JPH11260546A - Organic el element - Google Patents

Organic el element

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JPH11260546A
JPH11260546A JP10074936A JP7493698A JPH11260546A JP H11260546 A JPH11260546 A JP H11260546A JP 10074936 A JP10074936 A JP 10074936A JP 7493698 A JP7493698 A JP 7493698A JP H11260546 A JPH11260546 A JP H11260546A
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JP
Japan
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layer
organic
electrode
aluminum
quinolinolato
Prior art date
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Withdrawn
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JP10074936A
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Japanese (ja)
Inventor
Michio Arai
三千男 荒井
Mitsufumi Kodama
光文 小玉
Kenji Nakatani
賢司 中谷
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TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electrode structure of an organic EL element which does not cause display quality deterioration such as expansion of non- electroluminescent regions by stably protecting an electron injection electrode layer and suppressing alteration with the lapse of time. SOLUTION: This organic EL element comprises a hole injection electrode 2, an electron injection electrode 4, and one or more types of organic layers 3 formed between these electrodes and further comprises a wiring electrode 5 and a buffer layer 6 and a sealing layer 7 successively formed on the electron injection electrode 4. The metal material used for forming the buffer layer 6 is a metal easier to be oxidized than that of the sealing layer 7.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、情報表示パネル、
自動車用の計器パネル、動画・静止画を表示させるディ
スプレイ等、家電製品、自動車、二輪車電装品に使用さ
れ、有機化合物を用いて構成された有機EL素子に関す
る。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to an information display panel,
The present invention relates to an organic EL device which is used for home electric appliances, automobiles, and electric components for motorcycles, such as an instrument panel for an automobile, a display for displaying a moving image and a still image, and is configured using an organic compound.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、有機EL素子が盛んに研究され、
実用化されつつある。これは、錫ドープ酸化インジウム
(ITO)などの透明電極(ホール注入電極)上にトリ
フェニルジアミン(TPD)などのホール輸送材料を蒸
着により薄膜とし、さらにアルミキノリノール錯体(A
lq3 )などの蛍光物質を発光層として積層し、さらに
Mgなどの仕事関数の小さな金属電極(電子注入電極)
を形成した基本構成を有する素子で、10V 前後の電圧
で数100から数10000cd/m2 ときわめて高い輝度
が得られることで、家電製品、自動車、二輪車電装品等
のディスプレイとして注目されている。
2. Description of the Related Art In recent years, organic EL devices have been actively studied,
It is being put to practical use. In this method, a hole transport material such as triphenyldiamine (TPD) is formed into a thin film on a transparent electrode (hole injection electrode) such as tin-doped indium oxide (ITO) by vapor deposition, and then an aluminum quinolinol complex (A
1q3) as a light emitting layer, and a metal electrode such as Mg having a small work function (electron injection electrode)
This element has a basic structure and has a very high luminance of several hundreds to several tens of thousands cd / m 2 at a voltage of about 10 V, and thus has attracted attention as a display for home electric appliances, automobiles, motorcycle electric components and the like.

【0003】有機EL素子は、例えば図2に示すよう
に、基板1上にITO等のホール注入電極層2を有し、
さらにその上にホール注入輸送層、発光層、電子注入輸
送層等の有機層3を有する。そして、この有機層2の上
に電子注入電極層4を有し、必要により配線電極層ある
いは保護層5を有する。また、ガラス等の封止板9を封
止用接着剤8等により固定し、封止を行っている。な
お、実際の有機EL素子は、厚さ数100nm〜数10μ
m 程度の薄膜構造体であり、ドットマトリクス、あるい
はセグメント構造等、その使用目的により所定の大き
さ、形状に形成されている。
[0003] The organic EL element has a hole injection electrode layer 2 of ITO or the like on a substrate 1 as shown in FIG.
Further, an organic layer 3 such as a hole injection transport layer, a light emitting layer, and an electron injection transport layer is provided thereon. Then, an electron injection electrode layer 4 is provided on the organic layer 2 and, if necessary, a wiring electrode layer or a protective layer 5 is provided. Further, sealing is performed by fixing a sealing plate 9 made of glass or the like with a sealing adhesive 8 or the like. The actual organic EL element has a thickness of several 100 nm to several tens μm.
The thin film structure has a size of about m and is formed in a predetermined size and shape depending on the intended use, such as a dot matrix or a segment structure.

【0004】このような有機EL素子を製造する場合、
先ずITO等のホール注入電極や必要により補助電極等
を成膜した後、所望の発光輝度、発光スペクトルを与え
る有機層を成膜し、さらに電子注入電極を成膜する。そ
して、必要により、配線電極層あるいは保護層が成膜さ
れる。
When manufacturing such an organic EL device,
First, after forming a hole injection electrode such as ITO, an auxiliary electrode and the like as necessary, an organic layer giving a desired emission luminance and emission spectrum is formed, and further, an electron injection electrode is formed. Then, if necessary, a wiring electrode layer or a protective layer is formed.

【0005】ところで、電子注入電極には、通常、仕事
関数の低い金属が用いられているが、このような金属は
酸化し易く、他の物質と反応性の高いものが多い。この
ため、有機EL素子の製造工程で、電子注入電極成膜後
の有機EL構造体を外気にさらした場合、この電子注入
電極が即座に酸化され、使えなくなってしまう。従っ
て、有機EL構造体を常に外気と遮断した状態で取り扱
わなければならず、製造作業を極めて困難なものとして
いた。
[0005] By the way, a metal having a low work function is usually used for the electron injection electrode. Such a metal is easily oxidized and has high reactivity with other substances in many cases. For this reason, when the organic EL structure after the formation of the electron injection electrode is exposed to the outside air in the manufacturing process of the organic EL element, the electron injection electrode is immediately oxidized and becomes unusable. Therefore, the organic EL structure must always be handled in a state of being shielded from the outside air, which makes the manufacturing operation extremely difficult.

【0006】また、この電子注入電極は、有機EL素子
の製造後、封止された後でも有機EL構造体や、ガラス
基板、あるいは封止板や封止用接着剤等から生じるアウ
トガスと反応してしまい、少しずつ腐食したり、変質し
たりしてしまう。そして、このような腐食ないし変質が
進行するに従い、発光面の非発光領域が拡大し、輝度や
コントラストが低下したり、ついには発光しない画素が
生じるなど、有機EL素子の画質や寿命を低下させる要
因となっていた。
The electron injection electrode reacts with an outgas generated from an organic EL structure, a glass substrate, a sealing plate, a sealing adhesive or the like even after the organic EL element is manufactured and sealed. It is corroded and deteriorated little by little. As such corrosion or deterioration progresses, the non-light-emitting area of the light-emitting surface expands, lowering the brightness and contrast, and eventually causing pixels that do not emit light, thereby deteriorating the image quality and life of the organic EL element. Was a factor.

【0007】有機EL素子の電子注入電極上に、保護電
極や封止膜等を形成する試みも種々なされているが、十
分な保護がなされているものは少なく、上記のようなア
ウトガスによる経時的な変化に対応しうるものは得られ
ていない。
Various attempts have been made to form a protective electrode, a sealing film, and the like on the electron injection electrode of the organic EL element, but few of them have been sufficiently protected. Nothing has been obtained that can respond to major changes.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、電子
注入電極層を安定に保護すると共に、経時変化を抑え、
非発光領域の拡大等といった表示品質の低下のない有機
EL素子の電極構造を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to stably protect an electron injecting electrode layer, suppress a change with time,
An object of the present invention is to provide an electrode structure of an organic EL element that does not cause a decrease in display quality such as expansion of a non-light emitting region.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的は以下の構成に
より達成される。 (1) ホール注入電極と電子注入電極と、これらの電
極間に1種以上の有機層とを有する有機EL素子であっ
て、前記電子注入電極の上にはさらに配線電極と、緩衝
層と封止層とが順次成膜され、前記緩衝層の構成金属材
料が前記封止層よりも酸化され易い金属である有機EL
素子。 (2) 前記緩衝層は、電子注入電極構成材料を含有す
る上記(1)の有機EL素子。 (3) 前記封止層は、アルミニウムを含有する上記
(1)または(2)の有機EL素子。
The above object is achieved by the following constitution. (1) An organic EL device having a hole injection electrode, an electron injection electrode, and at least one organic layer between these electrodes, wherein a wiring electrode, a buffer layer, and a sealing layer are further provided on the electron injection electrode. An organic EL, wherein a metal layer constituting the buffer layer is a metal which is more easily oxidized than the sealing layer.
element. (2) The organic EL device according to (1), wherein the buffer layer contains a material for constituting an electron injection electrode. (3) The organic EL device according to (1) or (2), wherein the sealing layer contains aluminum.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】本発明の有機EL素子、ホール注
入電極と電子注入電極と、これらの電極間に1種以上の
有機層とを有する有機EL素子の電極であって、前記電
子注入電極の上にはさらに配線電極と、緩衝層と封止層
とが順次成膜され、前記緩衝層の構成金属材料が前記封
止層よりも酸化され易い金属である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION An electrode of an organic EL device according to the present invention, comprising a hole injection electrode, an electron injection electrode, and one or more organic layers between these electrodes, wherein the electron injection electrode Further, a wiring electrode, a buffer layer, and a sealing layer are sequentially formed thereon, and the constituent metal material of the buffer layer is a metal that is more easily oxidized than the sealing layer.

【0011】電子注入電極上に成膜された配線電極上
に、さらに酸化し易い金属を構成材料とする緩衝層と封
止層とを形成することにより、封止後に発生したアウト
ガス等はこの緩衝層に吸収され電子注入電極を保護する
ことができる。
By forming a buffer layer and a sealing layer made of a metal which is more easily oxidized on a wiring electrode formed on the electron injection electrode, outgas and the like generated after sealing can be reduced by the buffer. It is absorbed by the layer and can protect the electron injection electrode.

【0012】電子注入電極としては、低仕事関数の物質
が好ましく、例えば、K、Li、Na、Mg、La、C
e、Ca、Sr、Ba、Al、Ag、In、Sn、Z
n、Zr等の金属元素単体、または安定性を向上させる
ためにそれらを含む2成分、3成分の合金系を用いるこ
とが好ましい。合金系としては、例えばAg・Mg(A
g:0.1〜50at%)、Al・Li(Li:0.01
〜12at%)、In・Mg(Mg:50〜80at%)、
Al・Ca(Ca:0.01〜20at%)等が好まし
い。なお、電子注入電極は蒸着法やスパッタ法で形成す
ることが可能である。
As the electron injection electrode, a substance having a low work function is preferable. For example, K, Li, Na, Mg, La, C
e, Ca, Sr, Ba, Al, Ag, In, Sn, Z
It is preferable to use a single metal element such as n or Zr, or a two-component or three-component alloy system containing them for improving the stability. As an alloy system, for example, Ag · Mg (A
g: 0.1 to 50 at%), Al.Li (Li: 0.01)
1212 at%), In · Mg (Mg: 50 to 80 at%),
Al.Ca (Ca: 0.01 to 20 at%) and the like are preferable. Note that the electron injection electrode can be formed by an evaporation method or a sputtering method.

【0013】電子注入電極薄膜の厚さは、電子注入を十
分行える一定以上の厚さとすれば良く、0.5nm以上、
好ましくは1nm以上とすればよい。また、その上限値に
は特に制限はないが、通常膜厚は1〜500nm程度とす
ればよい。電子注入電極の上には、さらに配線電極が設
けられる。
The thickness of the electron injecting electrode thin film may be a certain thickness or more for sufficiently injecting electrons.
Preferably, the thickness may be 1 nm or more. The upper limit is not particularly limited, but the thickness may be generally about 1 to 500 nm. A wiring electrode is further provided on the electron injection electrode.

【0014】配線電極層の構成金属材料としては、例え
ば、Al、Alおよび遷移金属、特にSc,Nb,Z
r,Hf,Nd,Ta,Cu,Si,Cr,Mo,M
n,Ni,Pd,Pt,W等を、好ましくはこれらの総
計が10at%以下、より好ましくは5at%以下、特に2
at%以下含有していてもよいアルミニウム基合金等を好
ましく挙げることができる。アルミニウムは低抵抗であ
り、配線電極層として用いた場合良好な効果が得られ
る。
As the constituent metal material of the wiring electrode layer, for example, Al, Al and transition metal, especially Sc, Nb, Z
r, Hf, Nd, Ta, Cu, Si, Cr, Mo, M
n, Ni, Pd, Pt, W, etc., preferably their total is 10 at% or less, more preferably 5 at% or less, especially 2 at% or less.
An aluminum-based alloy which may contain at% or less can be preferably mentioned. Aluminum has a low resistance, and when used as a wiring electrode layer, a good effect can be obtained.

【0015】配線電極の厚さは、電子注入効率を確保
し、水分や酸素あるいは有機溶媒の進入を防止するた
め、一定以上の厚さとすればよく、好ましくは50nm以
上、さらには100nm以上、特に100〜500nmの範
囲が好ましい。配線電極層が薄すぎると、その効果が得
られず、また、配線電極層の段差被覆性が低くなってし
まい、端子電極との接続が十分ではなくなる。一方、配
線電極層が厚すぎると、配線電極層の応力が大きくなる
ため、ダークスポットの成長速度が速くなってしまう。
The thickness of the wiring electrode may be a certain thickness or more, preferably 50 nm or more, more preferably 100 nm or more, in order to secure electron injection efficiency and prevent entry of moisture, oxygen or an organic solvent. A range from 100 to 500 nm is preferred. If the wiring electrode layer is too thin, the effect cannot be obtained, and the step coverage of the wiring electrode layer will be low, and the connection with the terminal electrode will not be sufficient. On the other hand, if the wiring electrode layer is too thick, the stress on the wiring electrode layer will increase, and the growth rate of dark spots will increase.

【0016】電子注入電極と配線電極とを合わせた全体
の厚さとしては、特に制限はないが、通常100〜10
00nm程度とすればよい。
The total thickness of the electron injection electrode and the wiring electrode is not particularly limited, but is usually 100 to 10
What is necessary is just to make it about 00 nm.

【0017】配線電極層の上には緩衝層が設けられる。
緩衝層の構成金属材料としては、水や雰囲気中のガスと
反応性が高く、あるいはこれらを吸着しうる材料が好ま
しい。また、後述する封止層の構成金属材料よりも酸化
されやすい材料である。このような緩衝層の金属材料と
しては、特に限定されるものではないが、上記電子注入
電極の構成材料と同様なものが好ましい。
A buffer layer is provided on the wiring electrode layer.
As a constituent metal material of the buffer layer, a material having high reactivity with water or gas in the atmosphere or capable of adsorbing them is preferable. Further, it is a material that is more easily oxidized than a constituent metal material of a sealing layer described later. The metal material of such a buffer layer is not particularly limited, but is preferably the same as the constituent material of the electron injection electrode.

【0018】緩衝層の厚さは、水分や酸素あるいは有機
溶媒、その他反応性のガスが進入しても、この緩衝層に
吸収され、それよりも下位(電子注入電極等)の層に侵
入するのを防止するため、一定以上の厚さとすればよ
く、好ましくは20nm以上、さらには20〜200nmの
範囲が好ましい。緩衝層が薄すぎると、その効果が得ら
れず、厚すぎると、緩衝層の応力が大きくなるため、ダ
ークスポットの成長速度が速くなってしまう。
The thickness of the buffer layer is such that even if moisture, oxygen, an organic solvent, or other reactive gas enters, it is absorbed by the buffer layer and penetrates into a lower layer (such as an electron injection electrode). In order to prevent this, the thickness may be set to a certain value or more, preferably 20 nm or more, and more preferably 20 to 200 nm. If the buffer layer is too thin, the effect cannot be obtained. If the buffer layer is too thick, the stress of the buffer layer increases, and the growth rate of dark spots increases.

【0019】緩衝層の上には封止層が設けられる。封止
層を構成する金属材料としては、緩衝層の材料よりも酸
化し難い材料であることが必要である。具体的には、緩
衝層の金属材料に対して、封止層の金属材料の酸化還元
曲線(例えばEllingham によって導入されRichardsonと
Jeffs によって発展されたものをいう。)が上位にある
関係である。
A sealing layer is provided on the buffer layer. The metal material forming the sealing layer needs to be a material that is less oxidizable than the material of the buffer layer. Specifically, for the metal material of the buffer layer, the oxidation-reduction curve of the metal material of the sealing layer (for example, introduced by Ellingham and Richardson
It was developed by Jeffs. ) Is the higher ranking relationship.

【0020】このような封止層の構成金属としては、特
に限定されるものではないが、Al,Ti,Niおよび
これらの金属との合金が好ましく、特にAlが好まし
い。Alはある程度酸化してもそこから先に酸化が進行
することがなく、封止効果が高い。
The constituent metal of such a sealing layer is not particularly limited, but Al, Ti, Ni and alloys of these metals are preferable, and Al is particularly preferable. Even if Al is oxidized to some extent, the oxidation does not proceed from there on, and the sealing effect is high.

【0021】封止層の厚さは、水分や酸素あるいは有機
溶媒、その他反応性や腐食性を有するガス等の進入を防
止するため、一定以上の厚さとすればよく、好ましくは
5nm以上、より好ましくは5〜100nm、特に10〜1
00nmの範囲が好ましい。封止層が薄すぎると、その効
果が得られず、厚すぎると、封止層の応力が大きくなる
ため、ダークスポットの成長速度が速くなってしまう。
The thickness of the sealing layer may be a certain thickness or more, preferably 5 nm or more, in order to prevent the entry of moisture, oxygen, an organic solvent, other reactive or corrosive gas and the like. Preferably 5-100 nm, especially 10-1
A range of 00 nm is preferred. If the sealing layer is too thin, the effect cannot be obtained. If the sealing layer is too thick, the stress of the sealing layer increases and the growth rate of dark spots increases.

【0022】これら、電子注入電極、配線電極層、緩衝
層および封止層を形成する方法としては、蒸着法により
形成することも可能であるが、スパッタ法を用いること
が好ましい。スパッタ法により上記各層を成膜した場
合、形成された電極層等は緻密な膜となり、粗な蒸着膜
に比較して膜中への水分の進入等が非常に少なく、化学
的安定性が高く、長寿命の電極構造が得られる。
The electron injection electrode, the wiring electrode layer, the buffer layer, and the sealing layer can be formed by a vapor deposition method, but it is preferable to use a sputtering method. When each of the above layers is formed by a sputtering method, the formed electrode layer and the like become a dense film, the penetration of moisture into the film is very small as compared with a coarse vapor deposition film, and the chemical stability is high. And a long-life electrode structure can be obtained.

【0023】スパッタ時のスパッタガスの圧力は、0.
1〜1Paの範囲が好ましい。スパッタガスは、通常のス
パッタ装置に使用される不活性ガスが使用できる。ま
た、封止層としてTiN膜等を成膜する場合、反応性ス
パッタを用いて成膜することができるが、この反応性ス
パッタでは、上記不活性ガスに加えてN2、NH3等の反
応性ガスが使用可能である。
The pressure of the sputtering gas at the time of sputtering is set to 0.1.
The range of 1 to 1 Pa is preferred. As the sputtering gas, an inert gas used in a usual sputtering apparatus can be used. When a TiN film or the like is formed as a sealing layer, the film can be formed by using reactive sputtering. In this reactive sputtering, in addition to the above-described inert gas, a reaction of N 2 , NH 3, or the like is performed. Neutral gas can be used.

【0024】スパッタ法としてはRF電源を用いた高周
波スパッタ法や、DCスパッタ法等の中から好適なスパ
ッタ法を用いて成膜すればよい。スパッタ装置の電力と
しては、好ましくはDCスパッタで0.1〜10W/cm
2、RFスパッタで10〜10W/cm2の範囲である。ま
た、成膜レートは5〜100nm/min 、特に10〜50
nm/min の範囲が好ましい。
As a sputtering method, a film may be formed by using a suitable sputtering method from among a high frequency sputtering method using an RF power source, a DC sputtering method and the like. The power of the sputtering apparatus is preferably 0.1 to 10 W / cm by DC sputtering.
2, in the range of 10~10W / cm 2 in RF sputtering. The film formation rate is 5 to 100 nm / min, especially 10 to 50 nm.
The range of nm / min is preferred.

【0025】上記各層を蒸着法で形成する場合、真空蒸
着の条件は特に限定されないが、10-4Pa以下の真空度
とし、蒸着速度は0.01〜1nm/sec 程度とすること
が好ましい。また、真空中で連続して各層を形成するこ
とが好ましい。真空中で連続して形成すれば、各層の界
面に不純物が吸着することを防げるため、高特性が得ら
れる。
When the above layers are formed by a vapor deposition method, the conditions for vacuum vapor deposition are not particularly limited, but it is preferable that the degree of vacuum is 10 -4 Pa or less and the vapor deposition rate is about 0.01 to 1 nm / sec. Further, it is preferable to form each layer continuously in a vacuum. If they are formed continuously in a vacuum, impurities can be prevented from adsorbing at the interface between the layers, so that high characteristics can be obtained.

【0026】本発明の有機EL素子は、マトリクスタイ
プのディスプレイやセグメントタイプのディスプレイ
等、種々の有機EL素子を用いたディスプレイに応用す
ることができる。
The organic EL device of the present invention can be applied to displays using various organic EL devices, such as a matrix type display and a segment type display.

【0027】次に、本発明の有機EL素子を構成する有
機EL構造体について説明する。
Next, the organic EL structure constituting the organic EL device of the present invention will be described.

【0028】本発明に用いられる有機EL構造体は、例
えば図1に示すように基板1上にITO等のホール注入
電極2と、ホール注入輸送層、発光層、電子注入輸送層
等の1種以上を有する有機層3と、電子注入電極4とを
有する。また、その上に配線電極層5と、緩衝層6と、
封止層7とを有する。また、この例では省略している
が、必要により図2に示すような封止板9が封止用接着
剤等により設けられる。
The organic EL structure used in the present invention is, for example, as shown in FIG. 1, a hole injecting electrode 2 such as ITO on a substrate 1 and one kind of a hole injecting and transporting layer, a light emitting layer, an electron injecting and transporting layer and the like. It has an organic layer 3 having the above and an electron injection electrode 4. Further, a wiring electrode layer 5, a buffer layer 6, and
And a sealing layer 7. Although omitted in this example, if necessary, a sealing plate 9 as shown in FIG. 2 is provided with a sealing adhesive or the like.

【0029】ホール注入電極は、通常基板側から発光し
た光を取り出す構成であるため、透明ないし半透明な電
極が好ましい。透明電極としては、ITO(錫ドープ酸
化インジウム)、IZO(亜鉛ドープ酸化インジウ
ム)、ZnO、SnO2 、In23 等が挙げられる
が、好ましくはITO(錫ドープ酸化インジウム)、I
ZO(亜鉛ドープ酸化インジウム)が好ましい。ITO
は、通常In2 3 とSnOとを化学量論組成で含有す
るが、O量は多少これから偏倚していてもよい。ITO
では通常、In23 とSnO2 とを化学量論組成で有
するが、酸素量は多少これから偏倚していてもよい。I
23 に対するSnO2 の混合比は、1〜20wt%、
さらには5〜12wt%が好ましい。また、IZOでのI
23 に対するZnO2 の混合比は、通常、12〜3
2wt%程度である。
Since the hole injection electrode is generally configured to extract light emitted from the substrate side, a transparent or translucent electrode is preferable. Examples of the transparent electrode include ITO (tin-doped indium oxide), IZO (zinc-doped indium oxide), ZnO, SnO 2 , In 2 O 3, and the like.
ZO (zinc-doped indium oxide) is preferred. ITO
Usually contains In 2 O 3 and SnO in a stoichiometric composition, but the O amount may be slightly deviated from this. ITO
Usually has In 2 O 3 and SnO 2 in a stoichiometric composition, but the oxygen amount may be slightly deviated from this. I
The mixing ratio of SnO 2 to n 2 O 3 is 1 to 20 wt%,
More preferably, the content is 5 to 12% by weight. In addition, IZO
The mixing ratio of ZnO 2 to n 2 O 3 is usually 12 to 3
It is about 2% by weight.

【0030】ホール注入電極の厚さは、ホール注入を十
分行える一定以上の厚さを有すれば良く、好ましくは5
0〜500nm、さらには50〜300nmの範囲が好まし
い。また、その上限は特に制限はないが、あまり厚いと
剥離などの心配が生じる。厚さが薄すぎると、製造時の
膜強度やホール輸送能力、抵抗値の点で問題がある。
The thickness of the hole injecting electrode may be a certain thickness or more that can sufficiently inject holes, and is preferably 5 or more.
The range is preferably from 0 to 500 nm, more preferably from 50 to 300 nm. The upper limit is not particularly limited, but if the thickness is too large, there is a fear of peeling or the like. If the thickness is too small, there is a problem in the film strength at the time of manufacturing, the hole transport ability, and the resistance value.

【0031】このホール注入電極層は蒸着法等によって
も形成できるが、好ましくはスパッタ法、特にDCスパ
ッタ、パルススパッタ法により形成することが好まし
い。
The hole injecting electrode layer can be formed by a vapor deposition method or the like, but is preferably formed by a sputtering method, in particular, a DC sputtering method or a pulse sputtering method.

【0032】電極成膜後に、前記封止層に加えて、Si
X 等の無機材料、テフロン、塩素を含むフッ化炭素重
合体等の有機材料等を用いた保護膜を形成してもよい。
保護膜は透明でも不透明であってもよく、保護膜の厚さ
は50〜1200nm程度とする。保護膜は、前記の反応
性スパッタ法の他に、一般的なスパッタ法、蒸着法、P
ECVD法等により形成すればよい。
After electrode formation, in addition to the sealing layer, Si
Inorganic materials O X such as Teflon, a protective film may be formed using an organic material such as fluorocarbon polymers containing chlorine.
The protective film may be transparent or opaque, and the thickness of the protective film is about 50 to 1200 nm. The protective film can be formed by a general sputtering method, a vapor deposition method,
It may be formed by an ECVD method or the like.

【0033】さらに、素子の有機層や電極の酸化を防い
だり、機械的ダメージから保護するために、素子上に封
止板を設けることが好ましい。封止板は、湿気の侵入を
防ぐために、接着性樹脂等を用いて接着し密封する。封
止ガスは、Ar、He、N2等の不活性ガス等が好まし
い。また、この封止ガスの水分含有量は、100ppm
以下、より好ましくは10ppm以下、特には1ppm
以下であることが好ましい。この水分含有量に下限値は
特にないが、通常0.1ppm程度である。
Further, it is preferable to provide a sealing plate on the device in order to prevent oxidation of the organic layer and the electrode of the device and to protect the device from mechanical damage. The sealing plate is bonded and sealed with an adhesive resin or the like in order to prevent moisture from entering. The sealing gas is preferably an inert gas such as Ar, He, and N 2 . The sealing gas has a water content of 100 ppm.
Or less, more preferably 10 ppm or less, particularly 1 ppm
The following is preferred. Although there is no particular lower limit for the water content, it is usually about 0.1 ppm.

【0034】封止板の材料としては、好ましくは平板状
であって、ガラスや石英、樹脂等の透明ないし半透明材
料が挙げられるが、特にガラスが好ましい。このような
ガラス材として、アルカリガラスが好ましいが、この
他、ソーダ石灰ガラス、鉛アルカリガラス、ホウケイ酸
ガラス、アルミノケイ酸ガラス、シリカガラス等のガラ
ス組成のものも好ましい。また、その製板方法として
は、ロールアウト法、ダウンロード法、フュージョン
法、フロート法等が好ましい。ガラス材の表面処理法と
しては、研磨加工処理、SiO2バリヤーコート処理等
が好ましい。これらの中でも、フロート法で製板された
ソーダ石灰ガラスで、表面処理の無いガラス材が安価に
使用でき、好ましい。封止板としては、ガラス板以外に
も、金属板、プラスチック板等を用いることもできる。
The material of the sealing plate is preferably a flat plate, and may be a transparent or translucent material such as glass, quartz, resin, etc., and glass is particularly preferred. As such a glass material, an alkali glass is preferable, and in addition, a glass composition such as soda-lime glass, lead-alkali glass, borosilicate glass, aluminosilicate glass, and silica glass is also preferable. As the plate making method, a roll-out method, a download method, a fusion method, a float method, or the like is preferable. As a surface treatment method for the glass material, a polishing treatment, a SiO 2 barrier coat treatment, or the like is preferable. Among them, soda-lime glass produced by a float method and having no surface treatment can be used at a low cost, and is preferable. As the sealing plate, other than a glass plate, a metal plate, a plastic plate, or the like can be used.

【0035】封止板は、スペーサーを用いて高さを調整
し、所望の高さに保持してもよい。スペーサーの材料と
しては、樹脂ビーズ、シリカビーズ、ガラスビーズ、ガ
ラスファイバー等が挙げられ、特にガラスビーズ等が好
ましい。スペーサーは、通常、粒径の揃った粒状物であ
るが、その形状は特に限定されるものではなく、スペー
サーとしての機能に支障のないものであれば種々の形状
であってもよい。その大きさとしては、円換算の直径が
1〜20μm 、より好ましくは1〜10μm 、特に2〜
8μm が好ましい。このような直径のものは、粒長10
0μm 以下程度であることが好ましく、その下限は特に
規制されるものではないが、通常1μm程度である。
The sealing plate may be maintained at a desired height by adjusting the height using a spacer. Examples of the material of the spacer include resin beads, silica beads, glass beads, and glass fibers, and glass beads are particularly preferable. The spacer is usually a granular material having a uniform particle size, but the shape is not particularly limited, and may be various shapes as long as it does not hinder the function as the spacer. As the size, the diameter in terms of a circle is 1 to 20 μm, more preferably 1 to 10 μm, and especially 2 to 20 μm.
8 μm is preferred. Those having such a diameter have a grain length of 10
It is preferably about 0 μm or less, and the lower limit is not particularly limited, but is usually about 1 μm.

【0036】なお、封止板に凹部を形成した場合には、
スペーサーは使用しても、使用しなくてもよい。使用す
る場合の好ましい大きさとしては、前記範囲でよいが、
特に2〜8μm の範囲が好ましい。
When a recess is formed in the sealing plate,
Spacers may or may not be used. The preferred size when used is within the above range,
Particularly, the range of 2 to 8 μm is preferable.

【0037】スペーサーは、予め封止用接着剤中に混入
されていても、接着時に混入してもよい。封止用接着剤
中におけるスペーサーの含有量は、好ましくは0.01
〜30wt%、より好ましくは0.1〜5wt%である。
The spacer may be previously mixed into the sealing adhesive or may be mixed during bonding. The content of the spacer in the sealing adhesive is preferably 0.01
-30 wt%, more preferably 0.1-5 wt%.

【0038】接着剤としては、安定した接着強度が保
て、気密性が良好なものであれば特に限定されるもので
はないが、カチオン硬化タイプの紫外線硬化型エポキシ
樹脂接着剤を用いることが好ましい。
The adhesive is not particularly limited as long as it can maintain stable adhesive strength and has good airtightness, but it is preferable to use a cationic curing type ultraviolet curing epoxy resin adhesive. .

【0039】基板材料としては特に限定するものではな
く、積層する有機EL構造体の電極の材質等により適宜
決めることができ、例えば、Al等の金属材料や、ガラ
ス、石英や樹脂等の透明ないし半透明材料、あるいは不
透明であってもよく、この場合はガラス等のほか、アル
ミナ等のセラミックス、ステンレス等の金属シートに表
面酸化などの絶縁処理を施したもの、フェノール樹脂等
の熱硬化性樹脂、ポリカーボネート等の熱可塑性樹脂な
どを用いることができる。
The substrate material is not particularly limited, and can be appropriately determined depending on the material of the electrodes of the organic EL structure to be laminated. For example, a metal material such as Al or a transparent or transparent material such as glass, quartz or resin is used. The material may be translucent or opaque. In this case, in addition to glass, ceramics such as alumina, metal sheets such as stainless steel are subjected to insulation treatment such as surface oxidation, and thermosetting resins such as phenolic resin And a thermoplastic resin such as polycarbonate.

【0040】次に、有機EL素子に設けられる有機物層
について述べる。発光層は、ホール(正孔)および電子
の注入機能、それらの輸送機能、ホールと電子の再結合
により励起子を生成させる機能を有する。発光層には、
比較的電子的にニュートラルな化合物を用いることが好
ましい。
Next, the organic layer provided in the organic EL device will be described. The light emitting layer has a function of injecting holes (holes) and electrons, a function of transporting them, and a function of generating excitons by recombination of holes and electrons. In the light emitting layer,
It is preferable to use a relatively electronically neutral compound.

【0041】ホール注入輸送層は、ホール注入電極から
のホールの注入を容易にする機能、ホールを安定に輸送
する機能および電子を妨げる機能を有するものであり、
電子注入輸送層は、陰電極からの電子の注入を容易にす
る機能、電子を安定に輸送する機能およびホールを妨げ
る機能を有するものである。これらの層は、発光層に注
入されるホールや電子を増大・閉じこめさせ、再結合領
域を最適化させ、発光効率を改善する。
The hole injecting and transporting layer has a function of facilitating the injection of holes from the hole injecting electrode, a function of stably transporting holes, and a function of preventing electrons.
The electron injection / transport layer has a function of facilitating the injection of electrons from the negative electrode, a function of stably transporting electrons, and a function of preventing holes. These layers increase and confine holes and electrons injected into the light emitting layer, optimize the recombination region, and improve luminous efficiency.

【0042】発光層の厚さ、ホール注入輸送層の厚さお
よび電子注入輸送層の厚さは、特に制限されるものでは
なく、形成方法によっても異なるが、通常5〜500nm
程度、特に10〜300nmとすることが好ましい。
The thickness of the light emitting layer, the thickness of the hole injecting and transporting layer, and the thickness of the electron injecting and transporting layer are not particularly limited and vary depending on the forming method.
It is preferable that the thickness be in the range of 10 to 300 nm.

【0043】ホール注入輸送層の厚さおよび電子注入輸
送層の厚さは、再結合・発光領域の設計によるが、発光
層の厚さと同程度または1/10〜10倍程度とすれば
よい。ホールまたは電子の各々の注入層と輸送層とを分
ける場合は、注入層は1nm以上、輸送層は1nm以上とす
るのが好ましい。このときの注入層、輸送層の厚さの上
限は、通常、注入層で500nm程度、輸送層で500nm
程度である。このような膜厚については、注入輸送層を
2層設けるときも同じである。
The thickness of the hole injecting and transporting layer and the thickness of the electron injecting and transporting layer depend on the design of the recombination and light emitting region, but may be about the same as the thickness of the light emitting layer or about 1/10 to 10 times. When the hole or electron injection layer and the transport layer are separated from each other, it is preferable that the injection layer has a thickness of 1 nm or more and the transport layer has a thickness of 1 nm or more. At this time, the upper limit of the thickness of the injection layer and the transport layer is usually about 500 nm for the injection layer and 500 nm for the transport layer.
It is about. Such a film thickness is the same when two injection / transport layers are provided.

【0044】有機EL素子の発光層には、発光機能を有
する化合物である蛍光性物質を含有させる。このような
蛍光性物質としては、例えば、特開昭63−26469
2号公報に開示されているような化合物、例えばキナク
リドン、ルブレン、スチリル系色素等の化合物から選択
される少なくとも1種が挙げられる。また、トリス(8
−キノリノラト)アルミニウム等の8−キノリノールま
たはその誘導体を配位子とする金属錯体色素などのキノ
リン誘導体、テトラフェニルブタジエン、アントラセ
ン、ペリレン、コロネン、12−フタロペリノン誘導体
等が挙げられる。さらには、特願平6−110569号
のフェニルアントラセン誘導体、特願平6−11445
6号のテトラアリールエテン誘導体等を用いることがで
きる。
The light emitting layer of the organic EL device contains a fluorescent substance which is a compound having a light emitting function. Examples of such a fluorescent substance include, for example, JP-A-63-26469.
No. 2 discloses at least one compound selected from compounds such as quinacridone, rubrene, and styryl dyes. Also, Tris (8
-Quinolinolato) quinoline derivatives such as metal complex dyes having 8-quinolinol or a derivative thereof as a ligand such as aluminum, tetraphenylbutadiene, anthracene, perylene, coronene, and 12-phthaloperinone derivatives. Further, phenylanthracene derivatives disclosed in Japanese Patent Application No. 6-110569, and Japanese Patent Application No. 6-11445.
No. 6 tetraarylethene derivative or the like can be used.

【0045】また、それ自体で発光が可能なホスト物質
と組み合わせて使用することが好ましく、ドーパントと
しての使用が好ましい。このような場合の発光層におけ
る化合物の含有量は0.01〜20wt% 、さらには0.
1〜15wt% であることが好ましい。ホスト物質と組み
合わせて使用することによって、ホスト物質の発光波長
特性を変化させることができ、長波長に移行した発光が
可能になるとともに、素子の発光効率や安定性が向上す
る。
Further, it is preferable to use in combination with a host substance capable of emitting light by itself, and it is preferable to use it as a dopant. In such a case, the content of the compound in the light emitting layer is 0.01 to 20% by weight, and more preferably 0.1 to 20% by weight.
It is preferably 1 to 15% by weight. When used in combination with a host substance, the emission wavelength characteristics of the host substance can be changed, light emission shifted to a longer wavelength becomes possible, and the luminous efficiency and stability of the device are improved.

【0046】ホスト物質としては、キノリノラト錯体が
好ましく、さらには8−キノリノールまたはその誘導体
を配位子とするアルミニウム錯体が好ましい。このよう
なアルミニウム錯体としては、特開昭63−26469
2号、特開平3−255190号、特開平5−7073
3号、特開平5−258859号、特開平6−2158
74号等に開示されているものを挙げることができる。
The host substance is preferably a quinolinolato complex, and more preferably an aluminum complex having 8-quinolinol or a derivative thereof as a ligand. Such an aluminum complex is disclosed in JP-A-63-26469.
No. 2, JP-A-3-255190, JP-A-5-7073
3, JP-A-5-258859, JP-A-6-2158
No. 74 and the like.

【0047】具体的には、まず、トリス(8−キノリノ
ラト)アルミニウム、ビス(8−キノリノラト)マグネ
シウム、ビス(ベンゾ{f}−8−キノリノラト)亜
鉛、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)アルミニウ
ムオキシド、トリス(8−キノリノラト)インジウム、
トリス(5−メチル−8−キノリノラト)アルミニウ
ム、8−キノリノラトリチウム、トリス(5−クロロ−
8−キノリノラト)ガリウム、ビス(5−クロロ−8−
キノリノラト)カルシウム、5,7−ジクロル−8−キ
ノリノラトアルミニウム、トリス(5,7−ジブロモ−
8−ヒドロキシキノリノラト)アルミニウム、ポリ[亜
鉛(II)−ビス(8−ヒドロキシ−5−キノリニル)メ
タン]等がある。
Specifically, first, tris (8-quinolinolato) aluminum, bis (8-quinolinolato) magnesium, bis (benzo {f} -8-quinolinolato) zinc, bis (2-methyl-8-quinolinolato) aluminum Oxide, tris (8-quinolinolato) indium,
Tris (5-methyl-8-quinolinolato) aluminum, 8-quinolinolatolithium, tris (5-chloro-
8-quinolinolato) gallium, bis (5-chloro-8-
Quinolinolato) calcium, 5,7-dichloro-8-quinolinolatoaluminum, tris (5,7-dibromo-
8-hydroxyquinolinolato) aluminum and poly [zinc (II) -bis (8-hydroxy-5-quinolinyl) methane].

【0048】また、8−キノリノールまたはその誘導体
のほかに他の配位子を有するアルミニウム錯体であって
もよく、このようなものとしては、ビス(2−メチル−
8−キノリノラト)(フェノラト)アルミニウム(III)
、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(オルト−
クレゾラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−
8−キノリノラト)(メタークレゾラト)アルミニウム
(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(パラ
−クレゾラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル
−8−キノリノラト)(オルト−フェニルフェノラト)
アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノ
ラト)(メタ−フェニルフェノラト)アルミニウム(II
I) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(パラ−
フェニルフェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−
メチル−8−キノリノラト)(2,3−ジメチルフェノ
ラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キ
ノリノラト)(2,6−ジメチルフェノラト)アルミニ
ウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)
(3,4−ジメチルフェノラト)アルミニウム(III) 、
ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(3,5−ジメ
チルフェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチ
ル−8−キノリノラト)(3,5−ジ−tert−ブチルフ
ェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8
−キノリノラト)(2,6−ジフェニルフェノラト)ア
ルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラ
ト)(2,4,6−トリフェニルフェノラト)アルミニ
ウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)
(2,3,6−トリメチルフェノラト)アルミニウム(I
II) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(2,
3,5,6−テトラメチルフェノラト)アルミニウム(I
II) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(1−ナ
フトラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8
−キノリノラト)(2−ナフトラト)アルミニウム(II
I) 、ビス(2,4−ジメチル−8−キノリノラト)
(オルト−フェニルフェノラト)アルミニウム(III) 、
ビス(2,4−ジメチル−8−キノリノラト)(パラ−
フェニルフェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2,
4−ジメチル−8−キノリノラト)(メタ−フェニルフ
ェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2,4−ジメチ
ル−8−キノリノラト)(3,5−ジメチルフェノラ
ト)アルミニウム(III) 、ビス(2,4−ジメチル−8
−キノリノラト)(3,5−ジ−tert−ブチルフェノラ
ト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−4−エチ
ル−8−キノリノラト)(パラ−クレゾラト)アルミニ
ウム(III) 、ビス(2−メチル−4−メトキシ−8−キ
ノリノラト)(パラ−フェニルフェノラト)アルミニウ
ム(III) 、ビス(2−メチル−5−シアノ−8−キノリ
ノラト)(オルト−クレゾラト)アルミニウム(III) 、
ビス(2−メチル−6−トリフルオロメチル−8−キノ
リノラト)(2−ナフトラト)アルミニウム(III) 等が
ある。
In addition to 8-quinolinol or a derivative thereof, an aluminum complex having another ligand may be used, such as bis (2-methyl-
8-quinolinolato) (phenolato) aluminum (III)
, Bis (2-methyl-8-quinolinolato) (ortho-
Cresolato) aluminum (III), bis (2-methyl-
8-quinolinolato) (meth-cresolate) aluminum
(III), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (para-cresolato) aluminum (III), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (ortho-phenylphenolate)
Aluminum (III), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (meth-phenylphenolato) aluminum (II
I), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (para-
Phenylphenolato) aluminum (III), bis (2-
Methyl-8-quinolinolato) (2,3-dimethylphenolato) aluminum (III), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (2,6-dimethylphenolato) aluminum (III), bis (2-methyl- 8-quinolinolato)
(3,4-dimethylphenolato) aluminum (III),
Bis (2-methyl-8-quinolinolato) (3,5-dimethylphenolato) aluminum (III), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (3,5-di-tert-butylphenolato) aluminum (III) ), Bis (2-methyl-8)
-Quinolinolato) (2,6-diphenylphenolato) aluminum (III), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (2,4,6-triphenylphenolato) aluminum (III), bis (2-methyl- 8-quinolinolato)
(2,3,6-trimethylphenolato) aluminum (I
II), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (2,
3,5,6-tetramethylphenolato) aluminum (I
II), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (1-naphthrat) aluminum (III), bis (2-methyl-8
-Quinolinolato) (2-naphthrat) aluminum (II
I), bis (2,4-dimethyl-8-quinolinolato)
(Ortho-phenylphenolato) aluminum (III),
Bis (2,4-dimethyl-8-quinolinolato) (para-
Phenylphenolato) aluminum (III), bis (2,
4-dimethyl-8-quinolinolato) (meta-phenylphenolato) aluminum (III), bis (2,4-dimethyl-8-quinolinolato) (3,5-dimethylphenolato) aluminum (III), bis (2 4-dimethyl-8
-Quinolinolato) (3,5-di-tert-butylphenolato) aluminum (III), bis (2-methyl-4-ethyl-8-quinolinolato) (para-cresolato) aluminum (III), bis (2-methyl) -4-methoxy-8-quinolinolato) (para-phenylphenolato) aluminum (III), bis (2-methyl-5-cyano-8-quinolinolato) (ortho-cresolato) aluminum (III),
Bis (2-methyl-6-trifluoromethyl-8-quinolinolato) (2-naphthrat) aluminum (III);

【0049】このほか、ビス(2−メチル−8−キノリ
ノラト)アルミニウム(III) −μ−オキソ−ビス(2−
メチル−8−キノリノラト)アルミニウム(III) 、ビス
(2,4−ジメチル−8−キノリノラト)アルミニウム
(III) −μ−オキソ−ビス(2,4−ジメチル−8−キ
ノリノラト)アルミニウム(III) 、ビス(4−エチル−
2−メチル−8−キノリノラト)アルミニウム(III) −
μ−オキソ−ビス(4−エチル−2−メチル−8−キノ
リノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−4
−メトキシキノリノラト)アルミニウム(III) −μ−オ
キソ−ビス(2−メチル−4−メトキシキノリノラト)
アルミニウム(III) 、ビス(5−シアノ−2−メチル−
8−キノリノラト)アルミニウム(III) −μ−オキソ−
ビス(5−シアノ−2−メチル−8−キノリノラト)ア
ルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−5−トリフルオ
ロメチル−8−キノリノラト)アルミニウム(III) −μ
−オキソ−ビス(2−メチル−5−トリフルオロメチル
−8−キノリノラト)アルミニウム(III) 等であっても
よい。
In addition, bis (2-methyl-8-quinolinolato) aluminum (III) -μ-oxo-bis (2-
Methyl-8-quinolinolato) aluminum (III), bis (2,4-dimethyl-8-quinolinolato) aluminum
(III) -μ-oxo-bis (2,4-dimethyl-8-quinolinolato) aluminum (III), bis (4-ethyl-
2-methyl-8-quinolinolato) aluminum (III)-
μ-oxo-bis (4-ethyl-2-methyl-8-quinolinolato) aluminum (III), bis (2-methyl-4
-Methoxyquinolinolato) aluminum (III) -μ-oxo-bis (2-methyl-4-methoxyquinolinolato)
Aluminum (III), bis (5-cyano-2-methyl-
8-quinolinolato) aluminum (III) -μ-oxo-
Bis (5-cyano-2-methyl-8-quinolinolato) aluminum (III), bis (2-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolinolato) aluminum (III) -μ
-Oxo-bis (2-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolinolato) aluminum (III) and the like.

【0050】このほかのホスト物質としては、特願平6
−110569号に記載のフェニルアントラセン誘導体
や特願平6−114456号に記載のテトラアリールエ
テン誘導体なども好ましい。
Other host substances include Japanese Patent Application No.
Also preferred are phenylanthracene derivatives described in -110569 and tetraarylethene derivatives described in Japanese Patent Application No. 6-114456.

【0051】発光層は電子注入輸送層を兼ねたものであ
ってもよく、このような場合はトリス(8−キノリノラ
ト)アルミニウム等を使用することが好ましい。これら
の蛍光性物質を蒸着すればよい。
The light emitting layer may also serve as an electron injection / transport layer. In such a case, it is preferable to use tris (8-quinolinolato) aluminum or the like. These fluorescent substances may be deposited.

【0052】また、発光層は、必要に応じて、少なくと
も1種のホール注入輸送性化合物と少なくとも1種の電
子注入輸送性化合物との混合層とすることも好ましく、
さらにはこの混合層中にドーパントを含有させることが
好ましい。このような混合層における化合物の含有量
は、0.01〜20wt% 、さらには0.1〜15wt% と
することが好ましい。
The light emitting layer is preferably a mixed layer of at least one kind of hole injecting and transporting compound and at least one kind of electron injecting and transporting compound, if necessary.
Further, it is preferable that a dopant is contained in the mixed layer. The content of the compound in such a mixed layer is preferably 0.01 to 20% by weight, more preferably 0.1 to 15% by weight.

【0053】混合層では、キャリアのホッピング伝導パ
スができるため、各キャリアは極性的に有利な物質中を
移動し、逆の極性のキャリア注入は起こりにくくなるた
め、有機化合物がダメージを受けにくくなり、素子寿命
がのびるという利点がある。また、前述のドーパントを
このような混合層に含有させることにより、混合層自体
のもつ発光波長特性を変化させることができ、発光波長
を長波長に移行させることができるとともに、発光強度
を高め、素子の安定性を向上させることもできる。
In the mixed layer, a carrier hopping conduction path is formed, so that each carrier moves in a material having a favorable polarity, and injection of a carrier having the opposite polarity is less likely to occur, so that the organic compound is less likely to be damaged. This has the advantage that the element life is extended. Further, by including the above-described dopant in such a mixed layer, the emission wavelength characteristics of the mixed layer itself can be changed, the emission wavelength can be shifted to a longer wavelength, and the emission intensity is increased, The stability of the device can be improved.

【0054】混合層に用いられるホール注入輸送性化合
物および電子注入輸送性化合物は、各々、後述のホール
注入輸送層用の化合物および電子注入輸送層用の化合物
の中から選択すればよい。なかでも、ホール注入輸送層
用の化合物としては、強い蛍光を持ったアミン誘導体、
例えばホール輸送材料であるトリフェニルジアミン誘導
体、さらにはスチリルアミン誘導体、芳香族縮合環を持
つアミン誘導体を用いるのが好ましい。
The hole injecting and transporting compound and the electron injecting and transporting compound used in the mixed layer may be selected from the compounds for the hole injecting and transporting layer and the compounds for the electron injecting and transporting layer, respectively, which will be described later. Among them, compounds for the hole injection transport layer include amine derivatives having strong fluorescence,
For example, it is preferable to use a triphenyldiamine derivative which is a hole transport material, a styrylamine derivative, or an amine derivative having an aromatic condensed ring.

【0055】電子注入輸送性の化合物としては、キノリ
ン誘導体、さらには8−キノリノールないしその誘導体
を配位子とする金属錯体、特にトリス(8−キノリノラ
ト)アルミニウム(Alq3)を用いることが好まし
い。また、上記のフェニルアントラセン誘導体、テトラ
アリールエテン誘導体を用いるのも好ましい。
As the compound capable of injecting and transporting electrons, it is preferable to use a quinoline derivative, furthermore a metal complex having 8-quinolinol or a derivative thereof as a ligand, particularly tris (8-quinolinolato) aluminum (Alq3). It is also preferable to use the above-mentioned phenylanthracene derivatives and tetraarylethene derivatives.

【0056】ホール注入輸送層用の化合物としては、強
い蛍光を持ったアミン誘導体、例えば上記のホール輸送
材料であるトリフェニルジアミン誘導体、さらにはスチ
リルアミン誘導体、芳香族縮合環を持つアミン誘導体を
用いるのが好ましい。
As the compound for the hole injecting and transporting layer, an amine derivative having strong fluorescence, for example, a triphenyldiamine derivative as the above-described hole transporting material, a styrylamine derivative, or an amine derivative having an aromatic condensed ring is used. Is preferred.

【0057】この場合の混合比は、それぞれのキャリア
移動度とキャリア濃度によるが、一般的には、ホール注
入輸送性化合物の化合物/電子注入輸送機能を有する化
合物の重量比が、1/99〜99/1、さらに好ましく
は10/90〜90/10、特に好ましくは20/80
〜80/20程度となるようにすることが好ましい。
The mixing ratio in this case depends on the respective carrier mobilities and carrier concentrations. In general, the weight ratio of the compound having a hole injecting / transporting compound / the compound having an electron injecting / transporting function is from 1/99 to more. 99/1, more preferably 10/90 to 90/10, particularly preferably 20/80
It is preferable to set it to about 80/20.

【0058】また、混合層の厚さは、分子層一層に相当
する厚み以上で、有機化合物層の膜厚未満とすることが
好ましい。具体的には1〜85nmとすることが好まし
く、さらには5〜60nm、特には5〜50nmとすること
が好ましい。
The thickness of the mixed layer is preferably not less than the thickness corresponding to one molecular layer and less than the thickness of the organic compound layer. Specifically, the thickness is preferably 1 to 85 nm, more preferably 5 to 60 nm, particularly preferably 5 to 50 nm.

【0059】また、混合層の形成方法としては、異なる
蒸着源より蒸発させる共蒸着が好ましいが、蒸気圧(蒸
発温度)が同程度あるいは非常に近い場合には、予め同
じ蒸着ボード内で混合させておき、蒸着することもでき
る。混合層は化合物同士が均一に混合している方が好ま
しいが、場合によっては、化合物が島状に存在するもの
であってもよい。発光層は、一般的には、有機蛍光物質
を蒸着するか、あるいは、樹脂バインダー中に分散させ
てコーティングすることにより、発光層を所定の厚さに
形成する。
As a method of forming the mixed layer, co-evaporation in which evaporation is performed from different evaporation sources is preferable. However, when the vapor pressures (evaporation temperatures) are approximately the same or very close, they are mixed in advance in the same evaporation board. Alternatively, it can be deposited. In the mixed layer, it is preferable that the compounds are uniformly mixed, but in some cases, the compounds may exist in an island shape. The light-emitting layer is generally formed to a predetermined thickness by vapor-depositing an organic fluorescent substance or by dispersing and coating the resin in a resin binder.

【0060】また、ホール注入輸送層には、例えば、特
開昭63−295695号公報、特開平2−19169
4号公報、特開平3−792号公報、特開平5−234
681号公報、特開平5−239455号公報、特開平
5−299174号公報、特開平7−126225号公
報、特開平7−126226号公報、特開平8−100
172号公報、EP0650955A1等に記載されて
いる各種有機化合物を用いることができる。例えば、テ
トラアリールベンジシン化合物(トリアリールジアミン
ないしトリフェニルジアミン:TPD)、芳香族三級ア
ミン、ヒドラゾン誘導体、カルバゾール誘導体、トリア
ゾール誘導体、イミダゾール誘導体、アミノ基を有する
オキサジアゾール誘導体、ポリチオフェン等である。こ
れらの化合物は、1種のみを用いても、2種以上を併用
してもよい。2種以上を併用するときは、別層にして積
層したり、混合したりすればよい。
The hole injecting and transporting layer is described in, for example, JP-A-63-295695 and JP-A-2-19169.
4, JP-A-3-792, JP-A-5-234
681, JP-A-5-239455, JP-A-5-299174, JP-A-7-126225, JP-A-7-126226, JP-A-8-100
Various organic compounds described in JP-A-172, EP0650955A1, and the like can be used. For example, a tetraarylbendicine compound (triaryldiamine or triphenyldiamine: TPD), an aromatic tertiary amine, a hydrazone derivative, a carbazole derivative, a triazole derivative, an imidazole derivative, an oxadiazole derivative having an amino group, polythiophene, etc. . These compounds may be used alone or in combination of two or more. When two or more kinds are used in combination, they may be stacked as separate layers or mixed.

【0061】ホール注入輸送層をホール注入層とホール
輸送層とに分けて設層する場合は、ホール注入輸送層用
の化合物のなかから好ましい組合せを選択して用いるこ
とができる。このとき、ホール注入電極(ITO等)側
からイオン化ポテンシャルの小さい化合物の順に積層す
ることが好ましい。また、陽電極表面には薄膜性の良好
な化合物を用いることが好ましい。このような積層順に
ついては、ホール注入輸送層を2層以上設けるときも同
様である。このような積層順とすることによって、駆動
電圧が低下し、電流リークの発生やダークスポットの発
生・成長を防ぐことができる。また、素子化する場合、
蒸着を用いているので1〜10nm程度の薄い膜も均一か
つピンホールフリーとすることができるため、ホール注
入層にイオン化ポテンシャルが小さく、可視部に吸収を
もつような化合物を用いても、発光色の色調変化や再吸
収による効率の低下を防ぐことができる。ホール注入輸
送層は、発光層等と同様に上記の化合物を蒸着すること
により形成することができる。
When the hole injecting and transporting layer is divided into a hole injecting layer and a hole transporting layer, a preferred combination can be selected from the compounds for the hole injecting and transporting layer. At this time, it is preferable to laminate the compounds in order from the hole injecting electrode (ITO or the like) with the smallest ionization potential. Further, it is preferable to use a compound having good thin film property on the surface of the positive electrode. Such a stacking order is the same when two or more hole injection transport layers are provided. With such a stacking order, the driving voltage is reduced, and the occurrence of current leakage and the occurrence and growth of dark spots can be prevented. In addition, when making the device,
Since thin film of about 1 to 10 nm can be made uniform and pinhole-free because of the use of vapor deposition, even if a compound having a small ionization potential in the hole injection layer and having absorption in the visible region is used, light emission can be achieved. It is possible to prevent a decrease in efficiency due to a color tone change or re-absorption. The hole injecting and transporting layer can be formed by vapor deposition of the above compound in the same manner as the light emitting layer and the like.

【0062】また、必要に応じて設けられる電子注入輸
送層には、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム
(Alq3)等の8−キノリノールまたはその誘導体を
配位子とする有機金属錯体などのキノリン誘導体、オキ
サジアゾール誘導体、ペリレン誘導体、ピリジン誘導
体、ピリミジン誘導体、キノキサリン誘導体、ジフェニ
ルキノン誘導体、ニトロ置換フルオレン誘導体等を用い
ることができる。電子注入輸送層は発光層を兼ねたもの
であってもよく、このような場合はトリス(8−キノリ
ノラト)アルミニウム等を使用することが好ましい。電
子注入輸送層の形成は、発光層と同様に、蒸着等によれ
ばよい。
A quinoline derivative such as an organometallic complex having 8-quinolinol such as tris (8-quinolinolato) aluminum (Alq3) or a derivative thereof as a ligand is provided in the electron injection transport layer provided as needed. An oxadiazole derivative, a perylene derivative, a pyridine derivative, a pyrimidine derivative, a quinoxaline derivative, a diphenylquinone derivative, a nitro-substituted fluorene derivative, or the like can be used. The electron injection / transport layer may also serve as the light emitting layer. In such a case, it is preferable to use tris (8-quinolinolato) aluminum or the like. The electron injecting and transporting layer may be formed by vapor deposition or the like, similarly to the light emitting layer.

【0063】電子注入輸送層を電子注入層と電子輸送層
とに分けて積層する場合には、電子注入輸送層用の化合
物の中から好ましい組み合わせを選択して用いることが
できる。このとき、電子注入電極側から電子親和力の値
の大きい化合物の順に積層することが好ましい。このよ
うな積層順については、電子注入輸送層を2層以上設け
るときも同様である。
When the electron injecting and transporting layer is divided into an electron injecting layer and an electron transporting layer, a preferred combination can be selected from the compounds for the electron injecting and transporting layer. At this time, it is preferable to stack the compounds in descending order of the electron affinity value from the electron injection electrode side. Such a stacking order is the same when two or more electron injection / transport layers are provided.

【0064】基板に色フィルター膜や蛍光性物質を含む
色変換膜、あるいは誘電体反射膜を用いて発光色をコン
トロールしてもよい。
The emission color may be controlled by using a color filter film, a color conversion film containing a fluorescent substance, or a dielectric reflection film on the substrate.

【0065】色フィルター膜には、液晶ディスプレイ等
で用いられているカラーフィルターを用いれば良いが、
有機EL素子の発光する光に合わせてカラーフィルター
の特性を調整し、取り出し効率・色純度を最適化すれば
よい。
As the color filter film, a color filter used in a liquid crystal display or the like may be used.
The characteristics of the color filter may be adjusted in accordance with the light emitted from the organic EL element to optimize the extraction efficiency and the color purity.

【0066】また、EL素子材料や蛍光変換層が光吸収
するような短波長の外光をカットできるカラーフィルタ
ーを用いれば、素子の耐光性・表示のコントラストも向
上する。
When a color filter capable of cutting off short-wavelength external light that is absorbed by the EL element material or the fluorescence conversion layer is used, the light resistance of the element and the display contrast are improved.

【0067】また、誘電体多層膜のような光学薄膜を用
いてカラーフィルターの代わりにしても良い。
Further, an optical thin film such as a dielectric multilayer film may be used instead of the color filter.

【0068】蛍光変換フィルター膜は、EL発光の光を
吸収し、蛍光変換膜中の蛍光体から光を放出させること
で、発光色の色変換を行うものであるが、組成として
は、バインダー、蛍光材料、光吸収材料の三つから形成
される。
The fluorescence conversion filter film absorbs EL light and emits light from the phosphor in the fluorescence conversion film, thereby performing color conversion of the emission color. It is formed from a fluorescent material and a light absorbing material.

【0069】蛍光材料は、基本的には蛍光量子収率が高
いものを用いれば良く、EL発光波長域に吸収が強いこ
とが望ましい。実際には、レーザー色素などが適してお
り、ローダミン系化合物・ペリレン系化合物・シアニン
系化合物・フタロシアニン系化合物(サブフタロシアニ
ン等も含む)ナフタロイミド系化合物・縮合環炭化水素
系化合物・縮合複素環系化合物・スチリル系化合物・ク
マリン系化合物等を用いればよい。
As the fluorescent material, basically, a material having a high fluorescence quantum yield may be used, and it is desirable that absorption is strong in an EL emission wavelength region. In practice, laser dyes and the like are suitable, and rhodamine compounds, perylene compounds, cyanine compounds, phthalocyanine compounds (including subphthalocyanines, etc.) naphthalimide compounds, condensed ring hydrocarbon compounds, condensed heterocyclic compounds A styryl compound, a coumarin compound or the like may be used.

【0070】バインダーは、基本的に蛍光を消光しない
ような材料を選べば良く、フォトリソグラフィー・印刷
等で微細なパターニングが出来るようなものが好まし
い。また、ITO、IZOの成膜時にダメージを受けな
いような材料が好ましい。
As the binder, a material that does not quench the fluorescence may be basically selected, and a binder that can be finely patterned by photolithography, printing, or the like is preferable. Further, a material that does not suffer damage during the formation of ITO or IZO is preferable.

【0071】光吸収材料は、蛍光材料の光吸収が足りな
い場合に用いるが、必要のない場合は用いなくても良
い。また、光吸収材料は、蛍光性材料の蛍光を消光しな
いような材料を選べば良い。
The light absorbing material is used when the light absorption of the fluorescent material is insufficient, but may be omitted when unnecessary. As the light absorbing material, a material that does not quench the fluorescence of the fluorescent material may be selected.

【0072】ホール注入輸送層、発光層および電子注入
輸送層の形成には、均質な薄膜が形成できることから、
真空蒸着法を用いることが好ましい。真空蒸着法を用い
た場合、アモルファス状態または結晶粒径が0.1μm
以下の均質な薄膜が得られる。結晶粒径が0.1μm を
超えていると、不均一な発光となり、素子の駆動電圧を
高くしなければならなくなり、電荷の注入効率も著しく
低下する。
In forming the hole injection transport layer, the light emitting layer and the electron injection transport layer, a uniform thin film can be formed.
It is preferable to use a vacuum deposition method. When vacuum deposition is used, the amorphous state or the crystal grain size is 0.1 μm
The following homogeneous thin film is obtained. If the crystal grain size exceeds 0.1 μm, the light emission becomes non-uniform, the driving voltage of the device must be increased, and the charge injection efficiency is significantly reduced.

【0073】真空蒸着の条件は特に限定されないが、1
-4Pa以下の真空度とし、蒸着速度は0.01〜1nm/
sec 程度とすることが好ましい。また、真空中で連続し
て各層を形成することが好ましい。真空中で連続して形
成すれば、各層の界面に不純物が吸着することを防げる
ため、高特性が得られる。また、素子の駆動電圧を低く
したり、ダークスポットの発生・成長を抑制したりする
ことができる。
The conditions for vacuum deposition are not particularly limited.
The degree of vacuum is 0 -4 Pa or less, and the deposition rate is 0.01 to 1 nm /
It is preferable to set it to about sec. Further, it is preferable to form each layer continuously in a vacuum. If they are formed continuously in a vacuum, impurities can be prevented from adsorbing at the interface between the layers, so that high characteristics can be obtained. Further, the driving voltage of the element can be reduced, and the occurrence and growth of dark spots can be suppressed.

【0074】これら各層の形成に真空蒸着法を用いる場
合において、1層に複数の化合物を含有させる場合、化
合物を入れた各ボートを個別に温度制御して共蒸着する
ことが好ましい。
When a plurality of compounds are contained in one layer when a vacuum evaporation method is used to form each of these layers, it is preferable to co-deposit each boat containing the compounds by individually controlling the temperature.

【0075】有機EL素子は、直流駆動やパルス駆動等
され、印加電圧は、通常、2〜20V 程度である。
The organic EL element is driven by direct current or pulse, and the applied voltage is usually about 2 to 20 V.

【0076】[0076]

【実施例】次に実施例を示し、本発明をより具体的に説
明する。 <実施例1>ガラス基板上に、ITO透明電極(ホール
注入電極)をスパッタ法にて100nm成膜した。得られ
たITO薄膜を、フォトリソグラフィーの手法によりパ
ターニング、エッチング処理し、さらに補助電極等の配
線構造膜を形成し、最終的に100μm ×100μm
(画素)のパターンを構成するホール注入電極層を形成
した。
EXAMPLES Next, the present invention will be described more specifically with reference to examples. Example 1 An ITO transparent electrode (hole injection electrode) was formed on a glass substrate to a thickness of 100 nm by a sputtering method. The obtained ITO thin film is patterned and etched by a photolithography technique, and further, a wiring structure film such as an auxiliary electrode is formed. Finally, a 100 μm × 100 μm
A hole injection electrode layer constituting a pattern of (pixel) was formed.

【0077】ITO電極層等が形成された基板の表面を
UV/O3 洗浄した後、真空蒸着装置の基板ホルダーに
固定して、槽内を1×10-4Pa以下まで減圧した。4,
4’,4”−トリス(−N−(3−メチルフェニル)−
N−フェニルアミノ)トリフェニルアミン(以下、m−
MTDATA)を蒸着速度0.2nm/sec.で40nmの厚
さに蒸着し、ホール注入層とし、次いで減圧状態を保っ
たまま、N,N’−ジフェニル−N,N’−m−トリル
−4,4’−ジアミノ−1,1’−ビフェニル(以下、
TPD)を蒸着速度0.2nm/sec.で35nmの厚さに蒸
着し、ホール輸送層とした。さらに、減圧を保ったま
ま、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム(以下、
Alq3 )を蒸着速度0.2nm/sec.で50nmの厚さに
蒸着して、電子注入輸送・発光層とした。
After the surface of the substrate on which the ITO electrode layer and the like had been formed was washed with UV / O 3, it was fixed to a substrate holder of a vacuum evaporation apparatus, and the pressure in the tank was reduced to 1 × 10 −4 Pa or less. 4,
4 ', 4 "-tris (-N- (3-methylphenyl)-
N-phenylamino) triphenylamine (hereinafter, m-
MTDATA) was deposited at a deposition rate of 0.2 nm / sec. To a thickness of 40 nm to form a hole injection layer, and then N, N′-diphenyl-N, N′-m-tolyl-4 while maintaining the reduced pressure. , 4'-Diamino-1,1'-biphenyl (hereinafter, referred to as
TPD) was deposited at a deposition rate of 0.2 nm / sec. To a thickness of 35 nm to form a hole transport layer. Further, while maintaining the reduced pressure, tris (8-quinolinolato) aluminum (hereinafter, referred to as tris (8-quinolinolato) aluminum)
Alq3) was deposited at a deposition rate of 0.2 nm / sec. To a thickness of 50 nm to form an electron injecting / transporting / light emitting layer.

【0078】次いで減圧を保ったまま、このEL素子構
造体基板を真空蒸着装置からスパッタ装置に移し、スパ
ッタ圧力1.0PaにてAlLi電子注入電極(Li濃
度:6at%)を50nmの厚さに成膜した。その際スパッ
タガスにはArを用い、投入電力は100W、ターゲッ
トの大きさは4インチ径、基板とターゲットの距離は9
0mmとした。さらに、減圧を保ったまま、このEL素子
基板を他のスパッタ装置に移し、Alターゲットを用い
たDCスパッタ法により、スパッタ圧力0.3PaにてA
l配線電極を200nmの厚さに成膜した。この時スパッ
タガスにはArを用い、投入電力は500W、ターゲッ
トの大きさは4インチ径、基板とターゲットの距離は9
0mmとした。
Then, while maintaining the reduced pressure, the EL element structure substrate was transferred from the vacuum evaporation apparatus to the sputtering apparatus, and the AlLi electron injection electrode (Li concentration: 6 at%) was formed to a thickness of 50 nm at a sputtering pressure of 1.0 Pa. A film was formed. At that time, Ar was used as a sputtering gas, the input power was 100 W, the size of the target was 4 inches in diameter, and the distance between the substrate and the target was 9
0 mm. Further, while maintaining the reduced pressure, the EL element substrate was transferred to another sputtering apparatus, and the sputtering was performed at a sputtering pressure of 0.3 Pa by a DC sputtering method using an Al target.
A wiring electrode was formed to a thickness of 200 nm. At this time, Ar was used as a sputtering gas, the input power was 500 W, the size of the target was 4 inches in diameter, and the distance between the substrate and the target was 9
0 mm.

【0079】さらに減圧を保ったまま、電子注入電極を
成膜したスパッタ装置に移し、電子注入電極と同様にし
てAlLi緩衝層(Li濃度:6at%)を50nmの厚さ
に成膜した。次いで、減圧を保ったまま、このEL素子
構造体基板を他のスパッタ装置に移し、Al配線電極と
同様にして封止層を200nmの厚さに成膜した。
While maintaining the reduced pressure, the wafer was transferred to a sputtering apparatus on which an electron injection electrode was formed, and an AlLi buffer layer (Li concentration: 6 at%) was formed to a thickness of 50 nm in the same manner as the electron injection electrode. Next, while maintaining the reduced pressure, the EL element structure substrate was transferred to another sputtering apparatus, and a sealing layer was formed to a thickness of 200 nm in the same manner as the Al wiring electrode.

【0080】最後にガラス封止板を貼り合わせ、有機E
L素子とした。また、緩衝層と封止層を設けない比較サ
ンプルを同様にして得た。
Finally, a glass sealing plate is attached, and organic E
An L element was used. A comparative sample without a buffer layer and a sealing layer was obtained in the same manner.

【0081】得られた各有機EL素子を、大気中で直流
電圧を印加し、10mA/cm2 の定電流密度で、85℃の
加速条件下で100時間連続駆動させた。各画素の発光
面を観察し、その画素中の非発光部分の大きさを求めた
ところ、比較サンプルは非発光部分が画素の周縁部から
中心部方向に平均5μm の幅にわたって成長していたの
に対し、本発明サンプルでは平均1μm 以下と極めて優
れた結果が得られた。これは緩衝層が封止された空間内
に生じたガスや水分を吸収ないし遮断し、電子注入電極
を保護した結果であると考えられる。
Each of the obtained organic EL devices was continuously driven at a constant current density of 10 mA / cm 2 under an acceleration condition of 85 ° C. for 100 hours by applying a DC voltage in the air. Observing the light-emitting surface of each pixel and measuring the size of the non-light-emitting portion in the pixel, the comparative sample showed that the non-light-emitting portion grew from the periphery of the pixel toward the center over an average width of 5 μm. On the other hand, in the sample of the present invention, an extremely excellent result of 1 μm or less was obtained on average. This is considered to be the result of protecting the electron injection electrode by absorbing or blocking gas or moisture generated in the space where the buffer layer is sealed.

【0082】<実施例2>実施例1において、緩衝層の
材料をAlLiからK、Li、Na、Mg、La、C
e、Ca、Sr、Ba、Ag、In、Sn、Zn、Zr
単体、あるいはこれらとAlとの合金とし、それぞれ実
施例1と同様な手法で評価したところほぼ同様な結果が
得られた。また、封止層に用いる金属をTi、Niとし
た場合も同様であった。
<Example 2> In Example 1, the material of the buffer layer was changed from AlLi to K, Li, Na, Mg, La, and C.
e, Ca, Sr, Ba, Ag, In, Sn, Zn, Zr
Either a single substance or an alloy of these and Al was evaluated by the same method as in Example 1, and almost the same results were obtained. The same applies when the metal used for the sealing layer is Ti or Ni.

【0083】[0083]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、電子注入
電極層を安定に保護すると共に、経時変化を抑え、非発
光領域の拡大等といった表示品質の低下のない有機EL
素子の電極構造を提供することができる。
As described above, according to the present invention, the organic EL device which stably protects the electron injection electrode layer, suppresses the change with time, and does not deteriorate the display quality such as enlargement of the non-light emitting region.
An electrode structure of the device can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の有機EL素子を模式的に表した図であ
る。
FIG. 1 is a diagram schematically showing an organic EL device of the present invention.

【図2】従来の有機EL素子を模式的に表した平面図で
ある。
FIG. 2 is a plan view schematically showing a conventional organic EL element.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2 ホール注入電極 3 有機層 4 電子注入電極層 5 配線電極 6 緩衝層 7 封止層 Reference Signs List 1 substrate 2 hole injection electrode 3 organic layer 4 electron injection electrode layer 5 wiring electrode 6 buffer layer 7 sealing layer

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ホール注入電極と電子注入電極と、これ
らの電極間に1種以上の有機層とを有する有機EL素子
であって、 前記電子注入電極の上にはさらに配線電極と、緩衝層と
封止層とが順次成膜され、 前記緩衝層の構成金属材料が前記封止層よりも酸化され
易い金属である有機EL素子。
1. An organic EL device having a hole injection electrode, an electron injection electrode, and at least one organic layer between these electrodes, further comprising a wiring electrode, a buffer layer, And a sealing layer are sequentially formed, and the constituent metal material of the buffer layer is a metal that is more easily oxidized than the sealing layer.
【請求項2】 前記緩衝層は、電子注入電極構成材料を
含有する請求項1の有機EL素子。
2. The organic EL device according to claim 1, wherein said buffer layer contains a material for forming an electron injection electrode.
【請求項3】 前記封止層は、アルミニウムを含有する
請求項1または2の有機EL素子。
3. The organic EL device according to claim 1, wherein the sealing layer contains aluminum.
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