WO2024090359A1 - Contact pin, and electrical connection device - Google Patents

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正樹 今
健一 澁谷
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株式会社日本マイクロニクス
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Abstract

The contact pin (10) according to the present invention comprises: a tip portion (11) which has a first contact region (111) pointing in a first direction (D1), a base region (113) which is opposite the first contact region (111), and a plurality of side surfaces; and a body portion (12) which has a first end (121) connected to the tip portion (11) and extends in a second direction (D2) intersecting the first direction (D1), wherein the body portion (12) has a second contact region (112) in a region spaced apart from the first end portion (121) in the second direction (D2), and from among the side surfaces of the tip portion (11), the outer-edge side surfaces (131, 132) forming the outer edges of the tip portion (11) as viewed from the second direction (D2) each include a linear inclined region which obliquely intersects the first contact region (111).

Description

コンタクトピンおよび電気的接続装置Contact pin and electrical connection device
 本発明は、デバイスの電気特性の検査に使用するコンタクトピンおよび電気的接続装置に関する。 The present invention relates to contact pins and electrical connection devices used to test the electrical characteristics of devices.
 半導体集積回路などを実装したパッケージを含むデバイスの電気特性の検査において、パッケージと検査装置との間を電気的に接続する電気的接続装置が用いられている。電気的接続装置は、プリント基板(PCB)などの基板に配置された電極パッドおよびデバイスの電極端子とそれぞれに接触するコンタクトピンを含む。コンタクトピンを介して、デバイスの電極端子と、検査装置と接続された基板の電極パッドが電気的に接続される。 In testing the electrical characteristics of devices that include packages that implement semiconductor integrated circuits or the like, an electrical connection device is used to electrically connect the package to a testing device. The electrical connection device includes contact pins that contact electrode pads arranged on a substrate such as a printed circuit board (PCB) and electrode terminals of the device, respectively. The electrode terminals of the device are electrically connected to the electrode pads of the substrate that is connected to the testing device via the contact pins.
特開2019-35660号公報JP 2019-35660 A
 検査対象物のデバイスの多ピン化およびサイズの縮小などにより、電極端子のサイズおよび間隔は狭くなる。電極端子の狭小化により、本来接触させる電極端子に隣接する電極端子にコンタクトピンが誤って接触する現象(以下、「誤接触」と称する。)が生じやすくなる。しかし、コンタクトピンの誤接触を防止するために電極端子と接触するコンタクトピンの接触部分を細くすると、コンタクトピンの機械的強度(以下、単に「強度」と称する。)が不足するおそれがある。即ち、デバイスの検査においてデバイスの電極端子にコンタクトピンを強く押し当てたときに、強度の不足によりコンタクトピンが破損することが懸念される。 The size and spacing of the electrode terminals become narrower due to the increased number of pins and reduced size of devices under inspection. The narrowing of the electrode terminals makes it easier for a contact pin to mistakenly come into contact with an electrode terminal adjacent to the one it is supposed to come into contact with (hereinafter referred to as "miscontact"). However, if the contact portion of the contact pin that comes into contact with the electrode terminal is narrowed to prevent miscontact, the mechanical strength of the contact pin (hereinafter simply referred to as "strength") may be insufficient. In other words, there is a concern that the contact pin may be damaged due to insufficient strength when it is pressed hard against the electrode terminal of a device during device inspection.
 本発明は、検査対象物の電極端子の狭小化に対応し、且つコンタクトピンの強度の低下を抑制できるコンタクトピンおよび電気的接続装置を提供することを目的とする。 The present invention aims to provide a contact pin and an electrical connection device that can accommodate the narrowing of electrode terminals of test objects and prevent a decrease in the strength of the contact pin.
 本発明の一態様に係るコンタクトピンは、第1方向に向いた第1接触領域、第1接触領域に対向する基端領域および複数の側面を有する先端部と、先端部と連結する第1端部を有し、第1方向と交差する第2方向に延伸する本体部を備える。本体部は、第1端部から第2方向に離隔した領域に第2接触領域を有する。先端部の側面のうち、第2方向から見て先端部の外縁を形成する外縁側面が、第1接触領域に対して斜めに交差する直線状の斜向領域を含む。 A contact pin according to one aspect of the present invention comprises a tip portion having a first contact region facing a first direction, a base end region facing the first contact region and multiple side surfaces, and a body portion having a first end portion connected to the tip portion and extending in a second direction intersecting the first direction. The body portion has a second contact region in a region spaced apart in the second direction from the first end portion. Of the side surfaces of the tip portion, the outer edge side surfaces that form the outer edge of the tip portion when viewed from the second direction include a linear oblique region that intersects obliquely with the first contact region.
 本発明によれば、検査対象物の電極端子の狭小化に対応し、且つコンタクトピンの強度の低下を抑制できるコンタクトピンおよび電気的接続装置を提供できる。 The present invention provides a contact pin and an electrical connection device that can accommodate the narrowing of the electrode terminals of the test object and prevent a decrease in the strength of the contact pin.
図1は、第1の実施形態に係るコンタクトピンの構成を示す模式的な斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view showing the configuration of a contact pin according to the first embodiment. 図2は、第1の実施形態に係るコンタクトピンの正面視の構成を示す模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram showing the configuration of the contact pin according to the first embodiment as viewed from the front. 図3は、第1の比較例のコンタクトピンの正面視の構成を示す模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram showing the configuration of a contact pin of a first comparative example as viewed from the front. 図4は、第2の比較例のコンタクトピンの正面視の構成を示す模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram showing the configuration of a contact pin of a second comparative example as viewed from the front. 図5は、第1の実施形態の第1の変形例に係るコンタクトピンの先端部の構成を示す模式図である。FIG. 5 is a schematic diagram showing the configuration of a tip portion of a contact pin according to a first modified example of the first embodiment. 図6は、第1の実施形態の第1の変形例に係るコンタクトピンの先端部の他の構成を示す模式図である。FIG. 6 is a schematic diagram showing another configuration of the tip portion of the contact pin according to the first modified example of the first embodiment. 図7は、第1の実施形態の第1の変形例に係るコンタクトピンの先端部の更に他の構成を示す模式図である。FIG. 7 is a schematic diagram showing still another configuration of the tip portion of the contact pin according to the first modified example of the first embodiment. 図8は、第1の実施形態の第2の変形例に係るコンタクトピンの構成を示す模式図である。FIG. 8 is a schematic diagram showing a configuration of a contact pin according to a second modified example of the first embodiment. 図9は、第1の実施形態に係る電気的接続装置の構成を示す模式的な断面図である。FIG. 9 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of the electrical connecting device according to the first embodiment. 図10は、第1の実施形態に係る電気的接続装置の構成を示す模式的な斜視図である。FIG. 10 is a schematic perspective view showing the configuration of the electrical connecting device according to the first embodiment. 図11は、第2の実施形態に係るコンタクトピンの構成を示す模式的な斜視図である。FIG. 11 is a schematic perspective view showing the configuration of a contact pin according to the second embodiment. 図12は、第2の実施形態に係るコンタクトピンの構成を示す正面視の模式図である。FIG. 12 is a schematic front view showing the configuration of a contact pin according to the second embodiment. 図13は、第2の実施形態に係るコンタクトピンの他の構成を示す正面視の模式図である。FIG. 13 is a schematic front view showing another configuration of the contact pin according to the second embodiment.
 次に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各部の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。以下に示す実施形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の実施形態は、構成部品の材質、形状、構造、配置などを下記のものに特定するものでない。 Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description of the drawings, the same or similar parts are given the same or similar reference numerals. However, it should be noted that the drawings are schematic, and the thickness ratios of the various parts may differ from the actual ones. In addition, the drawings naturally include parts with different dimensional relationships and ratios. The embodiments shown below are examples of devices and methods for embodying the technical ideas of this invention, and the embodiments of this invention do not specify the materials, shapes, structures, arrangements, etc. of the components as described below.
 (第1の実施形態)
 図1に示す第1の実施形態に係るコンタクトピン10は、検査対象物の電気特性の検査に使用される。コンタクトピン10は、先端部11と、先端部11と連結する第1端部121を有する本体部12を備える。
First Embodiment
A contact pin 10 according to a first embodiment shown in Fig. 1 is used for testing electrical characteristics of a test object. The contact pin 10 includes a tip portion 11 and a body portion 12 having a first end portion 121 connected to the tip portion 11.
 先端部11は、図1および図2に示すように、第1方向D1に向いた第1接触領域111、第1接触領域111に対向する基端領域113、および第1接触領域111と基端領域113とを接続する複数の側面を有する。先端部11の第1接触領域111は、後述するように、検査対象物の検査において検査対象物の電極端子と接触する。第1方向D1と第2方向D2に対してそれぞれ垂直な方向から見た側面視において、第1接触領域111は、第1方向D1に垂直な部分を含んで湾曲している。第2方向D2から見て、第1接触領域111は直線状である。先端部11は、基端領域113で本体部12と接合している。 As shown in Figs. 1 and 2, the tip portion 11 has a first contact region 111 facing the first direction D1, a base end region 113 facing the first contact region 111, and multiple side surfaces connecting the first contact region 111 and the base end region 113. As described below, the first contact region 111 of the tip portion 11 comes into contact with an electrode terminal of an object to be inspected when inspecting the object to be inspected. In a side view seen from a direction perpendicular to the first direction D1 and the second direction D2, the first contact region 111 is curved, including a portion perpendicular to the first direction D1. When viewed from the second direction D2, the first contact region 111 is linear. The tip portion 11 is joined to the main body portion 12 at the base end region 113.
 本体部12は、第1方向D1と交差する第2方向D2に延伸する。本体部12は、先端部11に連結する第1端部121から第2方向D2に離隔した領域に、第2接触領域112を有する。第2接触領域112は、第1方向D1と反対向きの第3方向D3を向いている。図1に示すように、本体部12の第2端部122の付近に第2接触領域112が設定されている。第2接触領域112は、後述するように、検査対象物の検査においてプリント基板などに配置された電極パッドと接触する。 The main body 12 extends in a second direction D2 intersecting the first direction D1. The main body 12 has a second contact region 112 in a region spaced in the second direction D2 from a first end 121 connected to the tip 11. The second contact region 112 faces a third direction D3 opposite to the first direction D1. As shown in FIG. 1, the second contact region 112 is set near the second end 122 of the main body 12. The second contact region 112 comes into contact with an electrode pad arranged on a printed circuit board or the like during inspection of an object to be inspected, as described below.
 以下において、先端部11の第1方向D1に垂直な断面(以下において、単に「断面」とも称する。)が矩形状である場合を、例示的に説明する。 Below, we will explain by way of example the case where the cross section of the tip portion 11 perpendicular to the first direction D1 (hereinafter also simply referred to as the "cross section") is rectangular.
 先端部11を第2方向D2に向かって見たときに(以下、「正面視」とも称する。)、図面の正面を向く先端部11の側面を「正側面133」と称する。正側面133に対向し、第2方向D2を向いた側面を「裏側面134」と称する。 When the tip 11 is viewed in the second direction D2 (hereinafter also referred to as the "front view"), the side of the tip 11 facing the front of the drawing is referred to as the "front side 133". The side opposite the front side 133 and facing the second direction D2 is referred to as the "rear side 134".
 先端部11の複数の側面のうち、第2方向D2から見て先端部11の外縁を形成する側面を、以下において「外縁側面」とも称する。図2に示す正面視において図面の左側の外縁側面を「第1外縁側面131」、図面の右側の外縁側面を「第2外縁側面132」と称する。第1外縁側面131と第2外縁側面132のそれぞれを限定しない場合は、外縁側面と表記する。先端部11の断面が矩形状である場合、外縁側面は、第1方向D1と第2方向D2のそれぞれに対して直交する方向に向いた側面である。 Of the multiple side surfaces of the tip portion 11, the side surfaces that form the outer edge of the tip portion 11 when viewed from the second direction D2 are also referred to below as "outer edge side surfaces." In the front view shown in Figure 2, the outer edge side surface on the left side of the drawing is referred to as the "first outer edge side surface 131," and the outer edge side surface on the right side of the drawing is referred to as the "second outer edge side surface 132." When the first outer edge side surface 131 and the second outer edge side surface 132 are not limited, they are referred to as outer edge side surfaces. When the cross section of the tip portion 11 is rectangular, the outer edge side surfaces are sides that face in directions perpendicular to each of the first direction D1 and the second direction D2.
 図2に示す先端部11は、第1外縁側面131と第2外縁側面132の両方が、第1接触領域111に対して斜めに交差する直線状の領域(以下、「斜向領域」と称する。)を含む。第1外縁側面131と第2外縁側面132の斜向領域は、第1接触領域111から基端領域113まで直線的に連続している。 The tip portion 11 shown in FIG. 2 includes a linear region (hereinafter referred to as an "oblique region") in which both the first outer edge side surface 131 and the second outer edge side surface 132 intersect obliquely with the first contact region 111. The oblique regions of the first outer edge side surface 131 and the second outer edge side surface 132 are linearly continuous from the first contact region 111 to the base end region 113.
 以下において、第1接触領域111と、外縁側面の斜向領域若しくは斜向領域の延長部とのなす角を、「テーパー角」とも称する。言い換えると、テーパー角は、第1方向D1に垂直な平面と外縁側面とのなす鈍角である。外縁側面が斜向領域を含むため、先端部11は、断面が第1接触領域111から基端領域113に向かって次第に大きくなるテーパー形状の領域を含む。 Hereinafter, the angle between the first contact region 111 and the oblique region of the outer edge side surface or the extension of the oblique region is also referred to as the "taper angle." In other words, the taper angle is an obtuse angle between a plane perpendicular to the first direction D1 and the outer edge side surface. Because the outer edge side surface includes an oblique region, the tip portion 11 includes a tapered region whose cross section gradually becomes larger from the first contact region 111 toward the base end region 113.
 正面視におけるコンタクトピン10の各部の第1方向D1に垂直な長さを「幅」と定義する。第1接触領域111の幅を、「先端幅」とも称する。図2に示すように、正側面133の第1接触領域111に接続する領域の幅は、先端幅Wである。本体部12の幅は、先端部11の基端領域113の幅と同等である。言い換えると、先端部11の先端幅Wは、本体部12の幅よりも狭い。正側面133は、第1接触領域111に対して任意の角度で接続する。 The length perpendicular to the first direction D1 of each part of the contact pin 10 when viewed from the front is defined as the "width". The width of the first contact region 111 is also referred to as the "tip width". As shown in FIG. 2, the width of the region of the front side 133 that connects to the first contact region 111 is the tip width W. The width of the main body 12 is equal to the width of the base end region 113 of the tip 11. In other words, the tip width W of the tip 11 is narrower than the width of the main body 12. The front side 133 connects to the first contact region 111 at an arbitrary angle.
 図1に示すように、裏側面134は、第1接触領域111に接続する傾斜部134a、傾斜部134aに連結して第2方向D2に延伸する平面部134b、平面部134bに連結して本体部12に接続する接続部134cを含む。傾斜部134aは、第1接触領域111と鈍角をなしている。接続部134cは、第3方向D3に延伸している。 As shown in FIG. 1, the rear surface 134 includes an inclined portion 134a that connects to the first contact region 111, a flat portion 134b that is connected to the inclined portion 134a and extends in the second direction D2, and a connection portion 134c that is connected to the flat portion 134b and connects to the main body portion 12. The inclined portion 134a forms an obtuse angle with the first contact region 111. The connection portion 134c extends in the third direction D3.
 上記のように、コンタクトピン10の先端部11は、検査対象物と接触する第1接触領域111に対して外縁側面が直線的に斜めに交差している。このため、以下に説明する比較例のコンタクトピンと比べて、先端部11の強度が高い。 As described above, the outer edge side of the tip 11 of the contact pin 10 intersects the first contact area 111, which comes into contact with the test object, at an angle in a straight line. Therefore, the strength of the tip 11 is higher than that of the contact pin of the comparative example described below.
 図3に示す第1の比較例のコンタクトピンは、第1接触領域111から基端領域113までコンタクトピンの断面が一定である。このため、第1の比較例によれば、第1接触領域111に検査対象物が接触した場合に第1接触領域111に加わる押圧によるコンタクトピンの破損が抑制される。しかし、第1の比較例は、先端幅が広いため、コンタクトピンの誤接触が生じやすい。 The contact pin of the first comparative example shown in FIG. 3 has a constant cross section from the first contact region 111 to the base end region 113. Therefore, according to the first comparative example, damage to the contact pin caused by pressure applied to the first contact region 111 when an object to be inspected comes into contact with the first contact region 111 is suppressed. However, in the first comparative example, the tip width is wide, making it easy for the contact pin to make erroneous contact.
 図4に示す第2の比較例のコンタクトピンは、第1接触領域111から基端領域113に向かって第1接触領域111に対して垂直な直線領域S1と、直線領域S1と基端領域113を接続する曲線領域S2を有する。第2の比較例によれば、先端幅が狭いため、コンタクトピンの誤接触が抑制される。しかし、第1接触領域111から連続する領域の断面の面積が小さいため、第1接触領域111に加わる押圧に対して第2の比較例の強度が低い。 The contact pin of the second comparative example shown in FIG. 4 has a straight line region S1 perpendicular to the first contact region 111 from the first contact region 111 toward the base end region 113, and a curved region S2 connecting the straight line region S1 and the base end region 113. According to the second comparative example, the tip width is narrow, so erroneous contact of the contact pin is suppressed. However, the cross-sectional area of the region continuing from the first contact region 111 is small, so the strength of the second comparative example against pressure applied to the first contact region 111 is low.
 これに対し、図2に示す先端部11は、第1接触領域111から基端領域113に向かって一定のテーパー角で断面が次第に大きくなるテーパー形状を含む。このため、コンタクトピン10の誤接触を抑制するために先端幅Wを狭くしても、先端部11の強度の低下が抑制される。 In contrast, the tip portion 11 shown in FIG. 2 includes a tapered shape in which the cross section gradually becomes larger at a constant taper angle from the first contact region 111 toward the base end region 113. Therefore, even if the tip width W is narrowed to prevent erroneous contact of the contact pin 10, the decrease in strength of the tip portion 11 is suppressed.
 更に、図2に示す先端部11によれば、先端部11について高い強度を確保できるため、先端幅Wを狭くして第1接触領域111の面圧を上げることができる。ここで、第1接触領域111の面圧は、「第1接触領域111に加わる荷重」/「先端幅W」の式により定義される。即ち、先端幅Wを2分の1にすることにより、面圧を2倍にすることができる。したがって、検査対象物の電極端子を第1接触領域111に強く押し当てることができることにより、コンタクトピン10と検査対象物との良好な電気的接続を実現できる。 Furthermore, according to the tip portion 11 shown in FIG. 2, high strength can be ensured for the tip portion 11, so the tip width W can be narrowed to increase the surface pressure of the first contact region 111. Here, the surface pressure of the first contact region 111 is defined by the formula "load applied to the first contact region 111" / "tip width W". In other words, by halving the tip width W, the surface pressure can be doubled. Therefore, by being able to press the electrode terminal of the test object firmly against the first contact region 111, good electrical connection can be achieved between the contact pin 10 and the test object.
 以上に説明したように、第1の実施形態に係るコンタクトピン10では、先端部11の外縁側面が第1接触領域111に対して斜めに交差する斜向領域を含み、先端部11の断面がテーパー形状である。したがって、コンタクトピン10によれば、本体部12の幅よりも先端部11の先端幅Wを狭くすることにより検査対象物の電極端子の狭小化に対応し、且つ、先端部11の強度を確保できる。 As described above, in the contact pin 10 according to the first embodiment, the outer edge side surface of the tip portion 11 includes an oblique region that intersects obliquely with the first contact region 111, and the cross section of the tip portion 11 has a tapered shape. Therefore, according to the contact pin 10, by making the tip width W of the tip portion 11 narrower than the width of the main body portion 12, it is possible to accommodate the narrowing of the electrode terminal of the object to be inspected, and also ensure the strength of the tip portion 11.
 また、コンタクトピン10は、図4に示した第2の比較例よりも先端部11の断面の面積を広くできる第1方向D1に沿った範囲が広い。このため、コンタクトピン10を流れる電流の許容値を高くして、電流経路のインダクタンスを下げることができる。更に、先端部11の裏側面134は、第1接触領域111と鈍角をなして接続する傾斜部134aに連続して第2方向D2に延伸する平面部134bを含む。このため、裏側面134が傾斜部134aのみの場合よりも、先端部11の断面の面積を広くすることができる。これにより、先端部11のインダクタンスを更に下げることができる。 The contact pin 10 also has a wider range along the first direction D1, which allows the cross-sectional area of the tip portion 11 to be wider than that of the second comparative example shown in FIG. 4. This makes it possible to increase the allowable value of the current flowing through the contact pin 10 and reduce the inductance of the current path. Furthermore, the back surface 134 of the tip portion 11 includes a flat portion 134b that extends in the second direction D2 and is continuous with the inclined portion 134a that connects to the first contact region 111 at an obtuse angle. This makes it possible to increase the cross-sectional area of the tip portion 11 compared to when the back surface 134 only includes the inclined portion 134a. This makes it possible to further reduce the inductance of the tip portion 11.
 コンタクトピン10の母材には、ニッケル(Ni)合金などが好適に使用される。例えば、ベリリウム-ニッケル(Be-Ni)合金などをコンタクトピン10の母材に使用してもよい。また、母材の表面にNi膜をメッキしたり、メッキしたNi膜の表面に金(Au)膜をメッキしたりしてもよい。コンタクトピン10は、例えばプレス加工により形成される。テーパー角は、第1接触領域111に必要とされる先端幅Wと、コンタクトピン10の間隔などに依存する本体部12の幅などに応じて適宜設定される。 A nickel (Ni) alloy or the like is preferably used as the base material of the contact pin 10. For example, a beryllium-nickel (Be-Ni) alloy or the like may be used as the base material of the contact pin 10. In addition, a Ni film may be plated on the surface of the base material, or a gold (Au) film may be plated on the surface of the plated Ni film. The contact pin 10 is formed, for example, by pressing. The taper angle is set appropriately depending on the tip width W required for the first contact region 111 and the width of the main body portion 12, which depends on the spacing of the contact pins 10, etc.
 <第1の変形例>
 上記では、外縁側面の斜向領域が、第1接触領域111から基端領域113まで直線的に連続している例を説明した。しかし、斜向領域が外縁側面の一部であってもよい。
<First Modification>
In the above, an example has been described in which the inclined region of the outer edge side surface is linearly continuous from the first contact region 111 to the base end region 113. However, the inclined region may be a part of the outer edge side surface.
 例えば、図5に示す正面視のように、外縁側面が、第1接触領域111となすテーパー角が相互に異なる複数の斜向領域を含んでもよい。図5に示す先端部11は、第1接触領域111に接続する斜向領域と第1接触領域111とがなすテーパー角より、基端領域113に接続する斜向領域と第1接触領域111とがなすテーパー角が小さい。したがって、図5に示す先端部11は、図2に示した先端部11よりも断面の面積が広い領域を有する。このため、先端部11の強度を更に高くしたりインダクタンスを更に下げたりすることができる。 For example, as seen from the front in FIG. 5, the outer edge side may include multiple oblique regions that have different taper angles with the first contact region 111. In the tip portion 11 shown in FIG. 5, the taper angle between the oblique region connected to the base end region 113 and the first contact region 111 is smaller than the taper angle between the oblique region connected to the first contact region 111 and the first contact region 111. Thus, the tip portion 11 shown in FIG. 5 has a region with a larger cross-sectional area than the tip portion 11 shown in FIG. 2. This makes it possible to further increase the strength of the tip portion 11 and further reduce the inductance.
 図5に示す外縁側面では斜向領域のテーパー角の変化が1回であるが、外縁側面の途中でテーパー角が2回以上変化してもよい。或いは、テーパー角が異なる複数の斜向領域の間が、第1方向D1と平行な領域若しくは第1方向D1と垂直な領域であってもよい。 In the outer edge side shown in FIG. 5, the taper angle of the inclined region changes once, but the taper angle may change two or more times along the outer edge side. Alternatively, the area between multiple inclined regions with different taper angles may be a region parallel to the first direction D1 or a region perpendicular to the first direction D1.
 また、図6に示す正面視のように、外縁側面が、第1接触領域111と接続する斜向領域と、斜向領域と基端領域113とを接続する、第1接触領域111に垂直な直線領域とを含んでもよい。図6に示す先端部11は、図2に示した先端部11よりも断面の面積が広い領域を有するため、先端部11の強度を更に高くしたりインダクタンスを更に下げたりすることができる。 Also, as seen from the front in FIG. 6, the outer edge side may include an oblique region that connects to the first contact region 111, and a straight region that connects the oblique region to the base end region 113 and is perpendicular to the first contact region 111. The tip portion 11 shown in FIG. 6 has a region with a larger cross-sectional area than the tip portion 11 shown in FIG. 2, so that the strength of the tip portion 11 can be further increased and the inductance can be further reduced.
 また、図7に示す正面視のように、外縁側面が、基端領域113と接続する斜向領域と、斜向領域と第1接触領域111とを接続する、第1接触領域111に垂直な直線領域とを含んでもよい。図7に示す先端部11は、第1接触領域111から基端領域113に向けて一定の範囲において幅が先端幅と同一である。このため、仮に電極端子との接触により第1接触領域111から先端部11が摩耗しても、電極端子と先端部11との接触面積を一定に維持することができる。 Also, as seen from the front in FIG. 7, the outer edge side surface may include an oblique region that connects to the base end region 113, and a straight region that connects the oblique region to the first contact region 111 and is perpendicular to the first contact region 111. The tip portion 11 shown in FIG. 7 has a width that is the same as the tip width in a certain range from the first contact region 111 to the base end region 113. Therefore, even if the tip portion 11 wears from the first contact region 111 due to contact with the electrode terminal, the contact area between the electrode terminal and the tip portion 11 can be maintained constant.
 <第2の変形例>
 上記では、第1外縁側面131と第2外縁側面132の両方が斜向領域を含む場合を説明した。しかし、第1外縁側面131と第2外縁側面132のいずれか一方の外縁側面が斜向領域を含み、他方の外縁側面が斜向領域を含まなくてもよい。斜向領域を含まない外縁側面は、例えば、第1接触領域111に対して垂直に延伸する。斜向領域を含む外縁側面を一方のみにすることにより、両方の外縁側面が斜向領域を含む場合よりも、本体部12の間隔を狭くすることができる。
<Second Modification>
In the above, a case where both the first outer edge side surface 131 and the second outer edge side surface 132 include an oblique region has been described. However, it is also possible that either one of the first outer edge side surface 131 and the second outer edge side surface 132 includes an oblique region, and the other outer edge side surface does not include an oblique region. For example, an outer edge side surface that does not include an oblique region extends perpendicularly to the first contact region 111. By providing only one outer edge side surface with an oblique region, the interval of the main body portion 12 can be narrower than when both outer edge side surfaces include an oblique region.
 例えば、図8に示すように、第1外縁側面131のみが斜向領域を含むコンタクトピン10の第2外縁側面132の側に、第2外縁側面132のみが斜向領域を含むコンタクトピン10を配置してもよい。図8に示したコンタクトピン10の対は、例えば同一の電極端子にコンタクトピン10の対を接触させるケルビン接続に適用してもよい。 For example, as shown in FIG. 8, a contact pin 10 in which only the second outer edge side surface 132 includes an oblique region may be arranged on the side of a contact pin 10 in which only the first outer edge side surface 131 includes an oblique region, the second outer edge side surface 132 being adjacent to the contact pin 10. The pair of contact pins 10 shown in FIG. 8 may be applied to a Kelvin connection in which the pair of contact pins 10 are in contact with the same electrode terminal, for example.
 第1の実施形態に係るコンタクトピン10は、例えば図9に示す電気的接続装置1に使用される。図9に示した電気的接続装置1は、デバイス100の電気特性の検査に使用される。デバイス100は、半導体集積回路などをパッケージに搭載した検査対象物である。電気的接続装置1は、デバイス100の電極端子101と基板200の電極パッド201とを電気的に接続する。図1は、電極端子101がパッケージのリード電極である場合を例示的に示している。電極パッド201は、基板200に形成された配線パターン(図示略)などを介して検査装置と電気的に接続されている。 The contact pin 10 according to the first embodiment is used in, for example, an electrical connection device 1 shown in FIG. 9. The electrical connection device 1 shown in FIG. 9 is used to inspect the electrical characteristics of a device 100. The device 100 is an object to be inspected that has a semiconductor integrated circuit or the like mounted in a package. The electrical connection device 1 electrically connects an electrode terminal 101 of the device 100 to an electrode pad 201 of a substrate 200. FIG. 1 exemplarily shows a case where the electrode terminal 101 is a lead electrode of the package. The electrode pad 201 is electrically connected to the inspection device via a wiring pattern (not shown) or the like formed on the substrate 200.
 電気的接続装置1は、第1面21および第1面21に対向する第2面22を有する筐体20と、筐体20に支持されるコンタクトピン10と、筐体20の内部に配置された第1弾性部31および第2弾性部32を備える。コンタクトピン10は、電極端子101と電極パッド201のそれぞれと接触する。第1弾性部31と第2弾性部32は、コンタクトピン10および筐体20に当接して筐体20の内部に配置されている。第1弾性部31および第2弾性部32のそれぞれを限定しない場合は、「弾性部30」と表記する。 The electrical connection device 1 comprises a housing 20 having a first surface 21 and a second surface 22 opposing the first surface 21, a contact pin 10 supported by the housing 20, and a first elastic portion 31 and a second elastic portion 32 arranged inside the housing 20. The contact pin 10 contacts the electrode terminal 101 and the electrode pad 201, respectively. The first elastic portion 31 and the second elastic portion 32 are arranged inside the housing 20 in contact with the contact pin 10 and the housing 20. When the first elastic portion 31 and the second elastic portion 32 are not limited, they are referred to as "elastic portion 30".
 電気的接続装置1の動作の説明を分かりやすくするために、図9に示すようにX方向、Y方向、Z方向を定義する。図9において、X方向は紙面の左右方向、Y方向は紙面の奥行方向、Z方向は紙面の上下方向である。また、Z方向において、電気的接続装置1から見てデバイス100が位置している方向を上方向、デバイス100から見て電気的接続装置1が位置している方向を下方向とする。例えば、コンタクトピン10の第1接触領域111は上方向を向き、第2接触領域112は下方向を向いている。 To make it easier to understand the explanation of the operation of the electrical connection device 1, the X direction, Y direction, and Z direction are defined as shown in Figure 9. In Figure 9, the X direction is the left-right direction on the paper, the Y direction is the depth direction on the paper, and the Z direction is the up-down direction on the paper. In addition, in the Z direction, the direction in which the device 100 is located as viewed from the electrical connection device 1 is the upward direction, and the direction in which the electrical connection device 1 is located as viewed from the device 100 is the downward direction. For example, the first contact area 111 of the contact pin 10 faces upward, and the second contact area 112 faces downward.
 図9では、Z方向から見てデバイス100の下方向に電気的接続装置1が配置されている。コンタクトピン10の第1接触領域111は筐体20の第1面21に露出し、コンタクトピン10の第2接触領域112は筐体20の第2面22に露出している。Z方向に沿って電気的接続装置1とデバイス100の間隔が狭くなったときに第1接触領域111とデバイス100の電極端子101が接触するように、コンタクトピン10が筐体20に配置されている。更に、第2接触領域112の一部が接触部分として基板200の電極パッド201と接触するように、コンタクトピン10が筐体20に配置されている。後述するように、デバイス100の検査時において、第1接触領域111のZ方向の位置の変化に起因して、第2接触領域112における電極パッド201と接触する接触部分の範囲は変化する。 9, the electrical connection device 1 is disposed below the device 100 when viewed from the Z direction. The first contact area 111 of the contact pin 10 is exposed to the first surface 21 of the housing 20, and the second contact area 112 of the contact pin 10 is exposed to the second surface 22 of the housing 20. The contact pin 10 is disposed on the housing 20 so that the first contact area 111 and the electrode terminal 101 of the device 100 come into contact when the distance between the electrical connection device 1 and the device 100 narrows along the Z direction. Furthermore, the contact pin 10 is disposed on the housing 20 so that a part of the second contact area 112 comes into contact with the electrode pad 201 of the substrate 200 as a contact portion. As will be described later, during inspection of the device 100, the range of the contact portion in the second contact area 112 that comes into contact with the electrode pad 201 changes due to a change in the position of the first contact area 111 in the Z direction.
 第1弾性部31は、コンタクトピン10の先端部11の下方向において、本体部12の第1端部121に設けられた凹部と筐体20の間に配置されている。第2弾性部32は、第2接触領域112の上方向において、本体部12の第2端部122と筐体20の間に配置されている。第2弾性部32は、第2端部122に近接して設けられ且つ開口部が上方向を向いた凹部の内部に配置されている。 The first elastic portion 31 is disposed below the tip 11 of the contact pin 10, between the housing 20 and a recess provided in the first end 121 of the main body 12. The second elastic portion 32 is disposed above the second contact region 112, between the housing 20 and the second end 122 of the main body 12. The second elastic portion 32 is disposed inside a recess provided close to the second end 122 and with an opening facing upward.
 第2弾性部32が配置された本体部12の凹部に対向するコンタクトピン10の外側の湾曲形状の部分(以下、「湾曲部分」と称する。)に、第2接触領域112が設けられている。即ち、湾曲部分の外縁の弧状領域の一部が、電極パッド201と接触する第2接触領域112の接触部分である。 The second contact region 112 is provided on the outer curved portion (hereinafter referred to as the "curved portion") of the contact pin 10 that faces the recess of the main body portion 12 in which the second elastic portion 32 is disposed. That is, part of the arc-shaped region on the outer edge of the curved portion is the contact portion of the second contact region 112 that comes into contact with the electrode pad 201.
 弾性部30は、軸方向がY方向に延伸する円筒形状である。即ち、弾性部30の軸方向は、コンタクトピン10の第1接触領域111の変位するZ方向に垂直、且つ、コンタクトピン10の本体部12の延伸するX方向に垂直である。弾性部30は、コンタクトピン10の表面と筐体20の内壁に挟まれた状態で筐体20の内部に保持される。 The elastic portion 30 has a cylindrical shape with an axial direction extending in the Y direction. That is, the axial direction of the elastic portion 30 is perpendicular to the Z direction in which the first contact region 111 of the contact pin 10 is displaced, and perpendicular to the X direction in which the body portion 12 of the contact pin 10 extends. The elastic portion 30 is held inside the housing 20 in a state sandwiched between the surface of the contact pin 10 and the inner wall of the housing 20.
 デバイス100の検査時には、デバイス100をZ方向に沿って電気的接続装置1に対して相対的に移動させ、コンタクトピン10の第1接触領域111をデバイス100の電極端子101に押し当てる。以下において、コンタクトピン10と電極端子101が接触した状態を「接触状態」とも称する。一方、コンタクトピン10と電極端子101が接触していない状態を「非接触状態」とも称する。非接触状態から接触状態への変化において、第1接触領域111と電極端子101の間で第1接触領域111に加わる押力に起因して、コンタクトピン10の第1接触領域111の位置がZ方向に変位する。第1接触領域111の位置の変化に応じて、第2接触領域112が電極パッド201の表面に接触した状態で、コンタクトピン10は筐体20の内部で姿勢を変化させる。 When inspecting the device 100, the device 100 is moved relative to the electrical connection device 1 along the Z direction, and the first contact area 111 of the contact pin 10 is pressed against the electrode terminal 101 of the device 100. Hereinafter, the state in which the contact pin 10 and the electrode terminal 101 are in contact is also referred to as the "contact state". On the other hand, the state in which the contact pin 10 and the electrode terminal 101 are not in contact is also referred to as the "non-contact state". When changing from the non-contact state to the contact state, the position of the first contact area 111 of the contact pin 10 is displaced in the Z direction due to the pressing force applied to the first contact area 111 between the first contact area 111 and the electrode terminal 101. In response to the change in the position of the first contact area 111, the contact pin 10 changes its posture inside the housing 20 with the second contact area 112 in contact with the surface of the electrode pad 201.
 具体的には、第1接触領域111に加わる押圧に起因するコンタクトピン10の第1端部121の下方向への変位に対応して、第2接触領域112が電極パッド201に接触した状態を維持しながら、コンタクトピン10の第2端部122が上方向に変位する。コンタクトピン10の姿勢の変化に伴い、第2接触領域112における電極パッド201に接触する接触部分の範囲が変化する。具体的には、接触状態では、第2接触領域112における接触部分が、非接触状態のときよりも第1端部121に近い領域になる。このように、コンタクトピン10の姿勢の変化に応じて接触部分の範囲が湾曲部分の外縁に沿って変化するため、接触状態と非接触状態とで接触部分の範囲が異なる。第2接触領域112の接触部分が湾曲部分の弧状領域に含まれるため、電極パッド201と接触する第2接触領域112の範囲は、コンタクトピン10の姿勢の変化に応じて滑らかに変化する。このため、コンタクトピン10の姿勢が変化しても、第2接触領域112および電極パッド201の損傷を抑制することができる。 Specifically, in response to the downward displacement of the first end 121 of the contact pin 10 caused by the pressure applied to the first contact region 111, the second end 122 of the contact pin 10 is displaced upward while the second contact region 112 maintains contact with the electrode pad 201. As the attitude of the contact pin 10 changes, the range of the contact portion of the second contact region 112 that contacts the electrode pad 201 changes. Specifically, in the contact state, the contact portion of the second contact region 112 is closer to the first end 121 than in the non-contact state. In this way, the range of the contact portion changes along the outer edge of the curved portion in response to the change in the attitude of the contact pin 10, so the range of the contact portion differs between the contact state and the non-contact state. Since the contact portion of the second contact region 112 is included in the arc-shaped region of the curved portion, the range of the second contact region 112 that contacts the electrode pad 201 changes smoothly in response to the change in the attitude of the contact pin 10. Therefore, even if the position of the contact pin 10 changes, damage to the second contact area 112 and the electrode pad 201 can be suppressed.
 非接触状態から接触状態におけるコンタクトピン10の筐体20の内部での姿勢の変化に対応して、弾性部30は、コンタクトピン10と筐体20に挟まれて圧縮される。つまり、接触状態において弾性部30は弾性変形している。即ち、第1弾性部31は、コンタクトピン10の第1端部121および先端部11と筐体20との間で圧縮される。第2弾性部32は、コンタクトピン10の第2端部122と筐体20との間で圧縮される。弾性変形した弾性部30は、コンタクトピン10の姿勢を非接触状態の姿勢に戻す方向にコンタクトピン10を付勢する。言い換えると、弾性部30は、第1接触領域111を電極端子101に押し付けるようにコンタクトピン10を付勢する。 In response to the change in the attitude of the contact pin 10 inside the housing 20 from the non-contact state to the contact state, the elastic portion 30 is compressed between the contact pin 10 and the housing 20. That is, in the contact state, the elastic portion 30 is elastically deformed. That is, the first elastic portion 31 is compressed between the first end 121 and tip portion 11 of the contact pin 10 and the housing 20. The second elastic portion 32 is compressed between the second end 122 of the contact pin 10 and the housing 20. The elastically deformed elastic portion 30 urges the contact pin 10 in a direction that returns the attitude of the contact pin 10 to the attitude of the non-contact state. In other words, the elastic portion 30 urges the contact pin 10 so as to press the first contact region 111 against the electrode terminal 101.
 デバイス100を検査している間は、弾性部30の弾性力により電極端子101に第1接触領域111が当接し、且つ電極パッド201に第2接触領域112が当接した状態が維持される。これにより、デバイス100の検査時において、コンタクトピン10を介してデバイス100の電極端子101と基板200の電極パッド201との電気的な接続が確保される。 While the device 100 is being inspected, the elastic force of the elastic portion 30 keeps the first contact area 111 in contact with the electrode terminal 101, and the second contact area 112 in contact with the electrode pad 201. This ensures electrical connection between the electrode terminal 101 of the device 100 and the electrode pad 201 of the substrate 200 via the contact pin 10 when inspecting the device 100.
 上記のように、デバイス100の検査時においては、コンタクトピン10の姿勢が変化することにより、コンタクトピン10と筐体20の間に挟まれた弾性部30が弾性変形する。そして、弾性部30が、第1接触領域111が所定の押圧でデバイス100の電極端子101に接触するように、コンタクトピン10を付勢する。即ち、電極端子101に第1接触領域111を押し付けたときの第1接触領域111の変位を打ち消す方向に、弾性部30がコンタクトピン10を付勢する。第1接触領域111が電極端子101と接触してデバイス100の検査をしている間、弾性部30は圧縮変形した状態である。 As described above, when inspecting the device 100, the posture of the contact pin 10 changes, causing the elastic portion 30 sandwiched between the contact pin 10 and the housing 20 to elastically deform. The elastic portion 30 then urges the contact pin 10 so that the first contact area 111 comes into contact with the electrode terminal 101 of the device 100 with a predetermined pressure. In other words, the elastic portion 30 urges the contact pin 10 in a direction that counteracts the displacement of the first contact area 111 when the first contact area 111 is pressed against the electrode terminal 101. While the first contact area 111 is in contact with the electrode terminal 101 and inspecting the device 100, the elastic portion 30 is in a compressed and deformed state.
 デバイス100の検査が終了した後は、デバイス100と電気的接続装置1の間隔を広げるように電気的接続装置1に対するデバイス100のZ方向の相対的な位置を変化させる。デバイス100の電極端子101とコンタクトピン10の第1接触領域111とを離隔することにより、第1接触領域111に加わる押力がなくなる。その結果、弾性部30の形状が非接触状態に戻ると共に、弾性部30の弾性力によりコンタクトピン10の姿勢が非接触状態に戻る。 After the inspection of the device 100 is completed, the relative position of the device 100 in the Z direction with respect to the electrical connection device 1 is changed so as to increase the distance between the device 100 and the electrical connection device 1. By separating the electrode terminal 101 of the device 100 and the first contact area 111 of the contact pin 10, the pressing force applied to the first contact area 111 is eliminated. As a result, the shape of the elastic portion 30 returns to a non-contact state, and the posture of the contact pin 10 returns to a non-contact state due to the elastic force of the elastic portion 30.
 弾性部30の材料には、例えばエラストマーなどの絶縁材料を使用してもよい。例えば、シリコーンゴムやウレタンゴムなどの樹脂材料を弾性部30に使用してもよい。また、弾性部30を、中空構造を有する円筒形状にしてもよい。弾性部30を円筒形状にすることにより、接触荷重および電極端子101との接触により第1接触領域111の変位する量(以下、「ストローク」とも称する。)の大きさを制御しやすい。つまり、円筒形状の弾性部30の厚みを厚くすることにより、接触荷重を大きくしたり、ストロークを小さくしたりできる。一方、円筒形状の弾性部30の厚みを薄くすることにより、接触荷重を小さくしたり、ストロークを大きくしたりできる。 The elastic portion 30 may be made of an insulating material such as an elastomer. For example, a resin material such as silicone rubber or urethane rubber may be used for the elastic portion 30. The elastic portion 30 may also be cylindrical with a hollow structure. By making the elastic portion 30 cylindrical, it is easier to control the amount of displacement of the first contact region 111 due to the contact load and the contact with the electrode terminal 101 (hereinafter also referred to as the "stroke"). In other words, by increasing the thickness of the cylindrical elastic portion 30, the contact load can be increased and the stroke can be decreased. On the other hand, by decreasing the thickness of the cylindrical elastic portion 30, the contact load can be decreased and the stroke can be increased.
 筐体20の材料には、絶縁材料が使用される。例えば、絶縁性セラミック材などが筐体20の材料に好適に使用される。 An insulating material is used for the housing 20. For example, insulating ceramic material is preferably used for the housing 20.
 上記のように、電気的接続装置1は、電極端子101と電極パッド201に同時に接触するコンタクトピン10と、先端部11を電極端子101に押し当てるようにコンタクトピン10に付勢する弾性部30を含む。弾性部30の弾性力を調整することにより、コンタクトピン10と電極端子101が接触する際にコンタクトピン10に加わる接触荷重が制御される。即ち、弾性部30の弾性力を強くすることにより接触荷重は増大し、弾性部30の弾性力を弱くすることにより接触荷重は減少する。また、電気的接続装置1では、ストロークが弾性部30の弾性力により制御される。つまり、弾性部30の弾性力を強くすることによりストロークは減少し、弾性部30の弾性力を弱くすることによりストロークは増大する。 As described above, the electrical connection device 1 includes the contact pin 10 that simultaneously contacts the electrode terminal 101 and the electrode pad 201, and the elastic portion 30 that biases the contact pin 10 so as to press the tip portion 11 against the electrode terminal 101. By adjusting the elastic force of the elastic portion 30, the contact load applied to the contact pin 10 when the contact pin 10 and the electrode terminal 101 come into contact is controlled. That is, by increasing the elastic force of the elastic portion 30, the contact load increases, and by decreasing the elastic force of the elastic portion 30, the contact load decreases. Furthermore, in the electrical connection device 1, the stroke is controlled by the elastic force of the elastic portion 30. That is, by increasing the elastic force of the elastic portion 30, the stroke decreases, and by decreasing the elastic force of the elastic portion 30, the stroke increases.
 電気的接続装置1にコンタクトピン10を使用することにより、デバイス100の検査時に、第1接触領域111に印加される押力に起因するコンタクトピン10の破損を抑制し、且つ、電極端子101の狭小化に対応できる。更に、デバイス100の検査時におけるコンタクトピン10を流れる電流の許容値を高くしたり、コンタクトピン10のインダクタンスを下げたりできる。その結果、デバイス100について種々の電気特性を高精度で実行できる。 By using the contact pin 10 in the electrical connection device 1, damage to the contact pin 10 caused by the pressure applied to the first contact area 111 during inspection of the device 100 can be suppressed, and the electrode terminal 101 can be made smaller. Furthermore, the allowable value of the current flowing through the contact pin 10 during inspection of the device 100 can be increased, and the inductance of the contact pin 10 can be reduced. As a result, various electrical characteristics of the device 100 can be measured with high precision.
 また、図9に示すように、コンタクトピン10が第1弾性部31と筐体20に挟持された状態で、先端部11の接続部134cが、筐体20の第1面21の開口部に接続する内壁と当接する。このため、コンタクトピン10は筐体20から外れ難くなっている。更に、先端部11が筐体20の内壁に押し付けられるため、コンタクトピン10の第1接触領域111の位置精度が向上する。 Also, as shown in FIG. 9, when the contact pin 10 is sandwiched between the first elastic portion 31 and the housing 20, the connection portion 134c of the tip portion 11 abuts against the inner wall that connects to the opening of the first surface 21 of the housing 20. This makes it difficult for the contact pin 10 to come off the housing 20. Furthermore, because the tip portion 11 is pressed against the inner wall of the housing 20, the positional accuracy of the first contact region 111 of the contact pin 10 is improved.
 図9では電気的接続装置1のコンタクトピン10を1つだけ表示したが、電気的接続装置1が複数のコンタクトピン10を含んでもよい。例えば、図10に示すように、電気的接続装置1が、Y方向に沿って複数のコンタクトピン10を配列させた構成であってもよい。弾性部30は、複数のコンタクトピン10のそれぞれと当接してY方向に延伸する。図10に示した電気的接続装置1は、例えば、複数の電極端子101がY方向に配列されたデバイス100の検査などに好適に使用される。 Although FIG. 9 shows only one contact pin 10 of the electrical connection device 1, the electrical connection device 1 may include multiple contact pins 10. For example, as shown in FIG. 10, the electrical connection device 1 may have a configuration in which multiple contact pins 10 are arranged along the Y direction. The elastic portion 30 abuts against each of the multiple contact pins 10 and extends in the Y direction. The electrical connection device 1 shown in FIG. 10 is suitable for use, for example, in inspecting a device 100 in which multiple electrode terminals 101 are arranged in the Y direction.
 (第2の実施形態)
 第2の実施形態に係るコンタクトピン10は、図11に破線Sで囲んで示した本体部12の第2接触領域112を含む領域がテーパー形状を含むことが、図1に示す第1の実施形態に係るコンタクトピン10と異なる点である。即ち、図12に示すように、第2方向D2から見て第2接触領域112に接続する本体部12の側面が、第2接触領域112に対して斜めに交差する直線状の領域を含む。その他の構成については、第2の実施形態に係るコンタクトピン10は、第1の実施形態と同様である。
Second Embodiment
The contact pin 10 according to the second embodiment differs from the contact pin 10 according to the first embodiment shown in Fig. 1 in that a region including the second contact region 112 of the body portion 12, which is shown surrounded by a dashed line S in Fig. 11, includes a tapered shape. That is, as shown in Fig. 12, the side surface of the body portion 12 that connects to the second contact region 112 when viewed from the second direction D2 includes a linear region that diagonally intersects with the second contact region 112. In other respects, the contact pin 10 according to the second embodiment is similar to the first embodiment.
 図11および図12に示すコンタクトピン10は、本体部12の第2接触領域112を含む領域の第3方向D3に垂直な断面が、第2接触領域112に向かって次第に狭くなるテーパー形状の領域を含む。第2の実施形態に係るコンタクトピン10によれば、第2接触領域112の幅を狭くし、且つ、第2接触領域112に加わる押力に対してコンタクトピン10の強度を高めることができる。第2接触領域112の幅を狭くすることにより、例えば、電極パッド201からコンタクトピン10がはみ出すことを抑制できる。 The contact pin 10 shown in Figures 11 and 12 includes a tapered region in which a cross section perpendicular to the third direction D3 of the region including the second contact region 112 of the main body portion 12 gradually narrows toward the second contact region 112. According to the contact pin 10 of the second embodiment, the width of the second contact region 112 can be narrowed and the strength of the contact pin 10 can be increased against a pressing force applied to the second contact region 112. By narrowing the width of the second contact region 112, for example, it is possible to prevent the contact pin 10 from protruding from the electrode pad 201.
 他は、第2の実施形態に係るコンタクトピン10は第1の実施形態に係るコンタクトピン10と実質的に同様であり、重複した記載を省略する。例えば、第2接触領域112を頂面として、図2、図5から図7を参照してそれぞれ説明した種々のテーパー形状を採用できる。或いは、図13に示すように、第2方向D2から見た第2接触領域112に接続する側面のうち片側の側面のみが、第2接触領域112に対して斜めに交差するようにしてもよい。 Otherwise, the contact pin 10 according to the second embodiment is substantially similar to the contact pin 10 according to the first embodiment, and duplicated description will be omitted. For example, the second contact region 112 can be used as the top surface, and various tapered shapes described with reference to Figures 2, 5 to 7 can be adopted. Alternatively, as shown in Figure 13, only one of the side surfaces connected to the second contact region 112 when viewed from the second direction D2 may be arranged to intersect the second contact region 112 at an angle.
 また、第2の実施形態に係るコンタクトピン10を、図9を参照して説明した電気的接続装置1に使用してもよい。これにより、デバイス100の検査時に、コンタクトピン10の第2接触領域112が電極パッド201からはみ出したり、隣接する電極パッド201に接触したりすることを抑制できる。つまり、第2の実施形態に係るコンタクトピン10によれば、電極端子101および電極パッド201の狭小化に対応した電気的接続装置1を実現できる。 The contact pin 10 according to the second embodiment may also be used in the electrical connection device 1 described with reference to FIG. 9. This makes it possible to prevent the second contact region 112 of the contact pin 10 from protruding from the electrode pad 201 or coming into contact with an adjacent electrode pad 201 during testing of the device 100. In other words, the contact pin 10 according to the second embodiment makes it possible to realize an electrical connection device 1 that is compatible with the narrowing of the electrode terminal 101 and the electrode pad 201.
 (その他の実施形態)
 上記のように本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述および図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例および運用技術が明らかとなろう。本発明はここでは記載していない様々な実施形態などを含むことはもちろんである。
Other Embodiments
Although the present invention has been described above by way of the embodiment, the description and drawings forming part of this disclosure should not be understood as limiting the present invention. From this disclosure, various alternative embodiments, examples and operating techniques will become apparent to those skilled in the art. It goes without saying that the present invention includes various embodiments not described herein.
 1…電気的接続装置
 10…コンタクトピン
 11…先端部
 12…本体部
 20…筐体
 21…第1面
 22…第2面
 30…弾性部
 31…第1弾性部
 32…第2弾性部
 100…デバイス
 101…電極端子
 111…第1接触領域
 112…第2接触領域
 113…基端領域
 121…第1端部
 122…第2端部
 131…第1外縁側面
 132…第2外縁側面
 133…正側面
 134…裏側面
 200…基板
 201…電極パッド
REFERENCE SIGNS LIST 1...Electrical connection device 10...Contact pin 11...Tip portion 12...Main body portion 20...Housing 21...First surface 22...Second surface 30...Elastic portion 31...First elastic portion 32...Second elastic portion 100...Device 101...Electrode terminal 111...First contact region 112...Second contact region 113...Base end region 121...First end portion 122...Second end portion 131...First outer edge side 132...Second outer edge side 133...Front side 134...Rear side 200...Substrate 201...Electrode pad

Claims (11)

  1.  検査対象物の電気特性の検査に使用されるコンタクトピンであって、
     第1方向に向いた第1接触領域、前記第1接触領域に対向する基端領域、および前記第1接触領域と前記基端領域とを接続する複数の側面を有する先端部と、
     前記先端部と連結する第1端部を有して前記第1方向と交差する第2方向に延伸し、前記第1端部から前記第2方向に離隔した領域に第2接触領域を有する本体部と
     を備え、
     前記複数の側面のうち、前記第2方向から見て前記先端部の外縁を形成する外縁側面が、前記第1接触領域に対して斜めに交差する直線状の斜向領域を含む、
     コンタクトピン。
    A contact pin used for testing electrical characteristics of an object to be tested,
    a distal end portion having a first contact region facing a first direction, a base end region facing the first contact region, and a plurality of side surfaces connecting the first contact region and the base end region;
    a main body portion having a first end portion connected to the tip portion, extending in a second direction intersecting the first direction, and having a second contact region in a region spaced apart from the first end portion in the second direction;
    Among the plurality of side surfaces, an outer edge side surface that forms an outer edge of the tip portion when viewed from the second direction includes a linear oblique region that obliquely intersects with the first contact region.
    Contact pin.
  2.  前記先端部が、前記第1方向に垂直な断面が前記第1接触領域から前記基端領域に向かって次第に大きくなるテーパー形状の領域を含む、請求項1に記載のコンタクトピン。 The contact pin according to claim 1, wherein the tip portion includes a tapered region in which a cross section perpendicular to the first direction gradually becomes larger from the first contact region toward the base end region.
  3.  前記斜向領域が、前記第1接触領域から前記基端領域まで直線的に連続している、請求項1に記載のコンタクトピン。 The contact pin of claim 1, wherein the inclined region is continuous in a straight line from the first contact region to the base end region.
  4.  前記外縁側面が、前記第1接触領域となす角が相互に異なる複数の前記斜向領域を含む、請求項1に記載のコンタクトピン。 The contact pin according to claim 1, wherein the outer edge side includes a plurality of the oblique regions that form different angles with the first contact region.
  5.  前記外縁側面が、
     前記第1接触領域と接続する前記斜向領域と、
     前記斜向領域と前記基端領域とを接続する、前記第1接触領域に垂直な直線領域と
     を含む、請求項1に記載のコンタクトピン。
    The outer edge side surface is
    the oblique region connecting with the first contact region;
    The contact pin of claim 1 , further comprising: a straight region perpendicular to the first contact region, the straight region connecting the oblique region and the base region.
  6.  前記外縁側面が、
     前記基端領域と接続する前記斜向領域と、
     前記斜向領域と前記第1接触領域とを接続する、前記第1接触領域に垂直な直線領域と
     を含む、請求項1に記載のコンタクトピン。
    The outer edge side surface is
    the beveled region connected to the base region;
    The contact pin according to claim 1 , further comprising: a straight region perpendicular to the first contact region, the straight region connecting the oblique region and the first contact region.
  7.  2つの前記外縁側面の両方が前記斜向領域を含む、請求項1に記載のコンタクトピン。 The contact pin of claim 1, wherein both of the two outer edge sides include the beveled region.
  8.  2つの前記外縁側面のうち、一方の前記外縁側面が前記斜向領域を含み、他方の前記外縁側面が前記斜向領域を含まない、請求項1に記載のコンタクトピン。 The contact pin according to claim 1, wherein one of the two outer edge side surfaces includes the inclined region and the other outer edge side surface does not include the inclined region.
  9.  前記第2方向から見て前記第2接触領域に接続する前記本体部の側面が、前記第2接触領域に対して斜めに交差する直線状の領域を含み、
     前記本体部が、前記第2接触領域に向かって断面が次第に狭くなるテーパー形状の領域を含む、
     請求項1に記載のコンタクトピン。
    a side surface of the main body portion connected to the second contact area when viewed from the second direction includes a linear area that obliquely intersects with the second contact area,
    the body portion includes a tapered region that narrows in cross section toward the second contact region;
    The contact pin according to claim 1 .
  10.  検査対象物の電極端子と検査装置に接続された電極パッドとを電気的に接続する電気的接続装置であって、
     第1面および前記第1面に対向する第2面を有する筐体と、
     請求項1乃至9のいずれか1項に記載のコンタクトピンであって、前記第1面に前記第1接触領域が露出し、前記第2面に前記第2接触領域が露出するように前記本体部が前記筐体に支持され、前記電極端子と接触する前記第1接触領域の前記第1方向に沿った変位に対応して前記第2接触領域における前記電極パッドと接触する接触部分の範囲が変化するように、前記筐体の内部で姿勢が変化する前記コンタクトピンと、
     前記コンタクトピンおよび前記筐体に当接して前記筐体の内部に配置され、前記筐体の内部での前記コンタクトピンの前記姿勢の変化に対応して弾性変形して、前記先端部の前記変位を打ち消す方向に前記コンタクトピンを付勢する弾性部と
     を備える電気的接続装置。
    An electrical connection device that electrically connects an electrode terminal of an object to be inspected and an electrode pad connected to an inspection device,
    a housing having a first surface and a second surface opposite to the first surface;
    10. The contact pin according to claim 1, wherein the main body is supported by the housing such that the first contact region is exposed on the first surface and the second contact region is exposed on the second surface, and the contact pin changes its posture inside the housing such that a range of a contact portion of the second contact region that contacts the electrode pad changes in response to a displacement along the first direction of the first contact region that contacts the electrode terminal;
    an elastic portion that is disposed inside the housing in contact with the contact pin and the housing, and that elastically deforms in response to a change in the attitude of the contact pin inside the housing, thereby urging the contact pin in a direction that counteracts the displacement of the tip portion.
  11.  前記複数の側面のうち、前記コンタクトピンの前記第2方向を向いた側面が、
     前記第1接触領域と鈍角をなして接続する傾斜部と、
     前記傾斜部に連結して前記第2方向に延伸する平面部と、
     前記平面部と前記筐体を接続する接続部と
     を含み、
     前記接続部が前記筐体に当接する、
     請求項10に記載の電気的接続装置。
    Among the plurality of side surfaces, a side surface facing the second direction of the contact pin is
    a sloped portion that connects to the first contact area at an obtuse angle;
    a planar portion connected to the inclined portion and extending in the second direction;
    a connection portion that connects the planar portion and the housing,
    The connection portion abuts against the housing.
    The electrical connection device according to claim 10.
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