JP2016160393A - Curable resin composition, cured film for display element, method for forming the same, and display element - Google Patents

Curable resin composition, cured film for display element, method for forming the same, and display element Download PDF

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晋吾 高杉
Shingo Takasugi
晋吾 高杉
光央 佐藤
Mitsuhisa Sato
光央 佐藤
仁成 松本
Kiminari Matsumoto
仁成 松本
敏幸 出口
Toshiyuki Deguchi
敏幸 出口
雄一朗 有村
Yuichiro Arimura
雄一朗 有村
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a curable resin composition which can form a cured film excellent in adhesiveness and transparency, and is excellent in preservation stability, wherein a cured film for a display element in this invention is excellent in adhesiveness and transparency, and accordingly can be suitably used as an interlayer insulation film, a protective film, a spacer and the like of the display element.SOLUTION: A curable resin composition contains [A] a polymer having a group represented by formula (1A) and a structural unit containing a carboxyl group; and [B] a basin compound.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は硬化性樹脂組成物、表示素子用硬化膜、その形成方法及び表示素子に関する。   The present invention relates to a curable resin composition, a cured film for a display element, a method for forming the same, and a display element.

液晶表示素子、有機EL等の表示素子には、層状に配置される配線間の絶縁性を保つための層間絶縁膜、タッチパネルをはじめとする電子部品の劣化や損傷を抑制するための保護膜、液晶層等を一定膜厚にするためのスペーサーなどの硬化膜が設けられている。このような硬化膜には、基板、透明導電膜、配線等への密着性に優れることに加え、透明性に優れることが求められる。   For display elements such as liquid crystal display elements and organic EL, an interlayer insulating film for maintaining insulation between wirings arranged in layers, a protective film for suppressing deterioration and damage of electronic components including touch panels, A cured film such as a spacer for providing a liquid crystal layer or the like with a constant film thickness is provided. Such a cured film is required to have excellent transparency in addition to excellent adhesion to a substrate, a transparent conductive film, wiring, and the like.

かかる硬化膜の形成には、必要とするパターン形状を得るための工程数が少なく、かつ十分な平坦性が得られる観点から、硬化性樹脂組成物が用いられている。このような硬化性樹脂組成物として、高い表面硬度が得られることから、側鎖にエチレン性不飽和結合を有する重合体を含有するものが検討されており、この重合体として、カルボキシル基を有する重合体にエポキシ基含有不飽和化合物を反応させて得られるもの、カルボキシル基及びヒドロキシル基を有する重合体にイソシアネート基含有不飽和化合物を反応させて得られるものが知られている(特開平11−174464号公報及び特開2002−20442号公報参照)。   In the formation of such a cured film, a curable resin composition is used from the viewpoints that the number of steps for obtaining a required pattern shape is small and sufficient flatness is obtained. As such a curable resin composition, since a high surface hardness is obtained, those containing a polymer having an ethylenically unsaturated bond in the side chain have been studied, and this polymer has a carboxyl group. Those obtained by reacting an epoxy group-containing unsaturated compound with a polymer and those obtained by reacting an isocyanate group-containing unsaturated compound with a polymer having a carboxyl group and a hydroxyl group are known (Japanese Patent Laid-Open No. 11-1990). 174464 and JP-A-2002-20442).

このような中、最近では、硬化膜の性能、特に密着性に関しての要求がさらに高まっており、上記従来の硬化性樹脂組成物ではその要求を満足することはできていない。加えて、上記従来の硬化性樹脂組成物は、プロセス安定性の観点から、保存安定性についてもその改善が求められている。   Under such circumstances, recently, there has been a further increase in demand for the performance of the cured film, particularly adhesion, and the above-mentioned conventional curable resin composition cannot satisfy the demand. In addition, the conventional curable resin composition is also required to improve its storage stability from the viewpoint of process stability.

特開平11−174464号公報JP-A-11-174464 特開2002−20442号公報JP 2002-20442 A

本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであり、その目的は、密着性及び透明性に優れる硬化膜を形成でき、かつ保存安定性に優れる硬化性樹脂組成物を提供することである。   The present invention has been made based on the circumstances as described above, and an object thereof is to provide a curable resin composition that can form a cured film having excellent adhesion and transparency and is excellent in storage stability. It is.

上記課題を解決するためになされた発明は、[A]下記式(1A)で表される基と、カルボキシル基を含む構造単位とを有する重合体、及び[B]塩基性化合物を含有する硬化性樹脂組成物である。   Invention made | formed in order to solve the said subject is the hardening | curing containing the polymer which has [A] group represented by following formula (1A), and the structural unit containing a carboxyl group, and [B] a basic compound. It is an adhesive resin composition.

(式(1A)中、R、R及びRは、それぞれ独立して、水素原子又は炭素数1〜20の1価の炭化水素基である。R、R及びRのうちの2つ以上は互いに結合してこれらが結合する炭素原子と共に環員数3〜20の環構造を形成してもよい。Rは、(a)炭素数1〜20の(n+1)価の炭化水素基、(b)(a)炭化水素基の炭素−炭素間に酸素原子、硫黄原子、−SO−及び−SO−からなる群より選ばれる少なくとも1種を含む基、又は(c)(a)炭化水素基及び(b)基が有する水素原子の一部若しくは全部をハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、カルボキシル基、スルフィノ基、メルカプト基及び炭素数1〜12のアルコキシ基からなる群より選ばれる少なくとも1種で置換した基である。Rは、単結合又は−COO−である。nは、1〜6の整数である。nが2以上の場合、複数のRは同一でも異なっていてもよく、複数のRは同一でも異なっていてもよく、複数のRは同一でも異なっていてもよい。*は、結合する部位を示す。)
上記課題を解決するためになされた別の発明は、当該硬化性樹脂組成物から形成される層間絶縁膜、保護膜又はスペーサーとしての表示素子用硬化膜である。
(In Formula (1A), R 1 , R 2 and R 3 are each independently a hydrogen atom or a monovalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms. Among R 1 , R 2 and R 3 May be bonded to each other to form a ring structure having 3 to 20 ring members together with the carbon atom to which they are bonded, and R 4 is (a) a (n + 1) -valent carbon atom having 1 to 20 carbon atoms. A hydrogen group, (b) a group containing at least one selected from the group consisting of an oxygen atom, a sulfur atom, —SO— and —SO 2 — between carbon-carbon of the hydrocarbon group, or (c) ( a) A part or all of the hydrogen atoms of the hydrocarbon group and (b) group are selected from the group consisting of a halogen atom, a cyano group, a nitro group, a carboxyl group, a sulfino group, a mercapto group, and an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms. is at least one substituted with a group selected .R 5 is a single If or -COO- in which .n, when it .n is 2 or more integer from 1 to 6, a plurality of R 1 may be the same or different, even if a plurality of R 2 may be the same or different The plurality of R 3 may be the same or different, and * indicates the site to be bound.)
Another invention made to solve the above problems is a cured film for a display element as an interlayer insulating film, a protective film or a spacer formed from the curable resin composition.

上記課題を解決するためになされたさらに別の発明は、基板上に塗膜を形成する工程、上記塗膜の少なくとも一部に放射線を照射する工程、上記放射線が照射された塗膜を現像する工程、及び上記現像された塗膜を加熱する工程を備え、上記塗膜を当該硬化性樹脂組成物により形成する表示素子用硬化膜の形成方法である。   Still another invention made in order to solve the above-mentioned problems is a step of forming a coating film on a substrate, a step of irradiating at least a part of the coating film, and a coating film irradiated with the radiation. It is a method for forming a cured film for a display element, comprising a step and a step of heating the developed coating film, wherein the coating film is formed from the curable resin composition.

上記課題を解決するためになされたさらに別の発明は、当該表示素子用硬化膜を備える表示素子である。   Yet another invention made to solve the above-described problems is a display element comprising the display element cured film.

本発明の硬化性樹脂組成物は、密着性及び透明性に優れる硬化膜を形成することができ、かつ保存安定性に優れる。本発明の表示素子用硬化膜は、このように密着性及び透明性に優れるので、表示素子の層間絶縁膜、保護膜、スペーサー等として好適に用いることができる。従って、これらは、液晶デバイス等の表示素子の製造プロセスに好適に用いることができる。   The curable resin composition of the present invention can form a cured film having excellent adhesion and transparency, and is excellent in storage stability. Since the cured film for a display element of the present invention is excellent in adhesion and transparency as described above, it can be suitably used as an interlayer insulating film, a protective film, a spacer or the like of the display element. Therefore, these can be suitably used for the manufacturing process of a display element such as a liquid crystal device.

<硬化性樹脂組成物>
本発明の硬化性樹脂組成物は、[A]重合体及び[B]塩基性化合物を含有する。当該硬化性組成物は、好適成分として、[C]エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物(以下、「[C]重合性化合物」ともいう)、[D]ラジカル重合開始剤、[E]酸発生剤、及び/又は[F]不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群より選ばれる少なくとも1種と、エポキシ基含有不飽和化合物とを含む単量体を共重合してなる重合体(以下、「[F]重合体」ともいう)を含有していてもよく、本発明の効果を損なわない範囲で、その他の任意成分を含有していてもよい。
<Curable resin composition>
The curable resin composition of the present invention contains a [A] polymer and a [B] basic compound. The curable composition includes, as suitable components, [C] a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond (hereinafter also referred to as “[C] polymerizable compound”), [D] a radical polymerization initiator, [E]. Copolymerized with an acid generator and / or a monomer comprising an epoxy group-containing unsaturated compound and at least one selected from the group consisting of [F] unsaturated carboxylic acids and unsaturated carboxylic anhydrides. A polymer (hereinafter also referred to as “[F] polymer”) may be contained, and other optional components may be contained as long as the effects of the present invention are not impaired.

当該硬化性樹脂組成物は、[A]重合体の構造単位(1)の(メタ)アクリロイル基が加熱によって重合反応し得るので、熱硬化性樹脂組成物として機能することができる。また、当該硬化性樹脂組成物は、後述するように、感放射線性のラジカル重合開始剤及び/又は感放射線性の酸発生剤を含有することにより、放射線硬化性樹脂組成物として機能することもできる。放射線としては、例えば、可視光線、紫外線、遠紫外線、X線等の電磁波;電子線、α線等の荷電粒子線などが挙げられる。   The curable resin composition can function as a thermosetting resin composition because the (meth) acryloyl group of the structural unit (1) of the polymer [A] can be polymerized by heating. Moreover, the curable resin composition may function as a radiation curable resin composition by containing a radiation sensitive radical polymerization initiator and / or a radiation sensitive acid generator, as will be described later. it can. Examples of radiation include electromagnetic waves such as visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, and X-rays; and charged particle beams such as electron beams and α rays.

以下、各成分について説明する。
<[A]重合体>
[A]重合体は、下記式(1A)で表される基と、カルボキシル基を含む構造単位とを有する重合体である。
Hereinafter, each component will be described.
<[A] polymer>
[A] The polymer is a polymer having a group represented by the following formula (1A) and a structural unit containing a carboxyl group.

式(1A)中、R、R及びRは、それぞれ独立して、水素原子又は炭素数1〜20の1価の炭化水素基である。R、R及びRのうちの2つ以上は互いに結合してこれらが結合する炭素原子と共に環員数3〜20の環構造を形成してもよい。Rは、(a)炭素数1〜20の(n+1)価の炭化水素基、(b)(a)炭化水素基の炭素−炭素間に酸素原子、硫黄原子、−SO−及び−SO−からなる群より選ばれる少なくとも1種を含む基、又は(c)(a)炭化水素基及び(b)基が有する水素原子の一部若しくは全部をハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、カルボキシル基、スルフィノ基、メルカプト基及び炭素数1〜12のアルコキシ基からなる群より選ばれる少なくとも1種で置換した基である。Rは、単結合又は−COO−である。nは、1〜6の整数である。nが2以上の場合、複数のRは同一でも異なっていてもよく、複数のRは同一でも異なっていてもよく、複数のRは同一でも異なっていてもよい。*は、結合する部位を示す。
[A]重合体は、各構造単位を1種又は2種以上有していてもよい。
In formula (1A), R 1 , R 2 and R 3 are each independently a hydrogen atom or a monovalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms. Two or more of R 1 , R 2 and R 3 may be bonded to each other to form a ring structure having 3 to 20 ring members together with the carbon atom to which they are bonded. R 4 represents (a) an (n + 1) -valent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, (b) an oxygen atom, a sulfur atom, —SO— and —SO 2 between carbon and carbon of the hydrocarbon group. A group containing at least one selected from the group consisting of-, or (c) a halogen atom, a cyano group, a nitro group, or a carboxyl group, part or all of the hydrogen atoms of the (a) hydrocarbon group and (b) group , A sulfino group, a mercapto group, and a group substituted with at least one selected from the group consisting of alkoxy groups having 1 to 12 carbon atoms. R 5 is a single bond or —COO—. n is an integer of 1-6. When n is 2 or more, the plurality of R 1 may be the same or different, the plurality of R 2 may be the same or different, and the plurality of R 3 may be the same or different. * Indicates a binding site.
[A] The polymer may have one or more of each structural unit.

当該硬化性樹脂組成物は、[A]重合体を含有することで、硬化膜の密着性及び透明性、並びに保存安定性に優れる。また、後述するように、放射線硬化性樹脂組成物とした場合の放射線感度に優れる。当該硬化性樹脂組成物が上記構成を有することで上記効果を奏する理由については必ずしも明確ではないが、例えば以下のように推察することができる。すなわち、[A]重合体は、側鎖にエチレン性不飽和結合を含む構造単位として構造単位(1)を有している。この構造単位(1)は、従来の硬化性樹脂組成物の場合とは異なり、カルボキシル基とエポキシ基との反応により生じるヒドロキシル基や、ヒドロキシル基とイソシアネート基との反応により生じるイミノ基等を有していない。その結果、例えば、現像工程においてパターン間へのアルカリ水溶液の染み込みが抑制されるなどにより、硬化膜の密着性が向上するものと考えられる。また、[A]重合体の構造単位(1)がヒドロキシ基、イミノ基等を有さないことで、これらの基に起因すると考えられる加熱時の変質が抑制されて硬化膜の透明性が向上する。さらに、上記ヒドロキシル基、イミノ基等と構造単位(2)のカルボキシル基等との縮合などが起こることがないため、保存安定性が向上すると考えられる。放射線硬化性樹脂組成物とした場合には、エチレン性不飽和結合等の近傍にヒドロキシ基、イミノ基等を有しないことで、ラジカルや酸の活性が高まると考えられ、その結果、放射線感度がより向上する。   The said curable resin composition is excellent in the adhesiveness and transparency of a cured film, and storage stability by containing a [A] polymer. Moreover, it is excellent in the radiation sensitivity at the time of setting it as a radiation curable resin composition so that it may mention later. The reason why the curable resin composition has the above-described configuration provides the above-described effect is not necessarily clear, but can be inferred as follows, for example. That is, the [A] polymer has the structural unit (1) as a structural unit containing an ethylenically unsaturated bond in the side chain. Unlike the case of the conventional curable resin composition, this structural unit (1) has a hydroxyl group generated by a reaction between a carboxyl group and an epoxy group, an imino group generated by a reaction between a hydroxyl group and an isocyanate group, and the like. Not done. As a result, it is considered that the adhesion of the cured film is improved, for example, by suppressing the penetration of the alkaline aqueous solution between the patterns in the development process. In addition, since the structural unit (1) of the polymer [A] does not have a hydroxy group, an imino group or the like, the alteration during heating, which is considered to be caused by these groups, is suppressed, and the transparency of the cured film is improved. To do. Furthermore, since the condensation of the hydroxyl group, imino group and the like with the carboxyl group of the structural unit (2) does not occur, it is considered that the storage stability is improved. In the case of a radiation curable resin composition, it is considered that the activity of radicals and acids is increased by having no hydroxy group, imino group or the like in the vicinity of an ethylenically unsaturated bond, and as a result, radiation sensitivity is improved. More improved.

以下、各構造単位について説明する。
[構造単位(1)]
構造単位(1)は、下記式(1)で表される。
Hereinafter, each structural unit will be described.
[Structural unit (1)]
The structural unit (1) is represented by the following formula (1).

上記式(1)中、R、R及びRは、それぞれ独立して、水素原子又は炭素数1〜20の1価の炭化水素基である。R、R及びRのうちの2つ以上は互いに結合してこれらが結合する炭素原子と共に環員数3〜20の環構造を形成してもよい。Rは、(a)炭素数1〜20の(n+1)価の炭化水素基、(b)(a)炭化水素基の炭素−炭素間に酸素原子、硫黄原子、−SO−及び−SO−からなる群より選ばれる少なくとも1種を含む基、又は(c)(a)炭化水素基及び(b)基が有する水素原子の一部若しくは全部をハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、カルボキシル基、スルフィノ基、メルカプト基及び炭素数1〜12のアルコキシ基からなる群より選ばれる少なくとも1種で置換した基である。nは、1〜6の整数である。nが2以上の場合、複数のRは同一でも異なっていてもよく、複数のRは同一でも異なっていてもよく、複数のRは同一でも異なっていてもよい。Rは、単結合又は−COO−*である。*は、Rに結合する部位を示す。Rは、水素原子、メチル基又はフッ素化メチル基である。 The formula (1), R 1, R 2 and R 3 are each independently a monovalent hydrocarbon group having a hydrogen atom or a C 1-20. Two or more of R 1 , R 2 and R 3 may be bonded to each other to form a ring structure having 3 to 20 ring members together with the carbon atom to which they are bonded. R 4 represents (a) an (n + 1) -valent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, (b) an oxygen atom, a sulfur atom, —SO— and —SO 2 between carbon and carbon of the hydrocarbon group. A group containing at least one selected from the group consisting of-, or (c) a halogen atom, a cyano group, a nitro group, or a carboxyl group, part or all of the hydrogen atoms of the (a) hydrocarbon group and (b) group , A sulfino group, a mercapto group, and a group substituted with at least one selected from the group consisting of alkoxy groups having 1 to 12 carbon atoms. n is an integer of 1-6. When n is 2 or more, the plurality of R 1 may be the same or different, the plurality of R 2 may be the same or different, and the plurality of R 3 may be the same or different. R 5 is a single bond or —COO— *. * Indicates a site binding to R 4. R 6 is a hydrogen atom, a methyl group or a fluorinated methyl group.

、R及びRで表される炭素数1〜20の1価の炭化水素基としては、例えば、炭素数1〜20の1価の鎖状炭化水素基、炭素数3〜20の1価の脂環式炭化水素基、炭素数6〜20の1価の芳香族炭化水素基等が挙げられる。 Examples of the monovalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms represented by R 1 , R 2 and R 3 include, for example, a monovalent chain hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms and a carbon number of 3 to 20 Examples thereof include a monovalent alicyclic hydrocarbon group and a monovalent aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms.

1価の鎖状炭化水素基としては、例えば
メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、i−ブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基等のアルキル基;
エテニル基、プロペニル基、ブテニル基等のアルケニル基;
エチニル基、プロペニル基、ブテニル基等のアルキニル基などが挙げられる。
Examples of the monovalent chain hydrocarbon group include alkyl groups such as methyl group, ethyl group, n-propyl group, i-propyl group, n-butyl group, i-butyl group, sec-butyl group, and t-butyl group. Group;
An alkenyl group such as an ethenyl group, a propenyl group, a butenyl group;
Alkynyl groups such as ethynyl group, propenyl group, butenyl group and the like can be mentioned.

1価の脂環式炭化水素基としては、例えば
シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、ノルボルニル基、アダマンチル基等のシクロアルキル基;
シクロプロペニル基、シクロブテニル基、シクロペンテニル基、シクロヘキセニル基、シクロヘプテニル基、シクロオクテニル基、ノルボルネニル基等のシクロアルケニル基などが挙げられる。
Examples of the monovalent alicyclic hydrocarbon group include a cycloalkyl group such as a cyclopropyl group, a cyclobutyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cycloheptyl group, a cyclooctyl group, a norbornyl group, and an adamantyl group;
Examples include cycloalkenyl groups such as a cyclopropenyl group, a cyclobutenyl group, a cyclopentenyl group, a cyclohexenyl group, a cycloheptenyl group, a cyclooctenyl group, and a norbornenyl group.

1価の芳香族炭化水素基としては、例えば
フェニル基、トリル基、キシリル基、メシチル基、ナフチル基、アントリル基等のアリール基;
ベンジル基、フェネチル基、ナフチルメチル基、アントリルメチル基等のアラルキル基などが挙げられる。
Examples of monovalent aromatic hydrocarbon groups include aryl groups such as phenyl, tolyl, xylyl, mesityl, naphthyl, and anthryl groups;
Examples thereof include aralkyl groups such as benzyl group, phenethyl group, naphthylmethyl group and anthrylmethyl group.

、R及びRのうちの2つ以上が互いに結合してこれらが結合する炭素原子と共に形成する環員数3〜20の環構造としては、例えば、シクロプロペン構造、シクロブテン構造、シクロペンテン構造、シクロヘキセン構造、シクロオクテン構造、ノルボルネン構造等のシクロアルケン構造などが挙げられる。 Examples of the ring structure having 3 to 20 ring members formed by combining two or more of R 1 , R 2 and R 3 together with the carbon atom to which they are bonded include, for example, a cyclopropene structure, a cyclobutene structure, and a cyclopentene structure And cycloalkene structures such as a cyclohexene structure, a cyclooctene structure, and a norbornene structure.

、R及びRとしては、水素原子、1価の鎖状炭化水素基が好ましく、水素原子、アルキル基がより好ましく、水素原子、メチル基、エチル基がさらに好ましく、水素原子が特に好ましい。 R 1 , R 2 and R 3 are preferably a hydrogen atom or a monovalent chain hydrocarbon group, more preferably a hydrogen atom or an alkyl group, still more preferably a hydrogen atom, a methyl group or an ethyl group, and particularly preferably a hydrogen atom. preferable.

で表される(a)炭素数1〜20の(n+1)価の炭化水素基としては、例えば、R、R及びRで表される1価の炭化水素基として例示したものから、n個の水素原子を除いた基等が挙げられる。 Examples of (a) (n + 1) -valent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms represented by R 4 include those exemplified as monovalent hydrocarbon groups represented by R 1 , R 2 and R 3. From the above, groups from which n hydrogen atoms have been removed are exemplified.

で表される(b)(a)炭化水素基の炭素−炭素間に酸素原子を含む基としては、例えば、R、R及びRとして例示した炭化水素基が酸素原子に2つ結合してなるエーテルから(n+1)個の水素原子を除いた基等が挙げられる。 Examples of the group containing an oxygen atom between carbon and carbon of (b) (a) hydrocarbon group represented by R 4 include a hydrocarbon group exemplified as R 1 , R 2, and R 3 as an oxygen atom. And a group obtained by removing (n + 1) hydrogen atoms from an ether formed by one bond.

で表される(b)(a)炭化水素基の炭素−炭素間に硫黄原子を含む基としては、例えば、R、R及びRとして例示した炭化水素基が硫黄原子に2つ結合してなるチオエーテルから(n+1)個の水素原子を除いた基等が挙げられる。 Examples of the group containing a sulfur atom between carbon-carbon of the hydrocarbon group (b) (a) represented by R 4 include hydrocarbon groups exemplified as R 1 , R 2 and R 3 with 2 A group obtained by removing (n + 1) hydrogen atoms from a thioether formed by two bonds.

で表される(b)(a)炭化水素基の炭素−炭素間に−SO−を含む基としては、例えば、R、R及びRとして例示した炭化水素基が−SO−の硫黄原子に2つ結合してなるスルホキシド化合物から(n+1)個の水素原子を除いた基等が挙げられる。 Examples of the group (b) (a) represented by R 4 that includes —SO— between the carbon-carbon of the hydrocarbon group include hydrocarbon groups exemplified as R 1 , R 2, and R 3 , —SO—. And a group obtained by removing (n + 1) hydrogen atoms from a sulfoxide compound formed by bonding two sulfur atoms.

で表される(b)(a)炭化水素基の炭素−炭素間に−SO−を含む基としては、例えば、R、R及びRとして例示した炭化水素基が−SO−の硫黄原子に2つ結合してなるスルホン化合物から(n+1)個の水素原子を除いた基等が挙げられる。 Examples of the group containing —SO 2 — between the carbon-carbon of the hydrocarbon group (b) (a) represented by R 4 include hydrocarbon groups exemplified as R 1 , R 2 and R 3. And a group obtained by removing (n + 1) hydrogen atoms from a sulfone compound formed by bonding two to 2-sulfur atoms.

炭素数1〜12のアルコキシ基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基等が挙げられる。   As a C1-C12 alkoxy group, a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, a butoxy group, a pentyloxy group etc. are mentioned, for example.

で表される(c)基におけるハロゲン原子としては、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等が挙げられる。スルフィノ基は、−SOHを意味する。 Examples of the halogen atom in the group (c) represented by R 4 include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom. Sulfino group means a -SO 2 H.

としては(a)炭化水素基、(b)基が好ましく、アルカン、シクロアルカン、アレーン及びシクロアルキルアルキルエーテルから(n+1)個の水素原子を除いた基がより好ましく、炭素数2〜6のアルカン、炭素数3〜15のシクロアルカン、炭素数6〜18のアレーン及び炭素数5〜20のシクロアルキルアルキルエーテルから(n+1)個の水素原子を除いた基がさらに好ましく、エタン基、シクロヘキサン、アダマンタン、ベンゼン及びアダマンチルエチルエーテルから(n+1)個の水素原子を除いた基が特に好ましい。 R 4 is preferably (a) a hydrocarbon group or (b) group, more preferably a group in which (n + 1) hydrogen atoms have been removed from alkane, cycloalkane, arene, or cycloalkylalkyl ether, and it has 2 to 6 carbon atoms. More preferably a group in which (n + 1) hydrogen atoms have been removed from a C 3-15 cycloalkane, a C 6-18 arene, and a C 5-20 cycloalkyl alkyl ether, an ethane group, cyclohexane Particularly preferred are groups in which (n + 1) hydrogen atoms have been removed from adamantane, benzene and adamantyl ethyl ether.

nとしては、構造単位(I)を与える単量体の合成容易性の観点からは、1〜3の整数が好ましく、1又は2がより好ましく、硬化性及び放射線硬化性樹脂組成物とした場合の放射線感度をより高める観点からは、2がさらに好ましい。   n is preferably an integer of 1 to 3, and more preferably 1 or 2, from the viewpoint of the ease of synthesis of the monomer that gives the structural unit (I). When n is a curable and radiation curable resin composition From the viewpoint of further improving the radiation sensitivity, 2 is more preferable.

としては、Rが鎖状炭化水素基、脂環式炭化水素基、これらの基の炭素−炭素間に酸素原子、硫黄原子、−SO−及び−SO−からなる群より選ばれる少なくとも1種を含む基、並びに上記基が有する水素原子の一部若しくは全部をハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、カルボキシル基、スルフィノ基、メルカプト基及び炭素数1〜12のアルコキシ基からなる群より選ばれる少なくとも1種で置換した基である場合、−COO−*が好ましい。 As R 5 , R 4 is selected from the group consisting of a chain hydrocarbon group, an alicyclic hydrocarbon group, and an oxygen atom, a sulfur atom, —SO— and —SO 2 — between the carbon and carbon of these groups. A group comprising at least one kind, and a part or all of hydrogen atoms of the above group from a group consisting of a halogen atom, a cyano group, a nitro group, a carboxyl group, a sulfino group, a mercapto group, and an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms When it is a group substituted with at least one selected, -COO- * is preferred.

で表されるフッ素化メチル基としては、例えば、フルオロメチル基、ジフルオロメチル基、トリフルオロメチル基等が挙げられる。これらの中で、トリフルオロメチル基が好ましい。 Examples of the fluorinated methyl group represented by R 6 include a fluoromethyl group, a difluoromethyl group, and a trifluoromethyl group. Of these, a trifluoromethyl group is preferred.

としては、構造単位(I)を与える単量体の共重合性の観点から、メチル基が好ましい。 R 6 is preferably a methyl group from the viewpoint of the copolymerizability of the monomer giving the structural unit (I).

構造単位(I)としては、例えば、下記式(1−1)〜(1−12)で表される構造単位(以下、「構造単位(I−1)〜(I−12)」ともいう)等が挙げられる。   Examples of the structural unit (I) include structural units represented by the following formulas (1-1) to (1-12) (hereinafter also referred to as “structural units (I-1) to (I-12)”). Etc.

上記式(1−1)〜(1−12)中、Rは、上記式(1)と同義である。 In the formulas (1-1) to (1-12), R 6 has the same meaning as the formula (1).

これらの中で、構造単位(1−1)〜(1−7)が好ましい。   Among these, the structural units (1-1) to (1-7) are preferable.

[A]重合体に構造単位(1)を組み込む方法としては、特に限定されないが、例えば、下記スキームで示されるように、下記式(i)で表される単量体を用いる重合により、下記式(1’)で表される構造単位(1’)が組み込まれた重合体を合成し、この重合体を、例えば、トリエチルアミン等の塩基存在下で、脱ハロゲン化水素反応させることによりエチレン性不飽和二重結合を生成させ、下記式(1)で表される構造単位(1)を形成させる方法等が挙げられる。   [A] The method for incorporating the structural unit (1) into the polymer is not particularly limited. For example, as shown in the following scheme, by polymerization using a monomer represented by the following formula (i), By synthesizing a polymer in which the structural unit (1 ′) represented by the formula (1 ′) is incorporated, this polymer is subjected to dehydrohalogenation reaction in the presence of a base such as triethylamine, for example. The method etc. which produce | generate an unsaturated double bond and form the structural unit (1) represented by following formula (1) are mentioned.

上記スキーム中、R〜R及びnは、上記式(1)と同義である。Xは、ハロゲン原子である。 In said scheme, R < 1 > -R < 6 > and n are synonymous with the said Formula (1). X is a halogen atom.

Xで表されるハロゲン原子としては、脱ハロゲン化水素反応の収率を高くする観点から、塩素原子、臭素原子が好ましく、塩素原子がより好ましい。   The halogen atom represented by X is preferably a chlorine atom or a bromine atom, more preferably a chlorine atom, from the viewpoint of increasing the yield of the dehydrohalogenation reaction.

上記式(i)で表される単量体は、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリロイル基及びヒドロキシル基を有する化合物と、3−クロロプロピオン酸クロライド等のβ−ハロ−カルボン酸ハロゲン化物とを、ピリジン等の塩基存在下、塩化メチレン等の溶媒中で脱ハロゲン化水素縮合反応させることにより合成することができる。   The monomer represented by the above formula (i) is, for example, a compound having a (meth) acryloyl group and a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, and a β-halo such as 3-chloropropionic acid chloride. -A carboxylic acid halide can be synthesized by a dehydrohalogenation condensation reaction in a solvent such as methylene chloride in the presence of a base such as pyridine.

上記構造単位(1)の含有割合としては、[A]重合体の合成に使用する全単量体に対する仕込み比として、5モル%〜90モル%が好ましく、10モル%〜70モル%がより好ましく、15モル%〜40モル%がさらに好ましい。上記含有割合を上記範囲とすることで、硬化膜の密着性及び透明性、保存安定性、並びに放射線硬化性樹脂組成物とした場合の放射線感度をより高めることができる。
[構造単位(2)]
構造単位(2)は、カルボキシル基を含む構造単位である。当該硬化性樹脂組成物は、[A]重合体が構造単位(2)を有することで、アルカリ現像性を発揮することができる。
As a content rate of the said structural unit (1), 5 mol%-90 mol% are preferable as a preparation ratio with respect to all the monomers used for the synthesis | combination of a [A] polymer, and 10 mol%-70 mol% are more. Preferably, 15 mol%-40 mol% are more preferable. By making the said content rate into the said range, the radiation sensitivity at the time of setting it as the adhesiveness and transparency of a cured film, storage stability, and a radiation-curable resin composition can be improved more.
[Structural unit (2)]
The structural unit (2) is a structural unit containing a carboxyl group. The said curable resin composition can exhibit alkali developability because the [A] polymer has a structural unit (2).

上記構造単位(2)を与える単量体としては、例えば、不飽和モノカルボン酸、不飽和ジカルボン酸、多価カルボン酸のモノ〔(メタ)アクリロイルオキシアルキル〕エステル、不飽和ジカルボン酸の無水物、両末端にカルボキシル基と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート、カルボキシル基を有する不飽和多環式化合物及びその無水物等が挙げられる。   Examples of the monomer that gives the structural unit (2) include unsaturated monocarboxylic acids, unsaturated dicarboxylic acids, mono [(meth) acryloyloxyalkyl] esters of polyvalent carboxylic acids, and anhydrides of unsaturated dicarboxylic acids. And mono (meth) acrylate of a polymer having a carboxyl group and a hydroxyl group at both ends, an unsaturated polycyclic compound having a carboxyl group, and an anhydride thereof.

不飽和モノカルボン酸としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸等が挙げられる。   Examples of the unsaturated monocarboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, and crotonic acid.

不飽和ジカルボン酸としては、例えば、マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸等が挙げられる。   Examples of the unsaturated dicarboxylic acid include maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid, itaconic acid and the like.

多価カルボン酸のモノ〔(メタ)アクリロイルオキシアルキル〕エステルとしては、例えば、マレイン酸モノ〔(メタ)アクリロイルオキシエチル〕エステル、コハク酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕、フタル酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕等が挙げられる。   Examples of mono [(meth) acryloyloxyalkyl] esters of polyvalent carboxylic acids include, for example, maleic acid mono [(meth) acryloyloxyethyl] ester, succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl], phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] and the like.

不飽和ジカルボン酸の無水物としては、例えば上記ジカルボン酸として例示した化合物の無水物等が挙げられる。   As an anhydride of unsaturated dicarboxylic acid, the anhydride of the compound illustrated as said dicarboxylic acid, etc. are mentioned, for example.

両末端にカルボキシル基と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレートとしては、例えば、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等が挙げられる。   Examples of the mono (meth) acrylate of a polymer having a carboxyl group and a hydroxyl group at both ends include ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate.

カルボキシル基を有する不飽和多環式化合物及びその無水物としては、例えば、5−カルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジカルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−5−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−6−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−6−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジカルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン無水物等が挙げられる。   Examples of unsaturated polycyclic compounds having a carboxyl group and anhydrides thereof include 5-carboxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene and 5,6-dicarboxybicyclo [2.2.1]. Hept-2-ene, 5-carboxy-5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy-5-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5- Carboxy-6-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy-6-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-dicarboxybicyclo [2. 2.1] hept-2-ene anhydride and the like.

また、上記構造単位(2)を与える単量体としては、上記カルボン酸等のカルボキシル基を保護してなる化合物を用いることもできる。上記化合物における保護されたカルボキシル基としては、例えば、カルボキシル基の水素原子を−C(R)(R)(OR)で置換した基(R及びRは、それぞれ独立して、水素原子又は炭素数1〜20の1価の炭化水素基である。Rは、炭素数1〜20の1価の炭化水素基である)等が挙げられる。R、R及びRで表される炭素数1〜20の1価の炭化水素基としては、例えば、上記R、R及びRとして例示した1価の炭化水素基と同様の基等が挙げられる。これらの中で、R及びRとしては、アルキル基が好ましい。Rとしては、水素原子が好ましい。 Moreover, as a monomer which provides the said structural unit (2), the compound formed by protecting carboxyl groups, such as the said carboxylic acid, can also be used. Examples of the protected carboxyl group in the above compound include groups in which a hydrogen atom of a carboxyl group is substituted with —C (R a ) (R b ) (OR c ) (R a and R b are each independently, A hydrogen atom or a monovalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, and R c is a monovalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms). Examples of the monovalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms represented by R a , R b and R c are the same as the monovalent hydrocarbon groups exemplified as the above R 1 , R 2 and R 3 . Groups and the like. Among these, as R a and R c , an alkyl group is preferable. R b is preferably a hydrogen atom.

上記カルボン酸等のカルボキシル基を保護してなる化合物としては、例えば、1−ブトキシエチル(メタ)アクリレート、1−エトキシエチル(メタ)アクリレート、1−エトキシブチル(メタ)アクリレート等が挙げられる。   Examples of the compound formed by protecting the carboxyl group such as carboxylic acid include 1-butoxyethyl (meth) acrylate, 1-ethoxyethyl (meth) acrylate, 1-ethoxybutyl (meth) acrylate and the like.

これらの中で、構造単位(2)を与える単量体の共重合性及び入手の容易性、並びに[A]重合体のアルカリ水溶液に対する溶解性の観点から、不飽和モノカルボン酸、不飽和モノカルボン酸のカルボキシル基を保護してなる化合物が好ましく、メタクリル酸、1−ブトキシエチルメタクリレートがより好ましい。   Among these, from the viewpoints of copolymerization and availability of the monomer that gives the structural unit (2), and solubility of the [A] polymer in an aqueous alkali solution, unsaturated monocarboxylic acid, unsaturated monocarboxylic acid A compound obtained by protecting the carboxyl group of carboxylic acid is preferred, and methacrylic acid and 1-butoxyethyl methacrylate are more preferred.

上記構造単位(2)の含有割合としては、[A]重合体の合成に使用する全単量体に対する仕込み比として、5モル%〜50モル%が好ましく、10モル%〜40モル%がより好ましく、15モル%〜35モル%がさらに好ましい。上記含有割合を上記範囲とすることで、当該硬化性樹脂組成物のアルカリ現像性をより適度なものとすることができる。
[構造単位(3)]
構造単位(3)は、構造単位(1)及び構造単位(2)以外の構造単位であって、ヒドロキシル基、アミノ基及びイミノ基のいずれも含まない構造単位である。[A]重合体が構造単位(3)を有することで、当該硬化性樹脂組成物の保存安定性をより向上させることができる。
The content ratio of the structural unit (2) is preferably 5 mol% to 50 mol%, more preferably 10 mol% to 40 mol%, as a charging ratio with respect to all monomers used for the synthesis of the polymer [A]. Preferably, 15 mol%-35 mol% are more preferable. By making the said content rate into the said range, the alkali developability of the said curable resin composition can be made more moderate.
[Structural unit (3)]
The structural unit (3) is a structural unit other than the structural unit (1) and the structural unit (2) and does not include any of a hydroxyl group, an amino group, and an imino group. [A] When the polymer has the structural unit (3), the storage stability of the curable resin composition can be further improved.

上記構造単位(3)を与える単量体としては、例えば、メタクリル酸アルキルエステル、メタクリル酸シクロアルキルエステル、アクリル酸アルキルエステル、アクリル酸シクロアルキルエステル、メタクリル酸芳香族エステル、アクリル酸芳香族エステル等が挙げられ、また不飽和ジカルボン酸ジエステル、ビシクロ不飽和化合物、N−マレイミド化合物、不飽和芳香族化合物、共役ジエン、テトラヒドロフラン骨格、フラン骨格、テトラヒドロピラン骨格又はピラン骨格を有する不飽和化合物、その他の不飽和化合物等であってヒドロキシル基、アミノ基及びイミノ基のいずれも有さないもの等が挙げられる。   Examples of the monomer that gives the structural unit (3) include methacrylic acid alkyl ester, methacrylic acid cycloalkyl ester, acrylic acid alkyl ester, acrylic acid cycloalkyl ester, methacrylic acid aromatic ester, acrylic acid aromatic ester, and the like. Unsaturated dicarboxylic acid diesters, bicyclo unsaturated compounds, N-maleimide compounds, unsaturated aromatic compounds, conjugated dienes, tetrahydrofuran skeletons, furan skeletons, tetrahydropyran skeletons or pyran skeletons, and other compounds Examples thereof include unsaturated compounds that do not have any of a hydroxyl group, an amino group, and an imino group.

メタクリル酸アルキルエステルとしては、例えばメタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸n−ブチル、メタクリル酸sec−ブチル、メタクリル酸t−ブチル、メタクリル酸2−エチルヘキシル、メタクリル酸イソデシル、メタクリル酸n−ラウリル、メタクリル酸トリデシル、メタクリル酸n−ステアリル等が挙げられる。   Examples of the alkyl methacrylate include methyl methacrylate, ethyl methacrylate, n-butyl methacrylate, sec-butyl methacrylate, t-butyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, isodecyl methacrylate, n-lauryl methacrylate, Examples include tridecyl methacrylate and n-stearyl methacrylate.

メタクリル酸シクロアルキルエステルとしては、例えばメタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸2−メチルシクロヘキシル、メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル、メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イルオキシエチル、メタクリル酸イソボロニル等が挙げられる。 Examples of the methacrylic acid cycloalkyl ester include cyclohexyl methacrylate, 2-methylcyclohexyl methacrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl methacrylate, and tricyclomethacrylate [5.2.1]. .0 2,6] decan-8-yl oxy ethyl, and isobornyl methacrylate.

アクリル酸アルキルエステルとしては、例えばアクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸n−ブチル、アクリル酸sec−ブチル、アクリル酸t−ブチル、アクリル酸2−エチルヘキシル、アクリル酸イソデシル、アクリル酸n−ラウリル、アクリル酸トリデシル、アクリル酸n−ステアリル等が挙げられる。   Examples of the alkyl acrylate ester include methyl acrylate, ethyl acrylate, n-butyl acrylate, sec-butyl acrylate, t-butyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, isodecyl acrylate, n-lauryl acrylate, Examples include tridecyl acrylate and n-stearyl acrylate.

アクリル酸シクロアルキルエステルとしては、例えばアクリル酸シクロヘキシル、アクリル酸−2−メチルシクロヘキシル、アクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル、アクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イルオキシエチル、アクリル酸イソボロニル等が挙げられる。 Examples of the cycloalkyl acrylate include cyclohexyl acrylate, 2-methylcyclohexyl acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl acrylate, and tricyclo [5.2. 1.0 2,6 ] decan-8-yloxyethyl, isobornyl acrylate, and the like.

メタクリル酸芳香族エステルとしては、例えばメタクリル酸フェニル、メタクリル酸ナフチル等のメタクリル酸アリールエステル;メタクリル酸ベンジル、メタクリル酸フェネチル等のメタクリル酸アラルキルエステルなどが挙げられる。   Examples of the methacrylic acid aromatic ester include methacrylic acid aryl esters such as phenyl methacrylate and naphthyl methacrylate; methacrylic acid aralkyl esters such as benzyl methacrylate and phenethyl methacrylate.

アクリル酸芳香族エステルとしては、例えばアクリル酸フェニル、アクリル酸ナフチル等のアクリル酸アリールエステル;アクリル酸ベンジル、アクリル酸フェネチル等のアクリル酸アラルキルエステルなどが挙げられる。   Examples of the acrylic acid aromatic ester include acrylic acid aryl esters such as phenyl acrylate and naphthyl acrylate; acrylic acid aralkyl esters such as benzyl acrylate and phenethyl acrylate.

不飽和ジカルボン酸ジエステルとしては、例えばマレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチル等が挙げられる。   Examples of the unsaturated dicarboxylic acid diester include diethyl maleate, diethyl fumarate, diethyl itaconate and the like.

ビシクロ不飽和化合物としては、例えばビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−メトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−エトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジメトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジエトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−t−ブトキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−シクロヘキシルオキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−フェノキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジ(t−ブトキシカルボニル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジ(シクロヘキシルオキシカルボニル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン等が挙げられる。   Examples of the bicyclo unsaturated compound include bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, and 5-ethylbicyclo [2.2.1]. Hept-2-ene, 5-methoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-ethoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-dimethoxybicyclo [2.2 .1] hept-2-ene, 5,6-diethoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-t-butoxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5 -Cyclohexyloxycarbonyl bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-phenoxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-di (t-butoxycarbonyl) bicyclo [2 2.1] Hept- - ene, 5,6-di (cyclohexyloxycarbonyl) bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, and the like.

N−マレイミド化合物としては、例えばN−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、N−(4−ヒドロキシフェニル)マレイミド、N−スクシンイミジル−3−マレイミドベンゾエート、N−スクシンイミジル−4−マレイミドブチレート、N−スクシンイミジル−6−マレイミドカプロエート、N−スクシンイミジル−3−マレイミドプロピオネート、N−(9−アクリジニル)マレイミド等が挙げられる。   Examples of N-maleimide compounds include N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-benzylmaleimide, N- (4-hydroxyphenyl) maleimide, N-succinimidyl-3-maleimidobenzoate, and N-succinimidyl-4-maleimidobuty Rate, N-succinimidyl-6-maleimidocaproate, N-succinimidyl-3-maleimidopropionate, N- (9-acridinyl) maleimide and the like.

不飽和芳香族化合物としては、例えばスチレン、α−メチルスチレン、m−メチルスチレン、p−メチルスチレン、ビニルトルエン、p−メトキシスチレン等が挙げられる。   Examples of the unsaturated aromatic compound include styrene, α-methylstyrene, m-methylstyrene, p-methylstyrene, vinyltoluene, and p-methoxystyrene.

共役ジエンとしては、例えば1,3−ブタジエン、イソプレン、2,3−ジメチル−1,3−ブタジエン等が挙げられる。   Examples of the conjugated diene include 1,3-butadiene, isoprene, 2,3-dimethyl-1,3-butadiene and the like.

テトラヒドロフラン骨格を有する不飽和化合物としては、例えばメタクリル酸テトラヒドロフルフリル、2−メタクリロイルオキシ−プロピオン酸テトラヒドロフルフリル、3−(メタ)アクリロイルオキシテトラヒドロフラン−2−オン等が挙げられる。   Examples of the unsaturated compound having a tetrahydrofuran skeleton include tetrahydrofurfuryl methacrylate, 2-methacryloyloxy-tetrahydrofurfuryl propionate, 3- (meth) acryloyloxytetrahydrofuran-2-one, and the like.

フラン骨格を含有する不飽和化合物としては、例えば2−メチル−5−(3−フリル)−1−ペンテン−3−オン、フルフリル(メタ)アクリレート、1−フラン−2−ブチル−3−エン−2−オン、1−フラン−2−ブチル−3−メトキシ−3−エン−2−オン、6−(2−フリル)−2−メチル−1−ヘキセン−3−オン、6−フラン−2−イル−ヘキシ−1−エン−3−オン、アクリル酸2−フラン−2−イル−1−メチル−エチルエステル、6−(2−フリル)−6−メチル−1−ヘプテン−3−オン等が挙げられる。   Examples of unsaturated compounds containing a furan skeleton include 2-methyl-5- (3-furyl) -1-penten-3-one, furfuryl (meth) acrylate, 1-furan-2-butyl-3-ene- 2-one, 1-furan-2-butyl-3-methoxy-3-en-2-one, 6- (2-furyl) -2-methyl-1-hexen-3-one, 6-furan-2- Yl-hex-1-en-3-one, 2-furan-2-yl-1-methyl-ethyl ester of acrylic acid, 6- (2-furyl) -6-methyl-1-hepten-3-one, etc. Can be mentioned.

テトラヒドロピラン骨格を含有する不飽和化合物としては、例えばテトラヒドロピラン−2−イルメチルメタクリレート、2,6−ジメチル−8−(テトラヒドロピラン−2−イルオキシ)オクト−1−エン−3−オン、2−メタクリル酸テトラヒドロピラン−2−イルエステル、1−(テトラヒドロピラン−2−オキシ)ブチル−3−エン−2−オン等が挙げられる。   Examples of the unsaturated compound containing a tetrahydropyran skeleton include tetrahydropyran-2-ylmethyl methacrylate, 2,6-dimethyl-8- (tetrahydropyran-2-yloxy) oct-1-en-3-one, 2- Examples include methacrylic acid tetrahydropyran-2-yl ester, 1- (tetrahydropyran-2-oxy) butyl-3-en-2-one, and the like.

ピラン骨格を含有する不飽和化合物としては、例えば4−(1,4−ジオキサ−5−オキソ−6−ヘプテニル)−6−メチル−2−ピラン、4−(1,5−ジオキサ−6−オキソ−7−オクテニル)−6−メチル−2−ピラン等が挙げられる。   Examples of unsaturated compounds containing a pyran skeleton include 4- (1,4-dioxa-5-oxo-6-heptenyl) -6-methyl-2-pyran and 4- (1,5-dioxa-6-oxo. -7-octenyl) -6-methyl-2-pyran and the like.

その他の不飽和化合物としては、例えばアクリロニトリル、メタクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、アクリルアミド、メタクリルアミド、酢酸ビニル等が挙げられる。   Examples of other unsaturated compounds include acrylonitrile, methacrylonitrile, vinyl chloride, vinylidene chloride, acrylamide, methacrylamide, and vinyl acetate.

これらの中で、構造単位(3)を与える単量体の共重合性の観点から、メタクリル酸アルキルエステル、不飽和芳香族化合物が好ましく、メタクリル酸メチル、スチレンがより好ましい。   Among these, from the viewpoint of the copolymerizability of the monomer that gives the structural unit (3), alkyl methacrylates and unsaturated aromatic compounds are preferable, and methyl methacrylate and styrene are more preferable.

上記構造単位(3)の含有割合としては、[A]重合体の合成に使用する全単量体に対する仕込み比として、0モル%〜80モル%が好ましく、20モル%〜75モル%がより好ましく、40モル%〜70モル%がさらに好ましい。上記含有割合を上記範囲とすることで、当該硬化性樹脂組成物の保存安定性をさらに高めることができる。
[その他の構造単位]
その他の構造単位としては、例えば、ヒドロキシ基、アミノ基又はイミノ基を含む構造単位等が挙げられる。その他の構造単位の含有割合としては、[A]重合体の合成に使用する全単量体に対する仕込み比として、20モル%以下が好ましく、5モル%以下がより好ましく、0モル%がさらに好ましい。
As a content rate of the said structural unit (3), as a preparation ratio with respect to all the monomers used for the synthesis | combination of a [A] polymer, 0 mol%-80 mol% are preferable, and 20 mol%-75 mol% are more. 40 mol% to 70 mol% is more preferable. By making the said content rate into the said range, the storage stability of the said curable resin composition can further be improved.
[Other structural units]
Examples of other structural units include structural units containing a hydroxy group, an amino group, or an imino group. The content ratio of other structural units is preferably 20 mol% or less, more preferably 5 mol% or less, and even more preferably 0 mol%, as a charge ratio with respect to all monomers used for the synthesis of the polymer [A]. .

[A]重合体の含有量としては、当該硬化性樹脂組成物の全固形分に対して、30質量%以上が好ましく、35質量%〜95質量%がより好ましく、40質量%〜70質量%がさらに好ましい。
<[A]重合体の合成方法>
[A]重合体は、上述したように、例えば、上記式(i)で表される単量体のように、重合反応後に脱ハロゲン化水素反応により構造単位(1)を与える単量体、構造単位(II)を与える単量体、必要に応じて構造単位(3)を与える単量体等を、溶媒中でラジカル重合開始剤を使用して重合し、得られる重合体を、脱ハロゲン化水素反応させて構造単位(1)を形成させることにより合成することができる。
[A] The content of the polymer is preferably 30% by mass or more, more preferably 35% by mass to 95% by mass, and more preferably 40% by mass to 70% by mass with respect to the total solid content of the curable resin composition. Is more preferable.
<[A] Polymer Synthesis Method>
[A] As described above, the polymer is a monomer that gives the structural unit (1) by a dehydrohalogenation reaction after the polymerization reaction, such as the monomer represented by the above formula (i), A monomer that gives the structural unit (II), a monomer that gives the structural unit (3), if necessary, is polymerized in a solvent using a radical polymerization initiator, and the resulting polymer is dehalogenated. It can be synthesized by hydrogenation reaction to form the structural unit (1).

溶媒としては、例えばアルコール、鎖状エーテル、環状エーテル、グリコールエーテル、エチレングリコールアルキルエーテルアセテート、ジエチレングリコールアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネート、芳香族炭化水素、ケトン、他のエステル等が挙げられる。   Examples of the solvent include alcohol, chain ether, cyclic ether, glycol ether, ethylene glycol alkyl ether acetate, diethylene glycol alkyl ether, propylene glycol monoalkyl ether, propylene glycol monoalkyl ether acetate, propylene glycol monoalkyl ether propionate, aromatic Group hydrocarbons, ketones, other esters and the like.

アルコールとしては、例えばメタノール、エタノール、ベンジルアルコール、2−フェニルエチルアルコール、3−フェニル−1−プロパノール等が挙げられる。   Examples of the alcohol include methanol, ethanol, benzyl alcohol, 2-phenylethyl alcohol, 3-phenyl-1-propanol and the like.

鎖状エーテルとしては、例えばジエチルエーテル、ジプロピルエーテル、ジブチルエーテル、アニソール、ジフェニルエーテル等が挙げられる。   Examples of the chain ether include diethyl ether, dipropyl ether, dibutyl ether, anisole, diphenyl ether and the like.

環状エーテルとしては、例えばテトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン等が挙げられる。   Examples of the cyclic ether include tetrahydrofuran and tetrahydropyran.

グリコールエーテルとしては、例えばエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル等が挙げられる。   Examples of the glycol ether include ethylene glycol monomethyl ether and ethylene glycol monoethyl ether.

エチレングリコールアルキルエーテルアセテートとしては、例えばメチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等が挙げられる。   Examples of the ethylene glycol alkyl ether acetate include methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, and ethylene glycol monoethyl ether acetate.

ジエチレングリコールアルキルエーテルとしては、例えばジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル等が挙げられる。   Examples of the diethylene glycol alkyl ether include diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, and diethylene glycol ethyl methyl ether.

プロピレングリコールモノアルキルエーテルとしては、例えばプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル等が挙げられる。   Examples of the propylene glycol monoalkyl ether include propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monopropyl ether, propylene glycol monobutyl ether and the like.

プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテートとしては、例えばプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート等が挙げられる。   Examples of the propylene glycol monoalkyl ether acetate include propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether acetate and the like.

プロピレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネートとしては、例えばプロピレンモノグリコールメチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールモノエチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールモノブチルエーテルプロピオネート等が挙げられる。   Examples of the propylene glycol monoalkyl ether propionate include propylene monoglycol methyl ether propionate, propylene glycol monoethyl ether propionate, propylene glycol monopropyl ether propionate, propylene glycol monobutyl ether propionate and the like. .

芳香族炭化水素としては、例えばトルエン、キシレン等が挙げられる。   Examples of the aromatic hydrocarbon include toluene and xylene.

ケトンとしては、例えばメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン等が挙げられる。   Examples of the ketone include methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone and the like.

他のエステルとしては、例えば酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸ブチル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ヒドロキシ酢酸メチル、ヒドロキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸プロピル、乳酸ブチル、3−ヒドロキシプロピオン酸メチル、3−ヒドロキシプロピオン酸エチル、3−ヒドロキシプロピオン酸プロピル、3−ヒドロキシプロピオン酸ブチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸プロピル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、エトキシ酢酸プロピル、エトキシ酢酸ブチル、プロポキシ酢酸メチル、プロポキシ酢酸エチル、プロポキシ酢酸プロピル、プロポキシ酢酸ブチル、ブトキシ酢酸メチル、ブトキシ酢酸エチル、ブトキシ酢酸プロピル、ブトキシ酢酸ブチル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸ブチル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−エトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸ブチル、2−ブトキシプロピオン酸メチル、2−ブトキシプロピオン酸エチル、2−ブトキシプロピオン酸プロピル、2−ブトキシプロピオン酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸プロピル、3−メトキシプロピオン酸ブチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸プロピル、3−エトキシプロピオン酸ブチル、3−プロポキシプロピオン酸メチル、3−プロポキシプロピオン酸エチル、3−プロポキシプロピオン酸プロピル、3−プロポキシプロピオン酸ブチル、3−ブトキシプロピオン酸メチル、3−ブトキシプロピオン酸エチル、3−ブトキシプロピオン酸プロピル、3−ブトキシプロピオン酸ブチル等が挙げられる。   Examples of other esters include methyl acetate, ethyl acetate, propyl acetate, butyl acetate, ethyl 2-hydroxypropionate, methyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, hydroxyacetic acid Methyl, ethyl hydroxyacetate, butyl hydroxyacetate, methyl lactate, ethyl lactate, propyl lactate, butyl lactate, methyl 3-hydroxypropionate, ethyl 3-hydroxypropionate, propyl 3-hydroxypropionate, butyl 3-hydroxypropionate, Methyl 2-hydroxy-3-methylbutanoate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, propyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, propyl ethoxyacetate, butyl ethoxyacetate, Methyl poxyacetate, ethyl propoxyacetate, propylpropoxyacetate, butyl propoxyacetate, methyl butoxyacetate, ethyl butoxyacetate, propylbutoxyacetate, butylbutoxyacetate, methyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, 2-methoxypropionate Propyl acid, butyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, propyl 2-ethoxypropionate, butyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-butoxypropionate, 2-butoxypropionic acid Ethyl, propyl 2-butoxypropionate, butyl 2-butoxypropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, propyl 3-methoxypropionate, 3-metho Butyl cypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, propyl 3-ethoxypropionate, butyl 3-ethoxypropionate, methyl 3-propoxypropionate, ethyl 3-propoxypropionate, 3-propoxy Examples include propyl propionate, butyl 3-propoxypropionate, methyl 3-butoxypropionate, ethyl 3-butoxypropionate, propyl 3-butoxypropionate, and butyl 3-butoxypropionate.

溶媒としては、他のエステル類が好ましく、3−メトキシプロピオン酸メチルが好ましい。上記溶媒は、1種又は2種以上を用いてもよい。   As the solvent, other esters are preferable, and methyl 3-methoxypropionate is preferable. One or two or more of the solvents may be used.

ラジカル重合開始剤としては、例えば、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、2,2’−アゾビス−(2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2’−アゾビス−(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)、4,4’−アゾビス(4―シアノバレリン酸)、ジメチル−2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオネート)、2,2’−アゾビス(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)等が挙げられる。   Examples of the radical polymerization initiator include 2,2′-azobisisobutyronitrile, 2,2′-azobis- (2,4-dimethylvaleronitrile), 2,2′-azobis- (4-methoxy-). 2,4-dimethylvaleronitrile), 4,4′-azobis (4-cyanovaleric acid), dimethyl-2,2′-azobis (2-methylpropionate), 2,2′-azobis (4-methoxy-) 2,4-dimethylvaleronitrile) and the like.

これらの中で、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)が好ましい。   Of these, 2,2'-azobisisobutyronitrile and 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) are preferable.

ラジカル重合開始剤の使用量としては、重合に使用する単量体の合計100モルに対して、1モル%〜10モル%が好ましく、2モル%〜8モル%がより好ましい。ラジカル重合開始剤としては、1種又は2種以上を用いてもよい。   The amount of the radical polymerization initiator used is preferably from 1 mol% to 10 mol%, more preferably from 2 mol% to 8 mol%, based on a total of 100 mol of monomers used for polymerization. As the radical polymerization initiator, one kind or two or more kinds may be used.

重合反応においては、分子量を調整するために分子量調整剤を使用できる。分子量調整剤としては、例えば
クロロホルム、四臭化炭素等のハロゲン化炭化水素類;
n−ヘキシルメルカプタン、n−オクチルメルカプタン、n−ドデシルメルカプタン、t−ドデシルメルカプタン、チオグリコール酸等のメルカプタン類;
ジメチルキサントゲンスルフィド、ジイソプロピルキサントゲンジスルフィド等のキサントゲン類;
ターピノーレン、α−メチルスチレンダイマー等が挙げられる。
In the polymerization reaction, a molecular weight modifier can be used to adjust the molecular weight. Examples of the molecular weight modifier include halogenated hydrocarbons such as chloroform and carbon tetrabromide;
mercaptans such as n-hexyl mercaptan, n-octyl mercaptan, n-dodecyl mercaptan, t-dodecyl mercaptan, thioglycolic acid;
Xanthogens such as dimethylxanthogen sulfide and diisopropylxanthogen disulfide;
Examples include terpinolene and α-methylstyrene dimer.

分子量調整剤の使用量としては、所望する[A]重合体の分子量に応じて適宜選択されるが、重合に用いる単量体の合計100モル%に対して、0.1モル%〜10モル%が好ましく、0.5モル%〜5モル%がより好ましい。分子量調整剤は、1種又は2種以上を用いてもよい。   The amount of the molecular weight modifier used is appropriately selected according to the molecular weight of the desired [A] polymer, but 0.1 mol% to 10 mol with respect to 100 mol% of the total monomers used for polymerization. % Is preferable, and 0.5 mol% to 5 mol% is more preferable. One or more molecular weight regulators may be used.

重合温度としては、通常、0℃〜150℃であり、50℃〜120℃が好ましい。   As superposition | polymerization temperature, it is 0 to 150 degreeC normally, and 50 to 120 degreeC is preferable.

重合時間としては、通常、10分〜20時間であり、30分〜6時間が好ましい。   The polymerization time is usually 10 minutes to 20 hours, preferably 30 minutes to 6 hours.

重合反応後の脱ハロゲン化水素反応に用いる溶媒としては、上記重合に用いることができる溶媒として例示したものを使用できるが、上記重合で用いた溶媒をそのまま用いることが好ましい。すなわち、上記重合反応液に、塩基を添加して、脱ハロゲン化水素反応を行うことが好ましい。   As the solvent used in the dehydrohalogenation reaction after the polymerization reaction, those exemplified as the solvent that can be used in the polymerization can be used, but it is preferable to use the solvent used in the polymerization as it is. That is, it is preferable to perform a dehydrohalogenation reaction by adding a base to the polymerization reaction solution.

脱ハロゲン化水素反応に用いる塩基としては、例えば
ジエチルアミン、ジプロピルアミン、トリメチルアミン、トリエチルアミン、トリプロピルアミン、ピロリジン、ピペリジン、ピリジン、トリエタノールアミン等のアミン類:
水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化カルシウム等の金属水酸化物;
炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸カルシウム等の金属炭酸塩;
炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、炭酸水素カルシウム等の金属炭酸水素塩;
ナトリウムメトキシド、カリウムt−ブトキシド等の金属アルコキシドなどが挙げられる。
Examples of the base used in the dehydrohalogenation reaction include amines such as diethylamine, dipropylamine, trimethylamine, triethylamine, tripropylamine, pyrrolidine, piperidine, pyridine, and triethanolamine:
Metal hydroxides such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, calcium hydroxide;
Metal carbonates such as sodium carbonate, potassium carbonate, calcium carbonate;
Metal hydrogen carbonates such as sodium hydrogen carbonate, potassium hydrogen carbonate, calcium hydrogen carbonate;
Examples thereof include metal alkoxides such as sodium methoxide and potassium t-butoxide.

脱ハロゲン化水素反応に用いる塩基の量としては、脱離するハロゲン化水素1モルに対して、1モル〜10モルが好ましく、1.5モル〜7モルがより好ましく、2モル〜5モルがさらに好ましい。   The amount of the base used in the dehydrohalogenation reaction is preferably 1 mol to 10 mol, more preferably 1.5 mol to 7 mol, and more preferably 2 mol to 5 mol with respect to 1 mol of desorbed hydrogen halide. Further preferred.

脱ハロゲン化水素反応の温度としては、通常0℃〜150℃であり、50℃〜100℃が好ましい。   As temperature of dehydrohalogenation reaction, it is 0 degreeC-150 degreeC normally, and 50 degreeC-100 degreeC is preferable.

脱ハロゲン化水素反応の時間としては、通常10分〜20時間であり、30分〜6時間が好ましい。   The time for the dehydrohalogenation reaction is usually 10 minutes to 20 hours, preferably 30 minutes to 6 hours.

[A]重合体のポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)としては、2.000〜100,000が好ましく、3、000〜50,000がより好ましく、5,000〜20,000がさらに好ましい。[A]重合体のMwを上記範囲とすることで、硬化膜の密着性をより高めることができ、また放射線硬化性樹脂組成物とした場合の放射線感度をより高めることができる。   [A] As a polystyrene conversion weight average molecular weight (Mw) of a polymer, 2.00-100,000 are preferable, 3,000-50,000 are more preferable, 5,000-20,000 are further more preferable. [A] By making Mw of a polymer into the said range, the adhesiveness of a cured film can be improved more and the radiation sensitivity at the time of setting it as a radiation curable resin composition can be improved more.

[A]重合体の分子量分布(Mw/Mn)としては、5.0以下が好ましく、3.0以下がより好ましい。[A]重合体のMw/Mnを上記上限以下とすることで、硬化膜のパターン形状をより良好にすることができる。
<[B]塩基性化合物>
[B]塩基性化合物としては、例えば、脂肪族アミン、芳香族アミン、複素環式アミン、4級アンモニウムヒドロキシド、カルボン酸4級アンモニウム塩等が挙げられる。当該硬化性樹脂組成物に塩基性化合物を含有させることにより、硬化性を促進できると共に、得られる硬化膜の密着性も向上できる
脂肪族アミンとしては、例えば、トリメチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、ジ−n−プロピルアミン、トリ−n−プロピルアミン、ジ−n−ペンチルアミン、トリ−n−ペンチルアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、ジシクロヘキシルアミン、ジシクロヘキシルメチルアミン等が挙げられる。
[A] The molecular weight distribution (Mw / Mn) of the polymer is preferably 5.0 or less, and more preferably 3.0 or less. [A] By making Mw / Mn of a polymer below the above upper limit, the pattern shape of a cured film can be made more favorable.
<[B] Basic compound>
[B] Examples of basic compounds include aliphatic amines, aromatic amines, heterocyclic amines, quaternary ammonium hydroxides, carboxylic acid quaternary ammonium salts, and the like. By including a basic compound in the curable resin composition, curability can be promoted and adhesion of the resulting cured film can be improved. Examples of the aliphatic amine include trimethylamine, diethylamine, triethylamine, and di-n. -Propylamine, tri-n-propylamine, di-n-pentylamine, tri-n-pentylamine, diethanolamine, triethanolamine, dicyclohexylamine, dicyclohexylmethylamine and the like.

芳香族アミンとしては、例えば、アニリン、ベンジルアミン、N,N−ジメチルアニリン、ジフェニルアミン等が挙げられる。   Examples of the aromatic amine include aniline, benzylamine, N, N-dimethylaniline, diphenylamine and the like.

複素環式アミンとしては、例えば、ピリジン、2−メチルピリジン、4−メチルピリジン、2−エチルピリジン、4−エチルピリジン、2−フェニルピリジン、4−フェニルピリジン、N−メチル−4−フェニルピリジン、4−ジメチルアミノピリジン、イミダゾール、ベンズイミダゾール、4−メチルイミダゾール、2−フェニルベンズイミダゾール、2,4,5−トリフェニルイミダゾール、ニコチン、ニコチン酸、ニコチン酸アミド、キノリン、8−オキシキノリン、ピラジン、ピラゾール、ピリダジン、プリン、ピロリジン、ピペリジン、ピペラジン、モルホリン、4−メチルモルホリン、1,5−ジアザビシクロ[4,3,0]−5−ノネン、1,8−ジアザビシクロ[5,3,0]−7ウンデセン、
ビイミダゾール化合物が挙げられる。ビイミダゾール化合物としては、例えば2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール等が挙げられる。
Examples of the heterocyclic amine include pyridine, 2-methylpyridine, 4-methylpyridine, 2-ethylpyridine, 4-ethylpyridine, 2-phenylpyridine, 4-phenylpyridine, N-methyl-4-phenylpyridine, 4-dimethylaminopyridine, imidazole, benzimidazole, 4-methylimidazole, 2-phenylbenzimidazole, 2,4,5-triphenylimidazole, nicotine, nicotinic acid, nicotinamide, quinoline, 8-oxyquinoline, pyrazine, Pyrazole, pyridazine, purine, pyrrolidine, piperidine, piperazine, morpholine, 4-methylmorpholine, 1,5-diazabicyclo [4,3,0] -5-nonene, 1,8-diazabicyclo [5,3,0] -7 Undesen,
Biimidazole compounds are mentioned. Examples of the biimidazole compound include 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2′-biimidazole, 2,2 ′. -Bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4', 5 5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-bi Examples include imidazole.

4級アンモニウムヒドロキシドとしては、例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラ−n−ブチルアンモニウムヒドロキシド、テトラ−n−ヘキシルアンモニウムヒドロキシド等が挙げられる。   Examples of the quaternary ammonium hydroxide include tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, tetra-n-butylammonium hydroxide, tetra-n-hexylammonium hydroxide, and the like.

カルボン酸4級アンモニウム塩としては、例えば、テトラメチルアンモニウムアセテート、テトラメチルアンモニウムベンゾエート、テトラ−n−ブチルアンモニウムアセテート、テトラ−n−ブチルアンモニウムベンゾエート等が挙げられる。   Examples of the carboxylic acid quaternary ammonium salt include tetramethylammonium acetate, tetramethylammonium benzoate, tetra-n-butylammonium acetate, and tetra-n-butylammonium benzoate.

当該硬化性樹脂組成物における塩基性化合物の含有量は、[A]重合体100質量部に対して、0.001〜20質量部とすることが好ましく、0.005〜10質量部とすることがより好ましい。塩基性化合物の含有量を上記範囲とすることで、硬化性樹脂組成物の保存安定性を損なうことなく硬化性を促進できると共に、得られる硬化膜の密着性も向上できる。
<[C]重合性化合物>
[C]重合性化合物は、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物である。当該硬化性樹脂組成物は、[C]重合性化合物をさらに含有することで、ネガ型のパターンを形成する場合には、硬化膜の密着性をより高めることができ、またポジ型のパターンを形成する場合には、パターン形状の熱安定性を高めることができる。[C]重合性化合物は、加熱によっても硬化させることができるが、後述するラジカル重合開始剤を含有させることで、より効果的に硬化させることができる。
It is preferable that content of the basic compound in the said curable resin composition shall be 0.001-20 mass parts with respect to 100 mass parts of [A] polymers, and shall be 0.005-10 mass parts. Is more preferable. By making content of a basic compound into the said range, while being able to accelerate | stimulate sclerosis | hardenability without impairing the storage stability of curable resin composition, the adhesiveness of the obtained cured film can also be improved.
<[C] polymerizable compound>
[C] The polymerizable compound is a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond. The curable resin composition further includes a [C] polymerizable compound, so that when a negative pattern is formed, the adhesion of the cured film can be further improved. In the case of forming, the thermal stability of the pattern shape can be improved. [C] The polymerizable compound can be cured by heating, but can be more effectively cured by containing a radical polymerization initiator described later.

エチレン性不飽和結合を含む基としては、例えば、ビニル基、アリル基、(メタ)アクリロイル基、スチリル基等が挙げられる。   Examples of the group containing an ethylenically unsaturated bond include a vinyl group, an allyl group, a (meth) acryloyl group, and a styryl group.

[C]重合性化合物が有するエチレン性不飽和結合の数としては、1個でもよく、複数個でもよい。エチレン性不飽和結合の数としては、硬化膜の密着性を高める観点からは、2以上が好ましく、3以上がより好ましく、保存安定性を高める観点からは、10以下が好ましく、6以下がより好ましい。   [C] The number of ethylenically unsaturated bonds of the polymerizable compound may be one or plural. The number of ethylenically unsaturated bonds is preferably 2 or more, more preferably 3 or more from the viewpoint of improving the adhesion of the cured film, and 10 or less is preferable and 6 or less is more preferable from the viewpoint of enhancing storage stability. preferable.

[C]重合性化合物としては、例えば、単官能アクリレート、多官能アクリレート、その他の重合性化合物等が挙げられる。   [C] Examples of the polymerizable compound include monofunctional acrylates, polyfunctional acrylates, and other polymerizable compounds.

単官能アクリレートとしては、例えば、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート、エチレングリコールモノ(メタ)アクリレート等が挙げられる。   Examples of the monofunctional acrylate include ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate and ethylene glycol mono (meth) acrylate.

多官能アクリレートとしては、例えば、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリシクロデカンジメタノールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ビスフェノキシエタノールフルオレンジ(メタ)アクリレート、ジメチロールトリシクロデカンジ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−(メタ)アクリロイロキシプロピルメタクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート、トリ(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)フォスフェート、エチレンオキサイド変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、コハク酸変性ペンタエリスリトールトリアクリレート、コハク酸変性ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、直鎖アルキレン基及び脂環式構造を有し、かつ2個以上のイソシアネート基を有する化合物と、分子内に1個以上の水酸基を有し、かつ3個〜5個の(メタ)アクリロイロキシ基を有する化合物とを反応させて得られるウレタン(メタ)アクリレート化合物等の多官能(メタ)アクリレート化合物などが挙げられる。   Examples of the polyfunctional acrylate include ethylene glycol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, 1,9-nonanediol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, Cyclodecane dimethanol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, bisphenoxyethanol full orange (meth) acrylate, dimethylol tricyclodecane di (meth) acrylate, 2-hydroxy- 3- (meth) acryloyloxypropyl methacrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra ( Acrylate), dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, tripentaerythritol hepta (meth) acrylate, tripentaerythritol octa (meth) acrylate, tri (2- (meth) acryloyloxy Ethyl) phosphate, ethylene oxide-modified dipentaerythritol hexaacrylate, succinic acid-modified pentaerythritol triacrylate, succinic acid-modified dipentaerythritol pentaacrylate, linear alkylene group and alicyclic structure, and two or more isocyanates A urethane (meth) acrylate obtained by reacting a compound having a group with a compound having one or more hydroxyl groups in the molecule and having 3 to 5 (meth) acryloyloxy groups. Polyfunctional (meth) acrylate compound of the rate compounds and the like.

その他の重合性化合物としては、例えば、2−(2’−ビニロキシエトキシ)エチル(メタ)アクリレート等が挙げられる。   Examples of other polymerizable compounds include 2- (2'-vinyloxyethoxy) ethyl (meth) acrylate and the like.

[C]重合性化合物の市販品としては、例えば
アロニックスM−400、同M−402、同M−405、同M−450、同M−520、同M−1310、同M−1600、同M−1960、同M−7100、同M−8030、同M−8060、同M−8100、同M−8530、同M−8560、同M−9050、アロニックスTO−756、同TO−1450、同TO−1382(以上、東亞合成社);
KAYARAD DPHA、同DPCA−20、同DPCA−30、同DPCA−60、同DPCA−120、同MAX−3510(以上、日本化薬社);
ビスコート295、同300、同360、同802、同GPT、同3PA、同400(以上、大阪有機化学工業社);
ウレタンアクリレート系化合物として、ニューフロンティア R−1150(第一工業製薬社);
KAYARAD DPHA−40H、KAYARAD DPEA−12、HUX−5000(以上、日本化薬社);
UN−9000H(根上工業社);
アロニックスM−5300、同M−5600、同M−5700、M−210、同M−220、同M−240、同M−270、同M−6200、同M−305、同M−309、同M−310、同M−315(以上、東亞合成社);
KAYARAD HDDA、KAYARAD HX−220、同HX−620、同R−526、同R−167、同R−604、同R−684、同R−551、同R−712、UX−2201、UX−2301、UX−3204、UX−3301、UX−4101、UX−6101、UX−7101、UX−8101、UX−0937、MU−2100、MU−4001(以上、日本化薬社);
アートレジンUN−9000PEP、同UN−9200A、同UN−7600、同UN−333、同UN−1003、同UN−1255、同UN−6060PTM、同UN−6060P、同SH−500B(以上、根上工業社);
ビスコート260、同312、同335HP(以上、大阪有機化学工業社)等が挙げられる。
[C] Examples of commercially available polymerizable compounds include Aronix M-400, M-402, M-405, M-450, M-520, M-1310, M-1600 and M. -1960, M-7100, M-8030, M-8060, M-8100, M-8100, M-8530, M-8560, M-9050, Aronix TO-756, TO-1450, TO -1382 (above, Toagosei Co., Ltd.);
KAYARAD DPHA, DPCA-20, DPCA-30, DPCA-60, DPCA-120, MAX-3510 (above, Nippon Kayaku Co., Ltd.);
Viscoat 295, 300, 360, 802, GPT, 3PA, 400 (above, Osaka Organic Chemical Industries);
As a urethane acrylate compound, New Frontier R-1150 (Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd.);
KAYARAD DPHA-40H, KAYARAD DPEA-12, HUX-5000 (above, Nippon Kayaku Co., Ltd.);
UN-9000H (Negami Kogyo Co.);
Aronix M-5300, M-5600, M-5700, M-210, M-220, M-240, M-270, M-6200, M-305, M-309, M M-310, M-315 (above, Toagosei Co., Ltd.);
KAYARAD HDDA, KAYARAD HX-220, HX-620, R-526, R-167, R-604, R-684, R-551, R-712, UX-2201, UX-2301 UX-3204, UX-3301, UX-4101, UX-6101, UX-7101, UX-8101, UX-0937, MU-2100, MU-4001 (above, Nippon Kayaku Co., Ltd.);
Art Resin UN-9000PEP, UN-9200A, UN-7600, UN-333, UN-1003, UN-1255, UN-6060PTM, UN-6060P, SH-500B Company);
Viscoat 260, 312 and 335HP (Osaka Organic Organic Chemical Industry Co., Ltd.) are listed.

[C]重合性化合物としては、多官能アクリレートが好ましく、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、コハク酸変性ペンタエリスリトールトリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタアクリレート、トリペンタエリスリトールオクタアクリレート、コハク酸変性ジペンタエリスリトールペンタアクリレートがより好ましい。   [C] The polymerizable compound is preferably a polyfunctional acrylate, such as dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, succinic acid-modified pentaerythritol triacrylate, trimethylolpropane triacrylate, tripentaerythritol heptaacrylate, tripentaerythritol. Octaacrylate and succinic acid-modified dipentaerythritol pentaacrylate are more preferred.

[C]重合性化合物の含有量としては、[A]重合体100質量部に対して、20質量部以上200質量部以下が好ましく、40質量部以上160質量部以下がより好ましい。当該硬化性樹脂組成物は、[C]重合性化合物の含有量を上記範囲とすることで、上述のネガ型パターン形成の場合の硬化膜の密着性及びポジ型パターン形成の場合のパターン形状の熱安定性をさらに高めることができる。
<[D]ラジカル重合開始剤>
[D]ラジカル重合開始剤は、重合性を備えた化合物のラジカル重合を開始し得る活性種を生じる成分である。当該硬化性樹脂組成物は、[D]ラジカル重合開始剤を含有することで、硬化膜の密着性をより高めることができる。[D]ラジカル重合開始剤としては、例えば、加熱により分解してラジカルを発生する[D1]感熱性ラジカル重合開始剤、放射線の照射によりラジカルを発生する[D2]感放射線性ラジカル重合開始剤等が挙げられる。当該硬化性樹脂組成物における[D]ラジカル重合開始剤の含有形態としては、後述するような低分子化合物の形態でも、[A]重合体等の一部として組み込まれた形態でも、これらの両方の形態でもよい。[D]ラジカル重合開始剤を1種又は2種以上含有していてもよい。
[[D1]感熱性ラジカル重合開始剤]
[D1]感熱性ラジカル重合開始剤は、加熱により分解してラジカルを発生する化合物である。当該硬化性樹脂組成物は、[D1]感熱性ラジカル重合開始剤を含有すると、熱硬化性樹脂組成物として機能することができる。
[C] The content of the polymerizable compound is preferably 20 parts by mass or more and 200 parts by mass or less, and more preferably 40 parts by mass or more and 160 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the polymer [A]. In the curable resin composition, the content of the [C] polymerizable compound is set in the above range, so that the adhesiveness of the cured film in the case of the negative pattern formation described above and the pattern shape in the case of the positive pattern formation are obtained. Thermal stability can be further increased.
<[D] radical polymerization initiator>
[D] The radical polymerization initiator is a component that generates an active species capable of initiating radical polymerization of a compound having polymerizability. The said curable resin composition can improve the adhesiveness of a cured film more by containing a [D] radical polymerization initiator. [D] Examples of radical polymerization initiators include [D1] a heat-sensitive radical polymerization initiator that decomposes by heating to generate radicals, and [D2] a radiation-sensitive radical polymerization initiator that generates radicals by irradiation with radiation. Is mentioned. In the curable resin composition, the content of the [D] radical polymerization initiator may be a low molecular compound as described later, or a form incorporated as a part of the [A] polymer or the like. It may be a form. [D] One or more radical polymerization initiators may be contained.
[[D1] Thermosensitive radical polymerization initiator]
[D1] The heat-sensitive radical polymerization initiator is a compound that decomposes by heating to generate radicals. The said curable resin composition can function as a thermosetting resin composition, if it contains a [D1] thermosensitive radical polymerization initiator.

[D1]感熱性ラジカル重合開始剤としては、例えば、アゾビスイソブチロニトリル(AIBN)、2,2’−アゾビス(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2’−アゾビス(2−シクロプロピルプロピオニトリル)、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、ジメチル2,2’−アゾビスイソブチレート等のアゾ系ラジカル開始剤;ベンゾイルパーオキサイド、t−ブチルハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド等の過酸化物系ラジカル開始剤などが挙げられる。
[[D2]感放射線性ラジカル重合開始剤]
[D2]感放射線性ラジカル重合開始剤は、放射線の照射によりラジカルを発生する化合物である。当該硬化性樹脂組成物は、[D2]感放射線性ラジカル重合開始剤を含有すると、放射線硬化性樹脂組成物として機能ことができ、発生するラジカルにより[A]重合体、[C]重合性化合物等が重合することによって、ネガ型の感放射線性特性を発揮する。当該硬化性樹脂組成物は、[D2]感放射線性ラジカル重合開始剤を含有することで、放射線感度をより高めることができる。
[D1] Examples of the heat-sensitive radical polymerization initiator include azobisisobutyronitrile (AIBN), 2,2′-azobis (4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile), and 2,2′-azobis. Azo radical initiators such as (2-cyclopropylpropionitrile), 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile), dimethyl 2,2′-azobisisobutyrate; benzoyl peroxide, t -Peroxide radical initiators such as butyl hydroperoxide and cumene hydroperoxide.
[[D2] Radiation sensitive radical polymerization initiator]
[D2] The radiation-sensitive radical polymerization initiator is a compound that generates radicals upon irradiation with radiation. When the curable resin composition contains [D2] a radiation sensitive radical polymerization initiator, it can function as a radiation curable resin composition, and [A] polymer and [C] polymerizable compound are generated by the generated radicals. And the like are polymerized to exhibit negative radiation sensitive characteristics. The curable resin composition can further improve the radiation sensitivity by containing [D2] a radiation-sensitive radical polymerization initiator.

[D2]感放射線性ラジカル重合開始剤としては、例えばO−アシルオキシム化合物、アセトフェノン化合物、ビイミダゾール化合物、チオキサントン化合物等が挙げられる。   [D2] Examples of the radiation-sensitive radical polymerization initiator include O-acyloxime compounds, acetophenone compounds, biimidazole compounds, thioxanthone compounds, and the like.

O−アシルオキシム化合物としては、例えば1−〔4−(フェニルチオ)−2−(O−ベンゾイルオキシム)〕、1,2−オクタンジオン1−[4−(フェニルチオ)−2−(O−ベンゾイルオキシム)]、エタノン−1−〔9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)、1−〔9−エチル−6−ベンゾイル−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−オクタン−1−オンオキシム−O−アセテート、1−〔9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−エタン−1−オンオキシム−O−ベンゾエート、1−〔9−n−ブチル−6−(2−エチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−エタン−1−オンオキシム−O−ベンゾエート、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−〔9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロピラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−〔9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロフラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−〔9−エチル−6−{2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)メトキシベンゾイル}−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)等が挙げられる。   Examples of the O-acyloxime compound include 1- [4- (phenylthio) -2- (O-benzoyloxime)], 1,2-octanedione 1- [4- (phenylthio) -2- (O-benzoyloxime). )], Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime), 1- [9-ethyl-6-benzoyl- 9. H. -Carbazol-3-yl] -octane-1-one oxime-O-acetate, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-benzoate, 1- [9-n-butyl-6- (2-ethylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-benzoate, ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydropyranylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydrofuranylbenzoyl) -9. H. -Carbazole-3-yl] -1- (O-acetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- {2-methyl-4- (2,2-dimethyl-1,3-dioxolanyl) methoxybenzoyl } -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime) and the like.

アセトフェノン化合物としては、例えばα−アミノケトン化合物、α−ヒドロキシケトン化合物等が挙げられる。   Examples of acetophenone compounds include α-aminoketone compounds and α-hydroxyketone compounds.

α−アミノケトン化合物としては、例えば2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−ジメチルアミノ−2−(4−メチルベンジル)−1−(4−モルフォリン−4−イル−フェニル)−ブタン−1−オン、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン等が挙げられる。   Examples of the α-aminoketone compound include 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2-dimethylamino-2- (4-methylbenzyl) -1- (4 -Morpholin-4-yl-phenyl) -butan-1-one, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one, and the like.

α−ヒドロキシケトン化合物としては、例えば1−フェニル−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−(4−i−プロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル−(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケトン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンが挙げられる。   Examples of the α-hydroxyketone compound include 1-phenyl-2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1- (4-i-propylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 4- (2-hydroxyethoxy) phenyl- (2-hydroxy-2-propyl) ketone, 1-hydroxycyclohexyl phenylketone can be mentioned.

ビイミダゾール化合物としては、例えば2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール等が挙げられ、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールが好ましい。   Examples of the biimidazole compound include 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2,4 -Dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4', 5,5 '-Tetraphenyl-1,2'-biimidazole and the like, and 2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole Imidazole is preferred.

チオキサントン化合物としては、例えばチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン等が挙げられる。   Examples of the thioxanthone compound include thioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone and the like.

これらの中で、O−アシルオキシム化合物、アセトフェノン化合物、チオキサントン化合物が好ましく、O−アシルオキシム化合物、α−アミノケトン化合物、チオキサントン化合物がより好ましく、エタノン−1−〔9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2,4−ジエチルチオキサントンがさらに好ましい。   Among these, O-acyloxime compounds, acetophenone compounds, and thioxanthone compounds are preferable, O-acyloxime compounds, α-aminoketone compounds, and thioxanthone compounds are more preferable, and ethanone-1- [9-ethyl-6- (2- Methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime), 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one, 2,4-diethyl More preferred is thioxanthone.

[D]ラジカル重合開始剤の含有量としては、[A]重合体100質量部に対して、1質量部以上40質量部以下が好ましく、5質量部以上30質量部以下がより好ましい。[D]ラジカル重合開始剤の含有量を上記範囲とすることで、当該硬化性樹脂組成物は、硬化膜の密着性をより高めることができ、また、放射線硬化性樹脂組成物の場合、放射線感度をさらに高めることができる。
<[E]酸発生剤>
[E]酸発生剤は、酸を発生する化合物である。この発生する酸としては、例えば、カルボン酸、スルホン酸等が挙げられる。当該硬化性樹脂組成物は、[E]酸発生剤を含有することで、硬化膜の耐熱性、硬度等の特性を向上させることができる。[E]酸発生剤としては、例えば、加熱により酸を発生する[E1]感熱性酸発生剤、放射線の照射によって酸を発生する[E2]感放射線性酸発生剤等が挙げられる。当該硬化性樹脂組成物における[E]酸発生剤の含有形態としては、後述するような低分子化合物の形態でも、[A]重合体等の一部として組み込まれた形態でも、これらの両方の形態でもよい。当該硬化性樹脂組成物は、[E]酸発生剤を1種又は2種以上含有していてもよい。
[[E1]感熱性酸発生剤]
[E1]感熱性酸発生剤は、加熱により酸を発生する化合物である。当該硬化性樹脂組成物は、[E1]感熱性酸発生剤を含有すると、熱硬化性樹脂組成物として機能することができる。
[D] The content of the radical polymerization initiator is preferably 1 part by mass or more and 40 parts by mass or less, and more preferably 5 parts by mass or more and 30 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the polymer [A]. [D] By making content of a radical polymerization initiator into the said range, the said curable resin composition can improve the adhesiveness of a cured film more, and in the case of a radiation curable resin composition, it is radiation. Sensitivity can be further increased.
<[E] acid generator>
[E] The acid generator is a compound that generates an acid. Examples of the acid generated include carboxylic acid and sulfonic acid. The said curable resin composition can improve characteristics, such as heat resistance of a cured film, hardness, by containing an [E] acid generator. [E] Examples of the acid generator include [E1] a heat-sensitive acid generator that generates an acid by heating, and [E2] a radiation-sensitive acid generator that generates an acid by irradiation with radiation. The content of the [E] acid generator in the curable resin composition may be a low molecular compound as described later or a form incorporated as a part of the [A] polymer or the like. Form may be sufficient. The curable resin composition may contain one or more [E] acid generators.
[[E1] Thermosensitive acid generator]
[E1] The heat-sensitive acid generator is a compound that generates an acid by heating. The said curable resin composition can function as a thermosetting resin composition, when a [E1] thermosensitive acid generator is contained.

[E1]感熱性酸発生剤としては、例えば、スルホニウム塩、ベンゾチアゾニウム塩、アンモニウム塩、ホスホニウム塩等のオニウム塩などが挙げられる。[E1]感熱性酸発生剤化合物の具体例としては、特開2010−134442号公報に記載の[E]成分として例示されたものと同様のもの等が挙げられる。
[[E2]感放射線性酸発生剤]
[E2]感放射線性酸発生剤は、放射線の照射によって酸を発生させる化合物である。当該硬化性樹脂組成物は、[E2]感放射線性酸発生剤を含有すると、放射線硬化性樹脂組成物として機能することができる。当該硬化性樹脂組成物は、[E2]感放射線性酸発生剤を含有することで、放射線感度をより高めることができる。
[E1] Examples of the heat-sensitive acid generator include onium salts such as sulfonium salts, benzothiazonium salts, ammonium salts, and phosphonium salts. [E1] Specific examples of the heat-sensitive acid generator compound include those similar to those exemplified as the component [E] described in JP 2010-134442 A.
[[E2] Radiation sensitive acid generator]
[E2] The radiation-sensitive acid generator is a compound that generates an acid upon irradiation with radiation. The curable resin composition can function as a radiation curable resin composition when it contains [E2] a radiation sensitive acid generator. The said curable resin composition can improve a radiation sensitivity more by containing a [E2] radiation sensitive acid generator.

[E2]酸発生剤としては、例えばキノンジアジド化合物、オキシムスルホネート化合物、オニウム塩、スルホンイミド化合物、ハロゲン含有化合物、ジアゾメタン化合物、スルホン化合物、スルホン酸エステル化合物、カルボン酸エステル化合物等が挙げられる。   [E2] Examples of the acid generator include quinonediazide compounds, oxime sulfonate compounds, onium salts, sulfonimide compounds, halogen-containing compounds, diazomethane compounds, sulfone compounds, sulfonic acid ester compounds, and carboxylic acid ester compounds.

キノンジアジド化合物は、放射線の照射によってカルボン酸を発生する。当該硬化性樹脂組成物は、[E2]酸発生剤としてキノンジアジド化合物を含有することで、発生したカルボン酸が放射線の照射部分のアルカリ現像液への溶解性を高めることにより、ポジ型の感放射線特性を発揮することができる。   A quinonediazide compound generates a carboxylic acid upon irradiation with radiation. The curable resin composition contains a quinonediazide compound as an [E2] acid generator, so that the generated carboxylic acid enhances the solubility of the irradiated portion in the alkali developer, thereby positive radiation sensitive. The characteristic can be exhibited.

キノンジアジド化合物としては、例えばフェノール性化合物又はアルコール性化合物(以下、「母核」ともいう)と、1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸ハライドとの縮合物を用いることができる。   As the quinonediazide compound, for example, a condensate of a phenolic compound or an alcoholic compound (hereinafter also referred to as “mother nucleus”) and 1,2-naphthoquinonediazidesulfonic acid halide can be used.

母核としては、例えばトリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、ペンタヒドロキシベンゾフェノン、ヘキサヒドロキシベンゾフェノン、(ポリヒドロキシフェニル)アルカン、その他の母核等が挙げられる。   Examples of the mother nucleus include trihydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, pentahydroxybenzophenone, hexahydroxybenzophenone, (polyhydroxyphenyl) alkane, and other mother nuclei.

トリヒドロキシベンゾフェノンとしては、例えば2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン、2,4,6−トリヒドロキシベンゾフェノン等が挙げられる。   Examples of trihydroxybenzophenone include 2,3,4-trihydroxybenzophenone and 2,4,6-trihydroxybenzophenone.

テトラヒドロキシベンゾフェノンとしては、例えば2,2’,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン、2,3,4,3’−テトラヒドロキシベンゾフェノン、2,3,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン、2,3,4,2’−テトラヒドロキシ−4’−メチルベンゾフェノン、2,3,4,4’−テトラヒドロキシ−3’−メトキシベンゾフェノン等が挙げられる。   Examples of tetrahydroxybenzophenone include 2,2 ′, 4,4′-tetrahydroxybenzophenone, 2,3,4,3′-tetrahydroxybenzophenone, 2,3,4,4′-tetrahydroxybenzophenone, 2,3 , 4,2′-tetrahydroxy-4′-methylbenzophenone, 2,3,4,4′-tetrahydroxy-3′-methoxybenzophenone, and the like.

ペンタヒドロキシベンゾフェノンとしては、例えば2,3,4,2’,6’−ペンタヒドロキシベンゾフェノン等が挙げられる。   Examples of pentahydroxybenzophenone include 2,3,4,2 ', 6'-pentahydroxybenzophenone.

ヘキサヒドロキシベンゾフェノンとしては、例えば2,4,6,3’,4’,5’−ヘキサヒドロキシベンゾフェノン、3,4,5,3’,4’,5’−ヘキサヒドロキシベンゾフェノン等が挙げられる。   Examples of hexahydroxybenzophenone include 2,4,6,3 ', 4', 5'-hexahydroxybenzophenone and 3,4,5,3 ', 4', 5'-hexahydroxybenzophenone.

(ポリヒドロキシフェニル)アルカンとしては、例えばビス(2,4−ジヒドロキシフェニル)メタン、ビス(p−ヒドロキシフェニル)メタン、トリス(p−ヒドロキシフェニル)メタン、1,1,1−トリ(p−ヒドロキシフェニル)エタン、ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)メタン、2,2−ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)プロパン、1,1,3−トリス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−3−フェニルプロパン、4,4’−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール、ビス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−2−ヒドロキシフェニルメタン、3,3,3’,3’−テトラメチル−1,1’−スピロビインデン−5,6,7,5’,6’,7’−ヘキサノール、2,2,4−トリメチル−7,2’,4’−トリヒドロキシフラバン等が挙げられる。   Examples of the (polyhydroxyphenyl) alkane include bis (2,4-dihydroxyphenyl) methane, bis (p-hydroxyphenyl) methane, tris (p-hydroxyphenyl) methane, 1,1,1-tri (p-hydroxy). Phenyl) ethane, bis (2,3,4-trihydroxyphenyl) methane, 2,2-bis (2,3,4-trihydroxyphenyl) propane, 1,1,3-tris (2,5-dimethyl-) 4-hydroxyphenyl) -3-phenylpropane, 4,4 ′-[1- [4- [1- [4-hydroxyphenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol, bis (2,5-dimethyl) -4-hydroxyphenyl) -2-hydroxyphenylmethane, 3,3,3 ', 3'-tetramethyl-1,1'-spirobiin Down -5,6,7,5 ', 6', 7'-hexanol, 2,2,4-trimethyl -7,2 ', 4'-trihydroxy flavan like.

その他の母核としては、例えば2−メチル−2−(2,4−ジヒドロキシフェニル)−4−(4−ヒドロキシフェニル)−7−ヒドロキシクロマン、1−[1−{3−(1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル)−4,6−ジヒドロキシフェニル}−1−メチルエチル]−3−〔1−{3−(1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル)−4,6−ジヒドロキシフェニル}−1−メチルエチル〕ベンゼン、4,6−ビス{1−(4−ヒドロキシフェニル)−1−メチルエチル}−1,3−ジヒドロキシベンゼン等が挙げられる。   As other mother nucleus, for example, 2-methyl-2- (2,4-dihydroxyphenyl) -4- (4-hydroxyphenyl) -7-hydroxychroman, 1- [1- {3- (1- [4 -Hydroxyphenyl] -1-methylethyl) -4,6-dihydroxyphenyl} -1-methylethyl] -3- [1- {3- (1- [4-hydroxyphenyl] -1-methylethyl) -4 , 6-dihydroxyphenyl} -1-methylethyl] benzene, 4,6-bis {1- (4-hydroxyphenyl) -1-methylethyl} -1,3-dihydroxybenzene, and the like.

これらの母核のうち、2,3,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン、1,1,1−トリ(p−ヒドロキシフェニル)エタン、4,4’−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノールが好ましい。   Among these mother nuclei, 2,3,4,4′-tetrahydroxybenzophenone, 1,1,1-tri (p-hydroxyphenyl) ethane, 4,4 ′-[1- [4- [1- [ 4-Hydroxyphenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol is preferred.

1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸ハライドとしては、1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸クロリドが好ましい。1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸クロリドとしては、例えば1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸クロリド、1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸クロリド等が挙げられる。これらのうち、1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸クロリドが好ましい。   As the 1,2-naphthoquinone diazide sulfonic acid halide, 1,2-naphthoquinone diazide sulfonic acid chloride is preferable. Examples of 1,2-naphthoquinonediazide sulfonic acid chloride include 1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid chloride, 1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid chloride, and the like. Of these, 1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid chloride is preferred.

キノンジアジド化合物の合成は、公知の縮合反応により行うことができる。この縮合反応では、フェノール性化合物又はアルコール性化合物中のOH基数に対して、好ましくは30モル%〜85モル%、より好ましくは50モル%〜70モル%に相当する1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸ハライドを用いることができる。   The synthesis of the quinonediazide compound can be performed by a known condensation reaction. In this condensation reaction, 1,2-naphthoquinonediazide sulfone corresponding to preferably 30 mol% to 85 mol%, more preferably 50 mol% to 70 mol%, based on the number of OH groups in the phenolic compound or alcoholic compound. Acid halides can be used.

また、キノンジアジド化合物としては、先に例示した母核のエステル結合をアミド結合に変更した1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸アミド類、例えば2,3,4−トリアミノベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸アミド等も好適に使用される。   Examples of the quinonediazide compound include 1,2-naphthoquinonediazidesulfonic acid amides in which the ester bond of the mother nucleus exemplified above is changed to an amide bond, such as 2,3,4-triaminobenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide. -4-sulfonic acid amide and the like are also preferably used.

[E2]酸発生剤がキノンジアジド化合物以外の例えば、オキシムスルホネート化合物、オニウム塩、スルホンイミド化合物、ハロゲン含有化合物、ジアゾメタン化合物、スルホン化合物、スルホン酸エステル化合物、カルボン酸エステル化合物等の場合、当該硬化性樹脂組成物は、発生した酸の作用により、後述する[F]重合体等が反応して硬化することで、通常、ネガ型の感放射線性特性を発揮することができる。   [E2] When the acid generator is other than a quinonediazide compound, such as an oxime sulfonate compound, an onium salt, a sulfonimide compound, a halogen-containing compound, a diazomethane compound, a sulfone compound, a sulfonic acid ester compound, a carboxylic acid ester compound, etc. The resin composition can usually exhibit negative radiation sensitive characteristics by reacting and curing the [F] polymer, which will be described later, by the action of the generated acid.

オキシムスルホネート化合物としては、例えば、(5−プロピルスルフォニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−(2−メチルフェニル)アセトニトリル、(5−オクチルスルフォニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−(2−メチルフェニル)アセトニトリル、(カンファースルフォニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−(2−メチルフェニル)アセトニトリル、(5−p−トルエンスルフォニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−(2−メチルフェニル)アセトニトリル、(5−オクチルスルフォニルオキシイミノ)−(4−メトキシフェニル)アセトニトリル等が挙げられる。   Examples of the oxime sulfonate compound include (5-propylsulfonyloxyimino-5H-thiophen-2-ylidene)-(2-methylphenyl) acetonitrile, (5-octylsulfonyloxyimino-5H-thiophen-2-ylidene)- (2-methylphenyl) acetonitrile, (camphorsulfonyloxyimino-5H-thiophen-2-ylidene)-(2-methylphenyl) acetonitrile, (5-p-toluenesulfonyloxyimino-5H-thiophen-2-ylidene)- (2-methylphenyl) acetonitrile, (5-octylsulfonyloxyimino)-(4-methoxyphenyl) acetonitrile and the like.

オニウム塩化合物としては、例えば、ヨードニウム塩、スルホニウム塩、ホスホニウム塩、ジアゾニウム塩、ピリジニウム塩が挙げられる。好ましいオニウム塩の具体例としては、ジフェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホネート、ジフェニルヨードニウムp−トルエンスルホネート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、ジフェニルヨードニウムテトラフルオロボレート、トリフェニルスルホニウムトリフリオロメタンスルホネート、トリフェニルスルホニウムp−トルエンスルホネート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、4−t−ブチルフェニル・ジフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホネート、4−t−ブチルフェニル・ジフェニルスルホニウムp−トルエンスルホネート、4,7−ジ−n−ブトキシナフチルテトラヒドロチオフェニウムトリフリオロメタンスルホネート、4−(フェニルチオ)フェニルジフェニルスルホニウムトリス(ペンタフルオロエチル)トリフルオロホスフェート、4−(フェニルチオ)フェニルジフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスファートが挙げられる。   Examples of the onium salt compounds include iodonium salts, sulfonium salts, phosphonium salts, diazonium salts, and pyridinium salts. Specific examples of preferred onium salts include diphenyliodonium trifluoromethanesulfonate, diphenyliodonium p-toluenesulfonate, diphenyliodonium hexafluoroantimonate, diphenyliodonium hexafluorophosphate, diphenyliodonium tetrafluoroborate, triphenylsulfonium trifluorochlorosulfonate, Phenylsulfonium p-toluenesulfonate, triphenylsulfonium hexafluoroantimonate, 4-t-butylphenyl diphenylsulfonium trifluoromethanesulfonate, 4-t-butylphenyl diphenylsulfonium p-toluenesulfonate, 4,7-di-n- Butoxynaphthyltetrahydrothiophenium trifluorolo Tan sulfonate, 4- (phenylthio) phenyl diphenyl sulfonium tris (pentafluoroethyl) trifluoro phosphate, 4- (phenylthio) phenyl diphenyl sulfonium hexafluorophosphate and the like.

N−スルホニルオキシイミド化合物としては、例えば、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)スクシンイミド、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)フタルイミド、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)ジフェニルマレイミド、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボキシイミド、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)ナフチルイミドが挙げられる。   Examples of the N-sulfonyloxyimide compound include N- (trifluoromethylsulfonyloxy) succinimide, N- (trifluoromethylsulfonyloxy) phthalimide, N- (trifluoromethylsulfonyloxy) diphenylmaleimide, N- (trifluoro And methylsulfonyloxy) bicyclo [2.2.1] hept-5-ene-2,3-dicarboximide and N- (trifluoromethylsulfonyloxy) naphthylimide.

ハロゲン含有化合物としては、例えば、ハロアルキル基含有炭化水素化合物、ハロアルキル基含有複素環式化合物が挙げられる。好ましいハロゲン含有化合物の具体例としては、1,10−ジブロモ−n−デカン、1,1−ビス(4−クロロフェニル)−2,2,2−トリクロロエタン、フェニル−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−メトキシフェニル−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、スチリル−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、ナフチル−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン等のs−トリアジン誘導体が挙げられる。   Examples of the halogen-containing compound include haloalkyl group-containing hydrocarbon compounds and haloalkyl group-containing heterocyclic compounds. Specific examples of preferred halogen-containing compounds include 1,10-dibromo-n-decane, 1,1-bis (4-chlorophenyl) -2,2,2-trichloroethane, phenyl-bis (trichloromethyl) -s-triazine. S-triazine derivatives such as 4-methoxyphenyl-bis (trichloromethyl) -s-triazine, styryl-bis (trichloromethyl) -s-triazine, naphthyl-bis (trichloromethyl) -s-triazine, and the like.

ジアゾメタン化合物としては、例えば、ビス(トリフルオロメチルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(シクロヘキシルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(フェニルスルホニル)ジアゾメタンが挙げられる。   Examples of the diazomethane compound include bis (trifluoromethylsulfonyl) diazomethane, bis (cyclohexylsulfonyl) diazomethane, and bis (phenylsulfonyl) diazomethane.

スルホン化合物としては、例えば、β−ケトスルホン化合物、β−スルホニルスルホン化合物およびこれらの化合物のα−ジアゾ化合物が挙げられる。好ましいスルホン化合物の具体例としては、4−トリスフェナシルスルホン、メシチルフェナシルスルホン、ビス(フェナシルスルホニル)メタンが挙げられる。   Examples of the sulfone compounds include β-ketosulfone compounds, β-sulfonylsulfone compounds, and α-diazo compounds of these compounds. Specific examples of preferred sulfone compounds include 4-trisphenacylsulfone, mesitylphenacylsulfone, and bis (phenacylsulfonyl) methane.

スルホン酸エステル化合物としては、例えば、アルキルスルホン酸エステル類、ハロアルキルスルホン酸エステル類、アリールスルホン酸エステル類、イミノスルホネート類が挙げられる。好ましいスルホン酸化合物の具体例としては、ベンゾイントシレート、ピロガロールトリストリフルオロメタンスルホネート、o−ニトロベンジルトリフルオロメタンスルホネート、o−ニトロベンジルp−トルエンスルホネートが挙げられる。   Examples of the sulfonic acid ester compounds include alkyl sulfonic acid esters, haloalkyl sulfonic acid esters, aryl sulfonic acid esters, and imino sulfonates. Specific examples of preferred sulfonic acid compounds include benzoin tosylate, pyrogallol tris trifluoromethane sulfonate, o-nitrobenzyl trifluoromethane sulfonate, and o-nitrobenzyl p-toluene sulfonate.

カルボン酸エステル化合物としては、例えば、カルボン酸o−ニトロベンジルエステル等が挙げられる。   Examples of the carboxylic acid ester compound include carboxylic acid o-nitrobenzyl ester.

[E]酸発生剤の含有量としては、[A]重合体100質量部に対して、5質量部以上100質量部以下が好ましく、10質量部以上50質量部以下がより好ましい。[E]酸発生剤の含有量を上記範囲とすることで、当該硬化性樹脂組成物は、硬化膜の密着性をより高めることができ、また放射線硬化性樹脂組成物の場合、放射線感度をさらに高めることができる。
<[F]重合体>
[F]重合体は、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群より選ばれる少なくとも1種(以下、「(F1)化合物」ともいう)と、エポキシ基含有不飽和化合物(以下「(F2)化合物」ともいう)とを含む単量体を共重合してなる重合体である。当該硬化性樹脂組成物は、[F]重合体を含有することで、硬化膜の密着性をより高めることができ、また耐溶媒性及び硬度を高めることができる。[F]重合体は、加熱によっても硬化させることができるが、[D]ラジカル重合開始剤及び/又は[E]酸発生剤を含有させることで、より効果的に硬化させることができる。
[F]重合体の具体例は、特開平4−352101号公報、特開2005−227525号公報、特開2010−134422号公報等に例示されたものと同様の重合体を使用することができる。
[E] The content of the acid generator is preferably 5 parts by mass or more and 100 parts by mass or less, and more preferably 10 parts by mass or more and 50 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the polymer [A]. [E] By making content of an acid generator into the said range, the said curable resin composition can improve the adhesiveness of a cured film more, and in the case of a radiation curable resin composition, radiation sensitivity is improved. It can be further increased.
<[F] polymer>
[F] The polymer is at least one selected from the group consisting of an unsaturated carboxylic acid and an unsaturated carboxylic acid anhydride (hereinafter also referred to as “(F1) compound”), and an epoxy group-containing unsaturated compound (hereinafter referred to as “F”). (F2) also referred to as “compound”). The said curable resin composition can improve the adhesiveness of a cured film more by containing a [F] polymer, and can improve solvent resistance and hardness. [F] The polymer can be cured by heating, but can be cured more effectively by containing [D] radical polymerization initiator and / or [E] acid generator.
[F] As specific examples of the polymer, the same polymers as those exemplified in JP-A-4-352101, JP-A-2005-227525, JP-A-2010-134422 and the like can be used. .

[F]重合体の含有量としては、[A]重合体100質量部に対して、10質量部以上3,000質量部以下が好ましく、50質量部以上1,500質量部以下がより好ましく、150質量部以上800質量部以下がさらに好ましい。当該硬化性樹脂組成物は、[F]重合体の含有量を上記範囲とすることで、硬化膜の硬度をより高めることができる。
<その他の任意成分>
その他の任意成分としては、例えば環状エーテル基を有する化合物、密着助剤、金属酸化物粒子、界面活性剤、硬化剤等が挙げられる。当該硬化性樹脂組成物は、上記その他の任意成分を1種又は2種以上含有してもよく、それぞれの成分を1種又は2種以上含有していてもよい。
[環状エーテル基を有する化合物]
環状エーテル基を有する化合物は、エポキシ基を有する化合物である(但し、上記[F]重合体に該当するものを除く)。当該硬化性樹脂組成物は、環状エーテル基を有する化合物を含有することで、硬化膜の耐熱性、表面硬度及び膜厚均一性をより高めることができる。
[F] The content of the polymer is preferably from 10 parts by weight to 3,000 parts by weight, more preferably from 50 parts by weight to 1,500 parts by weight, based on 100 parts by weight of the polymer [A]. 150 parts by mass or more and 800 parts by mass or less are more preferable. The said curable resin composition can raise the hardness of a cured film more by making content of a [F] polymer into the said range.
<Other optional components>
Examples of other optional components include a compound having a cyclic ether group, an adhesion aid, metal oxide particles, a surfactant, and a curing agent. The said curable resin composition may contain the said other arbitrary component 1 type, or 2 or more types, and may contain each component 1 type or 2 types or more.
[Compound having a cyclic ether group]
The compound having a cyclic ether group is a compound having an epoxy group (except for those corresponding to the above [F] polymer). The curable resin composition can further improve the heat resistance, surface hardness, and film thickness uniformity of the cured film by containing a compound having a cyclic ether group.

エポキシ基としては、例えば、オキシラニル基、オキセタニル基等が挙げられる。エポキシ化合物は、エポキシ基を1個又は2個以上有していてもよい。   Examples of the epoxy group include an oxiranyl group and an oxetanyl group. The epoxy compound may have one or more epoxy groups.

環状エーテル基を有する化合物の具体例としては、特開2014−066764号公報に例示されたものと同様の重合体を使用することができる。   As specific examples of the compound having a cyclic ether group, the same polymers as those exemplified in JP 2014-066764 A can be used.

環状エーテル基を有する化合物の含有量としては、[A]重合体100質量部に対して、100質量部以下が好ましく、75質量部以下がより好ましく50質量部以下がさらに好ましい。当該硬化性樹脂組成物は、環状エーテル基を有する化合物の含有量を上記範囲とすることで、硬化膜の耐熱性、表面硬度及び膜厚均一性をさらに高めることができる。
[密着助剤]
密着助剤は、当該硬化性樹脂組成物から得られる硬化膜と基板等との密着性をさらに向上させるためのものである。このような密着助剤としては、官能性シランカップリング剤が好ましい。官能性シランカップリング剤としては、例えばカルボキシル基、メタクリロイル基、イソシアネート基、エポキシ基等の反応性基を有するもの等が挙げられる。このような官能性シランカップリング剤としては、例えば、トリメトキシシリル安息香酸、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン等が挙げられる。
As content of the compound which has a cyclic ether group, 100 mass parts or less are preferable with respect to 100 mass parts of [A] polymers, 75 mass parts or less are more preferable, and 50 mass parts or less are still more preferable. The said curable resin composition can further improve the heat resistance of a cured film, surface hardness, and film thickness uniformity by making content of the compound which has a cyclic ether group into the said range.
[Adhesion aid]
The adhesion assistant is for further improving the adhesion between the cured film obtained from the curable resin composition and the substrate. As such an adhesion assistant, a functional silane coupling agent is preferable. Examples of the functional silane coupling agent include those having a reactive group such as a carboxyl group, a methacryloyl group, an isocyanate group, and an epoxy group. Examples of such functional silane coupling agents include trimethoxysilylbenzoic acid, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, vinyltrimethoxysilane, γ-isocyanatopropyltriethoxysilane, γ-glycol. Sidoxypropyltrimethoxysilane, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane and the like can be mentioned.

密着助剤の含有量としては、[A]重合体100質量部に対して、20質量部以下が好ましく、10質量部以下がより好ましい。密着助剤の含有量を20質量量部以下とすることで、現像工程における現像残りの発生を抑制することができる。
[金属酸化物粒子]
金属酸化物粒子は、当該硬化性樹脂組成物から絶縁膜を形成する場合、この絶縁膜の電気絶縁性を維持しつつ比誘電率の上昇を制御することができる。この金属酸化物粒子は、絶縁膜の屈折率の制御、絶縁膜の透明性の制御、硬化収縮を緩和することによるクラックの抑制、絶縁膜の表面硬度向上という目的等でも使用することができる。
The content of the adhesion assistant is preferably 20 parts by mass or less and more preferably 10 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the [A] polymer. By setting the content of the adhesion assistant to 20 parts by mass or less, it is possible to suppress the occurrence of development residue in the development process.
[Metal oxide particles]
When an insulating film is formed from the curable resin composition, the metal oxide particles can control an increase in relative dielectric constant while maintaining the electric insulation of the insulating film. The metal oxide particles can also be used for the purpose of controlling the refractive index of the insulating film, controlling the transparency of the insulating film, suppressing cracks by alleviating curing shrinkage, and improving the surface hardness of the insulating film.

金属酸化物粒子は、例えばケイ素、アルミニウム、ジルコニウム、チタン、亜鉛、インジウム、スズ、アンチモン、ストロンチウム、バリウム、セリウム、ハフニウムの酸化物粒子である。金属酸化物粒子としては、単一酸化物粒子であっても複合酸化物粒子であってもよい。   The metal oxide particles are, for example, oxide particles of silicon, aluminum, zirconium, titanium, zinc, indium, tin, antimony, strontium, barium, cerium, and hafnium. The metal oxide particles may be single oxide particles or composite oxide particles.

単一酸化物としては、シリカ、アルミナ、ジルコニア、チタニア、セリア等が挙げられる。   Examples of the single oxide include silica, alumina, zirconia, titania, and ceria.

複合酸化物としては、例えばチタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、ATO(antimoy−tin oxide)、ITO(indium−tin oxide)、IZO(indium−zinc oxide)等が挙げられる。   Examples of the composite oxide include barium titanate, strontium titanate, ATO (antimoy-tin oxide), ITO (indium-tin oxide), and IZO (indium-zinc oxide).

これらの中でも、ケイ素、ジルコニウム、チタン、亜鉛、バリウムの酸化物粒子が好ましく、シリカ粒子、ジルコニア粒子、チタニア粒子、チタン酸バリウム(BaTiO3)がより好ましい。金属酸化物粒子の市販品としては、例えばシーアイ化成社の「ナノテック(登録商標)」等を使用することができる。   Among these, oxide particles of silicon, zirconium, titanium, zinc, and barium are preferable, and silica particles, zirconia particles, titania particles, and barium titanate (BaTiO3) are more preferable. As a commercial item of metal oxide particles, for example, “Nanotech (registered trademark)” manufactured by CI Kasei Co., Ltd. can be used.

金属酸化物粒子の形状は、特に限定されず、球状でも不定形のものでもよく、また中空粒子、多孔質粒子、コア・シェル型粒子等であっても構わない。   The shape of the metal oxide particles is not particularly limited, and may be spherical or indeterminate, and may be hollow particles, porous particles, core / shell particles, or the like.

金属酸化物粒子の体積平均粒子径としては、動的光散乱法で求めた値で、5nm〜200nmが好ましく、5nm〜100nmがより好ましく、10nm〜80nmがさらに好ましい。金属酸化物粒子の体積平均粒子径が5nm未満であると、硬化性樹脂組成物を用いて得られる絶縁膜の硬度が低下するおそれ、意図した比誘電率を発現できないおそれがある。一方、体積平均粒子径が200nmを超えると、絶縁膜のヘイズが高くなり透過率が低下するおそれ、絶縁膜の平滑性が悪くなるおそれがある。   The volume average particle diameter of the metal oxide particles is a value obtained by a dynamic light scattering method, preferably 5 nm to 200 nm, more preferably 5 nm to 100 nm, and still more preferably 10 nm to 80 nm. If the volume average particle size of the metal oxide particles is less than 5 nm, the hardness of the insulating film obtained using the curable resin composition may be lowered, and the intended relative dielectric constant may not be exhibited. On the other hand, if the volume average particle diameter exceeds 200 nm, the haze of the insulating film may increase and the transmittance may decrease, and the smoothness of the insulating film may deteriorate.

金属酸化物粒子の含有量としては、[A]重合体に対して、0.01質量部以上20質量部以下が好ましく、1質量部以上10質量部以下がより好ましい。金属酸化物粒子の含有量が0.01質量部未満であると、絶縁膜の比誘電率を所望とする範囲内に制御することができないおそれがある。一方、金属酸化物粒子の配合量が20質量部を超えると、塗布性や膜の硬化性が低下し、また絶縁膜のヘイズが高くなるおそれがある。
[界面活性剤]
界面活性剤は、当該硬化性樹脂組成物の塗布性を向上させるものである。この界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤が好ましい。界面活性剤を含有することで、塗膜の表面平滑性を向上でき、その結果、当該感放射線性樹脂組成物から形成される硬化膜の膜厚均一性をより向上できる。
As content of a metal oxide particle, 0.01 mass part or more and 20 mass parts or less are preferable with respect to [A] polymer, and 1 mass part or more and 10 mass parts or less are more preferable. If the content of the metal oxide particles is less than 0.01 parts by mass, the relative dielectric constant of the insulating film may not be controlled within a desired range. On the other hand, when the compounding amount of the metal oxide particles exceeds 20 parts by mass, the applicability and the film curability may be lowered, and the haze of the insulating film may be increased.
[Surfactant]
A surfactant improves the applicability of the curable resin composition. As this surfactant, a fluorine-based surfactant, a silicone-based surfactant, and a nonionic surfactant are preferable. By containing the surfactant, the surface smoothness of the coating film can be improved, and as a result, the film thickness uniformity of the cured film formed from the radiation-sensitive resin composition can be further improved.

界面活性剤の具体例としては、特開平4−352101号公報、特開2005−227525号公報、特開2010−134422号公報等に例示されたものと同様の重合体を使用することができる。   As specific examples of the surfactant, polymers similar to those exemplified in JP-A-4-352101, JP-A-2005-227525, JP-A-2010-134422 and the like can be used.

界面活性剤の含有量としては、[A]重合体100質量部に対して、10質量部以下が好ましく、5質量部以下がより好ましい、3質量部以下がさらに好ましい。界面活性剤の含有量を10質量部以下とすることで、当該硬化性樹脂組成物の塗布性をさらに向上させることができる。
[硬化剤]
硬化剤としては、例えば特開2012−88459号公報に記載の硬化剤を使用することができる。
[溶媒]
当該硬化性樹脂組成物の調製に用いることができる溶媒としては、当該硬化性樹脂組成物中の他の成分を均一に溶解又は分散し、上記他の成分と反応しないものが好適に用いられる。このような溶媒としては、例えば、アルコール類、エーテル類、グリコールエーテル、エチレングリコールアルキルエーテルアセテート、ジエチレングリコールアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネート、芳香族炭化水素類、ケトン類、他のエステル類等が挙げられる。溶媒としては、特開2011−232632号報に記載の溶媒を用いることができる。
<硬化性樹脂組成物の調製方法>
当該硬化性樹脂組成物は、[A]重合体及び[B]塩基性化合物、必要に応じて[C]重合性化合物、[D]ラジカル重合開始剤、[E]酸発生剤、[F]重合体及びその他の任意成分を均一に混合し、好ましくは、0.2μm程度のメンブランフィルタで濾過することによって調製される。当該硬化性樹脂組成物は、好ましくは適当な溶媒に溶解されて溶液状で用いられる。
As content of surfactant, 10 mass parts or less are preferable with respect to 100 mass parts of [A] polymers, 5 mass parts or less are more preferable, and 3 mass parts or less are further more preferable. By making content of surfactant into 10 mass parts or less, the applicability | paintability of the said curable resin composition can further be improved.
[Curing agent]
As a hardening | curing agent, the hardening | curing agent as described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2012-88459 can be used, for example.
[solvent]
As the solvent that can be used for the preparation of the curable resin composition, a solvent that uniformly dissolves or disperses other components in the curable resin composition and does not react with the other components is preferably used. Examples of such solvents include alcohols, ethers, glycol ethers, ethylene glycol alkyl ether acetates, diethylene glycol alkyl ethers, propylene glycol monoalkyl ethers, propylene glycol monoalkyl ether acetates, propylene glycol monoalkyl ether propionates, Aromatic hydrocarbons, ketones, other esters and the like can be mentioned. As the solvent, the solvents described in JP2011-232632 can be used.
<Method for preparing curable resin composition>
The curable resin composition includes [A] polymer and [B] basic compound, [C] polymerizable compound, [D] radical polymerization initiator, [E] acid generator, [F] as required. The polymer and other optional components are uniformly mixed and preferably prepared by filtering with a membrane filter of about 0.2 μm. The curable resin composition is preferably used in the form of a solution after being dissolved in an appropriate solvent.

当該硬化性樹脂組成物は、密着性及び透明性に優れる硬化膜を形成できるので、例えば、層間絶縁膜、保護膜又はスペーサーとしての表示素子用硬化膜の形成に好適に用いることができる。
<表示素子用硬化膜>
本発明の表示素子用硬化膜は、当該硬化性樹脂組成物から形成される。当該表示素子用硬化膜は、当該硬化性樹脂組成物から形成されるので、密着性及び透明性に優れており、例えば、表示素子の層間絶縁膜、保護膜、スペーサー等に好適に用いることができる。当該表示素子用硬化膜の形成方法としては特に限定されないが、次に説明する表示素子用硬化膜の形成方法を適用することが好ましい。
<表示素子用硬化膜の形成方法>
本発明の表示素子用硬化膜の形成方法は、
基板上に塗膜を形成する工程(以下、「塗膜形成工程」ともいう)、塗膜の少なくとも一部に放射線を照射する工程(以下、「照射工程」ともいう)、放射線が照射された塗膜を現像する工程(以下、「現像工程」ともいう)、及び現像された塗膜を加熱する工程(以下、「加熱工程」ともいう)を有する。当該形成方法においては、上記塗膜を当該硬化性樹脂組成物により形成する。この硬化性樹脂組成物としては、上述の[D2]感放射線性ラジカル重合開始剤及び/又は[E2]感放射線性酸発生剤を含有する等による放射線硬化性樹脂組成物が好ましい。
[塗膜形成工程]
本工程では、当該硬化性樹脂組成物を基板表面に塗布し、好ましくはプレベークを行うことにより溶媒を除去することで塗膜を形成する。本工程で使用する基板としては、例えばガラス基板、シリコンウエハー、プラスチック基板、及びこれらの表面に各種金属が形成された基板が挙げられる。プラスチック基板としては、例えばポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルスルホン、ポリカーボネート、ポリイミド等のプラスチックを主成分とする基板などが挙げられる。
Since the said curable resin composition can form the cured film excellent in adhesiveness and transparency, it can be used suitably for formation of the cured film for display elements as an interlayer insulation film, a protective film, or a spacer, for example.
<Curing film for display element>
The cured film for display elements of the present invention is formed from the curable resin composition. Since the display element cured film is formed from the curable resin composition, it has excellent adhesion and transparency. For example, the display element cured film is suitably used for an interlayer insulating film, a protective film, a spacer, and the like of the display element. it can. Although it does not specifically limit as the formation method of the said cured film for display elements, It is preferable to apply the formation method of the cured film for display elements demonstrated below.
<Method for forming cured film for display element>
The method for forming a cured film for a display element of the present invention is as follows.
A step of forming a coating film on the substrate (hereinafter also referred to as “coating layer forming step”), a step of irradiating at least a part of the coating film (hereinafter also referred to as “irradiation step”), and radiation irradiation. It has the process (henceforth a "development process") which develops a coating film, and the process (henceforth a "heating process") which heats the developed coating film. In the formation method, the coating film is formed from the curable resin composition. The curable resin composition is preferably a radiation curable resin composition containing the above-mentioned [D2] radiation sensitive radical polymerization initiator and / or [E2] radiation sensitive acid generator.
[Coating film forming process]
In this step, the curable resin composition is applied to the substrate surface, and a coating film is formed by removing the solvent preferably by pre-baking. Examples of the substrate used in this step include a glass substrate, a silicon wafer, a plastic substrate, and a substrate on which various metals are formed. Examples of the plastic substrate include a substrate mainly composed of a plastic such as polyethylene terephthalate (PET), polybutylene terephthalate, polyethersulfone, polycarbonate, and polyimide.

当該硬化性樹脂組成物の塗布方法としては、例えばスプレー法、ロールコート法、回転塗布法(スピンコート法)、スリットダイ塗布法、バー塗布法、インクジェット法等の適宜の方法を採用することができる。これらの塗布方法の中でも、スピンコート法、バー塗布法、スリットダイ塗布法が好ましい。プレベークの条件としては、当該硬化性樹脂組成物の含有成分の種類、含有量等によっても異なるが、例えば60℃〜120℃で30秒間〜10分間程度とすることができる。上記塗膜の膜厚は、プレベーク後の値として、好ましくは0.1μm〜8μmであり、より好ましくは0.1μm〜6μmであり、さらに好ましくは0.1μm〜4μmである。
[照射工程]
本工程では、上記塗膜形成工程で形成した塗膜に所定のパターンを有するマスクを介して放射線を照射する。このときの放射線としては、例えば紫外線、遠紫外線、X線、荷電粒子線等が挙げられる。
As a method for applying the curable resin composition, for example, an appropriate method such as spraying, roll coating, spin coating (spin coating), slit die coating, bar coating, or ink jet may be employed. it can. Among these coating methods, spin coating, bar coating, and slit die coating are preferable. As prebaking conditions, although it changes also with the kind of content component of the said curable resin composition, content, etc., it can be set as about 30 second-about 10 minutes at 60 to 120 degreeC, for example. The film thickness of the coating film is preferably 0.1 μm to 8 μm, more preferably 0.1 μm to 6 μm, and further preferably 0.1 μm to 4 μm as a value after pre-baking.
[Irradiation process]
In this step, the coating film formed in the coating film forming step is irradiated with radiation through a mask having a predetermined pattern. Examples of radiation at this time include ultraviolet rays, far ultraviolet rays, X-rays, and charged particle beams.

紫外線としては、例えばg線(波長436nm)、i線(波長365nm)等が挙げられる。遠紫外線としては、例えばKrFエキシマレーザー等が挙げられる。X線としては、例えばシンクロトロン放射線等が挙げられる。荷電粒子線としては、例えば電子線等が挙げられる。これらの放射線のうち、紫外線が好ましく、紫外線の中でもg線及び/又はi線を含む放射線が特に好ましい。露光量としては、30J/m〜1,500J/mが好ましい。
[現像工程]
本工程では、上記照射工程で放射線を照射した塗膜に対して現像を行って、所望のパターンを形成することができる。現像処理に用いられる現像液としては、アルカリ水溶液を用いることができる。アルカリとしては、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア、エチルアミン、n−プロピルアミン、ジエチルアミン、ジエチルアミノエタノール、ジ−n−プロピルアミン、トリエチルアミン、メチルジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ〔5,4,0〕−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ[4,3,0]−5−ノナン等が挙げられる。また、現像液としては、上記アルカリ水溶液にメタノール、エタノール等の水溶性有機溶媒や界面活性剤を適当量添加した水溶液、又は当該硬化性樹脂組成物から形成される塗膜を溶解するよう各種有機溶媒を少量含むものを使用することができる。さらに、現像方法としては、例えば液盛り法、ディッピング法、揺動浸漬法、シャワー法等の方法を利用することができる。現像時間は、硬化性樹脂組成物の組成によって異なるが、例えば30秒〜120秒とすることができる。
Examples of ultraviolet rays include g-line (wavelength 436 nm), i-line (wavelength 365 nm), and the like. Examples of the far ultraviolet light include a KrF excimer laser. Examples of X-rays include synchrotron radiation. Examples of the charged particle beam include an electron beam. Among these radiations, ultraviolet rays are preferable, and among the ultraviolet rays, radiation containing g-line and / or i-line is particularly preferable. The exposure amount, 30J / m 2 ~1,500J / m 2 is preferred.
[Development process]
In this step, a desired pattern can be formed by developing the coating film irradiated with radiation in the irradiation step. An alkaline aqueous solution can be used as the developer used in the development process. Examples of the alkali include sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium silicate, sodium metasilicate, ammonia, ethylamine, n-propylamine, diethylamine, diethylaminoethanol, di-n-propylamine, triethylamine, methyldiethylamine, Dimethylethanolamine, triethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, pyrrole, piperidine, 1,8-diazabicyclo [5,4,0] -7-undecene, 1,5-diazabicyclo [4,3, 0] -5-nonane and the like. As the developer, an aqueous solution obtained by adding an appropriate amount of a water-soluble organic solvent or a surfactant such as methanol or ethanol to the alkaline aqueous solution, or various organic solvents so as to dissolve a coating film formed from the curable resin composition. Those containing a small amount of a solvent can be used. Furthermore, as a developing method, for example, a liquid piling method, a dipping method, a rocking dipping method, a shower method, or the like can be used. The development time varies depending on the composition of the curable resin composition, but can be, for example, 30 seconds to 120 seconds.

現像工程の後に、パターニングされた塗膜に対して流水洗浄によるリンス処理を行い、続いて、高圧水銀灯等による放射線を全面に照射(後露光)することにより、塗膜中に残存する[D2]感放射線性ラジカル重合開始剤、[E2]感放射線性酸発生剤等の分解処理を行うことが好ましい。後露光における露光量は、好ましくは2,000J/m〜5,000J/m程度である。
[加熱工程]
本工程では、上記現像工程で現像された塗膜を焼成するホットプレート、オーブン等の加熱装置を用いて、この塗膜を加熱(ポストベーク処理)することによって塗膜の硬化を行う。また、加熱温度としては、100℃〜300℃が好ましく、120℃〜280℃がより好ましく、150℃〜250℃がさらに好ましい。加熱時間としては、加熱機器の種類により異なるが、5分〜300分が好ましく、10分〜180分がより好ましく、20分〜120分がさらに好ましい。
After the development step, the patterned coating film is rinsed by running water washing, and subsequently irradiated with a high-pressure mercury lamp or the like (post-exposure) to remain in the coating film [D2] It is preferable to perform a decomposition treatment of a radiation sensitive radical polymerization initiator, [E2] a radiation sensitive acid generator or the like. The exposure amount in the post-exposure is preferably about 2,000 J / m 2 to 5,000 J / m 2 .
[Heating process]
In this step, the coating film is cured by heating (post-baking) the coating film using a heating device such as a hot plate or an oven for baking the coating film developed in the development step. Moreover, as heating temperature, 100 to 300 degreeC is preferable, 120 to 280 degreeC is more preferable, 150 to 250 degreeC is further more preferable. As heating time, although it changes with kinds of heating apparatus, 5 minutes-300 minutes are preferable, 10 minutes-180 minutes are more preferable, and 20 minutes-120 minutes are further more preferable.

当該表示素子用の硬化膜の形成方法によれば、当該硬化性樹脂組成物の感放射線性を利用した露光、現像及び加熱によってパターンを形成する方法であるため、密着性及び透明性に優れる硬化膜パターンを容易に形成することができる。
<表示素子>
本発明の表示素子は、当該表示素子用硬化膜を備える。当該表示素子としては、液晶表示素子、有機EL素子等が挙げられる。このような表示素子では、硬化膜を、例えば、層間絶縁膜、保護膜、スペーサーとして備える。
According to the method for forming a cured film for the display element, since the pattern is formed by exposure, development and heating using the radiation sensitivity of the curable resin composition, curing having excellent adhesion and transparency is achieved. A film pattern can be easily formed.
<Display element>
The display element of the present invention includes the cured film for display element. Examples of the display element include a liquid crystal display element and an organic EL element. In such a display element, the cured film is provided as, for example, an interlayer insulating film, a protective film, or a spacer.

以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
[Mw及びMn]
以下の合成例において、[A]重合体のMw及びMw/Mnは、下記測定装置及び測定条件によるゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定した。
EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated concretely based on an Example, this invention is not limited to these Examples.
[Mw and Mn]
In the following synthesis examples, Mw and Mw / Mn of the [A] polymer were measured by gel permeation chromatography (GPC) using the following measuring apparatus and measurement conditions.

測定装置:昭和電工社の「GPC−101」
測定条件:
GPCカラム:昭和電工社の「GPC−KF−801」、「GPC−KF−802」、「GPC−KF−803」及び「GPC−KF−804」を結合して用いた。
Measuring device: “GPC-101” from Showa Denko
Measurement condition:
GPC columns: “GPC-KF-801”, “GPC-KF-802”, “GPC-KF-803” and “GPC-KF-804” manufactured by Showa Denko KK were used in combination.

移動相:テトラヒドロフラン
<化合物の合成>
[合成例1](化合物(HC−1)の合成)
攪拌機及び滴下ロートを設置した5L反応器内に、2−ヒドロキシエチルメタクリレート65.1g(0.5mol)、ピリジン59.3g(0.75mol)及び塩化メチレン500mLを仕込み、窒素下、反応器内を0℃に冷却しながら、3−クロロプロピオン酸クロライド76.18g(0.6mol)を滴下ロートから滴下した後、0℃で2時間、攪拌下に反応させた。得られた反応液を炭酸水素ナトリウム水溶液及び飽和食塩水で順次洗浄した後に減圧濃縮し、シリカゲルカラムクロマトグラフィーで精製することにより、下記式(HC−1)で表される化合物83.4gを得た(収率76%)。
Mobile phase: Tetrahydrofuran <Synthesis of compounds>
[Synthesis Example 1] (Synthesis of Compound (HC-1))
In a 5 L reactor equipped with a stirrer and a dropping funnel, 65.1 g (0.5 mol) of 2-hydroxyethyl methacrylate, 59.3 g (0.75 mol) of pyridine and 500 mL of methylene chloride were charged, and the reactor was purged with nitrogen. While cooling to 0 ° C., 76.18 g (0.6 mol) of 3-chloropropionic acid chloride was dropped from the dropping funnel, and the mixture was reacted at 0 ° C. with stirring for 2 hours. The obtained reaction solution was washed successively with aqueous sodium hydrogen carbonate solution and saturated brine, concentrated under reduced pressure, and purified by silica gel column chromatography to obtain 83.4 g of a compound represented by the following formula (HC-1). (Yield 76%).

[合成例2](化合物(HC−2)の合成)
攪拌機及び滴下ロートを設置した5L反応器内に、4−ヒドロキシ−α−メチルスチレン67.1g(0.5mol)、ピリジン59.3g(0.75mol)及び塩化メチレン500mLを仕込み、窒素下、反応器内を0℃に冷却しながら、3−クロロプロピオン酸クロライド76.18g(0.6mol)を滴下ロートから滴下した後、0℃で2時間、攪拌下に反応させた。得られた反応液を炭酸水素ナトリウム水溶液及び飽和食塩水で順次洗浄した後に減圧濃縮し、シリカゲルカラムクロマトグラフィーで精製することにより、下記式(HC−2)で表される化合物80.0gを得た(収率71%)。
[Synthesis Example 2] (Synthesis of Compound (HC-2))
In a 5 L reactor equipped with a stirrer and a dropping funnel, 67.1 g (0.5 mol) of 4-hydroxy-α-methylstyrene, 59.3 g (0.75 mol) of pyridine and 500 mL of methylene chloride were charged, and the reaction was conducted under nitrogen. While the inside of the vessel was cooled to 0 ° C., 76.18 g (0.6 mol) of 3-chloropropionic acid chloride was dropped from the dropping funnel, and then reacted at 0 ° C. with stirring for 2 hours. The obtained reaction solution was washed successively with aqueous sodium hydrogen carbonate solution and saturated brine, concentrated under reduced pressure, and purified by silica gel column chromatography to obtain 80.0 g of a compound represented by the following formula (HC-2). (Yield 71%).

[合成例3](化合物(HC−3)の合成)
攪拌機及び滴下ロートを設置した5L反応器内に、2,3−ジヒドロキシプロピルメタクリレート80.1g(0.5mol)、ピリジン118.7g(1.5mol)及び塩化メチレン500mLを仕込み、窒素下、反応器内を0℃に冷却しながら、3−クロロプロピオン酸クロライド152.4g(1.2mol)を滴下ロートから滴下した後、0℃で2時間、攪拌下に反応させた。得られた反応液を炭酸水素ナトリウム水溶液及び飽和食塩水で順次洗浄した後に減圧濃縮し、シリカゲルカラムクロマトグラフィーで精製することにより、下記式(HC−3)で表される化合物106.3gを得た(収率62%)。
[Synthesis Example 3] (Synthesis of Compound (HC-3))
A 5 L reactor equipped with a stirrer and a dropping funnel was charged with 80.1 g (0.5 mol) of 2,3-dihydroxypropyl methacrylate, 118.7 g (1.5 mol) of pyridine and 500 mL of methylene chloride, and the reactor was added under nitrogen. While the inside was cooled to 0 ° C., 152.4 g (1.2 mol) of 3-chloropropionic acid chloride was dropped from the dropping funnel, and then reacted at 0 ° C. with stirring for 2 hours. The obtained reaction solution was washed successively with aqueous sodium hydrogen carbonate solution and saturated brine, concentrated under reduced pressure, and purified by silica gel column chromatography to obtain 106.3 g of a compound represented by the following formula (HC-3). (Yield 62%).

[合成例4](化合物HC−4の合成)
攪拌機及び滴下ロートを設置した5L反応器内に、(3,4−ジヒドロキシシクロヘキシル)メチルメタクリレート107.2g(0.5mol)、ピリジン118.7g(1.5mol)及び塩化メチレン500mLを仕込み、窒素下、反応器内を0℃に冷却しながら、3−クロロプロピオン酸クロライド152.4g(1.2mol)を滴下ロートから滴下した後、0℃で2時間、攪拌下に反応させた。得られた反応液を炭酸水素ナトリウム水溶液及び飽和食塩水で順次洗浄した後に減圧濃縮し、シリカゲルカラムクロマトグラフィーで精製することにより、下記式(HC−4)で表される化合物125.5gを得た(収率64%)。
[Synthesis Example 4] (Synthesis of Compound HC-4)
In a 5 L reactor equipped with a stirrer and a dropping funnel, 103,4 g (0.5 mol) of (3,4-dihydroxycyclohexyl) methyl methacrylate, 118.7 g (1.5 mol) of pyridine and 500 mL of methylene chloride were charged, and nitrogen was added. While the reactor was cooled to 0 ° C., 152.4 g (1.2 mol) of 3-chloropropionic acid chloride was dropped from the dropping funnel, and then reacted at 0 ° C. with stirring for 2 hours. The obtained reaction mixture was washed successively with aqueous sodium hydrogen carbonate solution and saturated brine, concentrated under reduced pressure, and purified by silica gel column chromatography to give 125.5 g of a compound represented by the following formula (HC-4). (Yield 64%).

[合成例5](化合物(HC−5)の合成)
攪拌機及び滴下ロートを設置した5L反応器内に、3−ヒドロキシ−1−アダマンチルメタクリレート118.2g(0.5mol)、ピリジン59.3g(0.75mol)及び塩化メチレン500mLを仕込み、窒素下、反応器内を0℃に冷却しながら、3−クロロプロピオン酸クロライド76.18g(0.6mol)を滴下ロートから滴下した後、0℃で2時間、攪拌下に反応させた。得られた反応液を炭酸水素ナトリウム水溶液及び飽和食塩水で順次洗浄した後に減圧濃縮し、シリカゲルカラムクロマトグラフィーで精製することにより、下記式(HC−5)で表される化合物117.2gを得た(収率72%)。
[Synthesis Example 5] (Synthesis of Compound (HC-5))
In a 5 L reactor equipped with a stirrer and a dropping funnel, 118.2 g (0.5 mol) of 3-hydroxy-1-adamantyl methacrylate, 59.3 g (0.75 mol) of pyridine and 500 mL of methylene chloride were charged and reacted under nitrogen. While the inside of the vessel was cooled to 0 ° C., 76.18 g (0.6 mol) of 3-chloropropionic acid chloride was dropped from the dropping funnel, and then reacted at 0 ° C. with stirring for 2 hours. The obtained reaction mixture was washed successively with aqueous sodium hydrogen carbonate solution and saturated brine, concentrated under reduced pressure, and purified by silica gel column chromatography to give 117.2 g of a compound represented by the following formula (HC-5). (Yield 72%).

[合成例6](化合物(HC−6)の合成)
攪拌機及び滴下ロートを設置した5L反応器内に、3−(2−ヒドロキシエトキシ)−アダマンチルメタクリレート140.2g(0.5mol)、ピリジン59.3g(0.75mol)及び塩化メチレン500mLを仕込み、窒素下、反応器内を0℃に冷却しながら、3−クロロプロピオン酸クロライド76.18g(0.6mol)を滴下ロートから滴下した後、0℃で2時間、攪拌下に反応させた。得られた反応液を炭酸水素ナトリウム水溶液及び飽和食塩水で順次洗浄した後に減圧濃縮し、シリカゲルカラムクロマトグラフィーで精製することにより、下記式(HC−6)で表される化合物128.5gを得た(収率69%)。
[Synthesis Example 6] (Synthesis of Compound (HC-6))
In a 5 L reactor equipped with a stirrer and a dropping funnel, 140.2 g (0.5 mol) of 3- (2-hydroxyethoxy) -adamantyl methacrylate, 59.3 g (0.75 mol) of pyridine and 500 mL of methylene chloride were charged, and nitrogen was added. Then, while cooling the inside of the reactor to 0 ° C., 76.18 g (0.6 mol) of 3-chloropropionic acid chloride was dropped from the dropping funnel, and then reacted at 0 ° C. with stirring for 2 hours. The obtained reaction mixture was washed successively with aqueous sodium hydrogen carbonate solution and saturated brine, concentrated under reduced pressure, and purified by silica gel column chromatography to give 128.5 g of a compound represented by the following formula (HC-6). (Yield 69%).

[合成例7](化合物(HC−7)の合成)
攪拌機及び滴下ロートを設置した5L反応器内に、4−ヒドロキシフェニルメタクリレート89.1g(0.5mol)、ピリジン59.3g(0.75mol)及び塩化メチレン500mLを仕込み、窒素下、反応器内を0℃に冷却しながら、3−クロロプロピオン酸クロライド76.18g(0.6mol)を滴下ロートから滴下した後、0℃で2時間、攪拌下に反応させた。得られた反応液を炭酸水素ナトリウム水溶液及び飽和食塩水で順次洗浄した後に減圧濃縮し、シリカゲルカラムクロマトグラフィーで精製することにより、下記式(HC−7)で表される化合物105.1gを得た(収率78%)。
[Synthesis Example 7] (Synthesis of Compound (HC-7))
In a 5 L reactor equipped with a stirrer and a dropping funnel, 89.1 g (0.5 mol) of 4-hydroxyphenyl methacrylate, 59.3 g (0.75 mol) of pyridine and 500 mL of methylene chloride were charged, and the reactor was purged with nitrogen. While cooling to 0 ° C., 76.18 g (0.6 mol) of 3-chloropropionic acid chloride was dropped from the dropping funnel, and the mixture was reacted at 0 ° C. with stirring for 2 hours. The obtained reaction solution was washed successively with aqueous sodium hydrogen carbonate solution and saturated brine, concentrated under reduced pressure, and purified by silica gel column chromatography to obtain 105.1 g of a compound represented by the following formula (HC-7). (Yield 78%).

<[A]重合体の合成>
[合成例8](重合体(A−1)の合成)
上記合成した化合物(HC−1)36.6g(20モル%)、メタクリル酸17.8g(25モル%)及びメタクリル酸メチル45.6g(55モル%)を140gの3−メトキシプロピオン酸メチルに溶解し、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)14.4gを添加して単量体溶液を調製した。次に、60gの3−メトキシプロピオン酸メチルを入れた500mLの三口フラスコを30分窒素パージした後、撹拌しながら70℃に加熱し、上記調製した単量体溶液を滴下漏斗にて2時間かけて滴下した。滴下開始を重合反応の開始時間とし、重合反応を4時間実施した。その後、重合反応液の温度を90℃にし、30分撹拌した。さらにその後、重合反応液の温度を70℃にし、トリエチルアミン77.9mLを加え、70℃のまま3時間撹拌した。室温に冷却後、12N塩酸水55.9mLを加え、30分撹拌してから酢酸エチルを加えて分液した。有機相を蒸留水で洗浄した後、回収した有機相を濃縮し、3−メトキシプロピオン酸メチル([B]溶媒としての(B−1))で希釈することで重合体(A−1)を40質量%含む重合体溶液を得た。重合体(A−1)のMwは7,000であった。
[合成例9〜合成例19]
下記表1に示す種類及び使用量の単量体を用いた以外は合成例8と同様に操作して、各重合体を合成した。合成した各重合体のMw及びMw/Mnを表1に合わせて示す。なお「−」は、該当する単量体を使用しなかったことを示す。合成例16及び19において、構造単位(II)を与える化合物として、カルボキシル基を保護してなる1−ブトキシエチルメタクリレートを用いた場合、得られる[A]重合体においては、脱保護されてカルボキシル基が生成している。
<[A] Synthesis of polymer>
[Synthesis Example 8] (Synthesis of Polymer (A-1))
Compound (HC-1) 36.6 g (20 mol%), methacrylic acid 17.8 g (25 mol%) and methyl methacrylate 45.6 g (55 mol%) were converted into 140 g of methyl 3-methoxypropionate. After dissolution, 14.4 g of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) was added to prepare a monomer solution. Next, a 500 mL three-necked flask containing 60 g of methyl 3-methoxypropionate was purged with nitrogen for 30 minutes and then heated to 70 ° C. with stirring. The monomer solution prepared above was added to the dropping funnel over 2 hours. And dripped. The dripping start was set as the polymerization reaction start time, and the polymerization reaction was carried out for 4 hours. Thereafter, the temperature of the polymerization reaction solution was set to 90 ° C. and stirred for 30 minutes. Thereafter, the temperature of the polymerization reaction solution was set to 70 ° C., 77.9 mL of triethylamine was added, and the mixture was stirred at 70 ° C. for 3 hours. After cooling to room temperature, 55.9 mL of 12N aqueous hydrochloric acid was added and stirred for 30 minutes, and then ethyl acetate was added to separate the layers. After washing the organic phase with distilled water, the recovered organic phase is concentrated and diluted with methyl 3-methoxypropionate ((B-1) as the [B] solvent) to obtain the polymer (A-1). A polymer solution containing 40% by mass was obtained. Mw of the polymer (A-1) was 7,000.
[Synthesis Example 9 to Synthesis Example 19]
Each polymer was synthesized in the same manner as in Synthesis Example 8 except that the types and amounts of monomers shown in Table 1 were used. Table 1 shows the Mw and Mw / Mn of each synthesized polymer. “-” Indicates that the corresponding monomer was not used. In Synthesis Examples 16 and 19, when 1-butoxyethyl methacrylate obtained by protecting the carboxyl group is used as the compound that gives the structural unit (II), the obtained [A] polymer is deprotected and has a carboxyl group. Is generated.

[合成例20](重合体(a−1)の合成)
冷却管及び攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)7質量部及び3−メトキシプロピオン酸メチル([B]溶媒としての(B−1))200質量部を仕込んだ。次に、メタクリル酸40質量部及びメタクリル酸メチル60質量部を仕込み窒素置換した後、ゆるやかに撹拌を始めた。重合反応液の温度を70℃に上昇させ、この温度を5時間保持した後、メタクリル酸グリシジル30質量部及びテトラブチルアンモニウムブロマイド3質量部を加え、さらに90℃で10時間反応させ、重合体(a−1)を40質量%含む重合体溶液を得た。重合体(a−1)のMwは10,000であった。
[合成例21](重合体(F−1)の合成)
冷却管及び撹拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)8質量部及びジエチレングリコールメチルエチルエーテル([B]溶媒としての(B−2))220質量部を仕込み、さらにメタクリル酸13質量部、メタクリル酸グリシジル40質量部、α−メチル−p−ヒドロキシスチレン10質量部、スチレン10質量部、テトラヒドロフルフリルメタクリレート12質量部、N−シクロヘキシルマレイミド15質量部及びn−ラウリルメタクリレート10質量部を加え、窒素置換した後、緩やかに攪拌しつつ、溶液の温度を70℃に上昇させ、この温度を5時間保持して重合することにより、重合体(F−1)を含む溶液を得た。この溶液の固形分濃度は、31.9質量%であった。重合体(F−1)のMwは8,000、分子量分布(Mw/Mn)は2.3であった。
[合成例22](重合体(F−2)の合成)
冷却管及び攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル5質量部及び酢酸3−メトキシブチル([B]溶媒としての(B−3))250質量部を仕込み、さらにメタクリル酸7質量部、メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02.6]デカン−8−イル18質量部、スチレン15質量部、3−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン40質量部及びメタクリル酸グリシジル20質量部を加え、窒素置換した後、緩やかに撹拌しつつ、溶液の温度を80℃に上昇させ、この温度を5時間保持して重合することにより、重合体(F−2)を含む溶液を得た。この溶液の固形分濃度は28.8質量%であった。この重合体(F−2)のMwは12,000、分子量分布(Mw/Mn)は2.2であった。
[合成例23](重合体(F−3)の合成)
冷却管及び攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル5質量部及び酢酸3−メトキシブチル250質量部を仕込み、さらにメタクリル酸7質量部、メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02.6]デカン−8−イル28質量部、スチレン25質量部及びメタクリル酸グリシジル40質量部を加え、窒素置換した後、緩やかに撹拌しつつ、溶液の温度を80℃に上昇させ、この温度を5時間保持して重合することにより、重合体(F−3)を含む溶液を得た。この溶液の固形分濃度は28.8質量%であった。この重合体(F−3)のMwは10,000、分子量分布(Mw/Mn)は2.2であった。
[合成例24](重合体(F−4)の合成)
冷却管及び攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル5質量部及び酢酸3−メトキシブチル250質量部を仕込み、さらにメタクリル酸7質量部、メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02.6]デカン−8−イル28質量部、スチレン25質量部及び3,4−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート40質量部を加え、窒素置換した後、緩やかに撹拌しつつ、溶液の温度を80℃に上昇させ、この温度を5時間保持して重合することにより、重合体(F−4)を含む溶液を得た。この溶液の固形分濃度は28.8質量%であった。この重合体(F−4)のMwは11,000、分子量分布(Mw/Mn)は2.1であった。
<硬化性樹脂組成物の調製>
硬化性樹脂組成物の調製に用いた[B]塩基性化合物、[C]重合性化合物、[D]ラジカル重合開始剤及び[E]酸発生剤を以下に示す。
[[B]塩基性化合物]
B−1:トリエチルアミン
B−2:ピリジン
B−3:2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール
[[C]重合性化合物]
C−1:ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとの混合物(日本化薬社の「KAYARAD DPHA」)
C−2:コハク酸変性ペンタエリスリトールトリアクリレート(東亞合成社の「アロニックスTO−756」)
C−3:トリメチロールプロパントリアクリレート
C−4:トリペンタエリスリトールオクタアクリレートとトリペンタエリスリトールヘプタアクリレートとの混合物(大阪有機化学工業社の「ビスコート802」)
C−5:コハク酸変性ジペンタエリスリトールペンタアクリレート(東亞合成社の「アロニックスM−520」)
[[D]ラジカル重合開始剤]
D−1:2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン(BASF社の「イルガキュア907」)
D−2:エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)(BASF社の「イルガキュアOXE02」)
D−3:2,4−ジエチルチオキサントン
[[E]酸発生剤]
E−1:4,4’−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル
[実施例1]
上記合成例8で合成した[A]重合体としての(A−1)100質量部と[B]塩基性化合物としての(B−1)0.005質量部、[C]重合性化合物としての(C−1)50質量部及び[D]ラジカル重合開始剤としての(D−1)10質量部をプロピレングリコールモノメチエーテルアセテートに溶解させ、孔径0.2μmのメンブランフィルタで濾過することにより、硬化性樹脂組成物(J−1)を調製した。
[実施例2〜18及び比較例1〜2]
下記表2に示す種類及び含有量の各成分を含有するように各原料を混合した以外は、実施例1と同様に操作し、硬化性樹脂組成物(J−2)〜(J−18)及び(CJ−1)〜(CJ−2)を調製した。表2中の「−」は、該当する成分を用いなかったことを示す。
<評価>
上記調製した硬化性樹脂組成物について、硬化膜の密着性及び透明性、並びに保存安定性及び放射線感度を下記方法に従い評価した。
[硬化膜の密着性]
硬化膜の密着性は、硬化膜パターンについて、露光引き置き後に評価した。具体的には、まず、ガラス基板上に、硬化性樹脂組成物をスピンナを用いて塗布した後、90℃にて2分間ホットプレート上でプレベークして膜厚3.0μmの塗膜を形成した。続いて、露光機(キヤノン社の「MPA−600FA(ghi線混合)」)を用い、10μmのライン・アンド・スペース(1対1)のパターン形成用のマスクを介して、700(J/m2)の露光量で露光した。その後、0.5質量%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を用いて、25℃において80秒間液盛り法で現像した。次いで、超純水で1分間流水洗浄を行い、その後乾燥し、ガラス基板上にパターンを形成した。現像後の基板を光学顕微鏡で観察し、パターンの剥がれの有無を確認した。パターンの密着性は、以下の判断基準により評価した。
[Synthesis Example 20] (Synthesis of polymer (a-1))
In a flask equipped with a condenser and a stirrer, 7 parts by mass of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts by mass of methyl 3-methoxypropionate ((B-1) as a solvent [B]) Prepared the department. Next, after 40 parts by mass of methacrylic acid and 60 parts by mass of methyl methacrylate were charged and purged with nitrogen, stirring was started gently. The temperature of the polymerization reaction solution was raised to 70 ° C., and this temperature was maintained for 5 hours. Then, 30 parts by mass of glycidyl methacrylate and 3 parts by mass of tetrabutylammonium bromide were added, and the mixture was further reacted at 90 ° C. for 10 hours. A polymer solution containing 40% by mass of a-1) was obtained. Mw of the polymer (a-1) was 10,000.
[Synthesis Example 21] (Synthesis of polymer (F-1))
In a flask equipped with a condenser and a stirrer, 8 parts by mass of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 220 parts by mass of diethylene glycol methyl ethyl ether ((B-2) as a solvent [B]) Further, 13 parts by weight of methacrylic acid, 40 parts by weight of glycidyl methacrylate, 10 parts by weight of α-methyl-p-hydroxystyrene, 10 parts by weight of styrene, 12 parts by weight of tetrahydrofurfuryl methacrylate, 15 parts by weight of N-cyclohexylmaleimide and After adding 10 parts by mass of n-lauryl methacrylate and substituting with nitrogen, the temperature of the solution is raised to 70 ° C. while gently stirring, and this temperature is maintained for 5 hours to polymerize to obtain a polymer (F-1 ) Was obtained. The solid content concentration of this solution was 31.9% by mass. Mw of the polymer (F-1) was 8,000, and the molecular weight distribution (Mw / Mn) was 2.3.
[Synthesis Example 22] (Synthesis of polymer (F-2))
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 5 parts by mass of 2,2′-azobisisobutyronitrile and 250 parts by mass of 3-methoxybutyl acetate ((B-3) as a [B] solvent), and 7 parts by weight of methacrylic acid, 18 parts by weight of tricyclo [5.2.2.6.6] decan-8-yl methacrylate, 15 parts by weight of styrene, 40 parts by weight of 3-methacryloxypropyltriethoxysilane and glycidyl methacrylate 20 After adding part by mass and purging with nitrogen, the temperature of the solution is raised to 80 ° C. while gently stirring, and polymerization is carried out while maintaining this temperature for 5 hours to obtain a solution containing the polymer (F-2). Obtained. The solid content concentration of this solution was 28.8% by mass. Mw of this polymer (F-2) was 12,000, and the molecular weight distribution (Mw / Mn) was 2.2.
[Synthesis Example 23] (Synthesis of polymer (F-3))
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 5 parts by mass of 2,2′-azobisisobutyronitrile and 250 parts by mass of 3-methoxybutyl acetate, and further 7 parts by mass of methacrylic acid, tricyclomethacrylate [5.2. 1.02.6] After adding 28 parts by mass of decan-8-yl, 25 parts by mass of styrene, and 40 parts by mass of glycidyl methacrylate, the temperature of the solution was raised to 80 ° C. while gently stirring, The solution containing the polymer (F-3) was obtained by polymerization while maintaining this temperature for 5 hours. The solid content concentration of this solution was 28.8% by mass. Mw of this polymer (F-3) was 10,000, and the molecular weight distribution (Mw / Mn) was 2.2.
[Synthesis Example 24] (Synthesis of polymer (F-4))
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 5 parts by mass of 2,2′-azobisisobutyronitrile and 250 parts by mass of 3-methoxybutyl acetate, and further 7 parts by mass of methacrylic acid, tricyclomethacrylate [5.2. 1.0 2.6 ] 28 parts by mass of decan-8-yl, 25 parts by mass of styrene and 40 parts by mass of 3,4-epoxycyclohexylmethyl methacrylate were added, and the temperature of the solution was changed while gently stirring the solution. Was raised to 80 ° C., and this temperature was maintained for 5 hours for polymerization to obtain a solution containing the polymer (F-4). The solid content concentration of this solution was 28.8% by mass. Mw of this polymer (F-4) was 11,000, and the molecular weight distribution (Mw / Mn) was 2.1.
<Preparation of curable resin composition>
[B] basic compound, [C] polymerizable compound, [D] radical polymerization initiator and [E] acid generator used for the preparation of the curable resin composition are shown below.
[[B] Basic compound]
B-1: Triethylamine B-2: Pyridine B-3: 2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole [[ C] Polymerizable compound]
C-1: Mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate (“KAYARAD DPHA” from Nippon Kayaku Co., Ltd.)
C-2: Succinic acid-modified pentaerythritol triacrylate (“Aronix TO-756” manufactured by Toagosei Co., Ltd.)
C-3: Trimethylolpropane triacrylate C-4: Mixture of tripentaerythritol octaacrylate and tripentaerythritol heptaacrylate (“Biscoat 802” from Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.)
C-5: Succinic acid-modified dipentaerythritol pentaacrylate (“Aronix M-520” manufactured by Toagosei Co., Ltd.)
[[D] radical polymerization initiator]
D-1: 2-Methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one (“Irgacure 907” from BASF)
D-2: Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime) (“Irgacure OXE02” from BASF)
D-3: 2,4-diethylthioxanthone [[E] acid generator]
E-1: 4,4 ′-[1- [4- [1- [4-Hydroxyphenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonate [implementation] Example 1]
100 parts by mass of (A-1) as the [A] polymer synthesized in Synthesis Example 8 above, 0.005 parts by mass of (B-1) as the basic compound, and [C] as the polymerizable compound (C-1) 50 parts by mass and [D] 10 parts by mass of (D-1) radical polymerization initiator are dissolved in propylene glycol monomethyl ether acetate and filtered through a membrane filter having a pore size of 0.2 μm. A curable resin composition (J-1) was prepared.
[Examples 2-18 and Comparative Examples 1-2]
The curable resin compositions (J-2) to (J-18) were operated in the same manner as in Example 1 except that the raw materials were mixed so as to contain the components of the types and contents shown in Table 2 below. And (CJ-1) to (CJ-2) were prepared. “-” In Table 2 indicates that the corresponding component was not used.
<Evaluation>
About the prepared curable resin composition, the adhesiveness and transparency of a cured film, storage stability, and radiation sensitivity were evaluated according to the following method.
[Adhesion of cured film]
The adhesion of the cured film was evaluated for the cured film pattern after exposure. Specifically, first, a curable resin composition was applied onto a glass substrate using a spinner, and then prebaked on a hot plate at 90 ° C. for 2 minutes to form a coating film having a thickness of 3.0 μm. . Subsequently, 700 (J / m 2) was passed through a mask for forming a pattern of 10 μm line and space (one to one) using an exposure machine (“MPA-600FA (ghi line mixing)” manufactured by Canon Inc.). ). Thereafter, development was performed by a puddle method at 25 ° C. for 80 seconds using a 0.5 mass% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution. Next, running water was washed with ultrapure water for 1 minute, and then dried to form a pattern on the glass substrate. The substrate after development was observed with an optical microscope to confirm the presence or absence of pattern peeling. The pattern adhesion was evaluated according to the following criteria.

パターンの剥がれがほとんど見られない場合:「○」
パターンの剥がれがわずかに見られた場合:「△」
パターンが剥がれ、基板上にパターンがほとんど残っていない場合:「×」
[硬化膜の透明性]
シリコン基板上に、硬化性樹脂組成物を用い、厚さ3.0μmの塗膜を形成した。このシリコン基板をクリーンオーブン内にて220℃で1時間加熱して硬化膜を形成した。この硬化膜について、波長400nmにおける透過率を、分光光度計(日立製作所社の「150−20型ダブルビーム」)を用いて測定した。この透過率(%)の値を表2及び表3に示す。透明性は、上記透過率が90%以上の場合は良好と、90%未満の場合は不良と評価できる。
[保存安定性の評価]
硬化性樹脂組成物を40℃のオーブン中に1週間放置した。初期における粘度(1)と、1週間放置後における粘度(2)とを測定し、|粘度(2)−粘度(1)|×100/粘度(1)により粘度変化率(%)を算出した。|粘度(2)−粘度(1)|は、粘度(2)と粘度(1)との差の絶対値を意味する。この粘度変化率(%)の値を、表2に示した。保存安定性は、粘度変化率が5%以下の場合は良好と、5%を超える場合には不良と評価できる。
[放射線感度]
ガラス基板上に、硬化性樹脂組成物をスピンナを用いて塗布した後、90℃にて2分間ホットプレート上でプレベークして膜厚3.0μmの塗膜を形成した。次に、露光機(キヤノン社の「MPA−600FA(ghi線混合)」)を用い、10μmのライン・アンド・スペース(1対1)のパターンを有するマスクを介して、露光量を変量として塗膜に放射線を照射した。その後、0.5質量%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液にて25℃において80秒間液盛り法で現像した。次いで、超純水で1分間流水洗浄を行い、その後乾燥することにより、ガラス基板上にパターンを形成した。このとき、10μmのスペース・パターンが完全に溶解するために必要な露光量を調べた。この露光量(J/m)の値を表2に示す。放射線感度は、この露光量の値が350(J/m)以下の場合、良好と評価できる。
When there is almost no peeling of the pattern: “○”
If the pattern is slightly peeled: “△”
When the pattern is peeled off and almost no pattern remains on the substrate: “×”
[Transparency of cured film]
A coating film having a thickness of 3.0 μm was formed on the silicon substrate using the curable resin composition. This silicon substrate was heated in a clean oven at 220 ° C. for 1 hour to form a cured film. About this cured film, the transmittance | permeability in wavelength 400nm was measured using the spectrophotometer ("150-20 type double beam" of Hitachi, Ltd.). Tables 2 and 3 show the transmittance (%) values. Transparency can be evaluated as good when the transmittance is 90% or more and poor when it is less than 90%.
[Evaluation of storage stability]
The curable resin composition was left in an oven at 40 ° C. for 1 week. The initial viscosity (1) and the viscosity after standing for one week (2) were measured, and the viscosity change rate (%) was calculated from | Viscosity (2) −Viscosity (1) | × 100 / Viscosity (1). . | Viscosity (2) −Viscosity (1) | means the absolute value of the difference between the viscosity (2) and the viscosity (1). The viscosity change rate (%) is shown in Table 2. Storage stability can be evaluated as good when the rate of viscosity change is 5% or less, and poor when it exceeds 5%.
[Radiation sensitivity]
A curable resin composition was applied onto a glass substrate using a spinner and then pre-baked on a hot plate at 90 ° C. for 2 minutes to form a coating film having a thickness of 3.0 μm. Next, using an exposure machine ("MPA-600FA (ghi line mixing)" manufactured by Canon Inc.), the exposure dose is applied as a variable via a mask having a 10 μm line-and-space (one-to-one) pattern. The membrane was irradiated with radiation. Then, it developed by the piling method for 80 seconds at 25 degreeC with 0.5 mass% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution. Next, the substrate was washed with running ultrapure water for 1 minute and then dried to form a pattern on the glass substrate. At this time, the exposure amount necessary for completely dissolving the 10 μm space pattern was examined. Table 2 shows the exposure value (J / m 2 ). The radiation sensitivity can be evaluated as good when the exposure value is 350 (J / m 2 ) or less.


表2の結果から明らかなように、実施例の硬化性樹脂組成物は、硬化膜の密着性及び透明性、保存安定性、並びに放射線硬化性樹脂組成物とした場合の放射線感度に優れていた。これに対して、比較例の硬化性樹脂組成物は、これらの性能のすべてについて良好な結果が得られなかった。   As is clear from the results in Table 2, the curable resin compositions of the examples were excellent in adhesion and transparency of the cured film, storage stability, and radiation sensitivity when used as a radiation curable resin composition. . On the other hand, the curable resin composition of the comparative example did not give good results for all of these performances.

本発明の硬化性樹脂組成物は、密着性及び透明性に優れる硬化膜を形成することができ、かつ保存安定性に優れる。本発明の表示素子用硬化膜は、密着性及び透明性に優れるので、表示素子の層間絶縁膜、保護膜、スペーサー等として好適に用いることができる。従って、これらは液晶デバイス等の表示素子の製造プロセスに好適に用いることができる。
The curable resin composition of the present invention can form a cured film having excellent adhesion and transparency, and is excellent in storage stability. Since the cured film for display elements of the present invention is excellent in adhesion and transparency, it can be suitably used as an interlayer insulating film, protective film, spacer, etc. for display elements. Therefore, these can be suitably used in the manufacturing process of display elements such as liquid crystal devices.

Claims (12)

[A]下記式(1A)で表される基と、カルボキシル基を含む構造単位とを有する重合体、及び[B]塩基性化合物を含有する硬化性樹脂組成物。
(式(1A)中、R、R及びRは、それぞれ独立して、水素原子又は炭素数1〜20の1価の炭化水素基である。R、R及びRのうちの2つ以上は互いに結合してこれらが結合する炭素原子と共に環員数3〜20の環構造を形成してもよい。Rは、(a)炭素数1〜20の(n+1)価の炭化水素基、(b)(a)炭化水素基の炭素−炭素間に酸素原子、硫黄原子、−SO−及び−SO−からなる群より選ばれる少なくとも1種を含む基、又は(c)(a)炭化水素基及び(b)基が有する水素原子の一部若しくは全部をハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、カルボキシル基、スルフィノ基、メルカプト基及び炭素数1〜12のアルコキシ基からなる群より選ばれる少なくとも1種で置換した基である。Rは、単結合又は−COO−である。nは、1〜6の整数である。nが2以上の場合、複数のRは同一でも異なっていてもよく、複数のRは同一でも異なっていてもよく、複数のRは同一でも異なっていてもよい。*は、結合する部位を示す。)
[A] A curable resin composition comprising a polymer having a group represented by the following formula (1A) and a structural unit containing a carboxyl group, and [B] a basic compound.
(In Formula (1A), R 1 , R 2 and R 3 are each independently a hydrogen atom or a monovalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms. Among R 1 , R 2 and R 3 May be bonded to each other to form a ring structure having 3 to 20 ring members together with the carbon atom to which they are bonded, and R 4 is (a) a (n + 1) -valent carbon atom having 1 to 20 carbon atoms. A hydrogen group, (b) a group containing at least one selected from the group consisting of an oxygen atom, a sulfur atom, —SO— and —SO 2 — between carbon-carbon of the hydrocarbon group, or (c) ( a) A part or all of the hydrogen atoms of the hydrocarbon group and (b) group are selected from the group consisting of a halogen atom, a cyano group, a nitro group, a carboxyl group, a sulfino group, a mercapto group, and an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms. is at least one substituted with a group selected .R 5 is a single If or -COO- in which .n, when it .n is 2 or more integer from 1 to 6, a plurality of R 1 may be the same or different, even if a plurality of R 2 may be the same or different The plurality of R 3 may be the same or different, and * indicates the site to be bound.)
さらに、[A]重合体が、式(1A)で示される基を含む下記式(1)で示される構造単位と、カルボキシル基を含む構造単位とを有する重合体である請求項1記載の硬化性樹脂組成物。
(式(1)中、R、R、R、R、R及びnは、式(1A)と同一の定義である。Rは、水素原子、メチル基又はフッ素化メチル基である。)
The curing according to claim 1, wherein the polymer [A] is a polymer having a structural unit represented by the following formula (1) containing a group represented by the formula (1A) and a structural unit containing a carboxyl group. Resin composition.
(In formula (1), R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 and n have the same definition as in formula (1A). R 6 is a hydrogen atom, a methyl group or a fluorinated methyl group. .)
[C]エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物をさらに含有する請求項1又は請求項2に記載の硬化性樹脂組成物。   [C] The curable resin composition according to claim 1 or 2, further comprising a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond. ラジカル重合開始剤及び酸発生剤からなる群より選ばれる少なくとも1種をさらに含有する請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の硬化性樹脂組成物。   The curable resin composition according to any one of claims 1 to 3, further comprising at least one selected from the group consisting of a radical polymerization initiator and an acid generator. 上記ラジカル重合開始剤を含有する請求項4に記載の硬化性樹脂組成物。   The curable resin composition of Claim 4 containing the said radical polymerization initiator. 上記ラジカル重合開始剤が感放射線性である請求項5に記載の硬化性樹脂組成物。   The curable resin composition according to claim 5, wherein the radical polymerization initiator is radiation sensitive. 上記酸発生剤を含有する請求項4に記載の硬化性樹脂組成物。   The curable resin composition of Claim 4 containing the said acid generator. 上記酸発生剤が感放射線性である請求項7に記載の硬化性樹脂組成物。   The curable resin composition according to claim 7, wherein the acid generator is radiation sensitive. 層間絶縁膜、保護膜又はスペーサーとしての表示素子用硬化膜の形成に用いられる請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の硬化性樹脂組成物。   The curable resin composition of any one of Claims 1-8 used for formation of the cured film for display elements as an interlayer insulation film, a protective film, or a spacer. 請求項9に記載の硬化性樹脂組成物から形成される層間絶縁膜、保護膜又はスペーサーとしての表示素子用硬化膜。   The cured film for display elements as an interlayer insulation film, a protective film, or a spacer formed from the curable resin composition according to claim 9. 基板上に塗膜を形成する工程、
上記塗膜の少なくとも一部に放射線を照射する工程、
上記放射線が照射された塗膜を現像する工程、及び
上記現像された塗膜を加熱する工程
を備え、
上記塗膜を請求項6又は請求項8に記載の硬化性樹脂組成物により形成する表示素子用硬化膜の形成方法。
Forming a coating film on the substrate;
Irradiating at least a part of the coating film with radiation,
A step of developing the coating film irradiated with the radiation, and a step of heating the developed coating film,
The formation method of the cured film for display elements which forms the said coating film with the curable resin composition of Claim 6 or Claim 8.
請求項10に記載の表示素子用硬化膜を備える表示素子。
A display element provided with the cured film for display elements of Claim 10.
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