WO2024071301A1

WO2024071301A1 - マイクロ流路、及び測定装置

Info

Publication number: WO2024071301A1
Application number: PCT/JP2023/035407
Authority: WO
Inventors: 踊子河村
Original assignee: シンクサイト株式会社
Priority date: 2022-09-29
Filing date: 2023-09-28
Publication date: 2024-04-04

Abstract

マイクロ流路は、測定サンプルを含むサンプル流が流れるサンプル流路において、上流の流路よりも流路内の天井高が高い高天井部と、高天井部の下流に配置され、高天井部よりも流路内の天井高が低い低天井部と、を有する高さ方向整流部と、高さ方向整流部の下流に配置され、低天井部よりも流路内の天井高が高く、流路の両側面方向から第１シース液が流入する第１シース液流入部を有する幅方向整流部と、を備える。

Description

マイクロ流路、及び測定装置

　本発明は、マイクロ流路、及び測定装置に関する。
　本願は、２０２２年９月２９日に出願された米国仮出願第６３／４１１，１１９に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。

　フローサイトメトリー法は、細胞、または微小粒子などの測定サンプルを高効率で分析するための光学的分析方法である。フローサイトメトリー法では、流体中に懸濁させた微小粒子についてレーザー光を利用して計数、選別、および特性解析が行われる。

　フローサイトメトリー法により測定サンプルの測定を行う技術として、フローサイトメータが知られている。フローサイトメータでは、流体中に懸濁させた測定サンプルにレーザー光を照射し、測定サンプルから発生する散乱光、または蛍光を測光する。これによって、測定サンプルに関する光学的情報から測定サンプルの特性解析、及び選別などが行われる。

　フローサイトメータにおいて精度の高い計測を行うためには、流動する流体中に懸濁した測定サンプルを適度な間隔で一列にしてレーザー光が照射される領域を通過させることが必要になる。そのために用いられる技術として、流路内を測定サンプルが通過する流線を流体力学的に絞り込むハイドロフォーカシング技術（ハイドロダイナミックフォーカシング）が知られている。ハイドロフォーカシング技術では、測定サンプルを含むサンプル流を包み込むようにシース液をサンプル流の外側に配置する。サンプル流の外側に配置されたシース液によって、測定サンプルは流路の中心部に一列に配置される。サンプル流は、外側をシース液の流れに囲まれ流路を移動することで、コアストリームを形成しシース液の中心に維持される。

　ハイドロフォーカシング技術として、例えば、サンプル流を流路の底面にフォーカスさせる流路の構造が知られている。この流路の構造では、流路の両側面から流入するシース液によって、サンプル流を流路の中央に寄せる。さらにこの流路の構造では、シース液の流入路の高さがサンプル流の流れる流路の高さより高いため、測定サンプルが流路の底面に押し付けられ整流が得られる。

　一方、サンプル流を流路の天井にフォーカスさせる流路を用いたマイクロ流体デバイスが知られている（非特許文献１）。当該マイクロ流体デバイスでは、流路の両側面からシース液が流入するようにシース液の流路が配置される。さらに当該マイクロ流体デバイスでは、シース液の流入路の深さが測定サンプル流の流れる流路の深さより深いため、流路の天井部に測定サンプルが押し付けられ整流が得られる。

　また、サンプル流を流路の高さ方向、及び幅方向それぞれについて整流するマイクロ流体デバイスが知られている（非特許文献２）。当該マイクロ流体デバイスでは、流路の側面にシース液が流入する流入口が流路方向に２か所に設けられている。当該マイクロ流体デバイスでは、シース液が流入する度に流路の深さが深くなる。

「Ｍｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ」、２０１２年５月１６日、１８巻、ｐ．１９９１－２００１「Ｌａｂ　ｏｎ　ａ　Ｃｈｉｐ」、２０１６年９月２０日、１６巻、ｐ．４１３３－４１４１

　上述したようなサンプル流を流路の底面にフォーカスさせる流路、または非特許文献１に記載のマイクロ流体デバイスでは、硬い粒子（ポリスチレンビーズなど）、または接着系細胞が流路壁に付着することで流路を詰まらせる可能性がある。当該流路、または非特許文献１に記載のマイクロ流体デバイスでは、細胞のサイズのばらつきに依存した細胞の流速の細胞間ばらつきが大きく、流速を上げた場合に、フォーカス部の下流で行うソーティングにおいてソーティング性能が低下する可能性がある。

　一方、非特許文献２に記載のマイクロ流体デバイスでは、シース液が流入する度に流路の深さが深くなるため、流路のサイズが大きくなってしまう。流路のサイズが大きくなると、フォーカス性能が維持できない場合があり、流速を上げることが難しい。

　ハイドロフォーカシング技術において、流路のサイズを大型化させることなく、複数の測定サンプル相互間での測定サンプルの流速のばらつきを小さくすることが求められている。

　本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、ハイドロフォーカシング技術において、流路のサイズを大型化させることなく、複数の測定サンプル相互間での測定サンプルの流速のばらつきを小さくできるマイクロ流路、及び測定装置を提供する。

　本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、本発明の一態様は、測定サンプルを含むサンプル流が流れるサンプル流路において、上流の流路よりも流路内の天井高が高い高天井部と、前記高天井部の下流に配置され、前記高天井部よりも流路内の天井高が低い低天井部と、を有する高さ方向整流部と、前記高さ方向整流部の下流に配置され、前記低天井部よりも流路内の天井高が高く、流路の両側面方向から第１シース液が流入する第１シース液流入部を有する幅方向整流部と、を備えるマイクロ流路である。

　また、本発明の一態様は、上記のマイクロ流路において、前記高さ方向整流部は、前記高天井部の流路の両側面方向から第２シース液が流入する第２シース液流入部を有する。

　また、本発明の一態様は、上記のマイクロ流路において、前記第２シース液を前記高天井部に流入させる第２シース液流入部の流路方向と、前記サンプル流路における前記高天井部の流路方向とが、直交する。

　また、本発明の一態様は、上記のマイクロ流路において、前記第２シース液流入部の前記第２シース液の前記高天井部への流入位置が、前記高天井部の両側面のうち、前記流路の天井面に対向する底面により近い位置に配置される。

　また、本発明の一態様は、上記のマイクロ流路において、前記流入位置が、前記高天井部の両側面のうち、前記高天井部の高さの半分以下の位置に配置される。

　また、本発明の一態様は、上記のマイクロ流路において、前記流入位置が、前記高天井部の両側面のうち、前記高天井部の下流に配置された前記低天井部の高さの半分以下の位置に配置される。

　また、本発明の一態様は、上記のマイクロ流路において、前記流入位置が、前記高天井部の両側面のうち、前記高天井部の下流に配置された前記低天井部から前記サンプル流路の上流側に離れた位置に配置される。

　また、本発明の一態様は、上記のマイクロ流路において、前記高さ方向整流部は、前記高天井部と前記低天井部との組を、前記サンプル流路の流路方向に複数備える。

　また、本発明の一態様は、上記のマイクロ流路において、前記第１シース液を前記幅方向整流部に流入させる第１シース液流入部の流路方向と、前記サンプル流路における前記幅方向整流部の流路方向とのなす角度が、４５度以下である。

　また、本発明の一態様は、上記のマイクロ流路において、前記第１シース液を前記幅方向整流部に流入させる第１シース液流入部の天井高と、前記幅方向整流部の天井高とを一致させて形成されている。

　また、本発明の一態様は、上記のマイクロ流路において、前記低天井部の天井高と、前記高天井部よりも上流の流路の天井高とを一致させて形成されている。

　また、本発明の一態様は、上記のマイクロ流路において、前記幅方向整流部の天井高と、前記高天井部の天井高とを一致させて形成されている。

　また、本発明の一態様は、上記のマイクロ流路において、前記幅方向整流部の上流に接続される前記低天井部の天井高が、前記幅方向整流部の天井高の半分の高さに形成されている。

　また、本発明の一態様は、上記のマイクロ流路において、前記サンプル流路の底面は、前記サンプル流路の流路方向の高さに変化がない。

　また、本発明の一態様は、上記のマイクロ流路と、前記幅方向整流部の下流に、前記測定サンプルを光学的手段で検出する光学的検出部と、を備える測定装置である。

　また、本発明の一態様は、上記の測定装置において、前記光学的検出部の検出結果に基づいて、前記測定サンプルをサンプル毎に単離するソーティング部をさらに備える。

　本発明によれば、ハイドロフォーカシング技術において、流路のサイズを大型化させることなく、複数の測定サンプル相互間での測定サンプルの流速のばらつきを小さくできる。

本発明の実施形態に係るマイクロ流路チップの平面図の一例を示す図である。本発明の実施形態に係るマイクロ流路チップの平面図のうちある領域の拡大図の一例を示す図である。本発明の実施形態に係る細胞情報取得装置の構成の一例を示す図である。本発明の実施形態に係る空間光変調部の一例を示す図である。本発明の実施形態に係るマイクロ流路の構成の一例を示す図である。本発明の実施形態に係るサンプル流の整流の様子の一例を示す図である。本発明の実施形態の変形例に係るマイクロ流路の構成の一例を示す図である。本発明の実施形態の変形例に係るサンプル流の整流の様子の一例を示す図である。本発明の実施例に係る蛍光ビーズについての速度の分布を示すグラフを示す図である。本発明の実施例に係るＲａｊｉ細胞についての速度の分布を示すグラフを示す図である。本発明の実施例に係るＨｅｌａ細胞についての速度の分布を示すグラフを示す図である。本発明の実施例に係るＭＩＡＰａＣａ２細胞についての速度の分布を示すグラフを示す図である。

（実施形態）
（マイクロ流路チップ）
　以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について詳しく説明する。図１は、本実施形態に係るマイクロ流路チップ２０の平面図の一例を示す図である。図２は、図１に示したマイクロ流路チップ２０の平面図のうち領域Ｒ１の拡大図の一例を示す図である。
　本実施形態のマイクロ流路チップ２０は、複数の測定サンプルを含むサンプル流から目的の測定サンプルを分取する機能を有するフローサイトメータである。フローサイトメータとは、測定サンプルが流体と共に流れ得る流路を備えるマイクロ流体装置と、流路に照明光を照射する光源と、流路を流れる測定サンプルに照明光が照射されて測定サンプルから発せられる信号光を検出する光検出器とを少なくとも備える測定機器であり、流路を流体とともに流れる測定サンプルは流路内を移動しながら光学的に測定される。

　測定サンプルとは、例えば、細胞、または、ビーズ等の微小粒子である。本実施形態では、測定サンプルは、一例として、細胞である。目的の測定サンプルである目的細胞は、例えば、サンプル流に含まれる細胞にレーザー光を照射して得られる散乱光や蛍光のデータを元に判別される。目的細胞の判別（分類）には機械学習を用いることができ、その場合、学習用細胞を含有させたサンプル流を用いて事前に測定を行い、得られた教師情報から判別モデルを作成し、その判別モデルを元に目的細胞の判別が行われる。
　マイクロ流路チップ２０は、マイクロ流路１００と、細胞情報取得装置３００（図１において不図示）と、圧電素子（不図示）と、を備えている。なお、マイクロ流路を、フローセルとも記載する。

（マイクロ流路）
　マイクロ流路１００は、一方向に延びる矩形板状の部材である。マイクロ流路１００は、例えばガラスや石英等の透明な硬質材料により形成することができる。マイクロ流路１００を形成する材料として、ＰＤＭＳ（ＰｏｌｙＤｉＭｅｔｈｙｌＳｉｌｏｘａｎｅ）のような柔軟な高分子素材を用いることができる。また、マイクロ流路１００には、それ以外の材料として、熱硬化性のプラスティック、ポリカーボネート、ポリ４フッ化エチレン、および、ＰＭＭＡ（ＰｏｌｙＭｅｔｈｙｌ　ＭｅｔｈＡｃｒｙｌａｔｅ）を代表とするアクリル樹脂のような熱可塑性プラスティック等の「ポリマー」を用いることもできる。マイクロ流路１００は、それらの素材を適宜組み合わせて使用できる。
　マイクロ流路１００は、例えば矩形板状の第１部材と矩形板状の第２部材とを張り合わせて形成されている。
　第１部材は、例えばガラス等の透明な材料によって形成されている。
　第２部材は、例えばＰＤＭＳ（ＰｏｌｙＤｉＭｅｔｈｙｌＳｉｌｏｘａｎｅ）等の透明で柔軟な樹脂材料によって形成されている。第２部材における第１部材側には、サンプル流路１と、サンプル流体供給部２２０と、第１シース流路２１３と、第２シース流路２１２と、第２シース液供給部２１４と、第１シース液供給部２１５と、変流用流体収容部２３０と、分取用流路２１６とが形成されている。サンプル流路１と、サンプル流体供給部２２０と、第１シース流路２１３と、第２シース流路２１２と、第２シース液供給部２１４と、第１シース液供給部２１５と、変流用流体収容部２３０と、分取用流路２１６とは、第１部材によって覆われている。

　サンプル流路１は、マイクロ流路１００の長手方向に延びている。サンプル流路１には、サンプル流がマイクロ流路１００の長手方向に沿って流通する。サンプル流路１の一端部はサンプル流体供給部２２０と連通している。サンプル流路１の他端部は分取用流路２１６と連通している。サンプル流は、サンプル流体供給部２２０から供給されてサンプル流路１の一端部から他端部に向かって流通する。

　ここで図１、及び図２、並びに後述する図３、図４、図５、図６、図７、及び図８には、３次元直交座標系として、ｘｙｚ座標系を示す。本実施形態において、ｙ軸方向は、サンプル流路１の幅方向である。また、ｘ軸方向は、サンプル流路１の長さ方向である。サンプル流路１の長さ方向を、サンプル流路１の流路方向、またはサンプル流の流通方向などとも記載する。ｚ軸方向は、サンプル流路１と直交する方向であって、サンプル流路１の高さ方向である。本実施形態では、サンプル流路１の底面１１は、サンプル流路１の流路方向の高さに変化がない。サンプル流路１内の液体の流れは、ｘ軸方向の＋ｘ方向に測定サンプルＳ１を移動させる。サンプル流路１の幅方向とは、換言すれば、測定サンプルＳ１と共に流れる流体の流線と垂直な方向である。

　サンプル流路１は、流通方向における上流端と、流通方向に沿って延びる絞り流路と、絞り流路の下流端に設けられた合流部と、合流部から流通方向に沿って下流側に延びる整列流路と、整列流路の下流端に設けられたソーティング部２１１と、ソーティング部２１１から流通方向に沿って下流側に延びる排出流路２１７と、を有している。

　上流端には、サンプル流が供給される。
　絞り流路の下流側端部には、絞り部が設けられている。絞り流路において、上流端から絞り部までの区間は流路幅が同じである。絞り部は、下流側に向かうにつれて流路幅が狭くなっている。なお、図１に示す領域Ｒ１は、絞り部、及び合流部の付近の領域である。図２では、領域Ｒ１の拡大図が示されている。
　合流部は、サンプル流路１と第１シース流路２１３、及び第２シース流路２１２とをそれぞれ連通させている。合流部は、サンプル流路１と第１シース流路２１３とを、第１シース液流入路７１、及び第１シース液流入路７２を介して連通させている。合流部は、サンプル流路１と第２シース流路２１２とを、第２シース液流入路６１、及び第２シース液流入路６２を介して連通させている。
　整列流路は、サンプル流内の細胞を流通方向に沿って１列に整列させる。
　ソーティング部２１１は、整列流路で１列に整列された細胞のうち、分取したい目的細胞を分取する。なお、分取することを、ソーティングする、または単離するとも記載する。
　排出流路２１７は、ソーティング部２１１を通過したサンプル流が流通する。排出流路２１７を通過したサンプル流は、排出流路２１７の下流端よりも下流側に配置された試験管（不図示）等に排出される。

　サンプル流体供給部２２０のサンプル流の流通方向の下流端は、サンプル流路１におけるサンプル流の流通方向の上流端に連通している。サンプル流体供給部２２０は、サンプル流路１にサンプル流を供給する。

　第１シース流路２１３は、サンプル流路１に並んで形成されている。第１シース流路２１３は、図１、図２では、２本形成されている。２本の第１シース流路２１３は、サンプル流路１を挟んで対称に形成されている。第１シース流路２１３には、第１シース液が流通する。第１シース液は、整列流路で細胞を１列に整列させて連続的に流通させる。
　第１シース液は、サンプル流の流通方向の上流側から下流側に向かって、サンプル流と同じ方向に第１シース流路２１３を流通する。
　２本の第１シース流路２１３は、第１シース液の流通方向における上流端同士および下流端同士で連通している。
　２本の第１シース流路２１３の下流端は、サンプル流路１の合流部に連通している。
　シース液供給部１３は、図１、図２では、２本の第１シース流路２１３の上流端に設けられている。シース液供給部１３は、２本の第１シース流路２１３の上流端に連通している。シース液供給部１３は、２本の第１シース流路２１３に第１シース液を供給する。

　第２シース流路２１２は、サンプル流路１に並んで形成されている。第２シース流路２１２は、図１、図２では、２本形成されている。２本の第２シース流路２１２は、サンプル流路１を挟んで対称に形成されている。第２シース流路２１２には、第２シース液が流通する。第２シース液は、整列流路で細胞を１列に整列させて連続的に流通させる。
　第２シース液は、サンプル流の流通方向の上流側から下流側に向かって、サンプル流と同じ方向に第２シース流路２１２を流通する。
　２本の第２シース流路２１２は、第２シース液の流通方向における上流端同士および下流端同士で連通している。
　２本の第２シース流路２１２の下流端は、サンプル流路１の合流部に連通している。
　シース液供給部１３は、図１、図２では、２本の第２シース流路２１２の上流端に設けられている。シース液供給部１３は、２本の第２シース流路２１２の上流端に連通している。シース液供給部１３は、２本の第２シース流路２１２に第２シース液を供給する。

　変流用流体収容部２３０は、図１、図２では、サンプル流路１を挟んで一対配置されている。変流用流体収容部２３０は、サンプル流路１を挟んで対称に形成されている。変流用流体収容部２３０は、マイクロ流路１００を構成する第１部材と、マイクロ流路１００を構成する第２部材との間に設けられている。変流用流体収容部２３０は、サンプル流路１のソーティング部２１１に連通している。変流用流体収容部２３０の内部には、変流用流体が収容されている。

　変流用流体収容部２３０は、サンプル流の流通方向に直交する方向に延びている。変流用流体収容部２３０は、サンプル流路１のソーティング部２１１に連通している。
　チャンバー２３１は、変流用流体収容部２３０よりもソーティング部２１１から離間した位置に設けられている。チャンバー２３１は、第２部材を厚さ方向に貫通している。チャンバー２３１は、平面視で円形状に形成されている。一対のチャンバー２３１のうち一方のチャンバー２３１には、圧電素子（不図示）によって蓋をされている。圧電素子の中心は、チャンバー２３１の中心と一致している。一対のチャンバー２３１のうち他方のチャンバー２３１は、例えば透明なガラス板（不図示）によって蓋をされている。一対のチャンバー２３１の両方に圧電素子が設置されていてもよい。

　変流用流体排泄路２３２は、チャンバー２３１から流通方向の上流側に向かって延びている。変流用流体排泄路２３２は、チャンバー２３１とは反対側の端部に変流用流体排泄部（不図示）を有している。変流用流体は、変流用流体収容部２３０に変流用流体を充填する際に、変流用流体排泄部から排泄される。整列流路から供給された変流用流体は、変流用流体収容部２３０を流通してチャンバー２３１を通過し、過剰な変流用流体は、変流用流体排泄路２３２から排泄される。変流用流体は、変流用流体収容部２３０において、圧電素子側からサンプル流路１側に向かって、サンプル流の流通方向に直交するように流通する。変流用流体の流通方向は、サンプル流路１の幅方向（ｙ軸方向）である。

　分取用流路２１６は、変流用流体収容部２３０よりも、サンプル流の流通方向における下流側に配置されている。分取用流路２１６は、サンプル流路１のソーティング部２１１に連通している。分取用流路２１６は、サンプル流路１を挟んで設けられる。分取用流路２１６は、サンプル流路１の排出流路２１７に沿って、流通方向に延びている。分取用流路２１６の下流端よりも下流側には、分取された目的細胞を収集するための試験管（不図示）等が配置されている。

（圧電素子）
　圧電素子は、変流用流体収容部２３０の内部の液圧を変化させ、サンプル流の流通方向と交差する方向（ｙ軸方向）に変流用流体を流通させる。圧電素子は、細胞情報取得装置３００と電気的に接続している。圧電素子には、細胞情報取得装置３００から例えばパルス状に電圧が印加される。圧電素子は、印加された電圧に応じて変形する。変流用流体収容部２３０およびチャンバー２３１内の液圧は、圧電素子の３の変形によって変化する。変流用流体は、圧電素子による変流用流体収容部２３０およびチャンバー２３１内の液圧の変化によって、変流用流体の流通方向に流通される。

（細胞情報取得装置）
　細胞情報取得装置３００は、サンプル流路１の整列流路に接続されている。細胞情報取得装置３００は、例えばレーザー光源や検出器、制御部等を備えている。細胞情報取得装置３００は、サンプル流に含まれる細胞にレーザー光を照射する。細胞情報取得装置３００は、レーザー光の照射によって細胞から生じた散乱光や蛍光を検出器により検出して、例えば、細胞の形態や核、顆粒等の細胞内部構造に関する情報を取得する。細胞情報取得装置３００は、取得した情報に基づき、サンプル流に含まれる複数の細胞から分取したい目的細胞を制御部で判別する。なお、本実施形態に係る細胞情報取得装置３００は、機械学習によって目的の細胞の特徴を学習する機能を有しているものがより望ましいが、これに限られない。細胞情報取得装置３００は、例えば、整列流路を流通する細胞について個別に情報を取得できるものであればよい。このような細胞情報取得装置３００として、ＶｉｓｉｏｎＳｏｒｔ（登録商標）（シンクサイト株式会社製）等を用いることができる。

　ここで図３、及び図４を参照し、細胞情報取得装置３００のより具体的な構成について説明する。図３は、本実施形態に係る細胞情報取得装置３００の構成の一例を示す図である。細胞情報取得装置３００は、光源３０１と、空間光変調部３０２と、光検出用光学系３０３と、光検出器３０４、ＤＡＱ（Ｄａｔａ　Ａｃｑｕｉｓｉｔｉｏｎ）デバイス３０５と、パーソナルコンピュータ（ＰＣ：Ｐｅｒｓｏｎａｌ　Ｃｏｍｐｕｔｅｒ）３０６とを備える。

　マイクロ流路１００には、細胞Ｃが流体と共に流れ得るサンプル流路１を備える。サンプル流路１を流れる流体の流速は、流す細胞Ｃの種類や個体差によらず一定の流速である。また、マイクロ流路１００は、サンプル流路１に複数の細胞を逐次流すが、サンプル流路１の照明光の照射位置を一度に通過する細胞の個数は１個である。

　光源３０１、及び空間光変調部３０２は、構造化照明として機能する。この構造化照明は、以下で説明するようにサンプル流路１に対して構造化照明光ＳＬＥを照射する。
　光源３０１から発せられた照明光ＬＥは、空間光変調部３０２を通じて構造化された構造化照明光ＳＬＥに変換され、サンプル流路１の照射位置に照射される。照明光ＬＥは空間光変調部３０２により光源３０１が発する照明光ＬＥは、コヒーレント光であっても、インコヒーレント光であってもよい。本実施形態では、光源３０１が発する照明光ＬＥは、一例として、コヒーレント光である。

　空間光変調部３０２は、光源３０１と、光検出器３０４との間の光路上に配置される。本実施形態では、空間光変調部３０２は、光源３０１とサンプル流路１との間の光路上に配置される。この配置の構成を、構造化照明の構成とも記載する。光源３０１から照射される照明光ＬＥは空間光変調部３０２によって構造化され、構造化照明光ＳＬＥがサンプル流路１に照射される。ここで構造化照明は、サンプル流路１の照射位置において、構造化照明光ＳＬＥを構造照明パターンＰ１として結像させる。図３では、照射位置に結像する構造照明パターンＰ１が配置される焦点面が焦点面ＦＰ１として示されている。構造照明パターンＰ１は、測定サンプルである細胞Ｃの形態情報を示す光学情報ＩＣを生成するためサンプル流路１に照射されるパターンである。細胞Ｃの形態情報とは、細胞Ｃの形状、形態、または構造のうちいずれか１以上である。

　ここで図４を参照し、空間光変調部３０２について説明する。図４は、本実施形態に係る空間光変調部３０２の一例を示す図である。空間光変調部３０２は、空間光変調器４０と、第１レンズ４１と、空間フィルター４２と、第２レンズ４３と、対物レンズ４４とを備える。空間光変調部３０２において、空間光変調器４０と、第１レンズ４１と、空間フィルター４２と、第２レンズ４３と、対物レンズ４４とは、光源３０１に近い側からこの順に光源３０１と光検出器３０４との間の光路上に配置される。

　空間光変調器４０は、入射光を構造化する。入射光を構造化するとは、入射光の入射面に含まれる複数の領域ごとに入射光の光特性を変化させることである。空間光変調器４０は、照明光ＬＥを構造化し、構造化照明光ＳＬＥに変換する。空間光変調器４０は、入射される光の空間的な分布を変化させ入射光の光特性を変化させる光学素子で、光照射のパターンを制御して光を照射することを可能にする。空間光変調器４０の光が入射する面は、複数の領域を有しており、照明光ＬＥの光特性は通過する複数の領域でそれぞれ個別に変換される。すなわち、空間光変調器４０を透過した光では、入射光の光特性に対して、透過光の光特性が複数の領域で互いに異なるように変化している。入射光の光特性とは、例えば、強度、波長、位相、及び偏光状態のいずれか１つ以上に関する特性である。なお、光特性は、これらに限定されない。空間光変調器４０は、例えば、回折光学素子（ＤＯＥ：Ｄｉｆｆｒａｃｔｉｖｅ　Ｏｐｔｉｃａｌ　Ｅｌｅｍｅｎｔ）、空間光変調器（ＳＬＭ：Ｓｐａｔｉａｌ　Ｌｉｇｈｔ　Ｍｏｄｕｌａｔｏｒ）、デジタルミラーデバイス（ＤＭＤ：Ｄｉｇｉｔａｌ　Ｍｉｃｒｏｍｉｒｒｏｒ　Ｄｅｖｉｃｅ）や、光特性が異なる複数の領域が表面に印刷されるフィルムなどが含まれる。なお、光源３０１が発する照明光ＬＥがインコヒーレント光である場合、空間光変調器４０は、ＤＭＤである。

　本実施形態では、空間光変調器４０は、一例として、形成された微細形状によって光の回折現象を制御する光学素子であるＤＯＥである。ここで光とは、照明光ＬＥである。以下の説明では、空間光変調器４０の光を透過させる領域を透過領域と記載する。

　以下の説明では、サンプル流路１における構造化照明光ＳＬＥが照射される位置のことを、照射位置とも記載する。本実施形態では、照射位置は、空間光変調器４０の透過領域に対応する。この空間光変調器４０の透過領域の形状及び大きさは、空間光変調器４０が有する透過領域について共通である。透過領域の形状は、一例として、正方形である。この正方形は、空間光変調器４０が有する透過領域では等しい長さの１辺をもつ。照射位置を通過した細胞Ｃは、構造化照明光ＳＬＥによって蛍光分子が励起されることにより発光する。この発光による蛍光は、サンプル流路１を流れる細胞Ｃに構造化照明光ＳＬＥが照射されて細胞Ｃから発せられる信号光ＬＳの一例である。信号光ＬＳの別の例には、構造化照明光ＳＬＥが細胞Ｃを透過した透過光、構造化照明光ＳＬＥが細胞Ｃによって散乱された散乱光、構造化照明光ＳＬＥと他の光との干渉光が含まれる。

　なお、空間光変調器４０の透過領域の形状及び大きさは、透過領域内で統一されていれば形状は正方形に限らず、大きさも自由に変えられる。透過領域の形状は、例えば他の多角形や円などであってもよい。

　第１レンズ４１は、空間光変調器４０を透過した構造化照明光ＳＬＥを空間フィルター４２に集光する。
　空間フィルター４２は、第１レンズ４１によって集光された構造化照明光ＳＬＥを、空間的に変化する雑音に相当する成分を除去することによって、構造化照明光ＳＬＥの強度分布をガウス分布に近づける。
　第２レンズ４３は、空間フィルター４２によって雑音が除去された構造化照明光ＳＬＥを平行光にする。
　対物レンズ４４は、第２レンズ４３によって平行光にされた構造化照明光ＳＬＥを集光し、サンプル流路１の照射位置に合焦させる。
　なお、対物レンズ４４は、ドライ対物レンズあっても、液浸対物レンズであってもよい。液浸対物レンズとは、油浸レンズや、水浸レンズなどである。

　図３に戻って細胞情報取得装置３００の構成の説明を続ける。
　光検出用光学系３０３は、細胞Ｃからの信号光ＬＳを光検出器３０４に集光させるための光学的な仕組みであり、結像レンズ５０（不図示）を構成に含む。細胞Ｃからの信号光ＬＳは、蛍光や、透過光、散乱光、干渉光である。結像レンズ５０は細胞Ｃからの信号光ＬＳを光検出器３０４の位置に集光する。なお、結像レンズ５０は、細胞Ｃからの信号光ＬＳを光検出器３０４の位置に集光しさえすれば結像させなくてもよいが、信号光ＬＳを光検出器３０４の位置に結像させる位置に配置されるのがより好ましい。また、光検出用光学系３０３は、さらにダイクロイックミラーや波長選択的なフィルターを備えてもよい。

　光検出器３０４は、結像レンズ５０によって集光された信号光ＬＳを検出する。ここで光検出器３０４は、信号光ＬＳを検出して電気信号に変換する。光検出器３０４は、一例として、光電子増倍管（ＰＭＴ：Ｐｈｏｔｏｍｕｌｔｉｐｌｉｅｒ　Ｔｕｂｅ）である。光検出器３０４は、結像レンズ５０によって集光された信号光ＬＳの強度を時系列に検出する。上述したように信号光ＬＳは、サンプル流路１を流れる細胞Ｃに構造化照明光ＳＬＥが照射されて細胞Ｃから発せられる。つまり、光検出器３０４は、サンプル流路１を流れる細胞Ｃに構造化照明光ＳＬＥが照射されて細胞Ｃから発せられる信号光ＬＳの強度を時系列に検出する。光検出器３０４は、単一の受光素子で構成されるシングルセンサーであってもよいし、複数の受光素子で構成されるマルチセンサーであってもよい。

　ＤＡＱデバイス３０５は、光検出器３０４が出力する電気信号パルスを、パルス毎に電子データに変換する。電子データには、時間と、電気信号パルスの強度との組が含まれる。ＤＡＱデバイス３０５は、一例として、オシロスコープである。

　ＰＣ３０６は、ＤＡＱデバイス３０５から出力される電子データに基づいて、細胞Ｃの形態に関する光学情報ＩＣを生成する。光学情報ＩＣは細胞の形態情報を示す光学情報である。ＰＣ３０６は、さらに、生成した光学情報ＩＣを記憶する。

　本実施形態では構造化照明の構成によりサンプル流路１を通過する細胞Ｃが照射され、細胞Ｃからの信号光ＬＳが光検出器３０４により検出される。光学情報ＩＣは、本実施形態では、この細胞Ｃからの信号光ＬＳの強度の時系列変化を波形として示す情報である。この波形と細胞Ｃの形態とは対応しており、光学情報ＩＣは細胞Ｃを識別するために用いることができる。光学情報ＩＣは、例えば機械学習において、細胞Ｃの形態と波形信号との関係を学習するための教師データとして用いられ、得られた推論モデルを用いて推論時に測定した波形信号から細胞Ｃの識別が行われる。

　本実施形態では、構造化照明の構成により光源３０１とマイクロ流路１００との間に設置される空間光変調部３０２により照明光を構造化照明に変換する構造化処理が施されている。構造化照明はマイクロ流路１００に含まれるサンプル流路１に照射され、測定サンプル（細胞Ｃ）が発する信号光ＬＳを光検出器３０４で検出し細胞Ｃを識別する光学情報ＩＣが取得される。前記のように空間光変調部による光の構造化を経て細胞Ｃを識別する光学情報を取得することを、以降の説明では空間光変調部による構造化処理を経て光学情報が取得されるあるいは生成されるとも記載する。本実施形態は、空間光変調部３０２による構造化処理が構造化照明の構成により照明光ＬＥを構造化照明光ＳＬＥに変換する処理として施されている。

　なお、本実施形態では、構造化照明の構成によって光学情報が取得される場合の一例について説明したが、これに限られない。構造化検出の構成によって光学情報が取得されてもよい。構造化検出の構成とは、空間光変調部が流路と光検出器との間の光路上に配置される配置の構成である。構造化検出の構成では、空間光変調部を構成するマスクに配置される光透過領域を介して検出される信号光により測定サンプルの形態情報に関する光学情報を取得することができる。即ち、信号光の構造化処理が構造化検出の構成により施され、細胞情報取得装置３００は構造化処理を経て構造化された信号光を用いて光学情報を取得する。流路と光検出器との間の光路上に配置される空間光変調部により構造化処理を施される信号光を構造化された信号光とも記載する。

　なお、マイクロ流路チップ２０は、測定装置の一部の一例であり、マイクロ流路１００と、光学的検出部と、ソーティング部２１１とを備える。光学的検出部は、後述する幅方向整流部の下流に備えられ、測定サンプルを光学的手段で検出する。光学的検出部は、光源３０１、空間光変調部３０２、光検出用光学系３０３、及び光検出器３０４を含む。ソーティング部２１１は、光学的検出部の検出結果に基づいて、測定サンプルをサンプル毎に単離する。なお、測定装置の構成からソーティング部は省略されてもよい。

　図５は、本実施形態に係るマイクロ流路１００の構成の一例を示す図である。図５（Ａ）は、マイクロ流路１００の側面図である。図５（Ｂ）は、マイクロ流路１００の上面図である。マイクロ流路１００は、測定サンプルを含むサンプル流Ｆ１が流れる流路である。

　マイクロ流路１００は、サンプル流路１と、複数のシース液流入路とから構成される。複数のシース液流入路は、第２シース液流入路６１、第２シース液流入路６２、第１シース液流入路７１、及び第１シース液流入路７２である。

　マイクロ流路１００は、ハイドロフォーカシング技術に基づいてサンプル流Ｆ１を整流する。マイクロ流路１００は、ハイドロフォーカシング技術に基づいてサンプル流Ｆ１をサンプル流路１の中心にフォーカスさせる。マイクロ流路１００は、サンプル流Ｆ１を整流する機能として、高さ方向整流部２と、幅方向整流部３とを備える。

　高さ方向整流部２は、サンプル流路１の高さ方向について整流を行う。高さ方向整流部２は、高天井部４と、低天井部５と、第２シース液流入部６とを有する。高天井部４、及び低天井部５は、サンプル流路１の一部である。

　高天井部４の天井である高天井１３１の高さは、高天井部４の上流の流路の天井である低天井１２１の高さよりも高い。つまり、高天井部４は、上流の流路よりも流路内の天井高が高い。

　低天井部５は、高天井部４の下流に配置される。低天井部５の天井である低天井１２２の高さは、高天井部４の天井である高天井１３１の高さよりも低い。つまり、低天井部５は、高天井部４よりも流路内の天井高が低い。

　第２シース液流入部６は高天井部４の流路の両側面方向から第２シース液ＳＦ２が流入する。第２シース液流入部６は、第２シース液流入路６１と、第２シース液流入路６２とから構成される。第２シース液流入路６１は、サンプル流路１の側面１４１から第２シース液ＳＦ２をサンプル流路１に流入させる。第２シース液流入路６２は、サンプル流路１の側面１４２から第２シース液ＳＦ２をサンプル流路１に流入させる。

　本実施形態では、第２シース液流入路６１の流路方向と、サンプル流路１の流路方向とが、直交する。つまり、第２シース液ＳＦ２を高天井部４に流入させる第２シース液流入部６の流路方向と、サンプル流路１における高天井部４の流路方向とが、直交する。

　第２シース液流入部６の第２シース液ＳＦ２の高天井部４への流入位置は、高天井部４の両側面のうち、サンプル流路１の天井面に対向する底面１１により近い位置に配置される。つまり、第２シース液流入路６１は、高天井部４の両側面のうち底面１１により近い位置に配置される。第２シース液流入路６２は、高天井部４の両側面のうち底面１１により近い位置に配置される。本実施形態では、第２シース液流入路６１の底面の高さは、底面１１の高さと一致している。第２シース液流入路６２の底面の高さは、底面１１の高さと一致している。

　第２シース液流入部６の第２シース液ＳＦ２の高天井部４への流入位置は、高天井部４の両側面において、サンプル流路１の上流側に低天井部５の位置から所定の距離だけ離れている。つまり、第２シース液流入部６の第２シース液ＳＦ２の高天井部４への流入位置は、高天井部４の両側面のうち、低天井部５からサンプル流路１の上流側に離れた位置に配置される。なお、上述したように低天井部５は、高天井部４の下流に配置されている。

　幅方向整流部３は、サンプル流路１の幅方向について整流を行う。幅方向整流部３は、高さ方向整流部２の下流に配置される。幅方向整流部３は、下流側高天井部３１と、第１シース液流入部７とを有する。下流側高天井部３１は、サンプル流路１の一部である。下流側高天井部３１の天井である高天井１３２の高さは、低天井部５の天井である低天井１２２の高さよりも高い。つまり、下流側高天井部３１は、低天井部５よりも流路内の天井高が高い。

　なお、本実施形態では、高天井部と低天井部とはサンプル流路１の長さ方向に垂直な面で連結されているが、これに限らない。高天井部と低天井部とは、サンプル流路１の長さ方向に垂直な面から所定の角度だけ傾いた傾斜面で連結されてもよい。例えば、高天井部４と低天井部５とは、サンプル流路１の長さ方向に垂直な面から所定の角度だけ傾いた傾斜面で連結されてもよい。また、低天井部５と下流側高天井部３１とは、サンプル流路１の長さ方向に垂直な面から所定の角度だけ傾いた傾斜面で連結されてもよい。

　第１シース液流入部７は、流路の両側面方向から第１シース液ＳＦ１が流入する。第１シース液流入部７は、第１シース液流入路７１と、第１シース液流入路７２とから構成される。第１シース液流入路７１は、サンプル流路１の側面１４１から第１シース液ＳＦ１をサンプル流路１に流入させる。第１シース液流入路７２は、サンプル流路１の側面１４２から第１シース液ＳＦ１をサンプル流路１に流入させる。

　第１シース液流入路７１の流路方向とサンプル流路１の流路方向とのなす角度と、第１シース液流入路７２の流路方向とサンプル流路１の流路方向とのなす角度とは等しい。当該角度、４５度である。なお、当該角度は、４５度以下であればよい。したがって、第１シース液ＳＦ１を幅方向整流部３に流入させる第１シース液流入部７の流路方向と、サンプル流路１における幅方向整流部３の流路方向とのなす角度が、４５度以下である。

　本実施形態では、高天井１３１、及び高天井１３２それぞれの高さは、高天井高さ１３と等しい。高天井高さ１３は、底面１１からの所定の高さである。高天井高さ１３は、一例として、６０μｍである。低天井１２１、及び低天井１２２それぞれの高さは、低天井高さ１２と等しい。低天井高さ１２は、底面１１からの所定の高さであって、高天井高さ１３よりも低い高さである。低天井高さ１２は、一例として、３０μｍである。なお、低天井高さ１２、及び高天井高さ１３は一例であって、上記した値に限らない。

　したがって、第１シース液ＳＦ１を幅方向整流部３に流入させる第１シース液流入部７の天井高と、幅方向整流部３の天井高とを一致させて形成されている。つまり、第１シース液流入路７１の天井高と、下流側高天井部３１の天井高（高天井１３２）とは一致している。第１シース液流入路７２の天井高と、下流側高天井部３１の天井高（高天井１３２）とは一致している。
　したがって、第１シース液流入路７１、及び第１シース液流入路７２それぞれの高さは、高天井１３２と同様に、一例として、６０μｍである。なお、第１シース液流入路７１、及び第１シース液流入路７２２それぞれの高さは、上記した値に限らない。また、第１シース流路２１３（図１、及び図２を参照）の部分のうち第１シース液供給部２１５から第１シース液流入路７１、及び第１シース液流入路７２までの部分の高さは、一例として、１４０μｍである。なお、当該部分の高さは、上記した値に限らない。

　また、サンプル流路１では、低天井部５の天井高と、高天井部４よりも上流の流路の天井高とを一致させて形成されている。また、サンプル流路１では、幅方向整流部３の天井高と、高天井部４の天井高とを一致させて形成されている。

　ここで、低天井高さ１２は、高天井高さ１３の半分の高さである。したがって、幅方向整流部３の上流に接続される低天井部５の天井高が、幅方向整流部３の天井高の半分の高さに形成されている。

　第２シース液流入部６の第２シース液ＳＦ２の高天井部４への流入位置が、高天井部４の両側面のうち、高天井部４の高さ（高天井高さ１３）の半分以下の位置に配置される。さらに、第２シース液流入部６の第２シース液ＳＦ２の高天井部４への流入位置が、高天井部４の両側面のうち、高天井部４の下流に配置された低天井部５の高さ（低天井高さ１２）の半分以下の位置に配置される。本実施形態では、第２シース液流入路６１は、低天井高さ１２の半分以下の位置に配置される。第２シース液流入路６２は、低天井高さ１２の半分以下の位置に配置される。第２シース液流入路６１、及び第２シース液流入路６２それぞれの高さは、一例として、１５μｍである。なお、第２シース液流入路６１、及び第２シース液流入路６２それぞれの高さは、上記した値に限らない。また、第２シース流路２１２（図１、及び図２を参照）の部分のうち第２シース液供給部２１４から第２シース液流入路６１、及び第２シース液流入路６２までの部分の高さは、一例として、１４０μｍである。なお、当該部分の高さは、上記した値に限らない。

　次に、サンプル流路１におけるサンプル流Ｆ１の整流について説明する。図６は、本実施形態に係るサンプル流Ｆ１の整流の様子の一例を示す図である。図６（Ａ）は、マイクロ流路１００の側面図である。図６（Ｂ）は、マイクロ流路１００の上面図である。図６（Ｃ）は、マイクロ流路１００の断面図である。図６では、サンプル流Ｆ１の整流の様子を、サンプル流路１の長さ方向について互いに位置が異なる複数の断面毎に説明する。複数の断面とは、断面Ａ１、断面Ｂ１、断面Ｃ１、及び断面Ｄ１である。

　断面Ａ１は、高天井部４の上流の流路の断面である。断面Ａ１において、複数の測定サンプルＳ１は、高さ方向、及び幅方向それぞれについて互いに位置がまだ揃えられていない。

　高天井部４は、流路内の天井高が上流の流路よりも高い。そのため、サンプル流Ｆ１に含まれる複数の測定サンプルＳ１は、高天井部４へと流入すると、高さ方向について高天井部４の上流の流路における高さに比べて高天井１３１の側へと移動する。

　さらに、高天井部４において、サンプル流路１の両側に配置された第２シース液流入路６１、及び第２シース液流入路６２それぞれから第２シース液ＳＦ２がサンプル流路１に流入する。

　第２シース液流入路６１、及び第２シース液流入路６２それぞれから流入した第２シース液ＳＦ２は、サンプル流Ｆ１をサンプル流路１の高さ方向について上向き（＋ｚ方向）に持ち上げる。これによって、第２シース液流入路６１、及び第２シース液流入路６２それぞれから流入した第２シース液ＳＦ２は、サンプル流Ｆ１をサンプル流路１の高さ方向について整流する。高天井部４において流路の高さが高くなることとともに、第２シース液ＳＦ２がサンプル流路１に流入することによって、複数の測定サンプルＳ１のうちほぼ全てが高天井１３１の側へと移動する。

　ここで複数の測定サンプルＳ１を高天井１３１の側へと移動させる効果を高めるためには、第２シース液流入路６１、及び第２シース液流入路６２は、底面１１に沿ったなるべく低い位置に備えられることが好ましい。上述したように、本実施形態では、第２シース液流入路６１の底面の高さは、底面１１の高さと一致しており、第２シース液流入路６１は、低天井高さ１２の半分以下の位置に配置される。また、第２シース液流入路６２の底面の高さは、底面１１の高さと一致しており、第２シース液流入路６２は、低天井高さ１２の半分以下の位置に配置される。

　断面Ｂ１は、高天井部４のうち第２シース液流入部６よりも下流の流路の断面である。断面Ｂ１において、複数の測定サンプルＳ１は、高さ方向について上側の位置に分布している。断面Ｂ１において、複数の測定サンプルＳ１は、高さ方向について低天井高さ１２よりも上側の位置に分布している。なお、断面Ｂ１において、複数の測定サンプルＳ１は、幅方向については互いに位置がまだ揃えられていない。

　サンプル流Ｆ１は、高天井部４において上向きに持ち上げられた後、高天井部４よりも流路内の天井高が低い低天井部５へと流入する。
　断面Ｃ１は、低天井部５の断面である。断面Ｃ１において、複数の測定サンプルＳ１の高さ方向の位置は、低天井部５の低天井１２２の付近の位置に揃っている。つまり、断面Ｃ１において、複数の測定サンプルＳ１の高さ方向の位置は、サンプル流路１の上面に揃えられている。

　複数の測定サンプルＳ１は低天井部５から下流側高天井部３１へと流入する。下流側高天井部３１の高天井１３２の高さは、高天井部４の高天井１３１の高さと等しい高天井高さ１３である。つまり、サンプル流路１の高さは、低天井部５の低天井１２２の高さから下流側高天井部３１の高天井１３２の高さへと再び高くなる。サンプル流路１の高さが高くなることによって、複数の測定サンプルＳ１は、高さ方向についてサンプル流路１の中心にフォーカスされる。

　さらに、下流側高天井部３１において、第１シース液流入路７１、及び第１シース液流入路７２それぞれから第１シース液ＳＦ１がサンプル流路１に流入する。つまり、第１シース液ＳＦ１は、サンプル流路１の両側の側面である側面１４１、及び側面１４２それぞれから流入する。ここで上述したように、第１シース液流入路７１、及び第１シース液流入路７２はそれぞれサンプル流路１の両側に配置される。第２シース液流入路６１の天井高と、下流側高天井部３１の天井高とは一致している。第２シース液流入路６２の天井高と、下流側高天井部３１の天井高とは一致している。

　サンプル流路１の両側の側面それぞれから流入した第１シース液ＳＦ１によって、複数の測定サンプルＳ１はサンプル流路１の幅方向についてほぼ中心の位置に配置される。したがって、第１シース液流入路７１、及び第１シース液流入路７２それぞれから流入した第１シース液ＳＦ１は、サンプル流Ｆ１をサンプル流路１の幅方向について整流する。なお、本実施形態では、サンプル流路１の両側の側面それぞれから流入した第１シース液ＳＦ１は、複数の測定サンプルＳ１のサンプル流路１の高さ方向の位置にあまり影響がないようにしている。

　サンプル流Ｆ１は、下流側高天井部３１よりも上流側において高さ方向整流部２によって、サンプル流路１の高さ方向について既に整流されている。そのため、サンプル流Ｆ１は、サンプル流路１の高さ方向、及び幅方向それぞれについて整流される。

　断面Ｄ１は、下流側高天井部３１のうち第１シース液流入部７よりも下流の流路の断面である。断面Ｄ１において、複数の測定サンプルＳ１は、高さ方向、及び幅方向についてサンプル流路１の中心に位置している。したがって、高さ方向整流部２、及び幅方向整流部３によって、サンプル流Ｆ１のサンプル流路１のほぼ中心の位置へのフォーカスが実行される。

　なお、本実施形態では、高さ方向整流部２が第２シース液流入部６を備える場合の一例について説明したが、これに限られない。高さ方向整流部２は第２シース液流入部６を備えなくてもよい。その場合、高さ方向整流部２は、シース液を流入させることなく、高天井部４と低天井部５とによって、高天井部４においてサンプル流Ｆ１を上向きに持ち上げた後、サンプル流Ｆ１を低天井部５へと流入させ、複数の測定サンプルＳ１の高さ方向の位置を揃える。
　ただし、複数の測定サンプルＳ１をサンプル流路１の天井（高天井１３１）の位置に揃えるためには、高さ方向整流部２が第２シース液流入部６を備えていた方が効果的である。

　なお、本実施形態では、第２シース液ＳＦ２を高天井部４に流入させる第２シース液流入部６の流路方向と、サンプル流路１における高天井部４の流路方向とが、直交する場合の一例について説明したが、これに限られない。第２シース液ＳＦ２を高天井部４に流入させる第２シース液流入部６の流路方向と、サンプル流路１における高天井部４の流路方向とは直交せず、第２シース液流入部６の流路方向と、サンプル流路１における高天井部４の流路方向とのなす角度は、９０度より大きい所定の角度、または９０度より小さい所定の角度であってもよい。

　ただし、第２シース液流入部６は、サンプル流Ｆ１を、サンプル流路１の長さ方向の位置について第２シース液流入路６１及び第２シース液流入路６２が設けられている所定の位置において、サンプル流路１の高さ方向について上向き（＋ｚ方向）に持ち上げるために備えらえている。そのため、当該所定の位置において、サンプル流路１の高さ方向について上向き（＋ｚ方向）に持ち上げるためには、第２シース液ＳＦ２を高天井部４に流入させる第２シース液流入部６の流路方向と、サンプル流路１における高天井部４の流路方向とが、直交していた方が好ましい。

　なお、本実施形態では、第２シース液流入部６の第２シース液ＳＦ２の高天井部４への流入位置は、サンプル流路１の天井面に対向する底面１１により近い位置に配置されている場合の一例について説明したが、これに限られない。第２シース液流入部６の第２シース液ＳＦ２の高天井部４への流入位置は、低天井部５の高さ（低天井高さ１２）の半分より高い位置に配置されてもよい。また、第２シース液流入部６の第２シース液ＳＦ２の高天井部４への流入位置は、高天井部４の高さ（高天井高さ１３）の半分より高い位置に配置されてもよい。また、第２シース液流入部６の第２シース液ＳＦ２の高天井部４への流入位置は、サンプル流路１の天井面に対向する底面１１により近い位置に配置されていなくてもよい。

　例えば、第２シース液流入部６の第２シース液ＳＦ２の高天井部４への流入位置は、サンプル流路１の天井面に対向する底面１１により近い位置に配置された方が、サンプル流Ｆ１をサンプル流路１の高さ方向について上向き（＋ｚ方向）に持ち上げるためには好ましい。

　なお、本実施形態では、第２シース液流入部６の第２シース液ＳＦ２の高天井部４への流入位置が、高天井部４の両側面のうち、高天井部４の下流に配置された低天井部５からサンプル流路１の上流側に離れた位置に配置される場合の一例について説明したが、これに限られない。第２シース液流入部６の第２シース液ＳＦ２の高天井部４への流入位置は、低天井部５からサンプル流路１の上流側に低天井部５から離れていない位置に配置されてもよい。
　例えば、第２シース液流入部６の第２シース液ＳＦ２の高天井部４への流入位置は、サンプル流路１の上流側に低天井部５に近い側に配置されてもよい。例えば、第２シース液流入部６の第２シース液ＳＦ２の高天井部４への流入位置は、サンプル流路１の上流側に低天井部５と隣り合う位置であってもよい。

　ただし、第２シース液流入部６の第２シース液ＳＦ２の高天井部４への流入位置が、高天井部４の両側面のうち、高天井部４の下流に配置された低天井部５からサンプル流路１の上流側に所定の距離だけ離れた位置に配置された方が、サンプル流Ｆ１をサンプル流路１の高さ方向について上向き（＋ｚ方向）に持ち上げるためには好ましい。

　なお、本実施形態では、第１シース液ＳＦ１を幅方向整流部３に流入させる第１シース液流入部７の流路方向と、サンプル流路１における幅方向整流部３の流路方向とのなす角度が、４５度以下である場合の一例について説明したが、これに限られない。第１シース液ＳＦ１を幅方向整流部３に流入させる第１シース液流入部７の流路方向と、サンプル流路１における幅方向整流部３の流路方向とのなす角度は、４５度より大きくてもよい。ただし、幅方向整流部３における幅方向の整流において、第１シース液ＳＦ１によってサンプル流Ｆ１の流れを妨げないためには、第１シース液ＳＦ１を幅方向整流部３に流入させる第１シース液流入部７の流路方向と、サンプル流路１における幅方向整流部３の流路方向とのなす角度が、４５度以下であることが好ましい。

　なお、本実施形態では、第１シース液ＳＦ１を幅方向整流部３に流入させる第１シース液流入部７の天井高と、幅方向整流部３の天井高とを一致させて形成されている場合の一例について説明したが、これに限られない。第１シース液流入部７の天井高と、幅方向整流部３の天井高とは一致していなくてもよい。ただし、第１シース液流入部７は幅方向の整流のために備えられているため、第１シース液ＳＦ１のサンプル流Ｆ１に対する高さ方向の影響を小さくするためには、第１シース液流入部７の天井高と、幅方向整流部３の天井高とは一致していることが好ましい。

　なお、本実施形態では、低天井部５の天井高と、高天井部４よりも上流の流路の天井高（低天井高さ１２）とを一致させて形成されている場合の一例について説明したが、これに限られない。低天井部５の天井高と、高天井部４よりも上流の流路の天井高（低天井高さ１２）とは一致していなくてもよい。
　例えば、低天井部５に相当する部分の天井高が低天井高さ１２よりも高い場合、低天井部５から幅方向整流部３へとサンプル流Ｆ１が流入する際に、複数の測定サンプルＳ１の高さ方向の位置をサンプル流路１の中心に揃える場合、幅方向整流部３の天井高は、本実施形態に係る幅方向整流部３の天井高（図５）の場合に比べて高くなってしまう。つまり、サンプル流路１のサイズが幅方向整流部３より下流側で高さ方向に大きくなってしまう。

　低天井部５に相当する部分の天井高が低天井高さ１２よりも高い場合（つまり、低天井部５を設けない場合）、測定サンプルＳ１が一般的なサイズの細胞であるとすると、サンプル流路１のサイズが一般的なフローサイトメータで用いられる流路（フローセル）のサイズより大きくなってしまう。流路のサイズが大きくなると、フォーカス性能が維持できない場合がある。また、流路のサイズが大きくなると、測定に用いられる光学系、及びシース液の量の変更が必要となる。例えば、シース液の量を増大させると、サンプル流Ｆ１の希釈化をもたらしてしまう。

　また、低天井部５の天井高が低天井高さ１２よりも低い場合、低天井部５から幅方向整流部３へとサンプル流Ｆ１が流入する際に、複数の測定サンプルＳ１の高さ方向の位置をサンプル流路１の中心に揃える場合、幅方向整流部３の天井高は、本実施形態に係る幅方向整流部３の天井高（図５）の場合に比べて低くなってしまう。つまり、サンプル流路１のサイズが幅方向整流部３より下流側で高さ方向に小さくなってしまう。その場合、サンプル流路１のサイズが一般的なフローサイトメータで用いられる流路（フローセル）のサイズより小さくなる問題が生じる。

　なお、本実施形態では、幅方向整流部３の天井高と、高天井部４の天井高とを一致させて形成されている場合の一例について説明したが、これに限られない。幅方向整流部３の天井高と、高天井部４の天井高とは一致していなくてもよい。ただし、幅方向整流部３の天井高と、高天井部４の天井高とは一致していた方が、高天井部４の天井高をせいぜい幅方向整流部３の天井高とできるため、流路のサイズが大きくなってしまうことを防ぐためには好ましい。

　なお、本実施形態では、幅方向整流部３の上流に接続される低天井部５の天井高が、幅方向整流部３の天井高の半分の高さに形成されている場合の一例について説明したが、これに限られない。低天井部５の天井高は幅方向整流部３の天井高の半分の高さに形成されていなくてもよい。ただし、上述したように低天井部５において、複数の測定サンプルＳ１の高さ方向の位置は、サンプル流路１の上面に揃えられている。複数の測定サンプルＳ１が幅方向整流部３に流入した際には、複数の測定サンプルＳ１高さ方向に位置は殆ど変更されない。そのため、複数の測定サンプルＳ１が幅方向整流部３に流入した際に、複数の測定サンプルＳ１の高さ方向の位置をサンプル流路１の中心とするためには、低天井部５の天井高は幅方向整流部３の天井高の半分の高さに形成されていることが好ましい。

　なお、本実施形態では、サンプル流路１の底面１１は、サンプル流路１の流路方向の高さに変化がない場合の一例について説明したが、これに限られない。サンプル流路１の底面１１は、サンプル流路１の流路方向の高さに変化があってもよい。ただし、サンプル流路１の底面１１は、サンプル流路１の流路方向の高さに変化がない方が、ハイドロフォーカシング技術による流速への影響を小さくするためには好ましい。

（変形例）
　上述した実施形態の変形例として、マイクロ流路に第２シース液流入部が備えられず、高天井部と低天井部との組がサンプル流路の流路方向に複数備えられる場合について説明する。本変形例に係るマイクロ流路をマイクロ流路１００ａと記載する。
　なお、上述した実施形態と同一の構成については同一の符号を付して、同一の構成及び動作についてはその説明を省略する場合がある。

　図７は、本変形例に係るマイクロ流路１００ａの構成の一例を示す図である。図７（Ａ）は、マイクロ流路１００ａの側面図である。図７（Ｂ）は、マイクロ流路１００ａの上面図である。

　マイクロ流路１００ａは、サンプル流路１ａと、複数のシース液流入路とから構成される。複数のシース液流入路は、第１シース液流入路７１ａ、及び第１シース液流入路７２ａである。

　マイクロ流路１００ａは、高さ方向整流部２ａと、幅方向整流部３ａとを備える。
　高さ方向整流部２ａは、サンプル流路１ａの高さ方向について整流を行う。高さ方向整流部２ａは、高天井部と低天井部との組を、サンプル流路１ａの流路方向に複数備える。なお、高天井部と低天井部とは、上流側から高天井部、低天井部の順にサンプル流路１ａの流路方向に交互に備えられる。本変形例では、高さ方向整流部２ａに備えられる高天井部と低天井部との組相互間において、高天井部の流路方向の長さ、及び低天井部の流路方向の長さは等しい。

　本変形例では、高さ方向整流部２ａは、第１高天井部４１ａと、第１低天井部５１ａとの組と、第２高天井部４２ａと、第２低天井部５２ａとの組を備える。つまり、本変形例では、高さ方向整流部２ａは、高天井部と低天井部との組を２組備える。

　第１高天井部４１ａは、上流の流路よりも流路内の天井高が高い。第１高天井部４１ａの天井である高天井１３１ａの高さは、第１高天井部４１ａの上流の流路の天井である低天井１２１ａの高さよりも高い。

　第１低天井部５１ａは、第１高天井部４１ａの下流に配置される。第１低天井部５１ａは、第１高天井部４１ａよりも流路内の天井高が低い。第１低天井部５１ａの天井である低天井１２２ａの高さは、第１高天井部４１ａの天井である高天井１３１ａの高さよりも低い。

　第２高天井部４２ａは、第１低天井部５１ａの下流に配置される。第２高天井部４２ａは、第１低天井部５１ａよりも流路内の天井高が高い。第２高天井部４２ａの天井である高天井１３２ａの高さは、第１低天井部５１ａの天井である低天井１２２ａの高さよりも高い。

　第２低天井部５２ａは、第２高天井部４２ａの下流に配置される。第２低天井部５２ａは、第２低天井部５２ａよりも流路内の天井高が低い。第２低天井部５２ａの天井である低天井１２３ａの高さは、第２高天井部４２ａの天井である高天井１３２ａの高さよりも低い。

　幅方向整流部３ａは、サンプル流路１ａの幅方向について整流を行う。幅方向整流部３ａは、高さ方向整流部２ａの下流に配置される。幅方向整流部３ａは、下流側高天井部３１ａと、第１シース液流入部７ａとを有する。下流側高天井部３１ａは、サンプル流路１ａの一部である。下流側高天井部３１ａは、第２低天井部５２ａよりも流路内の天井高が高い。下流側高天井部３１ａの天井である高天井１３３ａの高さは、第２低天井部５２ａの天井である低天井１２３ａの高さよりも高い。

　第１シース液流入部７ａは、流路の両側面方向から第１シース液ＳＦ１が流入する。第１シース液流入部７ａは、第１シース液流入路７１ａと、第１シース液流入路７２ａとから構成される。第１シース液流入部７ａ（図７）と、第１シース液流入部７（図５）と比較すると、第１シース液流入路７１ａ、及び第１シース液流入路７２ａそれぞれの幅が、第１シース液流入路７１、及び第１シース液流入路７２それぞれの幅よりも狭い点が異なる。

　第１シース液流入路７１ａの流路方向とサンプル流路１ａの流路方向とのなす角度と、第１シース液流入路７２ａの流路方向とサンプル流路１ａの流路方向とのなす角度とは等しい。当該角度、４５度である。なお、当該角度は、４５度以下であればよい。

　本変形例では、高天井１３１ａ、高天井１３２ａ、及び高天井１３３ａそれぞれの高さは、高天井高さ１３と等しい。低天井１２１ａ、低天井１２２ａ、及び低天井１２３ａそれぞれの高さは、低天井高さ１２と等しい。したがって、第１シース液ＳＦ１を幅方向整流部３ａに流入させる第１シース液流入部７ａの天井高と、幅方向整流部３ａの天井高とを一致させて形成されている。つまり、第１シース液流入路７１ａの天井高と、下流側高天井部３１ａの天井高（高天井１３３ａ）とは一致している。第１シース液流入路７２の天井高と、下流側高天井部３１の天井高（高天井１３３ａ）とは一致している。

　つまり、サンプル流路１ａでは、第１低天井部５１ａ、及び第２低天井部５２ａそれぞれの天井高と、第１高天井部４１ａよりも上流の流路の天井高とを一致させて形成されている。また、サンプル流路１ａでは、幅方向整流部３ａの天井高と、高天井部４ａの天井高とを一致させて形成されている。

　次に、サンプル流路１ａにおけるサンプル流Ｆ１の整流について説明する。図８は、本変形例に係るサンプル流Ｆ１の整流の様子の一例を示す図である。図８（Ａ）は、マイクロ流路１００ａの側面図である。図８（Ｂ）は、マイクロ流路１００ａの上面図である。図８（Ｃ）は、マイクロ流路１００ａの断面図である。図８では、サンプル流Ｆ１の整流の様子を、サンプル流路１ａの長さ方向について互いに位置が異なる複数の断面毎に説明する。複数の断面とは、断面Ａ１ａ、断面Ｂ１ａ、断面Ｃ１ａ、及び断面Ｄ１ａである。

　断面Ａ１ａは、第１高天井部４１ａの上流の流路の断面である。断面Ａ１ａにおけるサンプル流Ｆ１の整流の様子は、断面Ａ１におけるサンプル流Ｆ１の整流の様子（図６）と同様であるため、説明を省略する。

　上述したように高さ方向整流部２ａでは、高天井部と低天井部との組がサンプル流路１ａの流路方向に複数備えられる。サンプル流Ｆ１に含まれる複数の測定サンプルＳ１は、高天井部へと流入すると、高さ方向について高天井部の上流の流路における高さに比べて高天井の側へと移動する。サンプル流Ｆ１は、高天井部において上向きに持ち上げられた後、高天井部よりも流路内の天井高が低い低天井部へと流入する。低天井部において、複数の測定サンプルＳ１の高さ方向の位置は、低天井部の低天井の付近の位置に揃う。

　サンプル流Ｆ１が高天井部、低天井部の順に移動することを、高天井部と低天井部との複数の組について繰り返される。サンプル流Ｆ１が高天井部、低天井部の順に移動することが繰り返されることによって、サンプル流Ｆ１に含まれる複数の測定サンプルＳ１がサンプル流路１ａの天井の付近の位置に揃う効果を高めることができる。

　本実施形態では、複数の測定サンプルＳ１は、第１高天井部４１ａに流入する。断面Ｂ１ａは、第１高天井部４１ａの断面である。断面Ｂ１ａにおいて、複数の測定サンプルＳ１は、高さ方向について上側の位置に分布している。複数の測定サンプルＳ１は、高さ方向について低天井１２１ａよりも上側の位置に分布している。なお、断面Ｂ１ａにおいて、複数の測定サンプルＳ１は、幅方向については互いに位置がまだ揃えられていない。

　複数の測定サンプルＳ１は、第１高天井部４１ａにおいて上向きに持ち上げられた後、第１低天井部５１ａへと流入する。第１低天井部５１ａにおいて、複数の測定サンプルＳ１の高さ方向の位置は、第１低天井部５１ａの低天井１２２ａの付近の位置に揃っている。

　複数の測定サンプルＳ１は、第２高天井部４２ａに流入する。複数の測定サンプルＳ１は、第２高天井部４２ａにおいて上向きに持ち上げられた後、第２低天井部５２ａへと流入する。

　断面Ｃ１ａは、第２低天井部５２ａの断面である。断面Ｃ１ａにおいて、複数の測定サンプルＳ１の高さ方向の位置は、第２低天井部５２ａの低天井１２３ａの付近の位置に揃っている。つまり、断面Ｃ１ａにおいて、複数の測定サンプルＳ１の高さ方向の位置は、サンプル流路１ａの上面に揃えられている。なお、断面Ｃ１ａにおいて、複数の測定サンプルＳ１は、幅方向については互いに位置がまだ揃えられていない。

　複数の測定サンプルＳ１は第２低天井部５２ａから下流側高天井部３１ａへと流入する。下流側高天井部３１ａの高天井１３３ａの高さは、第１高天井部４１ａの高天井１３１ａの高さ、及び第２高天井部４２ａの高天井１３２ａの高さと等しい高天井高さ１３である。つまり、サンプル流路１ａの高さは、第２低天井部５２ａの低天井１２３ａの高さから下流側高天井部３１ａの高天井１３３ａの高さへと再び高くなる。サンプル流路１ａの高さが高くなることによって、複数の測定サンプルＳ１は、高さ方向についてサンプル流路１の中心にフォーカスされる。

　さらに下流側高天井部３１ａにおいて、第１シース液流入路７１ａ、及び第１シース液流入路７２ａそれぞれから第１シース液ＳＦ１がサンプル流路１ａに流入する。サンプル流路１ａの両側の側面それぞれから流入した第１シース液ＳＦ１によって、複数の測定サンプルＳ１はサンプル流路１ａの幅方向について中心の位置に配置される。

　断面Ｄ１ａは、下流側高天井部３１ａのうち第１シース液流入部７ａよりも下流の流路の断面である。断面Ｄ１ａにおいて、複数の測定サンプルＳ１は、高さ方向、及び幅方向についてサンプル流路１ａの中心に位置している。したがって、幅方向整流部３ａ、及び高天井部４ａによって、サンプル流Ｆ１のサンプル流路１ａの中心へのフォーカスが実行される。

　なお、本変形例では、高さ方向整流部２ａは、高天井部と低天井部との組を、サンプル流路１ａの流路方向に２組備える場合の一例について説明したが、これに限られない。高さ方向整流部２ａは、高天井部と低天井部との組を、サンプル流路１ａの流路方向に１組、または３組以上備えてもよい。高さ方向整流部２ａに備えられる高天井部と低天井部との組の数は、高さ方向整流部２ａの流路方向の長さと、高天井部、及び低天井部それぞれの流路方向の長さとに応じて決定されればよい。なお、高さ方向整流部２ａに備えられる高天井部と低天井部との組相互間において、高天井部の流路方向の長さ、及び低天井部の流路方向の長さは異なっていてもよい。

（実施例）
　次に、実施例として、上述した測定装置において、マイクロ流路の下流に備えらえる光学的検出部を通過する測定サンプルの速度を、複数の測定サンプル相互間において測定した結果について説明する。本実施例に係るマイクロ流路は、実施形態に係るマイクロ流路１００（図５）である。

　本実施例では、測定サンプルとして、蛍光ビーズ、Ｒａｊｉ細胞、Ｈｅｌａ細胞、及びＭＩＡＰａＣａ２細胞の４種類を扱った。これら４種類の測定サンプルそれぞれについて、複数の測定サンプルの速度の分布を測定した。また、４種類の測定サンプルそれぞれについて変動係数（ＣＶ値）を測定した。なお、蛍光ビーズとしては、ベイバイオサイエンス社製の「Ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｔ　Ｓｋｙ　Ｂｌｕｅ　Ｐａｒｔｉｃｌｅｓ　０．２％　ｗ／ｖ、１０．０－１４．０μｍ（Ｃａｔ．Ｎｏ．：ＦＰ－１００７０－２）」が用いられた。

　図９から図１２に示すグラフは、複数の測定サンプルの速度の分布を示す。これらのグラフでは、速度毎に測定サンプルの個数が示されている。
　図９に、蛍光ビーズについての速度の分布を示す。蛍光ビーズについて、平均速度は１３．０ｍ／ｓｅｃであった。蛍光ビーズについて、ＣＶ値は０．５７％であった。
　図１０に、Ｒａｊｉ細胞についての速度の分布を示す。Ｒａｊｉ細胞について、平均速度は１２．９ｍ／ｓｅｃであった。Ｒａｊｉ細胞について、ＣＶ値は０．６１％であった。
　図１１に、Ｈｅｌａ細胞についての速度の分布を示す。Ｈｅｌａ細胞について、平均速度は１３．８ｍ／ｓｅｃであった。Ｈｅｌａ細胞について、ＣＶ値は０．５９％であった。
　図１２に、ＭＩＡＰａＣａ２細胞についての速度の分布を示す。ＭＩＡＰａＣａ２細胞について、平均速度は１３．８ｍ／ｓｅｃであった。ＭＩＡＰａＣａ２細胞について、ＣＶ値は０．５９％であった。

　実施形態に係るマイクロ流路１００を用いることによって、いずれの種類の測定サンプルについても、複数の測定サンプル相互間における速度のばらつきが小さくなった。比較対象は、サンプル流を流路の底面にフォーカスさせるマイクロ流路である。

　以上に説明したように、本実施形態に係るマイクロ流路１００は、測定サンプルＳ１を含むサンプル流Ｆ１が流れるサンプル流路１において、高さ方向整流部２と、幅方向整流部３とを備える。
　高さ方向整流部２は、高天井部４と、低天井部５とを有する。高天井部４は、上流の流路よりも流路内の天井高が高い。低天井部５は、高天井部４の下流に配置され、高天井部４よりも流路内の天井高が低い。
　幅方向整流部３は、高さ方向整流部２の下流に配置され、低天井部５よりも流路内の天井高が高く、第１シース液流入部７を有する。第１シース液流入部７では、流路の両側面方向から第１シース液ＳＦ１が流入する。

　この構成により、本実施形態に係るマイクロ流路１００では、流路の高さ方向については高天井部４と低天井部５とによって整流を行い、幅方向については第１シース液ＳＦ１によって整流を行うことができるため、ハイドロフォーカシング技術において、流路のサイズを大型化させることなく、複数の測定サンプル相互間での測定サンプルの流速のばらつきを小さくできる。

　以上、図面を参照してこの発明の一実施形態について詳しく説明してきたが、具体的な構成は上述のものに限られることはなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲内において様々な設計変更等をすることが可能である。

２０…マイクロ流路チップ、１００…マイクロ流路、１…サンプル流路、２…高さ方向整流部、３…幅方向整流部、４…高天井部、５…低天井部、７…第１シース液流入部、Ｓ１…測定サンプル、Ｆ１…サンプル流、ＳＦ１…第１シース液

Claims

　測定サンプルを含むサンプル流が流れるサンプル流路において、
　上流の流路よりも流路内の天井高が高い高天井部と、
　前記高天井部の下流に配置され、前記高天井部よりも流路内の天井高が低い低天井部と、
　を有する高さ方向整流部と、
　前記高さ方向整流部の下流に配置され、前記低天井部よりも流路内の天井高が高く、流路の両側面方向から第１シース液が流入する第１シース液流入部を有する幅方向整流部と、
　を備えるマイクロ流路。
　前記高さ方向整流部は、前記高天井部の流路の両側面方向から第２シース液が流入する第２シース液流入部を有する、
　請求項１に記載のマイクロ流路。
　前記第２シース液を前記高天井部に流入させる第２シース液流入部の流路方向と、前記サンプル流路における前記高天井部の流路方向とが、直交する、
　請求項２に記載のマイクロ流路。
　前記第２シース液流入部の前記第２シース液の前記高天井部への流入位置が、前記高天井部の両側面のうち、前記流路の天井面に対向する底面により近い位置に配置される、
　請求項２に記載のマイクロ流路。
　前記流入位置が、前記高天井部の両側面のうち、前記高天井部の高さの半分以下の位置に配置される、
　請求項４に記載のマイクロ流路。
　前記流入位置が、前記高天井部の両側面のうち、前記高天井部の下流に配置された前記低天井部の高さの半分以下の位置に配置される、
　請求項５に記載のマイクロ流路。
　前記流入位置が、前記高天井部の両側面のうち、前記高天井部の下流に配置された前記低天井部から前記サンプル流路の上流側に離れた位置に配置される、
　請求項４に記載のマイクロ流路。
　前記高さ方向整流部は、前記高天井部と前記低天井部との組を、前記サンプル流路の流路方向に複数備える、
　請求項１に記載のマイクロ流路。
　前記第１シース液を前記幅方向整流部に流入させる第１シース液流入部の流路方向と、前記サンプル流路における前記幅方向整流部の流路方向とのなす角度が、４５度以下である、
　請求項１に記載のマイクロ流路。
　前記第１シース液を前記幅方向整流部に流入させる第１シース液流入部の天井高と、前記幅方向整流部の天井高とを一致させて形成されている、
　請求項１に記載のマイクロ流路。
　前記低天井部の天井高と、前記高天井部よりも上流の流路の天井高とを一致させて形成されている、
　請求項１に記載のマイクロ流路。
　前記幅方向整流部の天井高と、前記高天井部の天井高とを一致させて形成されている、
　請求項１に記載のマイクロ流路。
　前記幅方向整流部の上流に接続される前記低天井部の天井高が、前記幅方向整流部の天井高の半分の高さに形成されている、
　請求項１に記載のマイクロ流路。
　前記サンプル流路の底面は、前記サンプル流路の流路方向の高さに変化がない、
　請求項１に記載のマイクロ流路。
　請求項１から請求項１４のいずれか一項に記載のマイクロ流路と、
　前記幅方向整流部の下流に、前記測定サンプルを光学的手段で検出する光学的検出部と、
　を備える測定装置。
　前記光学的検出部の検出結果に基づいて、前記測定サンプルをサンプル毎に単離するソーティング部、
　をさらに備える請求項１５に記載の測定装置。