WO2026075813A1 - Circuit de distribution d'énergie avec circuit d'amortissement pour ensembles de traitement au plasma - Google Patents

Circuit de distribution d'énergie avec circuit d'amortissement pour ensembles de traitement au plasma

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WO2026075813A1
WO2026075813A1 PCT/US2025/046715 US2025046715W WO2026075813A1 WO 2026075813 A1 WO2026075813 A1 WO 2026075813A1 US 2025046715 W US2025046715 W US 2025046715W WO 2026075813 A1 WO2026075813 A1 WO 2026075813A1
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Xingxing Wang
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Yuhui Zhang
Yang Yang
Kartik Ramaswamy
Alvaro Garcia
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L'invention concerne des procédés et un appareil permettant de délivrer de l'énergie à l'aide d'un circuit de distribution d'énergie pendant un traitement au plasma. Un exemple de circuit de distribution d'énergie comprend généralement : (i) un ou plusieurs premiers éléments capacitifs couplés à un premier nœud qui est configuré pour être couplé à un générateur de forme d'onde de tension pulsée (PV) configuré pour délivrer une forme d'onde PV non sinusoïdale à une électrode par l'intermédiaire d'une première sortie et/ou une plaque par l'intermédiaire d'une seconde sortie ; (ii) un circuit de compensation de polarisation couplé à un second nœud qui est configuré pour être couplé à une alimentation électrique en courant continu (CC) ; et (iii) un circuit d'amortissement couplé au premier nœud, le circuit d'amortissement comprenant un ou plusieurs éléments résistifs. Le ou les éléments résistifs sont généralement mis en œuvre par au moins un élément résistif ayant une résistance comprise entre 0,1 ohms et 100 ohms.
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