JP2001052857A - Organic electroluminescent element and manufacture thereof - Google Patents

Organic electroluminescent element and manufacture thereof

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JP2001052857A
JP2001052857A JP11224682A JP22468299A JP2001052857A JP 2001052857 A JP2001052857 A JP 2001052857A JP 11224682 A JP11224682 A JP 11224682A JP 22468299 A JP22468299 A JP 22468299A JP 2001052857 A JP2001052857 A JP 2001052857A
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JP
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organic
substrate
spacer
organic layer
layer
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Japanese (ja)
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Kimitaka Ohata
公孝 大畑
Yoshimasa Fujita
悦昌 藤田
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Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To stabilize the light emission quality by adhering a first substrate and a second substrate to each other while pinching a spacer and an organic layer. SOLUTION: Mg-Ag as a negative electrode 2 is vacuum-deposited onto an electrode substrate 1a. A spacer 3 is formed on the negative electrode 2 by photolithography. An aluminum quinolinol complex layer 4a as an electron transporting light emitting layer is deposited. On the other hand, ITO as a positive electrode 5 is formed on an electrode substrate 1b by spattering, and continuously, a film of polyvinyl carbazole 6 as a hole transporting layer is formed by spin coating. After heating the electrode substrate 1b under the nitrogen atmosphere, the spacer 3 is pinched for facing, and the electrode substrate 1a is welded for adhesion. With this structure, organic EL element having the predetermined distance between the positive electrode and the negative electrode can be produced with excellent reproducibility, and excellent green light emission can be obtained by applying the direct current voltage to the organic EL element.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は有機エレクトロルミ
ネッセンス素子およびその製造方法に関し、より詳細に
は、有機層の膜厚および電極間距離が調整され、多色化
が容易な、カラー表示装置に適用し得る有機エレクトロ
ルミネッセンス素子およびその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescence device and a method of manufacturing the same, and more particularly, to a color display device in which the thickness of an organic layer and the distance between electrodes are adjusted and multicoloring is easy. The present invention relates to an organic electroluminescent device that can be used and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】有機エレクトロルミネッセンス素子(以
下有機EL素子という)は、電気信号に対して素早く応
答する、視認性が高い自然光を発する、有機材料を主た
る原料とするため幅広い分子設計が可能である、多色化
が容易である、など、ディスプレイとして理想的な特性
を備え、カラー表示装置として実用化に向けた開発が進
められている。
2. Description of the Related Art Organic electroluminescent elements (hereinafter referred to as organic EL elements) can respond to electric signals quickly, emit natural light with high visibility, and can be designed in a wide range of molecules because of using organic materials as main raw materials. It has ideal characteristics as a display, such as easy multi-color display, and is being developed for practical use as a color display device.

【0003】有機EL素子はまた、完全な固体素子であ
るために、耐衝撃性に優れるとともに取り扱いが容易で
あり、面光源、ディスプレイ、プリンターの光源等への
応用が進められている。
[0003] Organic EL devices, which are completely solid devices, have excellent impact resistance and are easy to handle, and are being applied to surface light sources, displays, light sources for printers, and the like.

【0004】一般に、有機EL素子は、有機材料を含む
薄膜である有機層を電極で挟み込み、通電すると、双方
の電極から注入された正孔および電子が有機層内で再結
合し、このときのエネルギーにより発光現象が起こるこ
とが知られている。この発光現象は、単層の有機層を2
つの電極で挟持した構造で見られるが、電極と有機層と
のエネルギー障壁を低減し、有機層へのキャリア移動を
容易にするために正孔輸送層や電子輸送層を配置した積
層構造が提案されている。このように、有機EL素子の
構成として、陽極/発光層/陰極を基本構造とし、陽極
/正孔輸送層/発光層/陰極、陽極/発光層/電子輸送
層/陰極、陽極/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/陰
極などの構造が知られている。
Generally, in an organic EL device, when an organic layer, which is a thin film containing an organic material, is sandwiched between electrodes and current is applied, holes and electrons injected from both electrodes recombine in the organic layer. It is known that a light emission phenomenon occurs due to energy. This luminescence phenomenon occurs when a single organic layer is
It can be seen in the structure sandwiched between two electrodes, but a laminated structure in which a hole transport layer and an electron transport layer are arranged to reduce the energy barrier between the electrode and the organic layer and facilitate carrier transfer to the organic layer is proposed. Have been. As described above, the structure of the organic EL element has a basic structure of anode / light-emitting layer / cathode, anode / hole transport layer / light-emitting layer / cathode, anode / light-emitting layer / electron transport layer / cathode, anode / hole transport. Structures such as layer / light emitting layer / electron transport layer / cathode are known.

【0005】このような有機EL素子は、一般に、ガラ
スなどの支持基板上に、陽極、正孔輸送層、発光層、電
子輸送層および陰極を順次積層して作成される。例え
ば、まず、スパッタ法、真空蒸着法などを用いて、ガラ
スなどの支持基板上に陽極として透明電極を形成する。
この電極を所定の形状にパターニングした後、その上に
正孔輸送層、発光層、電子輸送層が、真空蒸着法などの
気相成長法、スピンコート法などの塗布法、LB法、ス
クリーン印刷などの公知の薄膜形成法を用いて順次積層
される。次いで、真空蒸着法、スパッタ法を用い、陰極
として金属を成膜する。最後に外部リード線を取り付
け、有機層を湿気や熱から防ぐためにポリエチレン、ポ
リスチレン、シリコーン樹脂などの封止剤で封止を行い
有機EL素子を得ている。
[0005] Such an organic EL device is generally produced by sequentially laminating an anode, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer and a cathode on a supporting substrate such as glass. For example, first, a transparent electrode is formed as an anode on a supporting substrate such as glass using a sputtering method, a vacuum evaporation method, or the like.
After patterning the electrode into a predetermined shape, a hole transport layer, a light emitting layer, and an electron transport layer are formed thereon by a vapor deposition method such as a vacuum evaporation method, a coating method such as a spin coating method, an LB method, and screen printing. The layers are sequentially laminated using a known thin film forming method such as Next, a metal film is formed as a cathode by a vacuum evaporation method or a sputtering method. Finally, an external lead wire is attached, and the organic layer is sealed with a sealing agent such as polyethylene, polystyrene, or silicone resin to prevent the organic layer from moisture and heat, thereby obtaining an organic EL element.

【0006】マトリックス型有機EL素子において、電
極のパターニングは不可欠であるが、有機層を形成した
後に、有機層にダメージを与える可能性の有る紫外線や
有機溶媒を用いるフォトリソグラフィー法を用いること
は非常に困難である。また、シャドーマスクにて電極の
パターニングを行う方法では、微細な形状が困難であ
る。そのため、2つの支持基板に電極を成膜し、それぞ
れをパターニングし、有機EL素子を作成する方法が提
案されている。
In a matrix type organic EL device, patterning of electrodes is indispensable. However, it is very difficult to use a photolithography method using an ultraviolet ray or an organic solvent which may damage the organic layer after forming the organic layer. Difficult. Further, it is difficult to form a fine shape by a method of patterning an electrode using a shadow mask. Therefore, a method has been proposed in which electrodes are formed on two support substrates and each is patterned to form an organic EL element.

【0007】特開平8−236273号は、真空溶融装
置を用い、高真空度および加熱下で有機層を電極基板間
に挟着して形成された有機EL素子を開示する。特開平
8−236273号の方法では、電極間の距離は、ポリ
マー濃度および粘性度、電極基板に加わる圧力によって
変化する。特開平8−236273号は、有機層の膜厚
および電極間距離を調整する方法を開示も教示もしてい
ない。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-236273 discloses an organic EL device formed by sandwiching an organic layer between electrode substrates under a high degree of vacuum and heating using a vacuum melting apparatus. In the method disclosed in JP-A-8-236273, the distance between the electrodes changes depending on the polymer concentration and viscosity, and the pressure applied to the electrode substrate. Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-236273 does not disclose or teach a method for adjusting the thickness of an organic layer and the distance between electrodes.

【0008】特開平7−153571号は、発光層を陽
極材料層および陰極材料層で挟み込み、その両側に吸湿
層、防湿層を配設した有機薄膜EL素子を開示する。陽
極材料層および陰極材料層は、別の基板上に形成され、
塗布された発光層と重ね合わせて熱圧着される。特開平
7−153571号は、有機層の膜厚および電極間距離
を調整する方法を開示も教示もしていない。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-153571 discloses an organic thin-film EL device in which a light-emitting layer is sandwiched between an anode material layer and a cathode material layer, and a moisture absorbing layer and a moisture-proof layer are provided on both sides thereof. The anode material layer and the cathode material layer are formed on another substrate,
The applied light emitting layer is overlaid and thermocompressed. JP-A-7-153571 does not disclose or teach a method of adjusting the thickness of an organic layer and the distance between electrodes.

【0009】特開平9−7763号は、一方のフィルム
上に陽極層と有機薄膜層を順に積層して形成し、他方の
フィルム上に陰極層と有機薄膜層を順に積層した後、双
方の積層膜を対向させて熱圧着して貼り合わせ、周辺部
を接着または融着封止して形成される有機EL素子を開
示している。特開平9−7763号もまた、有機層の膜
厚および電極間距離を調整する方法を開示も教示もして
いない。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-7763 discloses that an anode layer and an organic thin film layer are sequentially laminated on one film, and a cathode layer and an organic thin film layer are sequentially laminated on the other film. It discloses an organic EL element formed by bonding films by thermocompression bonding with facing each other, and bonding or fusion sealing the peripheral portion. Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-7763 also does not disclose or teach a method for adjusting the thickness of the organic layer and the distance between the electrodes.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】上記の有機EL素子の
製造方法では、一般に有機層の厚さを均一に形成するこ
とが困難であることに加え、経時的にまたは温度によっ
ても有機層の厚さが変化するので、発光品位の安定した
有機EL素子を再現性良く提供することは困難である。
また有機層の膜厚および電極間距離を調整する方法を教
示する先行技術はない。本発明は、上記従来の有機EL
素子の製造方法を改良し、安定した性能を有する有機E
L素子およびその製造方法を提供する。
In the above-mentioned method for manufacturing an organic EL device, it is generally difficult to uniformly form the thickness of the organic layer. Therefore, it is difficult to provide an organic EL element having a stable luminous quality with good reproducibility.
There is no prior art teaching a method of adjusting the thickness of the organic layer and the distance between the electrodes. The present invention relates to the above conventional organic EL
Organic E with stable performance by improving the device manufacturing method
Provided are an L element and a method for manufacturing the same.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は、有機材料を含
む有機層を備える有機エレクトロルミネッセンス素子に
関し、この素子は、陰極が形成された第1の基板;陽極
が形成された第2の基板;第1および第2の基板の少な
くとも1つの上に配置されたスペーサーであって、その
各々が、それが配置される基板に接する底部面積と該底
部面積に対向する上部面積とを有するスペーサー;およ
び上記陰極および陽極の少なくとも1つの上に形成され
た有機材料を含む有機層;を備え、上記第1の基板と該
第2の基板とが、上記スペーサーおよび上記有機層を挟
持して密着されている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to an organic electroluminescent device having an organic layer containing an organic material, the device comprising a first substrate on which a cathode is formed; a second substrate on which an anode is formed. A spacer disposed on at least one of the first and second substrates, each having a bottom area in contact with the substrate on which it is disposed and a top area opposing the bottom area; And an organic layer containing an organic material formed on at least one of the cathode and the anode. The first substrate and the second substrate are closely attached to each other with the spacer and the organic layer interposed therebetween. ing.

【0012】本発明は、1つの局面で、有機材料を含む
有機層を備える有機エレクトロルミネッセンス素子の製
造方法に関し、この方法は、第1の基板上に陰極を形成
する工程;第2の基板上に陽極を形成する工程;この第
1および第2の基板の少なくとも1つの上にスペーサー
を配置する工程であって、スペーサーの各々は、スペー
サーが配置される基板に接する底部面積と該底部面積に
対向する上部面積とを有する工程;上記陰極および陽極
の少なくとも1つの上に有機材料を含む有機層を形成す
る工程;および上記第1の基板と上記第2の基板とを対
向させ、上記スペーサーおよび上記有機層を挟持して密
着する工程を包含する。
The present invention, in one aspect, relates to a method for manufacturing an organic electroluminescent device having an organic layer containing an organic material, the method comprising the steps of forming a cathode on a first substrate; Forming an anode on at least one of the first and second substrates, wherein each of the spacers has a bottom area in contact with the substrate on which the spacer is disposed and a bottom area in contact with the bottom area. Forming an organic layer containing an organic material on at least one of the cathode and the anode; and opposing the first substrate and the second substrate, The method includes a step of sandwiching and adhering the organic layer.

【0013】上記スペーサーは、それが配置される一方
の基板に接する底部面積と該底部面積に対向する上部面
積とを有し、この上部面積を介して対向する他方の基板
と接触し、それによって所望の有機層の厚さを維持す
る。
[0013] The spacer has a bottom area in contact with one of the substrates on which it is disposed, and an upper area opposite to the bottom area, and contacts the other opposing substrate through this upper area, Maintain the desired thickness of the organic layer.

【0014】好ましくは、上記スペーサーは、上記有機
層の周辺または上記基板の周縁に配置される。上記スペ
ーサーは、所望の有機ELデバイスの開口率、および基
板の大きさに合わせて配置位置およびそのサイズを変化
させ得る。
[0014] Preferably, the spacer is arranged around the organic layer or at the periphery of the substrate. The position and size of the spacer can be changed according to the desired aperture ratio of the organic EL device and the size of the substrate.

【0015】上記有機層は、上記陰極および陽極の少な
くとも1つの上に有機材料を含む有機層を形成する工程
により、陰極および陽極のいずれかの上に、またはその
両方の上に、低分子材料または高分子材料を、真空蒸着
法などの気相成長法、スピンコート法などの塗布法な
ど、公知の薄膜形成法を用いて積層される。
The organic layer is formed by forming an organic layer containing an organic material on at least one of the cathode and the anode, so that the low molecular material is formed on one or both of the cathode and the anode. Alternatively, a polymer material is laminated using a known thin-film forming method such as a vapor deposition method such as a vacuum evaporation method or a coating method such as a spin coating method.

【0016】上記有機層は、必要に応じて、正孔および
電子注入材料、電荷制限材料、例えば、LiFなどの無
機物質を含み得る。また、有機層は、上記材料を含む層
の2つ以上を積層した多層構造として構成し得る。この
多層構造は、上記第1の基板および第2の基板のいずれ
か一方に、あるいは、両基板の各々に形成した後、上記
密着する工程によって多層構造として構成し得る。
The organic layer may optionally contain a hole and electron injection material, a charge limiting material, for example, an inorganic substance such as LiF. Further, the organic layer can be configured as a multilayer structure in which two or more layers containing the above materials are stacked. This multi-layer structure can be formed as a multi-layer structure by forming the multi-layer structure on one of the first substrate and the second substrate or on each of the two substrates, and then by closely contacting the two substrates.

【0017】好ましくは、上記密着する工程は熱圧着に
より行われる。この密着する工程は、密着される少なく
とも一方の材料を溶融して行われ得る。
Preferably, the contacting step is performed by thermocompression bonding. This contacting step can be performed by melting at least one material to be contacted.

【0018】好ましくは、上記有機層の表面近傍領域
は、高分子材料で構成され、上記密着する工程で、層間
の密着性を増大させる。
Preferably, the region near the surface of the organic layer is made of a polymer material, and the adhesion between the layers is increased in the step of adhering.

【0019】好ましくは、上記有機層の少なくとも1つ
は、その表面近傍に架橋性または重合性材料を含み、そ
して上記密着する工程は光または熱で架橋性または重合
性材料を架橋または重合することを含み得、それによっ
て積層された層の間の密着性を増大させる。
Preferably, at least one of the organic layers contains a crosslinkable or polymerizable material near its surface, and the step of bonding includes crosslinking or polymerizing the crosslinkable or polymerizable material with light or heat. And thereby increase the adhesion between the stacked layers.

【0020】上記密着する工程は、大気圧条件下、真空
条件下、および不活性ガス雰囲気下で実施され得、好ま
しくは、真空条件下、および不活性ガス雰囲気下で実施
され得る。大気圧条件下および不活性ガス雰囲気下で実
施される場合、好ましくは、40%以下の湿度、100
ppm以下の条件下で実施され、それによって形成され
る有機EL素子内に残留する酸素を低減し、有機EL素
子の信頼性を向上する。
The above-mentioned step of adhering can be carried out under atmospheric pressure conditions, under vacuum conditions, and under an inert gas atmosphere, preferably, under vacuum conditions and under an inert gas atmosphere. When carried out at atmospheric pressure and under an inert gas atmosphere, preferably a humidity of 40% or less, 100%
The method is performed under the condition of not more than ppm and reduces oxygen remaining in the organic EL element formed thereby, thereby improving the reliability of the organic EL element.

【0021】好ましくは、上記熱圧着は、上記スペーサ
ーの材料の融点またはガラス転移温度よりも低く、かつ
上記有機層の表面近傍の材料の融点またはガラス転移温
度よりも高い温度で行われ、それによって得られる有機
EL素子の有機層の厚さの、所望の有機層厚さからのず
れを最小にする。
Preferably, the thermocompression bonding is performed at a temperature lower than the melting point or glass transition temperature of the spacer material and higher than the melting point or glass transition temperature of the material near the surface of the organic layer. The deviation of the thickness of the organic layer of the obtained organic EL device from the desired thickness of the organic layer is minimized.

【0022】1つの実施態様において、上記スペーサー
を配置する工程は、フォトリソグラフィー法を用いて行
われる。
In one embodiment, the step of disposing the spacer is performed by using a photolithography method.

【0023】好ましくは、上記スペーサーの底部面積は
上部面積より大きく、それによって得られる有機EL素
子の有機層の厚さの所望の有機層厚さとのずれを最小に
する。
Preferably, the bottom area of the spacer is larger than the top area, thereby minimizing the deviation of the thickness of the organic layer of the organic EL device obtained from the desired organic layer thickness.

【0024】1つの実施態様において、上記第1および
第2の基板のいずれかはTFT素子を備え得る。
In one embodiment, one of the first and second substrates may include a TFT element.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】図1を用いて本発明の有機EL素
子を説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The organic EL device of the present invention will be described with reference to FIG.

【0026】(1)電極基板 電極の支持基板1a、1bとしては、従来の有機エレク
トロルミネッセンス素子に用いられている任意の材料を
用い得る。防湿性が高くそして空中酸素の侵入を防ぎ有
機層の封止層としても機能する材料、光の取り出し効率
が良好な可視光領域で透明である材料、電圧印加時に発
生するジュール熱を拡散し有機層の劣化を防ぐ熱伝導性
が高い材料が好適に用いれる。好適な材料の例として、
石英、ガラスなどの無機材料、ポリイミド、ポリエステ
ルなどの高分子材料が挙げられるが、これらに限定され
ない。電極基板は、これら材料からなる単層基板または
これら材料からなる単層を積層した積層基板であり得
る。
(1) Electrode Substrate As the electrode support substrates 1a and 1b, any material used in a conventional organic electroluminescence device can be used. A material that is highly moisture-proof and functions as a sealing layer for the organic layer, preventing intrusion of oxygen in the air, a material that has good light extraction efficiency and is transparent in the visible light range, and an organic material that diffuses Joule heat generated when voltage is applied A material having high thermal conductivity for preventing the layer from deteriorating is preferably used. Examples of suitable materials include:
Examples include, but are not limited to, inorganic materials such as quartz and glass, and polymer materials such as polyimide and polyester. The electrode substrate may be a single-layer substrate made of these materials or a laminated substrate in which single layers made of these materials are stacked.

【0027】(2)電極 電極基板上に形成される電極2、5としては、可視光領
域における光の透過率が、少なくとも60%以上、より
好ましくは少なくとも70%以上である透明材料が好適
に用いられる。好適な材料の例として、ITO(インジ
ウム・錫酸化物)、SnO2が挙げられるが、これらに
限定されない。例えば、Au、Al、Pt、Cu、M
n、Mg、Ag、Ca、Li、Baなどの金属、および
これら2種以上からなる合金も電極として用い得る。陽
極としては、仕事関数が4.5eV以上の合金またはそ
の合金の電気導電性化合物で、イオン化ポテンシャルが
高く、電子親和力が小さい材料が好適に用いられる。陰
極としては、仕事関数が4.0eV以下の合金またはそ
の合金の電気導電性化合物で、イオン化ポテンシャルが
低く、電子親和力が大きい材料が好適に用いられる。金
属電極は、真空蒸着法、スパッタ法、スクリーン印刷な
どの当業者に公知の方法を用いて電極基板上に成膜され
る。また、成膜された電極は、シャドーマスク法、フォ
トリソグラフィー法、スクリーン印刷なとの当業者に公
知の方法によりパターニングされる。
(2) Electrodes The electrodes 2 and 5 formed on the electrode substrate are preferably made of a transparent material having a light transmittance of at least 60% or more, more preferably at least 70% or more in the visible light region. Used. Examples of suitable materials, ITO (indium tin oxide), but SnO 2 include, but are not limited to. For example, Au, Al, Pt, Cu, M
Metals such as n, Mg, Ag, Ca, Li, and Ba, and alloys composed of two or more of these can also be used as the electrodes. As the anode, an alloy having a work function of 4.5 eV or more or an electrically conductive compound of the alloy and having a high ionization potential and a small electron affinity is preferably used. As the cathode, an alloy having a work function of 4.0 eV or less or an electrically conductive compound of the alloy and having a low ionization potential and a high electron affinity is preferably used. The metal electrode is formed on the electrode substrate using a method known to those skilled in the art, such as a vacuum deposition method, a sputtering method, and screen printing. The formed electrode is patterned by a method known to those skilled in the art, such as a shadow mask method, a photolithography method, and screen printing.

【0028】(3)スペーサー スペーサー3としては、従来の液晶装置で用いられるス
ペーサー材料、またはフォトリソグラフィー法で形成し
たレジストをスペーサーとして用い得る。耐熱性かつ絶
縁性に優れた無機および有機材料が好適である。スペー
サーがブラックマトリックスを兼ねる場合、黒色または
光の吸収性の高い材料が好適に用いられる。電極基板間
の距離が5μm以下である場合、レジスト用材料で隔壁
を形成し、この隔壁をスペーサーとして用い得る。この
ようなレジスト用材料として、ポリビニルシンナメー
ト、感光性イミド、ゴム系レジスト、ノボラック樹脂な
どが挙げられるがこれらに限定されない。スペーサーの
電極基板に垂直な断面の形状は、三角形、台形、円形、
楕円形など任意の形状であり得るが、有機層の厚さの、
所望の厚さからのずれを最小にするために、上部断面部
分が底部断面部分よりも小さい形状が好適に用いられ
る。
(3) Spacer As the spacer 3, a spacer material used in a conventional liquid crystal device or a resist formed by photolithography can be used. Inorganic and organic materials having excellent heat resistance and insulation properties are preferred. When the spacer also serves as a black matrix, a black or highly light-absorbing material is preferably used. When the distance between the electrode substrates is 5 μm or less, a partition may be formed using a resist material, and the partition may be used as a spacer. Examples of such a resist material include, but are not limited to, polyvinyl cinnamate, photosensitive imide, rubber-based resist, and novolak resin. The cross section of the spacer perpendicular to the electrode substrate can be triangular, trapezoidal, circular,
It can be any shape such as an oval, but the thickness of the organic layer,
In order to minimize the deviation from the desired thickness, a shape in which the top section is smaller than the bottom section is preferably used.

【0029】スペーサーは、真空蒸着法、スパッタ法な
どの気相成長法、スピンコート法などの塗布法など当業
者に公知の方法を用いて電極基板上に成膜される。ま
た、スペーサーは、シャドーマスク法、フォトリソグラ
フィー法、スクリーン印刷なとの当業者に公知の方法に
よりパターニングされる。
The spacer is formed on the electrode substrate by a method known to those skilled in the art, such as a vapor deposition method such as a vacuum evaporation method and a sputtering method, and a coating method such as a spin coating method. The spacer is patterned by a method known to those skilled in the art, such as a shadow mask method, a photolithography method, and screen printing.

【0030】(4)有機層 有機層4として、公知の任意の低分子化合物および高分
子化合物から選択される有機材料を用い得る。低分子化
合物の例として、トリフェニルアミン化合物、8−ヒド
ロキシキノリノール誘導体、クマリン誘導体、ブタジエ
ン誘導体、キナクドリン誘導体、スチレンアリーレン誘
導体、ペリレン誘導体、オキサゾール誘導体、オキサジ
アゾール誘導体、チアゾール誘導体、ベンズオキサゾー
ル誘導体、金属錯体類が挙げられる。高分子化合物の例
として、ポリビニルカルバゾール(PVK)、ポリフェ
ニレンビニレン誘導体、ポリチオフェン誘導体が挙げら
れるがこれらに限定されない。
(4) Organic Layer As the organic layer 4, an organic material selected from any known low-molecular compound and high-molecular compound can be used. Examples of low molecular weight compounds include triphenylamine compounds, 8-hydroxyquinolinol derivatives, coumarin derivatives, butadiene derivatives, quinacdrine derivatives, styrene arylene derivatives, perylene derivatives, oxazole derivatives, oxadiazole derivatives, thiazole derivatives, benzoxazole derivatives, metals Complexes. Examples of the polymer compound include, but are not limited to, polyvinyl carbazole (PVK), a polyphenylenevinylene derivative, and a polythiophene derivative.

【0031】有機層は、必要に応じて、正孔および電子
注入材料、電荷制限材料、例えば、LiFなどの無機物
質を含み得る。また、有機層は、上記材料を含む層の2
つ以上を積層した多層構造であり得る。有機層は、発光
層のみ、発光層/電子輸送層、正孔輸送層/発光層、正
孔輸送層/電子輸送層/発光層として構成し得る。
The organic layer may optionally include a hole and electron injection material, a charge limiting material, for example, an inorganic material such as LiF. Further, the organic layer is the second layer containing the above material.
It may be a multilayer structure in which one or more layers are stacked. The organic layer can be composed of only the light-emitting layer as a light-emitting layer / electron transport layer, a hole-transport layer / light-emitting layer, and a hole-transport layer / electron transport layer / light-emitting layer.

【0032】[0032]

【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照して
説明する。
Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0033】(実施例1)図1(a)〜(e)は、本発明
の有機EL素子の製造方法の1実施例を示す工程図であ
る。まず、厚さ1.1mmの別のガラス基板1a上に陰
極として1000Åの厚さのマグネシウム−銀(10:
1)2を真空蒸着法を用いて成膜した(a)。次いで、
フォトリソグラフィー法を用いて、ストライプ状の電極
として所定のパターンにパターニングを行った。次に、
スピンコート法を用いて、陰極の上にフォトレジストと
してOMR−83(東京応用化製)を成膜した後、フォ
トリソグラフィーを用いて、陰極パターンに沿って陰極
間にレジスト幅100μm、高さ2700Åの隔壁(ス
ペーサー)3を形成した。このとき、ポストベーク温度
を調整することによりTgを200℃以上とした。次い
で真空蒸着法を用いて、電子輸送性発光層として、50
0Åの厚さのアルミニウムキノリノール錯体層4a(A
lq)を蒸着した(b)。
(Example 1) FIGS. 1A to 1E are process diagrams showing one example of a method for manufacturing an organic EL device of the present invention. First, on another glass substrate 1a having a thickness of 1.1 mm, a magnesium-silver (10:
1) 2 was formed into a film using a vacuum evaporation method (a). Then
Using a photolithography method, a predetermined pattern was formed as a stripe-shaped electrode. next,
OMR-83 (manufactured by Tokyo Koka) is formed as a photoresist on the cathode by spin coating, and then, using photolithography, a resist width of 100 μm and a height of 2700 ° are formed between the cathodes along the cathode pattern. (Spacer) 3 was formed. At this time, Tg was adjusted to 200 ° C. or higher by adjusting the post-baking temperature. Next, using a vacuum evaporation method, 50
0 ° thick aluminum quinolinol complex layer 4a (A
lq) was deposited (b).

【0034】次に、厚さ1.1mmのガラス基板1b上
に陽極として1600Åの厚さのITO5をスパッタ法
を用いて成膜し(c)、次いで、スピンコート法を用い
て、正孔輸送層として700Åの厚さのポリビニルカル
バゾール(PVK)6を成膜した(d)。このとき用い
たPVKのTgは、160℃であった。
Next, a 1600 ° -thick ITO5 film was formed as an anode on a 1.1 mm-thick glass substrate 1b by sputtering (c), and then hole transport was performed by spin-coating. Polyvinyl carbazole (PVK) 6 having a thickness of 700 ° was formed as a layer (d). The Tg of the PVK used at this time was 160 ° C.

【0035】その後、窒素雰囲気下で、PVKを成膜し
た基板を180℃に加熱した後、両方の積層板を、上記
スペーサーを挟持して対向させ、Alqを蒸着した基板
を、加熱したPVK積層板に圧着することで貼り合わせ
た(e)。得られた有機EL素子の、陽極および陰極間
の距離は1100Åであった。上記(a)〜(e)の工
程は、1100Åの陽極および陰極間距離を持つ有機E
L素子を再現性良く生産した。得られた有機EL素子
に、直流電圧を印加するとAlqから輝度2000cd
/m2の緑色の発光が得られた。
Thereafter, the substrate on which PVK was formed was heated to 180 ° C. in a nitrogen atmosphere, and both laminated plates were opposed to each other with the spacer interposed therebetween. It was bonded by crimping to a plate (e). The distance between the anode and the cathode of the obtained organic EL device was 1100 °. The above steps (a) to (e) are performed using an organic E having a distance between the anode and the cathode of 1100 °.
The L element was produced with good reproducibility. When a DC voltage is applied to the obtained organic EL device, the luminance becomes 2000 cd from Alq.
/ M 2 of green light was obtained.

【0036】(比較例1)隔壁(スペーサー)を設けな
いこと以外は、実施例1と同様に有機EL素子を作成し
た。得られた有機EL素子の基板間の距離は、2300
〜3600Åとばらつき、均一な厚さの発光層を得るこ
とができなかった。得られた有機EL素子に直流電圧を
印加するとAlqからの緑色の発光が得られたが、これ
は均一な発光ではなかった。同じ方法で有機EL素子を
再度作成しても均一な厚さの発光層は得られなかった。
Comparative Example 1 An organic EL device was prepared in the same manner as in Example 1 except that no partition wall (spacer) was provided. The distance between the substrates of the obtained organic EL device was 2300
33600 °, and a light emitting layer having a uniform thickness could not be obtained. When a DC voltage was applied to the obtained organic EL device, green light emission from Alq was obtained, but this was not uniform light emission. Even if an organic EL device was prepared again by the same method, a light-emitting layer having a uniform thickness could not be obtained.

【0037】(比較例2)両方の積層板の熱圧着時にお
ける温度を100℃としたこと以外は、実施例1に記載
の方法と同じ方法で有機EL素子を作成した。得られた
素子は、Alqから輝度200cd/m2の緑色の発光
が得られた。この発光は均一な発光ではなかった。
(Comparative Example 2) An organic EL device was prepared in the same manner as in Example 1, except that the temperature at the time of thermocompression bonding of both laminates was 100 ° C. The obtained device emitted green light with a luminance of 200 cd / m 2 from Alq. This emission was not uniform.

【0038】(実施例2)厚さ1.1mmの別のガラス
基板上に陰極として1000Åの厚さのマグネシウム−
銀(10:1)を真空蒸着法を用いて成膜した後、フォ
トリソグラフィー法を用いて、ストライプ状の所定のパ
ターンにパターニングした。次いでスピンコート法を用
いて、フォトレジストとしてOMR−83(東京応用化
製)を成膜した後、フォトリソグラフィーを用いて、陰
極パターンに沿って陰極間にレジスト幅100μm、高
さ2700Åの隔壁を形成した。次いで真空蒸着法を用
いて、電子輸送性発光層として、500Åの厚さのアル
ミニウムキノリノール錯体(Alq)を蒸着し、さらに
その上に、スピンコート法を用いて、30wt%のTP
D(正孔輸送材料)および5wt%のスチリルピリジニ
ウム(増感剤)分散させた。
(Example 2) On another glass substrate having a thickness of 1.1 mm, a magnesium film having a thickness of 1000 mm was formed as a cathode.
After silver (10: 1) was formed by a vacuum evaporation method, the film was patterned into a predetermined stripe pattern by a photolithography method. Next, OMR-83 (manufactured by Tokyo Kagaku) is formed as a photoresist by spin coating, and a barrier having a resist width of 100 μm and a height of 2700 ° is formed between the cathodes along the cathode pattern using photolithography. Formed. Next, an aluminum quinolinol complex (Alq) having a thickness of 500 ° was deposited as an electron transporting light emitting layer using a vacuum evaporation method, and 30 wt% TP was further formed thereon using a spin coating method.
D (hole transport material) and 5 wt% styrylpyridinium (sensitizer) were dispersed.

【0039】次に、厚さ1.1mmのガラス基板上に陽
極として1600Åの厚さのITOをスパッタ法を用い
て成膜した後、フォトリソグラフィー法を用いて、スト
ライプ状の所定のパターンにパターニングした。次いで
スピンコート法を用いて、正孔輸送層として300Åの
厚さの、30wt%のTPD(正孔輸送材料)および5
wt%のスチリルピリジニウム(増感剤)分散させたポ
リビニルシンナメート(光架橋型フォトポリマー)を成
膜した。
Next, a 1600-mm thick ITO film is formed as an anode on a 1.1-mm-thick glass substrate by sputtering, and then patterned into a predetermined stripe-like pattern by photolithography. did. Then, using a spin coating method, 30 wt% of TPD (hole transport material) having a thickness of 300 ° and 5 wt.
A film of polyvinyl cinnamate (photocrosslinkable photopolymer) in which styrylpyridinium (sensitizer) was dispersed in wt% was formed.

【0040】その後、窒素雰囲気下で、両方の積層板を
上記隔壁を挟持して対向させて室温で熱圧着し、そのま
ま、340nmの光に2分間曝し、有機EL素子を作成
した。得られた有機EL素子の、陽極および陰極間の距
離は1100Åであった。上記(a)〜(e)の工程
は、1100Åの陽極および陰極間距離を持つ有機EL
素子を再現性良く生産した。得られた有機EL素子に、
直流電圧を印加するとAlqから輝度500cd/m2
の緑色の発光が得られた。
Then, under a nitrogen atmosphere, both laminates were thermocompression-bonded at room temperature with the above-mentioned partition wall sandwiched therebetween, and exposed to light of 340 nm for 2 minutes to produce an organic EL device. The distance between the anode and the cathode of the obtained organic EL device was 1100 °. The above-mentioned steps (a) to (e) are performed by an organic EL having an anode-cathode distance of 1100 °
The device was produced with good reproducibility. In the obtained organic EL device,
When a DC voltage is applied, the luminance is changed from Alq to 500 cd / m 2.
Green light was obtained.

【0041】(比較例3)ポリビニルシンナメートの代
わりにポリアクリル酸メチル(PMMA)を用いたこと以
外は実施例2と同様の方法で有機EL素子を形成した。
得られた有機EL素子は、両方の積層板の密着性が低く
すぐに剥がれてしまった。
Comparative Example 3 An organic EL device was formed in the same manner as in Example 2 except that polymethyl acrylate (PMMA) was used instead of polyvinyl cinnamate.
The obtained organic EL element was peeled off immediately because of low adhesion between the two laminates.

【0042】(実施例3)厚さ1.1mmの別のガラス
基板上に陰極として1000Åの厚さのマグネシウム−
銀(10:1)を真空蒸着法を用いて成膜した後、フォ
トリソグラフィー法を用いて、ストライプ状の所定のパ
ターンにパターニングした。次いでスピンコート法を用
いて、フォトレジストとしてOMR−83(東京応用化
製)を成膜した後、フォトリソグラフィーを用いて、陰
極パターンに沿って陰極間にレジスト幅100μm、高
さ2700Åの隔壁を形成した。次いで真空蒸着法を用
いて、500Åの厚さのアルミニウムキノリノール錯体
(Alq)を蒸着し、その上に300Åの厚さの、TP
D、パラフェニレンジアミン、ビフェニルエポキシ化合
物の共蒸着膜を積層した。
(Example 3) On another glass substrate having a thickness of 1.1 mm, a magnesium film having a thickness of 1000 mm was formed as a cathode.
After silver (10: 1) was formed by a vacuum evaporation method, the film was patterned into a predetermined stripe pattern by a photolithography method. Next, OMR-83 (manufactured by Tokyo Kagaku) is formed as a photoresist by spin coating, and a barrier having a resist width of 100 μm and a height of 2700 ° is formed between the cathodes along the cathode pattern using photolithography. Formed. Next, using a vacuum deposition method, a 500- [mu] thick aluminum quinolinol complex (Alq) is deposited, and a 300 [deg.]-Thick TP is deposited thereon.
D, a co-evaporated film of paraphenylenediamine and a biphenyl epoxy compound was laminated.

【0043】次に、厚さ1.1mmのガラス基板上に陽
極として1600Åの厚さのITOをスパッタ法を用い
て成膜した後、フォトリソグラフィー法を用いて、スト
ライプ状の所定のパターンにパターニングした。次いで
蒸着法を用いて、300Åの厚さの、TPD、パラフェ
ニレンジアミン、ビフェニルエポキシ化合物の共蒸着膜
を積層した。
Next, a 1600-mm thick ITO film is formed as an anode on a 1.1-mm-thick glass substrate by sputtering, and then patterned into a predetermined stripe pattern by photolithography. did. Next, a co-evaporated film of TPD, paraphenylenediamine, and biphenyl epoxy compound having a thickness of 300 ° was laminated by an evaporation method.

【0044】その後、窒素雰囲気下で、両方の積層板を
上記隔壁を挟持して対向させて150℃で熱圧着して有
機EL素子を得た。得られた有機EL素子の、陽極およ
び陰極間の距離は1100Åであった。得られた有機E
L素子に、直流電圧を印加するとAlqから輝度500
cd/m2の緑色の発光が得られた。 (比較例4)パラフェニレンジアミン、ビフェニルエポ
キシ化合物を用いなかったこと以外は、実施例3と同様
の方法で有機EL素子を形成した。得られた有機EL素
子は、両方の積層板の密着性が低くすぐに剥がれてしま
った。
Thereafter, under a nitrogen atmosphere, both laminates were thermocompression-bonded at 150 ° C. with the above-mentioned partition wall sandwiched therebetween to obtain an organic EL device. The distance between the anode and the cathode of the obtained organic EL device was 1100 °. Organic E obtained
When a DC voltage is applied to the L element, the luminance becomes 500 from Alq.
Green light emission of cd / m 2 was obtained. Comparative Example 4 An organic EL device was formed in the same manner as in Example 3 except that no paraphenylenediamine and biphenyl epoxy compound were used. The obtained organic EL element was peeled off immediately because of low adhesion between the two laminates.

【0045】(実施例4)厚さ1.1mmの別のガラス
基板上に陰極として1000Åの厚さのマグネシウム−
銀(10:1)を真空蒸着法を用いて成膜した後、フォ
トリソグラフィー法を用いて、ストライプ状の所定のパ
ターンにパターニングした。次いでスピンコート法を用
いて、フォトレジストとしてOMR−83(東京応用化
製)を成膜した後、フォトリソグラフィーを用いて、陰
極パターンに沿って陰極間にレジスト幅100μm、高
さ2700Åの隔壁を形成した。次いで真空蒸着法を用
いて、500Åの厚さのアルミニウムキノリノール錯体
(Alq)を蒸着し、さらにその上に、300Å厚さの
40wt%のビフェニルエポキシ化合物分散させたPV
Kを積層した。
(Example 4) On another glass substrate having a thickness of 1.1 mm, a magnesium film having a thickness of 1000 mm was formed as a cathode.
After silver (10: 1) was formed by a vacuum evaporation method, the film was patterned into a predetermined stripe pattern by a photolithography method. Next, OMR-83 (manufactured by Tokyo Kagaku) is formed as a photoresist by spin coating, and a barrier having a resist width of 100 μm and a height of 2700 ° is formed between the cathodes along the cathode pattern using photolithography. Formed. Next, using a vacuum deposition method, a 500-mm-thick aluminum quinolinol complex (Alq) was deposited, and a 300-mm-thick 40 wt% biphenyl epoxy compound-dispersed PV was further deposited thereon.
K was laminated.

【0046】次に、厚さ1.1mmのガラス基板上に陽
極として1600Åの厚さのITOをスパッタ法を用い
て成膜した後、フォトリソグラフィー法を用いて、スト
ライプ状の所定のパターンにパターニングした。次いで
3000Åの厚さの、40wt%のパラフェニレンジア
ミンを分散させたPVKを成膜した。
Next, a 1600-mm thick ITO film is formed as an anode on a 1.1-mm-thick glass substrate by sputtering, and then patterned by photolithography into a predetermined stripe pattern. did. Next, a PVK film having a thickness of 3000 mm and 40 wt% of paraphenylenediamine dispersed therein was formed.

【0047】その後、窒素雰囲気下で、両方の積層板を
上記隔壁を挟持して対向させて180℃で熱圧着し、そ
のまま、340nmの光に2分間曝し、有機EL素子を
作成した。得られた有機EL素子の、陽極および陰極間
の距離は1100Åであった。得られた有機EL素子
に、直流電圧を印加するとAlqから輝度500cd/
2の緑色の発光が得られた。
Thereafter, under a nitrogen atmosphere, both laminates were thermocompression-bonded at 180 ° C. with the above-mentioned partition wall sandwiched therebetween, and the laminate was exposed to light of 340 nm for 2 minutes to produce an organic EL device. The distance between the anode and the cathode of the obtained organic EL device was 1100 °. When a DC voltage is applied to the obtained organic EL device, a luminance of 500 cd /
A green emission of m 2 was obtained.

【0048】[0048]

【発明の効果】本発明によれば、スペーサーおよび有機
層を挟持して電極が形成された基板を密着するので、ス
ペーサーのサイズを選択して形成することにより、発光
材料を含む有機層の膜厚を所望の厚さに調節できる。そ
して有機層を形成した後に金属電極を形成する工程が存
在しないので、有機層が損なわれることなく、発光品位
の安定した有機EL素子が提供される。
According to the present invention, since the substrate on which the electrodes are formed is brought into close contact with the spacer and the organic layer, the film of the organic layer containing the luminescent material can be formed by selecting the size of the spacer. The thickness can be adjusted to a desired thickness. Since there is no step of forming a metal electrode after forming the organic layer, an organic EL element having stable light emission quality is provided without damaging the organic layer.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の有機EL素子の断面図である。FIG. 1 is a sectional view of an organic EL device of the present invention.

【図2】本発明の有機EL素子の製造方法を示す図であ
る。
FIG. 2 is a diagram illustrating a method for manufacturing an organic EL device of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1a、1b 電極基板 2 陰極 3 スペーサー 4 有機層 5 陽極 1a, 1b Electrode substrate 2 Cathode 3 Spacer 4 Organic layer 5 Anode

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 有機材料を含む有機層を備える有機エレ
クトロルミネッセンス素子あって、 陰極が形成された第1の基板;陽極が形成された第2の
基板;該第1および第2の基板の少なくとも1つの上に
配置されたスペーサーであって、該スペーサーの各々
が、それが配置される基板に接する底部面積と該底部面
積に対向する上部面積とを有するスペーサー;および該
陰極および陽極の少なくとも1つの上に形成された有機
材料を含む有機層;を備え、 該第1の基板と該第2の基板とが、該スペーサーおよび
該有機層を挟持して密着される、有機エレクトロルミネ
ッセンス素子。
1. An organic electroluminescence device comprising an organic layer containing an organic material, wherein: a first substrate on which a cathode is formed; a second substrate on which an anode is formed; at least one of the first and second substrates A spacer disposed on one of the spacers, each of the spacers having a bottom area in contact with a substrate on which it is disposed and a top area opposite the bottom area; and at least one of the cathode and the anode. An organic layer containing an organic material formed on the first substrate and the second substrate, wherein the first substrate and the second substrate are adhered to each other with the spacer and the organic layer interposed therebetween.
【請求項2】 有機材料を含む有機層を備える有機エレ
クトロルミネッセンス素子の製造方法であって、 第1の基板上に陰極を形成する工程;第2の基板上に陽
極を形成する工程;該第1および第2の基板の少なくと
も1つの上にスペーサーを配置する工程であって、該ス
ペーサーの各々が、それが配置される基板に接する底部
面積と該底部面積に対向する上部面積とを有する工程;
該陰極および陽極の少なくとも1つの上に有機材料を含
む有機層を形成する工程;および該第1の基板と該第2
の基板とを対向させ、該スペーサーおよび該有機層を挟
持して密着する工程、を包含する方法。
2. A method for manufacturing an organic electroluminescence device including an organic layer containing an organic material, comprising: forming a cathode on a first substrate; forming an anode on a second substrate; Disposing a spacer on at least one of the first and second substrates, each of the spacers having a bottom area in contact with the substrate on which it is disposed and a top area opposite the bottom area. ;
Forming an organic layer containing an organic material on at least one of the cathode and the anode; and the first substrate and the second
And a step of sandwiching and closely adhering the spacer and the organic layer.
【請求項3】 前記スペーサーが、前記有機層の周辺ま
たは前記基板の周縁に配置される、請求項2に記載の方
法。
3. The method according to claim 2, wherein the spacer is disposed around the organic layer or at the periphery of the substrate.
【請求項4】 前記密着する工程が熱圧着により行われ
る、請求項2に記載の方法。
4. The method according to claim 2, wherein said contacting step is performed by thermocompression bonding.
【請求項5】 前記有機層の少なくとも1つが、その表
面近傍に架橋性または重合性材料を含み、前記密着する
工程が光または熱で該架橋性または重合性材料を架橋ま
たは重合することを含む、請求項4に記載の方法。
5. The method of claim 1, wherein at least one of the organic layers includes a crosslinkable or polymerizable material near a surface thereof, and the step of bonding includes crosslinking or polymerizing the crosslinkable or polymerizable material with light or heat. The method of claim 4.
【請求項6】 前記熱圧着が、前記スペーサーの材料の
融点またはガラス転移温度よりも低く、かつ前記有機層
の表面近傍の材料の融点またはガラス転移温度よりも高
い温度で行われる、請求項4に記載の方法。
6. The thermocompression bonding is performed at a temperature lower than a melting point or a glass transition temperature of a material of the spacer and higher than a melting point or a glass transition temperature of a material near a surface of the organic layer. The method described in.
【請求項7】 前記スペーサーを配置する工程が、フォ
トリソグラフィー法を用いて行われる、請求項2に記載
の方法。
7. The method according to claim 2, wherein the step of disposing the spacer is performed using a photolithography method.
【請求項8】 前記スペーサーの底部面積が上部面積よ
り大きい、請求項2に記載の方法。
8. The method of claim 2, wherein the bottom area of the spacer is greater than the top area.
【請求項9】 前記第1および第2の基板のいずれかが
TFT素子を備える、請求項2に記載の方法。
9. The method of claim 2, wherein one of said first and second substrates comprises a TFT element.
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