JP2009229197A - Linear defect detecting method and device - Google Patents

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JP2009229197A JP2008073964A JP2008073964A JP2009229197A JP 2009229197 A JP2009229197 A JP 2009229197A JP 2008073964 A JP2008073964 A JP 2008073964A JP 2008073964 A JP2008073964 A JP 2008073964A JP 2009229197 A JP2009229197 A JP 2009229197A
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Hironari Ichikawa
裕也 市川
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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a display defect evaluation method capable of accurately evaluating a linear defect of a display device. <P>SOLUTION: The linear defect detecting method includes: a taken image acquisition processing (step S1) for acquiring an taken image of a display device; an inspection area setting processing (step S2) for setting a to-be-inspected area on the taken image; a differential processing (step S3) for forming a differential image by removing a high frequency component and a linear defect component from the taken image and subtracting the differential image from the taken image; a smoothing processing (step S4) for removing the high frequency component form the differential processed image; a one-dimensional addition processing (step S5) for adding brightness data of each pixel of the smoothing processed image in the vertical direction and horizontal direction and forming profile data in each direction; a moving average processing (step S6) for performing moving average processing on each profile data; and a defect detection processing (step S7) for determining a differential value of data of each pair of neighboring pixels from the profile data after the moving average processing and detecting a linear defect by extracting a part with a large change by comparing the differential value and a threshold. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、液晶パネルなどの表示デバイス及びその応用製品であるプロジェクタなどの表示装置などにおいて、線状欠陥を検出する線状欠陥検出方法および線状欠陥検出装置に関する。   The present invention relates to a linear defect detection method and a linear defect detection apparatus for detecting a linear defect in a display device such as a liquid crystal panel and a display device such as a projector which is an application product thereof.

液晶パネルに代表される表示デバイスは、主にTFTによって駆動している。この素子のある一部分に不良が発生すると、そのX方向ないしY方向に最小画素のライン状の表示不良を起こす。これは線状欠陥と呼ばれており、画面全体をグレー階調で表示した場合に、それよりも明るいラインまたは暗いラインが現れる。   A display device typified by a liquid crystal panel is driven mainly by TFTs. If a defect occurs in a part of this element, a line-shaped display defect of the minimum pixel is caused in the X direction or the Y direction. This is called a linear defect. When the entire screen is displayed in gray gradation, brighter or darker lines appear.

このような線状欠陥を検出する方法として、撮像画像に対して平滑化処理を行ってノイズを除去し、水平および垂直方向に積算して線状欠陥を検出する方法が提案されている(特許文献1参照)。
また、線状欠陥を検出する方法として、水平および垂直検出フィルタを掛け、複数の矩形領域に分割してその領域内で積算して線状欠陥を検出する方法も提案されている(特許文献2参照)。
さらに、線状欠陥を検出する為に1次導関数波形を求め、ピーク位置をカウントして線状欠陥を検出する方法も提案されている(特許文献3参照)。
As a method for detecting such a linear defect, a method has been proposed in which a smoothing process is performed on a captured image to remove noise and integration is performed in the horizontal and vertical directions to detect the linear defect (patent). Reference 1).
Further, as a method for detecting a linear defect, a method of detecting a linear defect by applying a horizontal and vertical detection filter, dividing it into a plurality of rectangular areas, and integrating them in the area is proposed (Patent Document 2). reference).
Further, a method has been proposed in which a linear derivative waveform is obtained in order to detect a linear defect, and a linear defect is detected by counting peak positions (see Patent Document 3).

特開2003−168103号公報JP 2003-168103 A 特開2005−172559号公報JP 2005-172559 A 特開2006−201523号公報JP 2006-201523 A

しかしながら、特許文献1の検出方法では、液晶パネルなどの線状欠陥を検出する場合に、ブラックマトリクスの影響が大きく、プロファイルを作成しても振幅が大きくなってしまい閾値検出が行いにくいといった問題がある。
また、特許文献2の検出方法では、液晶パネルなどの線状欠陥を検出する場合に、欠陥以外の成分が画像上に載ってくるので、この方法を用いると線状欠陥以外を誤検出してしまうといった問題がある。
However, the detection method of Patent Document 1 has a problem that when detecting a linear defect such as a liquid crystal panel, the influence of the black matrix is large, and even if a profile is created, the amplitude becomes large and it is difficult to detect a threshold value. is there.
In addition, in the detection method of Patent Document 2, when detecting a linear defect such as a liquid crystal panel, components other than the defect appear on the image. There is a problem such as.

さらに、特許文献3の検出方法では、ブラックマトリクスなどの成分をカウントしてしまい、ノイズが増えて線状欠陥の検出を満足に行なえないといった問題がある。
以上のような問題は、液晶パネルにおいて線状欠陥を検出する場合に限らず、プラズマディスプレイや有機ELディスプレイ等のブラックマトリクスで各画素を区分けしている各種表示デバイスにおいて線状欠陥を検出する場合にも共通する問題であった。
Furthermore, the detection method of Patent Document 3 has a problem in that components such as a black matrix are counted, noise increases, and linear defects cannot be detected satisfactorily.
The above problems are not limited to detecting linear defects in a liquid crystal panel, but detecting linear defects in various display devices in which each pixel is divided by a black matrix such as a plasma display or an organic EL display. It was a common problem.

本発明の目的は、表示デバイスの線状欠陥評価を精度良く行うことができる表示欠陥評価方法および表示欠陥評価装置を提供することである。   An object of the present invention is to provide a display defect evaluation method and a display defect evaluation apparatus that can accurately evaluate a linear defect of a display device.

本発明の表示欠陥評価方法は、表示デバイスを撮像して取得した撮像画像に基づいて前記表示デバイスの線状欠陥を検出する線状欠陥検出方法であって、前記表示デバイスを撮像して撮像画像を取得する撮像画像取得処理工程と、前記撮像画像において検査対象領域を設定する検査領域設定処理工程と、前記撮像画像に対して高周波成分および線状欠陥成分を除去した差分画像を作成し、撮像画像に対して前記差分画像を差分して差分処理画像を求める差分処理工程と、前記差分処理画像に対して高周波成分を除去する平滑化処理工程と、平滑化処理された画像における各ピクセルの輝度データを縦方向および横方向にそれぞれ積算して、縦方向および横方向のプロファイルデータを作成する1次元積算処理工程と、前記各プロファイルデータに対して移動平均処理を行ってノイズ成分を除去して線状欠陥成分を強調する移動平均処理工程と、移動平均処理を行ったプロファイルデータから、隣接する各ピクセルのデータの差分値を求め、この差分値と予め設定された閾値とを比較してプロファイルデータの変化が大きい箇所を抽出して線状欠陥として検出する欠陥検出処理工程と、を有することを特徴とする。   The display defect evaluation method of the present invention is a linear defect detection method for detecting a linear defect of the display device based on a captured image acquired by capturing the display device, and images the captured image by capturing the display device. A picked-up image acquisition processing step of acquiring a picked-up image, an inspection region setting processing step of setting an inspection target region in the picked-up image, and creating a differential image by removing high-frequency components and linear defect components from the picked-up image A difference processing step for obtaining a difference processed image by subtracting the difference image from the image, a smoothing step for removing high frequency components from the difference processed image, and brightness of each pixel in the smoothed image A one-dimensional integration processing step of integrating the data in the vertical direction and the horizontal direction to create profile data in the vertical direction and the horizontal direction; From the moving average processing step that performs the moving average process to remove the noise component and emphasize the linear defect component, and the profile data subjected to the moving average process, the difference value of the data of each adjacent pixel is obtained, And a defect detection processing step of comparing the difference value with a preset threshold value to extract a portion having a large change in profile data and detecting it as a linear defect.

このような本発明では、撮像画像取得処理工程で検査対象の表示デバイスを撮像して画像を取得し、検査領域設定処理工程で撮像画像から非検査領域を除外して検査対象領域の画像のみにする。
なお、撮像画像取得処理工程では、線状欠陥を検出するために十分な分解能が得られるように、例えば、液晶パネル等の表示デバイスの1画素を、CCDカメラの6画素で撮像し、撮像画像では表示デバイスの1画素を6ピクセルで表示するように設定することが好ましい。なお、画素とピクセルは一般に同じ意味で用いられるが、本発明では、原則、検査対象の表示デバイスの画素は画素と表記し、CCDカメラなどの撮像手段の画素、つまり撮像画像の各画素はピクセルと表記する。
In the present invention, the display device to be inspected is imaged in the captured image acquisition processing step to acquire an image, and the non-inspection region is excluded from the captured image in the inspection region setting processing step so that only the image of the inspection target region is obtained. To do.
In the captured image acquisition processing step, for example, one pixel of a display device such as a liquid crystal panel is captured by six pixels of a CCD camera so as to obtain a sufficient resolution for detecting a linear defect. Then, it is preferable to set so that one pixel of the display device is displayed with 6 pixels. In general, in the present invention, a pixel of a display device to be inspected is referred to as a pixel, and a pixel of an imaging unit such as a CCD camera, that is, each pixel of a captured image is a pixel. Is written.

そして、差分処理工程においては、撮像画像と、撮像画像の差分画像との差分処理画像を求めているので、画像上にのってくる照明によるシェーディングや、レンズによる周辺減光などの低周波成分は差分処理によって除去される。例えば、所定サイズのガウシアンフィルタなどのローパスフィルタを適用すると、表示デバイスの各画素の周囲に配置されたブラックマトリクスに代表される高周波成分や線状欠陥が除去されて低周波成分のみの差分画像が作成される。従って、撮像画像から差分画像を差分すると、各画像にそれぞれ含まれる低周波成分は除去され、差分処理画像は撮像画像に含まれる線状欠陥やブラックマトリクスなどの高周波成分のみを有する画像となる。   In the difference processing step, since a difference processed image between the captured image and the difference image of the captured image is obtained, low-frequency components such as shading by illumination on the image and peripheral light reduction by the lens Are removed by differential processing. For example, when a low-pass filter such as a Gaussian filter of a predetermined size is applied, a high-frequency component typified by a black matrix arranged around each pixel of the display device and linear defects are removed, and a differential image of only the low-frequency component is obtained. Created. Therefore, when the difference image is subtracted from the captured image, the low-frequency component included in each image is removed, and the difference-processed image becomes an image having only high-frequency components such as linear defects and black matrix included in the captured image.

次に、平滑化処理工程において、この差分処理画像に対して、例えば、所定サイズのガウシアンフィルタなどのローパスフィルタを適用しているので、線状欠陥を消さずに、差分処理画像からブラックマトリクスに代表される高周波成分が除去される。
そして、1次元積算処理工程において、各ピクセルの輝度データを縦方向および横方向にそれぞれ積算すると、縦方向や横方向に沿った線状欠陥部分の輝度値が積算され、その積算値は欠陥ではない部分の積算値と大きく異なるため、線状欠陥部分を強調することができる。なお、前記縦方向および横方向とは、例えば、表示デバイスの各画素がTFT回路で駆動される場合、TFT回路のデータ線および走査線にそれぞれ沿った方向である。
さらに、本発明では、移動平均処理工程を行うことでノイズ成分を除去でき、欠陥検出処理工程において隣接する各ピクセルのデータの差分値つまり変化量を求め、閾値と比較して変化量が大きな箇所があれば線状欠陥が存在することを検出できる。
Next, in the smoothing processing step, for example, a low pass filter such as a Gaussian filter of a predetermined size is applied to the difference processed image, so that the difference processed image is converted into a black matrix without erasing the linear defect. The representative high frequency component is removed.
Then, in the one-dimensional integration processing step, when the luminance data of each pixel is integrated in the vertical direction and the horizontal direction, the luminance values of the linear defect portions along the vertical direction and the horizontal direction are integrated. Since it differs greatly from the integrated value of the non-existing portion, the linear defect portion can be emphasized. The vertical direction and the horizontal direction are directions along data lines and scanning lines of the TFT circuit, for example, when each pixel of the display device is driven by the TFT circuit.
Furthermore, in the present invention, the noise component can be removed by performing the moving average processing step, and the difference value, that is, the amount of change of the data of each adjacent pixel is obtained in the defect detection processing step, and the portion where the amount of change is larger than the threshold If there is, it can be detected that a linear defect exists.

従って、本発明によれば、特に、差分処理工程および平滑化処理工程を備えることで、照明によるシェーディングや、レンズによる周辺減光などの低周波成分と、ブラックマトリクスに代表される高周波成分の影響を除去でき、検査対象の線状欠陥を抽出できる。さらに、1次元積算処理工程によって線状欠陥を強調できるので、淡い線状欠陥であっても強調することができる。そして、移動平均処理工程および欠陥検出処理工程によって、さらにノイズを除去し、各画素データの変化量を閾値と比較することで線状欠陥部分を確実に検出することができる。このため、本発明によれば、線状欠陥の評価を精度良く行うことができる。   Therefore, according to the present invention, in particular, by including the difference processing step and the smoothing processing step, the influence of low-frequency components such as shading due to illumination and peripheral dimming by a lens, and high-frequency components represented by a black matrix. And a linear defect to be inspected can be extracted. Further, since the linear defect can be emphasized by the one-dimensional integration processing step, even a light linear defect can be emphasized. Further, by the moving average processing step and the defect detection processing step, it is possible to reliably detect the linear defect portion by further removing noise and comparing the amount of change of each pixel data with a threshold value. For this reason, according to this invention, a linear defect can be evaluated accurately.

本発明において、前記差分処理工程は、前記撮像画像を複製した画像に対し、前記撮像画像における表示デバイスの画素のサイズに比べて大きなサイズのガウシアンフィルタを適用して差分画像を作成し、前記撮像画像から前記差分画像を差分し、かつ、予め設定された設定値を加算して差分処理画像を求めることが好ましい。
ここで、前記ガウシアンフィルタのサイズとしては、例えば、表示デバイスの1画素が撮像画像の6ピクセルで表示されている場合に、縦横が31ピクセルのサイズにするなど、表示デバイスの1画素よりも大きなサイズであればよい。このガウシアンフィルタのサイズは、表示デバイスのブラックマトリクスに代表される高周波成分と線状欠陥成分とを除去できるサイズに設定すればよい。
また、前記設定値としては、前記差分処理工程において、差分結果がマイナス値になった場合にプラスの値に変換できる値であればよく、例えば、検査対象を撮像した際の撮像画像の階調値の中間値などに設定すればよい。すなわち、撮像画像の階調値が12ビット(4096階調)で表される場合、前記設定値は、そのほぼ中間値である2049等に設定すればよい。
In the present invention, the difference processing step creates a difference image by applying a Gaussian filter having a size larger than a pixel size of a display device in the captured image to an image obtained by duplicating the captured image. The difference image is preferably obtained by subtracting the difference image from the image and adding a preset setting value.
Here, the size of the Gaussian filter is larger than one pixel of the display device, for example, when one pixel of the display device is displayed with 6 pixels of the captured image, the vertical and horizontal sizes are 31 pixels. Any size is acceptable. The size of the Gaussian filter may be set to a size that can remove a high-frequency component typified by a black matrix of a display device and a linear defect component.
Further, the set value may be a value that can be converted to a positive value when the difference result becomes a negative value in the difference processing step. For example, the gradation of the captured image when the inspection target is imaged What is necessary is just to set to the intermediate value of a value. That is, when the gradation value of the captured image is represented by 12 bits (4096 gradations), the setting value may be set to 2049, which is an almost intermediate value.

このような本発明では、複製した撮像画像に大きなサイズのガウシアンフィルタを適用することで、ブラックマトリクスに代表される高周波成分と線状欠陥成分とが除去され、照明によるシェーディングや、レンズによる周辺減光などの低周波数成分のみの差分画像を得ることができる。従って、この差分画像を撮像画像から差分すれば、各画像にそれぞれ含まれる低周波数成分は削除され、前記高周波成分と線状欠陥成分を含む差分処理画像を得ることができる。
さらに、差分処理画像は、前記差分処理に設定値を加えているので、撮像画像から差分画像を引いた際、つまり撮像画像の各ピクセルのデータ(輝度値)から差分画像の各ピクセルのデータを引いた際に、マイナス値になったピクセルがあったとしても、前記差分結果の各ピクセルに設定値(例えば階調中間値)を加算することで、すべてのピクセル値をプラスの値に設定でき、その後の画像処理を容易に行うことができる。
In the present invention, by applying a large-size Gaussian filter to the replicated captured image, high-frequency components and linear defect components typified by the black matrix are removed, and shading by illumination and peripheral reduction by lenses are reduced. A difference image of only low frequency components such as light can be obtained. Therefore, if this difference image is subtracted from the captured image, the low frequency component included in each image is deleted, and a difference processed image including the high frequency component and the linear defect component can be obtained.
Further, since the difference processing image adds a setting value to the difference processing, when the difference image is subtracted from the captured image, that is, the data of each pixel of the difference image is obtained from the data (luminance value) of each pixel of the captured image. Even if there is a negative pixel when subtracting, all the pixel values can be set to a positive value by adding a setting value (for example, a gradation intermediate value) to each pixel of the difference result. The subsequent image processing can be easily performed.

本発明において、前記平滑化処理工程は、前記差分処理画像に対し、前記撮像画像における表示デバイスの画素のサイズに比べて小さなサイズのガウシアンフィルタを適用して平滑化画像を作成することが好ましい。
ここで、前記ガウシアンフィルタのサイズとしては、表示デバイスの画素のサイズに比べて小さなサイズであればよく、ブラックマトリクスに代表される高周波成分を除去でき、線状欠陥成分は除去しないサイズであればよい。例えば、表示デバイスの1画素が撮像画像の6ピクセルで表示されている場合に、その約半分の大きさとなる3×1ピクセルのサイズのフィルタを適用すればよい。
In the present invention, it is preferable that the smoothing process step creates a smoothed image by applying a Gaussian filter having a size smaller than the pixel size of the display device in the captured image to the difference processed image.
Here, the size of the Gaussian filter may be smaller than the size of the pixel of the display device, as long as it can remove a high-frequency component typified by a black matrix and does not remove a linear defect component. Good. For example, when one pixel of the display device is displayed with 6 pixels of the captured image, a filter having a size of 3 × 1 pixel, which is about half that size, may be applied.

このような本発明では、差分処理画像に対して小さいサイズのガウシアンフィルタを適用しているので、差分処理画像においてブラックマトリクスに代表される高周波成分を除去できる。   In the present invention, since a Gaussian filter having a small size is applied to the difference processed image, a high frequency component typified by a black matrix can be removed from the difference processed image.

本発明において、前記欠陥検出処理工程は、隣接する各ピクセルのデータの差分値を求め、その差分値の絶対値に対して移動平均処理を行い、その処理結果を前記閾値と比較してプロファイルデータの変化が大きい箇所を抽出して線状欠陥として検出することが好ましい。   In the present invention, the defect detection processing step obtains a difference value between data of adjacent pixels, performs a moving average process on the absolute value of the difference value, compares the processing result with the threshold value, and generates profile data. It is preferable to extract a portion having a large change in and detect it as a linear defect.

このような本発明では、隣接する各ピクセルのデータの差分値を求めることで変化量を算出できる。
また、この変化量は、プラス値およびマイナス値となることがあるため、そのまま閾値を比較する場合には、プラスおよびマイナスの閾値をそれぞれ設ける必要がある。これに対し、本発明では、差分値の絶対値を閾値と比較しているので、単一の閾値を設定すればよい。
さらに、差分値の絶対値の移動平均処理を行っているのでノイズを除去して線状欠陥部分のみが変化量が大きくなるようにでき、線状欠陥を高精度に検出できる。
In the present invention, the amount of change can be calculated by obtaining the difference value between the data of adjacent pixels.
Further, since this change amount may be a positive value and a negative value, when comparing the threshold values as they are, it is necessary to provide positive and negative threshold values, respectively. On the other hand, in the present invention, since the absolute value of the difference value is compared with the threshold value, a single threshold value may be set.
Further, since the moving average processing of the absolute value of the difference value is performed, the noise can be removed so that only the linear defect portion has a large amount of change, and the linear defect can be detected with high accuracy.

本発明において、前記検査領域設定処理工程は、撮像画像の外周部の輝度変化を検出し、輝度が変化した位置を検査領域と被検査領域の境界と判断して検査領域を設定することが好ましい。
このような本発明では、撮像画像の外周輝度変化位置を検出するだけで検査領域を設定できるので、検査領域を容易に検出できる。
In the present invention, it is preferable that the inspection region setting processing step detects a change in luminance at an outer peripheral portion of the captured image, sets the inspection region by determining a position where the luminance has changed as a boundary between the inspection region and the region to be inspected. .
In the present invention, since the inspection area can be set only by detecting the outer peripheral luminance change position of the captured image, the inspection area can be easily detected.

本発明の線状欠陥検出装置は、表示デバイスを撮像して取得した撮像画像に基づいて前記表示デバイスの線状欠陥を検出する線状欠陥検出装置であって、前記表示デバイスを撮像して撮像画像を取得する撮像画像取得手段と、前記撮像画像において検査対象領域を設定する検査領域設定手段と、前記撮像画像に対して高周波成分および線状欠陥成分を除去した差分画像を作成し、撮像画像に対して前記差分画像を差分して差分処理画像を求める差分処理手段と、前記差分処理画像に対して高周波成分を除去する平滑化処理手段と、平滑化処理された画像における各ピクセルの輝度データを縦方向および横方向にそれぞれ積算して、縦方向および横方向のプロファイルデータを作成する1次元積算処理手段と、前記各プロファイルデータに対して移動平均処理を行ってノイズ成分を除去して線状欠陥成分を強調する移動平均処理手段と、移動平均処理を行ったプロファイルデータから、隣接する各ピクセルのデータの差分値を求め、この差分値と予め設定された閾値とを比較してプロファイルデータの変化が大きい箇所を抽出して線状欠陥として検出する欠陥検出処理手段と、を有することを特徴とする。   The linear defect detection apparatus of the present invention is a linear defect detection apparatus that detects a linear defect of the display device based on a captured image acquired by imaging the display device, and images and images the display device. A captured image acquisition unit that acquires an image, an inspection region setting unit that sets an inspection target region in the captured image, and a differential image in which a high-frequency component and a linear defect component are removed from the captured image, and the captured image Difference processing means for obtaining a difference processed image by subtracting the difference image, smoothing processing means for removing high frequency components from the difference processed image, and luminance data of each pixel in the smoothed image Are integrated in the vertical and horizontal directions, respectively, and one-dimensional integration processing means for creating vertical and horizontal profile data, and for each profile data The difference value of the data of each adjacent pixel is obtained from the moving average processing means that performs the moving average process to remove the noise component and emphasize the linear defect component, and the profile data subjected to the moving average process. And defect detection processing means for extracting a portion having a large change in the profile data and detecting it as a linear defect.

本発明によれば、前記線状欠陥検出方法と同じ作用効果が得られる。また、本発明の線状欠陥検出装置においても、請求項2から5に記載の前記各発明の構成を限定してもよく、この場合も前記各発明と同様の作用効果が得られる。   According to the present invention, the same effects as the linear defect detection method can be obtained. Moreover, in the linear defect detection apparatus of this invention, you may limit the structure of each said invention of Claim 2-5, In this case, the effect similar to each said invention is acquired.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
〔表示パネルの線状欠陥検出装置の構成〕
図1に示すように、本実施形態の線状欠陥検出装置1は、検査対象となる検査用パネル2の線状欠陥を評価するものである。本実施形態の検査用パネル2は液晶パネルであるが、カットおよび組立前の部品段階の液晶パネルである。
また、検査用パネル2の線状欠陥とは、検査用パネル2において周囲の画素に比べて透過率が異なるライン状の欠陥部分である。この線状欠陥は、例えば、TFT回路で駆動される液晶パネルなどの表示デバイスにおいて、前記TFT回路の素子の一部分に不良が発生すると、そのX方向またはY方向(走査線方向またはデータ線方向)にライン状の表示不良を起こすことで発生する。従って、画面全体をグレー階調で表示した場合に、周囲の画素に比べて明るいラインまたは暗いラインが現れ、これらを線状欠陥と呼んでいる、
本実施形態の線状欠陥検出装置1は、検査用パネル2において、線状欠陥部分があればその欠陥部分を強調して検出するものである。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[Configuration of linear defect detection device for display panel]
As shown in FIG. 1, the linear defect detection apparatus 1 of this embodiment evaluates the linear defect of the inspection panel 2 to be inspected. The inspection panel 2 of the present embodiment is a liquid crystal panel, but is a liquid crystal panel at the component stage before cutting and assembly.
Further, the line defect of the inspection panel 2 is a line-shaped defect portion having a transmittance different from that of surrounding pixels in the inspection panel 2. For example, in a display device such as a liquid crystal panel driven by a TFT circuit, this linear defect is caused in the X direction or Y direction (scanning line direction or data line direction) when a defect occurs in a part of the TFT circuit element. This occurs when a line-shaped display failure occurs. Therefore, when the entire screen is displayed in gray gradation, bright lines or dark lines appear compared to surrounding pixels, and these are called linear defects.
The linear defect detection apparatus 1 according to the present embodiment emphasizes and detects a linear defect portion in the inspection panel 2 if there is a linear defect portion.

線状欠陥検出装置1は、XY方向に移動可能なXYステージ3と、XYステージ3上に載置されたバックライト4と、このバックライト4上に載置された検査用パネル2を撮像するCCDカメラ5と、検査用パネル2を駆動する駆動装置6と、CCDカメラ5及び駆動装置6に接続される処理装置7と、表示装置8とを備えて構成される。   The linear defect detection apparatus 1 images an XY stage 3 movable in the XY direction, a backlight 4 placed on the XY stage 3, and an inspection panel 2 placed on the backlight 4. The apparatus includes a CCD camera 5, a driving device 6 that drives the inspection panel 2, a processing device 7 that is connected to the CCD camera 5 and the driving device 6, and a display device 8.

XYステージ3は、XYステージ3の上面に沿った平面内において、図1に示すX方向と、このX方向に直交するY方向への移動が可能とされている。
バックライト4は、液晶パネルである検査用パネル2で検査画像を表示させるために用いられる。すなわち、検査用パネル2は、駆動装置6によって各画素の透過率が制御され、これによりバックライト4からの光の透過量がコントロールされ、検査用パネル2で表示される画像を様々な階調(明るさ)に制御できる。
The XY stage 3 can move in the X direction shown in FIG. 1 and the Y direction orthogonal to the X direction in a plane along the upper surface of the XY stage 3.
The backlight 4 is used for displaying an inspection image on the inspection panel 2 which is a liquid crystal panel. That is, in the inspection panel 2, the transmittance of each pixel is controlled by the driving device 6, and thereby the amount of light transmitted from the backlight 4 is controlled, and an image displayed on the inspection panel 2 is displayed in various gradations. (Brightness) can be controlled.

CCDカメラ5は、前記XY方向に対して直交するZ方向に移動可能なZステージ(図示略)などに支持され、CCDカメラ5のフォーカスを調整可能に構成されている。
したがって、検査用パネル2及びCCDカメラ5の位置を相対的にXYZ方向に移動させることが可能とされている。
このCCDカメラ5としては、カラーカメラを用いてもよいが、本実施形態では検査用パネル2の明るさの変化を撮影できればよいため、モノクロのCCDカメラを利用している。
駆動装置6は、処理装置7によって制御され、検査用パネル2に線状欠陥を検出するためのパターンを描画する処理を行う。
The CCD camera 5 is supported by a Z stage (not shown) that can move in the Z direction orthogonal to the XY direction, and is configured to be able to adjust the focus of the CCD camera 5.
Accordingly, the positions of the inspection panel 2 and the CCD camera 5 can be relatively moved in the XYZ directions.
As this CCD camera 5, a color camera may be used. However, in this embodiment, since a change in brightness of the inspection panel 2 is only required to be photographed, a monochrome CCD camera is used.
The driving device 6 is controlled by the processing device 7 and performs a process of drawing a pattern for detecting a linear defect on the inspection panel 2.

処理装置7は、CCDカメラ5で撮像されたデジタル画像データを取得して保存するとともに、以下に説明する線状欠陥検出処理を行う。
このため、処理装置7は、図2にも示すように、撮像画像取得手段71、検査領域設定手段72、差分処理手段73、平滑化処理手段74、1次元積算処理手段75、移動平均処理手段76、欠陥検出処理手段77、欠陥判定手段78を備えている。
The processing device 7 acquires and stores digital image data captured by the CCD camera 5 and performs a linear defect detection process described below.
Therefore, as shown in FIG. 2, the processing device 7 includes a captured image acquisition unit 71, an inspection region setting unit 72, a difference processing unit 73, a smoothing processing unit 74, a one-dimensional integration processing unit 75, and a moving average processing unit. 76, defect detection processing means 77, and defect determination means 78 are provided.

撮像画像取得手段71は、ガラス基板上に形成された液晶パネルからなる検査用パネル2をCCDカメラ5で撮像して、撮像画像を取得する処理を行う。
検査領域設定手段72は、撮像された画像からパネルの縁を検出して除外し、非検査領域を除外して検査領域を設定する処理を行う。
差分処理手段73は、差分画像を作成し、撮像画像および差分画像間で差分処理を行う。
平滑化処理手段74は、差分処理後の画像に対して平滑化を行ないブラックマトリクスの影響を抑える平滑化処理を行う。
1次元積算処理手段75は、縦および横方向のピクセルデータの積算を行ない、プロファイル情報を作成する1次元積算処理を行う。
移動平均処理手段76は、プロファイル情報内から欠陥成分のみを強調させる移動平均処理を行う。
欠陥検出処理手段77は、各ピクセル間でデータの変化が大きいところを、閾値を用いて線状欠陥を抽出する線状欠陥検出処理を行う。
欠陥判定手段78は、上記線状欠陥検出処理をガラス基板面内の全てで行なったか判定し、全て行っていれば検出結果を表示装置8に表示する欠陥判定処理を行う。
The picked-up image acquisition means 71 performs processing for acquiring a picked-up image by picking up an image of the inspection panel 2 made of a liquid crystal panel formed on a glass substrate with the CCD camera 5.
The inspection area setting means 72 performs processing for detecting and excluding the edge of the panel from the captured image, and setting the inspection area by excluding the non-inspection area.
The difference processing means 73 creates a difference image and performs difference processing between the captured image and the difference image.
The smoothing processing means 74 performs smoothing processing that smoothes the image after the difference processing and suppresses the influence of the black matrix.
The one-dimensional integration processing means 75 performs a one-dimensional integration process for integrating the pixel data in the vertical and horizontal directions and creating profile information.
The moving average processing means 76 performs moving average processing for emphasizing only defect components from the profile information.
The defect detection processing unit 77 performs a linear defect detection process for extracting a linear defect using a threshold value at a place where the data change between the pixels is large.
The defect determination means 78 determines whether or not the linear defect detection process has been performed on the entire surface of the glass substrate. If all the defect determination processes have been performed, a defect determination process for displaying the detection result on the display device 8 is performed.

〔検査用パネルの線状欠陥検出方法〕
以下、上記各手段における処理つまり「検査用パネル2の線状欠陥検出方法」の詳細を図3のフローチャートも参照して説明する。
まず、事前準備として、XYステージ3上にはバックライト4が置かれているため、その上に検査対象となるカット・組み立て前の液晶パネル(検査用パネル2)をセットする。その上方に、検査用パネル2の画像を取得するためのCCDカメラ5を設置する。
[Linear defect detection method for inspection panel]
In the following, details of the processing in each means, that is, the “linear defect detection method of the inspection panel 2” will be described with reference to the flowchart of FIG.
First, as a preliminary preparation, since the backlight 4 is placed on the XY stage 3, a liquid crystal panel (inspection panel 2) before cutting and assembling to be inspected is set thereon. Above this, a CCD camera 5 for obtaining an image of the inspection panel 2 is installed.

そして、本実施形態での線状欠陥検出方法の概略は以下の通りである。
すなわち、駆動装置6を用いて検査用パネル2に線状欠陥検出のためのパターンを描画した後、バックライト4の透過照明にて得られる検査用パネル2の画像を、レンズを通してCCDカメラ5の撮像素子に結像し、デジタル画像として処理装置7に保存する。
そして、処理装置7において、保存した画像に対して、線状欠陥を検出する処理を行なう。このとき使用するCCDカメラ5のレンズは、線状欠陥を検出するのに十分な分解能を持った物を用いるため、CCDカメラ5によって得られる画像は検査用パネル2の一部となる。検査用パネル2の全面に対して検査を行なうため、XYステージ3を動かしながら検査用パネル2の画像を取得して検出処理を行なう。検出処理終了後、その処理結果を処理装置7に付属の表示装置8に出力し、検出結果を確認する。
And the outline of the linear defect detection method in this embodiment is as follows.
That is, after drawing a pattern for detecting a linear defect on the inspection panel 2 using the driving device 6, an image of the inspection panel 2 obtained by transmission illumination of the backlight 4 is passed through the lens of the CCD camera 5. The image is formed on the image sensor and stored in the processing device 7 as a digital image.
Then, the processing device 7 performs processing for detecting a linear defect on the stored image. Since the lens of the CCD camera 5 used at this time has a sufficient resolution for detecting a linear defect, an image obtained by the CCD camera 5 becomes a part of the inspection panel 2. In order to inspect the entire surface of the inspection panel 2, an image of the inspection panel 2 is acquired while moving the XY stage 3, and detection processing is performed. After the detection processing is completed, the processing result is output to the display device 8 attached to the processing device 7, and the detection result is confirmed.

以上の線状欠陥検出方法を、図3に示すフローチャートを参照して詳細に説明する。
[1.撮像画像取得処理]
線状欠陥検出処理が開始されると、処理装置7の撮像画像取得手段71は、XYステージ3を適切な位置に移動し、かつ、駆動装置6を介して検査用パネル2の駆動を制御するとともに、CCDカメラ5を用いてXYステージ3上に置かれた検査用パネル2を撮像し、撮像画像を処理装置7のメモリに保存する撮像画像取得処理を実行する(S1)。
このときの照明の明るさとCCDカメラ5の設定値は、予め調整しておく。具体的な調整条件は、CCDカメラ5で撮像した画像面内の平均輝度レベルがほぼ中央値(輝度値を12ビットつまり4096階調で保存できる場合には例えば「2048」)に設定する。撮像された画像20の例を図4に示す。図4の画像20には、画素に沿って横方向(X方向、走査線方向)に伸びる線状欠陥21と、縦方向(Y方向、データ線方向)に伸びる線状欠陥22とが表示されている。
The above linear defect detection method will be described in detail with reference to the flowchart shown in FIG.
[1. Captured image acquisition processing]
When the linear defect detection process is started, the captured image acquisition unit 71 of the processing device 7 moves the XY stage 3 to an appropriate position and controls the driving of the inspection panel 2 via the driving device 6. At the same time, a captured image acquisition process is performed in which the inspection panel 2 placed on the XY stage 3 is imaged using the CCD camera 5 and the captured image is stored in the memory of the processing device 7 (S1).
At this time, the brightness of the illumination and the set value of the CCD camera 5 are adjusted in advance. As a specific adjustment condition, the average luminance level in the image plane imaged by the CCD camera 5 is set to approximately the median value (for example, “2048” when the luminance value can be stored in 12 bits, that is, 4096 gradations). An example of the captured image 20 is shown in FIG. In the image 20 of FIG. 4, a linear defect 21 extending in the horizontal direction (X direction, scanning line direction) along the pixel and a linear defect 22 extending in the vertical direction (Y direction, data line direction) are displayed. ing.

[2.検査領域設定処理]
上記撮像画像取得処理工程S1が終了すると、処理装置7の検査領域設定手段72は、保存した撮像画像20の中に検査対象外となる領域が含まれているか否かを判定し、検査対象外の領域が存在した場合に対象外領域を画像から削除し、検査対象領域のみの画像にする検査領域設定処理を実行する(S2)。
ここで、対象外領域は、具体的には、パネル端(カット部分)などである。このため、検査領域設定手段72は、図5の矢印で示すように、撮像画像20端部の上下左右方向の1ピクセルについてスキャンを行ない、その結果を見て判断を行なう。図5に示すように、通常、検査用パネル2の表示領域は輝度値がほぼ中央値となるように制御されているので、撮像画像20における表示領域25部分はグレー表示となる。一方、検査用パネル2の端部の領域は撮像画像20において黒い領域26となり、何もパターニングされていない領域(透明ガラス領域)は撮像画像20において白い領域27となる。よって、これらの輝度差からエッジつまり表示領域25と領域26との境界位置を探し、非検査領域の有無を確認する。
そして、検査領域設定手段72は、非検査領域が存在すると判断した場合は、対象外領域(図5では、領域26,27)を、撮像画像から削除する処理を行なう。一方、検査領域設定手段72は、非検査領域が無いと判断すれば、対象外領域を削除する処理は行わない。
[2. Inspection area setting process]
When the captured image acquisition processing step S1 is completed, the inspection region setting unit 72 of the processing device 7 determines whether or not the stored captured image 20 includes a region that is not the inspection target, and is outside the inspection target. If there is such a region, the non-target region is deleted from the image, and the inspection region setting process is performed to make the image only the inspection target region (S2).
Here, the non-target region is specifically a panel end (cut portion) or the like. Therefore, the inspection area setting means 72 scans one pixel in the vertical and horizontal directions at the end of the captured image 20 as shown by the arrows in FIG. As shown in FIG. 5, the display area of the inspection panel 2 is normally controlled so that the luminance value becomes approximately the median value, so that the display area 25 portion in the captured image 20 is displayed in gray. On the other hand, the end region of the inspection panel 2 is a black region 26 in the captured image 20, and the region where no pattern is formed (transparent glass region) is a white region 27 in the captured image 20. Therefore, the edge, that is, the boundary position between the display area 25 and the area 26 is searched from these luminance differences, and the presence or absence of the non-inspection area is confirmed.
If the inspection area setting unit 72 determines that there is a non-inspection area, the inspection area setting unit 72 performs processing to delete the non-target areas (areas 26 and 27 in FIG. 5) from the captured image. On the other hand, if the inspection area setting unit 72 determines that there is no non-inspection area, it does not perform the process of deleting the non-target area.

[3.差分処理]
検査領域設定処理工程S2が終了すると、差分処理手段73は、対象外領域が削除された画像を用いて差分画像を作成する差分処理を実行する(S3)。
すなわち、差分処理手段73は、メモリに保存されている撮像画像を複製し、その撮像画像に対して平均化処理を行なう。そして、平均化処理で得られた画像を差分画像とする。この平均化処理は、画像上に載ってくる照明によるシェーディングや、レンズによる周辺減光といった低周波成分の影響を除去する処理である。
[3. Difference processing]
When the inspection area setting process step S2 ends, the difference processing means 73 executes a difference process for creating a difference image using the image from which the non-target area is deleted (S3).
That is, the difference processing means 73 duplicates the captured image stored in the memory and performs an averaging process on the captured image. Then, an image obtained by the averaging process is set as a difference image. This averaging process is a process for removing the influence of low-frequency components such as shading due to illumination on the image and peripheral dimming by the lens.

以下、この差分処理をより具体的に説明する。
まず、差分処理手段73は、撮像画像取得処理工程S1で撮像した画像を用いて、差分画像を作成する。すなわち、差分処理手段73は、撮像画像において検査用パネル2の1画素のサイズに対して、大きいサイズのガウシアンフィルタを適用して平均化処理を行う。本実施形態では、検査用パネル2の1画素が撮像画像において約6ピクセルの大きさであるのに対し、31×31ピクセルのサイズのガウシアンフィルタを用いて平均化処理を行った。これにより、ブラックマトリクスに代表されるような高周波成分と線状欠陥成分とが除去され、低周波成分のみの画像が作成される。この画像を差分画像とする。
Hereinafter, this difference process will be described more specifically.
First, the difference processing means 73 creates a difference image using the image captured in the captured image acquisition processing step S1. That is, the difference processing means 73 performs an averaging process by applying a Gaussian filter having a larger size to the size of one pixel of the inspection panel 2 in the captured image. In the present embodiment, one pixel of the inspection panel 2 has a size of about 6 pixels in the captured image, whereas the averaging process is performed using a Gaussian filter having a size of 31 × 31 pixels. Thereby, a high frequency component and a linear defect component as represented by a black matrix are removed, and an image of only a low frequency component is created. Let this image be a difference image.

次に、差分処理手段73は、撮像画像取得処理工程S1で撮像した「撮像画像」と、上記で作成した「差分画像」で差分処理を行う。これにより得られた画像を「差分処理画像」とすると、この差分処理は下記の式1に表すことができる。
差分処理画像=撮像画像−差分画像+中間値……式1
ここで、中間値とは、撮像画像の階調が12ビット(4096階調)であれば、そのほぼ中間の「2049」に設定している。
式1で中間値を加算しているのは、撮像画像の各画素の輝度値から差分画像の各画素の輝度値を引いた際にマイナス値になったとしても、前記中間値を加算することでプラスの値にすることができるためである。これにより、前記処理画像の各画素の輝度値は、中間階調(グレー)を基準とした値となり、各輝度のばらつきも確認しやすくなる。
Next, the difference processing means 73 performs difference processing between the “captured image” captured in the captured image acquisition processing step S1 and the “difference image” created above. Assuming that the image thus obtained is a “difference processed image”, this difference processing can be expressed by the following Equation 1.
Difference processed image = captured image−difference image + intermediate value …… Equation 1
Here, the intermediate value is set to “2049” which is almost in the middle when the gradation of the captured image is 12 bits (4096 gradation).
The intermediate value is added in equation 1 because the intermediate value is added even if the luminance value of each pixel of the difference image is subtracted from the luminance value of each pixel of the captured image. This is because a positive value can be obtained. As a result, the luminance value of each pixel of the processed image becomes a value with reference to the intermediate gradation (gray), and it is easy to confirm the variation of each luminance.

[4.平滑化処理]
差分処理工程S3が終了すると、平滑化処理手段74は、差分処理工程S3にて作成された前記差分処理画像に対して高周波成分を除去する平滑化処理を実行する(S4)。
具体的には、平滑化処理手段74は、差分処理画像に対してガウシアンフィルタを適用する。このフィルタサイズは、撮像画像における検査用パネル2の1画素のサイズよりも大きいサイズに設定し、例えば、画素サイズのおよそ2倍程度の大きさとする。このガウシアンフィルタの適用により、ブラックマトリクスに代表される高周波成分の影響を抑えることができる。
さらに、縦方向(Y方向)の平均化処理を行い、高周波成分の影響をさらに減少する。この平均化処理を行うことにより、次の1次元積算処理時の振幅振れを抑えることができる。なお、平均化処理を行うフィルタのサイズは、液晶1画素の半分程度のサイズにすればよい。例えば、本実施形態では、前述の通り、検査用パネル2の1画素が撮像画像上で6ピクセル程度なので、平滑化処理手段74は、サイズが3×1ピクセルのフィルタを適用して縦方向の平均化処理を行っている。
このような平滑化処理工程S4により、線状欠陥を消さずに高周波成分のみを除去し、さらに線状欠陥輝度の積算方向の安定性を増すことができる。
[4. Smoothing process]
When the difference processing step S3 ends, the smoothing processing means 74 executes a smoothing process for removing high-frequency components on the difference processing image created in the difference processing step S3 (S4).
Specifically, the smoothing processing unit 74 applies a Gaussian filter to the difference processed image. This filter size is set to a size larger than the size of one pixel of the inspection panel 2 in the captured image, and is, for example, about twice as large as the pixel size. By applying this Gaussian filter, it is possible to suppress the influence of high-frequency components typified by a black matrix.
Further, the averaging process in the vertical direction (Y direction) is performed to further reduce the influence of high frequency components. By performing this averaging process, it is possible to suppress amplitude fluctuation during the next one-dimensional integration process. The size of the filter that performs the averaging process may be about half that of one pixel of the liquid crystal. For example, in the present embodiment, as described above, since one pixel of the inspection panel 2 is about 6 pixels on the captured image, the smoothing processing unit 74 applies a filter having a size of 3 × 1 pixel in the vertical direction. An averaging process is performed.
By such a smoothing process step S4, it is possible to remove only high-frequency components without erasing the linear defects, and to further increase the stability of the linear defect luminance in the integrating direction.

[5.1次元積算処理]
平滑化処理工程S4が終了すると、1次元積算処理手段75は、図6に示すように、平滑化処理が行なわれた処理画像20Aに対して、縦方向(Y方向)に1ピクセルずつ積算し、その結果を1次元配列に格納する1次元積算処理を実行する(S5)。
また、図示を略すが、1次元積算処理手段75は、横方向(X方向)にも1ピクセルずつ積算して、その結果を1次元配列に格納する1次元積算処理も実行する(S5)。
[5.1-dimensional integration processing]
When the smoothing processing step S4 is completed, the one-dimensional integration processing means 75 integrates the processed image 20A subjected to the smoothing processing pixel by pixel in the vertical direction (Y direction) as shown in FIG. Then, a one-dimensional integration process for storing the result in a one-dimensional array is executed (S5).
Although not shown, the one-dimensional integration processing means 75 also executes a one-dimensional integration process that integrates one pixel at a time in the horizontal direction (X direction) and stores the result in a one-dimensional array (S5).

[6.移動平均処理]
1次元積算処理工程S5が終了すると、移動平均処理手段76は、1次元積算処理結果の各プロファイル情報(縦方向のプロファイル情報と横方向のプロファイル情報)に対して処理を行ない、欠陥を抽出しやすいように移動平均処理を行う(S6)。
具体的には、移動平均処理手段76は、移動平均を行ないノイズ成分の除去を行なう。本実施形態では、着目ピクセルと、この着目ピクセルの前後それぞれ2ピクセルの計5つのピクセルの平均値を求めて前記着目ピクセルの処理値とし、着目ピクセルを1ピクセル毎移動しながら平均値を求める処理を行っている。すなわち、まず、ピクセル位置「1〜5」の5つのピクセルのデータ値の平均を求め、着目ピクセルであるピクセル位置「3」の処理値とし、次にピクセル位置「2〜6」の5つのピクセルのデータ値の平均を求めて着目ピクセルであるピクセル位置「4」の処理値とする。移動平均処理手段76は、このような移動平均処理を、着目ピクセルを順次移動させながら行い、その結果をメモリに記憶している。
[6. Moving average processing]
When the one-dimensional integration processing step S5 is completed, the moving average processing means 76 performs processing on each profile information (vertical profile information and horizontal profile information) as a result of the one-dimensional integration processing, and extracts defects. A moving average process is performed so that it is easy (S6).
Specifically, the moving average processing means 76 performs moving average to remove noise components. In the present embodiment, an average value of a total of five pixels, that is, a pixel of interest and two pixels before and after the pixel of interest, is obtained as the processing value of the pixel of interest, and the average value is obtained while moving the pixel of interest for each pixel. It is carried out. That is, first, an average of the data values of the five pixels at the pixel positions “1 to 5” is obtained to obtain a processing value for the pixel position “3” as the pixel of interest, and then the five pixels at the pixel positions “2 to 6”. Is the processing value of the pixel position “4” that is the pixel of interest. The moving average processing means 76 performs such moving average processing while sequentially moving the pixel of interest, and stores the result in the memory.

図7には、この移動平均処理前つまり1次元積算処理工程S5を行った結果のプロファイル情報を示す。また、図8には、移動平均処理工程S6を行った処理後のプロファイル情報を示す。これらの図7,8に示すように、移動平均処理工程S6を行うことで、細かいノイズ成分が除去される。
なお、移動平均処理手段76は、この移動平均処理工程S6を、縦方向のプロファイル情報と、横方向のプロファイル情報とに対してそれぞれ実行する。
FIG. 7 shows profile information as a result of performing the moving average process, that is, the one-dimensional integration process step S5. Further, FIG. 8 shows profile information after the processing in which the moving average processing step S6 is performed. As shown in FIGS. 7 and 8, a fine noise component is removed by performing the moving average processing step S6.
The moving average processing means 76 performs this moving average processing step S6 on the profile information in the vertical direction and the profile information in the horizontal direction, respectively.

[7.欠陥抽出処理]
移動平均処理工程S6が終了すると、欠陥検出処理手段77は、移動平均処理工程S6で平滑化されたプロファイル情報に対して、隣り合っているピクセル位置からの変化量を調べて欠陥を抽出する欠陥抽出処理を行う(S7)。
なお、前記変化量は、通常0を中心に増減する。このため、変化量を閾値と比較して変化量が大きいものを抽出する場合、通常は、プラス側の閾値の他にマイナス側の閾値も設けなければならない。
一方、本実施形態では、単一の閾値を用いて欠陥判定を行うため、欠陥検出処理手段77は、変化量の絶対値を求めている。次に、欠陥検出処理手段77は、この絶対値の変化量に対して移動平均を求め、移動平均が所定の閾値以上であれば欠陥、閾値未満であれば欠陥ではないと判断する。
図9は、欠陥検出処理工程S7におけるプロファイル情報と閾値を示している。閾値は約0.3に設定されている。
なお、欠陥検出処理手段77は、この欠陥検出処理工程S7も、縦方向の1次元積算処理結果に移動平均処理を行った縦方向のプロファイル情報と、横方向の1次元積算処理結果に移動平均処理を行った横方向のプロファイル情報とに対してそれぞれ実行し、縦方向に沿った線状欠陥と、横方向に沿った線状欠陥とを検出する。
[7. Defect extraction process]
When the moving average processing step S6 ends, the defect detection processing unit 77 extracts a defect by examining the amount of change from the adjacent pixel position with respect to the profile information smoothed in the moving average processing step S6. Extraction processing is performed (S7).
The amount of change usually increases or decreases around zero. For this reason, when a change having a large change amount is extracted by comparing the change amount with a threshold value, it is usually necessary to provide a minus threshold value in addition to the plus threshold value.
On the other hand, in this embodiment, since defect determination is performed using a single threshold, the defect detection processing unit 77 obtains the absolute value of the amount of change. Next, the defect detection processing unit 77 obtains a moving average with respect to the change amount of the absolute value, and determines that the defect is not a defect if the moving average is equal to or greater than a predetermined threshold, and is not a defect if the moving average is less than the threshold.
FIG. 9 shows profile information and threshold values in the defect detection processing step S7. The threshold is set to about 0.3.
The defect detection processing means 77 also uses the vertical profile information obtained by performing the moving average processing on the vertical one-dimensional integration processing result and the moving average on the horizontal one-dimensional integration processing result in the defect detection processing step S7. The processing is executed for each of the processed profile information in the horizontal direction, and a linear defect along the vertical direction and a linear defect along the horizontal direction are detected.

[8.全画面終了判定処理]
欠陥検出処理工程S7が終了すると、処理装置7の欠陥判定手段78は、検査用パネル2の全画面に対して処理を行ったかを判定する(S8)。すなわち、前述したように、撮像画像取得処理工程S1でCCDカメラ5によって得られる画像は検査用パネル2の一部となるため、検査用パネル2の全面を撮像してS1〜S7の処理を行うには、複数回の処理が必要となる。このため、処理装置7は、S8で全画面処理完了していないと判定された場合には、撮像画像取得処理工程S1に戻って処理を続行する。この場合、撮像画像取得手段71は、XYステージ3を移動して、検査用パネル2においてまだ撮影されていない箇所をCCDカメラ5で撮像して処理を継続する。
[8. Full-screen end determination process]
When the defect detection processing step S7 is completed, the defect determination means 78 of the processing device 7 determines whether the entire screen of the inspection panel 2 has been processed (S8). That is, as described above, since the image obtained by the CCD camera 5 in the captured image acquisition processing step S1 is a part of the inspection panel 2, the entire surface of the inspection panel 2 is imaged and the processes of S1 to S7 are performed. Requires a plurality of processes. Therefore, if it is determined in S8 that the full screen processing is not completed, the processing device 7 returns to the captured image acquisition processing step S1 and continues the processing. In this case, the captured image acquisition means 71 moves the XY stage 3 and images a portion that has not yet been captured on the inspection panel 2 with the CCD camera 5 and continues the processing.

[9.総合判定処理]
全画面終了判定処理工程S8において、検査用パネル2の全画面に対して、S1〜S7の処理が終了していると判定された場合、欠陥判定手段78は、検査用パネル2を撮像した各画像に対する欠陥検出処理工程S7の処理結果に基づいて、図10に示すような処理結果画像30を表示装置8に表示して総合判定処理を行う(S9)。
図10の処理結果画像30において、最外周は検査用パネル2のガラス基板の外周を示す。そして、その中の升目一つ一つがCCDカメラ5で撮像される1画面となる。また、処理結果画像30内のグレー表示されている領域31は、液晶が設けられた液晶面に対応する。このように、ひとつのガラス基板上に複数の液晶面を共取りするように設置されており、欠陥判定手段78は各液晶面内で欠陥が有るか否かを判定するために結果を合成し、表示装置8に表示する。このため、検査員は表示装置8に表示される処理結果画像30を確認すれば、どの液晶面に欠陥が生じているのかを容易に把握できる。
なお、図10には縦方向の線状欠陥のみを表示しているが、横方向の線状欠陥も検出された場合には、図10の領域31内に横方向の線状欠陥も合わせて表示すればよい。
[9. Comprehensive judgment processing]
In the full screen end determination processing step S <b> 8, when it is determined that the processes of S <b> 1 to S <b> 7 have been completed for the entire screen of the inspection panel 2, the defect determination unit 78 captures each of the inspection panels 2. Based on the processing result of the defect detection processing step S7 for the image, a processing result image 30 as shown in FIG. 10 is displayed on the display device 8 to perform a comprehensive determination process (S9).
In the processing result image 30 of FIG. 10, the outermost periphery indicates the outer periphery of the glass substrate of the inspection panel 2. Each of the cells is one screen imaged by the CCD camera 5. A region 31 displayed in gray in the processing result image 30 corresponds to the liquid crystal surface on which the liquid crystal is provided. In this way, the liquid crystal surfaces are installed on a single glass substrate so that the plurality of liquid crystal surfaces are taken together, and the defect determination means 78 combines the results in order to determine whether or not there is a defect in each liquid crystal surface. Is displayed on the display device 8. Therefore, if the inspector confirms the processing result image 30 displayed on the display device 8, it can easily grasp which liquid crystal surface has a defect.
Note that FIG. 10 shows only vertical line defects. However, when a horizontal line defect is also detected, the horizontal line defect is also included in the region 31 of FIG. Show it.

上述した本実施形態によれば、次のような効果を奏することができる。
(1)差分処理手段73および平滑化処理手段74によって、差分処理工程S3および平滑化処理工程S4を行っているので、照明によるシェーディングや、レンズによる周辺減光などの低周波成分と、ブラックマトリクスに代表される高周波成分の影響を抑えることができる。このため、実際の線状欠陥部分の情報を消すことなく、ノイズ情報のみを除去することができ、線状欠陥を高精度に検出することができる。
According to the above-described embodiment, the following effects can be achieved.
(1) Since the difference processing unit 73 and the smoothing processing unit 74 perform the difference processing step S3 and the smoothing processing step S4, low-frequency components such as shading by illumination and peripheral light reduction by a lens, and a black matrix The influence of the high frequency component represented by can be suppressed. For this reason, it is possible to remove only the noise information without erasing the information of the actual linear defect portion, and it is possible to detect the linear defect with high accuracy.

(2)また、1次元積算処理手段75による1次元積算処理工程S5を行っているので、淡い線状欠陥つまり周囲に対する輝度差が小さい線状欠陥であっても、欠陥部分のピクセルの輝度値を積算することで正常な部分の積算値との差を大きくできて線状欠陥を強調することができる。このため、淡い線状欠陥であっても精度良くかつ自動的に検出することができる。 (2) Since the one-dimensional integration processing step S5 is performed by the one-dimensional integration processing means 75, even if it is a light linear defect, that is, a linear defect with a small luminance difference with respect to the surroundings, the luminance value of the pixel in the defective portion Can be increased, and the difference from the integrated value of the normal portion can be increased to enhance the linear defect. For this reason, even a light linear defect can be detected accurately and automatically.

(3)移動平均処理手段76による移動平均処理工程S6を行っているので、1次元積算処理工程S5の積算結果に含まれるノイズ成分を除去することができ、ノイズの影響で線状欠陥を誤検出してしまうことを防止できて高精度に検出できる。 (3) Since the moving average processing step S6 by the moving average processing means 76 is performed, the noise component included in the integration result of the one-dimensional integration processing step S5 can be removed, and a linear defect is erroneously affected by the noise. Detection can be prevented and detection can be performed with high accuracy.

(4)欠陥検出処理手段77による欠陥検出処理工程S7においては、隣り合っているピクセルの変化量を求めているので、輝度値の変化が大きい部分つまり線状欠陥部分を強調できて高精度に検出できる。
また、欠陥検出処理手段77は、前記変化量を絶対値としてから閾値と比較しているので、単一の閾値を設定するだけでよく、正負両方の閾値を設定して比較する必要がないため、線状欠陥部分を容易に検出することができる。
(4) In the defect detection processing step S7 by the defect detection processing means 77, since the amount of change between adjacent pixels is obtained, it is possible to emphasize a portion with a large change in luminance value, that is, a linear defect portion with high accuracy. It can be detected.
In addition, since the defect detection processing unit 77 compares the change amount with the threshold value after making it an absolute value, it is only necessary to set a single threshold value, and it is not necessary to set both positive and negative threshold values for comparison. The linear defect portion can be easily detected.

(5)欠陥判定手段78は、図10に示すように、検査用パネル2の平面状態で線状欠陥部分を示しているので、検査員は線状欠陥の発生状態を容易に把握できる。 (5) As shown in FIG. 10, since the defect determination means 78 shows the linear defect portion in the planar state of the inspection panel 2, the inspector can easily grasp the occurrence state of the linear defect.

〔変形例〕
なお、本発明を実施するための最良の構成などは、以上の記載で開示されているが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、前記実施形態は、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
[Modification]
Although the best configuration for carrying out the present invention has been disclosed in the above description, the present invention is not limited to this. That is, since the embodiment does not limit the present invention, description of the names of members excluding some or all of the limitations on the shape, material, etc. is included in the present invention. is there.

例えば、差分処理工程S3や平滑化処理工程S4ではローパスフィルタとしてガウシアンフィルタを適用していたが、同様の機能が得られるものであれば他のローパスフィルタを用いてもよい。
また、本発明の線状欠陥検出装置1は、液晶パネルの表示検査に限らず、各種の表示デバイスの線状欠陥検査に広く利用できる。
例えば、前記実施形態では、透過型の液晶パネルを検査していたが、LCOS(Liquid Crystal on Silicon)等の反射型のパネルを検査してもよい。
さらに、本発明で検査対象としては、プラズマディスプレイ、有機ELディスプレイ、DMD(ダイレクト・ミラー・デバイス)などの各種表示パネルの検査にも利用できる。特に、本発明は、ブラックマトリクスのような高周波成分が撮像画素に含まれている検査対象において、その高周波成分の影響を除去して線状欠陥を検出する場合に広く利用することができる。
For example, although the Gaussian filter is applied as the low-pass filter in the difference processing step S3 and the smoothing processing step S4, other low-pass filters may be used as long as the same function can be obtained.
Moreover, the linear defect detection apparatus 1 of this invention can be widely utilized not only for the display inspection of a liquid crystal panel but for the linear defect inspection of various display devices.
For example, in the embodiment, a transmissive liquid crystal panel is inspected, but a reflective panel such as LCOS (Liquid Crystal on Silicon) may be inspected.
Further, the present invention can be used for inspection of various display panels such as a plasma display, an organic EL display, and a DMD (direct mirror device) as an inspection object in the present invention. In particular, the present invention can be widely used when detecting a linear defect by removing the influence of a high-frequency component such as a black matrix in an inspection object in which an imaging pixel is included.

本発明の実施形態に係る線状欠陥検出装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the linear defect detection apparatus which concerns on embodiment of this invention. 前記実施形態の処理装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the processing apparatus of the said embodiment. 前記実施形態の線状欠陥検出方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the linear defect detection method of the said embodiment. 線状欠陥を含む撮像画像を示す図である。It is a figure which shows the captured image containing a linear defect. パネル端部を含む撮像画像を示す図である。It is a figure which shows the captured image containing a panel edge part. 1次元積算処理を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining a one-dimensional integration process. 1次元積算処理結果を示すプロファイル情報を示すグラフである。It is a graph which shows the profile information which shows a one-dimensional integration process result. 移動平均処理結果を示すプロファイル情報を示すグラフである。It is a graph which shows the profile information which shows a moving average process result. 欠陥検出処理を示すプロファイル情報を示すグラフである。It is a graph which shows the profile information which shows a defect detection process. 総合判定処理の処理結果画像を示す図である。It is a figure which shows the process result image of a comprehensive determination process.

符号の説明Explanation of symbols

1…線状欠陥検出装置、2…検査用パネル、3…XYステージ、4…バックライト、5…CCDカメラ、6…駆動装置、7…処理装置、8…表示装置、71…撮像画像取得手段、72…検査領域設定手段、73…差分処理手段、74…平滑化処理手段、75…1次元積算処理手段、76…移動平均処理手段、77…欠陥検出処理手段、78…欠陥判定手段。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Linear defect detection apparatus, 2 ... Inspection panel, 3 ... XY stage, 4 ... Back light, 5 ... CCD camera, 6 ... Drive apparatus, 7 ... Processing apparatus, 8 ... Display apparatus, 71 ... Captured image acquisition means 72 ... inspection area setting means, 73 ... difference processing means, 74 ... smoothing processing means, 75 ... one-dimensional integration processing means, 76 ... moving average processing means, 77 ... defect detection processing means, 78 ... defect determination means.

Claims (6)

表示デバイスを撮像して取得した撮像画像に基づいて前記表示デバイスの線状欠陥を検出する線状欠陥検出方法であって、
前記表示デバイスを撮像して撮像画像を取得する撮像画像取得処理工程と、
前記撮像画像において検査対象領域を設定する検査領域設定処理工程と、
前記撮像画像に対して高周波成分および線状欠陥成分を除去した差分画像を作成し、撮像画像に対して前記差分画像を差分して差分処理画像を求める差分処理工程と、
前記差分処理画像に対して高周波成分を除去する平滑化処理工程と、
平滑化処理された画像における各ピクセルの輝度データを縦方向および横方向にそれぞれ積算して、縦方向および横方向のプロファイルデータを作成する1次元積算処理工程と、
前記各プロファイルデータに対して移動平均処理を行ってノイズ成分を除去して線状欠陥成分を強調する移動平均処理工程と、
移動平均処理を行ったプロファイルデータから、隣接する各ピクセルのデータの差分値を求め、この差分値と予め設定された閾値とを比較してプロファイルデータの変化が大きい箇所を抽出して線状欠陥として検出する欠陥検出処理工程と、
を有することを特徴とする線状欠陥検出方法。
A linear defect detection method for detecting a linear defect of the display device based on a captured image acquired by imaging a display device,
A captured image acquisition process for capturing the captured image by imaging the display device;
An inspection area setting process for setting an inspection object area in the captured image;
A difference processing step of creating a difference image from which the high-frequency component and the linear defect component have been removed from the captured image, and obtaining a difference processed image by subtracting the difference image from the captured image;
A smoothing process for removing high frequency components from the difference processed image;
A one-dimensional integration process step of integrating the luminance data of each pixel in the smoothed image in the vertical direction and the horizontal direction to create profile data in the vertical direction and the horizontal direction;
A moving average processing step of performing a moving average process on each profile data to remove a noise component and emphasize a linear defect component;
A linear defect is obtained by obtaining a difference value between adjacent pixel data from profile data that has been subjected to moving average processing, comparing this difference value with a preset threshold value, and extracting a portion where the change in profile data is large. Defect detection processing step to detect as,
A linear defect detection method characterized by comprising:
請求項1に記載の線状欠陥検出方法において、
前記差分処理工程は、前記撮像画像を複製した画像に対し、前記撮像画像における表示デバイスの画素のサイズに比べて大きなサイズのガウシアンフィルタを適用して差分画像を作成し、前記撮像画像から前記差分画像を差分し、かつ、予め設定された設定値を加算して差分処理画像を求めることを特徴とする線状欠陥検出方法。
The linear defect detection method according to claim 1,
The difference processing step creates a difference image by applying a Gaussian filter having a size larger than the size of a pixel of the display device in the captured image to an image obtained by duplicating the captured image, and generates the difference from the captured image. A linear defect detection method characterized in that a difference processed image is obtained by subtracting images and adding a preset setting value.
請求項1または請求項2に記載の線状欠陥検出方法において、
前記平滑化処理工程は、前記差分処理画像に対し、前記撮像画像における表示デバイスの画素のサイズに比べて小さなサイズのガウシアンフィルタを適用して平滑化画像を作成することを特徴とする線状欠陥検出方法。
In the linear defect detection method according to claim 1 or 2,
The smoothing processing step creates a smoothed image by applying a Gaussian filter having a size smaller than the pixel size of the display device in the captured image to the difference processed image. Detection method.
請求項1から請求項3のいずれかに記載の線状欠陥検出方法において、
前記欠陥検出処理工程は、隣接する各ピクセルのデータの差分値を求め、その差分値の絶対値に対して移動平均処理を行い、その処理結果を前記閾値と比較してプロファイルデータの変化が大きい箇所を抽出して線状欠陥として検出することを特徴とする線状欠陥検出方法。
In the linear defect detection method according to any one of claims 1 to 3,
In the defect detection processing step, a difference value between data of adjacent pixels is obtained, a moving average process is performed on the absolute value of the difference value, and the change in profile data is large by comparing the processing result with the threshold value. A linear defect detection method, characterized in that a portion is extracted and detected as a linear defect.
請求項1から請求項4のいずれかに記載の線状欠陥検出方法において、
前記検査領域設定処理工程は、撮像画像の外周部の輝度変化を検出し、輝度が変化した位置を検査領域と被検査領域の境界と判断して検査領域を設定することを特徴とする線状欠陥検出方法。
In the linear defect detection method according to any one of claims 1 to 4,
The inspection area setting processing step detects a change in luminance at the outer periphery of the captured image, determines the position where the luminance has changed as a boundary between the inspection area and the inspection area, and sets the inspection area. Defect detection method.
表示デバイスを撮像して取得した撮像画像に基づいて前記表示デバイスの線状欠陥を検出する線状欠陥検出装置であって、
前記表示デバイスを撮像して撮像画像を取得する撮像画像取得手段と、
前記撮像画像において検査対象領域を設定する検査領域設定手段と、
前記撮像画像に対して高周波成分および線状欠陥成分を除去した差分画像を作成し、撮像画像に対して前記差分画像を差分して差分処理画像を求める差分処理手段と、
前記差分処理画像に対して高周波成分を除去する平滑化処理手段と、
平滑化処理された画像における各ピクセルの輝度データを縦方向および横方向にそれぞれ積算して、縦方向および横方向のプロファイルデータを作成する1次元積算処理手段と、
前記各プロファイルデータに対して移動平均処理を行ってノイズ成分を除去して線状欠陥成分を強調する移動平均処理手段と、
移動平均処理を行ったプロファイルデータから、隣接する各ピクセルのデータの差分値を求め、この差分値と予め設定された閾値とを比較してプロファイルデータの変化が大きい箇所を抽出して線状欠陥として検出する欠陥検出処理手段と、
を有することを特徴とする線状欠陥検出装置。
A linear defect detection apparatus for detecting a linear defect of the display device based on a captured image acquired by imaging a display device,
Captured image acquisition means for capturing the captured image by capturing the display device;
Inspection area setting means for setting an inspection object area in the captured image;
A difference processing unit that creates a difference image from which the high-frequency component and the linear defect component have been removed from the captured image, and calculates a difference processed image by subtracting the difference image from the captured image;
Smoothing processing means for removing high frequency components from the difference processed image;
One-dimensional integration processing means for integrating the luminance data of each pixel in the smoothed image in the vertical direction and the horizontal direction to create profile data in the vertical direction and the horizontal direction;
Moving average processing means for performing a moving average process on each profile data to remove a noise component and emphasize a linear defect component;
A linear defect is obtained by obtaining a difference value between adjacent pixel data from profile data that has been subjected to moving average processing, comparing this difference value with a preset threshold value, and extracting a portion where the change in profile data is large. Defect detection processing means for detecting as,
A linear defect detection apparatus comprising:
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