JP2003092192A - Organic electroluminescent display device and method for manufacturing the same - Google Patents
Organic electroluminescent display device and method for manufacturing the sameInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、発光型の表示を行
なう有機エレクトロルミネッセンス表示装置およびその
製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescence display device for displaying a light emitting type display and a method for manufacturing the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】映像や文字の表示、あるいは照明、発光
用として開発されている有機エレクトロルミネッセンス
（以下、ＥＬとも称す。）表示装置は、基板上に形成さ
れた発光画素などから構成されており、自発光型である
ためにコントラストが高く、視野角が広いなどの優れた
特性を有する。最近では、特に薄膜トランジスタ（ＴＦ
Ｔ）アレイ基板上に画素として有機ＥＬ素子を形成した
アクティブマトリックス型の有機ＥＬ表示装置が特性の
優れたフラットディスプレイとして注目され、盛んに開
発が行われている。2. Description of the Related Art An organic electroluminescence (hereinafter, also referred to as EL) display device developed for displaying images and characters, or for illumination and light emission is composed of light emitting pixels and the like formed on a substrate. Since it is a self-luminous type, it has excellent characteristics such as high contrast and a wide viewing angle. Recently, especially thin film transistors (TF)
T) An active matrix type organic EL display device in which an organic EL element is formed as a pixel on an array substrate is attracting attention as a flat display having excellent characteristics and is being actively developed.
【０００３】図６、７に、有機エレクトロルミネッセン
ス表示装置の一従来例の構成を示す。図７は図６におけ
る画素が配置されたエリア１１を拡大表示したものであ
る。表示電極２と絶縁性の隔壁３とが配置されたガラス
基板１上に、ＥＬ発光層を含む有機層４と、その上に上
部電極５が形成され、それらを覆って封止板６がガラス
基板１に封着されている。6 and 7 show the structure of a conventional example of an organic electroluminescent display device. FIG. 7 is an enlarged display of the area 11 in which the pixels in FIG. 6 are arranged. An organic layer 4 including an EL light emitting layer and an upper electrode 5 are formed on a glass substrate 1 on which a display electrode 2 and an insulating partition wall 3 are arranged. It is sealed to the substrate 1.
【０００４】表示電極２は有機ＥＬ素子の陽極であり、
その材料にはＩＴＯなどの導電性金属酸化物が用いられ
る。アクティブ型の表示装置の場合、表示電極は画素に
対応してパターニングされ、それぞれがスイッチング用
の非線形素子に接続される。隔壁３は、後の有機層形成
時に使用するマスクのストッパー等の役割を持つもの
で、絶縁性の樹脂や無機膜等で構成される。有機層４
は、ホール輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層等
を積層して形成する。上部電極５はＥＬ素子の陰極とし
て機能し、その材料としてはＡｌＬｉ合金、ＭｇＡｇ合
金などの仕事関数の低い金属が用いられる。封止板６は
金属缶やガラス板で構成され、ガラス基板とはＵＶ硬化
樹脂１２を介して接着される。内部空間７を外気と遮断
し、有機層および上部電極の水分による劣化を防止す
る。この従来例では、有機ＥＬ層からの発光は透明な表
示電極とガラス基板とを透過して取り出されるいわゆる
光の下取り出し構造を示している。The display electrode 2 is the anode of the organic EL element,
A conductive metal oxide such as ITO is used as the material. In the case of an active type display device, the display electrodes are patterned corresponding to the pixels, and each is connected to a non-linear element for switching. The partition 3 has a role of a mask stopper or the like used later when forming an organic layer, and is made of an insulating resin or an inorganic film. Organic layer 4
Is formed by stacking a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, an electron injection layer and the like. The upper electrode 5 functions as a cathode of the EL element, and as its material, a metal having a low work function such as an AlLi alloy or a MgAg alloy is used. The sealing plate 6 is composed of a metal can or a glass plate, and is bonded to the glass substrate via the UV curable resin 12. The internal space 7 is shielded from the outside air to prevent the organic layer and the upper electrode from being deteriorated by moisture. In this conventional example, a so-called under-extraction structure of light emitted from the organic EL layer is taken out through the transparent display electrode and the glass substrate.
【０００５】有機ＥＬ表示装置の構成としては、発光を
上方から（すなわち基板と反対側から）取り出す構造
と、先の従来例のように発光を下方から（すなわち基板
側から）取り出す構造と、大きく分けて２つがあるが、
特にＴＦＴアレイ基板を用いるアクティブ型有機ＥＬ表
示装置においては、上方から発光を取り出すと開口率が
大きくなるので好ましい。上方から光を取り出す構造に
おいては、上部電極が透光性でなければならず、低仕事
関数の金属を含む極薄膜陰極の上に、スパッタリング法
により成膜したＩＴＯ（インジウム・スズ酸化物）など
の透明導電膜を積層した構成が、例えば特開２００１−
８５１６３号公報など、いくつか提案されている。The structure of the organic EL display device is roughly divided into a structure for taking out light emission from above (that is, from the side opposite to the substrate) and a structure for taking light emission from below (that is, from the substrate side) as in the prior art example. There are two,
In particular, in an active type organic EL display device using a TFT array substrate, it is preferable to take out light emission from above since the aperture ratio becomes large. In the structure of extracting light from above, the upper electrode must be translucent, and ITO (indium tin oxide), etc. formed by sputtering on an ultrathin film cathode containing a low work function metal. The structure in which the transparent conductive film of FIG.
There are some proposals such as Japanese Patent No. 85163.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、有機層
の上部電極（もしくは陰極）としてスパッタリング法に
より透明導電膜を成膜する工程においては、スパッタリ
ングされた原子や、酸素やアルゴンの原子もしくはイオ
ンが高いエネルギーを持って有機層表面に到達するため
に、有機層がダメージを受ける。また、高温に晒されて
熱で変性したり、紫外光、プラズマに晒されることによ
る劣化も起こる。これらの結果、有機ＥＬ素子の発光効
率低減や早期劣化といった発光特性の劣化を引き起こす
という問題が生じていた。However, in the step of forming the transparent conductive film as the upper electrode (or cathode) of the organic layer by the sputtering method, the number of sputtered atoms and oxygen or argon atoms or ions are high. The organic layer is damaged because it reaches the surface of the organic layer with energy. In addition, when exposed to high temperature, it is denatured by heat, or it is deteriorated by being exposed to ultraviolet light or plasma. As a result, there has been a problem in that the emission efficiency of the organic EL element is reduced and deterioration of the emission characteristics such as early deterioration is caused.
【０００７】上記の先行例は、スパッタリングの際の電
力を低く抑えることにより、有機層へのダメージを低減
させようという試みである。しかしながら、この方法に
よってもダメージを全く与えないスパッタリングは困難
である。実用に耐えうる素子特性を得るには、電力を非
常に低く抑え、ターゲットと基板との距離を大きくする
などの工夫が必要であるが、そうすると成膜レートが極
端に遅くなってしまい大量生産には向かないという課題
があった。特に有機ＥＬ表示装置においては、基板の全
領域において上記不良を抑えて表示品位と信頼性を確保
することが望まれるため、これは非常に重要な課題とな
っていた。The above-mentioned prior art is an attempt to reduce damage to the organic layer by suppressing the electric power at the time of sputtering to be low. However, even with this method, it is difficult to perform sputtering without causing any damage. In order to obtain device characteristics that can withstand practical use, it is necessary to keep the power very low and increase the distance between the target and the substrate, but then the film deposition rate will be extremely slow and mass production will be possible. There was a problem that was not suitable. Particularly, in the organic EL display device, it is desired to suppress the above defects and secure display quality and reliability in the entire area of the substrate, and this has been a very important issue.
【０００８】そこで、本発明は高い発光効率かつ長寿命
である発光上取り出し型の有機ＥＬ表示装置とそれを実
現するための製造方法を提供することを目的とする。Therefore, it is an object of the present invention to provide a light emission top extraction type organic EL display device having high light emission efficiency and long life, and a manufacturing method for realizing the same.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明の有機ＥＬ表示装
置は、発光画素により表示を行なう有機ＥＬ表示装置で
あって、発光画素に対応する表示電極を表面上に備えた
基板と、表示電極上に形成されたＥＬ発光層を含む有機
層と、有機層の上に形成された光透過性の上部電極と、
基板に対向して封着された光透過性の封止板とを備え、
封止板の基板に対向する面上には上部電極と電気的に接
続された光透過性の補助電極を有する。An organic EL display device of the present invention is an organic EL display device which performs display by means of light emitting pixels, wherein a substrate having display electrodes corresponding to the light emitting pixels on its surface and a display electrode are provided. An organic layer including an EL light emitting layer formed thereon, and a light-transmissive upper electrode formed on the organic layer,
And a light-transmissive sealing plate sealed to face the substrate,
A light-transmissive auxiliary electrode electrically connected to the upper electrode is provided on the surface of the sealing plate facing the substrate.
【００１０】この構成によれば、有機層上の上部電極は
封止板表面上の補助電極を介して外部に引き出される。
よって、ＩＴＯ等の透明導電膜を上部電極上にスパッタ
リング成膜する必要がなく、有機ＥＬ層の特性を劣化さ
せることがない。According to this structure, the upper electrode on the organic layer is drawn out through the auxiliary electrode on the surface of the sealing plate.
Therefore, it is not necessary to form a transparent conductive film such as ITO on the upper electrode by sputtering, and the characteristics of the organic EL layer are not deteriorated.
【００１１】本発明の有機ＥＬ表示装置において、上部
電極と補助電極とが接続される構成としては、表示電極
の少なくとも一部分を露出させるように形成された基板
上に突出する隔壁を有し、光透過性の上部電極が有機層
上と隔壁上にまたがって形成され、上部電極と補助電極
とが隔壁上において接続される。In the organic EL display device of the present invention, the structure in which the upper electrode and the auxiliary electrode are connected has a partition wall formed so as to expose at least a part of the display electrode and protruding from the substrate. A transparent upper electrode is formed over the organic layer and the partition, and the upper electrode and the auxiliary electrode are connected on the partition.
【００１２】または、封止板の基板に対向する面上に、
突出した凸部と、その上の補助電極を有し、上部電極と
補助電極とが凸部上において接続されている。Alternatively, on the surface of the sealing plate facing the substrate,
It has a projecting convex portion and an auxiliary electrode thereon, and the upper electrode and the auxiliary electrode are connected on the convex portion.
【００１３】または、表示電極の少なくとも一部分を露
出させるように形成された基板上に突出する隔壁と、封
止板の基板に対向する面上に形成された突出する凸部と
その上の補助電極を有し、隔壁上の上部電極と凸部上の
補助電極とが接続されている。Alternatively, a partition wall formed so as to expose at least a part of the display electrode on the substrate, a protruding part formed on a surface of the sealing plate facing the substrate, and an auxiliary electrode thereon. And the upper electrode on the partition wall and the auxiliary electrode on the convex portion are connected.
【００１４】以上、いずれの構成においても基板と封止
板との間にわずかな間隔を保持し、安定した電気的接続
を形成するものであるとともに、封止の機能も果たされ
る。In any of the above constructions, a slight gap is maintained between the substrate and the sealing plate to form a stable electrical connection, and at the same time, the function of sealing is fulfilled.
【００１５】以上の構成においては、基板と封止板との
間隙が真空に保持されていることが望ましい。これによ
り、基板と封止板がより強く密着し、上部電極と共通電
極とのコンタクトはより確実なものになる。また、水分
を遮断するという封止の効果も大きくなる。In the above structure, it is desirable that the gap between the substrate and the sealing plate is kept in vacuum. As a result, the substrate and the sealing plate are in close contact with each other, and the contact between the upper electrode and the common electrode becomes more reliable. Further, the sealing effect of blocking water is also increased.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態につい
て、図面を参考にしながら、構造と製造方法を詳細に説
明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings, in terms of structure and manufacturing method.
【００１７】本発明の有機ＥＬ表示装置は、例えば図４
に示すように、画像や文字を表示するための発光画素１
０が基板１上に配置されてなる。これらの発光画素は例
えば図１に示すように、表示電極２、有機層４、上部電
極５などから構成され、図５に示すようにガラス等から
なる封止板６により密閉封止されている。The organic EL display device of the present invention is shown in FIG.
As shown in, the luminescence pixel 1 for displaying images and characters
0 is arranged on the substrate 1. As shown in FIG. 1, for example, these light emitting pixels are composed of a display electrode 2, an organic layer 4, an upper electrode 5 and the like, and are hermetically sealed by a sealing plate 6 made of glass or the like as shown in FIG. .
【００１８】（実施の形態１）図１は本発明に係る有機
ＥＬ表示装置の第１実施例を示す図である。図４のＡ−
Ａ'線での断面を示している。(Embodiment 1) FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of an organic EL display device according to the present invention. A- in FIG.
The cross section along line A'is shown.
【００１９】基板１上に、表示電極２と、表示電極の一
部分を露出させるように隔壁３が形成され、表示電極上
にはＥＬ発光層を含む有機層４が形成され、さらに有機
層上と隔壁上にまたがって光透過性の上部電極５が形成
されている。さらに、基板に封着された光透過性の封止
板６の対向する面上には光透過性の補助電極７を有し、
上部電極と補助電極とが隔壁上において接続されてい
る。A display electrode 2 and a partition wall 3 are formed on the substrate 1 so as to expose a part of the display electrode. An organic layer 4 including an EL light emitting layer is formed on the display electrode. A light-transmissive upper electrode 5 is formed on the partition wall. Further, a light-transmissive auxiliary electrode 7 is provided on the opposing surface of the light-transmissive sealing plate 6 sealed to the substrate,
The upper electrode and the auxiliary electrode are connected on the partition.
【００２０】以下、工程順に従って製造方法を説明す
る。The manufacturing method will be described below in the order of steps.
【００２１】表示電極２が形成された基板１を用意す
る。基板１は、有機ＥＬ表示装置を坦持できるものであ
ればよく、ガラス基板あるいは樹脂基板、樹脂フィル
ム、またはシリコン基板等を用いることができる。表示
電極２には、素子の構造により様々な材料が選ばれる。
上方（すなわち基板と反対側）より発光を取り出す構造
の場合、表示電極は光を反射する膜で構成される必要が
あり、ＡｌあるいはＡｌ化合物等の金属膜を用いること
が好ましい。表示電極を陽極とする場合には仕事関数の
高い材料を用いなければならず、例えばＩＴＯを陰極と
して用い、その下にアルミや銀等の反射性の金属を含む
膜をあらかじめ形成しておけばよい。なお、図示はして
いないが、アクティブ型の有機ＥＬ表示装置の場合に
は、表示電極に接続された薄膜トランジスタ等から構成
される非線形素子を含む回路が基板上にあらかじめ配置
されている。A substrate 1 on which display electrodes 2 are formed is prepared. The substrate 1 may be any one that can support the organic EL display device, and a glass substrate, a resin substrate, a resin film, a silicon substrate, or the like can be used. Various materials are selected for the display electrode 2 depending on the structure of the device.
In the case of a structure in which light emission is taken out from above (that is, on the side opposite to the substrate), the display electrode needs to be formed of a film that reflects light, and it is preferable to use a metal film such as Al or an Al compound. When the display electrode is used as an anode, a material having a high work function must be used. For example, if ITO is used as a cathode and a film containing a reflective metal such as aluminum or silver is formed underneath it in advance. Good. Although not shown, in the case of an active type organic EL display device, a circuit including a non-linear element composed of a thin film transistor or the like connected to a display electrode is previously arranged on a substrate.
【００２２】まず、表示電極の一部分を露出させるよう
に隔壁３を形成する。隔壁３の材料としてはレジスト等
の樹脂膜、絶縁性無機膜等を用いることができるが、パ
ターニング加工性を考慮すると感光性のポリイミド樹脂
等が好ましい。樹脂膜は塗布形成後、フォトリソグラフ
ィーで所望の形状にパターニングされて隔壁となる。隔
壁の高さは１０μｍ以下程度、好ましくは１〜３μｍ程
度である。また、以降の工程において形成する上部電極
が断線しないようにするため、隔壁の断面形状はテーパ
ーを有するなだらかな台形であることが望ましい。First, the partition wall 3 is formed so as to expose a part of the display electrode. A resin film such as a resist, an insulating inorganic film, or the like can be used as the material of the partition walls 3, but a photosensitive polyimide resin or the like is preferable in consideration of patterning processability. After the resin film is applied and formed, it is patterned into a desired shape by photolithography to form partition walls. The height of the partition wall is about 10 μm or less, preferably about 1 to 3 μm. Further, in order to prevent the upper electrode formed in the subsequent steps from being disconnected, it is desirable that the partition wall has a tapered trapezoidal sectional shape.
【００２３】次に、表示電極上にＥＬ発光層を含む有機
層４を形成する。ＥＬ発光層には所望の画素の色に対応
して、例えばＡｌｑ3等の有機ＥＬ発光材料を用いる。
好ましくは、有機層４を多層構造、例えば正孔輸送層と
電子輸送性発光層を積層した２層構造、あるいはそれ以
上の多層構造とすればよい。有機層の形成には主に抵抗
加熱蒸着法を用いる。また、いわゆる高分子型と称され
る発光材料を用いてもよく、その場合には各種の印刷法
やインクジェット法などにより有機層４が形成される。Next, the organic layer 4 including the EL light emitting layer is formed on the display electrode. For the EL light emitting layer, an organic EL light emitting material such as Alq 3 is used corresponding to the color of a desired pixel.
Preferably, the organic layer 4 has a multilayer structure, for example, a two-layer structure in which a hole transport layer and an electron transport light emitting layer are stacked, or a multilayer structure having more layers. The resistance heating vapor deposition method is mainly used for forming the organic layer. Further, a so-called polymer type light emitting material may be used, and in that case, the organic layer 4 is formed by various printing methods or an inkjet method.
【００２４】さらに、有機層上と隔壁上にまたがって光
透過性の上部電極５を形成する。上部電極が陰極である
場合には、電子注入性の材料として仕事関数の低い金
属、例えばＭｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｌｉ、Ｙ、Ｓｃ、
Ｙｂ、Ｅｕ等のアルカリ土類金属、アルカリ金属やその
合金を用いることができる。特には、ＭｇＡｇ合金（重
量比１０：１程度）、ＡｌＬｉ合金（Ｌｉ０．１〜１０
重量％）等が再現性良く成膜できるので好ましい。ま
た、上記の金属を含む膜と他の金属膜との積層、例え
ば、ＬｉＦ／Ａｇ等の構成とすることもできる。いずれ
の構成においても、上部電極の透光性を確保するために
は極薄膜にする必要があり、その膜厚は３０ｎｍ以下、
望ましくは５〜２０ｎｍ程度である。上部電極の形成に
は、有機層にダメージを与えないよう、抵抗加熱蒸着法
を主に用いる。Further, a light-transmissive upper electrode 5 is formed on the organic layer and the partition wall. When the upper electrode is a cathode, a metal having a low work function, such as Mg, Ca, Ba, Sr, Li, Y, Sc, is used as an electron injecting material.
An alkaline earth metal such as Yb or Eu, an alkali metal or an alloy thereof can be used. In particular, MgAg alloy (weight ratio of about 10: 1), AlLi alloy (Li0.1-10)
(% By weight) is preferable because a film can be formed with good reproducibility. Further, a stack of a film containing the above metal and another metal film, for example, a structure of LiF / Ag or the like can be used. In any of the configurations, it is necessary to form an ultrathin film in order to secure the translucency of the upper electrode, and the film thickness is 30 nm or less,
It is preferably about 5 to 20 nm. To form the upper electrode, a resistance heating vapor deposition method is mainly used so as not to damage the organic layer.
【００２５】次に、光透過性の補助電極７が形成された
封止板６を用意する。Next, the sealing plate 6 on which the light-transmissive auxiliary electrode 7 is formed is prepared.
【００２６】封止板６には、ガラス板、樹脂板、樹脂フ
ィルム、あるいは樹脂と無機材料と積層板などを用いる
が、強度とコストの面からガラス板が好ましい。この封
止板の上に補助電極７を形成する。補助電極の材料とし
ては、ＩＴＯ(Indium Tin Oxide)やＩＺＯ(Indium Zinc
Oxide)等の金属酸化物を含む透明導電膜を用いる。こ
れらの形成はスパッタリング法やＥＢ蒸着法、ゾルゲル
法等により行なう。A glass plate, a resin plate, a resin film, a resin, an inorganic material, and a laminated plate are used as the sealing plate 6, and the glass plate is preferable in terms of strength and cost. The auxiliary electrode 7 is formed on this sealing plate. As the material of the auxiliary electrode, ITO (Indium Tin Oxide) or IZO (Indium Zinc)
A transparent conductive film containing a metal oxide such as oxide is used. These are formed by a sputtering method, an EB vapor deposition method, a sol-gel method or the like.
【００２７】なお、補助電極は封止板全面に形成されて
いても、メッシュ状あるいはストライプ状にパターニン
グされていても良く、パターニングされたときには透光
性を向上させることができる。The auxiliary electrode may be formed on the entire surface of the sealing plate, or may be patterned in a mesh shape or a stripe shape. When patterned, the translucency can be improved.
【００２８】また、パターニングされた補助電極を採用
する際には、アルミ等の金属材料を用いてもよく、その
場合はより低抵抗の補助電極とすることができる。この
金属補助電極の形成は、スパッタリング等により成膜さ
れた薄膜をフォトリソグラフィーでエッチングすること
によって得られる。もしくは、メタルペーストを印刷焼
成するなどして形成しても良い。When a patterned auxiliary electrode is used, a metal material such as aluminum may be used, and in that case, the auxiliary electrode having a lower resistance can be used. The formation of the metal auxiliary electrode can be obtained by etching a thin film formed by sputtering or the like by photolithography. Alternatively, it may be formed by printing and firing a metal paste.
【００２９】次に、上述のように加工した基板１と封止
板６とを張り合わせて封着する。この工程においては、
上部電極と補助電極とのコンタクトと、有機層の封止と
が同時に行なわれる。基板の有機層等が形成された側
と、封止板の補助電極が形成された側とを対向させ、密
着させて張り合わせる。接着のため、例えばＵＶ硬化樹
脂などのシール剤を周囲に塗布しておく。さらに密着性
を良くするために、基板と封止板の両面から均等に適切
な圧力をかけ、最後にＵＶ光照射によりシール剤を硬化
させて、本実施の形態の有機ＥＬ表示装置が完成する。Next, the substrate 1 processed as described above and the sealing plate 6 are bonded and sealed. In this process,
The contact between the upper electrode and the auxiliary electrode and the sealing of the organic layer are performed at the same time. The side of the substrate on which the organic layer or the like is formed and the side of the sealing plate on which the auxiliary electrode is formed are opposed to each other and are adhered to each other. For adhesion, a sealant such as a UV curable resin is applied to the surroundings. In order to further improve the adhesiveness, appropriate pressure is evenly applied from both surfaces of the substrate and the sealing plate, and finally the sealing agent is cured by UV light irradiation to complete the organic EL display device of the present embodiment. .
【００３０】なお、基板と封止板との間隙空間８を真空
もしくは減圧雰囲気にすると、密着性が増して上部電極
−補助電極間のコンタクトを確実に行なうことができ
る。また、封止の信頼性も向上するので望ましい。間隙
空間８を真空もしくは減圧雰囲気にするには、上述の張
り合わせ工程を真空中もしくは減圧雰囲気中で行なえば
よい。When the gap space 8 between the substrate and the sealing plate is in a vacuum or reduced pressure atmosphere, the adhesiveness is increased and the contact between the upper electrode and the auxiliary electrode can be surely performed. Further, the reliability of sealing is improved, which is desirable. In order to make the gap space 8 a vacuum or a reduced pressure atmosphere, the above-mentioned bonding step may be performed in a vacuum or a reduced pressure atmosphere.
【００３１】なお、本実施形態では、画素は隔壁３で分
離された構造になっているが、すべての画素を同時に同
一輝度で発光させて、例えば液晶のバックライトなどの
面発光装置として利用することもできる。In the present embodiment, the pixels are structured so as to be separated by the partition walls 3, but all the pixels are made to emit light at the same brightness at the same time and used as a surface light emitting device such as a liquid crystal backlight. You can also
【００３２】（実施の形態２）図２は本発明に係る有機
ＥＬ表示装置の第２実施例を示す断面図である。図４の
Ａ−Ａ'線での断面を示している。(Second Embodiment) FIG. 2 is a sectional view showing a second embodiment of the organic EL display device according to the present invention. 5 shows a cross section taken along the line AA ′ of FIG. 4.
【００３３】基板１上に、表示電極２とＥＬ発光層を含
む有機層４が形成され、さらに有機層上に光透過性の上
部電極５が形成されている。基板に封着された光透過性
の封止板６の対向する面上には、突出する凸部９とその
上に光透過性の補助電極７を有し、上部電極５と補助電
極７とが凸部９上において接続されている。A display electrode 2 and an organic layer 4 including an EL light emitting layer are formed on a substrate 1, and a light transmissive upper electrode 5 is further formed on the organic layer. On the opposing surface of the light-transmissive sealing plate 6 sealed to the substrate, there is a protruding convex portion 9 and a light-transmissive auxiliary electrode 7 thereon, and the upper electrode 5 and the auxiliary electrode 7 are Are connected on the convex portion 9.
【００３４】基板、表示電極、有機層、封止板は（実施
の形態１）と同様のものであるので、それらの製造工程
は省略し、封止板に凸部を設ける工程以降の説明を行な
う。Since the substrate, the display electrodes, the organic layer, and the sealing plate are the same as those in (Embodiment 1), their manufacturing steps are omitted, and the description of the steps subsequent to the step of forming the convex portion on the sealing plate will be omitted. To do.
【００３５】封止板の上に設けられた凸部は、（実施の
形態１）に述べた隔壁と同様、その材料としてはレジス
ト等の樹脂膜、絶縁性無機膜等を用いることができる
が、パターニング加工性を考慮すると感光性のポリイミ
ド樹脂等が好ましい。樹脂膜は塗布形成後、フォトリソ
グラフィーで所望の形状にパターニングされて凸部とな
る。凸部の高さは１０μｍ以下程度、好ましくは１〜３
μｍ程度である。As with the partition wall described in (Embodiment 1), the convex portion provided on the sealing plate may be made of resin film such as resist, insulating inorganic film, or the like. In consideration of patterning processability, a photosensitive polyimide resin or the like is preferable. After forming the resin film by coating, it is patterned into a desired shape by photolithography to form a convex portion. The height of the convex portion is about 10 μm or less, preferably 1 to 3
It is about μm.
【００３６】次に補助電極７を形成する。補助電極の材
料としては、ＩＴＯやＩＺＯ等の金属酸化物を含む透明
導電膜を用いる。これらの形成はスパッタリング法やＥ
Ｂ蒸着法等により行なう。Next, the auxiliary electrode 7 is formed. As the material of the auxiliary electrode, a transparent conductive film containing a metal oxide such as ITO or IZO is used. These are formed by the sputtering method or E
B vapor deposition method or the like.
【００３７】補助電極は封止板６全面に形成されていて
も、凸部の上にのみ形成されていても良い。補助電極を
全面に形成する場合は、補助電極が断線しないようにす
るため、凸部の断面形状はテーパーを有するなだらかな
台形であることが望ましい。The auxiliary electrode may be formed on the entire surface of the sealing plate 6 or may be formed only on the convex portion. When the auxiliary electrode is formed on the entire surface, it is desirable that the sectional shape of the convex portion is a gentle trapezoid having a taper in order to prevent the auxiliary electrode from being broken.
【００３８】補助電極を凸部の上にのみ形成する場合
は、アルミ等の金属材料を用いてもよく、その場合はよ
り低抵抗の補助電極とすることができる。この金属補助
電極の形成は、スパッタリング等により成膜された薄膜
をフォトリソグラフィーでエッチングすることによって
得られる。もしくは、メタルペーストを印刷焼成するな
どして形成しても良い。When the auxiliary electrode is formed only on the convex portion, a metal material such as aluminum may be used, and in that case, the auxiliary electrode having a lower resistance can be used. The formation of the metal auxiliary electrode can be obtained by etching a thin film formed by sputtering or the like by photolithography. Alternatively, it may be formed by printing and firing a metal paste.
【００３９】以下、（実施の形態１）と同様にして、基
板１と封止板６とを張り合わせて本実施の形態の有機Ｅ
Ｌ表示装置が完成する。Thereafter, in the same manner as (Embodiment 1), the substrate 1 and the sealing plate 6 are attached to each other, and the organic E of the present embodiment is attached.
The L display device is completed.
【００４０】なお、基板と封止板との間隙空間８を真空
もしくは減圧雰囲気にすると望ましいのは勿論である。Needless to say, it is desirable to make the gap space 8 between the substrate and the sealing plate a vacuum or reduced pressure atmosphere.
【００４１】（実施の形態３）図３は本発明に係る有機
ＥＬ表示装置の第３実施例を示す断面図である。図４の
Ａ−Ａ'線での断面を示している。(Third Embodiment) FIG. 3 is a sectional view showing a third embodiment of the organic EL display device according to the present invention. 5 shows a cross section taken along the line AA ′ of FIG. 4.
【００４２】基板１上に、表示電極２と、表示電極の一
部分を露出させるように隔壁３が形成され、表示電極上
にはＥＬ発光層を含む有機層４が形成され、さらに有機
層上と隔壁上にまたがって光透過性の上部電極５が形成
されている。基板に封着された光透過性の封止板６の対
向する面上には、突出する凸部９とその上に光透過性の
補助電極７を有し、隔壁３上の上部電極５と凸部９上の
補助電極７とが接続されている。なお、補助電極は封止
板６全面に形成されていても、凸部の上にのみ形成され
ていても良い。A display electrode 2 and a partition wall 3 are formed on the substrate 1 so as to expose a part of the display electrode. An organic layer 4 including an EL light emitting layer is formed on the display electrode. A light-transmissive upper electrode 5 is formed on the partition wall. On the opposite surface of the light-transmissive sealing plate 6 sealed to the substrate, the projecting convex portion 9 and the light-transmissive auxiliary electrode 7 are provided, and the upper electrode 5 on the partition wall 3 is formed. The auxiliary electrode 7 on the convex portion 9 is connected. The auxiliary electrode may be formed on the entire surface of the sealing plate 6 or may be formed only on the convex portion.
【００４３】本実施の形態３のそれぞれの構成要素の詳
細は、（実施の形態１）および（実施の形態２）で述べ
たものと同様であり、それらに準拠した方法で製造され
る。Details of the respective constituent elements of the third embodiment are the same as those described in (first embodiment) and (second embodiment), and they are manufactured by a method conforming to them.
【００４４】なお、基板と封止板との間隙空間８を真空
もしくは減圧雰囲気にすると望ましいのは勿論であるOf course, it is desirable to make the gap space 8 between the substrate and the sealing plate a vacuum or reduced pressure atmosphere.
【００４５】[0045]
【発明の効果】以上説明したように本発明の構成によれ
ば、有機層上の上部電極は封止板表面上の補助電極を介
して外部に引き出される。よって、ＩＴＯ等の透明導電
膜を上部電極上にスパッタリング成膜する必要がないた
め、有機ＥＬ層に何らのダメージを与えることない。よ
って、有機ＥＬ発光の効率不足や寿命短縮といった特性
の劣化を引き起こすことがない。以上により、本発明は
高い発光効率かつ長寿命である発光上取り出し型の有機
ＥＬ表示装置を実現するものである。As described above, according to the structure of the present invention, the upper electrode on the organic layer is led out through the auxiliary electrode on the surface of the sealing plate. Therefore, since it is not necessary to form a transparent conductive film such as ITO on the upper electrode by sputtering, no damage is given to the organic EL layer. Therefore, deterioration of characteristics such as insufficient efficiency of organic EL light emission and shortening of life is not caused. As described above, the present invention realizes a top emission type organic EL display device having high luminous efficiency and long life.
【図１】本発明の実施の形態１における有機ＥＬ表示装
置の構成を示す模式断面図FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of an organic EL display device according to a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の実施の形態２における有機ＥＬ表示装
置の構成を示す模式断面図FIG. 2 is a schematic sectional view showing a configuration of an organic EL display device according to a second embodiment of the present invention.
【図３】本発明の実施の形態３における有機ＥＬ表示装
置の構成を示す模式断面図FIG. 3 is a schematic sectional view showing a configuration of an organic EL display device according to a third embodiment of the present invention.
【図４】本発明による有機ＥＬ表示装置の一実施例を模
式的に示した平面図FIG. 4 is a plan view schematically showing an embodiment of the organic EL display device according to the present invention.
【図５】本発明による有機ＥＬ表示装置の一実施例を模
式的に示した平面図FIG. 5 is a plan view schematically showing an embodiment of the organic EL display device according to the present invention.
【図６】有機ＥＬ表示装置の一従来例の構成を示す模式
断面図FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of a conventional example of an organic EL display device.
【図７】図６の有機ＥＬ表示装置の画素が配置されたエ
リアを拡大して示した図FIG. 7 is an enlarged view of an area in which pixels of the organic EL display device of FIG. 6 are arranged.
１ 基板 ２ 表示電極 ３ 隔壁 ４ 有機層 ５ 上部電極 ６ 封止板 ７ 補助電極 ８ 基板と封止板との間隙空間 ９ 凸部 １０ 発光画素 １１ 画素が配置されたエリア １２ ＵＶ硬化樹脂 1 substrate 2 Display electrode 3 partitions 4 organic layers 5 Upper electrode 6 Sealing plate 7 Auxiliary electrode 8 Gap between substrate and sealing plate 9 convex 10 light emitting pixels Area where 11 pixels are arranged 12 UV curable resin
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０５Ｂ 33/10 Ｈ０５Ｂ 33/10 33/14 33/14 Ａ 33/22 33/22 Ｚ Ｆターム(参考） 3K007 AB03 AB11 AB17 AB18 BA06 CB01 CB03 DA01 DB03 EB00 FA01 FA02 5C094 AA04 AA07 AA31 AA43 BA27 CA19 DA12 DA13 DB04 DB05 EA04 EA05 EA07 FB01 FB12 FB15 FB20 GB10 5G435 AA01 AA03 AA14 AA17 BB05 CC09 HH01 HH12 HH14 HH20 KK05 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued Front Page (51) Int.Cl. 7 Identification Code FI Theme Coat (Reference) H05B 33/10 H05B 33/10 33/14 33/14 A 33/22 33/22 Z F Term (Reference) 3K007 AB03 AB11 AB17 AB18 BA06 CB01 CB03 DA01 DB03 EB00 FA01 FA02 5C094 AA04 AA07 AA31 AA43 BA27 CA19 DA12 DA13 DB04 DB05 EA04 EA05 EA07 FB01 FB12 FB15 FB20 HH20H15H20HAH
Claims (15)
トロルミネッセンス表示装置であって、前記発光画素に
対応する表示電極を表面上に備えた基板と、前記表示電
極上に形成されたエレクトロルミネッセンス発光層を含
む有機層と、前記有機層の上に形成された光透過性の上
部電極と、前記基板に対向して封着された光透過性の封
止板とを備え、前記封止板の前記基板に対向する面上に
は前記上部電極と電気的に接続された光透過性の補助電
極を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセ
ンス表示装置。1. An organic electroluminescence display device for displaying by means of light emitting pixels, comprising a substrate having display electrodes corresponding to the light emitting pixels on a surface thereof and an electroluminescent light emitting layer formed on the display electrodes. The substrate of the sealing plate, comprising an organic layer containing, a light-transmissive upper electrode formed on the organic layer, and a light-transmissive sealing plate sealed to face the substrate. An organic electroluminescent display device having a light-transmissive auxiliary electrode electrically connected to the upper electrode on a surface opposed to.
トロルミネッセンス表示装置であって、前記発光画素に
対応する表示電極を表面上に備えた基板と、前記表示電
極の少なくとも一部分を露出させるように形成された前
記基板上に突出する隔壁と、前記表示電極上に形成され
たエレクトロルミネッセンス発光層を含む有機層と、前
記有機層上と前記隔壁上にまたがって形成された光透過
性の上部電極と、前記基板に対向して封着された光透過
性の封止板とを備え、前記封止板の前記基板に対向する
面上には光透過性の補助電極を有し、前記上部電極と前
記補助電極とが隔壁上において接続されていることを特
徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置。2. An organic electroluminescence display device for displaying by means of light emitting pixels, which is formed so as to expose at least a part of a substrate having a display electrode corresponding to the light emitting pixel on a surface thereof. A partition wall protruding on the substrate, an organic layer including an electroluminescent light emitting layer formed on the display electrode, a light-transmissive upper electrode formed over the organic layer and the partition wall, A light-transmissive sealing plate that is sealed so as to face the substrate, and a light-transmissive auxiliary electrode is provided on the surface of the sealing plate that faces the substrate. An organic electroluminescence display device characterized in that the auxiliary electrode is connected on a partition wall.
トロルミネッセンス表示装置であって、前記発光画素に
対応する表示電極を表面上に備えた基板と、前記表示電
極上に形成されたエレクトロルミネッセンス発光層を含
む有機層と、前記有機層の上に形成された光透過性の上
部電極と、前記基板に対向して封着された光透過性の封
止板とを備え、前記封止板の前記基板に対向する面上に
は、突出した凸部と、前記凸部上の補助電極を有し、前
記上部電極と前記補助電極とが凸部上において接続され
ていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス
表示装置。3. An organic electroluminescence display device for displaying by means of light emitting pixels, comprising a substrate having a display electrode corresponding to the light emitting pixel on a surface thereof, and an electroluminescent light emitting layer formed on the display electrode. The substrate of the sealing plate, comprising an organic layer containing, a light-transmissive upper electrode formed on the organic layer, and a light-transmissive sealing plate sealed to face the substrate. On the surface opposite to the above, the organic electroluminescence having a protruding convex portion and an auxiliary electrode on the convex portion, wherein the upper electrode and the auxiliary electrode are connected on the convex portion. Display device.
トロルミネッセンス表示装置であって、前記発光画素に
対応する表示電極を表面上に備えた基板と、前記表示電
極の少なくとも一部分を露出させるように形成された前
記基板上に突出する隔壁と、前記表示電極上に形成され
たエレクトロルミネッセンス発光層を含む有機層と、前
記有機層上と前記隔壁上にまたがって形成された光透過
性の上部電極と、前記基板に対向して封着された光透過
性の封止板とを備え、前記封止板の前記基板に対向する
面上には、突出した凸部と、前記凸部上の補助電極を有
し、前記隔壁上の上部電極と前記凸部上の補助電極とが
接続されていることを特徴とする有機エレクトロルミネ
ッセンス表示装置。4. An organic electroluminescence display device for performing display by light emitting pixels, the substrate having a display electrode corresponding to the light emitting pixel on a surface thereof, and formed so as to expose at least a part of the display electrode. A partition wall protruding on the substrate, an organic layer including an electroluminescent light emitting layer formed on the display electrode, a light-transmissive upper electrode formed over the organic layer and the partition wall, A light-transmissive sealing plate that is sealed to face the substrate, and a protruding protrusion and an auxiliary electrode on the protrusion are provided on the surface of the sealing plate that faces the substrate. An organic electroluminescence display device having an upper electrode on the partition wall and an auxiliary electrode on the convex portion connected to each other.
保持されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれ
かに記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置。5. The organic electroluminescence display device according to claim 1, wherein a gap between the substrate and the sealing plate is held in vacuum.
からなることを特徴とする請求項２〜５のいずれかに記
載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置。6. The organic electroluminescence display device according to claim 2, wherein the partition wall or the convex portion is made of an insulating resin.
状もしくはメッシュ状に配置されたことを特徴とする請
求項２〜６のいずれかに記載の有機エレクトロルミネッ
センス表示装置。7. The organic electroluminescence display device according to claim 2, wherein the partition walls or the convex portions are arranged in a stripe shape or a mesh shape.
を特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の有機エレ
クトロルミネッセンス表示装置。8. The organic electroluminescence display device according to claim 1, wherein the auxiliary electrode is made of a metal oxide.
その合金からなる極薄膜を有することを特徴とする請求
項１〜８のいずれかに記載の有機エレクトロルミネッセ
ンス表示装置。9. The organic electroluminescence display device according to claim 1, wherein the upper electrode has an extremely thin film made of an electron injecting metal or an alloy thereof.
くはアルカリ金属元素を含むことを特徴とする請求項１
〜８のいずれかに記載の有機エレクトロルミネッセンス
表示装置。10. The upper electrode contains an alkaline earth element or an alkali metal element.
9. The organic electroluminescence display device according to any one of items 8 to 8.
クトロルミネッセンス表示装置の製造方法であって、前
記発光画素に対応する表示電極、前記表示電極上のエレ
クトロルミネッセンス発光層を含む有機層および前記有
機層上の光透過性上部電極とを備えた基板と対向させ
て、光透過性の補助電極を備えた封止板を封着する工程
と、前記上部電極と前記補助電極とを電気的に接続する
工程と、を有することを特徴とする有機エレクトロルミ
ネッセンス表示装置の製造方法。11. A method of manufacturing an organic electroluminescent display device for displaying by means of light emitting pixels, comprising a display electrode corresponding to the light emitting pixel, an organic layer including an electroluminescent light emitting layer on the display electrode, and the organic layer. A step of sealing a sealing plate having a light-transmissive auxiliary electrode facing the substrate having the light-transmissive upper electrode, and electrically connecting the upper electrode and the auxiliary electrode. And a method for manufacturing an organic electroluminescence display device, comprising:
クトロルミネッセンス表示装置の製造方法であって、前
記発光画素に対応する表示電極を表面上に備えた基板上
に、前記表示電極の少なくとも一部分を露出させて隔壁
を形成する工程と、前記表示電極上にエレクトロルミネ
ッセンス発光層を含む有機層を形成する工程と、前記有
機層上と前記隔壁上にまたがって光透過性の上部電極を
形成する工程と、前記基板に対向させて補助電極を有す
る光透過性の封止板を封着するとともに、前記上部電極
と前記補助電極とを隔壁上において接続する工程を有す
ることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示
装置の製造方法。12. A method for manufacturing an organic electroluminescence display device for displaying by means of light emitting pixels, comprising exposing at least a part of the display electrodes on a substrate having display electrodes corresponding to the light emitting pixels on its surface. A step of forming a partition wall, a step of forming an organic layer including an electroluminescent light-emitting layer on the display electrode, a step of forming a light-transmissive upper electrode over the organic layer and the partition wall, An organic electroluminescence display device comprising a step of sealing a light-transmissive sealing plate having an auxiliary electrode facing the substrate and connecting the upper electrode and the auxiliary electrode on a partition wall. Manufacturing method.
クトロルミネッセンス表示装置の製造方法であって、前
記発光画素に対応する表示電極を表面上に備えた基板上
に、エレクトロルミネッセンス発光層を含む有機層を形
成する工程と、前記有機層上に光透過性の上部電極を形
成する工程と、光透過性の封止板の表面に突出した凸部
を形成し、さらに少なくとも前記凸部表面上に補助電極
を形成する工程と、前記基板に対向させて前記封止板を
封着するとともに、前記上部電極と前記補助電極とを凸
部上において接続する工程を有することを特徴とする有
機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。13. A method of manufacturing an organic electroluminescence display device for displaying by means of light emitting pixels, comprising: an organic layer including an electroluminescent light emitting layer on a substrate having display electrodes corresponding to the light emitting pixels on a surface thereof. A step of forming, a step of forming a light-transmissive upper electrode on the organic layer, a projecting convex portion is formed on the surface of a light-transmissive sealing plate, and an auxiliary electrode is formed on at least the convex portion surface. And a step of sealing the sealing plate so as to face the substrate and connecting the upper electrode and the auxiliary electrode on the convex portion, the organic electroluminescence display device. Manufacturing method.
クトロルミネッセンス表示装置の製造方法であって、前
記発光画素に対応する表示電極を表面上に備えた基板上
に、前記表示電極の少なくとも一部分を露出させて隔壁
を形成する工程と、前記表示電極上にエレクトロルミネ
ッセンス発光層を含む有機層を形成する工程と、前記有
機層上と前記隔壁上にまたがって光透過性の上部電極を
形成する工程と、光透過性の封止板の表面に突出した凸
部を形成し、さらに少なくとも前記凸部表面上に補助電
極を形成する工程と、前記基板に対向させて前記封止板
を封着するとともに、前記隔壁上の上部電極と前記凸部
上の補助電極とを接続する工程を有することを特徴とす
る有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。14. A method of manufacturing an organic electroluminescent display device for displaying by means of light emitting pixels, comprising exposing at least a part of the display electrodes on a substrate having display electrodes corresponding to the light emitting pixels on a surface thereof. A step of forming a partition wall, a step of forming an organic layer including an electroluminescent light-emitting layer on the display electrode, a step of forming a light-transmissive upper electrode over the organic layer and the partition wall, Forming a protruding portion on the surface of the light-transmissive sealing plate, further forming an auxiliary electrode on at least the surface of the protruding portion, and sealing the sealing plate facing the substrate, A method of manufacturing an organic electroluminescence display device, comprising a step of connecting an upper electrode on the partition wall and an auxiliary electrode on the convex portion.
程を真空中で行なうことを特徴とする請求項１１〜１４
のいずれかに記載の有機エレクトロルミネッセンス表示
装置。15. The method according to claim 11, wherein the step of sealing the substrate and the sealing plate is performed in a vacuum.
5. The organic electroluminescence display device according to any one of 1.
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|---|---|
| JP (1) | JP2003092192A (en) |
Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004241160A (en) * | 2003-02-03 | 2004-08-26 | Sanyo Electric Co Ltd | Organic electroluminescent device |
| JP2005158708A (en) * | 2003-11-25 | 2005-06-16 | Samsung Sdi Co Ltd | Organic electroluminescent display device |
| JPWO2003105113A1 (en) * | 2002-06-10 | 2005-10-13 | セイコーエプソン株式会社 | Electro-optical device manufacturing method, electro-optical device and electronic apparatus manufactured by the manufacturing method |
| JP2006318776A (en) * | 2005-05-13 | 2006-11-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | Organic electroluminescent display device |
| JP2007103164A (en) * | 2005-10-04 | 2007-04-19 | Tohoku Pioneer Corp | Self-luminous panel and method of manufacturing self-luminous panel |
| WO2008126267A1 (en) * | 2007-03-30 | 2008-10-23 | Pioneer Corporation | Light emitting device |
| JP2009506480A (en) * | 2005-05-23 | 2009-02-12 | トムソン ライセンシング | Luminescent panel for illumination or image display with composite transparent upper electrode |
| EP2178124A1 (en) * | 2008-10-17 | 2010-04-21 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Organic light emitting display |
| KR20100051485A (en) * | 2008-11-07 | 2010-05-17 | 엘지디스플레이 주식회사 | Top emission type organic electroluminescent device |
| WO2012023177A1 (en) * | 2010-08-17 | 2012-02-23 | パイオニア株式会社 | Organic light emitting element |
| US8258523B2 (en) | 2010-07-29 | 2012-09-04 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Display device and organic light emitting diode display |
| CN103531717A (en) * | 2013-10-25 | 2014-01-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | OLED display device and manufacturing method thereof |
| US8847246B2 (en) | 2010-05-28 | 2014-09-30 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light emitting diode display |
| JP2014186844A (en) * | 2013-03-22 | 2014-10-02 | Japan Display Inc | Organic electroluminescent display device |
| CN104821329A (en) * | 2015-05-04 | 2015-08-05 | 深圳市华星光电技术有限公司 | Oled display device |
| US9117785B2 (en) | 2013-11-22 | 2015-08-25 | Samsung Display Co., Ltd. | Display device and method of manufacturing the same |
| JP2017103256A (en) * | 2011-02-09 | 2017-06-08 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | Light-emitting device |
| KR101747737B1 (en) * | 2008-06-24 | 2017-06-16 | 엘지디스플레이 주식회사 | Luminescence dispaly panel and fabricating method of the same |
| JP2017142999A (en) * | 2016-02-10 | 2017-08-17 | セイコーエプソン株式会社 | Electro-optic device and electronic equipment |
| JP2020531885A (en) * | 2017-08-31 | 2020-11-05 | 京東方科技集團股▲ふん▼有限公司Ｂｏｅ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｇｒｏｕｐ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． | Display board and its manufacturing method, display panel |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000223278A (en) * | 1999-01-28 | 2000-08-11 | Nec Corp | Organic electroluminescent element and panel |
| JP2001085163A (en) * | 1999-09-20 | 2001-03-30 | Sony Corp | Organic electroluminescent element, its manufacturing method, and display device |
| JP2001176657A (en) * | 1999-12-16 | 2001-06-29 | Toppan Printing Co Ltd | Substrate for organic electroluminescent display element and organic electroluminescence display element |
| JP2001230086A (en) * | 2000-02-16 | 2001-08-24 | Idemitsu Kosan Co Ltd | Active drive organic electroluminescence device and its manufacturing method |
| WO2001063975A1 (en) * | 2000-02-25 | 2001-08-30 | Seiko Epson Corporation | Organic el device and method of manufacture thereof |
| JP2003068472A (en) * | 2001-08-29 | 2003-03-07 | Hitachi Ltd | Organic light-emitting element and organic light-emitting display using it |
-
2001
- 2001-09-18 JP JP2001283281A patent/JP2003092192A/en active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000223278A (en) * | 1999-01-28 | 2000-08-11 | Nec Corp | Organic electroluminescent element and panel |
| JP2001085163A (en) * | 1999-09-20 | 2001-03-30 | Sony Corp | Organic electroluminescent element, its manufacturing method, and display device |
| JP2001176657A (en) * | 1999-12-16 | 2001-06-29 | Toppan Printing Co Ltd | Substrate for organic electroluminescent display element and organic electroluminescence display element |
| JP2001230086A (en) * | 2000-02-16 | 2001-08-24 | Idemitsu Kosan Co Ltd | Active drive organic electroluminescence device and its manufacturing method |
| WO2001063975A1 (en) * | 2000-02-25 | 2001-08-30 | Seiko Epson Corporation | Organic el device and method of manufacture thereof |
| JP2003068472A (en) * | 2001-08-29 | 2003-03-07 | Hitachi Ltd | Organic light-emitting element and organic light-emitting display using it |
Cited By (32)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4491785B2 (en) * | 2002-06-10 | 2010-06-30 | セイコーエプソン株式会社 | Manufacturing method of electro-optical device |
| JPWO2003105113A1 (en) * | 2002-06-10 | 2005-10-13 | セイコーエプソン株式会社 | Electro-optical device manufacturing method, electro-optical device and electronic apparatus manufactured by the manufacturing method |
| JP2004241160A (en) * | 2003-02-03 | 2004-08-26 | Sanyo Electric Co Ltd | Organic electroluminescent device |
| JP2005158708A (en) * | 2003-11-25 | 2005-06-16 | Samsung Sdi Co Ltd | Organic electroluminescent display device |
| JP2006318776A (en) * | 2005-05-13 | 2006-11-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | Organic electroluminescent display device |
| JP2009506480A (en) * | 2005-05-23 | 2009-02-12 | トムソン ライセンシング | Luminescent panel for illumination or image display with composite transparent upper electrode |
| KR101292144B1 (en) * | 2005-05-23 | 2013-08-09 | 톰슨 라이센싱 | Light-emitting panel for illuminating or displaying images provided with a composite transparent upper electrode |
| JP2007103164A (en) * | 2005-10-04 | 2007-04-19 | Tohoku Pioneer Corp | Self-luminous panel and method of manufacturing self-luminous panel |
| US8227974B2 (en) | 2007-03-30 | 2012-07-24 | Pioneer Corporation | Light emitting apparatus with an organic electroluminescence cell |
| US8405302B2 (en) | 2007-03-30 | 2013-03-26 | Pioneer Corporation | Light emitting apparatus with an organic electroluminescence cell |
| WO2008126267A1 (en) * | 2007-03-30 | 2008-10-23 | Pioneer Corporation | Light emitting device |
| KR101747737B1 (en) * | 2008-06-24 | 2017-06-16 | 엘지디스플레이 주식회사 | Luminescence dispaly panel and fabricating method of the same |
| JP2010097925A (en) * | 2008-10-17 | 2010-04-30 | Samsung Mobile Display Co Ltd | Organic light emitting display device |
| EP2178124A1 (en) * | 2008-10-17 | 2010-04-21 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Organic light emitting display |
| KR20100051485A (en) * | 2008-11-07 | 2010-05-17 | 엘지디스플레이 주식회사 | Top emission type organic electroluminescent device |
| KR101672908B1 (en) * | 2008-11-07 | 2016-11-07 | 엘지디스플레이 주식회사 | Top emission type organic Electroluminescent Device |
| US8847246B2 (en) | 2010-05-28 | 2014-09-30 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light emitting diode display |
| US8258523B2 (en) | 2010-07-29 | 2012-09-04 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Display device and organic light emitting diode display |
| WO2012023177A1 (en) * | 2010-08-17 | 2012-02-23 | パイオニア株式会社 | Organic light emitting element |
| JP2017103256A (en) * | 2011-02-09 | 2017-06-08 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | Light-emitting device |
| US9397148B2 (en) | 2013-03-22 | 2016-07-19 | Japan Display Inc. | Organic electroluminescence display device |
| JP2014186844A (en) * | 2013-03-22 | 2014-10-02 | Japan Display Inc | Organic electroluminescent display device |
| US10236336B2 (en) | 2013-03-22 | 2019-03-19 | Japan Display Inc. | Organic electroluminescence display device with spacers |
| WO2015058571A1 (en) * | 2013-10-25 | 2015-04-30 | 京东方科技集团股份有限公司 | Oled display device and manufacturing method thereof |
| CN103531717A (en) * | 2013-10-25 | 2014-01-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | OLED display device and manufacturing method thereof |
| US9905797B2 (en) | 2013-10-25 | 2018-02-27 | Boe Technology Group Co., Ltd. | OLED display device and fabrication method thereof |
| US9117785B2 (en) | 2013-11-22 | 2015-08-25 | Samsung Display Co., Ltd. | Display device and method of manufacturing the same |
| CN104821329A (en) * | 2015-05-04 | 2015-08-05 | 深圳市华星光电技术有限公司 | Oled display device |
| JP2017142999A (en) * | 2016-02-10 | 2017-08-17 | セイコーエプソン株式会社 | Electro-optic device and electronic equipment |
| JP2020531885A (en) * | 2017-08-31 | 2020-11-05 | 京東方科技集團股▲ふん▼有限公司Ｂｏｅ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｇｒｏｕｐ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． | Display board and its manufacturing method, display panel |
| US11245094B2 (en) | 2017-08-31 | 2022-02-08 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Display substrate and manufacture method thereof, display panel |
| JP7196098B2 (en) | 2017-08-31 | 2022-12-26 | 京東方科技集團股▲ふん▼有限公司 | Display substrate and its manufacturing method, display panel |
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