WO2024252868A1 - 基板収納容器用ドア - Google Patents

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WO2024252868A1
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cover
door
peripheral wall
plate
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English (en)
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晃裕 長谷川
瞬 山川
紗代 田鹿
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Shin Etsu Polymer Co Ltd
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Shin Etsu Polymer Co Ltd
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    • H10P72/19—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers
    • H10P72/1922—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers characterised by the construction of the closed carrier
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Definitions

  • the present invention relates to a door for a substrate storage container that opens and closes the container body that stores substrates such as semiconductor wafers.
  • a conventional door for a substrate storage container comprises a door body that is detachably press-fitted into the open front of the container body that stores semiconductor wafers, and a pair of left and right covers that are attached to the front of the door body, and when the front of the container body is closed, the front retainer presses against the front edge of the semiconductor wafer to prevent the semiconductor wafer from wobbling (see Patent Document 1).
  • the container body is formed as a front-opening box, and is mounted and docked on the load port of the interface section that inserts and removes semiconductor wafers into and from the semiconductor manufacturing equipment.
  • the door body comprises a closure plate that closes the open front of the container body, a peripheral wall formed on the periphery of this closure plate, and a pair of left and right spaces that are partitioned between the center of the closure plate and the peripheral wall, and a required number of spring-like fitting claws for the cover are protrudingly formed on the center and peripheral wall of the closure plate.
  • the pair of left and right covers comprise a pair of covering plates that respectively cover the pair of left and right spaces of the door body, and each covering plate is formed to be approximately the same size as the space of the door body, and a required number of fitting holes that fit into the multiple fitting claws of the door body are drilled on the periphery of the covering plate.
  • the door body when manufacturing a door for a substrate storage container, the door body is placed on a work table and the covers are placed facing a pair of spaces from above.
  • the cover's fitting holes are positioned on the multiple fitting claws in each space and the cover is pressed down.
  • the fitting claws and fitting holes fit together, and the pair of covers can be attached from above to the front of the door body to manufacture the door for the substrate storage container.
  • a conventional door for a substrate storage container is constructed as described above, and when the front of the container body is closed, it is pressed against the front periphery of the semiconductor wafer, but this pressing causes the door to bulge outward and deform, making it difficult to improve dimensional accuracy.
  • This problem is difficult to solve since the direction in which the door for the substrate storage container deforms is the same as the direction in which the cover is attached. Furthermore, when the door for the substrate storage container deforms, a gap occurs between the door and the load port, causing a docking error, which results in the problem that it becomes difficult to open and close the door for the substrate storage container.
  • the present invention has been made in consideration of the above, and aims to provide a door for a substrate storage container that can improve dimensional accuracy, stabilize the position of the cover, and prevent docking errors with the load port.
  • the present invention provides a container comprising a door body that is detachably fitted to the open front surface of a container body that stores substrates, a cover for the door body, and an attachment mechanism for attaching the cover to the door body
  • the door body includes a closing plate member that closes the open front surface of the container body, a peripheral wall formed on the peripheral edge of the closing plate member, and a space defined between a central portion of the closing plate member and the peripheral wall
  • the cover includes a covering plate that covers the space of the door body, and the width of the covering plate is made narrower than the width of the space so that the covering plate can slide between the center of the door body and the side of the peripheral wall;
  • the mounting mechanism is characterized by including a plurality of cover mounting portions formed on the upper and lower sides of the peripheral wall of the door body, and a plurality of door body mounting portions formed on the upper and lower sides of the covering plate material of the cover and attached in a stacked manner to the plurality of cover mounting portions when the covering plate material slides
  • a locking mechanism is installed between the space in the door body and the cover, and that this locking mechanism includes an operating plate that is supported by a support portion of the closing plate material of the door body and can be rotated from outside the cover, and a locking claw that can appear and disappear from a through hole in the peripheral wall of the door body by rotating this operating plate.
  • multiple guide pieces that surround the operation plate of the locking mechanism can be arranged on the closing plate material of the door body and the covering plate material of the cover, with some of the multiple guide pieces being provided near the side of the peripheral wall of the closing plate material and the remaining multiple guide pieces being provided on the side of the opposing surface of the covering plate material that faces the closing plate material, so that the operation plate of the locking mechanism can be sandwiched between some of the multiple guide pieces and opposed.
  • the through hole in the peripheral wall of the door body is extended, and multiple guide pieces that sandwich and position the locking mechanism are arranged on the opposing surface of the covering plate of the cover that faces the closing plate, and part of the operation plate of the locking mechanism is cut out, so that when the covering plate of the cover slides from the center of the door body toward the side of the peripheral wall, the covering plate and the locking mechanism slide together, and the operation plate can be fitted into the support part of the closing plate of the door body via the cutout.
  • the mounting mechanism also includes a plurality of cover mounting openings formed on the upper and lower sides of the peripheral wall of the door body, and claws formed on at least one of the upper and lower sides of the covering plate material of the cover and the mounting portion for the door body can be engaged with these cover mounting openings.
  • the cover mounting portion of the mounting mechanism can be a cover mounting protrusion adjacent to the through hole of the door body, and the door body mounting portion can be a door body mounting protrusion capable of opposing the cover mounting protrusion, and at least one of the cover mounting protrusion and the door body mounting protrusion can be bent to form a claw that engages with the other.
  • the mounting mechanism preferably includes a mounting groove formed on the side of the peripheral wall of the door body and a mounting protrusion formed on the side of the covering plate of the cover that can face the mounting groove, and the mounting protrusion fits into the mounting groove when the covering plate of the cover slides from the center of the door body toward the side of the peripheral wall.
  • the substrate in the claims includes at least various semiconductor wafers.
  • the container body, door body, and cover may be transparent, opaque, or translucent.
  • the container body may be a FOSB for shipping, or a FOUP for transportation within a factory.
  • the upper and lower parts of the cover's covering plate material may be formed with a plurality of protruding pieces that can face the through-hole of the door body.
  • the cover mounting portion and the door body mounting portion of the mounting mechanism may be attached by a concave-convex fit, or may be attached by being penetrated by a pin or the like.
  • the locking mechanism includes a required number of reciprocating members that reciprocate in the vertical direction of the door body as the operation plate rotates, and that the reciprocating movements of the required number of reciprocating members cause the required number of locking claws to appear and disappear.
  • the cover covering plate material when assembling a door for a substrate storage container, the cover covering plate material is placed facing each other in the space of the door body and brought close to the center of the door body, the cover covering plate material is slid from the center of the door body toward the side of the peripheral wall so as to contact the side of the peripheral wall, and the multiple cover mounting parts and door body mounting parts of the mounting mechanism are overlapped and attached, whereby the door for the substrate storage container can be assembled. Because the deformation direction of the door for the substrate storage container differs from the direction in which the cover is slid and attached, the dimensional accuracy of the door for the substrate storage container can be improved.
  • the present invention has the effect of improving the dimensional accuracy of the door for the substrate storage container and stabilizing the position of the cover. It also has the effect of preventing docking errors with the load port.
  • the load direction acting on the locking mechanism differs from the sliding installation direction of the cover, improving the dimensional accuracy of the door for the substrate storage container.
  • some of the guide pieces are provided near the side of the peripheral wall of the closing plate of the door body, and the remaining guide pieces are provided on the side of the opposing surface of the covering plate of the cover that faces the closing plate, so that the operating plate of the locking mechanism can be sandwiched between some of the guide pieces. Therefore, even if the covering plate of the cover is slid from the center of the door body toward the side of the peripheral wall, the locking mechanism rarely interferes with the assembly of the door for the substrate storage container.
  • FIG. 1 is a perspective explanatory view showing a schematic view of a door body in an embodiment of a door for a substrate storage container according to the present invention
  • 1 is a plan view illustrating a door body in an embodiment of a door for a substrate storage container according to the present invention
  • FIG. 1 is a perspective explanatory view showing a state in which a locking claw of a locking mechanism is arranged on one side of the space of a door body in an embodiment of a door for a substrate storage container according to the present invention
  • FIG. 1 is a perspective explanatory view showing a state in which a reciprocating bar of a locking mechanism is disposed on one side of the space of a door body in an embodiment of a door for a substrate storage container according to the present invention
  • FIG. 1 is a perspective explanatory view showing a state in which an operation plate of a locking mechanism is disposed on one side of the space of a door body in an embodiment of a door for a substrate storage container according to the present invention
  • FIG. 1 is a perspective explanatory view showing a state in which most of the space on one side of a door body is covered with a cover in an embodiment of a door for a substrate storage container according to the present invention
  • FIG. 7 is a plan view showing a state in which the cover of FIG. 6 is slid toward a side portion of a peripheral wall of the door body
  • FIG. 8 is a plan view showing a state in which the cover of FIG. 7 is slid into contact with a side portion of a peripheral wall of the door body;
  • FIG. 1 is a perspective explanatory view showing a state in which an operation plate of a locking mechanism is disposed on one side of the space of a door body in an embodiment of a door for a substrate storage container according to the present invention
  • FIG. 1 is a main explanatory diagram showing a schematic relationship between a cover mounting opening of a mounting mechanism and an alignment claw of a mounting protrusion for a door body in an embodiment of a door for a substrate storage container according to the present invention
  • FIG. 1 is a perspective explanatory view showing a state in which a locking mechanism is disposed in a space of a door body in an embodiment of a door for a substrate storage container according to the present invention
  • FIG. FIG. 2 is a perspective view illustrating a cover in an embodiment of a door for a substrate storage container according to the present invention.
  • FIG. 12 is a perspective explanatory view showing a schematic rear surface of the cover shown in FIG. 11 .
  • FIG. 1 is a perspective explanatory view showing a schematic relationship between the back surface of the cover and a locking mechanism in an embodiment of a door for a substrate storage container according to the present invention
  • FIG. FIG. 11 is a perspective explanatory view that illustrates a door body in a second embodiment of a door for a substrate storage container according to the present invention.
  • 13 is a plan view illustrating a door body in a second embodiment of a door for a substrate storage container according to the present invention;
  • FIG. 13 is an explanatory perspective view showing a state in which a locking claw of a locking mechanism is arranged in one space of a door body in a second embodiment of a door for a substrate storage container according to the present invention and positioned in a waiting area.
  • FIG. 11 is a perspective explanatory view that illustrates a door body in a second embodiment of a door for a substrate storage container according to the present invention.
  • 13 is a plan view illustrating a door body in a second embodiment of a
  • FIG. 13 is an explanatory oblique view showing a schematic diagram of a state in which a reciprocating bar of a locking mechanism is arranged in one waiting area of the space in a second embodiment of a door for a substrate storage container according to the present invention and its tip is connected to a locking claw.
  • 13 is a perspective explanatory view showing a state in which an operation plate of a locking mechanism is disposed in one waiting area of the space in a second embodiment of a door for a substrate storage container according to the present invention
  • FIG. 13 is a perspective explanatory view showing a state in which a cover is opposed to most of one side space of a door body in a second embodiment of a door for a substrate storage container according to the present invention;
  • FIG. 20 is a plan view showing a state in which the cover of FIG. 19 is slid toward a side portion of a peripheral wall of the door body;
  • FIG. 21 is a plan view showing a state in which the cover of FIG. 20 is slid into contact with a side portion of a peripheral wall of the door body;
  • FIG. 13 is a main explanatory diagram showing a schematic view of a cover mounting opening of a mounting mechanism and an alignment tab of a mounting protrusion for a door body in a second embodiment of a door for a substrate storage container according to the present invention.
  • FIG. 13 is a perspective explanatory view showing a state in which a locking mechanism in a door for a substrate storage container according to a second embodiment of the present invention has slid out of a waiting area of the space.
  • FIG. 13 is a perspective explanatory view showing a schematic relationship between a cover and a locking mechanism in a door for a substrate storage container according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 13 is a perspective explanatory view showing a schematic relationship between the back surface of the cover and a locking mechanism in a door for a substrate storage container according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 13 is a perspective explanatory view showing a schematic rear surface of a cover in a door for a substrate storage container according to a second embodiment of the present invention;
  • FIG. 13 is an explanatory diagram showing a state in which an operation plate is about to fit into a support cylinder in a space through a notch in a second embodiment of a door for a substrate storage container according to
  • the door for a substrate storage container in this embodiment comprises a door body 1 that is detachably fitted to the open front of the container body that stores and aligns a plurality of semiconductor wafers, which are substrates; a pair of left and right covers 20 for the door body 1; an attachment mechanism 30 for attaching the pair of left and right covers 20 to the door body 1; and a locking mechanism 40 that is interposed and installed between the door body 1 and the pair of left and right covers 20.
  • the door By attaching the covers 20 by sliding them from the center 6 of the door body 1 toward the sides of the peripheral wall 4, the door contributes to the achievement of Goal 9 of the SDGs (the United Nations' international goals for sustainable development, consisting of 17 global goals and 169 targets (achievement criteria)) adopted at the United Nations Summit.
  • Goal 9 of the SDGs the United Nations' international goals for sustainable development, consisting of 17 global goals and 169 targets (achievement criteria)
  • the semiconductor wafers are not shown, but are made of thin, brittle, high-quality silicon wafers, for example, ⁇ 300 mm, stored horizontally inside the container body, with 25 of them aligned vertically at a specified interval.
  • the container body, door body 1, pair of covers 20, mounting mechanism 30, and locking mechanism 40 are molded from a molding material containing the required resin.
  • the resin in the molding material include thermoplastic resins such as polycarbonate resin, cycloolefin polymer, polyetherimide resin, polyetherketone resin, polyetheretherketone resin, polybutylene terephthalate resin, polyacetal resin, and liquid crystal polymer, as well as alloys of these resins.
  • the container body is injection molded into a front-open box with a roughly rectangular opening at the front, and is mounted and docked on the load port of the interface section that loads and unloads semiconductor wafers into and from the semiconductor manufacturing equipment, and the door for the substrate storage container is fitted and removed by this load port.
  • a pair of left and right support pieces that support the semiconductor wafers horizontally are provided opposite each other on both sides of the inside of the container body, and multiple pairs of left and right support pieces are arranged at a predetermined interval in the vertical direction.
  • Locking holes for the locking mechanism 40 are recessed and formed on both upper and lower sides of the inner periphery of the front of the container body, and each locking hole is formed in a rectangular shape in plan view.
  • the door body 1 is formed with an approximately tray-shaped or dish-shaped cross section, and is equipped with a roughly rectangular closure plate 2 that closes the open front of the container body, an endless frame-shaped peripheral wall 4 that is attached around the periphery of this closure plate 2, and a pair of left and right spaces 7 that are partitioned between the peripheral wall 4 and a slightly raised central part 6 of the roughly rectangular front of the closure plate 2, and through holes 5 that face the locking holes of the container body are drilled on both the upper and lower sides of the peripheral wall 4.
  • the closure plate 2 is formed to a size and shape that corresponds to the front of the container body, and horizontally long rectangular guide blocks 3 are arranged at the four corners of the front surface, which hold the cover 20 between themselves and the mounting mechanism 30 via a gap, and an elastic front retainer is attached detachably to the center of the back surface, which presses against the front edge of the semiconductor wafer to hold it in place.
  • the pair of spaces 7 are each partitioned into a vertically long rectangular shape, house a locking mechanism 40, and are mostly covered by the cover 20.
  • a support tube 8 for the locking mechanism 40 a curved guide piece 9 with a roughly semicircular arc shape in plan view, and multiple guide pieces 10 are arranged.
  • the support tube 8 is formed into a cylindrical shape that protrudes from the closure plate surface and is located near the center of the space 7.
  • the curved guide piece 9 is provided on a circumference centered on the support tube 8 and is located near the side of the peripheral wall of the closure plate surface, semi-enclosing the support tube 8.
  • the multiple guide pieces 10 are formed linearly and combined to function to position the locking mechanism 40.
  • the pair of covers 20, as shown in Figures 6 to 9 and Figures 11 to 13, are made of covering plates 21 that each cover most of a pair of spaces 7 in the door body 1.
  • Each covering plate 21 is formed in a vertically long rectangular shape with a width narrower than the width of the space 7, and functions to slide between the center 6 of the door body 1 and the side of the peripheral wall 4.
  • a rectangular operation opening 22 for the locking mechanism 40 is drilled in the center of this covering plate 21, and manual operation holes 23 for the locking mechanism 40 are cut out in a roughly fan-shaped shape near both sides of this operation opening 22.
  • protruding pieces 24 that can face the through opening 5 of the door body 1 are formed at the center of the upper end and the center of the lower end of the covering plate 21.
  • a curved guide piece 9A with a roughly semicircular arc shape in plan view and multiple guide pieces 10A for the locking mechanism 40 are arranged on the back surface of the covering plate 21 facing the front surface of the closing plate.
  • the curved guide piece 9A is provided on a circumference centered on the operation opening 22 and is located toward the inside of the back surface of the covering plate 21, partially surrounding one of the manual operation holes 23 and facing the curved guide piece 9 in the space 7 from the center of the door body 1.
  • the multiple guide pieces 10A are also provided at intervals on the back surface of the covering plate 21 and its protruding piece 24, and extend linearly in the vertical direction of the covering plate 21.
  • the mounting mechanism 30 is configured with a plurality of cover mounting projections 31, 31A formed on both upper and lower sides of the peripheral wall 4 of the door body 1, a plurality of cover mounting holes 32 drilled on both upper and lower sides of the peripheral wall 4 of the door body 1, a plurality of door body mounting projections 33 formed on both upper and lower sides of the covering plate 21 of the cover 20 and attached to the plurality of cover mounting projections 31, 31A, a plurality of mounting grooves 34 cut out at predetermined intervals on the inner periphery of the side of the peripheral wall 4 of the door body 1, and a plurality of mounting protrusions 35 formed on the outer side of the covering plate 21 near the side of the peripheral wall and capable of being fitted opposite the plurality of mounting grooves 34.
  • the cover mounting projections 31, 31A are formed, for example, as rectangular projections on the inner periphery of the peripheral wall 4 of the door body 1, and are adjacent to both sides of the through hole 5 of the door body 1.
  • the cover mounting projection 31 near the center of the door body 1 is integrated with a stopper block 36 on the inner periphery of the peripheral wall 4, and its side end is bent to form a positioning claw 37 that positions the door body mounting projection 33 (see Figures 1, 3 to 5, and 10).
  • the stopper block 36 is formed vertically in the thickness direction of the door body 1, and contacts the door body mounting projection 33 of the cover plate 21 to prevent excessive sliding.
  • each cover mounting opening 32 is formed in a rectangular shape and is close to the cover mounting projection 31 and the stopper block 36.
  • the multiple door body mounting protrusions 33 are formed as rectangular protrusions on both upper and lower ends of the cover plate 21, and when the cover 20 does not slide from the center 6 of the door body 1 toward the outer peripheral wall side, they are adjacent to the cover mounting protrusions 31, 31A, and when the cover 20 slides from the center 6 of the door body 1 toward the outer peripheral wall side, they overlap and face the cover mounting protrusions 31, 31A, thereby preventing the cover 20 from falling off.
  • the door body mounting projections 33 near the center of the door body 1 engage with the positioning claws 37 of the cover mounting projections 31 when the cover 20 is completely slid from the center 6 of the door body 1 toward the side of the peripheral wall 4.
  • alignment claws 38 that engage with the peripheral edge of the cover mounting opening 32 are formed protruding from the ends of the door body mounting projections 33 near the center of the door body 1 as necessary (see FIG. 9).
  • the locking mechanism 40 is composed of a pair of left and right operating plates 41 that are supported by the support tube 8 of the closing plate 2 of the door body 1 and rotated from a load port outside the cover 20, a number of reciprocating bars 45 that reciprocate in the vertical direction of the door body 1 as each operating plate 41 rotates, and a number of locking claws 47 that can appear and disappear through gaps from the through holes 5 in the peripheral wall 4 of the door body 1 as each reciprocating bar 45 reciprocates.
  • Each operation plate 41 is formed, for example, in a generally cylindrical shape with a generally U-shaped cross section, and has a rectangular operation hole 42 for operation facing the operation port 22 of the cover 20 drilled on its closed surface, and is rotatably fitted into the support cylinder 8 of the closing plate 2 and surrounded by the curved guide piece 9 of the space 7 and the curved guide piece 9A of the cover 20.
  • a disk 43 is integrally formed on the outer periphery of this operation plate 41, which is sandwiched between the multiple curved guide pieces 9 and 9A with a gap between them and is visible from the pair of manual operation holes 23 of the cover 20, and this disk 43 has fan holes of approximately the same shape as the pair of manual operation holes 23 drilled in a generally fan-shaped plane at intervals of 180°, and a pair of connecting grooves 44 for the reciprocating bar 45 are cut out in a semicircular arc shape at intervals of 180° on the periphery of the disk 43, and these multiple fan holes and connecting grooves 44 are adjacent to each other.
  • Each reciprocating bar 45 is formed, for example, as a thick rectangular plate, and is slidably clamped between the guide pieces 10 in the space 7 and the guide pieces 10A of the cover plate 21 via multiple pins, and a connecting pin 46 is formed protruding from the end of the surface, which fits loosely into the connecting groove 44 of the operation plate 41 via a gap.
  • each locking claw 47 is formed, for example, as a plate shape or approximately Y shape, and is swingably connected to the tip of the reciprocating bar 45 via a pin, and when the substrate storage container door is locked, it protrudes from the through hole 5 of the door body 1 while drawing an arc to the outside and locks into the locking hole on the front inner circumference of the container body via a roller, and when the substrate storage container door is unlocked, it retreats from the locking hole of the container body while drawing an arc and returns to the through hole 5 of the door body 1.
  • each space 7 of the door body 1 is covered with a cover 20 and adjacent to the central portion 6 of the door body 1 (see Figure 6), and the cover mounting projections 31 and 31A of the mounting mechanism 30 are adjacent to the door body mounting projections 33.
  • Each cover 20 is slid from the central portion of the door body 1 toward the side of the peripheral wall 4 (see Figure 7) so that it contacts the side of the peripheral wall 4 (see Figure 8).
  • the mounting projections 35 are fitted into the multiple mounting grooves 34 of the mounting mechanism 30, and the mounting mechanism 30 is positioned and fixed, allowing the door for the substrate storage container to be assembled.
  • the adjacent cover mounting projections 31, 31A of the mounting mechanism 30 overlap and face the door body mounting projection 33 (see Figure 8), preventing the cover 20 from falling off the door body 1.
  • the positioning claw 37 of the cover mounting projection 31 engages with the door body mounting projection 33
  • the alignment claw 38 of the door body mounting projection 33 engages with the cover mounting opening 32 (see Figure 9), restricting the cover 20 from sliding toward the center of the door body.
  • the deformation direction of the door for the substrate storage container and the load direction acting on the locking mechanism 40 (backward in FIG. 2) are different from the sliding attachment direction of the cover 20 (left-right direction in FIG. 2), so deformation of the door for the substrate storage container can be suppressed and the dimensional accuracy of the door for the substrate storage container can be significantly improved.
  • the position of the cover 20 is stabilized by the attachment mechanism 30, which does not depend on the strength or springiness of the door for the substrate storage container, so that displacement of the cover 20 can be effectively prevented.
  • the curved guide piece 9A on the inner back surface of the cover 20 faces the curved guide piece 9 in the space 7 across the operation plate 41 of the locking mechanism 40, so that even if the cover 20 slides from the center 6 of the door body 1 toward the side of the peripheral wall 4, the locking mechanism 40 does not hinder the assembly of the door for the substrate storage container.
  • Figures 14 to 27 show a second embodiment of the present invention.
  • the configuration of the door body 1, cover 20, and locking mechanism 40 is changed so that when the cover plate 21 of the cover 20 slides from the center 6 of the door body 1 toward the side of the peripheral wall 4, not only the cover plate 21 but also the cover plate 21 and the locking mechanism 40 slide together.
  • the door body 1 has multiple through holes 5 formed in a horizontally long rectangle extending toward the center 6 of the door body 1 to allow for the locking mechanism 40 to slide, and the through holes 5 are loosely inserted through gaps by the locking claws 47 of the locking mechanism 40.
  • a support tube 8 exists in the space 7, the approximately semicircular curved guide piece 9 and multiple guide pieces 10 are omitted.
  • a waiting area 11 for the locking mechanism 40 adjacent to the support tube 8 is formed vertically and offset toward the center of the door body 1, and near the center of this waiting area 11, multiple straight guide ribs 12 for the operation plate 41 of the locking mechanism 40 and a planar approximately semicircular guide rib 13 are formed in combination.
  • the cover 20 has a pair of curved guide pieces 9, 9A for the operation plate 41, multiple guide pieces 10A, and a rattle prevention rib 25 arranged on the back surface of the cover plate 21.
  • the pair of curved guide pieces 9, 9A are each provided on a circumference centered on the operation port 22, and roughly surround the pair of manual operation holes 23.
  • the multiple guide pieces 10A are spaced apart and connected to a pair of curved guide pieces 9, 9A on the back surface of the covering plate 21 and its protruding piece 24, and extend linearly in the vertical direction of the covering plate 21 to slidably clamp the reciprocating bar 45 and the locking claw 47 of the locking mechanism 40.
  • the rattle prevention rib 25 is disposed on the back surface of the covering plate 21 and is interposed between the multiple guide ribs 13 that clamp the reciprocating bar 45 of the locking mechanism 40, extends linearly in the vertical direction of the covering plate 21, and comes into sliding contact with the reciprocating bar 45 to prevent rattle.
  • the locking mechanism 40 is basically the same as the above embodiment, but a notch 48 corresponding to the size of the support cylinder 8 in the space 7 is formed in the peripheral wall of the operation plate 41. As shown in FIG. 27, this operation plate 41 is slidably fitted to the support cylinder 8 in the space 7 via the notch 48 so as to be rotatable from the lateral direction.
  • a pair of locking claws 47 of the locking mechanism 40 are placed in each space 7 of the door body 1 and positioned in the waiting area 11 (see Figure 16), a pair of reciprocating bars 45 of the locking mechanism 40 are placed in the waiting area 11 of each space 7 and their tips are connected to the locking claws 47 (see Figure 17), the operation plate 41 of the locking mechanism 40 is placed in the waiting area 11 of each space 7 and brought into contact with the guide rib 13, the pair of connecting grooves 44 of the operation plate 41 are loosely fitted into the connecting pins 46 of the reciprocating bars 45, and the notches 48 of the operation plate 41 are oriented toward the support tube 8 (see Figure 18).
  • each space 7 of the door body 1 is covered with a cover 20 and adjacent to the center 6 of the door body 1 (see FIG. 19), and the cover mounting projections 31 and 31A of the mounting mechanism 30 are adjacent to the door body mounting projections 33, and the pair of curved guide pieces 9 and 9A and the multiple guide pieces 10A of the cover 20 are fitted into the locking mechanism 40 to position the locking mechanism 40 (see FIG. 25).
  • each cover 20 is slid from the center of the door body 1 toward the side of the peripheral wall 4 (see FIG. 20) to contact the side of the peripheral wall 4 (see FIG. 21), and the mounting projections 35 are inserted into the multiple mounting grooves 34 of the mounting mechanism 30 to position and fix them, and the door for the substrate storage container can be assembled.
  • the locking mechanism 40 slides from the waiting area 11 toward the side of the peripheral wall 4 and is placed in the correct fixed position, and the operation plate 41 is rotatably fitted into the support cylinder 8 in the space 7 using the notch 48 (see Figure 27).
  • the locking mechanism 40 is clamped between the curved guide pieces 9 and 9A and the multiple guide pieces 10A, so the locking mechanism 40 does not come apart when it slides.
  • the other parts are the same as in the above embodiment, so a description will be omitted.
  • cover mounting projections 31 and 31A, door body mounting projections 33, mounting grooves 34, and mounting protrusions 35 of the mounting mechanism 30 in the above embodiment may be increased or decreased as necessary.
  • cover mounting opening 32 of the mounting mechanism 30 and the alignment claws 38 of the door body mounting projections 33 may be omitted as necessary.
  • positioning claws 37 and alignment claws 38 may be omitted by arranging the cover mounting projections 31 and 31A and the door body mounting projections 33 facing each other and inserting fastening pins into them to position the cover 20.
  • the door for substrate storage containers according to the present invention is used in fields such as semiconductor wafer manufacturing.

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Abstract

寸法精度の向上やカバー位置の安定化が期待でき、ロードポートとの間のドッキングエラーを防止できる基板収納容器用ドアを提供する。　半導体ウェーハを収納する容器本体の開口した正面に嵌合されるドア本体１と、ドア本体１用のカバー２０と、ドア本体１にカバー２０を取り付ける取付機構３０とを備え、ドア本体１は、容器本体正面を閉鎖する閉鎖板２と、閉鎖板２周縁部に形成される周壁４と、閉鎖板２中央部６と周壁４の間に区画される一対の空間７とを備え、カバー２０は、空間７を被覆する被覆板２１で、被覆板２１の幅を空間幅よりも狭くして被覆板２１を中央部６と周壁４の側部の間でスライド可能とし、取付機構３０は、周壁４の上部両側と下部両側に形成されるカバー用取付突片３１・３１Ａと、被覆板２１の上部両側と下部両側に形成されてカバー用取付突片３１・３１Ａに重ねて取り付けられるドア本体用取付突片３３とを備える。

Description

基板収納容器用ドア
　本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納する容器本体を開閉する基板収納容器用ドアに関するものである。
　従来における基板収納容器用ドアは、図示しないが、半導体ウェーハを収納する容器本体の開口した正面に着脱自在に圧入して嵌合されるドア本体と、このドア本体の正面に取り付けられる左右一対のカバーとを備え、容器本体の正面を閉鎖する場合に、半導体ウェーハの前部周縁にフロントリテーナを介し圧接して半導体ウェーハのガタツキを防止するよう機能する（特許文献１参照）。
　容器本体は、フロントオープンボックスに成形され、半導体ウェーハを半導体製造装置に出し入れするインタフェース部のロードポートに搭載されてドッキングする。また、ドア本体は、容器本体の開口した正面を閉鎖する閉鎖板と、この閉鎖板の周縁部に形成される周壁と、閉鎖板の中央部と周壁との間に区画形成される左右一対の空間とを備え、閉鎖板の中央部や周壁に、バネ性を有するカバー用の嵌合爪が必要数突出形成されている。また、左右一対のカバーは、ドア本体の左右一対の空間をそれぞれ被覆する一対の被覆板を備え、各被覆板がドア本体の空間と略同じ大きさに形成されており、被覆板の周縁部に、ドア本体の複数の嵌合爪にそれぞれ嵌合される嵌合孔が必要数穿孔されている。
　上記構成において、基板収納容器用ドアを製造する場合には、作業テーブル上にドア本体を配置してその一対の空間にカバーを上方からそれぞれ対向させ、各空間における複数の嵌合爪にカバーの嵌合孔をそれぞれ位置決めしてカバーを圧下すれば、嵌合爪と嵌合孔とがそれぞれ嵌合するので、ドア本体の正面に一対のカバーを上方から取り付けて基板収納容器用ドアを製造することができる。
特開２００８‐０９８２３６号公報
　従来における基板収納容器用ドアは、以上のように構成され、容器本体の正面を閉鎖する場合に、半導体ウェーハの前部周縁に圧接するが、この圧接に伴い、外側に膨らんで変形するので、寸法精度の向上を図ることが容易ではない。この問題は、基板収納容器用ドアの変形方向とカバーの取り付け方向が同じである以上、解消することは困難である。また、基板収納容器用ドアが変形すると、ロードポートとの間に隙間が発生してドッキングエラーが生じ、その結果、基板収納容器用ドアの開閉が困難になるという問題が生じる。
　本発明は上記に鑑みなされたもので、寸法精度の向上やカバーの位置の安定化を図ることができ、ロードポートとの間のドッキングエラーを防止することのできる基板収納容器用ドアを提供することを目的としている。
　本発明においては上記課題を解決するため、基板を収納する容器本体の開口した正面に着脱自在に嵌め合わされるドア本体と、このドア本体用のカバーと、ドア本体にカバーを取り付けるための取付機構とを含んでなるものであって、
　ドア本体は、容器本体の開口した正面を閉鎖する閉鎖板材と、この閉鎖板材の周縁部に形成される周壁と、閉鎖板材の中央部と周壁との間に区画形成される空間とを含み、
　カバーは、ドア本体の空間を被覆する被覆板材を含み、この被覆板材の幅を空間の幅よりも狭くして被覆板材をドア本体の中央部と周壁の側部との間でスライド可能とし、
　取付機構は、ドア本体の周壁の上部側方と下部側方とに形成される複数のカバー用取付部と、カバーの被覆板材の上部側方と下部側方とに形成されて被覆板材がドア本体の中央部方向から周壁の側部方向にスライドした場合に複数のカバー用取付部に重ねて取り付けられる複数のドア本体用取付部とを含んでなることを特徴としている。
　なお、ドア本体の空間とカバーとの間に施錠機構を介在して設置し、この施錠機構は、ドア本体の閉鎖板材の支持部に支持されてカバーの外部から回転操作可能な操作プレートと、この操作プレートの回転によりドア本体の周壁の貫通口から出没可能な係止爪とを含むことが好ましい。
　また、ドア本体の閉鎖板材とカバーの被覆板材とに、施錠機構の操作プレートを囲む複数のガイド片を配設し、この複数のガイド片の一部を閉鎖板材の周壁側部寄りに設け、複数のガイド片の残部を被覆板材の閉鎖板材に対向する対向面の側部に設けて複数のガイド片の一部に施錠機構の操作プレートを挟んで対向可能とすることができる。
　また、ドア本体の周壁の貫通口を伸長し、カバーの被覆板材の閉鎖板材に対向する対向面に、施錠機構を挟んで位置決めする複数のガイド片を配設し、施錠機構の操作プレートの一部を切り欠き、カバーの被覆板材がドア本体の中央部方向から周壁側部方向にスライドする場合に被覆板材と施錠機構とを共にスライドさせるとともに、操作プレートをドア本体の閉鎖板材の支持部に切り欠きを介して嵌め入れることができる。
　また、取付機構は、ドア本体の周壁の上部側方と下部側方に形成される複数のカバー取付口を含み、このカバー取付口に、カバーの被覆板材の上部側方と下部側方、及びドア本体用取付部の少なくともいずれかに形成した爪を係止させることもできる。
　また、取付機構のカバー用取付部をドア本体の貫通口に近接するカバー用取付突片とするとともに、ドア本体用取付部をドア本体用取付突片としてカバー用取付突片に対向可能とし、これらカバー用取付突片とドア本体用取付突片の少なくともいずれか一方を屈曲形成して他方に係合する爪とすることもできる。
　また、取付機構は、ドア本体の周壁側部に形成される取付溝と、カバーの被覆板材の側部に形成されて取付溝に対向可能な取付突起とを含み、カバーの被覆板材がドア本体の中央部方向から周壁側部方向にスライドした場合に取付溝に取付突起が嵌め入れられると良い。
　ここで、特許請求の範囲における基板には、少なくとも各種の半導体ウェーハが含まれる。また、容器本体、ドア本体、及びカバーは、透明、不透明、半透明のいずれでも良い。容器本体は、出荷用のＦＯＳＢでも良いし、工場内の搬送用のＦＯＵＰでも良い。また、カバーの被覆板材の上部と下部とには、ドア本体の貫通口に対向可能な複数の突出片を形成することができる。また、取付機構のカバー用取付部とドア本体用取付部とは、凹凸嵌合で取り付けられても良いし、ピン等に貫通されることにより重ねて取り付けられても良い。さらに、施錠機構は、操作プレートの回転に伴いドア本体の上下方向に往復動する必要数の往復動部材を含み、この必要数の往復動部材の往復動で必要数の係止爪が出没することが好ましい。
　本発明によれば、基板収納容器用ドアを組み立てる場合には、ドア本体の空間にカバーの被覆板材を対向配置してドア本体の中央部に接近させ、カバーの被覆板材をドア本体の中央部から周壁側部方向にスライドさせて周壁側部に接触させ、取付機構の複数のカバー用取付部とドア本体用取付部とを重ねて取り付ければ、基板収納容器用ドアを組み立てることができる。基板収納容器用ドアの変形方向とカバーをスライドさせて取り付ける方向が異なるので、基板収納容器用ドアの寸法精度を向上させることができる。
　本発明によれば、基板収納容器用ドアの寸法精度の向上やカバーの位置の安定化を図ることができるという効果がある。また、ロードポートとの間のドッキングエラーを防止することができるという効果がある。
　請求項２記載の発明によれば、施錠機構により作用する負荷方向とカバーのスライド取り付け方向が異なるので、基板収納容器用ドアの寸法精度を向上させることができる。
　請求項３記載の発明によれば、複数のガイド片の一部をドア本体の閉鎖板材の周壁側部寄りに設け、複数のガイド片の残部をカバーの被覆板材の閉鎖板材に対向する対向面の側部に設けて複数のガイド片の一部に施錠機構の操作プレートを挟んで対向可能とするので、カバーの被覆板材をドア本体の中央部から周壁側部方向にスライドさせても、施錠機構が基板収納容器用ドアの組み立ての障害となることが少ない。
　請求項４記載の発明によれば、カバーと施錠機構が共にスライドするので、ドア本体の空間の定位置に施錠機構を設置してからカバーをスライドさせる必要がなく、基板収納容器用ドアの組み立て作業の自動化を図ることができる。
　請求項５記載の発明によれば、取付機構の取付溝に取付突起を嵌め入れて位置決め固定すれば、カバー用取付部とドア本体用取付部の関係に拘わりなく、スライドしたカバーの位置ずれや脱落を防ぎながら基板収納容器用ドアを組み立てることが可能となる。
本発明に係る基板収納容器用ドアの実施形態におけるドア本体を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器用ドアの実施形態におけるドア本体を模式的に示す平面説明図である。 本発明に係る基板収納容器用ドアの実施形態におけるドア本体の空間の一方に施錠機構の係止爪を配置した状態を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器用ドアの実施形態におけるドア本体の空間の一方に施錠機構の往復動バーを配置した状態を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器用ドアの実施形態におけるドア本体の空間の一方に施錠機構の操作プレートを配置した状態を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器用ドアの実施形態におけるドア本体の一方の空間の大部分をカバーにより被覆した状態を模式的に示す斜視説明図である。 図６のカバーをドア本体の周壁側部方向にスライドさせる状態を模式的に示す平面説明図である。 図７のカバーをドア本体の周壁側部にスライドさせて接触させた状態を模式的に示す平面説明図である。 本発明に係る基板収納容器用ドアの実施形態における取付機構のカバー用取付口とドア本体用取付突片の位置合わせ爪との関係を模式的に示す要部説明図である。 本発明に係る基板収納容器用ドアの実施形態におけるドア本体の空間に施錠機構を配置した状態を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器用ドアの実施形態におけるカバーを模式的に示す斜視説明図である。 図１１のカバーの裏面を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器用ドアの実施形態におけるカバーの裏面と施錠機構の関係を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器用ドアの第２の実施形態におけるドア本体を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器用ドアの第２の実施形態におけるドア本体を模式的に示す平面説明図である。 本発明に係る基板収納容器用ドアの第２の実施形態におけるドア本体の一方の空間に施錠機構の係止爪を配置して待機領域に位置させた状態を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器用ドアの第２の実施形態における空間の一方の待機領域に施錠機構の往復動バーを配置してその先端部と係止爪を連結した状態を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器用ドアの第２の実施形態における空間の一方の待機領域に施錠機構の操作プレートを配置した状態を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器用ドアの第２の実施形態におけるドア本体の一方の空間の大部分にカバーを対向させた状態を模式的に示す斜視説明図である。 図１９のカバーをドア本体の周壁側部方向にスライドさせる状態を模式的に示す平面説明図である。 図２０のカバーをドア本体の周壁側部にスライドさせて接触させた状態を模式的に示す平面説明図である。 本発明に係る基板収納容器用ドアの第２の実施形態における取付機構のカバー用取付口とドア本体用取付突片の位置合わせ爪とを模式的に示す要部説明図である。 本発明に係る基板収納容器用ドアの第２の実施形態における施錠機構が空間の待機領域からスライドした状態を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器用ドアの第２の実施形態におけるカバーと施錠機構の関係を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器用ドアの第２の実施形態におけるカバーの裏面と施錠機構の関係を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器用ドアの第２の実施形態におけるカバーの裏面を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器用ドアの第２の実施形態における空間の支持筒に操作プレートが切り欠きを介して嵌合しようとしている状態を模式的に示す説明図である。
　以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器用ドアは、図１ないし図１３に示すように、基板である複数枚の半導体ウェーハを整列収納する容器本体の開口した正面に着脱自在に嵌合されるドア本体１と、このドア本体１用の左右一対のカバー２０と、ドア本体１に左右一対のカバー２０を取り付けるための取付機構３０と、ドア本体１と左右一対のカバー２０との間に介在して設置される施錠機構４０とを備え、ドア本体１の中央部６から周壁４の側部方向にカバー２０をそれぞれスライドさせて取り付けることにより、国連サミットで採択されたＳＤＧｓ（国連の持続可能な開発のための国際目標であり、１７のグローバル目標と１６９のターゲット（達成基準）からなる持続可能な開発目標）の目標９の達成に貢献する。
　半導体ウェーハは、図示しないが、例えばφ３００ｍｍの薄く脆い高品質のシリコンウェーハからなり、容器本体の内部に水平に収納され、かつ２５枚が上下方向に所定の間隔で整列する。
　容器本体、ドア本体１、一対のカバー２０、取付機構３０、及び施錠機構４０は、所要の樹脂を含有する成形材料により成形される。この成形材料の樹脂としては、例えばポリカーボネート樹脂、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド樹脂、ポリエーテルケトン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポリアセタール樹脂、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等があげられる。
　容器本体は、図示しないが、正面が略矩形に開口したフロントオープンボックスに射出成形され、半導体ウェーハを半導体製造装置に出し入れするインタフェース部のロードポートに搭載されてドッキングし、このロードポートにより基板収納容器用ドアが嵌合されたり、取り外される。容器本体は、内部両側に、半導体ウェーハを水平に支持する左右一対の支持片が対設され、この左右一対の支持片が上下方向に所定の間隔をおいて複数配列される。この容器本体の正面内周の上部両側と下部両側とには、施錠機構４０用の施錠穴がそれぞれ凹み形成され、各施錠穴が平面矩形に形成される。
　ドア本体１は、図１ないし図８、図１０に示すように、容器本体の開口した正面を閉鎖する略矩形の閉鎖板２と、この閉鎖板２の周縁部に周設されるエンドレスで枠形の周壁４と、閉鎖板２のやや隆起した正面略矩形の中央部６と周壁４との間に区画形成される左右一対の空間７とを備えた断面略トレイ形あるいは断面略皿形に形成され、周壁４の上部両側と下部両側とに、容器本体の施錠穴に対向する貫通口５がそれぞれ穿孔される。
　閉鎖板２は、容器本体の正面に対応する大きさ・形に形成され、表面の四隅部には、取付機構３０との間にカバー２０を隙間を介して挟持する横長で矩形のガイドブロック３が配設されており、裏面の中央部には、半導体ウェーハの前部周縁に圧接されて保持する弾性のフロントリテーナが着脱自在に装着される。
　一対の空間７は、それぞれ縦長の正面矩形に区画され、施錠機構４０を収納してカバー２０に大部分が被覆される。各空間７には、施錠機構４０用の支持筒８、平面略半円弧形の湾曲ガイド片９、複数のガイド片１０が配設される。支持筒８は、閉鎖板表面に円筒形に突出形成されて空間７の中央部近傍に位置する。また、湾曲ガイド片９は、支持筒８を中心とする円周上に設けられて閉鎖板表面の周壁側部寄りに位置し、支持筒８を半包囲する。複数のガイド片１０は、直線的に形成されて組み合わされ、施錠機構４０を位置決めするよう機能する。
　一対のカバー２０は、図６ないし図９、図１１ないし図１３に示すように、ドア本体１の一対の空間７の大部分をそれぞれ被覆する被覆板２１からなる。各被覆板２１は、空間７の幅よりも幅が狭い縦長の正面矩形に形成され、ドア本体１の中央部６と周壁４の側部との間でスライドするよう機能する。この被覆板２１の中央部には、施錠機構４０用の操作口２２が矩形に穿孔され、この操作口２２の両側部付近には、施錠機構４０用のマニュアル操作孔２３がそれぞれ略扇形に切り欠かれる。また、被覆板２１の上端部中央と下端部中央とには、ドア本体１の貫通口５に対向可能な突出片２４がそれぞれ突出形成される。
　被覆板２１の閉鎖板表面に対向する裏面には、施錠機構４０用の平面略半円弧形の湾曲ガイド片９Ａと複数のガイド片１０Ａが配設される。湾曲ガイド片９Ａは、操作口２２を中心とする円周上に設けられて被覆板２１の裏面内側部寄りに位置し、一方のマニュアル操作孔２３を半包囲して空間７の湾曲ガイド片９にドア本体１の中央部方向から対向する。また、複数のガイド片１０Ａは、被覆板２１やその突出片２４の裏面に間隔をおいて対設され、被覆板２１の上下方向に直線的に伸長する。
　取付機構３０は、図１ないし図１３に示すように、ドア本体１の周壁４の上部両側と下部両側とに形成される複数のカバー用取付突片３１・３１Ａと、ドア本体１の周壁４の上部両側と下部両側とに穿孔される複数のカバー用取付口３２と、カバー２０の被覆板２１の上部両側と下部両側とに形成されて複数のカバー用取付突片３１・３１Ａに重ねて取り付けられる複数のドア本体用取付突片３３と、ドア本体１の周壁４の側部内周に所定の間隔で切り欠かれる複数の取付溝３４と、被覆板２１の周壁側部寄りの外側部に形成されて複数の取付溝３４に対向して嵌入可能な複数の取付突起３５とを備えて構成される。
　複数のカバー用取付突片３１・３１Ａは、例えばドア本体１の周壁４内周に矩形の突片に形成され、ドア本体１の貫通口５の両側部に近接する。この複数のカバー用取付突片３１・３１Ａのうち、ドア本体１の中央部寄りのカバー用取付突片３１は、周壁４内周のストッパブロック３６と一体化され、側端部が屈曲形成されてドア本体用取付突片３３を位置決めする位置決め爪３７を形成する（図１、図３ないし図５、図１０参照）。ストッパブロック３６は、ドア本体１の厚さ方向に縦長に形成され、被覆板２１のドア本体用取付突片３３に接触して過剰なスライドを規制する。
　これに対し、ドア本体１の周壁側部寄りのカバー用取付突片３１Ａは、周壁４の隅部と一体化されて閉鎖板２のガイドブロック３との間に隙間を介して対向し、この隙間にカバー２０のドア本体用取付突片３３が横方向からスライド可能に嵌入される。また、各カバー用取付口３２は、矩形に形成されてカバー用取付突片３１やストッパブロック３６に近接する。
　複数のドア本体用取付突片３３は、被覆板２１の上端部両側と下端部両側とに矩形の突片に形成され、ドア本体１の中央部６から外側の周壁側部方向にカバー２０がスライドしない場合には、カバー用取付突片３１・３１Ａに隣接し、ドア本体１の中央部６から外側の周壁側部方向にカバー２０がスライドした場合には、カバー用取付突片３１・３１Ａに重ねて対向されることにより、カバー２０の脱落を防止するよう機能する。
　係る複数のドア本体用取付突片３３のうち、ドア本体１の中央部寄りのドア本体用取付突片３３は、ドア本体１の中央部６から周壁４の側部方向にカバー２０が完全にスライドした場合に、カバー用取付突片３１の位置決め爪３７に係合される。また、ドア本体１の中央部寄りのドア本体用取付突片３３の端部等には、必要に応じ、カバー用取付口３２の周縁部に係合する位置合わせ爪３８が突出形成される（図９参照）。
　施錠機構４０は、図３ないし図８、図１０、図１３に示すように、ドア本体１の閉鎖板２の支持筒８に支持されてカバー２０の外部のロードポートから回転操作される左右一対の操作プレート４１と、各操作プレート４１の回転に伴いドア本体１の上下方向に往復動する複数の往復動バー４５と、各往復動バー４５の往復動に伴いドア本体１の周壁４の貫通口５から隙間を介して出没可能な複数の係止爪４７とを備えて構成される。
　各操作プレート４１は、例えば断面略Ｕ字形の略円筒形に形成され、閉じた表面にカバー２０の操作口２２に対向する操作用の操作孔４２が矩形に穿孔されており、閉鎖板２の支持筒８に回転可能に嵌合されて空間７の湾曲ガイド片９とカバー２０の湾曲ガイド片９Ａとに包囲される。この操作プレート４１の外周面には、複数の湾曲ガイド片９・９Ａに隙間を介し挟持されてカバー２０の一対のマニュアル操作孔２３から視認可能な円板４３が一体形成され、この円板４３には、一対のマニュアル操作孔２３と略同形の扇孔が１８０°の間隔をおいてそれぞれ平面略扇形に穿孔されるとともに、円板４３の周縁部には、往復動バー４５用の一対の連結溝４４が１８０°の間隔をおいてそれぞれ半円弧形に切り欠かれており、これら複数の扇孔と連結溝４４が隣接する。
　各往復動バー４５は、例えば略長方形の肉厚の板に形成されて空間７の複数のガイド片１０と被覆板２１の複数のガイド片１０Ａとに複数のピンを介しスライド可能に挟持され、表面の末端部に、操作プレート４１の連結溝４４に隙間を介して遊嵌する連結ピン４６が突出形成される。また、各係止爪４７は、例えば板形や略Ｙ字形に形成されて往復動バー４５の先端部にピンを介し揺動可能に連結され、基板収納容器用ドアの施錠時にはドア本体１の貫通口５から外部に弧を描きながら突出して容器本体の正面内周の施錠穴にローラを介して係止し、基板収納容器用ドアの解錠時には容器本体の施錠穴から弧を描きながら後退してドア本体１の貫通口５内に復帰する。
　上記構成において、基板収納容器用ドアを組み立てる場合には、先ず、ドア本体１の一対の空間７に施錠機構４０を設置するため、各空間７に施錠機構４０の一対の係止爪４７を配置して貫通口５に接近させ（図３参照）、各空間７に施錠機構４０の一対の往復動バー４５を配置してその先端部と係止爪４７を連結し（図４参照）、その後、各空間７の支持筒８に施錠機構４０の操作プレート４１を嵌入してその一対の連結溝４４を往復動バー４５の連結ピン４６に遊嵌する（図５参照）。
　次いで、ドア本体１の各空間７をカバー２０により被覆してドア本体１の中央部６に隣接させる（図６参照）とともに、取付機構３０のカバー用取付突片３１・３１Ａとドア本体用取付突片３３を隣接させ、各カバー２０をドア本体１の中央部方向から周壁４の側部方向にスライド（図７参照）させて周壁４の側部に接触させ（図８参照）、取付機構３０の複数の取付溝３４に取付突起３５をそれぞれ嵌入して位置決め固定すれば、基板収納容器用ドアを組み立てることができる。
　この際、カバー２０がスライドすると、取付機構３０の隣接していた複数のカバー用取付突片３１・３１Ａとドア本体用取付突片３３とが重なって対向する（図８参照）ので、カバー２０のドア本体１からの脱落が防止される。また、カバー用取付突片３１の位置決め爪３７がドア本体用取付突片３３に係止するとともに、カバー用取付口３２にドア本体用取付突片３３の位置合わせ爪３８が係止する（図９参照）ので、カバー２０のドア本体中央部方向へのスライドが規制される。
　上記構成によれば、基板収納容器用ドアの変形方向や施錠機構４０により作用する負荷方向（図２の奥方向）とカバー２０のスライド取り付け方向（図２の左右方向）が異なるので、基板収納容器用ドアの変形を抑制し、基板収納容器用ドアの寸法精度を著しく向上させることができる。また、基板収納容器用ドアの強度やバネ性に依存しない取付機構３０により、カバー２０の位置が安定するので、カバー２０の位置ずれを有効に防止することができる。
　また、基板収納容器用ドアの変形を抑制することができるので、ロードポートとの間に隙間が発生してドッキングエラーの生じることがなく、この結果、基板収納容器用ドアの開閉が容易になる。さらに、空間７の湾曲ガイド片９にカバー２０の裏面内側部の湾曲ガイド片９Ａが施錠機構４０の操作プレート４１を挟んで対向するので、ドア本体１の中央部６から周壁４の側部方向にカバー２０がスライドしても、施錠機構４０が基板収納容器用ドアの組み立ての障害となることがない。
　次に、図１４ないし図２７は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、ドア本体１、カバー２０、及び施錠機構４０の構成を変更し、カバー２０の被覆板２１がドア本体１の中央部６から周壁４の側部方向にスライドする場合に被覆板２１だけでなく、被覆板２１と施錠機構４０を共にスライドさせるようにしている。
　ドア本体１は、図１４や図１５、図２３等に示すように、施錠機構４０のスライドに配慮し、複数の貫通口５がそれぞれドア本体１の中央部６方向に伸びる横長の矩形に形成され、貫通口５が施錠機構４０の係止爪４７に隙間を介して遊貫される。また、空間７に支持筒８が存在するものの、略半円弧形の湾曲ガイド片９と複数のガイド片１０とが省略される。空間７の中央部付近には、支持筒８に隣接する施錠機構４０用の待機領域１１が縦長に区画形成されてドア本体１の中央部寄りに偏位し、この待機領域１１の中央部付近には、施錠機構４０の操作プレート４１用の複数の直線ガイドリブ１２と平面略半円弧形のガイドリブ１３が組み合わせて形成される。
　カバー２０は、図２４から図２６に示すように、被覆板２１の裏面に、操作プレート４１用の一対の湾曲ガイド片９・９Ａ、複数のガイド片１０Ａ、ガタツキ防止リブ２５が配設される。一対の湾曲ガイド片９・９Ａは、操作口２２を中心とする円周上にそれぞれ設けられ、一対のマニュアル操作孔２３を略包囲する。
　複数のガイド片１０Ａは、被覆板２１やその突出片２４の裏面に間隔をおき対設されて一対の湾曲ガイド片９・９Ａに連結され、被覆板２１の上下方向に直線的に伸長しており、施錠機構４０の往復動バー４５や係止爪４７をスライド可能に挟持する。また、ガタツキ防止リブ２５は、被覆板２１の裏面に設けられて施錠機構４０の往復動バー４５を挟持する複数のガイドリブ１３の間に介在され、被覆板２１の上下方向に直線的に伸長しており、往復動バー４５に摺接してガタツキを防止する。
　施錠機構４０は、図２５に示すように、基本的には上記実施形態と同様であるが、操作プレート４１の周壁に空間７の支持筒８の大きさに対応する切り欠き４８が形成される。この操作プレート４１は、図２７に示すように、空間７の支持筒８に切り欠き４８を介して横方向から回転可能にスライド嵌合される。
　上記構成において、基板収納容器用ドアを組み立てる場合には、先ず、ドア本体１の各空間７に施錠機構４０の一対の係止爪４７を配置して待機領域１１に位置させ（図１６参照）、各空間７の待機領域１１に施錠機構４０の一対の往復動バー４５を配置してその先端部と係止爪４７を連結（図１７参照）し、各空間７の待機領域１１に施錠機構４０の操作プレート４１を配置してガイドリブ１３に接触させ、この操作プレート４１の一対の連結溝４４を往復動バー４５の連結ピン４６に遊嵌するとともに、操作プレート４１の切り欠き４８を支持筒８に指向させる（図１８参照）。
　次いで、ドア本体１の各空間７をカバー２０により被覆してドア本体１の中央部６に隣接させる（図１９参照）とともに、取付機構３０のカバー用取付突片３１・３１Ａとドア本体用取付突片３３を隣接させ、施錠機構４０にカバー２０の一対の湾曲ガイド片９・９Ａと複数のガイド片１０Ａを嵌合して施錠機構４０を位置決めする（図２５参照）。こうしてカバー２０と施錠機構４０を組み合わせたら、各カバー２０をドア本体１の中央部方向から周壁４の側部方向にスライド（図２０参照）させて周壁４の側部に接触（図２１参照）させ、取付機構３０の複数の取付溝３４に取付突起３５をそれぞれ嵌入して位置決め固定すれば、基板収納容器用ドアを組み立てることができる。
　この際、施錠機構４０は、待機領域１１から周壁４の側部方向にスライドして正規の定位置に配置され、空間７の支持筒８に操作プレート４１が切り欠き４８を用いて回転可能に嵌合される（図２７参照）。湾曲ガイド片９・９Ａ、及び複数のガイド片１０Ａが施錠機構４０を挟持するので、施錠機構４０がスライド時に分解することがない。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
　本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、カバー２０と施錠機構４０が共にスライドするので、基板収納容器用ドアの組み立て作業の自動化に大いに資することができるのは明らかである。
　なお、上記実施形態における取付機構３０のカバー用取付突片３１・３１Ａ、ドア本体用取付突片３３、取付溝３４、取付突起３５の数は、必要に応じ、増減しても良い。また、取付機構３０のカバー用取付口３２やドア本体用取付突片３３の位置合わせ爪３８は、必要に応じ、省略しても良い。さらに、カバー用取付突片３１・３１Ａとドア本体用取付突片３３を対向させ、これらに締結ピンを挿入してカバー２０を位置決めすることにより、位置決め爪３７や位置合わせ爪３８を省略しても良い。
　本発明に係る基板収納容器用ドアは、半導体ウェーハの製造分野等で使用される。
１　　　　ドア本体
２　　　　閉鎖板（閉鎖板材）
４　　　　周壁
５　　　　貫通口
６　　　　中央部
７　　　　空間
８　　　　支持筒（支持部）
９　　　　湾曲ガイド片（ガイド片）
９Ａ　　　湾曲ガイド片（ガイド片）
１０　　　ガイド片
１０Ａ　　ガイド片
１１　　　待機領域
２０　　　カバー
２１　　　被覆板（被覆板材）
２２　　　操作口
３０　　　取付機構
３１　　　カバー用取付突片（カバー用取付部）
３１Ａ　　カバー用取付突片（カバー用取付部）
３２　　　カバー用取付口
３３　　　ドア本体用取付突片（ドア本体用取付部）
３４　　　取付溝
３５　　　取付突起
３７　　　位置決め爪
３８　　　位置合わせ爪
４０　　　施錠機構
４１　　　操作プレート
４２　　　操作孔
４４　　　連結溝
４５　　　往復動バー
４６　　　連結ピン
４７　　　係止爪
４８　　　切り欠き

Claims (5)

  1. 　基板を収納する容器本体の開口した正面に着脱自在に嵌め合わされるドア本体と、このドア本体用のカバーと、ドア本体にカバーを取り付けるための取付機構とを含んでなる基板収納容器用ドアであって、
    　ドア本体は、容器本体の開口した正面を閉鎖する閉鎖板材と、この閉鎖板材の周縁部に形成される周壁と、閉鎖板材の中央部と周壁との間に区画形成される空間とを含み、
    　カバーは、ドア本体の空間を被覆する被覆板材を含み、この被覆板材の幅を空間の幅よりも狭くして被覆板材をドア本体の中央部と周壁の側部との間でスライド可能とし、
    　取付機構は、ドア本体の周壁の上部側方と下部側方とに形成される複数のカバー用取付部と、カバーの被覆板材の上部側方と下部側方とに形成されて被覆板材がドア本体の中央部方向から周壁の側部方向にスライドした場合に複数のカバー用取付部に重ねて取り付けられる複数のドア本体用取付部とを含んでなることを特徴とする基板収納容器用ドア。
  2. 　ドア本体の空間とカバーとの間に施錠機構を介在して設置し、この施錠機構は、ドア本体の閉鎖板材の支持部に支持されてカバーの外部から回転操作可能な操作プレートと、この操作プレートの回転によりドア本体の周壁の貫通口から出没可能な係止爪とを含んでなる請求項１記載の基板収納容器用ドア。
  3. 　ドア本体の閉鎖板材とカバーの被覆板材とに、施錠機構の操作プレートを囲む複数のガイド片を配設し、この複数のガイド片の一部を閉鎖板材の周壁側部寄りに設け、複数のガイド片の残部を被覆板材の閉鎖板材に対向する対向面の側部に設けて複数のガイド片の一部に施錠機構の操作プレートを挟んで対向可能とした請求項２記載の基板収納容器用ドア。
  4. 　ドア本体の周壁の貫通口を伸長し、カバーの被覆板材の閉鎖板材に対向する対向面に、施錠機構を挟んで位置決めする複数のガイド片を配設し、施錠機構の操作プレートの一部を切り欠き、カバーの被覆板材がドア本体の中央部方向から周壁側部方向にスライドする場合に被覆板材と施錠機構とを共にスライドさせるとともに、操作プレートをドア本体の閉鎖板材の支持部に切り欠きを介して嵌め入れる請求項２記載の基板収納容器用ドア。
  5. 　取付機構は、ドア本体の周壁側部に形成される取付溝と、カバーの被覆板材の側部に形成されて取付溝に対向可能な取付突起とを含み、カバーの被覆板材がドア本体の中央部方向から周壁側部方向にスライドした場合に取付溝に取付突起が嵌め入れられる請求項１又は２記載の基板収納容器用ドア。
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