス性、耐熱性、放射線感度、解像性及び透明性の各種性能をバランス良く発現する点で好ましい。 In the polymer composition containing the polymer component (A), the reaction initiator (B), and the polyfunctional polymerizable compound (C), the structural unit (U1) and the structural unit (U2) in the polymer component (A) The content ratio of the structural unit (U1) is preferably more than 15% by mass and 35% by mass or less with respect to all the structural units constituting the polymer component (A), and the content ratio of each of the structural units (U1). The content ratio of U2) is more than 0% by mass and less than 35% by mass. Within such a range, the cured film obtained by using the polymer composition is preferable in that it exhibits various performances such as low outgassing property, heat resistance, radiation sensitivity, resolution and transparency in a well-balanced manner.

構造単位(Uα)の含有割合は、重合体成分(A)を構成する全構造単位に対して、16質量%以上70質量%未満であることが好ましい。構造単位(Uα)の含有割合は、重合体成分(A)を構成する全構造単位に対して、より好ましくは17質量%以上であり、さらに好ましくは23質量%以上であり、特に好ましくは30質量%以上である。また、構造単位(Uα)の含有割合は、重合体成分(A)を構成する全構造単位に対して、より好ましくは67質量%以下であり、さらに好ましくは65質量%以下であり、特に好ましくは60質量%以下である。 The content ratio of the structural unit (Uα) is preferably 16% by mass or more and less than 70% by mass with respect to all the structural units constituting the polymer component (A). The content ratio of the structural unit (Uα) is more preferably 17% by mass or more, still more preferably 23% by mass or more, and particularly preferably 30 with respect to all the structural units constituting the polymer component (A). It is mass% or more. The content ratio of the structural unit (Uα) is more preferably 67% by mass or less, still more preferably 65% by mass or less, particularly preferably, with respect to all the structural units constituting the polymer component (A). Is 60% by mass or less.

重合体成分(A)において、構造単位(Uα)の全量に対する構造単位(U1)の含有割合は、28質量%以上であることが特に好ましい。ここで、本発明者らの検討によれば、1価の環状炭化水素基を有するメタクリル化合物由来の構造単位を含む重合体は、熱等によって主鎖が分解(解重合)しやすく、解重合に起因するアウトガスが発生して素子の性能(例えば、有機EL素子に適用する場合、有機発光層の性能等)に影響を及ぼすことが懸念される。また、1価の環状炭化水素基を有するアクリル化合物由来の構造単位を含む重合体は、熱等によって側鎖が分解しやすく、分解により発生したアルコール成分(例えば、シクロへキシルアクリレート由来の構造単位の場合、シクロヘキサノール)が素子の性能等に影響を及ぼすことが懸念される。特に近年、有機EL素子分野においては更なる高性能化が求められており、これを実現するべく、よりシビアな条件でもアウトガスの発生をできるだけ低減できる有機EL素子を開発することが必要である。 In the polymer component (A), the content ratio of the structural unit (U1) to the total amount of the structural unit (Uα) is particularly preferably 28% by mass or more. Here, according to the study by the present inventors, the main chain of a polymer containing a structural unit derived from a methacrylic compound having a monovalent cyclic hydrocarbon group is easily decomposed (depolymerized) by heat or the like, and the polymer is depolymerized. There is a concern that outgas will be generated due to the above and affect the performance of the element (for example, when applied to an organic EL element, the performance of the organic light emitting layer, etc.). Further, in a polymer containing a structural unit derived from an acrylic compound having a monovalent cyclic hydrocarbon group, the side chain is easily decomposed by heat or the like, and an alcohol component generated by the decomposition (for example, a structural unit derived from cyclohexyl acrylate). In this case, there is a concern that cyclohexanol) may affect the performance of the device. In particular, in recent years, further improvement in performance has been required in the field of organic EL devices, and in order to realize this, it is necessary to develop organic EL devices that can reduce the generation of outgas as much as possible even under more severe conditions.

この点、構造単位(Uα)の全量に対する構造単位(U1)の含有割合を上記範囲とすることで、構造単位(Uα)の導入により重合体成分(A)の疎水性を十分に高めながら、重合体成分(A)に起因するアウトガスの発生を十分に低減させることができる。構造単位(Uα)の全量に対する構造単位(U1)の含有割合は、アウトガスの発生をできるだけ少なくする観点から、より好ましくは28.5質量%以上であり、さらに好ましくは30質量%以上であり、よりさらに好ましくは35質量%以上であり、特に好ましくは40質量%以上である。また、構造単位(Uα)の全量に対する構造単位(U1)の含有割合は、解像性及び現像性を良好にする観点から、より好ましくは90質量%以下であり、さらに好ましくは80質量%以下であり、特に好ましくは70質量%以下である。 In this regard, by setting the content ratio of the structural unit (U1) to the total amount of the structural unit (Uα) within the above range, the hydrophobicity of the polymer component (A) can be sufficiently increased by introducing the structural unit (Uα), while the hydrophobicity of the polymer component (A) can be sufficiently increased. The generation of outgas caused by the polymer component (A) can be sufficiently reduced. The content ratio of the structural unit (U1) to the total amount of the structural unit (Uα) is more preferably 28.5% by mass or more, still more preferably 30% by mass or more, from the viewpoint of minimizing the generation of outgas. Even more preferably, it is 35% by mass or more, and particularly preferably 40% by mass or more. Further, the content ratio of the structural unit (U1) with respect to the total amount of the structural unit (Uα) is more preferably 90% by mass or less, still more preferably 80% by mass or less, from the viewpoint of improving the resolution and developability. It is particularly preferably 70% by mass or less.

重合体成分(A)は、構造単位(Uα)とともに、構造単位(Uα)とは異なる構造単位(以下「その他の構造単位」ともいう)をさらに含んでいてもよい。その他の構造単位としては、例えば、環状エーテル基を有する構造単位(以下「構造単位(U3)」ともいう)、酸基を有する構造単位(以下「構造単位(U4)」ともいう)が挙げられる。 The polymer component (A) may further contain a structural unit (hereinafter, also referred to as “other structural unit”) different from the structural unit (Uα) in addition to the structural unit (Uα). Examples of other structural units include a structural unit having a cyclic ether group (hereinafter, also referred to as “structural unit (U3)”) and a structural unit having an acid group (hereinafter, also referred to as “structural unit (U4)”). ..

・構造単位(U3)
重合体成分(A)が構造単位(U3)を含むことにより、重合体組成物を用いて得られる膜の解像性や、硬化膜の密着性及び耐薬品性を高めることができる。また、構造単位(U3)が有する環状エーテル基が架橋性基として作用することにより、長期間に亘って劣化が抑制される硬化膜を形成することができる。構造単位(U3)が有する環状エーテル基としては、例えば3〜8員環の環状エーテル基が挙げられる。環状エーテル基は、これらのうちオキシラニル基及びオキセタニル基が好ましい。なお、本明細書では、オキシラニル基及びオキセタニル基を包含して「エポキシ基」ともいう。
・ Structural unit (U3)
When the polymer component (A) contains the structural unit (U3), the resolution of the film obtained by using the polymer composition, the adhesion of the cured film, and the chemical resistance can be improved. Further, the cyclic ether group of the structural unit (U3) acts as a crosslinkable group, so that a cured film in which deterioration is suppressed over a long period of time can be formed. Examples of the cyclic ether group contained in the structural unit (U3) include a cyclic ether group having a 3- to 8-membered ring. Of these, the cyclic ether group is preferably an oxylanyl group or an oxetanyl group. In addition, in this specification, an oxyranyl group and an oxetanyl group are included and are also referred to as an "epoxy group".

構造単位(U3)は、環状エーテル基を有する不飽和単量体に由来する構造単位であることが好ましく、具体的には下記式(3)で表される構造単位であることが好ましい。

Figure 2021116400
(式(3)中、Rはエポキシ基を有する1価の基であり、Rは水素原子又は炭素数1〜5のアルキル基であり、Xは単結合又は2価の連結基である。) The structural unit (U3) is preferably a structural unit derived from an unsaturated monomer having a cyclic ether group, and specifically, it is preferably a structural unit represented by the following formula (3).
Figure 2021116400
In formula (3), R 5 is a monovalent group having an epoxy group, R 6 is a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, and X 1 is a single bond or a divalent linking group. be.)

上記式(3)において、Rとしては、オキシラニル基、オキセタニル基、3,4−エポキシシクロヘキシル基、3,4−エポキシトリシクロ[5.2.1.02,6]デシル基、3−エチルオキセタニル基等が挙げられる。これらのうち、反応性が高い点で、Rはオキシラニル基を有する1価の基が好ましい。
は水素原子又はメチル基が好ましい。Xの2価の連結基としては、例えばメチレン基、エチレン基、1,3−プロパンジイル基等のアルカンジイル基が挙げられる。
In the above formula (3), the R 5, oxiranyl group, oxetanyl group, 3,4-epoxycyclohexyl group, 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2,6] decyl group, 3- Ethyloxetanyl groups and the like can be mentioned. Of these, from the viewpoint of high reactivity, R 5 is preferably a monovalent group having an oxiranyl group.
R 6 is preferably a hydrogen atom or a methyl group. Examples of the divalent linking group of X 1 include an alkanediyl group such as a methylene group, an ethylene group and a 1,3-propanediyl group.

構造単位(U3)を構成する単量体の具体例としては、例えば、グリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシトリシクロ[5.2.1.02,6]デシル(メタ)アクリレート、(3−メチルオキセタン−3−イル)メチル(メタ)アクリレート、(3−エチルオキセタン−3−イル)(メタ)アクリレート、(オキセタン−3−イル)メチル(メタ)アクリレート、(3−エチルオキセタン−3−イル)メチル(メタ)アクリレート等が挙げられる。 Specific examples of the monomer constituting the structural unit (U3) include glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, and 2-. (3,4-Epoxycyclohexyl) ethyl (meth) acrylate, 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decyl (meth) acrylate, (3-methyloxetane-3-yl) methyl (Meta) acrylate, (3-ethyloxetane-3-yl) (meth) acrylate, (oxetane-3-yl) methyl (meth) acrylate, (3-ethyloxetane-3-yl) methyl (meth) acrylate, etc. Can be mentioned.

重合体成分(A)において、構造単位(U3)の含有割合は、重合体成分(A)を構成する全構造単位に対して、5質量%以上が好ましく、10質量%以上がより好ましく、15質量%以上がさらに好ましい。また、構造単位(U3)の含有割合は、重合体成分(A)を構成する全構造単位に対して、60質量%以下が好ましく、55質量%以下がより好ましく、50質量%以下がさらに好ましい。構造単位(U3)の含有割合を上記範囲とすることで、塗膜がより良好な現像性を示すとともに、得られる硬化膜の耐熱性及び耐薬品性を十分に高くすることができる点で好ましい。 In the polymer component (A), the content ratio of the structural unit (U3) is preferably 5% by mass or more, more preferably 10% by mass or more, and more preferably 15% by mass or more, based on all the structural units constituting the polymer component (A). More preferably by mass% or more. The content ratio of the structural unit (U3) is preferably 60% by mass or less, more preferably 55% by mass or less, still more preferably 50% by mass or less, based on all the structural units constituting the polymer component (A). .. By setting the content ratio of the structural unit (U3) in the above range, it is preferable in that the coating film exhibits better developability and the heat resistance and chemical resistance of the obtained cured film can be sufficiently increased. ..

・構造単位(U4)
重合体成分(A)は、構造単位(U4)を含むことが好ましい。重合体成分(A)に構造単位(U4)が含まれることにより、上記重合体組成物からなる塗膜がアルカリ現像液に対し良好な現像性を発揮できる点で好適である。構造単位(U4)は、酸基を有する限り特に限定されないが、カルボキシ基を有する構造単位、スルホン酸基を有する構造単位、フェノール性水酸基を有する構造単位、及びマレイミド単位よりなる群から選択される少なくとも1種であることが好ましい。
-Structural unit (U4)
The polymer component (A) preferably contains a structural unit (U4). Since the polymer component (A) contains the structural unit (U4), the coating film made of the polymer composition is preferable in that it can exhibit good developability with respect to an alkaline developer. The structural unit (U4) is not particularly limited as long as it has an acid group, but is selected from the group consisting of a structural unit having a carboxy group, a structural unit having a sulfonic acid group, a structural unit having a phenolic hydroxyl group, and a maleimide unit. It is preferably at least one kind.

構造単位(U4)を構成する単量体の具体例としては、カルボキシ基を有する構造単位を構成する単量体として、例えば(メタ)アクリル酸、クロトン酸、4−ビニル安息香酸等の不飽和モノカルボン酸;マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸等の不飽和ジカルボン酸を;スルホン酸基を有する構造単位を構成する単量体として、例えばビニルスルホン酸、(メタ)アリルスルホン酸、スチレンスルホン酸、(メタ)アクリルイルオキシエチルスルホン酸等を;フェノール性水酸基を有する構造単位を構成する単量体として、例えば4−ヒドロキシ−α−メチルスチレン等を、それぞれ挙げることができる。なお、「マレイミド単位」とは、マレイミドに由来する単量体単位をいう。 As a specific example of the monomer constituting the structural unit (U4), the monomer constituting the structural unit having a carboxy group is unsaturated, for example, (meth) acrylic acid, crotonic acid, 4-vinylbenzoic acid and the like. Monocarboxylic acid; unsaturated dicarboxylic acid such as maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid, itaconic acid; as a monomer constituting a structural unit having a sulfonic acid group, for example, vinyl sulfonic acid, (meth) allyl Sulfonic acid, styrene sulfonic acid, (meth) acrylic yloxyethyl sulfonic acid, etc .; Examples of the monomer constituting the structural unit having a phenolic hydroxyl group include 4-hydroxy-α-methylstyrene and the like. can. The "maleimide unit" refers to a monomer unit derived from maleimide.

重合体成分(A)は、アルカリ可溶性であることが好ましい。したがって、重合体成分(A)がアルカリ可溶性を示すように、構造単位(U4)が重合体成分(A)に含有されているとよい。具体的には、重合体成分(A)において、構造単位(U4)の含有割合は、重合体成分(A)を構成する全構造単位に対して、2質量%以上であることが好ましく、3質量%以上であることがより好ましく、5質量%以上であることがさらに好ましい。また、構造単位(U4)の含有割合は、重合体成分(A)を構成する全構造単位に対して、40質量%以下であることが好ましく、35質量%以下であることがより好ましく、30質量%以下であることがさらに好ましい。なお、本明細書において「アルカリ可溶性」とは、2.38質量%濃度のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液等のアルカリ水溶液に溶解又は膨潤可能であることを意味する。 The polymer component (A) is preferably alkali-soluble. Therefore, it is preferable that the structural unit (U4) is contained in the polymer component (A) so that the polymer component (A) is alkali-soluble. Specifically, in the polymer component (A), the content ratio of the structural unit (U4) is preferably 2% by mass or more with respect to all the structural units constituting the polymer component (A). It is more preferably mass% or more, and further preferably 5 mass% or more. The content ratio of the structural unit (U4) is preferably 40% by mass or less, more preferably 35% by mass or less, and more preferably 30% by mass or less, based on all the structural units constituting the polymer component (A). It is more preferably mass% or less. In addition, in this specification, "alkali soluble" means that it can be dissolved or swelled in an alkaline aqueous solution such as a tetramethylammonium hydroxide aqueous solution having a concentration of 2.38% by mass.

その他の構造単位としては、上記の他、例えば、メチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、n−ラウリル(メタ)アクリレート、n−ステアリル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸アルキルエステル化合物;イタコン酸ジエチル等の不飽和ジカルボン酸ジアルキルエステル化合物;スチレン、α−メチルスチレン、o−メチルスチレン、m−メチルスチレン、p−メチルスチレン、p−メトキシスチレン等の芳香族ビニル化合物;1,3−ブタジエン、イソプレン等の共役ジエン化合物;(メタ)アクリロニトリル、(メタ)アクリルアミド等の窒素含有ビニル化合物;メチルマレイミド、エチルマレイミド等といった、単量体A1及びマレイミド以外のマレイミド系化合物;塩化ビニル、塩化ビニリデン、酢酸ビニル等の不飽和単量体に由来する構造単位が挙げられる。これらの不飽和単量体に由来する構造単位の含有割合は、重合体成分(A)を構成する全構造単位に対して、30質量%以下が好ましく、20質量%以下がより好ましい。 Other structural units include, for example, methyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, n-lauryl (meth) acrylate, n-stearyl (meth) acrylate and the like. (Meta) acrylic acid alkyl ester compound; unsaturated dicarboxylic acid dialkyl ester compound such as diethyl itacone; styrene, α-methylstyrene, o-methylstyrene, m-methylstyrene, p-methylstyrene, p-methoxystyrene, etc. Aromatic vinyl compounds; conjugated diene compounds such as 1,3-butadiene and isoprene; nitrogen-containing vinyl compounds such as (meth) acrylonitrile and (meth) acrylamide; methylmaleimide, ethylmaleimide, etc. other than monomeric A1 and maleimide Maleimide-based compounds; structural units derived from unsaturated monomers such as vinyl chloride, vinylidene chloride, and vinyl acetate can be mentioned. The content ratio of the structural units derived from these unsaturated monomers is preferably 30% by mass or less, more preferably 20% by mass or less, based on all the structural units constituting the polymer component (A).

重合体成分(A)は、構造単位(U1)を1種のみ含んでいてもよく、2種以上含んでいてもよい。構造単位(U2)〜構造単位(U4)についても同様である。なお、各構造単位の含有割合は、通常、当該重合体の製造に使用される単量体の割合と等価である。重合体成分(A)は、構造単位(U1)を含む限り、1種の重合体からなるものであってもよく、2種以上の重合体からなるものであってもよい。例えば、重合体成分(A)が構造単位(U1)、構造単位(U3)及び構造単位(U4)を含む場合、当該重合体成分(A)は、構造単位(U1)、構造単位(U3)及び構造単位(U4)を同一の重合体中に含んでいてもよく、異なる重合体中に含んでいてもよい。なお、重合体成分(A)は、構造単位(U1)〜構造単位(U4)のいずれも有さない重合体を含有していてもよい。 The polymer component (A) may contain only one type of structural unit (U1), or may contain two or more types. The same applies to the structural unit (U2) to the structural unit (U4). The content ratio of each structural unit is usually equivalent to the ratio of the monomers used in the production of the polymer. The polymer component (A) may be composed of one kind of polymer or two or more kinds of polymers as long as it contains the structural unit (U1). For example, when the polymer component (A) contains a structural unit (U1), a structural unit (U3), and a structural unit (U4), the polymer component (A) is a structural unit (U1), a structural unit (U3). And the structural unit (U4) may be contained in the same polymer, or may be contained in different polymers. The polymer component (A) may contain a polymer having neither structural unit (U1) to structural unit (U4).

上記重合体組成物における重合体成分(A)の含有形態としては、例えば、〔1〕構造単位(U1)と構造単位(U2)と構造単位(U3)と構造単位(U4)とを有する重合体(以下「重合体P」ともいう。)を含有する態様、〔2〕構造単位(U1)、構造単位(U3)及び構造単位(U4)を有する重合体と、構造単位(U2)、構造単位(U3)及び構造単位(U4)を有する重合体とを含有する態様、〔3〕構造単位(U1)を有する重合体と、構造単位(U2)を有する重合体と、構造単位(U3)を有する重合体と、構造単位(U4)を有する重合体とを含有する態様、等が挙げられる。これらのうち、重合体組成物の構成成分の数を少なくしつつ、本発明の効果が得られる点で、上記〔1〕が好ましい。重合体Pは、好ましくはアルカリ可溶性樹脂である。 As the content form of the polymer component (A) in the polymer composition, for example, [1] a weight having a structural unit (U1), a structural unit (U2), a structural unit (U3), and a structural unit (U4). An embodiment containing a coalescence (hereinafter, also referred to as "polymer P"), [2] a polymer having a structural unit (U1), a structural unit (U3), and a structural unit (U4), and a structural unit (U2), a structure. An embodiment containing a polymer having a unit (U3) and a structural unit (U4), [3] a polymer having a structural unit (U1), a polymer having a structural unit (U2), and a structural unit (U3). Examples thereof include an embodiment containing a polymer having a structural unit (U4) and a polymer having a structural unit (U4). Of these, the above [1] is preferable in that the effects of the present invention can be obtained while reducing the number of constituent components of the polymer composition. The polymer P is preferably an alkali-soluble resin.

重合体成分(A)において、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)によるポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)は、2000以上であることが好ましい。Mwが2000以上であると、耐熱性や耐薬品性が十分に高く、かつ良好な現像性を示す硬化膜を得ることができる点で好適である。Mwは、より好ましくは5000以上であり、さらに好ましくは8000以上であり、特に好ましくは10000以上である。また、Mwは、成膜性を良好にする観点から、好ましくは50000以下であり、より好ましくは30000以下であり、さらに好ましくは25000以下である。 In the polymer component (A), the polystyrene-equivalent weight average molecular weight (Mw) by gel permeation chromatography (GPC) is preferably 2000 or more. When Mw is 2000 or more, it is preferable in that a cured film having sufficiently high heat resistance and chemical resistance and showing good developability can be obtained. Mw is more preferably 5000 or more, further preferably 8000 or more, and particularly preferably 10000 or more. Further, Mw is preferably 50,000 or less, more preferably 30,000 or less, and further preferably 25,000 or less from the viewpoint of improving the film forming property.

重合体成分(A)において、重量平均分子量Mwと数平均分子量Mnとの比で表される分散度(Mw/Mn)は、4.0以下が好ましく、3.0以下がより好ましく、2.5以下がさらに好ましい。なお、重合体成分(A)が2種以上の重合体からなる場合、2種以上の重合体の混合物のMw、Mw/Mnが上記範囲を満たすことが好ましい。 In the polymer component (A), the dispersity (Mw / Mn) represented by the ratio of the weight average molecular weight Mw to the number average molecular weight Mn is preferably 4.0 or less, more preferably 3.0 or less, and 2. 5 or less is more preferable. When the polymer component (A) is composed of two or more kinds of polymers, it is preferable that Mw and Mw / Mn of a mixture of two or more kinds of polymers satisfy the above range.

重合体成分(A)の含有割合は、重合体組成物に含まれる固形分の全量に対して、10質量%以上であることが好ましく、20質量%以上であることがより好ましく、30質量%以上であることがさらに好ましい。また、重合体成分(A)の含有割合は、重合体組成物に含まれる固形分の全量に対して、90質量%以下であることが好ましく、85質量%以下であることがより好ましく、80質量%以下であることがさらに好ましい。重合体成分(A)の含有割合を上記範囲とすることにより、耐熱性及び耐薬品性が十分に高く、かつ良好な現像性及び透明性を示す硬化膜を得ることができる。 The content ratio of the polymer component (A) is preferably 10% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, and more preferably 30% by mass, based on the total amount of solids contained in the polymer composition. The above is more preferable. The content ratio of the polymer component (A) is preferably 90% by mass or less, more preferably 85% by mass or less, and more preferably 80% by mass, based on the total amount of solids contained in the polymer composition. It is more preferably mass% or less. By setting the content ratio of the polymer component (A) in the above range, a cured film having sufficiently high heat resistance and chemical resistance and exhibiting good developability and transparency can be obtained.

なお、重合体成分(A)は、例えば、上述した各構造単位を導入可能な不飽和単量体を用い、適当な溶媒中、重合開始剤等の存在下で、ラジカル重合等の公知の方法に従って製造することができる。 As the polymer component (A), for example, an unsaturated monomer into which each of the above-mentioned structural units can be introduced is used, and a known method such as radical polymerization is used in a suitable solvent in the presence of a polymerization initiator or the like. Can be manufactured according to.

[反応開始剤(B)]
反応開始剤(B)は、光や熱等によりラジカルやカチオン等の活性種を発生する成分である。この反応開始剤(B)は、多官能重合性化合物の重合反応を開始させるための成分として重合体組成物に配合される。反応開始剤(B)として具体的には、例えばラジカル重合開始剤、カチオン重合開始剤等の重合開始剤が挙げられる。
[Reaction initiator (B)]
The reaction initiator (B) is a component that generates active species such as radicals and cations by light, heat, or the like. This reaction initiator (B) is added to the polymer composition as a component for initiating the polymerization reaction of the polyfunctional polymerizable compound. Specific examples of the reaction initiator (B) include polymerization initiators such as radical polymerization initiators and cationic polymerization initiators.

ラジカル重合開始剤は、光照射や加熱等によりラジカルを発生するものであれば特に限定されない。ラジカル重合開始剤の具体例としては、例えばオキシムエステル化合物、アルキルフェノン化合物 、アシルホスフィンオキサイド化合物、ビイミダゾール化合物、トリアジン化合物、ベンゾイン化合物、ベンゾフェノン化合物等の光ラジカル重合開始剤;過酸化物、アゾ化合物等の熱ラジカル重合開始剤が挙げられる。露光により微細パターンを形成可能な点で、ラジカル重合開始剤はこれらの中でも光ラジカル重合開始剤が好ましく、オキシムエステル化合物がより好ましい。 The radical polymerization initiator is not particularly limited as long as it generates radicals by light irradiation, heating, or the like. Specific examples of the radical polymerization initiator include photoradical polymerization initiators such as oxime ester compounds, alkylphenone compounds, acylphosphine oxide compounds, biimidazole compounds, triazine compounds, benzoin compounds, and benzophenone compounds; peroxides and azo compounds. Examples thereof include thermal radical polymerization initiators such as. Among these, the radical polymerization initiator is preferably a photoradical polymerization initiator, and more preferably an oxime ester compound in that a fine pattern can be formed by exposure.

オキシムエステル化合物としては、O−アシルオキシム化合物等が挙げられる。O−アシルオキシム化合物の具体例としては、1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−2−(O−ベンゾイルオキシム)]、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、1−(9−エチル−6−ベンゾイル−9.H.−カルバゾール−3−イル)−オクタン−1−オンオキシム−O−アセテート、1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−エタン−1−オンオキシム−O−ベンゾエート、1−[9−n−ブチル−6−(2−エチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−エタン−1−オンオキシム−O−ベンゾエート、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O− アセチルオキシム)、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒド ロピラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオ キシム)、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロフラニル ベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、 エタノン−1−[9−エチル−6−{2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)メトキシベンゾイル}−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)が挙げられる。 Examples of the oxime ester compound include O-acyl oxime compounds. Specific examples of the O-acyloxime compound include 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) -2- (O-benzoyloxime)], and ethanone-1- [9-ethyl-6- (2). -Methylbenzoyl) -9H-carbazole-3-yl] -1- (O-acetyloxime), 1- (9-ethyl-6-benzoyl-9.H.-carbazole-3-yl) -octane-1- Onoxime-O-acetate, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9. H. -Carbazole-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-benzoate, 1- [9-n-butyl-6- (2-ethylbenzoyl) -9. H. -Carbazole-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-benzoate, ethane-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranylbenzoyl) -9. H. -Carbazole-3-yl] -1- (O-acetyloxime), Etanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydropyranylbenzoyl) -9. H. -Carbazole-3-yl] -1- (O-acetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydrofuranylbenzoyl) -9. H. -Carbazole-3-yl] -1- (O-acetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- {2-methyl-4- (2,2-dimethyl-1,3-dioxolanyl) methoxybenzoyl) } -9. H. -Carbazole-3-yl] -1- (O-acetyloxime) can be mentioned.

オキシムエステル化合物としては、例えばNCI−831、NCI−930(以上、 株式会社ADEKA社製)、DFI−020、DFI−091(以上、ダイトーケミック ス株式会社製)、イルガキュアOXE01、OXE02、OXE03(以上、BASF社 製)等の市販品を使用することもできる。 Examples of the oxime ester compound include NCI-831, NCI-930 (above, manufactured by ADEKA Corporation), DFI-020, DFI-091 (above, manufactured by Daito Chemics Co., Ltd.), Irgacure OXE01, OXE02, OXE03 (above). , BASF) and other commercially available products can also be used.

カチオン重合開始剤は、光照射や加熱等によりプロトン酸又はルイス酸を発生するものであれば特に限定されない。カチオン重合開始剤は、露光により微細パターンを形成可能な点で光カチオン重合開始剤が好ましく、例えばイオン性光酸発生型、非イオン性光酸発生型の重合開始剤が挙げられる。 The cationic polymerization initiator is not particularly limited as long as it generates protonic acid or Lewis acid by light irradiation, heating, or the like. The cationic polymerization initiator is preferably a photocationic polymerization initiator in that a fine pattern can be formed by exposure, and examples thereof include an ionic photoacid generation type and a nonionic photoacid generation type polymerization initiator.

イオン性光酸発生型の光カチオン重合開始剤としては、オニウム塩化合物、ハロゲン含有化合物、スルホン化合物、スルホン酸化合物、スルホンイミド化合物、ジアゾメタン化合物が挙げられる。上記オニウム塩化合物としては、例えば芳香族スルホニウム塩、芳香族ヨードニウム塩、芳香族ジアゾニウム塩、芳香族アンモニウム塩、(2,4−シクロペンタジエン−1−イル)[(1−メチルエチル)ベンゼン]−Fe塩等が挙げられる。上記オニウム塩化合物の具体例としては、カチオン部分が芳香族スルホニウム、芳香族ヨードニウム、芳香族ジアゾニウム、芳香族アンモニウム、又は(2,4−シクロペンタジエン−1−イル)[(1−メチルエチル)ベンゼン]−Feカチオンであり、アニオン部分がBF4−、PF6−、SbF、[BX(ただし、Xは、2つ以上のフッ素又はトリフルオロメチル基で置換されたフェニル基である)、又は[PRf6−](ただし、Rfはフッ素化アルキル基である)で構成されるオニウム塩が挙げられる。 Examples of the ionic photoacid generation type photocationic polymerization initiator include onium salt compounds, halogen-containing compounds, sulfone compounds, sulfonic acid compounds, sulfonimide compounds, and diazomethane compounds. Examples of the onium salt compound include aromatic sulfonium salts, aromatic iodonium salts, aromatic diazonium salts, aromatic ammonium salts, and (2,4-cyclopentadiene-1-yl) [(1-methylethyl) benzene]-. Examples include Fe salt. Specific examples of the above-mentioned onium salt compound include aromatic sulfonium, aromatic iodonium, aromatic diazonium, aromatic ammonium, or (2,4-cyclopentadiene-1-yl) [(1-methylethyl) benzene) having a cation moiety. ] -Fe cation, the anion moiety is BF 4- , PF 6- , SbF 6 , [BX 4 ] - (where X is a phenyl group substituted with two or more fluorine or trifluoromethyl groups. ), Or an onium salt composed of [PRf 6- ] (where Rf is an alkyl fluorinated group).

非イオン性光酸発生型の光カチオン重合開始剤としては、例えばニトロベンジルエステル、スルホン酸誘導体、リン酸エステル、フェノールスルホン酸エステル、ジアゾナフトキノン、N−ヒドロキシイミドスホナートが挙げられる。 Examples of the nonionic photoacid-generating photocationic polymerization initiator include nitrobenzyl ester, sulfonic acid derivative, phosphoric acid ester, phenolsulfonic acid ester, diazonaphthoquinone, and N-hydroxyimideshonate.

反応開始剤(B)の含有割合(2種以上含有する場合には、2種以上の反応開始剤(B)の合計量)は、重合体成分(A)100質量部に対して、好ましくは1質量部以上であり、より好ましくは3質量部以上であり、さらに好ましくは5質量部以上である。また、反応開始剤(B)の含有割合は、重合体成分(A)100質量部に対して、好ましくは20質量部以下であり、より好ましくは18質量部以下であり、さらに好ましくは15質量部以下である。反応開始剤(B)の含有割合を上記範囲とすることにより、重合体組成物を用いて形成された塗膜に露光した際に、露光ムラによるパターン形成能の低下の影響をできるだけ少なくでき、また現像性がより良好に発揮されるとともに、硬化性及び透明性に優れた硬化膜を形成することができる点で好ましい。 The content ratio of the reaction initiator (B) (when two or more kinds are contained, the total amount of the two or more kinds of reaction initiators (B)) is preferably based on 100 parts by mass of the polymer component (A). It is 1 part by mass or more, more preferably 3 parts by mass or more, and further preferably 5 parts by mass or more. The content ratio of the reaction initiator (B) is preferably 20 parts by mass or less, more preferably 18 parts by mass or less, and further preferably 15 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the polymer component (A). It is less than a part. By setting the content ratio of the reaction initiator (B) to the above range, when the coating film formed by using the polymer composition is exposed, the influence of deterioration of the pattern forming ability due to uneven exposure can be minimized. Further, it is preferable in that the developability is exhibited more satisfactorily and a cured film having excellent curability and transparency can be formed.

[多官能重合性化合物(C)]
多官能重合性化合物(C)は、重合性基を2個以上有する化合物である。重合性基は、炭素−炭素不飽和二重結合を含む基であることが好ましく、例えばビニル基、(メタ)アクリロイル基等が挙げられる。多官能重合性化合物(C)が有する重合性基の数は、好ましくは2〜10個であり、より好ましくは2〜6個である。
[Polyfunctional polymerizable compound (C)]
The polyfunctional polymerizable compound (C) is a compound having two or more polymerizable groups. The polymerizable group is preferably a group containing a carbon-carbon unsaturated double bond, and examples thereof include a vinyl group and a (meth) acryloyl group. The number of polymerizable groups contained in the polyfunctional polymerizable compound (C) is preferably 2 to 10, and more preferably 2 to 6.

光及び熱に対する反応性が高い点で、多官能重合性化合物(C)は、(メタ)アクリロイル基を2個以上有する多官能(メタ)アクリレートであることが好ましい。多官能(メタ)アクリレートの具体例としては、例えば、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート等の、アルキレングリコール又はポリアルキレングリコールの多官能(メタ)アクリル酸エステル;シクロヘキサンジメタノールジ(メタ)アクリレート、トリシクロデカンジメタノールジ(メタ)アクリレート等の、モノシクロアルカンジメタノール又はポリシクロアルカンジメタノールの多官能(メタ)アクリル酸エステル;トリメチロールプロパンポリ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンポリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールポリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールポリ(メタ)アクリレート等の、3価以上の多価アルコールの多官能(メタ)アクリル酸エステル;ペンタエリスリトールAO変性多官能(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンAO変性多官能(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールAO変性多官能(メタ)アクリレート、コハク酸変性ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、コハク酸変性ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート等の、AO変性又はコハク酸変性の多官能(メタ)アクリル酸エステル;エトキシ化イソシアヌル酸トリ(メタ)アクリレート、ε−カプロラクトン変性トリス−(2−(メタ)アクリロキシエチル)イソシアヌレート等の、多官能ウレタン(メタ)アクリレート;トリ(2−(メタ)アクリロイルオキシエチル)フォスフェートが挙げられる。なお、本明細書において「AO変性」とは、エチレンオキシド(EO)変性及びプロピレンオキシド(PO)変性等のアルキレンオキシド変性を意味する。 The polyfunctional polymerizable compound (C) is preferably a polyfunctional (meth) acrylate having two or more (meth) acryloyl groups in terms of high reactivity to light and heat. Specific examples of the polyfunctional (meth) acrylate include, for example, ethylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, and 1,9-nonanediol di ( Polyfunctional (meth) acrylic acid ester of alkylene glycol or polyalkylene glycol such as meta) acrylate; monocycloalkane dimethanol such as cyclohexanedimethanol di (meth) acrylate, tricyclodecanedimethanol di (meth) acrylate or Polycycloalkanedimethanol polyfunctional (meth) acrylic acid ester; trimethylolpropane poly (meth) acrylate, ditrimethylolpropane poly (meth) acrylate, pentaerythritol poly (meth) acrylate, dipentaerythritol poly (meth) acrylate, etc. Polyfunctional (meth) acrylic acid ester of trivalent or higher polyhydric alcohol; pentaerythritol AO-modified polyfunctional (meth) acrylate, trimethylpropan AO-modified polyfunctional (meth) acrylate, dipentaerythritol AO-modified polyfunctional ( AO-modified or succinic acid-modified polyfunctional (meth) acrylic acid esters such as meta) acrylate, succinic acid-modified pentaerythritol tri (meth) acrylate, and succinic acid-modified dipentaerythritol penta (meth) acrylate; Polyfunctional urethane (meth) acrylates such as (meth) acrylate, ε-caprolactone-modified tris- (2- (meth) acryloxyethyl) isocyanurate; tri (2- (meth) acryloyloxyethyl) phosphate can be mentioned. .. In addition, in this specification, "AO modification" means alkylene oxide modification such as ethylene oxide (EO) modification and propylene oxide (PO) modification.

多官能重合性化合物(C)の含有割合は、重合体成分(A)100質量部に対して、20質量部以上が好ましく、30質量部以上がより好ましく、40質量部以上がさらに好ましい。また、多官能重合性化合物(C)の含有割合は、重合体成分(A)100質量部に対して、200質量部以下が好ましく、150質量部以下がより好ましく、100質量部以下がさらに好ましい。多官能重合性化合物(C)の含有割合を20質量部以上とすることにより、重合体組成物を用いて得られる硬化膜の耐熱性や耐薬品性を高めることができる点で好ましい。また、多官能重合性化合物(C)の含有割合を200質量部以下とすることにより、現像性を十分に確保できる点、及び露光ムラを効果的に低減できる点で好ましい。 The content ratio of the polyfunctional polymerizable compound (C) is preferably 20 parts by mass or more, more preferably 30 parts by mass or more, and further preferably 40 parts by mass or more with respect to 100 parts by mass of the polymer component (A). The content ratio of the polyfunctional polymerizable compound (C) is preferably 200 parts by mass or less, more preferably 150 parts by mass or less, still more preferably 100 parts by mass or less, based on 100 parts by mass of the polymer component (A). .. By setting the content ratio of the polyfunctional polymerizable compound (C) to 20 parts by mass or more, it is preferable in that the heat resistance and chemical resistance of the cured film obtained by using the polymer composition can be improved. Further, by setting the content ratio of the polyfunctional polymerizable compound (C) to 200 parts by mass or less, it is preferable in that sufficient developability can be ensured and exposure unevenness can be effectively reduced.

[その他成分]
本開示の重合体組成物は、上述した重合体成分(A)、反応開始剤(B)及び多官能重合性化合物(C)に加え、以下に示すその他の成分をさらに含有していてもよい。
[Other ingredients]
The polymer composition of the present disclosure may further contain other components shown below in addition to the above-mentioned polymer component (A), reaction initiator (B) and polyfunctional polymerizable compound (C). ..

・密着助剤(D)
密着助剤(D)は、重合体組成物を用いて得られる硬化膜と下層(例えば基板)との密着性を向上させる成分である。密着助剤(D)としては、カルボキシ基、(メタ)アクリロイル基、ビニル基、イソシアネート基、オキシラニル基等の反応性官能基を有するシランカップリング剤(以下「官能性シランカップリング剤」ともいう)が好ましい。官能性シランカップリング剤としては、例えばトリメトキシシリル安息香酸、(メタ)アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、3−グリシジルオキシプロピルトリメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、リン酸2−((メタ)アクリロキシ)エチルが挙げられる。密着助剤(D)の含有割合は、重合体成分(A)100質量部に対して、0.01〜10質量部が好ましく、0.1〜5質量部がより好ましく、0.5〜4質量部がさらに好ましい。
・ Adhesion aid (D)
The adhesion aid (D) is a component that improves the adhesion between the cured film obtained by using the polymer composition and the lower layer (for example, a substrate). The adhesion aid (D) is a silane coupling agent having a reactive functional group such as a carboxy group, a (meth) acryloyl group, a vinyl group, an isocyanate group, and an oxylanyl group (hereinafter, also referred to as “functional silane coupling agent”). ) Is preferable. Examples of the functional silane coupling agent include trimethoxysilyl benzoic acid, (meth) acryloxipropyltrimethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, vinyltrimethoxysilane, γ-isocyanuspropyltriethoxysilane, and 3-glycidyloxypropyltri. Examples thereof include methoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, and 2-((meth) acryloxy) ethyl phosphate. The content ratio of the adhesion aid (D) is preferably 0.01 to 10 parts by mass, more preferably 0.1 to 5 parts by mass, and 0.5 to 4 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the polymer component (A). Parts by mass are even more preferred.

・重合禁止剤(E)
重合禁止剤(E)は、重合体組成物の保存安定性を高める成分である。重合禁止剤(E)としては、例えば、硫黄、キノン類(例えばベンゾキノン)、ヒドロキノン類(例えばヒドロキノン、2,5−ジ−t−ブチルヒドロキノン)、ポリオキシ化合物(例えばp−メトキシフェノール)、アミン化合物(例えばN,N−ジエチルヒドロキシアミン)、ニトロソアミン化合物(例えばN−ニトロソ−N−フェニルヒドロキシルアミンアルミニウム)が挙げられる。重合禁止剤(E)の含有割合は、重合体成分(A)100質量部に対して、0.01〜0.5質量部が好ましく、0.01〜0.3質量部がより好ましく、0.01〜0.2質量部がさらに好ましい。
-Polymerization inhibitor (E)
The polymerization inhibitor (E) is a component that enhances the storage stability of the polymer composition. Examples of the polymerization inhibitor (E) include sulfur, quinones (for example, benzoquinone), hydroquinones (for example, hydroquinone, 2,5-di-t-butylhydroquinone), polyoxy compounds (for example, p-methoxyphenol), and amine compounds. (For example, N, N-diethylhydroxyamine), nitrosamine compounds (for example, N-nitroso-N-phenylhydroxylamine aluminum) can be mentioned. The content ratio of the polymerization inhibitor (E) is preferably 0.01 to 0.5 parts by mass, more preferably 0.01 to 0.3 parts by mass, and 0, based on 100 parts by mass of the polymer component (A). 0.01 to 0.2 parts by mass is more preferable.

・溶剤(F)
本開示の重合体組成物は、重合体成分(A)、反応開始剤(B)及び多官能重合性化合物(C)、並びに必要に応じて配合されるその他の成分が、好ましくは溶剤中に溶解又は分散された液状の組成物である。使用する溶剤(F)としては、上記の各成分を溶解し、かつ各成分と反応しない有機溶媒が好ましい。
・ Solvent (F)
In the polymer composition of the present disclosure, the polymer component (A), the reaction initiator (B) and the polyfunctional polymerizable compound (C), and other components to be blended as necessary are preferably contained in a solvent. It is a dissolved or dispersed liquid composition. As the solvent (F) to be used, an organic solvent that dissolves each of the above components and does not react with each component is preferable.

溶剤(F)の具体例としては、例えば、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、オクタノール等のアルコール類;酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸エチル、γ−ブチロラクトン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル等のエステル類;エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレンジグリコールモノメチルエーテル、エチレンジグリコールエチルメチルエーテル等のエーテル類;ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等のアミド類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素が挙げられる。これらのうち、溶剤(F)はエステル類が好ましい。 Specific examples of the solvent (F) include alcohols such as methanol, ethanol, isopropanol, butanol, and octanol; ethyl acetate, butyl acetate, ethyl lactate, γ-butyrolactone, propylene glycol monomethyl ether acetate, and propylene glycol monoethyl ether. Esters such as acetate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate; ethers such as ethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, ethylene diglycol monomethyl ether, ethylene diglycol ethyl methyl ether; dimethylformamide, Amidos such as N, N-dimethylacetamide and N-methylpyrrolidone; ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene and ethyl benzene can be mentioned. Of these, the solvent (F) is preferably esters.

本開示の重合体組成物は、その他の成分として、上記のほか、例えば酸化防止剤、界面活性剤、連鎖移動剤等を含有していてもよい。これらの成分の配合割合は、本開示の効果を損なわない範囲で各成分に応じて適宜選択される。 In addition to the above, the polymer composition of the present disclosure may contain, for example, an antioxidant, a surfactant, a chain transfer agent, or the like as other components. The blending ratio of these components is appropriately selected according to each component as long as the effects of the present disclosure are not impaired.

重合体組成物が液状組成物である場合、その固形分濃度(重合体組成物中の溶媒以外の成分の合計質量が、重合体組成物の全質量に対して占める割合)は、粘性や揮発性等を考慮して適宜に選択されるが、好ましくは5〜60質量%の範囲である。固形分濃度が5質量%以上であると、重合体組成物を基板上に塗布した際に塗膜の膜厚を十分に確保できる。また、固形分濃度が60質量%以下であると、塗膜の膜厚が過大となりすぎず、さらに重合体組成物の粘性を適度に高くでき、良好な塗布性を確保できる。重合体組成物における固形分濃度は、より好ましくは10〜55質量%であり、さらに好ましくは15〜50質量%である。 When the polymer composition is a liquid composition, its solid content concentration (the ratio of the total mass of components other than the solvent in the polymer composition to the total mass of the polymer composition) is viscous or volatile. It is appropriately selected in consideration of properties and the like, but is preferably in the range of 5 to 60% by mass. When the solid content concentration is 5% by mass or more, a sufficient film thickness of the coating film can be secured when the polymer composition is applied onto the substrate. Further, when the solid content concentration is 60% by mass or less, the film thickness of the coating film does not become excessive, the viscosity of the polymer composition can be appropriately increased, and good coatability can be ensured. The solid content concentration in the polymer composition is more preferably 10 to 55% by mass, still more preferably 15 to 50% by mass.

<硬化膜及びその製造方法>
本開示の硬化膜は、上記のように調製された重合体組成物により形成される。上記重合体組成物によれば、アウトガスの発生が低減され、かつ耐熱性及び透明性に優れた硬化膜を得ることができる。したがって、上記硬化膜は有機EL素子の絶縁膜として有用である。具体的には、上記硬化膜は、有機EL素子において、薄膜トランジスタ(TFT)等による表面凹凸を平坦化する平坦化膜、配線間を絶縁する層間絶縁膜、発光層を形成する領域を規定する隔壁及びバンク、TFT等を保護する保護膜、スペーサー、カラーフィルタ用接着剤層等として使用することができる。この硬化膜は、例えば隔壁やバンク、平坦化膜等の材料としてポリイミド材料を用いる従来の有機EL素子と比較して、コスト低減を図ることができる点で有意である。なお、本明細書において、「隔壁」はカラーフィルタや量子ドットを用いた色変換層等の色分けに使用される部材、「バンク」は発光層を区分けする部材をいう。
<Cured film and its manufacturing method>
The cured film of the present disclosure is formed by the polymer composition prepared as described above. According to the above-mentioned polymer composition, it is possible to obtain a cured film in which the generation of outgas is reduced and the heat resistance and transparency are excellent. Therefore, the cured film is useful as an insulating film for organic EL elements. Specifically, the cured film is a partition film that defines a flattening film that flattens surface irregularities due to a thin film transistor (TFT) or the like, an interlayer insulating film that insulates between wirings, and a region that forms a light emitting layer in an organic EL element. It can also be used as a protective film that protects banks, TFTs, etc., spacers, adhesive layers for color filters, and the like. This cured film is significant in that it can reduce costs as compared with a conventional organic EL device that uses a polyimide material as a material for, for example, a partition wall, a bank, or a flattening film. In the present specification, the "partition wall" refers to a member used for color coding such as a color filter or a color conversion layer using quantum dots, and the "bank" refers to a member for separating the light emitting layer.

硬化膜の製造に際し、上記重合体組成物として感放射線性硬化型の組成物を用いることにより、紫外線、遠紫外線、可視光線等の放射線の照射によってネガ型の硬化膜を形成することができる。当該硬化膜は、例えば以下の工程1〜工程4を含む方法により製造することができる。
(工程1)上記重合体組成物を用いて基材上に塗膜を形成する工程。
(工程2)上記塗膜の少なくとも一部を露光する工程。
(工程3)塗膜を現像する工程。
(工程4)現像された塗膜を加熱する工程。
以下、各工程について詳細に説明する。
By using a radiation-sensitive curable composition as the polymer composition in the production of the cured film, a negative cured film can be formed by irradiation with radiation such as ultraviolet rays, far ultraviolet rays, and visible light. The cured film can be produced, for example, by a method including the following steps 1 to 4.
(Step 1) A step of forming a coating film on a substrate using the polymer composition.
(Step 2) A step of exposing at least a part of the coating film.
(Step 3) A step of developing a coating film.
(Step 4) A step of heating the developed coating film.
Hereinafter, each step will be described in detail.

[工程1:膜形成工程]
本工程では、膜を形成する面(以下「被成膜面」ともいう)に重合体組成物を塗布し、好ましくは加熱処理(プレベーク)を行うことにより溶媒を除去して被成膜面上に塗膜を形成する。被成膜面の材質は特に限定されず、硬化膜の用途に応じて適宜選択される。例えば、平坦化膜の用途の場合、TFT等のスイッチング素子が設けられた基板上に上記重合体組成物が塗布され、塗膜が形成される。基板としては、例えばガラス基板や樹脂基板が用いられる。隔壁及びバンクの用途の場合には、電極が形成された平坦化膜上に上記重合体組成物が塗布され、塗膜が形成される。電極としては、例えば金属や合金、無機導電材料(ITO等)が用いられる。
[Step 1: Film forming step]
In this step, the polymer composition is applied to the surface on which the film is formed (hereinafter, also referred to as “the surface to be filmed”), and preferably heat treatment (pre-baking) is performed to remove the solvent on the surface to be filmed. A coating film is formed on the surface. The material of the surface to be filmed is not particularly limited, and is appropriately selected depending on the intended use of the cured film. For example, in the case of a flattening film, the polymer composition is applied onto a substrate provided with a switching element such as a TFT to form a coating film. As the substrate, for example, a glass substrate or a resin substrate is used. In the case of partition wall and bank applications, the polymer composition is applied onto a flattening film on which electrodes are formed to form a coating film. As the electrode, for example, a metal, an alloy, or an inorganic conductive material (ITO or the like) is used.

重合体組成物の塗布方法としては、例えば、スプレー法、ロールコート法、スピンコート法、スリットダイ塗布法、バー塗布法、インクジェット法が挙げられる。これらの中でも、スピンコート法、スリットダイ塗布法又はバー塗布法により行うことが好ましい。プレベーク条件としては、重合体組成物における各成分の種類及び含有割合等によっても異なるが、例えば60〜130℃で0.5〜10分である。形成される塗膜の膜厚(すなわち、プレベーク後の膜厚)は、1.0〜12.0μmが好ましい。 Examples of the coating method of the polymer composition include a spray method, a roll coating method, a spin coating method, a slit die coating method, a bar coating method, and an inkjet method. Among these, it is preferable to carry out by a spin coating method, a slit die coating method or a bar coating method. The prebaking conditions vary depending on the type and content ratio of each component in the polymer composition, but are, for example, 0.5 to 10 minutes at 60 to 130 ° C. The film thickness of the coating film formed (that is, the film thickness after prebaking) is preferably 1.0 to 12.0 μm.

[工程2:露光工程]
本工程では、上記工程1で形成した塗膜の少なくとも一部に放射線を照射する。このとき、塗膜に対し、所定のパターンを有するマスクを介して放射線を照射することにより、パターンを有する硬化膜を形成できる。放射線としては、例えば、紫外線、遠紫外線、可視光線、X線、電子線等の荷電粒子線が挙げられる。これらの中でも紫外線が好ましく、例えばg線(波長436nm)、i線(波長365nm)が挙げられる。放射線の露光量としては、0.1〜20,000J/mが好ましい。
[Step 2: Exposure step]
In this step, at least a part of the coating film formed in the above step 1 is irradiated with radiation. At this time, a cured film having a pattern can be formed by irradiating the coating film with radiation through a mask having a predetermined pattern. Examples of radiation include charged particle beams such as ultraviolet rays, far ultraviolet rays, visible rays, X-rays, and electron beams. Among these, ultraviolet rays are preferable, and examples thereof include g-line (wavelength 436 nm) and i-line (wavelength 365 nm). The amount of radiation exposure is preferably 0.1 to 20,000 J / m 2.

[工程3:現像工程]
本工程では、放射線が照射された塗膜を現像する。具体的には、工程2で放射線が照射された塗膜に対し、現像液により現像を行って放射線の非照射部分を除去するネガ型現像を行う。現像液としては、例えば、アルカリ(塩基性化合物)の水溶液が挙げられる。アルカリとしては、例えば、水酸化ナトリウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、特開2016−145913号公報の段落[0127]に例示されたアルカリが挙げられる。アルカリ水溶液におけるアルカリ濃度としては、適度な現像性を得る観点から、0.1〜5.0質量%が好ましい。
[Process 3: Development process]
In this step, the radiation-irradiated coating film is developed. Specifically, the coating film irradiated with radiation in step 2 is developed with a developing solution to perform negative-type development in which a non-irradiated portion of radiation is removed. Examples of the developing solution include an aqueous solution of an alkali (basic compound). Examples of the alkali include sodium hydroxide, tetramethylammonium hydroxide, and the alkali exemplified in paragraph [0127] of JP-A-2016-145913. The alkali concentration in the alkaline aqueous solution is preferably 0.1 to 5.0% by mass from the viewpoint of obtaining appropriate developability.

現像方法としては、例えば液盛り法、ディッピング法、揺動浸漬法、シャワー法等の適宜の方法が挙げられる。現像時間は、における各成分の種類及び含有割合等によっても異なるが、例えば30〜120秒である。なお、現像工程の後、パターニングされた塗膜に対して流水洗浄によるリンス処理を行うことが好ましい。 Examples of the developing method include an appropriate method such as a liquid filling method, a dipping method, a rocking dipping method, and a shower method. The development time varies depending on the type and content ratio of each component in, but is, for example, 30 to 120 seconds. After the developing step, it is preferable to rinse the patterned coating film by washing with running water.

[工程4:加熱工程]
本工程では、現像された塗膜を加熱する処理(ポストベーク)を行う。ポストベークは、例えばオーブンやホットプレート等の加熱装置を用いて行うことができる。ポストベーク条件について、加熱温度は、例えば120〜250℃である。また、加熱時間は、例えばホットプレート上で加熱処理を行う場合には5〜40分、オーブン中で加熱処理を行う場合には10〜80分である。以上のようにして、目的とするパターンを有する硬化膜を基板上に形成することができる。
[Step 4: Heating step]
In this step, a process (post-baking) of heating the developed coating film is performed. Post-baking can be performed using a heating device such as an oven or a hot plate. For post-baking conditions, the heating temperature is, for example, 120-250 ° C. The heating time is, for example, 5 to 40 minutes when the heat treatment is performed on a hot plate, and 10 to 80 minutes when the heat treatment is performed in the oven. As described above, a cured film having a desired pattern can be formed on the substrate.

上記工程により得られた硬化膜は、上記重合体組成物を用いて形成されているため、シビアな条件においてもアウトガスの発生を少なくすることができる。具体的には、昇温速度10℃/分で室温から230℃に昇温した後、230℃で15分保持している間に発生するアウトガス量は、100ng/cm未満であることが好ましい。当該条件におけるアウトガス量は、より好ましくは80ng/cm以下であり、さらに好ましくは70ng/cm以下であり、特に好ましくは50ng/cm未満である。なお、アウトガス量の測定方法の詳細は、後述する実施例に記載の方法に従う。 Since the cured film obtained by the above step is formed by using the above polymer composition, it is possible to reduce the generation of outgas even under severe conditions. Specifically, the amount of outgas generated while the temperature is raised from room temperature to 230 ° C. at a heating rate of 10 ° C./min and then held at 230 ° C. for 15 minutes is preferably less than 100 ng / cm 2. .. Outgas amount in the conditions, more preferably 80 ng / cm 2 or less, more preferably 70 ng / cm 2 or less, particularly preferably less than 50 ng / cm 2. The details of the method for measuring the outgas amount follow the method described in Examples described later.

<有機EL素子>
本開示の有機EL素子は、上記重合体組成物を用いて形成された硬化膜を有する。当該有機EL素子としては、表示素子及び照明素子が挙げられる。有機EL表示素子及び有機EL照明素子において上記硬化膜は、例えば平坦化膜、層間絶縁膜、隔壁、バンク、スペーサー、保護膜及びカラーフィルタ用接着剤層よりなる群から選択される少なくとも1種として用いることができる。
<Organic EL element>
The organic EL device of the present disclosure has a cured film formed by using the above polymer composition. Examples of the organic EL element include a display element and a lighting element. In the organic EL display element and the organic EL illumination element, the cured film is at least one selected from the group consisting of, for example, a flattening film, an interlayer insulating film, a partition wall, a bank, a spacer, a protective film, and an adhesive layer for a color filter. Can be used.

有機EL素子の具体的態様について、適宜図面を用いて説明する。有機EL素子10の1つの実施態様は、図1に示すトップエミッション型構造の有機EL素子である。有機EL素子10は、マトリクス状に形成された複数の画素を有するアクティブマトリクス型である。有機EL素子10は、支持基板11と、画素電極12及び対向電極13からなる一対の電極と、有機発光層14と、封止基板15と、を備える。 Specific aspects of the organic EL element will be described with reference to the drawings as appropriate. One embodiment of the organic EL element 10 is an organic EL element having a top emission type structure shown in FIG. The organic EL element 10 is an active matrix type having a plurality of pixels formed in a matrix. The organic EL element 10 includes a support substrate 11, a pair of electrodes including a pixel electrode 12 and a counter electrode 13, an organic light emitting layer 14, and a sealing substrate 15.

トップエミッション型構造の有機EL素子10において、支持基板11は、特に限定されないが、例えば無アルカリガラス等のガラス材料;ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリイミド等の樹脂材料からなる透明基板とすることができる。支持基板11上には、画素ごとに薄膜トランジスタ(TFT)16が形成されている。TFT16は、ゲート電極上にゲート絶縁膜及び半導体層を順に備えるボトムゲート型であってもよく、半導体層上にゲート絶縁膜及びゲート電極を順に備えるトップゲート型であってもよい。 In the organic EL element 10 having a top emission type structure, the support substrate 11 is not particularly limited, but may be a transparent substrate made of, for example, a glass material such as non-alkali glass; a resin material such as polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, or polyimide. can. A thin film transistor (TFT) 16 is formed on the support substrate 11 for each pixel. The TFT 16 may be a bottom gate type in which a gate insulating film and a semiconductor layer are sequentially provided on the gate electrode, or a top gate type in which the gate insulating film and the gate electrode are sequentially provided on the semiconductor layer.

支持基板11上には平坦化膜17が配置されている。平坦化膜17は絶縁膜であり、TFT16を被覆するように支持基板11の面全体に形成されている。支持基板11上に平坦化膜17が形成されることにより、TFT16による表面凹凸が平坦化される。平坦化膜17上には、陽極としての画素電極12が形成されている。 A flattening film 17 is arranged on the support substrate 11. The flattening film 17 is an insulating film and is formed on the entire surface of the support substrate 11 so as to cover the TFT 16. By forming the flattening film 17 on the support substrate 11, the surface unevenness due to the TFT 16 is flattened. A pixel electrode 12 as an anode is formed on the flattening film 17.

画素電極12は、導電性材料により形成されている。有機EL素子10がトップエミッション型構造の場合、画素電極12は光反射性を有することが求められる。光反射性の電極を構成する導電性材料は、Al(アルミニウム)、APC合金(銀、パラジウム及び銅の合金)、ARA合金(銀、ルビジウム及び金の合金)、MoCr合金(モリブデンとクロムの合金)、NiCr合金(ニッケルとクロムの合金)、又はこれらの金属と光透過性の高い電極(例えばITO(Indium Tin Oxide))との積層膜が好ましい。画素電極12は、平坦化膜17に形成されたスルーホール18を介してTFT16に電気的に接続されている。 The pixel electrode 12 is made of a conductive material. When the organic EL element 10 has a top emission type structure, the pixel electrode 12 is required to have light reflectivity. The conductive materials that make up the light-reflecting electrode are Al (aluminum), APC alloy (alloy of silver, palladium and copper), ARA alloy (alloy of silver, rubidium and gold), MoCr alloy (alloy of molybdenum and chromium). ), NiCr alloy (alloy of nickel and chromium), or a laminated film of these metals and an electrode having high light transmittance (for example, ITO (Indium Tin Oxide)) is preferable. The pixel electrode 12 is electrically connected to the TFT 16 via a through hole 18 formed in the flattening film 17.

対向電極13は、画素電極12に対向する位置に配置されている。対向電極13は、導電性材料により形成され、各画素の共通電極として機能する。有機EL素子10がトップエミッション型構造の場合、対向電極13は光透過性を有することが求められる。光透過性の電極を構成する導電性材料は、ITO、IZO(Indium Zinc Oxide)又は酸化スズが好ましい。 The counter electrode 13 is arranged at a position facing the pixel electrode 12. The counter electrode 13 is formed of a conductive material and functions as a common electrode for each pixel. When the organic EL element 10 has a top emission type structure, the counter electrode 13 is required to have light transmission. As the conductive material constituting the light-transmitting electrode, ITO, IZO (Indium Zinc Oxide) or tin oxide is preferable.

有機発光層14は、画素電極12と対向電極13との間に配置されている。具体的には、平坦化膜17上には、膜表面から突出する隔壁19が形成されている。隔壁19は、各画素電極12の外周部上を覆うように配置されており、複数の画素電極12をそれぞれ区画している。隔壁19によって囲まれた領域には凹部21が形成されており、各凹部21において画素電極12上に有機発光層14が配置されている。有機発光層14は、電界発光する有機発光材料を含む層である。有機発光材料は、低分子化合物であってもよく、重合体であってもよい。また、有機発光層14は、発光層とともに、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層及び電子注入層のうち少なくともいずれかを含む複数の薄膜層からなるものであってもよい。 The organic light emitting layer 14 is arranged between the pixel electrode 12 and the counter electrode 13. Specifically, a partition wall 19 projecting from the film surface is formed on the flattening film 17. The partition wall 19 is arranged so as to cover the outer peripheral portion of each pixel electrode 12, and partitions the plurality of pixel electrodes 12. A recess 21 is formed in the region surrounded by the partition wall 19, and the organic light emitting layer 14 is arranged on the pixel electrode 12 in each recess 21. The organic light emitting layer 14 is a layer containing an organic light emitting material that emits electroluminescence. The organic light emitting material may be a small molecule compound or a polymer. Further, the organic light emitting layer 14 may be composed of a plurality of thin film layers including at least one of a hole injection layer, a hole transport layer, an electron transport layer and an electron injection layer together with the light emitting layer.

有機EL素子10において、平坦化膜17及び隔壁19のうち少なくとも一方は、上記重合体組成物を用いて形成されている。例えば、上記重合体組成物としてネガ型の感放射線性重合体組成物を用いて平坦化膜17を形成する場合、まず、TFT16を備える支持基板11のTFT16側の面に上記重合体組成物を塗布し、好ましくはプレベークすることにより、支持基板11上に塗膜を形成する。次いで、この塗膜に対し、必要に応じてマスクを介して放射線を照射し、露光部分において多官能重合性化合物(C)の硬化反応を生じさせる。露光後、現像処理及びポストベーク処理を行うことにより、平坦化膜17を形成することができる。 In the organic EL element 10, at least one of the flattening film 17 and the partition wall 19 is formed by using the above-mentioned polymer composition. For example, when the flattening film 17 is formed by using a negative type radiation-sensitive polymer composition as the polymer composition, first, the polymer composition is applied to the surface of the support substrate 11 provided with the TFT 16 on the TFT 16 side. A coating film is formed on the support substrate 11 by applying and preferably prebaking. Next, the coating film is irradiated with radiation through a mask, if necessary, to cause a curing reaction of the polyfunctional polymerizable compound (C) in the exposed portion. After the exposure, the flattening film 17 can be formed by performing a developing process and a post-baking process.

隔壁19を形成する場合も同様である。まず、画素電極12が形成された平坦化膜17の電極形成面に、上記重合体組成物としてネガ型の感放射線性重合体組成物を塗布し、好ましくはプレベークすることにより塗膜を形成する。次いで、この塗膜に対し、隔壁19の形状に対応するパターンを有するマスクを介して放射線を照射する。その後、現像処理及びポストベーク処理を行うことにより、画素電極12を有する平坦化膜17上に隔壁19及び凹部21を形成することができる。こうして形成された凹部21に、例えばインクジェット法等により有機発光層14を形成する。平坦化膜17において有機発光層14の形成面には、対向電極13及びパッシベーション膜22がこの順に積層される。 The same applies to the case of forming the partition wall 19. First, a negative-type radiation-sensitive polymer composition is applied as the polymer composition to the electrode-forming surface of the flattening film 17 on which the pixel electrodes 12 are formed, and a coating film is preferably formed by prebaking. .. Next, the coating film is irradiated with radiation through a mask having a pattern corresponding to the shape of the partition wall 19. After that, the partition wall 19 and the recess 21 can be formed on the flattening film 17 having the pixel electrodes 12 by performing a developing process and a post-baking process. The organic light emitting layer 14 is formed in the recess 21 thus formed by, for example, an inkjet method. The counter electrode 13 and the passivation film 22 are laminated in this order on the forming surface of the organic light emitting layer 14 in the flattening film 17.

封止基板15は、支持基板11において有機発光層14等が配置された面に対向するように、当該配置面に対し所定間隔をあけて配置されている。封止基板15は、光透過性の高い絶縁材料により形成されており、例えば無アルカリガラス基板等のガラス基板;ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリイミド等の透明樹脂基板からなる。封止基板15の外周端部は、シール剤を用いて支持基板11と貼り合わせられている。これにより、支持基板11、封止基板15及びシール剤により囲まれた空間に封止層23が形成されている。 The sealing substrate 15 is arranged at a predetermined interval with respect to the arrangement surface so as to face the surface on which the organic light emitting layer 14 and the like are arranged on the support substrate 11. The sealing substrate 15 is formed of an insulating material having high light transmittance, and is made of, for example, a glass substrate such as a non-alkali glass substrate; a transparent resin substrate such as polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, or polyimide. The outer peripheral end of the sealing substrate 15 is bonded to the supporting substrate 11 using a sealing agent. As a result, the sealing layer 23 is formed in the space surrounded by the support substrate 11, the sealing substrate 15, and the sealing agent.

封止層23は、例えば窒素ガス等が充填された不活性ガス層、又は接着剤等による充填層である。また、封止基板15における封止層23側の面には、ブラックマトリクス24とカラーフィルタ25とが配置されている。各画素の有機発光層14から放射された白色光は、カラーフィルタ25により透過選択された色光となって封止基板15を透過する。 The sealing layer 23 is, for example, an inert gas layer filled with nitrogen gas or the like, or a packed layer with an adhesive or the like. Further, a black matrix 24 and a color filter 25 are arranged on the surface of the sealing substrate 15 on the sealing layer 23 side. The white light emitted from the organic light emitting layer 14 of each pixel becomes the color light transmitted and selected by the color filter 25 and transmits through the sealing substrate 15.

有機EL素子10の他の実施態様は、図2に示すボトムエミッション型構造の有機EL素子である。なお、以下の図2の説明では、図1と同一の点については図1の説明を援用することとし、図1との相違点を中心に説明する。 Another embodiment of the organic EL element 10 is an organic EL element having a bottom emission type structure shown in FIG. In the following description of FIG. 2, the same points as those of FIG. 1 will be referred to the description of FIG. 1, and the differences from FIG. 1 will be mainly described.

図2に示す有機EL素子10において、支持基板11上には、TFT16とカラーフィルタ25とが設けられている。平坦化膜17上には、画素電極12及び対向電極13からなる一対の電極と、一対の電極間に配置された有機発光層14とが設けられている。有機EL素子10がボトムエミッション型構造の場合、支持基板11及び画素電極12は光透過性を有することが求められ、対向電極13は光反射性を有することが求められる。光透過性の基板材料、光透過性の導電性材料及び光反射性の導電性材料については、図1で例示した材料が挙げられる。各画素の有機発光層14から放射された白色光は、カラーフィルタ25により透過選択された色光となって支持基板11を透過する。 In the organic EL element 10 shown in FIG. 2, a TFT 16 and a color filter 25 are provided on the support substrate 11. On the flattening film 17, a pair of electrodes composed of a pixel electrode 12 and a counter electrode 13 and an organic light emitting layer 14 arranged between the pair of electrodes are provided. When the organic EL element 10 has a bottom emission type structure, the support substrate 11 and the pixel electrode 12 are required to have light transmission, and the counter electrode 13 is required to have light reflection. Examples of the light-transmitting substrate material, the light-transmitting conductive material, and the light-reflecting conductive material include the materials exemplified in FIG. The white light emitted from the organic light emitting layer 14 of each pixel becomes the color light transmitted and selected by the color filter 25 and transmits through the support substrate 11.

以下、本発明を実施例に基づいて更に具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されない。以下の実施例等の記載において、特に言及しない限り、「部」は「質量部」を意味する。重合体の重量平均分子量(Mw)、数平均分子量(Mn)及び分散度(Mw/Mn)は以下の方法により測定した。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail based on Examples, but the present invention is not limited to these Examples. In the following examples and the like, unless otherwise specified, "parts" means "parts by mass". The weight average molecular weight (Mw), number average molecular weight (Mn) and dispersity (Mw / Mn) of the polymer were measured by the following methods.

[Mw、Mn及びMw/Mnの測定方法]
重合体のMw及びMnは、東ソー社のGPCカラム(G2000HXL 2本、G3000HXL 1本、G4000HXL 1本)を用い、下記分析条件でゲルパーミエーションクロマトグラフィー法(GPC法)により測定した。分散度(Mw/Mn)は、Mw及びMnの測定結果から算出した。
(分析条件)
溶出溶媒:テトラヒドロフラン
流量:1.0mL/分
試料濃度:1.0質量%
試料注入量:100μL
カラム温度:40℃
検出器:示差屈折計
標準物質:単分散ポリスチレン
[Measurement method of Mw, Mn and Mw / Mn]
The Mw and Mn of the polymer were measured by gel permeation chromatography (GPC method) under the following analytical conditions using Tosoh's GPC columns (2 G2000HXL, 1 G3000HXL, 1 G4000HXL). The degree of dispersion (Mw / Mn) was calculated from the measurement results of Mw and Mn.
(Analysis conditions)
Elution solvent: tetrahydrofuran Flow rate: 1.0 mL / min Sample concentration: 1.0% by mass
Sample injection volume: 100 μL
Column temperature: 40 ° C
Detector: Differential refractometer Standard material: Monodisperse polystyrene

<アルカリ可溶性樹脂の合成>
[合成例1]
冷却管及び撹拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス−(2,4−ジメチルバレロニトリル)10部及び3−メトキシプロピオン酸メチル200部を仕込んだ。引き続き、メタクリル酸10部、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート35部、シクロへキシルアクリレート25部、N−シクロへキシルマレイミド25部、及びメチルメタクリレート5部を仕込んだ。窒素置換した後、ゆるやかに撹拌を始めた。溶液の温度を75℃に上昇させ、この温度を5時間保持することによってアルカリ可溶性樹脂(以下、「樹脂(A−1)」とする)を含む溶液を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は34.2質量%であり、樹脂(A−1)のMwは12,000、Mw/Mnは2.0であった。
<Synthesis of alkali-soluble resin>
[Synthesis Example 1]
A flask equipped with a cooling tube and a stirrer was charged with 10 parts of 2,2'-azobis- (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts of methyl 3-methoxypropionate. Subsequently, 10 parts of methacrylic acid, 35 parts of 3,4-epoxycyclohexylmethylmethacrylate, 25 parts of cyclohexyl acrylate, 25 parts of N-cyclohexylmaleimide, and 5 parts of methyl methacrylate were charged. After substituting with nitrogen, stirring was started gently. The temperature of the solution was raised to 75 ° C., and this temperature was maintained for 5 hours to obtain a solution containing an alkali-soluble resin (hereinafter referred to as “resin (A-1)”). The solid content concentration of the obtained resin solution was 34.2% by mass, the Mw of the resin (A-1) was 12,000, and the Mw / Mn was 2.0.

[合成例2〜12]
モノマーとして表1に示す種類及び配合量の各成分を用いたこと以外は合成例1と同様に操作して、樹脂(A−2)〜(A−20)を含む溶液を得た。結果を表1に示す。
[Synthesis Examples 2-12]
A solution containing the resins (A-2) to (A-20) was obtained by operating in the same manner as in Synthesis Example 1 except that each component of the type and blending amount shown in Table 1 was used as the monomer. The results are shown in Table 1.

Figure 2021116400
Figure 2021116400

表1中、モノマーの略称は以下のとおりである。
(a1)N−シクロへキシルマレイミド
(a2)N−フェニルマレイミド
(a3)シクロへキシルアクリレート
(a4)トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イルアクリレート
(a5)ベンジルアクリレート
(a6)フェニルアクリレート
(a7)3,4−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート
(a8)3,4−エポキシトリシクロ[5.2.1.02,6]デシルアクリレート
(a9)グリシジルメタクリレート
(a10)(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルメタクリレート
(a11)メタクリル酸
(a12)4−ヒドロキシ−α−メチルスチレン
(a13)マレイミド
(a14)メチルメタクリレート
(a15)スチレン
In Table 1, the abbreviations of the monomers are as follows.
(A1) N-Cyclohexyl maleimide (a2) N-phenylmaleimide (a3) Cyclohexyl acrylate (a4) Tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] Decane-8-yl acrylate (a5) benzyl acrylate (A6) Fenyl acrylate (a7) 3,4-epoxycyclohexylmethylmethacrylate (a8) 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decylacrylate (a9) glycidyl methacrylate (a10) (3) -Ethyloxetane-3-yl) Methylmethacrylate (a11) Methacrylate (a12) 4-Hydroxy-α-methylstyrene (a13) Maleimide (a14) Methylmethacrylate (a15) styrene

<感放射線性樹脂組成物の調製>
[実施例1]
樹脂(A−1)を含有する溶液に、樹脂(A−1)100部(固形分)に相当する量に対して、反応開始剤として「NCI−930」(ADEKA社)4部及び「イルガキュアOXE01」(BASF社)5部、多官能重合性化合物として「KAYARAD DPHA」(日本化薬社)50部、メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン(東レ・ダウコーニング社の「XIAMETER(R) OFS−6030 SILANE」)3部、並びに2,5−ジ−t−ブチルヒドロキノン(和光純薬工業社)0.1部を混合し、得られた混合物を固形分濃度が30質量%となるように3−メトキシプロピオン酸メチルとプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートとの混合溶媒(質量比50:50)に溶解させた後、孔径0.2μmのメンブランフィルタで濾過して、樹脂組成物(S−1)を調製した。
<Preparation of radiation-sensitive resin composition>
[Example 1]
In a solution containing the resin (A-1), 4 parts of "NCI-930" (ADEKA) and "Irgacure" as a reaction initiator for an amount corresponding to 100 parts (solid content) of the resin (A-1). OXE01 "(BASF) 5 parts, polyfunctional polymerizable compound" KAYARAD DPHA "(Nippon Kayakusha) 50 parts, methacryloxypropyltrimethoxysilane (Toray Dow Corning's" XIAMETER (R) OFS-6030 SILANE 3 parts and 0.1 part of 2,5-di-t-butylhydroquinone (Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) are mixed, and the obtained mixture is 3-methoxy so that the solid content concentration is 30% by mass. After dissolving in a mixed solvent of methyl propionate and propylene glycol monomethyl ether acetate (mass ratio 50:50), the resin composition (S-1) was prepared by filtering with a membrane filter having a pore size of 0.2 μm.

[実施例2〜19及び比較例1〜4]
アルカリ可溶性樹脂、反応開始剤及び多官能重合性化合物について、表2及び表3に示す種類及び配合量の各成分を用いたこと以外は実施例1と同様に操作して、樹脂組成物(S−2)〜(S−19)及び(CS−1)〜(CS−3)を調製した。また、比較例4では、樹脂組成物(CS−4)としてポリイミド含有感光性組成物(東レ社製の「DL1000」)を用いた。
[Examples 2 to 19 and Comparative Examples 1 to 4]
The resin composition (S) was operated in the same manner as in Example 1 except that the alkali-soluble resin, the reaction initiator and the polyfunctional polymerizable compound were used in the same manner as in Example 1 except that the components of the types and blending amounts shown in Tables 2 and 3 were used. -2)-(S-19) and (CS-1)-(CS-3) were prepared. Further, in Comparative Example 4, a polyimide-containing photosensitive composition (“DL1000” manufactured by Toray Industries, Inc.) was used as the resin composition (CS-4).

表2及び表3中の各記号の意味は以下のとおりである。
・アルカリ可溶性樹脂
A−1〜A〜20:合成例1〜20でそれぞれ合成した樹脂
・反応開始剤
B−1:ADEKA社の「NCI−930」
B−2:1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−2−(O−ベンゾイルオキシム)](BASF社の「イルガキュアOXE01」)
・多官能重合性化合物
C−1:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートとの混合物(日本化薬社の「KAYARAD DPHA」)
C−2:1,9−ノナンジオールジアクリレート
(共栄社化学社の「ライトアクリレート1,9ND−A」)
The meanings of the symbols in Tables 2 and 3 are as follows.
-Alkali-soluble resin A-1 to A to 20: Resin synthesized in Synthesis Examples 1 to 20, respectively-Reaction initiator B-1: "NCI-930" manufactured by ADEKA Corporation
B-2: 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) -2- (O-benzoyloxime)] (BASF's "Irgacure OXE01")
-Polyfunctional polymerizable compound C-1: Mixture of dipentaerythritol hexaacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate (Nippon Kayaku Co., Ltd. "KAYARAD DPHA")
C-2: 1,9-nonanediol diacrylate
(Kyoeisha Chemical Co., Ltd. "Light Acrylate 1,9ND-A")

<評価>
実施例及び比較例で得られた樹脂組成物を用いて絶縁膜を形成し、以下に説明する手法に従って低アウトガス性、配線性、ネガ型放射線感度、ネガ型解像性、現像密着性、光透過性及び耐熱光透過性を評価した。評価結果を表2及び表3に示す。
<Evaluation>
An insulating film is formed using the resin compositions obtained in Examples and Comparative Examples, and low outgassing property, wiring property, negative radiation sensitivity, negative resolution property, development adhesion, light according to the method described below. Transparency and heat-resistant light transmissivity were evaluated. The evaluation results are shown in Tables 2 and 3.

[低アウトガス性]
実施例及び比較例で得られた樹脂組成物をシリコン基板上にスピンナーを用いて塗布した後、ホットプレート上で90℃にて2分間プレベークして、塗膜を形成した。次いで、露光機(キヤノン社の「PLA−501F」:超高圧水銀ランプを使用)を用いて、200J/m2の露光量で塗膜の露光を行った。次いで、2.38質量%濃度のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液(現像液)を用い、液盛り法によって25℃で現像処理を行った。現像処理の時間は100秒であった。現像処理後、超純水で1分間、塗膜の流水洗浄を行い、乾燥させた。このシリコン基板をクリーンオーブン内にて230℃で30分加熱して、膜厚2.0μmの絶縁膜を得た。
絶縁膜付きシリコン基板を1cm×5cm片に切断し、切断したシリコン基板4枚について、シリコンウエハーアナライザー装置(日本分析工業社の「加熱脱着装置JTD−505」、島津製作所社の「ガスクロマトグラフ質量分析計GCMS−QP2010Plus」)を用いて、昇温速度10℃/分で230℃に上げ、同温度で15分保持した際のアルコール性アウトガス量(ng/cm2)を求めた。アウトガス量の評価は以下の基準に従って行った。
(評価基準)
A:50ng/cm2未満
B:50ng/cm2以上100ng/cm2未満
C:100ng/cm2以上
[Low outgassing]
The resin compositions obtained in Examples and Comparative Examples were applied onto a silicon substrate using a spinner, and then prebaked on a hot plate at 90 ° C. for 2 minutes to form a coating film. Next, the coating film was exposed at an exposure amount of 200 J / m 2 using an exposure machine (“PLA-501F” manufactured by Canon Inc .: using an ultrahigh pressure mercury lamp). Next, a development treatment was carried out at 25 ° C. by a liquid filling method using an aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide (developing solution) having a concentration of 2.38% by mass. The time of the developing process was 100 seconds. After the development treatment, the coating film was washed with running water for 1 minute with ultrapure water and dried. This silicon substrate was heated at 230 ° C. for 30 minutes in a clean oven to obtain an insulating film having a film thickness of 2.0 μm.
A silicon substrate with an insulating film was cut into 1 cm x 5 cm pieces, and the four cut silicon substrates were subjected to a silicon wafer analyzer device ("Heat Desorption Device JTD-505" by Nippon Analytical Industry Co., Ltd., and "Gas Chromatograph Mass Spectrometry" by Shimadzu Corporation. Using a total GCMS-QP2010Plus ”), the amount of alcoholic outgas (ng / cm 2 ) when the temperature was raised to 230 ° C. at a heating rate of 10 ° C./min and held at the same temperature for 15 minutes was determined. The outgas amount was evaluated according to the following criteria.
(Evaluation criteria)
A: Less than 50 ng / cm 2 B: 50 ng / cm 2 or more and less than 100 ng / cm 2 C: 100 ng / cm 2 or more

[配線性]
「低アウトガス性」評価で絶縁膜を形成したときと同様の操作を行い、膜厚4.0μmの絶縁膜が形成されたシリコン基板を得た。この絶縁膜上にスパッタリング装置(アルバック製の「SH−550−C12」:ターゲット)を用いてITO配線(幅50μm)を形成し、230℃で30分、アニール処理を行った。表面凹凸計α−ステップを用いて測定したところ、ITO配線の厚さは1000Åであった。得られたITO配線基板におけるクラックの有無を目視にて確認することにより、絶縁膜の耐熱性(特に線膨張係数、これを「配線性」という)を評価した。配線性の評価は以下の基準に従って行った。
(評価基準)
A:クラック発生なし
B:クラック発生あり
[Wiring property]
The same operation as when the insulating film was formed in the "low outgassing" evaluation was performed to obtain a silicon substrate on which the insulating film having a film thickness of 4.0 μm was formed. ITO wiring (width 50 μm) was formed on this insulating film using a sputtering device (“SH-550-C12” manufactured by ULVAC: target), and annealing treatment was performed at 230 ° C. for 30 minutes. When measured using a surface unevenness meter α-step, the thickness of the ITO wiring was 1000 Å. The heat resistance of the insulating film (particularly the coefficient of linear expansion, which is referred to as "wiring property") was evaluated by visually confirming the presence or absence of cracks in the obtained ITO wiring board. The wiring property was evaluated according to the following criteria.
(Evaluation criteria)
A: No cracks B: Cracks

[ネガ型放射線感度]
実施例及び比較例で得られた樹脂組成物をガラス基板(コーニング社の「コーニング7059」)上にスピンナーを用いて塗布した後、ホットプレート上で90℃にて2分間プレベークして、膜厚4.0μmの塗膜を形成した。次いで、露光機(キヤノン社の「PLA−501F」:超高圧水銀ランプを使用)を用い、露光量を変化させて、複数の矩形遮光部(10μm×10μm)を有するパターンマスクを介して塗膜の露光を行った。次いで、2.38質量%濃度のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液(現像液)を用い、液盛り法によって25℃で現像処理を行った。現像処理の時間は100秒であった。現像処理後、超純水で1分間、塗膜の流水洗浄を行い、乾燥させて、ガラス基板上にパターンを形成した。このガラス基板をクリーンオーブン内にて230℃で30分加熱して、貫通孔を有する絶縁膜を得た。
樹脂組成物(S−1)〜(S−19)、(CS−1)〜(CS−3)を用いて形成された絶縁膜の膜厚について、下記数式(1)で表される残膜率(すなわち、パターン状薄膜が適正に残存する比率)が85%以上になる露光量を感度として求め、以下の基準に従って放射線感度を評価した。
残膜率(%)=(現像後膜厚/現像前膜厚)×100 …(1)
樹脂組成物(CS−4)については、矩形透過部(10μm×10μm)を有するパターンマスクを用いる以外は同様の操作を行い、このパターンマスクを介した露光により貫通孔が形成される露光量を感度として求め、以下の基準に従って感度評価を行った。
(評価基準)
A:200J/m2未満
B:200J/m2以上400J/m2未満
C:400J/m2以上
[Negative radiation sensitivity]
The resin compositions obtained in Examples and Comparative Examples were applied onto a glass substrate (“Corning 7059” by Corning Inc.) using a spinner, and then prebaked on a hot plate at 90 ° C. for 2 minutes to obtain a film thickness. A 4.0 μm coating film was formed. Next, using an exposure machine (Canon's "PLA-501F": using an ultra-high pressure mercury lamp), the amount of exposure was changed, and a coating film was applied through a pattern mask having a plurality of rectangular light-shielding portions (10 μm × 10 μm). Was exposed. Next, a development treatment was carried out at 25 ° C. by a liquid filling method using an aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide (developing solution) having a concentration of 2.38% by mass. The time of the developing process was 100 seconds. After the development treatment, the coating film was washed with running water for 1 minute with ultrapure water and dried to form a pattern on a glass substrate. This glass substrate was heated at 230 ° C. for 30 minutes in a clean oven to obtain an insulating film having through holes.
The film thickness of the insulating film formed by using the resin compositions (S-1) to (S-19) and (CS-1) to (CS-3) is the residual film represented by the following mathematical formula (1). The exposure amount at which the rate (that is, the ratio at which the patterned thin film remains appropriately) is 85% or more was determined as the sensitivity, and the radiation sensitivity was evaluated according to the following criteria.
Residual film ratio (%) = (film thickness after development / film thickness before development) x 100 ... (1)
For the resin composition (CS-4), the same operation is performed except that a pattern mask having a rectangular transmissive portion (10 μm × 10 μm) is used, and the exposure amount at which through holes are formed by exposure through this pattern mask is determined. It was determined as the sensitivity, and the sensitivity was evaluated according to the following criteria.
(Evaluation criteria)
A: Less than 200J / m 2 B: 200J / m 2 or more and less than 400J / m 2 C: 400J / m 2 or more

[ネガ型解像性]
露光量を200J/m2としたこと以外は「ネガ型放射線感度」の評価と同様にして、貫通孔を有する絶縁膜を形成した。この絶縁膜が有する貫通孔の最小径を光学顕微鏡にて観察することにより解像性を評価した。解像性は以下の基準に従って評価した。
(評価基準)
A:貫通孔の最小径が10μm以上
B:貫通孔の最小径が8μm以上10μm未満
C:貫通孔の最小径が5μm以上8μm未満
[Negative resolution]
An insulating film having through holes was formed in the same manner as in the evaluation of "negative radiation sensitivity" except that the exposure amount was set to 200 J / m 2. The resolution was evaluated by observing the minimum diameter of the through hole of this insulating film with an optical microscope. The resolution was evaluated according to the following criteria.
(Evaluation criteria)
A: The minimum diameter of the through hole is 10 μm or more B: The minimum diameter of the through hole is 8 μm or more and less than 10 μm C: The minimum diameter of the through hole is 5 μm or more and less than 8 μm

[現像密着性]
ライン・アンド・スペース比(L/S)が1:1(5〜40μmのライン幅と同サイズのスペース幅)のマスクを用い、露光量を200J/m2としたこと以外は放射線感度の評価と同様にして絶縁膜を形成した。この絶縁膜について、現像後に剥離せずに残るラインの最小幅を光学顕微鏡にて観察し、以下の基準に従って現像密着性を評価した。
(評価基準)
A:最小幅が10μm未満
B:最小幅が10μm以上30μm未満
C:最小幅が30μm以上
[Development adhesion]
Evaluation of radiation sensitivity except that a mask with a line-and-space ratio (L / S) of 1: 1 (space width of the same size as the line width of 5 to 40 μm) was used and the exposure amount was 200 J / m 2. An insulating film was formed in the same manner as in the above. With respect to this insulating film, the minimum width of the line remaining without peeling after development was observed with an optical microscope, and the development adhesion was evaluated according to the following criteria.
(Evaluation criteria)
A: Minimum width is less than 10 μm B: Minimum width is 10 μm or more and less than 30 μm C: Minimum width is 30 μm or more

[光透過性及び耐熱光透過性]
実施例及び比較例で得られた樹脂組成物をガラス基板(コーニング社の「コーニング7059」)上にスピンナーを用いて塗布した後、ホットプレート上で90℃にて2分間プレベークして塗膜を形成した。次いで、露光機(キヤノン社の「PLA−501F」:超高圧水銀ランプを使用)を用い、露光量200J/m2で塗膜の露光を行った。次いで、2.38質量%濃度のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液(現像液)を用い、液盛り法によって25℃で現像処理を行った。現像処理の時間は100秒であった。さらにクリーンオーブン内にて230℃で30分加熱することで、膜厚3.0μmの硬化膜Aを得た。この硬化膜Aをさらにクリーンオーブン内にて230℃で5時間加熱し、硬化膜Bを得た。
硬化膜を有する各ガラス基板について、硬化膜Aの形成後及び硬化膜Bの形成後に、分光光度計(日立製作所社の「150−20型ダブルビーム」)を用いて波長400〜800nmの範囲の光透過率(光線透過率)を測定し、波長400〜800nmの範囲の光透過率の最低値を評価した。なお、硬化膜Aの測定値を「最低光透過率」とし、硬化膜Bの測定値を「最低耐熱光透過率」とした。最低光透過率及び最低耐熱光透過率を表2及び表3に示す。
[Light transmission and heat-resistant light transmission]
The resin compositions obtained in Examples and Comparative Examples are applied onto a glass substrate (“Corning 7059” by Corning Inc.) using a spinner, and then prebaked on a hot plate at 90 ° C. for 2 minutes to form a coating film. Formed. Next, the coating film was exposed at an exposure amount of 200 J / m 2 using an exposure machine (“PLA-501F” manufactured by Canon Inc .: using an ultrahigh pressure mercury lamp). Next, a development treatment was carried out at 25 ° C. by a liquid filling method using an aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide (developing solution) having a concentration of 2.38% by mass. The time of the developing process was 100 seconds. Further, by heating in a clean oven at 230 ° C. for 30 minutes, a cured film A having a film thickness of 3.0 μm was obtained. The cured film A was further heated at 230 ° C. for 5 hours in a clean oven to obtain a cured film B.
For each glass substrate having a cured film, after the cured film A is formed and after the cured film B is formed, a spectrophotometer (“150-20 type double beam” manufactured by Hitachi, Ltd.) is used to have a wavelength in the range of 400 to 800 nm. The light transmittance (light transmittance) was measured, and the lowest value of the light transmittance in the wavelength range of 400 to 800 nm was evaluated. The measured value of the cured film A was defined as the "minimum light transmittance", and the measured value of the cured film B was defined as the "minimum heat resistant light transmittance". The minimum light transmittance and the minimum heat resistant light transmittance are shown in Tables 2 and 3.

Figure 2021116400
Figure 2021116400

Figure 2021116400
Figure 2021116400

表2及び表3に示すように、実施例1〜19の硬化膜は、アウトガス量が少なく、配線性、放射線感度、解像性、現像密着性、光透過性及び耐熱光透過性に優れていた。これに対し、構造単位(U2)の含有割合が40質量%であり、構造単位(U1)の含有割合が15質量%である重合体を用いた比較例1、2の硬化膜は、放射線感度、解像性及び現像密着性は良好であったものの、アウトガス量が多く、また配線性が実施例のものより劣っていた。構造単位(U1)を有さない重合体を用いた比較例3の硬化膜は、配線性、解像性及び現像密着性が劣っていた。樹脂としてポリイミドを含む比較例4の硬化膜は、アウトガス量は少なく、配線性は良好であったものの、放射線感度、解像性及び現像密着性が実施例のものよりも劣っていた。また、比較例4の硬化膜は、最低光透過率及び最低耐熱性光透過率がそれぞれ80%、60%と共に低い値であり、光透明性及び耐熱光透過性が実施例のものよりも劣っていた。 As shown in Tables 2 and 3, the cured films of Examples 1 to 19 have a small amount of outgas, and are excellent in wiring property, radiation sensitivity, resolution, development adhesion, light transmission, and heat-resistant light transmission. rice field. On the other hand, the cured films of Comparative Examples 1 and 2 using the polymer in which the content ratio of the structural unit (U2) is 40% by mass and the content ratio of the structural unit (U1) is 15% by mass are radiation sensitivity. Although the resolution and development adhesion were good, the amount of outgassing was large and the wiring property was inferior to that of the example. The cured film of Comparative Example 3 using the polymer having no structural unit (U1) was inferior in wiring property, resolution property and development adhesion. The cured film of Comparative Example 4 containing polyimide as a resin had a small amount of outgas and good wiring properties, but was inferior in radiation sensitivity, resolution and development adhesion to those of Examples. Further, the cured film of Comparative Example 4 has low minimum light transmittance and minimum heat-resistant light transmittance of 80% and 60%, respectively, and is inferior in light transparency and heat-resistant light transmittance to those of Example. Was there.

これらの結果から、本発明の重合体組成物によれば、アウトガスが少なく、配線性(低熱膨張率)、放射線感度、解像性、現像密着性、光透過性及び耐熱光透過性(熱付与後の透明性)に優れた硬化膜を提供できることが分かった。したがって、本発明の硬化膜は、有機EL素子が有する平坦化膜や層間絶縁膜、隔壁、バンク等として特に好適である。 From these results, according to the polymer composition of the present invention, there is little outgas, wiring property (low coefficient of thermal expansion), radiation sensitivity, resolution, development adhesion, light transmission and heat resistance light transmission (heat imparting). It was found that a cured film having excellent transparency) can be provided. Therefore, the cured film of the present invention is particularly suitable as a flattening film, an interlayer insulating film, a partition wall, a bank, etc. of an organic EL element.

10…有機EL素子、11…支持基板、12…画素電極、13…共通電極、14…有機発光層、15…封止基板、16…薄膜トランジスタ(TFT)、17…平坦化膜、18…スルーホール、19…隔壁、21…凹部、22…パッシベーション膜、23…封止層、24…ブラックマトリクス、25…カラーフィルタ。 10 ... Organic EL element, 11 ... Support substrate, 12 ... Pixel electrode, 13 ... Common electrode, 14 ... Organic light emitting layer, 15 ... Encapsulating substrate, 16 ... Thin film transistor (TFT), 17 ... Flattening film, 18 ... Through hole , 19 ... partition, 21 ... recess, 22 ... passion film, 23 ... sealing layer, 24 ... black matrix, 25 ... color filter.

Claims (14)

重合体成分(A)と、
反応開始剤(B)と、
多官能重合性化合物(C)と、
を含有し、
前記重合体成分(A)は、1価の環状炭化水素基を有するN−置換マレイミド化合物及び1価の環状炭化水素基を有する(メタ)アクリル化合物よりなる群から選択される少なくとも1種に由来する構造単位(Uα)を含み、
前記構造単位(Uα)は、前記N−置換マレイミド化合物に由来する構造単位(U1)を、前記重合体成分(A)に含まれる前記構造単位(Uα)の全量に対して28質量%以上含む、重合体組成物。
Polymer component (A) and
Reaction initiator (B) and
With the polyfunctional polymerizable compound (C),
Contains,
The polymer component (A) is derived from at least one selected from the group consisting of an N-substituted maleimide compound having a monovalent cyclic hydrocarbon group and a (meth) acrylic compound having a monovalent cyclic hydrocarbon group. Includes structural units (Uα)
The structural unit (Uα) contains 28% by mass or more of the structural unit (U1) derived from the N-substituted maleimide compound with respect to the total amount of the structural unit (Uα) contained in the polymer component (A). , Polymer composition.
前記重合体成分(A)は、前記構造単位(U1)を、前記重合体成分(A)を構成する全構造単位に対して15質量%を超え35質量%以下含む、請求項1に記載の重合体組成物。 The polymer component (A) according to claim 1, wherein the polymer component (A) contains the structural unit (U1) in an amount of more than 15% by mass and 35% by mass or less with respect to all the structural units constituting the polymer component (A). Polymer composition. 前記重合体成分(A)は、1価の環状炭化水素基を有するアクリル化合物に由来する構造単位(U2)を、前記重合体成分(A)を構成する全構造単位に対して0質量%を超え35質量%未満含む、請求項1又は2に記載の重合体組成物。 The polymer component (A) contains a structural unit (U2) derived from an acrylic compound having a monovalent cyclic hydrocarbon group in an amount of 0% by mass based on all the structural units constituting the polymer component (A). The polymer composition according to claim 1 or 2, which comprises more than 35% by mass. 有機EL素子用である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の重合体組成物。 The polymer composition according to any one of claims 1 to 3, which is used for an organic EL device. 前記重合体成分(A)の重量平均分子量が10000以上である、請求項1〜4のいずれか一項に記載の重合体組成物。 The polymer composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the polymer component (A) has a weight average molecular weight of 10,000 or more. 前記重合体成分(A)は、環状エーテル基を有する構造単位(U3)をさらに含む、請求項1〜5のいずれか一項に記載の重合体組成物。 The polymer composition according to any one of claims 1 to 5, wherein the polymer component (A) further contains a structural unit (U3) having a cyclic ether group. 前記重合体成分(A)は、アルカリ可溶性である、請求項1〜6のいずれか一項に記載の重合体組成物。 The polymer composition according to any one of claims 1 to 6, wherein the polymer component (A) is alkali-soluble. 前記重合体成分(A)は、カルボキシ基を有する構造単位、スルホン酸基を有する構造単位、フェノール性水酸基を有する構造単位、及びマレイミド単位よりなる群から選択される少なくとも1種の構造単位をさらに含む、請求項1〜7のいずれか一項に記載の重合体組成物。 The polymer component (A) further comprises at least one structural unit selected from the group consisting of a structural unit having a carboxy group, a structural unit having a sulfonic acid group, a structural unit having a phenolic hydroxyl group, and a maleimide unit. The polymer composition according to any one of claims 1 to 7, which comprises. 前記N−置換マレイミド化合物が有する1価の環状炭化水素基は、単環、橋かけ環若しくはスピロ環を有する1価の脂環式炭化水素基、又は1価の芳香族炭化水素基である、請求項1〜8のいずれか一項に記載の重合体組成物。 The monovalent cyclic hydrocarbon group contained in the N-substituted maleimide compound is a monovalent alicyclic hydrocarbon group having a monocyclic ring, a crosslinked ring or a spiro ring, or a monovalent aromatic hydrocarbon group. The polymer composition according to any one of claims 1 to 8. 平坦化膜、隔壁又はバンクの形成用である、請求項1〜9のいずれか一項に記載の重合体組成物。 The polymer composition according to any one of claims 1 to 9, which is used for forming a flattening film, a partition wall or a bank. 請求項1〜10のいずれか一項に記載の重合体組成物を用いて形成された硬化膜。 A cured film formed by using the polymer composition according to any one of claims 1 to 10. 昇温速度10℃/分で室温から230℃に昇温した後、230℃で15分保持している間に発生するアウトガス量が100ng/cm未満である、請求項11に記載の硬化膜。 The cured film according to claim 11, wherein the amount of outgas generated during holding at 230 ° C. for 15 minutes after raising the temperature from room temperature to 230 ° C. at a heating rate of 10 ° C./min is less than 100 ng / cm 2. .. 有機EL表示素子用又は有機EL照明素子用である、請求項11又は12に記載の硬化膜。 The cured film according to claim 11 or 12, which is for an organic EL display element or an organic EL lighting element. 請求項11〜13のいずれか一項に記載の硬化膜を備える有機EL素子。 An organic EL device comprising the cured film according to any one of claims 11 to 13.
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