JP2000353854A - External-resonator type variable-wavelength light source - Google Patents

External-resonator type variable-wavelength light source

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JP2000353854A
JP2000353854A JP11162666A JP16266699A JP2000353854A JP 2000353854 A JP2000353854 A JP 2000353854A JP 11162666 A JP11162666 A JP 11162666A JP 16266699 A JP16266699 A JP 16266699A JP 2000353854 A JP2000353854 A JP 2000353854A
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Japan
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wavelength
light
diffraction grating
optical amplifier
light source
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JP11162666A
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Japanese (ja)
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Minoru Maeda
稔 前田
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Ando Electric Co Ltd
Original Assignee
Ando Electric Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable wavelength to be stably varied within a wavelength band, where laser oscillation of an optical amplifier is possible by avoiding the occurrence of mode hopping in an external-resonator type variable-wavelength light source, even when operating conditions change. SOLUTION: This external-resonator type variable-wavelength light source is equipped with an optical amplifier 1, one end face of which has non-reflecting film 1a, a diffraction grating 2 which has a wavelength selection function positioned on the exiting optical axis on the non-reflecting film 1a side, and a reflector 42 which reflects a first-order diffraction light L1 toward the diffraction grating 2. This light source is also equipped with a first photodetector 43, which receives light that comes from the optical amplifier 1 to the diffraction grading 2 and is reflected as a zero-th-order diffraction light L0, and converts the light into an electrical signal, an optical branch unit 41 which branches a forward output light Lf of the optical amplifier 1, that is emitted from the end face having no non-reflecting film 1a, a second photodetector 44 which receives the branched light Ls and converts it into an electrical output, and a processing circuit 45 which calculates electrical outputs from the first photodetector unit 43 and the second photodetector 44. The output value from the processing circuit 45 is fed back to a phase adjustment means 46 of the reflector 42 so that it is adjusted to a prescribed value, thereby varying the wavelength.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光通信や光計測技
術分野で使用する外部共振器型波長可変光源に関するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an external resonator type variable wavelength light source used in the field of optical communication and optical measurement.

【0002】[0002]

【従来の技術】光計測技術で使用する光源には、狭スペ
クトル線幅の単一モード発振で波長安定度が良く、かつ
波長可変が可能な光源が要求される。そして、広い利得
範囲を持った半導体レーザ素子と波長選択機能を有する
回折格子を使用した外部共振器型波長可変光源が開発さ
れ、使用されるようになった。
2. Description of the Related Art A light source used in optical measurement technology is required to be a single mode oscillation having a narrow spectral line width, having good wavelength stability, and capable of tunable wavelength. Then, an external resonator type wavelength tunable light source using a semiconductor laser device having a wide gain range and a diffraction grating having a wavelength selection function has been developed and used.

【0003】図7は、第1の従来例としての外部共振器
型波長可変光源の構成を示すブロック図である。この外
部共振器型波長可変光源は、光増幅器1、回折格子2、
レンズ3,4、光アイソレータ5、光増幅器駆動回路
6、回転機構7、平行移動機構8等から構成されてい
る。光増幅器1は、ファブリ・ペロ型半導体レーザであ
り、片端面に無反射膜1aが施され、光増幅器駆動回路
6からの注入電流に応じて、両端面から光を射出する。
レンズ3は、光増幅器1の無反射膜1a側の射出光軸上
に配置され、光増幅器1の無反射膜1a側端面からの射
出光を平行光に変換する。こうして平行光に変換された
射出光は、回折格子2に入射される。
FIG. 7 is a block diagram showing a configuration of an external resonator type wavelength tunable light source as a first conventional example. The external resonator type wavelength tunable light source includes an optical amplifier 1, a diffraction grating 2,
It comprises lenses 3, 4, an optical isolator 5, an optical amplifier drive circuit 6, a rotating mechanism 7, a parallel moving mechanism 8, and the like. The optical amplifier 1 is a Fabry-Perot type semiconductor laser, has a non-reflective film 1 a on one end face, and emits light from both end faces according to an injection current from the optical amplifier drive circuit 6.
The lens 3 is disposed on the emission optical axis on the side of the non-reflective film 1a of the optical amplifier 1, and converts the light emitted from the end surface of the optical amplifier 1 on the side of the non-reflective film 1a into parallel light. The emitted light converted into parallel light in this way is incident on the diffraction grating 2.

【0004】回折格子2は、波長選択反射器として使用
され、入射される平行光のうち入射角によって決まる特
定の波長の光を入射光軸方向に反射する機能を有する。
また、回折格子2は、光増幅器1の無反射膜1aが施さ
れていない端面とで共振器を形成しており、この回折格
子2で選択した光を光増幅器1に再入射させることで、
レーザ発振させることが可能となっている。レンズ4
は、光増幅器1の無反射膜1aが施されていない側の射
出光軸上に配置され、光増幅器1の端面から射出される
光を平行光に変換する。こうして平行光に変換された射
出光は、光アイソレータ5に入射される。光アイソレー
タ5は、出力ファイバ11側からの反射光が光増幅器1
に戻らないようにするためのもので、この光アイソレー
タ5を透過した光は、レンズ9で集光され、出力光とし
て出力ファイバ11に入射される。
[0004] The diffraction grating 2 is used as a wavelength selective reflector and has a function of reflecting light of a specific wavelength determined by the incident angle among incident parallel lights in the direction of the incident optical axis.
Further, the diffraction grating 2 forms a resonator with the end face of the optical amplifier 1 on which the non-reflection film 1a is not applied, and the light selected by the diffraction grating 2 is re-entered into the optical amplifier 1 so that
Laser oscillation is possible. Lens 4
Is disposed on the emission optical axis on the side of the optical amplifier 1 on which the antireflection film 1a is not applied, and converts light emitted from the end face of the optical amplifier 1 into parallel light. The emitted light converted into parallel light in this manner is incident on the optical isolator 5. The optical isolator 5 reflects the light reflected from the output fiber 11 side to the optical amplifier 1.
The light transmitted through the optical isolator 5 is condensed by a lens 9 and is incident on an output fiber 11 as output light.

【0005】以上の外部共振器型波長可変光源の波長
は、2つの条件(共振波長λFPとブラッグ波長λB)に
よって決定され、その波長決定の原理を図5に示す。図
5に示すように、回折格子2の波長に対する反射特性
は、波長選択性があるため、波長に対して反射率が変化
する。光増幅器1の無反射膜1aが施されていない端面
は、半導体レーザの劈開面を使用しているため、波長特
性は持たず一定の反射率(約30%)である。そして、
共振器による位相整合条件としての共振波長λFPは、
(1)式で示される。 λFP=2×n×L/M ・・・(1) ここで、λFPは共振器による共振波長、Lは共振器長、
Mは共振器の共振縦モード数を示している。そのため、
共振波長λFPは、共振縦モードとして多数存在する。
The wavelength of the external resonator type wavelength tunable light source is determined by two conditions (resonance wavelength λFP and Bragg wavelength λB), and the principle of the wavelength determination is shown in FIG. As shown in FIG. 5, the reflectance of the diffraction grating 2 with respect to the wavelength has wavelength selectivity, so that the reflectance changes with the wavelength. The end face of the optical amplifier 1 on which the anti-reflection film 1a is not applied has a constant reflectance (about 30%) without wavelength characteristics because the cleavage face of the semiconductor laser is used. And
The resonance wavelength λFP as the phase matching condition by the resonator is
It is shown by equation (1). λFP = 2 × n × L / M (1) where λFP is the resonance wavelength of the resonator, L is the length of the resonator,
M indicates the number of resonance longitudinal modes of the resonator. for that reason,
Many resonance wavelengths λFP exist as resonance longitudinal modes.

【0006】また、図7に示される光増幅器1と回折格
子2の光学配置(リトロ配置)で選択されるブラッグ波
長は、(2)式で示される。 λB =2×d×sin θ/N ・・・(2) ここで、λB は回折格子2で選択されたブラッグ波長、
dは回折格子2の溝間隔、Nは回折光の次数(通常N=
1)、θは回折格子2の法線と光増幅器1の射出光軸と
の角度(回折格子2への入射角度)をそれぞれ示してい
る。このブラック波長λBは、前述した多数存在する共
振縦モードの共振波長λFPから一つの縦モードを選択す
るフィルターとして機能する。つまり、外部共振器型波
長可変光源のレーザ発振は、回折格子2で選択されるブ
ラック波長λB 近傍のミラー損失が小さく、かつ共振器
による位相整合条件のあった共振波長λFPでレーザ発振
する。
The Bragg wavelength selected by the optical arrangement (retro arrangement) of the optical amplifier 1 and the diffraction grating 2 shown in FIG. 7 is expressed by the following equation (2). λB = 2 × d × sin θ / N (2) where λB is the Bragg wavelength selected by the diffraction grating 2,
d is the groove interval of the diffraction grating 2, N is the order of the diffracted light (usually N =
1) and θ indicate the angle between the normal line of the diffraction grating 2 and the emission optical axis of the optical amplifier 1 (the angle of incidence on the diffraction grating 2). The black wavelength λB functions as a filter for selecting one longitudinal mode from the resonance wavelengths λFP of the above-mentioned many resonance longitudinal modes. In other words, the laser oscillation of the external resonator type wavelength tunable light source oscillates at the resonance wavelength λFP where the mirror loss near the black wavelength λB selected by the diffraction grating 2 is small and the phase matching condition by the resonator is satisfied.

【0007】そして、回折格子2は、入射光軸に対する
角度を任意の角度(θ)に調整できるように回転機構7
上に配置され、(2)式で求められる波長の回折光のみ
を、入射光路と同一光路に回折して、光増幅器1に帰還
させ、レーザ発振させる。(2)式で求められる波長以
外の光は、入射光路と異なった光路に回折されるため、
光増幅器1に帰還しない。波長可変手段12は、回折格
子2の角度を可変させる回転機構7と回転制御手段13
と回転制御駆動回路14と、位置を可変させる平行移動
機構8と平行移動制御手段15と平行移動駆動回路16
から構成されている。回転機構7は、回転制御駆動回路
14からの信号に基づく回転制御手段13の駆動により
回転するように構成されている。そして、回転機構7を
回転制御駆動回路14により制御することで、回折格子
2を任意の角度に回転させ、選択される波長(ブラッグ
波長)を任意に変化させることができ、これによって光
増幅器1の利得範囲で波長可変を行うことができる。
The diffraction grating 2 has a rotating mechanism 7 so that the angle with respect to the incident optical axis can be adjusted to an arbitrary angle (θ).
Only the diffracted light having the wavelength determined by equation (2) is diffracted into the same optical path as the incident optical path, is fed back to the optical amplifier 1, and is oscillated by the laser. Light other than the wavelength determined by the equation (2) is diffracted into an optical path different from the incident optical path.
It does not return to the optical amplifier 1. The wavelength varying means 12 includes a rotation mechanism 7 for varying the angle of the diffraction grating 2 and a rotation control means 13.
, A rotation control drive circuit 14, a parallel movement mechanism 8 for varying the position, a parallel movement control means 15, and a parallel movement drive circuit 16.
It is composed of The rotation mechanism 7 is configured to rotate by driving the rotation control means 13 based on a signal from the rotation control drive circuit 14. Then, by controlling the rotation mechanism 7 by the rotation control drive circuit 14, the diffraction grating 2 can be rotated to an arbitrary angle and the selected wavelength (Bragg wavelength) can be changed arbitrarily. Wavelength can be tuned within the gain range described above.

【0008】また、回折格子2は、平行移動機構8によ
り光軸方向に平行移動できるように、回転機構7も含め
て平行移動機構8上に配置されている。そして、平行移
動機構8を平行移動駆動回路16により制御すること
で、回折格子2を共振器の光軸方向に平行移動させるこ
とができ、これによって共振波長を変化させることがで
きる。そのため、この外部共振器波長可変光源の波長
は、ブラッグ波長λBと共振波長λFPを別々に調整し
て、波長可変を行うことが可能である。しかし、回折格
子2の角度変化のみでは、ブラッグ波長のみが変化し
て、共振波長は変化しないので、モードホップを伴った
波長変化になる。同様に回折格子2の光軸方向の平行移
動のみでは、共振波長は変化するが、ブラッグ波長λB
は変化しないので、ブラッグ波長λB近傍の共振波長λF
Pの変化で、モードホップが繰り返される。
The diffraction grating 2 is disposed on the translation mechanism 8 including the rotation mechanism 7 so that the diffraction grating 2 can be translated in the optical axis direction by the translation mechanism 8. Then, by controlling the translation mechanism 8 by the translation drive circuit 16, the diffraction grating 2 can be translated in the optical axis direction of the resonator, and thereby the resonance wavelength can be changed. Therefore, the wavelength of the external resonator wavelength tunable light source can be tuned by separately adjusting the Bragg wavelength λB and the resonance wavelength λFP. However, if only the angle of the diffraction grating 2 changes, only the Bragg wavelength changes and the resonance wavelength does not change, so that the wavelength changes with mode hops. Similarly, the resonance wavelength changes only by the parallel movement of the diffraction grating 2 in the optical axis direction, but the Bragg wavelength λB
Does not change, the resonance wavelength λF near the Bragg wavelength λB
With the change of P, the mode hop is repeated.

【0009】モードホップのない波長可変を行う場合に
は、回折格子2で選択されるブラッグ波長λBの変化と
共振器のM次の縦モード数による共振波長λFPの変化を
同時に同じ波長量を変化させ、一定の縦モードで波長可
変させる必要がある。しかし、個別に入射角度変化と共
振器長変化を広範囲で連続に制御して、モードホップな
しの波長可変を行うことは極めて困難である。また、光
増幅器1である半導体レーザ素子の屈折率は、駆動電流
・温度・波長で変化する。駆動電流や温度に対しての屈
折率変化はほぼ線形変化となる。しかし、半導体レーザ
素子は、半導体レーザ内部のキャリア密度で屈折率が変
化し(プラズマ効果)、波長に対して閾値キャリア密度
が非線形であるため、波長に対しての屈折率変化も非線
形になる。
In the case of wavelength tuning without mode hop, the same wavelength amount is simultaneously changed by changing the Bragg wavelength λB selected by the diffraction grating 2 and the resonance wavelength λFP by the number of M-order longitudinal modes of the resonator. It is necessary to change the wavelength in a certain longitudinal mode. However, it is extremely difficult to control the change of the incident angle and the change of the resonator length individually and continuously over a wide range to perform wavelength tuning without mode hop. Further, the refractive index of the semiconductor laser device as the optical amplifier 1 changes depending on the drive current, temperature, and wavelength. The change in the refractive index with respect to the drive current and the temperature is almost linear. However, in a semiconductor laser device, the refractive index changes with the carrier density inside the semiconductor laser (plasma effect), and the threshold carrier density is non-linear with respect to wavelength, so that the refractive index with respect to wavelength is also non-linear.

【0010】モードホップのない波長可変を行うため
に、物理的共振器長と回折格子2のブラッグ波長を正確
に線形変化させても、実際の光学的共振器長は非線形変
化となり、さらにモードホップなしの波長可変が困難に
なる。さらに、回転機構7や平行移動機構8には、機構
的バックラッシュの発生が伴うため、フィードバック制
御しない制御では、正確な制御ができないという問題が
ある。
Even if the physical resonator length and the Bragg wavelength of the diffraction grating 2 are accurately and linearly changed in order to perform wavelength tuning without mode hopping, the actual optical resonator length changes non-linearly, and furthermore, the mode hopping changes. It becomes difficult to change the wavelength without using. Furthermore, since the rotation mechanism 7 and the parallel movement mechanism 8 involve mechanical backlash, there is a problem that accurate control cannot be performed by control without feedback control.

【0011】ところで、前述した第1の従来技術の外部
共振器型波長可変光源で回折格子2への入射角度変化と
共振器長変化を個別に制御している波長可変手段12の
改良型として、入射角度変化と共振器長変化を同時に制
御できるサインバー17及びコンタクト台18機構を使
用した波長可変手段19の米国特許(US5,347、
527)がある。即ち、図8に示すように、このサイン
バー17機構の波長可変は、平行移動駆動回路16によ
る駆動制御のみで、回折格子2の角度変化と共振器長変
化を同時に行うことが可能であり、モードホップの少な
い波長可変を簡単に行うことができる。しかし、前記し
たように光増幅器1である半導体レーザ素子の屈折率
は、駆動電流・温度・波長で変化するので、サインバー
17機構で制御しても、ある波長範囲以上に波長を変化
させると、共振波長λFPとブラッグ波長λB がずれてし
まい、モードホップを伴った波長可変になってしまう。
By the way, as an improved type of the wavelength variable means 12 which individually controls the change of the incident angle to the diffraction grating 2 and the change of the resonator length by the first prior art external resonator type wavelength variable light source, U.S. Pat. No. 5,347, U.S. Pat.
527). That is, as shown in FIG. 8, the wavelength of the sine bar 17 mechanism can be changed only by drive control by the parallel movement drive circuit 16 so that the angle change of the diffraction grating 2 and the resonator length change can be performed simultaneously. Wavelength tuning with few mode hops can be easily performed. However, as described above, the refractive index of the semiconductor laser device as the optical amplifier 1 changes depending on the drive current, temperature, and wavelength. Therefore, even if the wavelength is changed beyond a certain wavelength range even when controlled by the sine bar 17 mechanism. Then, the resonance wavelength λFP and the Bragg wavelength λB deviate, and the wavelength becomes variable with mode hop.

【0012】次に、第2の従来例としての外部共振器型
波長可変光源の構成を図9に示す。この外部共振器型波
長可変光源は、光増幅器1、回折格子2、レンズ3,
4、光アイソレータ5、光増幅器駆動回路6、反射器2
2、回転機構23等から構成されている。なお、図9に
おいて、前述した図7と同一部分には同一符号を付し、
その説明を省略する。光増幅器1と回折格子2と反射器
22の光学配置(リットマン配置)で選択されるブラッ
グ波長は、(3)式で示される。 λB=d/N×[sin(α)+sin(β)]・・・(3) ここで、αは回折格子2の法線と光増幅器1の射出光軸
との角度(回折格子2への入射角度)、βは回折格子2
の法線と回折格子22で回折した光の反射光軸との角度
(回折格子2からの反射角度)をそれぞれ示している。
Next, FIG. 9 shows the configuration of a second conventional external resonator type wavelength tunable light source. The external resonator type wavelength tunable light source includes an optical amplifier 1, a diffraction grating 2, a lens 3,
4, optical isolator 5, optical amplifier drive circuit 6, reflector 2
2. It is composed of a rotation mechanism 23 and the like. In FIG. 9, the same parts as those in FIG.
The description is omitted. The Bragg wavelength selected by the optical arrangement (Littman arrangement) of the optical amplifier 1, the diffraction grating 2, and the reflector 22 is expressed by the following equation (3). .lambda.B = d / N.times. [sin (.alpha.) + sin (.beta.)] (3) where .alpha. is the angle between the normal to the diffraction grating 2 and the emission optical axis of the optical amplifier 1 (to the diffraction grating 2). Incident angle), β is diffraction grating 2
Respectively, and the angle (reflection angle from the diffraction grating 2) between the normal line and the reflection optical axis of the light diffracted by the diffraction grating 22.

【0013】回折格子2は、光増幅器1の無反射膜1a
側端面からの射出光が入射角度αで入射される位置に配
置され、光学ベース台10に固定されている。反射器2
2は、回転機構23上に配置され、(3)式で求められ
る回折格子2からの回折光の内、反射器22に垂直に入
射した波長の光のみを、入射光路と同一光路に反射し
て、光増幅器1に帰還させ、レーザ発振させる。反射器
22に垂直入射しない波長の光は、入射光路と異なった
光路に反射されるため、光増幅器1に帰還しない。回転
機構23は、回転制御駆動回路26の制御による回転制
御手段21の駆動により支点を中心に回動するように構
成され、その回動に伴い、反射器22の角度変化と共振
器長変化とを同時に行い、ブラック波長λBと共振波長
λFPを変化させる。そのため、反射器22の回転中心位
置を最適位置に設計することで、モードホップの殆ど無
い波長可変が簡単に行える。しかし、第1の従来技術と
同様に、光増幅器1である半導体レーザ素子の屈折率
は、駆動電流・温度・波長で変化するので、この構造で
波長可変させても、ある波長範囲以上に波長を変化させ
ると、共振波長λFPとブラッグ波長λBがずれてしま
い、モードホップを伴った波長可変になってしまう。
The diffraction grating 2 is a non-reflective film 1a of the optical amplifier 1.
The light emitted from the side end surface is arranged at a position where the light is incident at an incident angle α, and is fixed to the optical base 10. Reflector 2
Numeral 2 is disposed on the rotating mechanism 23, and reflects only light of a wavelength that is perpendicularly incident on the reflector 22 out of the diffracted light from the diffraction grating 2 obtained by the equation (3) into the same optical path as the incident optical path. Then, the laser beam is fed back to the optical amplifier 1 to cause laser oscillation. Light having a wavelength not perpendicularly incident on the reflector 22 is reflected on an optical path different from the incident optical path, and therefore does not return to the optical amplifier 1. The rotation mechanism 23 is configured to rotate around a fulcrum by driving the rotation control means 21 under the control of the rotation control drive circuit 26, and with the rotation, changes in the angle of the reflector 22 and changes in the resonator length. At the same time to change the black wavelength λB and the resonance wavelength λFP. Therefore, by designing the rotation center position of the reflector 22 to be the optimum position, the wavelength can be easily changed with almost no mode hop. However, as in the first prior art, the refractive index of the semiconductor laser device, which is the optical amplifier 1, changes depending on the drive current, temperature, and wavelength. Is changed, the resonance wavelength .lambda.FP and the Bragg wavelength .lambda.B deviate, and the wavelength becomes variable with mode hop.

【0014】次に、第3の従来例として、モードホップ
の発生を防ぐ制御手段を使用した外部共振器型波長可変
光源(特開平9−102645号公報参照)の制御ブロ
ック図を図10に示す。この制御手段31は、光増幅器
(半導体レーザ)1の無反射膜1a側端面と回折格子
(波長選択素子)2などを使用した波長選択性を有する
反射装置32との共振器内に光分岐器(分波器)33を
挿入し、第1の受光器34と第2の受光器35を用い
て、光増幅器1から射出する光強度と反射装置31から
光増幅器1に帰還する光強度との比が所定の値になるよ
うに制御する。その公報の説明内容によれば、反射装置
31から光増幅器1に帰還する光には、回折格子(第1
の反射器)2によるフィルター特性の波長選択率の情報
が含まれているため、光増幅器(第2の反射器)1から
射出する光などの波長選択率の情報が含まれていない光
とを比較することで制御できるとしている。
Next, as a third conventional example, FIG. 10 shows a control block diagram of an external resonator type wavelength tunable light source (refer to Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-102645) using a control means for preventing occurrence of mode hop. . The control means 31 includes an optical splitter in a resonator of an end surface of the optical amplifier (semiconductor laser) 1 on the side of the non-reflection film 1a and a reflection device 32 having a wavelength selectivity using a diffraction grating (wavelength selection element) 2 or the like. (Diplexer) 33 is inserted, and the first light receiver 34 and the second light receiver 35 are used to compare the light intensity emitted from the optical amplifier 1 with the light intensity returned from the reflection device 31 to the optical amplifier 1. Control is performed so that the ratio becomes a predetermined value. According to the description in the publication, the light returning from the reflection device 31 to the optical amplifier 1 includes a diffraction grating (first light).
Of the filter characteristic of the optical amplifier (the second reflector) 2 and the light that does not include the information of the wavelength selectivity such as light emitted from the optical amplifier (second reflector) 1. It can be controlled by comparison.

【0015】しかし、レーザ発振の波長が、回折格子2
の反射率が低下する側に波長変化すると、光増幅器1に
帰還する光強度は低下するが、ミラー損失が大きくなっ
てレーザ発振の光強度も低下してしまう。反対に反射率
が増加する側に波長変化すると、光増幅器1に帰還する
光強度は増加するが、ミラー損失が小さくなってレーザ
発振の光強度も増加する。そのため、反射装置32から
光増幅器1に帰還する光と光増幅器1から射出する光の
強度変化は、同一方向に変化しているので、この共振器
内の光分岐器33による、反射装置32から光増幅器1
に帰還する光強度と光増幅器1から射出する光強度との
比では、十分な検出量が得られず、モードホップの発生
を防ぐように制御することは困難である。
However, when the wavelength of laser oscillation is
If the wavelength changes to the side where the reflectance of the optical amplifier 1 decreases, the light intensity returning to the optical amplifier 1 decreases, but the mirror loss increases and the light intensity of laser oscillation also decreases. Conversely, when the wavelength changes to the side where the reflectance increases, the light intensity returning to the optical amplifier 1 increases, but the mirror loss decreases and the light intensity of laser oscillation also increases. Therefore, the intensity change of the light returning from the reflection device 32 to the optical amplifier 1 and the intensity change of the light exiting from the optical amplifier 1 change in the same direction. Optical amplifier 1
In the ratio between the light intensity returning to the optical amplifier 1 and the light intensity emitted from the optical amplifier 1, a sufficient detection amount cannot be obtained, and it is difficult to perform control so as to prevent the occurrence of mode hop.

【0016】[0016]

【発明が解決しようとする課題】以上のように従来は、
外部共振器型波長可変光源において、各種の使用条件
(温度、駆動電流)で波長可変を行おうとすると、モー
ドホップのない波長可変幅の減少が起きてしまうという
問題があった。
As described above, conventionally,
In the external resonator type wavelength tunable light source, there is a problem that when the wavelength is tunable under various use conditions (temperature, drive current), the wavelength tunable width without a mode hop is reduced.

【0017】本発明の目的は、使用条件が変化しても、
モードホップの発生を防いで、波長可変が行える外部共
振器型波長可変光源を提供することにある。
It is an object of the present invention to provide an image forming apparatus which
An object of the present invention is to provide an external resonator type wavelength tunable light source capable of tunable wavelength while preventing occurrence of mode hop.

【0018】[0018]

【課題を解決するための手段】以上の課題を解決すべく
請求項1記載の発明は、例えば、図1に示すように、一
方の端面に無反射膜(1a)が施された光増幅器(1)
と、この光増幅器の無反射膜側の光軸上に配置され、波
長選択機能を有する回折格子(2)と、回折格子の1次
回折光の光軸上に配置され、1次回折光(L1 )を回折
格子に再度反射する反射器(42)と、を備える外部共
振器型波長可変光源であって、回折格子に対し入射角度
と対称の角度で反射する0次回折光(L0 )を受光して
電気信号に変換する第1の受光器(43)と、光増幅器
の無反射膜が施されていない他方の端面から射出する前
方向出力光(Lf )を出力光(L)と分岐光(Ls )と
に分岐する光分岐器(41)と、この光分岐器からの分
岐光を受光して電気信号に変換する第2の受光器(4
4)と、第1及び第2の両受光器からの電気信号を所定
の演算処理する演算処理回路(45)と、反射器(4
2)の位置を調整する位相調整手段(46)と、演算処
理回路からの出力値を所定の値に制御するように位相調
整手段にフィードバック制御して波長を可変制御する波
長可変手段(47)と、を備えた構成、を特徴としてい
る。
In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 1 is, for example, an optical amplifier (FIG. 1) having one end face provided with a non-reflection film (1a). 1)
A diffraction grating (2) arranged on the optical axis on the antireflection film side of the optical amplifier and having a wavelength selecting function; and a first-order diffracted light (L1) arranged on the optical axis of the first-order diffracted light of the diffraction grating. And a reflector (42) that reflects light again to the diffraction grating, and receives the 0th-order diffracted light (L0) reflected at an angle symmetrical to the incident angle with respect to the diffraction grating. A first photodetector (43) for converting into an electric signal, and a forward output light (Lf) emitted from the other end face of the optical amplifier on which the antireflection film is not applied are output light (L) and split light (Ls). ) And a second optical receiver (4) that receives the split light from the optical splitter and converts the split light into an electric signal.
4), an arithmetic processing circuit (45) for performing predetermined arithmetic processing on the electric signals from both the first and second optical receivers, and a reflector (4).
2) a phase adjusting means (46) for adjusting the position, and a wavelength variable means (47) for performing feedback control to the phase adjusting means so as to control the output value from the arithmetic processing circuit to a predetermined value and variably controlling the wavelength. And a configuration comprising:

【0019】このように、請求項1記載の発明によれ
ば、光増幅器の後方向出力光の光強度として0次回折光
の光強度を第1の受光器で測定し、光増幅器の前方向出
力光の光強度を第2の受光器で測定して、前方向に射出
する前方向出力光と回折格子側に射出する後方向出力光
の強度比をブラッグ波長(λB )と共振波長(λFP)の
ズレ量として演算処理回路で求め、演算処理回路からの
出力値が一定になるように、位相調整手段による反射器
の位置または角度をフィードバック制御しながら、波長
可変手段によって波長可変を行うことで、モードホップ
のない波長可変が得られる。
As described above, according to the first aspect of the present invention, the light intensity of the zero-order diffracted light is measured by the first light receiver as the light intensity of the backward output light of the optical amplifier, and the forward output of the optical amplifier is measured. The light intensity of the light is measured by the second light receiver, and the intensity ratio between the forward output light emitted in the forward direction and the backward output light emitted to the diffraction grating side is defined as the Bragg wavelength (λB) and the resonance wavelength (λFP). The amount of deviation is obtained by an arithmetic processing circuit, and the wavelength is tunable by the wavelength tunable means while performing feedback control of the position or angle of the reflector by the phase adjusting means so that the output value from the arithmetic processing circuit becomes constant. , A wavelength tunable without mode hop is obtained.

【0020】請求項2記載の発明は、請求項1記載の外
部共振器型波長可変光源であって、例えば、図2に示す
ように、位相調整手段(46)は、反射器(42)を保
持する平行移動機構(48)と、この平行移動機構を位
置制御する平行移動制御手段(54)と、この平行移動
制御手段を駆動する平行移動駆動回路(55)と、を備
え、演算処理回路からの電気信号により、平行移動駆動
回路から制御信号を出力して平行移動制御手段を駆動す
ることによって、反射光軸に対する反射器(42)の位
置を制御すること、を特徴としている。
According to a second aspect of the present invention, there is provided an external resonator type wavelength tunable light source according to the first aspect, wherein, for example, as shown in FIG. 2, the phase adjusting means (46) includes a reflector (42). An arithmetic processing circuit comprising: a parallel movement mechanism (48) for holding; a parallel movement control means (54) for controlling the position of the parallel movement mechanism; and a parallel movement drive circuit (55) for driving the parallel movement control means. The control signal is output from the parallel movement drive circuit in response to the electric signal from the controller and the parallel movement control means is driven to control the position of the reflector (42) with respect to the reflected optical axis.

【0021】請求項3記載の発明は、請求項1記載の外
部共振器型波長可変光源であって、例えば、図3に示す
ように、位相調整手段(46)は、反射器(42)を保
持する第2の回転機構(58)と、この第2の回転機構
を角度制御する第2の回転制御手段(57)と、この第
2の回転制御手段を駆動する第2の回転制御駆動回路
(56)と、を備え、演算処理回路からの電気信号によ
り、第2の回転制御駆動回路から制御信号を出力して第
2の回転制御手段を駆動することによって、反射光軸に
対して反射器(42)の角度を制御すること、を特徴と
している。
According to a third aspect of the present invention, there is provided an external resonator type wavelength tunable light source according to the first aspect, wherein, as shown in FIG. 3, the phase adjusting means (46) includes a reflector (42). A second rotation mechanism (58) for holding, a second rotation control means (57) for controlling the angle of the second rotation mechanism, and a second rotation control drive circuit for driving the second rotation control means (56), a control signal is output from the second rotation control drive circuit in response to an electric signal from the arithmetic processing circuit to drive the second rotation control means, so that the light is reflected with respect to the reflected optical axis. Controlling the angle of the vessel (42).

【0022】また、請求項4記載の発明は、例えば、図
4に示すように、一方の端面に無反射膜(1a)が施さ
れた光増幅器(1)と、この光増幅器の無反射膜側の光
軸上に配置され、波長選択機能を有する回折格子(2)
と、を備える外部共振器型波長可変光源であって、回折
格子(2)に対し入射角度と対称の角度で反射する0次
回折光(L0 )を受光して電気信号に変換する第1の受
光器(43)と、光増幅器の無反射膜が施されていない
他方の端面から射出する前方向出力光(Lf )を出力光
(L)と分岐光(Ls )とに分岐する光分岐器(41)
と、この光分岐器からの分岐光を受光して電気信号に変
換する第2の受光器(44)と、第1及び第2の両受光
器からの電気信号を所定の演算処理する演算処理回路
(45)と、回折格子(2)の位置を調整する位相調整
手段(46)と、演算処理回路からの出力値を所定の値
に制御するように位相調整手段にフィードバック制御し
て波長を可変制御する波長可変手段(47)と、を備え
た構成、を特徴としている。
Further, the invention according to claim 4 provides, for example, an optical amplifier (1) having one end face provided with a non-reflection film (1a) as shown in FIG. Grating arranged on the optical axis on the side and having a wavelength selection function (2)
A wavelength-variable light source of an external resonator type, comprising: a first light-receiving element that receives the 0th-order diffracted light (L0) reflected at an angle symmetrical with respect to the incident angle with respect to the diffraction grating (2) and converts the light into an electric signal; And an optical splitter (43) for splitting the forward output light (Lf) emitted from the other end face of the optical amplifier on which the non-reflection film is not applied, into output light (L) and split light (Ls). 41)
A second photodetector (44) for receiving the split light from the optical splitter and converting the split light into an electric signal; and an arithmetic processing for performing predetermined arithmetic processing on the electric signals from both the first and second photodetectors. A circuit (45), a phase adjusting means (46) for adjusting the position of the diffraction grating (2), and a feedback control to the phase adjusting means so as to control the output value from the arithmetic processing circuit to a predetermined value to adjust the wavelength. And a variable wavelength control means (47) for variably controlling.

【0023】このように、請求項4記載の発明によれ
ば、光増幅器の後方向出力光の光強度として0次回折光
の光強度を第1の受光器で測定し、光増幅器の前方向出
力光の光強度を第2の受光器で測定して、前方向に射出
する前方向出力光と回折格子側に射出する後方向出力光
の強度比をブラッグ波長(λB )と共振波長(λFP)の
ズレ量として演算処理回路で求め、演算処理回路からの
出力値が一定になるように、位相調整手段による回折格
子の位置をフィードバック制御しながら、波長可変手段
によって波長可変を行うことで、モードホップのない波
長可変が得られる。
As described above, according to the invention, the light intensity of the 0th-order diffracted light is measured by the first light receiver as the light intensity of the backward output light of the optical amplifier, and the forward output of the optical amplifier is measured. The light intensity of the light is measured by the second light receiver, and the intensity ratio between the forward output light emitted in the forward direction and the backward output light emitted to the diffraction grating side is defined as the Bragg wavelength (λB) and the resonance wavelength (λFP). The amount of deviation is obtained by the arithmetic processing circuit, and the wavelength is tunable by the wavelength tunable means while performing feedback control of the position of the diffraction grating by the phase adjusting means so that the output value from the arithmetic processing circuit becomes constant. A hop-free wavelength tunable is obtained.

【0024】請求項5記載の発明は、請求項4記載の外
部共振器型波長可変光源であって、例えば、図4に示す
ように、位置調整手段(46)は、回折格子(2)を保
持する平行移動機構(48)と、この平行移動機構を位
置制御する平行移動制御手段(54)と、この平行移動
制御手段を駆動する平行移動駆動回路(55)と、を備
え、演算処理回路からの電気信号により、平行移動駆動
回路から制御信号を出力して平行移動制御手段を駆動す
ることによって、射出光軸に対する回折格子(2)の位
置を制御すること、を特徴としている。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided an external resonator type wavelength tunable light source according to the fourth aspect. For example, as shown in FIG. 4, the position adjusting means (46) includes a diffraction grating (2). An arithmetic processing circuit comprising: a parallel movement mechanism (48) for holding; a parallel movement control means (54) for controlling the position of the parallel movement mechanism; and a parallel movement drive circuit (55) for driving the parallel movement control means. The control signal is output from the parallel movement drive circuit in response to the electric signal from the controller and the parallel movement control means is driven to control the position of the diffraction grating (2) with respect to the emission optical axis.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】以下に、本発明に係る外部共振器
型波長可変光源の実施の各形態例を図1から図4に基づ
いて説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of an external resonator type wavelength variable light source according to the present invention will be described below with reference to FIGS.

【0026】<第1の実施の形態例>図1は、本発明を
適用した第1の実施の形態例としての外部共振器型波長
可変光源の構成を示すブロック図である。この外部共振
器型波長可変光源は、図示のように、光増幅器としての
半導体レーザ1、回折格子2、光増幅器1の射出光軸上
に配置されるレンズ3,4、光アイソレータ5、光増幅
器駆動回路6、光分岐器41、反射器42、第1の受光
器43、第2の受光器44、演算処理回路45、波長可
変手段46、位相調整手段47などから構成されてい
る。光増幅器1は、ファブリ・ペロ型半導体レーザであ
り、片端面に無反射膜1aが施されている。また、光増
幅器1は、光増幅器駆動回路6と接続され、この光増幅
器駆動回路6からの注入電流に応じて、両端面から光を
射出する。レンズ3は、光増幅器1の無反射膜1a側の
射出光軸上に配置され、光増幅器1の無反射膜1a側端
面からの射出光を平行光に変換する。その平行光に変換
された射出光は、回折格子2に入射される。
<First Embodiment> FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an external resonator type wavelength tunable light source as a first embodiment of the present invention. As shown in the figure, the external resonator type wavelength tunable light source includes a semiconductor laser 1 as an optical amplifier, a diffraction grating 2, lenses 3 and 4 arranged on an emission optical axis of the optical amplifier 1, an optical isolator 5, an optical amplifier. It comprises a drive circuit 6, an optical splitter 41, a reflector 42, a first light receiver 43, a second light receiver 44, an arithmetic processing circuit 45, a wavelength varying means 46, a phase adjusting means 47 and the like. The optical amplifier 1 is a Fabry-Perot type semiconductor laser, and has an antireflection film 1a on one end surface. Further, the optical amplifier 1 is connected to the optical amplifier drive circuit 6 and emits light from both end surfaces according to the injection current from the optical amplifier drive circuit 6. The lens 3 is disposed on the emission optical axis on the side of the non-reflective film 1a of the optical amplifier 1, and converts the light emitted from the end surface of the optical amplifier 1 on the side of the non-reflective film 1a into parallel light. The emitted light converted to the parallel light is incident on the diffraction grating 2.

【0027】回折格子2は、光増幅器1の無反射膜1a
側端面からの射出光軸上に射出光が入射角度αで入射さ
れる位置に配置されている。この回折格子2は、波長選
択反射器として機能し、光増幅器1から入射角度αで入
射された平行光のうち、前述した(3)式で示される波
長の光の大半(反射率分)を1次回折光L1 として角度
βで回折する。一方、(3)式で示される波長の光で回
折されない光を、回折格子2の法線に対して入射角度α
と対称の角度で0次回折光L0 として反射する。また、
レンズ4は、光増幅器1の無反射膜1aが施されていな
い側の射出光軸上に配置され、光増幅器1の端面から射
出される前方向出力光Lf を平行光に変換する。その平
行光に変換された前方向出力光Lf は、光アイソレータ
5に入射される。光アイソレータ5は、この光アイソレ
ータ5を通過した前方向出力光Lf の一部が反射光とし
て光増幅器1に戻らないようにするためのもので、この
光アイソレータ1を通過した前方向出力光Lf は、光分
岐器41に入射する。光分岐器41は、入射した前方向
出力光Lf の光を分岐光Ls と出力光Lとして分岐す
る。
The diffraction grating 2 is a non-reflective film 1a of the optical amplifier 1.
The emitted light is arranged at a position where the emitted light is incident on the optical axis from the side end surface at an incident angle α. The diffraction grating 2 functions as a wavelength-selective reflector, and converts most (reflectance) of the light having the wavelength represented by the above-described equation (3) among the parallel light incident from the optical amplifier 1 at the incident angle α. The light is diffracted at an angle β as the first-order diffracted light L1. On the other hand, the light that is not diffracted by the light having the wavelength represented by the equation (3) is converted into an incident angle α with respect to the normal to the diffraction grating 2.
And is reflected as the 0th-order diffracted light L0 at an angle symmetrical to Also,
The lens 4 is disposed on the emission optical axis of the optical amplifier 1 on the side where the non-reflection film 1a is not applied, and converts the forward output light Lf emitted from the end face of the optical amplifier 1 into parallel light. The forward output light Lf converted into the parallel light is incident on the optical isolator 5. The optical isolator 5 is for preventing a part of the forward output light Lf that has passed through the optical isolator 5 from returning to the optical amplifier 1 as reflected light. Enters the optical splitter 41. The optical splitter 41 splits the incident light of the forward output light Lf into split light Ls and output light L.

【0028】反射器42は、光増幅器1から回折格子2
に入射して角度βで回折した波長の1次回折光L1 が入
射される位置に配置され、1次回折光L1 を反射する。
この時、(3)式で求められる回折格子2からの回折光
の内、反射器42に垂直に入射した波長の光のみを、入
射光路と同一光路に反射して、光増幅器1に帰還させ、
レーザ発振させる。なお、反射器42に垂直入射しない
波長の光は、入射光路と異なった光路に反射されるた
め、光増幅器1に帰還しない。第1の受光器43は、回
折格子2からの0次回折光L0 として反射した光が入射
し、電気出力に変換され、演算処理回路45に回折格子
2側の光強度として出力される。第2の受光器44は、
光分岐器41からの分岐光Ls が入射され、電気出力に
変換され、演算処理回路45に前方向出力光Lf の光強
度として出力される。演算処理回路45は、第1の受光
器43と第2の受光器44から入力された電気出力を演
算し、前方向出力光Lf と回折格子2側出力光の強度の
比を求め、制御信号として位相調整手段46へ出力す
る。
The reflector 42 is provided between the optical amplifier 1 and the diffraction grating 2.
And is arranged at a position where the first-order diffracted light L1 having the wavelength diffracted at the angle β is incident, and reflects the first-order diffracted light L1.
At this time, of the diffracted light from the diffraction grating 2 obtained by the equation (3), only light having a wavelength that is perpendicularly incident on the reflector 42 is reflected on the same optical path as the incident optical path, and is returned to the optical amplifier 1. ,
Start laser oscillation. Note that light having a wavelength not perpendicularly incident on the reflector 42 is reflected on an optical path different from the incident optical path, and therefore does not return to the optical amplifier 1. The first light receiver 43 receives the light reflected as the 0th-order diffracted light L0 from the diffraction grating 2, converts the light into an electric output, and outputs the electric output to the arithmetic processing circuit 45 as the light intensity on the diffraction grating 2 side. The second light receiver 44 is
The split light Ls from the optical splitter 41 enters, is converted into an electrical output, and is output to the arithmetic processing circuit 45 as the light intensity of the forward output light Lf. The arithmetic processing circuit 45 calculates the electric output input from the first light receiver 43 and the second light receiver 44, obtains the ratio between the intensity of the forward output light Lf and the intensity of the output light on the diffraction grating 2 side, and outputs a control signal. And outputs it to the phase adjusting means 46.

【0029】次に、図2は、図1の波長可変手段47と
位相調整手段46を説明するブロック図である。反射器
42は、位相調整手段46としての平行移動機構48上
に配置され、さらに、この平行移動機構48ごと波長可
変手段47としての回転機構49上に配置されている。
波長可変手段47は、反射器42の角度可変と共振器長
変化とを行う回転機構49と回転制御手段51と回転制
御駆動回路52から構成されている。回転機構49は、
回転制御駆動回路52の制御による回転制御手段51の
駆動により支点53を中心に回動するように構成され、
その回動に伴い、反射器42の角度変化と共振器長変化
とを同時に行い、ブラッグ波長λB と共振波長λFPを変
化させる。
Next, FIG. 2 is a block diagram for explaining the wavelength changing means 47 and the phase adjusting means 46 of FIG. The reflector 42 is arranged on a parallel moving mechanism 48 as a phase adjusting means 46, and further arranged together with the parallel moving mechanism 48 on a rotating mechanism 49 as a wavelength changing means 47.
The wavelength variable means 47 includes a rotation mechanism 49 for changing the angle of the reflector 42 and changing the resonator length, a rotation control means 51, and a rotation control drive circuit 52. The rotation mechanism 49
It is configured to rotate around a fulcrum 53 by driving of the rotation control means 51 under the control of the rotation control drive circuit 52,
Along with the rotation, the angle change of the reflector 42 and the change of the resonator length are simultaneously performed to change the Bragg wavelength λB and the resonance wavelength λFP.

【0030】位相調整手段46は、反射器42を光軸方
向に可変させる平行移動機構48と平行移動制御手段5
4と平行移動駆動回路55から構成されている。平行移
動機構48は、平行移動駆動回路55からの信号に基づ
く平行移動制御手段54の駆動により平行移動するよう
に構成され、共振波長λFPを微少に変化させることがで
きる。平行移動駆動回路55は、演算処理回路45から
入力された制御信号の値が所定の値になるように、平行
移動制御手段54を駆動して、反射器42の位置を制御
する。この第1の実施の形態例の構成では、波長可変手
段47によるブラッグ波長λB の変化に対して、共振波
長λFPを微少に制御していることになる。
The phase adjusting means 46 includes a translation mechanism 48 for changing the reflector 42 in the optical axis direction and a translation control means 5.
4 and a parallel movement drive circuit 55. The translation mechanism 48 is configured to translate by driving the translation control means 54 based on a signal from the translation drive circuit 55, and can slightly change the resonance wavelength λFP. The translation drive circuit 55 drives the translation control means 54 to control the position of the reflector 42 such that the value of the control signal input from the arithmetic processing circuit 45 becomes a predetermined value. In the configuration of the first embodiment, the resonance wavelength λFP is minutely controlled with respect to the change in the Bragg wavelength λB by the wavelength variable means 47.

【0031】以上のように、第1の実施の形態例の外部
共振器型波長可変光源によれば、光増幅器1の後方向出
力光Lr の光強度として回折格子2から0次回折光L0
の光強度を第1の受光器43で測定し、光増幅器1の前
方向出力光Lf の光強度を第2の受光器44で測定し
て、前方向に射出する前方向出力光Lf と回折格子2側
に射出する後方向出力光Lr の強度比をブラッグ波長λ
B と共振波長λFPのズレ量として演算処理回路45で求
める。
As described above, according to the external resonator type wavelength tunable light source of the first embodiment, the 0th-order diffracted light L0 from the diffraction grating 2 is obtained as the light intensity of the backward output light Lr of the optical amplifier 1.
Is measured by the first light receiver 43, the light intensity of the forward output light Lf of the optical amplifier 1 is measured by the second light receiver 44, and the forward output light Lf emitted in the forward direction is diffracted. The intensity ratio of the backward output light Lr emitted to the grating 2 is represented by the Bragg wavelength λ.
The difference between B and the resonance wavelength λFP is obtained by the arithmetic processing circuit 45.

【0032】次に、以上の外部共振器型波長可変光源に
おいて、モードホップしながら波長可変する場合の波長
に対する光出力特性を示して、前述したモードホップの
発生を制御する動作原理を説明する。図6に、回折格子
2の角度変化によるブラック波長変化と共振器長の変化
による共振波長変化の変化率が異なっている場合(モー
ドホップの発生する場合)の光出力特性を示す。即ち、
図6に示されるように、光出力特性は、波長に対して鋸
波状の出力変化になり、鋸波状の不連続な変化の波長で
モードホップが発生している。また、前方向出力光Lf
の強度変化と0次回折光L0 の強度変化は、逆位相の変
化を示す。
Next, the operation principle of controlling the generation of the mode hop will be described with reference to the light output characteristics with respect to the wavelength when the wavelength is changed while the mode hop is performed in the above-described external resonator type wavelength tunable light source. FIG. 6 shows the light output characteristics when the change rate of the change in the resonance wavelength due to the change in the resonator length and the change in the black wavelength due to the change in the angle of the diffraction grating 2 is different (when a mode hop occurs). That is,
As shown in FIG. 6, the optical output characteristic has a sawtooth output change with respect to the wavelength, and a mode hop occurs at the wavelength of the sawtooth discontinuous change. Further, the forward output light Lf
And the intensity change of the 0th-order diffracted light L0 show opposite phase changes.

【0033】前述したように、光増幅器1に半導体レー
ザ素子を使用すると、半導体レーザ内部のキャリア密度
変化で屈折率が変化する(プラズマ効果)。このプラズ
マ効果は、キャリア密度が増加すると、波長が短波長側
へ変化する。そのため、反射器42や回折格子2の反射
率が低下すると、ミラー損失が大きくなって閾値キャリ
ア密度が増加する。前述したように、キャリア密度が増
加すると波長は短波長側へ変化するが、回折格子2の反
射率特性で短波長側では、波長が短波長側へ変化しよう
とすると、反射率が低下してキャリア密度が増加し、波
長がさらに短波長側へ変化して反射率が低下することに
なってしまい、レーザ発振できなくなる。反対に長波長
側では、波長が長波長側へ変化しようとすると、反射率
が低下してキャリア密度が増加し、波長が短波長側へ変
化しようとするフィードバック効果が得られ、安定した
波長でレーザ発振する結果となる。そのため、この鋸波
状の出力変化は、回折格子2の反射特性で長波長側の傾
きの波長領域でしか、レーザ発振しないために発生す
る。
As described above, when a semiconductor laser element is used for the optical amplifier 1, the refractive index changes due to the change in the carrier density inside the semiconductor laser (plasma effect). In the plasma effect, as the carrier density increases, the wavelength changes to the shorter wavelength side. Therefore, when the reflectance of the reflector 42 or the diffraction grating 2 decreases, the mirror loss increases and the threshold carrier density increases. As described above, when the carrier density increases, the wavelength changes to the short wavelength side. However, on the short wavelength side due to the reflectance characteristic of the diffraction grating 2, when the wavelength tries to change to the short wavelength side, the reflectance decreases. The carrier density increases, the wavelength further shifts to the shorter wavelength side, and the reflectance decreases, so that laser oscillation cannot be performed. Conversely, on the long wavelength side, when the wavelength tries to change to the long wavelength side, the reflectance decreases and the carrier density increases, and a feedback effect that the wavelength tries to change to the short wavelength side is obtained. This results in laser oscillation. Therefore, the sawtooth output change occurs because the laser oscillation occurs only in the wavelength region of the long wavelength side in the reflection characteristic of the diffraction grating 2.

【0034】さらに、各モードホップ間でなだらかに変
化している中に、周期的な光強度変化がある。これは、
光増幅器1の片端面に施した無反射膜1aの反射率が、
完全に0%の反射率を得られないために発生する。その
結果、図6で示される光出力特性で、前方向出力光Lf
の光強度と0次回折光L0 の光強度との強度比が一定に
なるように、演算処理回路45からの出力値を位相調整
手段46にフィードバック制御して波長可変を行うと、
モードホップのない波長可変が得られることが可能とな
る。
Further, there is a periodic change in light intensity while the change is gradual between mode hops. this is,
The reflectance of the anti-reflection film 1a applied to one end surface of the optical amplifier 1 is
This occurs because the reflectance of 0% cannot be obtained completely. As a result, with the light output characteristics shown in FIG.
The output value from the arithmetic processing circuit 45 is feedback-controlled to the phase adjustment means 46 so that the wavelength ratio is changed so that the intensity ratio between the light intensity of the zero-order diffracted light L0 and the light intensity of the zero-order diffracted light L0 becomes constant.
A wavelength tunable without mode hop can be obtained.

【0035】<第2の実施の形態例>図3は、本発明を
適用した第2の実施の形態例としての外部共振器型波長
可変光源の位相調整手段の構成を示すブロック図であ
る。なお、図3において、前述した図1及び図2と同一
部分には同一符号を付し、その説明を省略する。この第
2の実施の形態例の外部共振器型波長可変光源では、反
射器42の位相調整手段46が、第2の回転制御駆動回
路56と第2の回転制御手段57と第2の回転機構58
から構成されている。即ち、反射器42は、位相調整手
段46としての第2の回転機構58上に配置され、さら
に、この第2の回転機構58ごと波長可変手段47とし
ての第1の回転機構49上に配置されている。波長可変
手段47は、反射器42の角度可変と共振器長変化とを
行う第1の回転機構49と第1の回転制御手段51と第
1の回転制御駆動回路52から構成されている。
<Second Embodiment> FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of a phase adjusting means of an external resonator type wavelength tunable light source as a second embodiment to which the present invention is applied. In FIG. 3, the same portions as those in FIGS. 1 and 2 described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted. In the external resonator type wavelength tunable light source according to the second embodiment, the phase adjusting means 46 of the reflector 42 includes the second rotation control drive circuit 56, the second rotation control means 57, and the second rotation mechanism. 58
It is composed of That is, the reflector 42 is arranged on a second rotating mechanism 58 as the phase adjusting means 46, and further arranged on the first rotating mechanism 49 as the wavelength variable means 47 together with the second rotating mechanism 58. ing. The wavelength variable means 47 includes a first rotation mechanism 49 for varying the angle of the reflector 42 and changing the resonator length, a first rotation control means 51, and a first rotation control drive circuit 52.

【0036】第1の回転機構49は、第1の回転制御駆
動回路52の制御による第1の回転制御手段51の駆動
により支点53を中心に回動するように構成され、その
回動に伴い、反射器42の角度変化と共振器長変化とを
同時に行い、ブラッグ波長λB と共振波長λFPを変化さ
せる。第2の回転機構58は、第2の回転制御駆動回路
56からの信号に基づく第2の回転制御手段57の駆動
により角度変化するように構成される。しかし、位相調
整手段46で変化する反射器42の角度変化は、波長可
変手段47で変化する角度変化と比較すると、非常に微
少量としている。この第2の実施の形態例の構成では、
波長可変手段47による共振器長λFP変化に対して、ブ
ラッグ波長λB を微少に制御していることになる。
The first rotation mechanism 49 is configured to rotate about the fulcrum 53 by driving the first rotation control means 51 under the control of the first rotation control drive circuit 52. The change of the angle of the reflector 42 and the change of the resonator length are simultaneously performed to change the Bragg wavelength λB and the resonance wavelength λFP. The second rotation mechanism 58 is configured to change the angle by driving the second rotation control means 57 based on a signal from the second rotation control drive circuit 56. However, the change in the angle of the reflector 42 changed by the phase adjusting means 46 is extremely small compared to the change in the angle changed by the wavelength variable means 47. In the configuration of the second embodiment,
This means that the Bragg wavelength λB is minutely controlled with respect to the change in the resonator length λFP by the wavelength variable means 47.

【0037】以上のように、第2の実施の形態例の外部
共振器型波長可変光源によれば、ブラッグ波長λB と共
振波長λFPの波長ズレを求める手段は第1の実施の形態
例と同様であるが、制御手段の方法が異なっている。そ
の結果、第1の実施の形態例と同様に、演算処理回路4
5からの出力値が一定になるように、位相調整手段46
にフィードバック制御して波長可変を行うと、モードホ
ップのない波長可変が得られることが可能となる。
As described above, according to the external resonator type wavelength tunable light source of the second embodiment, the means for determining the wavelength deviation between the Bragg wavelength λ B and the resonance wavelength λ FP is the same as in the first embodiment. However, the method of the control means is different. As a result, similarly to the first embodiment, the arithmetic processing circuit 4
5 so that the output value from the control unit 5 is constant.
When the wavelength is tuned by performing feedback control on the wavelength, it is possible to obtain a wavelength tunable without a mode hop.

【0038】<第3の実施の形態例>図4は、本発明を
適用した第3の実施の形態例としての外部共振器型波長
可変光源の構成を示すブロック図である。なお、図4に
おいて、前述した図1から図3と同一部分には、同一符
号を付し、その説明を省略する。回折格子2は、光増幅
器1の無反射膜1a側端面からの射出光軸上に配置され
ている。この回折格子2は、波長選択反射器として機能
し、光増幅器1から入射角度θで入射された平行光のう
ち、前述した(1)式で示される波長の光の大半(反射
率分)を1次回折光L1 として、入射光路と同一光路に
反射して、光増幅器1に帰還させ、レーザ発振させる。
なお、(1)式で示されない波長の光は、入射光路と異
なった光路に反射されるため、光増幅器1に帰還しな
い。また、回折格子2は、波長可変手段47としての回
転機構49上に配置され、さらに、この回転機構49ご
と位相調整手段46としての平行移動機構48上に配置
されている。
<Third Embodiment> FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of an external resonator type wavelength tunable light source as a third embodiment to which the present invention is applied. In FIG. 4, the same parts as those in FIGS. 1 to 3 described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted. The diffraction grating 2 is arranged on an optical axis emitted from the end surface of the optical amplifier 1 on the antireflection film 1a side. The diffraction grating 2 functions as a wavelength-selective reflector, and converts most (reflectance) of the light having the wavelength represented by the above-described equation (1) out of the parallel light incident from the optical amplifier 1 at the incident angle θ. The first-order diffracted light L1 is reflected on the same optical path as the incident optical path, is fed back to the optical amplifier 1, and oscillates.
It should be noted that the light of the wavelength not shown by the expression (1) is reflected on an optical path different from the incident optical path, and therefore does not return to the optical amplifier 1. Further, the diffraction grating 2 is arranged on a rotation mechanism 49 as a wavelength varying means 47, and further arranged on a parallel movement mechanism 48 as a phase adjustment means 46 together with the rotation mechanism 49.

【0039】波長可変手段47は、回折格子2の角度可
変を行う回転機構49と回転制御手段51と回転制御駆
動回路52から構成されている。回転機構49は、回転
制御駆動回路52の制御による回転制御手段51の駆動
により回動するように構成され、その回動に伴い、回折
格子2の角度変化を行い、ブラック波長λB を変化させ
る。位相調整手段46は、回折格子2を光軸方向に可変
させる平行移動機構48と平行移動制御手段54と平行
移動駆動回路55から構成されている。平行移動機構4
8は、平行移動駆動回路55からの信号に基づく平行移
動制御手段54の駆動により平行移動するように構成さ
れ、その平行移動に伴い、回折格子2までの共振器長変
化を行い、共振波長λFPを変化させる。平行移動駆動回
路55は、演算処理回路45から入力された制御信号の
値が所定の値になるように、平行移動制御手段54を駆
動して、回折格子2の位置を制御する。
The wavelength variable means 47 comprises a rotation mechanism 49 for varying the angle of the diffraction grating 2, a rotation control means 51, and a rotation control drive circuit 52. The rotation mechanism 49 is configured to rotate by the rotation of the rotation control means 51 under the control of the rotation control drive circuit 52, and with the rotation, changes the angle of the diffraction grating 2 to change the black wavelength λB. The phase adjusting means 46 includes a parallel movement mechanism 48 for changing the diffraction grating 2 in the optical axis direction, a parallel movement control means 54, and a parallel movement drive circuit 55. Parallel movement mechanism 4
Numeral 8 is configured to move in parallel by driving the parallel movement control means 54 based on a signal from the parallel movement drive circuit 55. With the parallel movement, the resonator length changes up to the diffraction grating 2, and the resonance wavelength λFP To change. The translation drive circuit 55 drives the translation control means 54 to control the position of the diffraction grating 2 so that the value of the control signal input from the arithmetic processing circuit 45 becomes a predetermined value.

【0040】以上のように、第3の実施の形態例の外部
共振器型波長可変光源によれば、ブラッグ波長λB と共
振波長λFPの波長ズレを求める手段は第1と第2の実施
の形態例と同様であるが、外部共振器型波長可変光源の
光学構成が異なって、回折格子2の位置自体を平行移動
制御する。その結果、第1と第2の実施の形態例と同様
に、演算処理回路45からの出力値が一定になるよう
に、位相調整手段46にフィードバック制御して波長可
変を行うと、モードホップのない波長可変が得られるこ
とが可能となる。
As described above, according to the external resonator type wavelength tunable light source of the third embodiment, the means for determining the wavelength difference between the Bragg wavelength λ B and the resonance wavelength λ FP is the same as the first and second embodiments. As in the example, the optical configuration of the external resonator type wavelength tunable light source is different, and the position itself of the diffraction grating 2 is controlled in parallel. As a result, similarly to the first and second embodiments, when the wavelength is tuned by performing feedback control to the phase adjusting means 46 so that the output value from the arithmetic processing circuit 45 becomes constant, the mode hop is reduced. No tunable wavelength can be obtained.

【0041】[0041]

【発明の効果】以上のように、請求項1記載の発明に係
る外部共振器型波長可変光源によれば、特に、位相調整
手段による反射器の位置または角度を制御するようにフ
ィードバック制御して波長可変を行うため、使用条件
(温度、駆動電流、素子劣化)が変化しても、波長可変
したときのモードホップの発生を防ぎ、光増幅器のレー
ザ発振可能な波長帯域において、安定した波長可変を行
うことができる。
As described above, according to the external resonator type wavelength tunable light source according to the first aspect of the present invention, in particular, feedback control is performed so as to control the position or angle of the reflector by the phase adjusting means. Since wavelength tuning is performed, even if the operating conditions (temperature, drive current, element deterioration) change, the occurrence of mode hops when the wavelength is changed is prevented, and stable wavelength tuning is performed in the wavelength band in which the laser of the optical amplifier can oscillate. It can be performed.

【0042】また、請求項4記載の発明に係る外部共振
器型波長可変光源によれば、特に、位相調整手段による
回折格子の位置を制御するようにフィードバック制御し
て波長可変を行うため、使用条件(温度、駆動電流、素
子劣化)が変化しても、波長可変したときのモードホッ
プの発生を防ぎ、光増幅器のレーザ発振可能な波長帯域
において、安定した波長可変を行うことができる。
According to the external resonator type wavelength tunable light source according to the fourth aspect of the present invention, in particular, since the wavelength is tunable by performing feedback control so as to control the position of the diffraction grating by the phase adjusting means. Even if the conditions (temperature, drive current, element deterioration) change, it is possible to prevent the occurrence of mode hop when the wavelength is changed, and to perform stable wavelength change in the wavelength band in which the laser of the optical amplifier can oscillate.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明を適用した第1の実施の形態例としての
外部共振器型波長可変光源の構成を示すブロック図であ
る。
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an external resonator type wavelength tunable light source as a first embodiment of the present invention.

【図2】図1の外部共振器型波長可変光源の位相調整手
段に平行移動手段を使用した構成を示すブロック図であ
る。
FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of the external resonator type wavelength tunable light source of FIG.

【図3】本発明を適用した第2の実施の形態例の外部共
振器型波長可変光源の位相調整手段の構成を示すブロッ
ク図である。
FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of a phase adjusting means of an external resonator type wavelength tunable light source according to a second embodiment of the present invention.

【図4】本発明を適用した第3の実施の形態例としての
外部共振器型波長可変光源の構成を示すブロック図であ
る。
FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of an external resonator type wavelength tunable light source as a third embodiment to which the present invention is applied.

【図5】波長可変光源のレーザ発振を説明するための説
明図である。
FIG. 5 is an explanatory diagram for explaining laser oscillation of a wavelength variable light source.

【図6】波長可変光源の波長可変した場合の光出力特性
を説明するための説明図である。
FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining light output characteristics when the wavelength of the variable wavelength light source is changed.

【図7】第1の従来例としての外部共振器型波長可変光
源の構成を示すブロック図である。
FIG. 7 is a block diagram showing a configuration of an external resonator type wavelength tunable light source as a first conventional example.

【図8】図7の波長可変手段を改良した外部共振器型波
長可変光源の構成を示すブロック図である。
8 is a block diagram showing a configuration of an external resonator type wavelength tunable light source in which the wavelength tunable means of FIG. 7 is improved.

【図9】第2の従来例としての外部共振器型波長可変光
源の構成を示すブロック図である。
FIG. 9 is a block diagram showing a configuration of an external resonator type wavelength tunable light source as a second conventional example.

【図10】第3の従来例として、モードホップの発生を
防ぐ制御手段を使用した外部共振器型波長可変光源の構
成を示すブロック図である。
FIG. 10 is a block diagram showing a configuration of an external resonator type wavelength tunable light source using a control means for preventing occurrence of mode hop as a third conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 光増幅器 1a 無反射膜 2 回折格子 3,4 レンズ 5 光アイソレータ 6 光増幅器駆動回路 10 光学ベース台 41 光分岐器 42 反射器 43 第1の受光器 44 第2の受光器 45 演算処理回路 46 位相調整手段 47 波長可変手段 48 平行移動機構 49 回転機構(第1の回転機構) 51 回転制御手段(第1の回転制御手段) 52 回転制御駆動回路(第1の回転制御駆動回路) 53 回転中心 54 平行移動手段 55 平行移動駆動回路 56 第2の回転制御駆動回路 57 第2の回転制御手段 58 第2の回転機構 L 出力光 L0 0次回折光 Lf 前方向出力光 Lr 後方向出力光 Ls 分岐光 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical amplifier 1a Non-reflection film 2 Diffraction grating 3, 4 Lens 5 Optical isolator 6 Optical amplifier drive circuit 10 Optical base table 41 Optical splitter 42 Reflector 43 First light receiver 44 Second light receiver 45 Operation processing circuit 46 Phase adjustment means 47 Wavelength variable means 48 Parallel movement mechanism 49 Rotation mechanism (first rotation mechanism) 51 Rotation control means (First rotation control means) 52 Rotation control drive circuit (First rotation control drive circuit) 53 Rotation center 54 parallel movement means 55 parallel movement drive circuit 56 second rotation control drive circuit 57 second rotation control means 58 second rotation mechanism L output light L0 0th order diffracted light Lf forward output light Lr backward output light Ls branch light

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】一方の端面に無反射膜が施された光増幅器
と、 この光増幅器の無反射膜側の光軸上に配置され、波長選
択機能を有する回折格子と、 回折格子の1次回折光の光軸上に配置され、1次回折光
を回折格子に再度反射する反射器と、 を備える外部共振器型波長可変光源であって、 回折格子に対し入射角度と対称の角度で反射する0次回
折光を受光して電気信号に変換する第1の受光器と、 光増幅器の無反射膜が施されていない他方の端面から射
出する前方向出力光を出力光と分岐光とに分岐する光分
岐器と、 この光分岐器からの分岐光を受光して電気信号に変換す
る第2の受光器と、 第1及び第2の両受光器からの電気信号を所定の演算処
理する演算処理回路と、 反射器の位置を調整する位相調整手段と、 演算処理回路からの出力値を所定の値に制御するように
位相調整手段にフィードバック制御して波長を可変制御
する波長可変手段と、 を備えたこと、を特徴とする外部共振器型波長可変光
源。
1. An optical amplifier having an antireflection film on one end face, a diffraction grating disposed on the optical axis of the optical amplifier on the antireflection film side, having a wavelength selecting function, A reflector arranged on the optical axis of the folded light and reflecting the first-order diffracted light back to the diffraction grating, comprising: a reflector which reflects the diffraction grating at an angle symmetric to the incident angle with respect to the diffraction grating. A first photodetector that receives the next-order diffracted light and converts it into an electric signal; and a light that branches the forward output light emitted from the other end face of the optical amplifier without the non-reflection film into an output light and a branched light A splitter; a second light receiver for receiving the split light from the optical splitter and converting the split light into an electric signal; and an arithmetic processing circuit for performing predetermined arithmetic processing on the electric signals from the first and second light receivers And phase adjusting means for adjusting the position of the reflector; and output from the arithmetic processing circuit. External resonator type tunable light source and a wavelength varying means for variably controlling the wavelength and feedback control the phase adjusting means, further comprising a, wherein to control the value to a predetermined value.
【請求項2】位相調整手段は、 反射器を保持する平行移動機構と、 この平行移動機構を位置制御する平行移動制御手段と、 この平行移動制御手段を駆動する平行移動駆動回路と、 を備え、 演算処理回路からの電気信号により、平行移動駆動回路
から制御信号を出力して平行移動制御手段を駆動するこ
とによって、反射光軸に対する反射器の位置を制御する
こと、を特徴とする請求項1記載の外部共振器型波長可
変光源。
2. The phase adjusting means comprises: a translation mechanism for holding a reflector; a translation control means for controlling the position of the translation mechanism; and a translation drive circuit for driving the translation control means. The position of the reflector with respect to the reflection optical axis is controlled by outputting a control signal from a parallel movement drive circuit and driving the parallel movement control means in accordance with an electric signal from the arithmetic processing circuit. 2. The external resonator type wavelength tunable light source according to 1.
【請求項3】位相調整手段は、 反射器を保持する第2の回転機構と、 この第2の回転機構を角度制御する第2の回転制御手段
と、 この第2の回転制御手段を駆動する第2の回転制御駆動
回路と、 を備え、 演算処理回路からの電気信号により、第2の回転制御駆
動回路から制御信号を出力して第2の回転制御手段を駆
動することによって、反射光軸に対して反射器の角度を
制御すること、を特徴とする請求項1記載の外部共振器
型波長可変光源。
3. The phase adjusting means includes: a second rotating mechanism for holding the reflector; a second rotating control means for controlling an angle of the second rotating mechanism; and a driving means for driving the second rotating control means. A second rotation control drive circuit, comprising: outputting a control signal from the second rotation control drive circuit in response to an electric signal from the arithmetic processing circuit to drive the second rotation control means; 2. The external resonator type wavelength tunable light source according to claim 1, wherein the angle of the reflector is controlled with respect to the wavelength.
【請求項4】一方の端面に無反射膜が施された光増幅器
と、 この光増幅器の無反射膜側の光軸上に配置され、波長選
択機能を有する回折格子と、 を備える外部共振器型波長可変光源であって、 回折格子に対し入射角度と対称の角度で反射する0次回
折光を受光して電気信号に変換する第1の受光器と、 光増幅器の無反射膜が施されていない他方の端面から射
出する前方向出力光を出力光と分岐光とに分岐する光分
岐器と、 この光分岐器からの分岐光を受光して電気信号に変換す
る第2の受光器と、 第1及び第2の両受光器からの電気信号を所定の演算処
理する演算処理回路と、 回折格子の位置を調整する位相調整手段と、 演算処理回路からの出力値を所定の値に制御するように
位相調整手段にフィードバック制御して波長を可変制御
する波長可変手段と、 を備えたこと、を特徴とする外部共振器型波長可変光
源。
4. An external resonator comprising: an optical amplifier having one end face coated with a non-reflective film; and a diffraction grating disposed on the optical axis of the optical amplifier on the non-reflective film side and having a wavelength selecting function. A wavelength-variable light source, comprising: a first photodetector for receiving zero-order diffracted light reflected at an angle symmetrical with respect to an incident angle with respect to a diffraction grating and converting the diffracted light into an electric signal; An optical splitter that splits forward output light emitted from the other end face into an output light and a split light, a second light receiver that receives the split light from the optical splitter and converts the split light into an electric signal, An arithmetic processing circuit for performing predetermined arithmetic processing on the electric signals from both the first and second light receivers; a phase adjusting means for adjusting the position of the diffraction grating; and controlling an output value from the arithmetic processing circuit to a predetermined value. To variably control the wavelength by feedback control to the phase adjustment means. External resonator type tunable light source, characterized in that, with a wavelength varying mechanism, the.
【請求項5】位置調整手段は、 回折格子を保持する平行移動機構と、 この平行移動機構を位置制御する平行移動制御手段と、 この平行移動制御手段を駆動する平行移動駆動回路と、 を備え、 演算処理回路からの電気信号により、平行移動駆動回路
から制御信号を出力して平行移動制御手段を駆動するこ
とによって、射出光軸に対する回折格子の位置を制御す
ること、を特徴とする請求項4記載の外部共振器型波長
可変光源。
5. A position adjusting means comprising: a parallel movement mechanism for holding a diffraction grating; a parallel movement control means for controlling the position of the parallel movement mechanism; and a parallel movement drive circuit for driving the parallel movement control means. And controlling the position of the diffraction grating with respect to the emission optical axis by outputting a control signal from the parallel movement drive circuit and driving the parallel movement control means in accordance with an electric signal from the arithmetic processing circuit. 4. An external resonator type wavelength tunable light source according to item 4.
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