JP2007285745A - Angular velocity sensor - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、特に、航空機、自動車、ロボット、船舶、車両等の移動体の姿勢制御やナビゲーション等に利用でき、かつ故障診断機能を有する角速度センサに関するものである。 The present invention particularly relates to an angular velocity sensor that can be used for attitude control and navigation of a moving body such as an aircraft, an automobile, a robot, a ship, and a vehicle and that has a failure diagnosis function.
従来、この種の角速度センサは、図6および図7に示されるような構成をしていた。 Conventionally, this type of angular velocity sensor has a configuration as shown in FIGS.
以下、従来の角速度センサについて、図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, a conventional angular velocity sensor will be described with reference to the drawings.
図6は従来の角速度センサの回路ブロック図、図7は同角速度センサにおける駆動回路およびその故障検出回路のブロック図である。 FIG. 6 is a circuit block diagram of a conventional angular velocity sensor, and FIG. 7 is a block diagram of a drive circuit and its failure detection circuit in the angular velocity sensor.
図6、図7において、1はH型の音叉からなる水晶製の振動子で、この振動子1は一対の駆動部2と、この一対の駆動部2の反対側に配設された一対の検知部3とにより構成されており、この検知部3に角速度検出用電極(図示せず)を設けている。
In FIGS. 6 and 7,
また前記振動子1の駆動部2の一方には駆動用電極4を設けるとともに、駆動部2の他方には駆動検出用電極5を設けている。6は駆動回路で、この駆動回路6は前記振動子1における駆動用電極4および駆動検出用電極5と電気的に接続されており、振動子1を一定の振幅になるように制御している。また、駆動回路6にはEEPROM6aを設けており、このEEPROM6aに保存したデータにより、駆動信号を補正している。7は故障診断回路で、この故障診断回路7は、ウインドウコンパレータ8と、このウインドウコンパレータ8の出力信号をモニタするBIT論理9とにより構成されている。10は検出回路で、この検出回路10は振動子1における検知部3から出力される電荷を増幅して、電圧に変換し、出力信号として入出力端子11から外部に出力している。
A driving electrode 4 is provided on one side of the driving unit 2 of the
以上のように構成された従来の角速度センサについて、次にその動作を説明する。 Next, the operation of the conventional angular velocity sensor configured as described above will be described.
振動子1の駆動用電極4に交流電圧を加えると前記振動子1が共振し、前記振動子1の駆動検出用電極5に、振動子1の振動振幅に応じた電荷が発生する。そして、この電荷を駆動回路6により増幅、調整した後、駆動用電極4に入力することにより、振動子1が一定の振幅で振動するように制御している。また、振動子1のバラツキにより、振幅が所定の値と外れている場合には、駆動回路6におけるEEPROM6aのデータを書き換えることにより、振幅を微調整している。
When an AC voltage is applied to the drive electrode 4 of the
そしてまた、前記振動子1に角速度ωが加わると、一対の検知部3に設けた角速度検出用電極(図示せず)に電荷が発生する。そしてこの角速度検出用電極(図示せず)に発生する電荷を検出回路10により、出力電圧に変換して、前記入出力端子11より角速度の信号として、相手側のコンピュータ(図示せず)等に入力し、角速度を検出するものである。
When the angular velocity ω is applied to the
さらに、前記振動子1が破損して故障する場合には、振動子1における駆動用検出電極5から発生する電荷が減少し、駆動回路6の出力信号がモニタしている故障診断回路7におけるウインドウコンパレータ8の基準電圧より、低下する。そうすると、BIT論理9から図8に示す無効データが出力された後、入出力端子11からの角速度としての出力信号が停止し、故障信号が出力されるものであった。
Further, when the
ここで、図9に示すように、デジタル処理技術の進歩に伴い、相手側のコンピュータをマスタコンピュータ12として設定するとともに、このマスタコンピュータ12により制御されるスレブ側として、第1の角速度センサ13、第2の角速度センサ14、加速度センサ15および回転数センサ16を制御する場合を考える。このような場合には、マスタコンピュータ12にチップセレクト端子17を設けるとともに、第1の角速度センサ13、第2の角速度センサ14、加速度センサ15および回転数センサ16の全てにチップセレクト端子18を設ける。
Here, as shown in FIG. 9, as the digital processing technology advances, the counterpart computer is set as the
また、マスタコンピュータ12に出力端子19を設けるとともに、この出力端子19に対応する入力端子20を、第1の角速度センサ13、第2の角速度センサ14、加速度センサ15および回転数センサ16の全てに設ける。また、第1の角速度センサ13、第2の角速度センサ14、加速度センサ15および回転数センサ16の全てに出力端子21を設けるとともに、この出力端子21に対応する入力端子22をマスタコンピュータ12に設ける。ここで、例えば、第1の角速度センサ13を動作させる場合を考えると、マスタコンピュータ12におけるチップセレクト端子17から、第1の角速度センサ13におけるチップセレクト端子18に信号を出力する。そして、マスタコンピュータ12における出力端子19から第1の角速度センサ13における入力端子20に8bit信号からなるコマンド信号を発信し、そのコマンド信号に対応する8bitのデータを第1の角速度センサ13における出力端子21からマスタコンピュータ12における入力端子22に出力する。そして、上記のコマンド信号としては、第1の角速度センサ13からの角速度情報の出力、第1の角速度センサ13における駆動回路6のEEPROM6aへのデータの書き込み、EEPROM6aからのデータの読み出し、BIT論理9からの故障情報の読み出しが挙げられる。同様に、マスタコンピュータ12におけるチップセレクト端子17により、第2の角速度センサ14、加速度センサ15および回転数センサ16のチップセレクト端子18を選択することにより、マスタコンピュータ12における出力端子19および入力端子22を共用して使用することができるから、マスタコンピュータ12における端子数を大幅に削減できるものであった。
The
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
上記従来の構成においては、マスタコンピュータ12が第1の角速度センサ13または第2の角速度センサ14から角速度情報を得るためには、マスタコンピュータ12における出力端子19から角速度情報を出力するコマンドを出力する必要があり、一方、マスタコンピュータ12が第1の角速度センサ13および第2の角速度センサ14から故障情報を得るためには、マスタコンピュータ12における出力端子19から故障情報の読み出しをするコマンドを第1の角速度センサ13または第2の角速度センサ14における入力端子20に出力する必要がある。したがって、両者は別個のコマンドに応答するものであるから、第1の角速度センサ13または第2の角速度センサ14が故障した場合にも、故障情報の読み出しをするコマンドをマスタコンピュータ12における出力端子19から第1の角速度センサ13または第2の角速度センサ14における入力端子20に到達してからしか、故障情報を出力できないため、どの角度情報が故障情報であるかを明確にできないこととなり、これにより、瞬時の故障判断が出来ないという問題点を有していた。
In the conventional configuration, in order for the
本発明は上記従来の問題点を解決するもので、故障時の角速度センサの出力信号を即座に認識可能な信頼性の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。 The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to provide an angular velocity sensor with improved reliability that can immediately recognize the output signal of the angular velocity sensor at the time of failure.
上記目的を達成するために本発明は、特に、振動子と、この振動子を振動させる駆動回路と、前記振動子に角速度が付加された際にコリオリ力により発生する電荷をアナログ信号の出力信号として検出する検出回路と、この検出回路からのアナログ信号をデジタル信号に変換するA/D変換器と、このA/D変換器により変換されたデジタル信号を記憶する記憶手段と、外部に設けたマスタコンピュータとチップセレクト端子、クロック端子、入力端子および出力端子を介して電気的に接続された通信制御回路とを備え、前記A/D変換器から出力されるデジタル信号からなる角速度情報に故障情報を付加させた構成である。 In order to achieve the above object, the present invention particularly relates to an oscillator, a drive circuit that vibrates the oscillator, and electric charges generated by Coriolis force when an angular velocity is applied to the oscillator. A detection circuit for detecting the digital signal, an A / D converter for converting an analog signal from the detection circuit into a digital signal, a storage means for storing the digital signal converted by the A / D converter, and an externally provided device A communication control circuit electrically connected via a master computer and a chip select terminal, a clock terminal, an input terminal and an output terminal, and failure information in the angular velocity information composed of digital signals output from the A / D converter It is the structure which added.
上記構成によれば、記憶手段から出力されるデジタル信号からなる角速度情報に故障情報を付加させたため、角速度センサが故障した場合には、角速度センサから出力される角速度情報が誤情報であることを認識できることとなり、これにより、マスタコンピュータが受信した角速度情報が誤情報であるか否かを正確に把握できるものである。 According to the above configuration, since the failure information is added to the angular velocity information composed of the digital signal output from the storage means, when the angular velocity sensor fails, the angular velocity information output from the angular velocity sensor is erroneous information. Thus, it is possible to accurately grasp whether or not the angular velocity information received by the master computer is erroneous information.
以下、本発明の一実施の形態における角速度センサについて、図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, an angular velocity sensor according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は、本発明の一実施の形態における角速度センサおよびその故障診断回路を示すブロック図である。 FIG. 1 is a block diagram showing an angular velocity sensor and a failure diagnosis circuit thereof according to an embodiment of the present invention.
図1において、31は振動子で、この振動子31は一対の駆動部32と、この一対の駆動部32のそれぞれの先端に配設された一対の検知部33とにより構成されている。また前記振動子31の駆動部32の一方には駆動用電極34を設けるとともに、前記駆動部32の他方には駆動検出用電極35を設けている。そしてまた前記振動子31における一対の検知部33には角速度検出用電極36を設けている。37はモニタ回路で、このモニタ回路37は前記振動子31の駆動検出用電極35の電荷を入力する電流アンプ38と、この電流アンプ38の出力信号を入力するバンドパスフィルタ39と、このバンドパスフィルタ39の出力信号を入力する整流器40と、この整流器40の出力信号を入力する平滑回路41とにより構成されている。42はAGC回路で、このAGC回路42は前記モニタ回路37における平滑回路41の出力信号を入力し、かつ前記モニタ回路37におけるバンドパスフィルタ39の出力信号を増幅あるいは減衰させるものである。43は制御回路で、この制御回路43は前記AGC回路42の出力信号を入力するとともに、前記振動子31の駆動用電極34に駆動信号を入力するものである。そして、前記モニタ回路37、AGC回路42および制御回路43とで、駆動回路44を構成している。
In FIG. 1,
45はチャージアンプで、このチャージアンプ45は前記振動子31における一対の角速度検出用電極36にコリオリ力により発生する電荷を電圧に変換するものである。46は第1の検出回路で、この第1の検出回路46は、前記チャージアンプ45の出力信号を入力する第1のバンドパスフィルタ47と、この第1のバンドパスフィルタ47の出力信号を入力する第1の同期検波器48と、この第1の同期検波器48の出力信号を入力する第1の平滑回路49と、この第1の平滑回路49の出力信号を入力するとともに、増幅して角速度信号を出力する第1の直流アンプ50とにより構成されている。51は第2の検出回路で、この第2の検出回路51は、前記チャージアンプ45の出力信号を入力する第2のバンドパスフィルタ52と、この第2のバンドパスフィルタ52の出力信号を入力する第2の同期検波器53と、この第2の同期検波器53の出力信号を入力する第2の平滑回路54と、この第2の平滑回路54の出力信号を入力するとともに、増幅して角速度信号を出力する第2の直流アンプ55とにより構成されている。56は故障検出回路で、この故障検出回路56は、前記第1の検出回路46の直流アンプ50の出力信号と、前記第2の検出回路51の第2の直流アンプ55の出力信号とを比較して、両者の電圧差を出力する差動アンプ57と、この差動アンプ57の出力信号を入力するとともに、基準電圧器58の電圧と比較して、故障情報を出力電圧として出力する比較器59とにより構成されている。60は第1のA/D変換器で、この第1のA/D変換器60は第1の検出回路46における第1の直流アンプ50から出力されるアナログからなる出力信号をデジタル信号に変換する。61は第2のA/D変換器で、このA/D変換器61は故障検出回路56における比較器59から出力されるアナログからなる故障信号をデジタル信号に変換するものである。62はレジスタで、このレジスタ62は角速度情報としての出力信号、駆動回路44の補正データおよび故障検出回路56から出力された故障情報等がデータとして保存されている。63は3線式シリアル通信におけるスレブに相当する通信制御回路で、この通信制御回路63はレジスタ62とデータのやり取りを行うとともに、チップセレクト端子64、入力端子65、出力端子66およびクロック端子67を設けている。68は外部に設けられたマスタコンピュータで、このマスタコンピュータ68は3線式シリアル通信方式における通信をコントロールしており、角速度センサにおけるチップセレクト端子64と接続されたチップセレクト端子69、角速度センサにおける入力端子65と接続された出力端子70および角速度センサにおける出力端子66と接続された入力端子71、および角速度センサにおけるクロック端子67と接続されたクロック端子72とを設けている。そして、このマスタコンピュータ68はその他のセンサである他の角速度センサ(図示せず)、加速度センサ(図示せず)および回転数センサ(図示せず)等とも接続されており、これらの他のセンサの通信もコントロールするものである。
Reference numeral 45 denotes a charge amplifier. The charge amplifier 45 converts charges generated by Coriolis force on the pair of angular
以上のように構成された本発明の一実施の形態における角速度センサについて、次にその動作を説明する。 Next, the operation of the angular velocity sensor according to one embodiment of the present invention configured as described above will be described.
振動子31の駆動用電極34に交流電圧を加えると、前記振動子31が共振し、前記振動子31の駆動検出用電極35に電荷が発生する。この駆動検出用電極35に発生した電荷を駆動回路44における電流アンプ38に入力し、正弦波形の出力電圧に変換する。そしてこの電流アンプ38の出力電圧をモニタ回路37におけるバンドパスフィルタ39に入力し、前記振動子31の共振周波数のみを抽出し、ノイズ成分を除去した図2(a)に示すような正弦波形を出力する。そしてまた、前記モニタ回路37におけるバンドパスフィルタ39の出力信号を整流器40に入力することにより、負電圧成分を正電圧に変換した後、平滑回路41に入力することにより、直流電圧信号に変換する。そしてAGC回路42は前記平滑回路41の直流電圧信号が大の場合には前記モニタ回路37におけるバンドパスフィルタ39の出力信号を減衰させるような信号を、一方、前記平滑回路41の直流電圧信号が小の場合には前記モニタ回路37におけるバンドパスフィルタ39の出力信号を増幅させるような信号を制御回路43に入力し、前記振動子31の振動が一定振幅となるように調整するものである。また前記振動子31の駆動部32が駆動方向に速度Vで屈曲振動している状態において、前記振動子31の長手方向の中心軸周りに振動子31が角速度ωで回転すると、この振動子31の検知部33にF=2mV×ωのコリオリ力が発生する。このコリオリ力により前記検知部33における一対の角速度検出用電極36に、図2(b)および図2(c)に示すように電荷が発生する。そしてこの角速度検出用電極36に発生する電荷はコリオリ力により発生するため、前記駆動検出用電極35に発生する信号より位相が90度進んでいる。そしてまた、前記一対の角速度検出用電極36に発生した出力信号を重ね合わせることにより図2(d)に示すような電荷の信号を得る。さらにチャージアンプ45により、図2(e)に示すような出力電圧に変換する。このとき、前記チャージアンプ45はコンデンサ(図示せず)を設けており、前記角速度検出用電極36の出力をさらに90度進めるものである。そしてこのチャージアンプ45の出力信号を2つの出力信号に分岐するとともに、分岐した出力信号の一方を第1の検出回路46における第1のバンドパスフィルタ47により前記振動子31の共振周波数成分のみを抽出し、ノイズ成分を除去するとともに、この第1のバンドパスフィルタ47の出力を第1の同期検波器48に入力し、前記モニタ回路37におけるバンドパスフィルタ39の振動の周期で位相検波させるとともに、前記第1のバンドパスフィルタ47の電力電圧の負電圧成分を正電圧に変換し、図2(f)に示すような出力信号を得る。そしてこの第1の同期検波器48の出力電圧を第1の平滑回路49および第1の直流アンプ50により平滑化するとともに、増幅し、図2(g)に示すような出力信号を得る。また同様に、前記チャージアンプ45の出力信号のうちの他方の出力信号から第2の検出回路51における第2のバンドパスフィルタ52により前記振動子31の共振周波数成分のみを抽出し、ノイズ成分を除去するとともに、この第2のバンドパスフィルタ52の出力を第2の同期検波器53に入力し、前記モニタ回路37におけるバンドパスフィルタ39の振動の周期で位相検波させるとともに、前記第2のバンドパスフィルタ52の出力電圧の負電圧成分を正電圧に変換し、図2(f)に示すような出力信号を得る。そしてこの第2の同期検波器53の出力電圧を第2の平滑回路54および第2の直流アンプ55により平滑化するとともに、増幅し、図2(g)に示すような出力信号を得る。そして、前記第1の検出回路46における第1の直流アンプ50あるいは前記第2の検出回路51における第2の直流アンプ55の出力信号をアナログからなる角速度情報として第1のA/D変換器60に入力する。そして、第1のA/D変換器60は、前記直流アンプ50から出力されるアナログからなる出力情報をデジタルからなる出力信号に変換するものである。
When an AC voltage is applied to the
ここで、前記第1の検出回路46における第1のバンドパスフィルタ47が故障した場合について説明する。このような場合には、前記第1の検出回路46における第1のバンドパスフィルタ47からの出力信号が図3(a)に示すように、前記第1のバンドパスフィルタ47の故障時から出力電圧を発生させなくなる。これにより、前記第1の同期検波器48からの出力信号が図3(b)のようになるとともに、前記第1の直流アンプ50の出力信号が図3(c)のようになる。しかしながら、前記第2の検出回路51における第2のバンドパスフィルタ52は正常に動作しているため、前記第2の直流アンプ55からの出力信号は図2(g)のようになる。このような状態において、前記故障検出回路56の差動アンプ57に前記第1の検出回路46における第1の直流アンプ50の出力信号および前記第2の検出回路51における第2の直流アンプ55の出力信号を入力すると、前記第1の直流アンプ50の出力信号と、前記第2の直流アンプ55の出力信号とに差が生じているため、前記差動アンプ57に出力電圧が生じる。そして、この差動アンプ57の出力信号を比較器59により、図3(d)に示すように、基準電圧器58の基準電圧VthH、およびVthLと比較し、前記差動アンプ57の出力が基準電圧VthH以上あるいはVthL以下の場合には、図3(e)に示すように、角速度センサが故障しているとして、アナログ信号からなる故障情報を出力して、このアナログからなる出力信号を第2のA/D変換器61により、デジタル信号に変換し、そのデジタル信号をレジスタからなる記憶手段62に入力する。
Here, a case where the first band-
ここで、通常の動作状態として、マスタコンピュータ68からの指令により、デジタル信号からなる角速度情報を角速度センサが出力する場合を考える。10ビットからなる角速度情報として、角速度センサの静止状態すなわち0[度/秒]を(1000000000)とし、測定範囲の最大角速度511[度/秒]を(1111111111)とし、測定範囲の最小角速度−511[度/秒]を(0000000000)と定義する。
Here, as a normal operation state, a case where the angular velocity sensor outputs angular velocity information composed of a digital signal according to a command from the
そして、マスタコンピュータ68におけるチップセレクト端子69から角速度センサにおける通信制御回路63におけるチップセレクト端子64に図4(a)に示すように、ローの信号を入力することにより、マスタコンピュータ68のコマンドを受ける対象として、本発明の一実施の形態における角速度センサを選択する。
Then, as shown in FIG. 4A, a command of the
その後、マスタコンピュータ68におけるクロック端子72から通信制御回路63におけるクロック端子67に図4(c)のクロック信号が入力され、このクロック信号の立ち上がり時に図4(b)に示す例えば、角速度情報を要求する1番目のコマンド73がマスタコンピュータ68における出力端子70から通信制御回路63における入力端子65に入力される。そうすると、図4(c)のクロック信号の立下りに合わせて図4(d)に示すように、角速度信号からなる応答信号74を通信制御回路63における出力端子66からマスタコンピュータ68における入力端子72に入力する。
Thereafter, the clock signal shown in FIG. 4C is input from the
この角速度信号からなる応答信号74は、一般的に3線式シリアル通信方式で使用可能な1バイトを8ビットの条件を満たすようにするため、上述の10ビットからなる角速度情報を5ビットからなる上位バイトおよび下位バイトに分割して、さらに故障情報を付加してデータとしている。具体的には、図5(a)に示すように、上位バイトのうちの下位ビットb0〜b4に角速度情報を入力し、b5に故障情報を入力する。故障情報b5はDP=0の場合には、角速度センサが故障していることを示しており、一方、DP=1の場合には、角速度センサが正常であることを示している。また、同様に、図5(b)に示すように、下位バイトのうちの下位ビットb0〜b4に角速度情報を入力し、b5に故障情報を入力する。故障情報b5はDN=1の場合には、角速度センサが故障していることを示しており、一方、DN=0の場合には、角速度センサが正常であることを示している。 The response signal 74 made up of the angular velocity signal is made up of the above 10-bit angular velocity information consisting of 5 bits so that one byte that can generally be used in the 3-wire serial communication system satisfies the condition of 8 bits. The data is divided into upper bytes and lower bytes and further added with failure information. Specifically, as shown in FIG. 5A, angular velocity information is input to the lower bits b0 to b4 of the upper bytes, and failure information is input to b5. The failure information b5 indicates that the angular velocity sensor is malfunctioning when DP = 0, while the angular velocity sensor is normal when DP = 1. Similarly, as shown in FIG. 5B, angular velocity information is input to the lower bits b0 to b4 of the lower bytes, and failure information is input to b5. The failure information b5 indicates that the angular velocity sensor is malfunctioning when DN = 1, whereas the DN information indicates that the angular velocity sensor is normal when DN = 0.
そして、レジスタ62から出力される角速度信号からなる応答信号74および角速度信号からなる応答信号76に、上述の如く、図5(a)、(b)に示す故障情報を付加させたため、角速度センサが故障した場合には、角速度センサから出力される角速度情報が誤情報であることを認識できるという作用効果を有するものである。
Since the failure information shown in FIGS. 5A and 5B is added to the response signal 74 made up of the angular velocity signal and the response signal 76 made up of the angular velocity signal output from the
この1番目のコマンド73である角速度情報の上位バイトを要求するコマンドに対し、図5(a)に示すような上位バイトの信号を含む角速度信号からなる応答信号74を通信制御回路63からマスタコンピュータ68に出力する。次に、2番目のコマンド75である角速度情報の下位バイトを要求するコマンドに対し、図5(b)に示すような、下位バイトの信号を含む角速度信号からなる応答信号76を通信制御回路63からマスタコンピュータ68に出力する。そして、マスタコンピュータ68にて、上位バイトの角速度信号からなる応答信号74と下位バイトの角速度信号からなる応答信号76を結合することにより、10ビットからなる角速度情報を受信するものである。
In response to the command requesting the upper byte of the angular velocity information as the first command 73, a response signal 74 comprising an angular velocity signal including the upper byte signal as shown in FIG. 5A is sent from the
すなわち、角速度信号からなる応答信号74を図5(a)に示す上位バイトからなる角速度情報とするとともに、角速度信号からなる応答信号76を図5(b)に示す下位バイトからなる角速度情報としてレジスタからなる記憶手段62に記憶するとともに、角速度センサの出力信号を受信するマスタコンピュータ68において、角速度信号からなる応答信号74と角速度信号からなる応答信号76とを足し合わせたため、通常の8ビットからなるデジタル信号のシリアル通信方式においても、9ビット以上の高分解能な角速度情報を出力することができるという作用効果を有するものである。
That is, the response signal 74 made up of the angular velocity signal is used as the angular velocity information made up of the upper byte shown in FIG. 5A, and the response signal 76 made up of the angular velocity signal is registered as the angular velocity information made up of the lower byte shown in FIG. The
本発明にかかる角速度センサは、故障時の角速度センサの出力信号を即座に認識可能であるという効果を有し、故障診断機能を有する角速度センサ等として有用である。 The angular velocity sensor according to the present invention has an effect that the output signal of the angular velocity sensor at the time of failure can be immediately recognized, and is useful as an angular velocity sensor having a failure diagnosis function.
31 振動子
44 駆動回路
46 検出回路
60 A/D変換器
62 記憶手段
63 通信制御回路
64 チップセレクト端子
65 入力端子
66 出力端子
67 クロック端子
74、76 デジタル信号からなる角速度情報
31
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