WO2024043050A1 - Sensor module - Google Patents

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WO2024043050A1
WO2024043050A1 PCT/JP2023/028701 JP2023028701W WO2024043050A1 WO 2024043050 A1 WO2024043050 A1 WO 2024043050A1 JP 2023028701 W JP2023028701 W JP 2023028701W WO 2024043050 A1 WO2024043050 A1 WO 2024043050A1
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暢謙 森田
花菜 大江
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株式会社村田製作所
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    • G01L1/16Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices

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Abstract

This sensor module comprises: a first member; a second member having a Young's modulus lower than that of the first member; and a sensor that is for detecting deformation of the second member and that is in contact with the second member. The distance between the first member and the sensor is longer than the distance between the first member and the second member.

Description

センサモジュールsensor module
 本発明は、部材の変形を検知するセンサを備えるセンサモジュールに関する。 The present invention relates to a sensor module that includes a sensor that detects deformation of a member.
 特許文献1には、弾性体及び圧電素子を備えている変位センサが記載されている。圧電素子は、弾性体の第1主面に取り付けられている。弾性体は、弾性体に外部からの力が加わることによって湾曲する。例えば、弾性体が湾曲したとき、圧電素子は、伸張する。圧電素子は、圧電素子の伸張量に応じた電圧を発生する。 Patent Document 1 describes a displacement sensor that includes an elastic body and a piezoelectric element. The piezoelectric element is attached to the first main surface of the elastic body. The elastic body bends when an external force is applied to the elastic body. For example, when the elastic body is bent, the piezoelectric element expands. The piezoelectric element generates a voltage depending on the amount of expansion of the piezoelectric element.
国際公開第2012/137897号International Publication No. 2012/137897
 ところで、特許文献1に記載の変位センサの分野において、部材の変形を検知するセンサが出力する信号にノイズが含まれにくくなるセンサモジュールが望まれている。 Incidentally, in the field of displacement sensors described in Patent Document 1, there is a desire for a sensor module in which noise is less likely to be included in a signal output by a sensor that detects deformation of a member.
 本発明の目的は、部材の変形を検知するセンサが出力する信号にノイズが含まれにくくなるセンサモジュールを提供することである。 An object of the present invention is to provide a sensor module in which noise is less likely to be included in a signal output by a sensor that detects deformation of a member.
 本発明の一実施形態に係るセンサモジュールは、
 第1部材と、
 前記第1部材が有するヤング率より低いヤング率を有する第2部材と、
 前記第2部材の変形を検知するセンサであって、前記第2部材に接触しているセンサと、
 を備え、
 前記第1部材と前記センサとの間の距離は、前記第1部材と前記第2部材との間の距離より長い。
A sensor module according to an embodiment of the present invention includes:
a first member;
a second member having a Young's modulus lower than the Young's modulus of the first member;
a sensor for detecting deformation of the second member, the sensor being in contact with the second member;
Equipped with
The distance between the first member and the sensor is longer than the distance between the first member and the second member.
 以下では、X,Yは、センサモジュールの部品又は部材である。本明細書において、特に断りのない場合には、Xの各部について以下のように定義する。Xの前部とは、Xの前半分を意味する。Xの後部とは、Xの後半分を意味する。Xの左部とは、Xの左半分を意味する。Xの右部とは、Xの右半分を意味する。Xの上部とは、Xの上半分を意味する。Xの下部とは、Xの下半分を意味する。Xの前端とは、Xの前方向の端を意味する。Xの後端とは、Xの後方向の端を意味する。Xの左端とは、Xの左方向の端を意味する。Xの右端とは、Xの右方向の端を意味する。Xの上端とは、Xの上方向の端を意味する。Xの下端とは、Xの下方向の端を意味する。 In the following, X and Y are parts or members of the sensor module. In this specification, unless otherwise specified, each part of X is defined as follows. The front part of the X means the front half of the X. The rear part of the X means the rear half of the X. The left part of X means the left half of X. The right side of X means the right half of X. The upper part of X means the upper half of X. The lower part of X means the lower half of X. The front end of X means the front end of X. The rear end of X means the end of X in the rear direction. The left end of X means the left end of X. The right end of X means the right end of X. The upper end of X means the upper end of X. The lower end of X means the lower end of X.
 また、「Xは、Yの上に位置している。」とは、XがYの真上に位置していることを意味する。従って、上下方向に視て、Xは、Yと重なっている。「Xは、Yより上に位置している。」とは、XがYの真上に位置していること、及び、XがYの斜め上に位置していることを意味する。従って、上下方向に視て、Xは、Yと重なっていてもよいし、Yと重なっていなくてもよい。この定義は、上方向以外の方向にも適用される。 Furthermore, "X is located above Y" means that X is located directly above Y. Therefore, when viewed in the vertical direction, X overlaps Y. "X is located above Y" means that X is located directly above Y, and that X is located diagonally above Y. Therefore, when viewed in the vertical direction, X may or may not overlap Y. This definition also applies to directions other than the upward direction.
 本発明に係るセンサモジュールによれば、部材の変形を検知するセンサが出力する信号にノイズが含まれにくくなる。 According to the sensor module according to the present invention, noise is less likely to be included in the signal output by the sensor that detects the deformation of a member.
図1は、センサモジュール1の外観を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing the external appearance of the sensor module 1. 図2は、図1におけるA-A断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line AA in FIG. 図3は、第1部材10が上下方向に弾性変形したときを示す図である。FIG. 3 is a diagram showing the first member 10 being elastically deformed in the vertical direction. 図4は、センサ13を下方向に見た図である。FIG. 4 is a diagram of the sensor 13 viewed from below. 図5は、図4におけるB-B断面図である。FIG. 5 is a sectional view taken along line BB in FIG. 図6は、第1部材10が上下方向に弾性変形したときに、センサ13から出力される信号Sigを示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a signal Sig output from the sensor 13 when the first member 10 is elastically deformed in the vertical direction. 図7は、第1部材10が左右方向に弾性変形したときを示す図である。FIG. 7 is a diagram showing the first member 10 being elastically deformed in the left-right direction. 図8は、第1部材10が左右方向に弾性変形したときに、センサ13から出力される信号Sigを示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a signal Sig output from the sensor 13 when the first member 10 is elastically deformed in the left-right direction. 図9は、第1部材10の上部UP且つ右部RPが左下方向に弾性変形したときに、センサ13から出力される信号Sigを示す図である。FIG. 9 is a diagram showing a signal Sig output from the sensor 13 when the upper part UP and right part RP of the first member 10 is elastically deformed in the lower left direction. 図10は、変形例1に係るセンサモジュール1aを示す図である。FIG. 10 is a diagram showing a sensor module 1a according to modification 1. 図11は、変形例2に係るセンサモジュール1b1を示す図である。FIG. 11 is a diagram showing a sensor module 1b1 according to a second modification. 図12は、変形例2に係るセンサモジュール1b2を示す図である。FIG. 12 is a diagram showing a sensor module 1b2 according to modification 2. 図13は、変形例3に係るセンサモジュール1cを示す図である。FIG. 13 is a diagram showing a sensor module 1c according to modification example 3. 図14は、変形例4に係るセンサモジュール1dを示す図である。FIG. 14 is a diagram showing a sensor module 1d according to modification example 4. 図15は、変形例5に係るセンサモジュール1eを示す図である。FIG. 15 is a diagram showing a sensor module 1e according to modification 5. 図16は、変形例6に係るセンサモジュール1fを示す図である。FIG. 16 is a diagram showing a sensor module 1f according to modification 6. 図17は、変形例7に係るセンサモジュール1g1を示す図である。FIG. 17 is a diagram showing a sensor module 1g1 according to modification example 7. 図18は、変形例7に係るセンサモジュール1g2を示す図である。FIG. 18 is a diagram showing a sensor module 1g2 according to modification example 7.
 [第1実施形態]
 以下、本発明の第1実施形態に係るセンサモジュール1について図面を参照しながら説明する。図1は、センサモジュール1の外観を示す斜視図である。図2は、図1におけるA-A断面図である。図3は、第1部材10が上下方向に弾性変形したときを示す図である。図4は、センサ13を下方向に見た図である。図5は、図4におけるB-B断面図である。
[First embodiment]
Hereinafter, a sensor module 1 according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing the external appearance of the sensor module 1. FIG. 2 is a sectional view taken along line AA in FIG. FIG. 3 is a diagram showing the first member 10 being elastically deformed in the vertical direction. FIG. 4 is a diagram of the sensor 13 viewed from below. FIG. 5 is a sectional view taken along line BB in FIG.
 本実施形態において方向を以下の様に定義する。図1に示すように、センサモジュール1が延びる方向を前後方向と定義する。図2に示すように、センサ13と第2部材12とが、並んでいる方向を上下方向と定義する。センサ13と第2部材12とが、この順に並んでいる方向を下方向と定義する。第2部材12とセンサ13とが、この順に並んでいる方向を上方向と定義する。前後方向及び上下方向に直交する方向を左右方向と定義する。但し、前後方向、上下方向及び左右方向は、説明のために定義した方向である。従って、センサモジュール1の実使用時における前後方向、上下方向及び左右方向は、必ずしも、本実施形態における前後方向、上下方向及び左右方向と一致しなくてよい。 In this embodiment, the direction is defined as follows. As shown in FIG. 1, the direction in which the sensor module 1 extends is defined as the front-rear direction. As shown in FIG. 2, the direction in which the sensor 13 and the second member 12 are lined up is defined as the up-down direction. The direction in which the sensor 13 and the second member 12 are lined up in this order is defined as the downward direction. The direction in which the second member 12 and the sensor 13 are lined up in this order is defined as an upward direction. A direction perpendicular to the front-rear direction and the up-down direction is defined as the left-right direction. However, the front-back direction, the up-down direction, and the left-right direction are directions defined for the purpose of explanation. Therefore, the front-back direction, the up-down direction, and the left-right direction when the sensor module 1 is actually used do not necessarily have to match the front-back direction, the up-down direction, and the left-right direction in this embodiment.
 本実施形態において、センサモジュール1は、例えば、電子タバコ等の電子機器に用いられる。センサモジュール1は、図2に示すように、第1部材10、支持部材11、第2部材12及びセンサ13を備えている。 In this embodiment, the sensor module 1 is used, for example, in an electronic device such as an electronic cigarette. The sensor module 1 includes a first member 10, a support member 11, a second member 12, and a sensor 13, as shown in FIG.
 本実施形態において、第1部材10は、図1及び図2に示すように、内周面IS及び外周面OSを含んでいる筒形状を有している。第1部材10は、前後方向に延びる中心軸線CAXを有している筒形状を有している。第1部材10は、中心軸線CAXを軸として左右対称である。本実施形態において、第1部材10は、円筒形状である。第1部材10の材料は、例えば、40GPa以上のヤング率を有する金属である。このような第1部材10は、例えば、マグネシウム合金である。 In this embodiment, the first member 10 has a cylindrical shape including an inner circumferential surface IS and an outer circumferential surface OS, as shown in FIGS. 1 and 2. The first member 10 has a cylindrical shape with a central axis CAX extending in the front-rear direction. The first member 10 is symmetrical about the central axis CAX. In this embodiment, the first member 10 has a cylindrical shape. The material of the first member 10 is, for example, a metal having a Young's modulus of 40 GPa or more. Such a first member 10 is, for example, a magnesium alloy.
 図3に示すように、第1部材10は、弾性変形をする。例えば、第1部材10は、ユーザ200が第1部材10を上下方向に押すことによって上下方向に弾性変形する。具体的には、第1部材10は、図2及び図3に示すように、中心軸線CAXより下に位置している下部DPと、中心軸線CAXより上に位置している上部UPとを有している。上部UPは、下方向に弾性変形可能であり、且つ、下部DPは、上方向に弾性変形可能である。例えば、ユーザ200は、図2に示すように、ユーザ200の指によって下部DP及び上部UPを挟む。これにより、下部DPに上方向の力が加わる。このため、下部DPが上方向に弾性変形する。従って、第1部材10が弾性変形した場合、下部DPは、上方向に弾性変形する。また、上部UPに下方向の力が加わる。このため、上部UPが下方向に弾性変形する。従って、第1部材10が弾性変形した場合、上部UPは、下方向に弾性変形する。 As shown in FIG. 3, the first member 10 undergoes elastic deformation. For example, the first member 10 is elastically deformed in the vertical direction when the user 200 pushes the first member 10 in the vertical direction. Specifically, as shown in FIGS. 2 and 3, the first member 10 has a lower part DP located below the central axis CAX and an upper part UP located above the central axis CAX. are doing. The upper part UP can be elastically deformed downward, and the lower part DP can be elastically deformed upward. For example, as shown in FIG. 2, the user 200 holds the lower part DP and the upper part UP between the user's 200 fingers. As a result, an upward force is applied to the lower part DP. Therefore, the lower part DP is elastically deformed upward. Therefore, when the first member 10 is elastically deformed, the lower part DP is elastically deformed upward. Further, a downward force is applied to the upper portion UP. Therefore, the upper portion UP is elastically deformed downward. Therefore, when the first member 10 is elastically deformed, the upper part UP is elastically deformed downward.
 支持部材11は、図2に示すように、上下方向に並ぶ上面及び下面を有している板形状である。支持部材11は、第1部材10内に位置している。従って、ユーザ200は、支持部材11を触ることが出来ない。支持部材11は、内周面ISと接触している。支持部材11の右端及び左端は、内周面ISと接触している。支持部材11の右端及び左端は、内周面ISに固定されている。支持部材11は、第2部材12及びセンサ13を支持している。支持部材11が有するヤング率は、例えば、第2部材12が有するヤング率よりも高い。このような支持部材11は、例えば、電子部品が実装されている回路基板である。 As shown in FIG. 2, the support member 11 is plate-shaped and has an upper surface and a lower surface that are aligned in the vertical direction. Support member 11 is located within first member 10 . Therefore, the user 200 cannot touch the support member 11. The support member 11 is in contact with the inner peripheral surface IS. The right end and left end of the support member 11 are in contact with the inner circumferential surface IS. The right end and left end of the support member 11 are fixed to the inner circumferential surface IS. The support member 11 supports the second member 12 and the sensor 13. The Young's modulus of the support member 11 is, for example, higher than the Young's modulus of the second member 12. Such a support member 11 is, for example, a circuit board on which electronic components are mounted.
 第2部材12は、図2に示すように、上下方向に並ぶ上面及び下面を有している直方体形状を有している。従って、第2部材12は、前後方向に見て、長方形状を有している。第2部材12は、第1部材10内に位置している。第2部材12は、支持部材11の上に位置している。第2部材12の下面は、支持部材11の上面と接触している。第2部材12の右端は、中心軸線CAXより右に位置している。第2部材12の左端は、中心軸線CAXより左に位置している。第2部材12の上面は、中心軸線CAXより上に位置している。第1部材10が弾性変形していない場合、第2部材12は、第1部材10と接触していない。具体的には、第2部材12において、右上の角部PE1及び左上の角部PE2が、第1部材10の最も近くに位置している。角部PE1と内周面ISとの間には隙間が存在し、且つ、角部PE2と内周面ISとの間には隙間が存在している。従って、第1部材10が弾性変形していない状態において、第2部材12は、第1部材10から離隔している。第2部材12は、第1部材10よりも柔らかい。具体的には、第2部材12が有するヤング率は、第1部材10が有するヤング率より低い。このような第2部材12は、例えば、シリコーンラバー等の樹脂により形成されている。 As shown in FIG. 2, the second member 12 has a rectangular parallelepiped shape with an upper surface and a lower surface arranged in the vertical direction. Therefore, the second member 12 has a rectangular shape when viewed in the front-rear direction. The second member 12 is located within the first member 10. The second member 12 is located on the support member 11. The lower surface of the second member 12 is in contact with the upper surface of the support member 11. The right end of the second member 12 is located to the right of the central axis CAX. The left end of the second member 12 is located to the left of the central axis CAX. The upper surface of the second member 12 is located above the central axis CAX. When the first member 10 is not elastically deformed, the second member 12 is not in contact with the first member 10. Specifically, in the second member 12, the upper right corner PE1 and the upper left corner PE2 are located closest to the first member 10. A gap exists between the corner PE1 and the inner circumferential surface IS, and a gap exists between the corner PE2 and the inner circumferential surface IS. Therefore, when the first member 10 is not elastically deformed, the second member 12 is separated from the first member 10. The second member 12 is softer than the first member 10. Specifically, the Young's modulus of the second member 12 is lower than that of the first member 10. The second member 12 is made of resin such as silicone rubber, for example.
 第1部材10が弾性変形した場合、第2部材12は、第1部材10と接触する。具体的には、第1部材10が弾性変形した場合、第2部材12は、内周面ISと接触する。本実施形態において、第1部材10が弾性変形した場合、角部PE1と角部PE2とが内周面ISに接触する。具体的には、上部UPは、図3及び図4に示すように、中心軸線CAXより右に位置している第1接触部CP1と、中心軸線CAXより左に位置している第2接触部CP2と、を含んでいる。第1部材10が弾性変形したとき、第1接触部CP1及び第2接触部CP2が、第2部材12と接触する。具体的には、第1部材10が弾性変形したとき、第1接触部CP1は、角部PE1と接触する。第1部材10が弾性変形したとき、第2接触部CP2は、角部PE2と接触する。角部PE1と内周面ISとの間及び角部PE2と内周面ISとの間には隙間が存在している。このため、第1部材10の変形量が少ない場合、第2部材12は第1部材10と接触しない。 When the first member 10 is elastically deformed, the second member 12 comes into contact with the first member 10. Specifically, when the first member 10 is elastically deformed, the second member 12 comes into contact with the inner peripheral surface IS. In this embodiment, when the first member 10 is elastically deformed, the corner PE1 and the corner PE2 come into contact with the inner circumferential surface IS. Specifically, as shown in FIGS. 3 and 4, the upper part UP includes a first contact part CP1 located to the right of the central axis CAX and a second contact part CP1 located to the left of the central axis CAX. CP2. When the first member 10 is elastically deformed, the first contact portion CP1 and the second contact portion CP2 contact the second member 12. Specifically, when the first member 10 is elastically deformed, the first contact portion CP1 contacts the corner portion PE1. When the first member 10 is elastically deformed, the second contact portion CP2 contacts the corner portion PE2. A gap exists between the corner PE1 and the inner circumferential surface IS and between the corner PE2 and the inner circumferential surface IS. Therefore, when the amount of deformation of the first member 10 is small, the second member 12 does not come into contact with the first member 10.
 センサ13は、図4に示すように、前後方向に延びる長辺及び左右方向に延びる短辺を有する長方形状を有している。センサ13は、図2及び図3に示すように、第1部材10内に位置している。センサ13は、第2部材12の上に位置している。センサ13は、第2部材12に接触している。センサ13は、第1部材10と接触していない。具体的には、第1部材10が弾性変形していない場合及び第1部材10が弾性変形した場合の両方の場合において、センサ13は、第1部材10と接触しない。第1部材10とセンサ13との間の最短距離は、第1部材10と第2部材12との間の最短距離より長い。本実施形態では、第1部材10とセンサ13との間の距離は、第1接触部CP1と角部PE1との間の距離より長い。また、第1部材10とセンサ13との間の最短距離は、第2接触部CP2と角部PE2との間の最短距離より長い。従って、図3に示すように、第1部材10が第1部材10の上下方向における幅が小さくなるように弾性変形したとき、第1部材10は、センサ13と接触する前に第2部材12と接触する。 As shown in FIG. 4, the sensor 13 has a rectangular shape with long sides extending in the front-rear direction and short sides extending in the left-right direction. The sensor 13 is located within the first member 10, as shown in FIGS. 2 and 3. The sensor 13 is located on the second member 12. Sensor 13 is in contact with second member 12 . The sensor 13 is not in contact with the first member 10. Specifically, the sensor 13 does not come into contact with the first member 10 in both cases, when the first member 10 is not elastically deformed and when the first member 10 is elastically deformed. The shortest distance between the first member 10 and the sensor 13 is longer than the shortest distance between the first member 10 and the second member 12. In this embodiment, the distance between the first member 10 and the sensor 13 is longer than the distance between the first contact portion CP1 and the corner PE1. Further, the shortest distance between the first member 10 and the sensor 13 is longer than the shortest distance between the second contact portion CP2 and the corner portion PE2. Therefore, as shown in FIG. come into contact with.
 センサ13は、図5に示すように、第1電極130、圧電フィルム131、第2電極132、チャージアンプ(図示せず)及びADコンバータ(図示せず)を含んでいる。 As shown in FIG. 5, the sensor 13 includes a first electrode 130, a piezoelectric film 131, a second electrode 132, a charge amplifier (not shown), and an AD converter (not shown).
 圧電フィルム131は、前後方向に延びる長辺及び左右方向に延びる短辺を有するシート形状を有している。圧電フィルム131は、上下方向に並ぶ第1主面SF1及び第2主面SF2を有している。 The piezoelectric film 131 has a sheet shape with long sides extending in the front-rear direction and short sides extending in the left-right direction. The piezoelectric film 131 has a first main surface SF1 and a second main surface SF2 that are arranged in the vertical direction.
 圧電フィルム131は、圧電フィルム131の変形量に応じた電荷を発生する。圧電フィルム131は、圧電フィルム131が左右方向に伸張されたときに発生する電荷の極性は、圧電フィルム131が前後方向に伸張されたときに発生する電荷の極性と逆となる特性を有している。具体的には、圧電フィルム131は、キラル高分子から形成されるフィルムである。キラル高分子とは、例えば、ポリ乳酸(PLA)、特にL型ポリ乳酸(PLLA)である。PLLAは、主鎖が螺旋構造を有する。PLLAは、一軸延伸されて分子が配向する圧電性を有する。圧電フィルム131は、d14の圧電定数を有している。図4に示すように、圧電フィルム131の一軸延伸方向ODは、左右方向及び前後方向のそれぞれに対して45度の角度を形成している。この45度は、例えば、45度±10度程度を含む角度を含んでいる。これにより、圧電フィルム131は、圧電フィルム131が左右方向に又は前後方向に伸張されることにより、電荷を発生する。圧電フィルム131は、例えば、左右方向に伸張されると正の電荷を発生する。圧電フィルム131は、例えば、前後方向に伸張されると負の電荷を発生する。電荷の大きさは、伸張による圧電フィルム131の左右方向又は前後方向における圧電フィルム131の変形量の微分値に依存する。 The piezoelectric film 131 generates an electric charge according to the amount of deformation of the piezoelectric film 131. The piezoelectric film 131 has a characteristic that the polarity of the charge generated when the piezoelectric film 131 is stretched in the left-right direction is opposite to the polarity of the charge generated when the piezoelectric film 131 is stretched in the front-back direction. There is. Specifically, the piezoelectric film 131 is a film formed from chiral polymer. The chiral polymer is, for example, polylactic acid (PLA), particularly L-type polylactic acid (PLLA). PLLA has a main chain having a helical structure. PLLA has piezoelectricity in which molecules are oriented by being uniaxially stretched. The piezoelectric film 131 has a piezoelectric constant of d14. As shown in FIG. 4, the uniaxial stretching direction OD of the piezoelectric film 131 forms an angle of 45 degrees with respect to each of the left-right direction and the front-back direction. This 45 degrees includes, for example, an angle including approximately 45 degrees ±10 degrees. As a result, the piezoelectric film 131 generates electric charges as the piezoelectric film 131 is stretched in the left-right direction or the front-back direction. For example, when the piezoelectric film 131 is stretched in the left-right direction, it generates a positive charge. For example, when the piezoelectric film 131 is stretched in the front-back direction, it generates a negative charge. The magnitude of the charge depends on the differential value of the amount of deformation of the piezoelectric film 131 in the left-right direction or front-back direction due to stretching.
 また、圧電フィルム131は、圧電フィルム131が左右方向に圧縮されたときに発生する電荷の極性が、圧電フィルム131が前後方向に圧縮されたときに発生する電荷の極性と逆となる特性を有している。圧電フィルム131は、例えば、左右方向に圧縮されると負の電荷を発生する。圧電フィルム131は、例えば、前後方向に圧縮されると正の電荷を発生する。 Furthermore, the piezoelectric film 131 has a characteristic that the polarity of the charge generated when the piezoelectric film 131 is compressed in the left-right direction is opposite to the polarity of the charge generated when the piezoelectric film 131 is compressed in the front-back direction. are doing. For example, when the piezoelectric film 131 is compressed in the left-right direction, it generates negative charges. For example, when the piezoelectric film 131 is compressed in the front-back direction, it generates a positive charge.
 第1電極130は、グランド電極である。第1電極130は、グランド電位に接続される。第1電極130は、接着剤(図示せず)によって第1主面SF1に固定されている。第1電極130は、第1主面SF1を覆っている。 The first electrode 130 is a ground electrode. The first electrode 130 is connected to ground potential. The first electrode 130 is fixed to the first main surface SF1 with an adhesive (not shown). The first electrode 130 covers the first main surface SF1.
 第2電極132は、信号電極である。第2電極132は、接着剤(図示せず)によって第2主面SF2に固定されている。第2電極132は、第2主面SF2を覆っている。 The second electrode 132 is a signal electrode. The second electrode 132 is fixed to the second main surface SF2 with an adhesive (not shown). The second electrode 132 covers the second main surface SF2.
 チャージアンプは、圧電フィルム131が発生した電荷を電圧信号に変換する。ADコンバータは、電圧信号をAD変換することによってデジタル信号を生成する。 The charge amplifier converts the charge generated by the piezoelectric film 131 into a voltage signal. An AD converter generates a digital signal by AD converting a voltage signal.
 センサ13は、第2部材12の変形を検知する。具体的には、第1部材10が弾性変形することによって第2部材12が弾性変形する。第2部材12が弾性変形したとき、第2部材12の上面に設けられているセンサ13が変形する。センサ13は、センサ13の変形に応じた信号(以下、信号Sigと称する)を出力する。以下、センサ13から出力される信号Sigについて図面を参照しながら説明する。図6は、第1部材10が上下方向に弾性変形したときに、センサ13から出力される信号Sigを示す図である。図6は、ユーザ200が第1部材10を繰り返して上下方向に弾性変形させたときを示す。図6において、時刻t1は、第1部材10に加わった外力によって第1部材10が弾性変形し始めた時刻である。図6において、時刻t2は、第1部材10に加わる復元力によって変形前の形状に戻り始めた時刻である。図6において、時刻t3は、センサ13が変形前の形状に戻った時刻である。 The sensor 13 detects deformation of the second member 12. Specifically, when the first member 10 is elastically deformed, the second member 12 is elastically deformed. When the second member 12 is elastically deformed, the sensor 13 provided on the upper surface of the second member 12 is deformed. The sensor 13 outputs a signal (hereinafter referred to as signal Sig) according to the deformation of the sensor 13. The signal Sig output from the sensor 13 will be described below with reference to the drawings. FIG. 6 is a diagram showing a signal Sig output from the sensor 13 when the first member 10 is elastically deformed in the vertical direction. FIG. 6 shows a case where the user 200 repeatedly elastically deforms the first member 10 in the vertical direction. In FIG. 6, time t1 is the time when the first member 10 begins to be elastically deformed by the external force applied to the first member 10. In FIG. 6, time t2 is the time when the restoring force applied to the first member 10 begins to return to the shape before deformation. In FIG. 6, time t3 is the time when the sensor 13 returns to its pre-deformation shape.
 本実施形態において、第1部材10が上下方向に変形したとき、センサ13は、基準電位VEに対して正の極性を有する信号Sigを発生する。具体的には、ユーザ200が、上部UPを下方向に弾性変形させ、且つ、下部DPを上方向に弾性変形させる。これにより、第1接触部CP1は、図3に示すように、第2部材12の右上の角部PE1と接触する。このとき、角部PE1には、第1接触部CP1によって左下方向の力Pw1が加わる。これにより、第2部材12の上面が左下方向に引っ張られる。また、第2接触部CP2は、第2部材12の左上の角部PE2と接触する。このとき、角部PE2には、第2接触部CP2によって右下方向の力Pw2が加わる。これにより、第2部材12の上面が、右下方向に引っ張られる。第2部材12の上面が左下方向に引っ張られ、且つ、右下方向に引っ張られることによって、第2部材12の上面が上方向に突出するように湾曲する。これにより、第2部材12の上面に設けられているセンサ13が左右方向に伸張する。従って、圧電フィルム131は、正の電荷を発生する。センサ13の左右方向への伸張が停止したとき、圧電フィルム131は、正の電荷を発生しなくなる。結果、図6に示すように、時刻t1から時刻t2の間において、センサ13は、基準電位VEに対して正の極性を有する信号Sigを発生する。 In this embodiment, when the first member 10 is deformed in the vertical direction, the sensor 13 generates a signal Sig having a positive polarity with respect to the reference potential VE. Specifically, the user 200 elastically deforms the upper part UP downward and elastically deforms the lower part DP upward. Thereby, the first contact portion CP1 comes into contact with the upper right corner PE1 of the second member 12, as shown in FIG. At this time, a force Pw1 in the lower left direction is applied to the corner PE1 by the first contact portion CP1. As a result, the upper surface of the second member 12 is pulled in the lower left direction. Further, the second contact portion CP2 contacts the upper left corner PE2 of the second member 12. At this time, a force Pw2 in the lower right direction is applied to the corner PE2 by the second contact portion CP2. As a result, the upper surface of the second member 12 is pulled in the lower right direction. By pulling the upper surface of the second member 12 toward the lower left and toward the lower right, the upper surface of the second member 12 is curved so as to protrude upward. As a result, the sensor 13 provided on the upper surface of the second member 12 extends in the left-right direction. Therefore, the piezoelectric film 131 generates positive charges. When the sensor 13 stops extending in the left-right direction, the piezoelectric film 131 no longer generates positive charges. As a result, as shown in FIG. 6, between time t1 and time t2, the sensor 13 generates a signal Sig having a positive polarity with respect to the reference potential VE.
 ユーザ200は、第1部材10を上下方向に押すことを終了する。この場合、第1部材10に発生する復元力によって、第1部材10が変形前の形状に戻る。これにより、第2部材12が、第1部材10と接触しなくなる。このとき、第2部材12に発生する復元力によって第2部材12が、変形前の形状に戻る。この場合、第2部材12の上面に設けられているセンサ13が、センサ13に発生する復元力によって変形前の形状に戻るように変形する。このとき、圧電フィルム131は、負の電荷を発生する。センサ13が変形前の形状に戻ったとき、圧電フィルム131は、負の電荷を発生しなくなる。結果、図6に示すように、時刻t2から時刻t3の間において、センサ13は、基準電位VEに対して負の極性を有する信号Sigを発生する。 The user 200 finishes pushing the first member 10 in the vertical direction. In this case, the restoring force generated in the first member 10 causes the first member 10 to return to its pre-deformation shape. Thereby, the second member 12 no longer comes into contact with the first member 10. At this time, the restoring force generated in the second member 12 causes the second member 12 to return to its pre-deformation shape. In this case, the sensor 13 provided on the upper surface of the second member 12 is deformed so as to return to its original shape due to the restoring force generated in the sensor 13. At this time, the piezoelectric film 131 generates negative charges. When the sensor 13 returns to its pre-deformed shape, the piezoelectric film 131 no longer generates negative charges. As a result, as shown in FIG. 6, between time t2 and time t3, the sensor 13 generates a signal Sig having a negative polarity with respect to the reference potential VE.
 (効果)
 センサモジュール1によれば、センサ13が出力する信号Sigにノイズが含まれにくくなる。例えば、ユーザ200がセンサモジュール1を落下させた場合、センサモジュール1は、床等に衝突する。これにより、第1部材10に衝撃が加わる。第1部材10に加わった衝撃によって第1部材10が弾性変形する。ここで、センサモジュール1において、第1部材10とセンサ13との間の距離は、第1部材10と第2部材12との間の距離より長い。第1部材10とセンサ13との間の距離が第1部材10と第2部材12との間の距離より長いため、落下等の衝撃により第1部材10が弾性変形してもセンサ13に第1部材10の変形が伝わりにくい。結果、センサが第1部材に設けられているセンサモジュールと比較して、センサモジュール1におけるセンサ13が出力する信号Sigにノイズが含まれにくくなる。
(effect)
According to the sensor module 1, the signal Sig output by the sensor 13 is less likely to contain noise. For example, when the user 200 drops the sensor module 1, the sensor module 1 collides with the floor or the like. As a result, an impact is applied to the first member 10. The first member 10 is elastically deformed by the impact applied to the first member 10. Here, in the sensor module 1, the distance between the first member 10 and the sensor 13 is longer than the distance between the first member 10 and the second member 12. Since the distance between the first member 10 and the sensor 13 is longer than the distance between the first member 10 and the second member 12, even if the first member 10 is elastically deformed due to an impact such as falling, the sensor 13 is The deformation of one member 10 is difficult to be transmitted. As a result, the signal Sig output by the sensor 13 in the sensor module 1 is less likely to contain noise, compared to a sensor module in which the sensor is provided in the first member.
 センサモジュール1によれば、センサ13が出力する信号Sigにノイズが含まれにくくなる。例えば、落下等の衝撃により第1部材10に力が加わった場合、第1部材10が弾性変形する。ここで、センサモジュール1において第1部材10が弾性変形していない状態において、第2部材12は、第1部材10から離隔している。従って、落下等の衝撃により第1部材10が弾性変形したとき、第1部材10が、第2部材12に接触しにくい。従って、センサモジュール1が落下等したときに発生した力によって第2部材12が弾性変形しにくい。これにより、第2部材12に設けられているセンサ13が弾性変形しにくい。従って、落下等の原因によりセンサ13が弾性変形しにくくなる。結果、センサ13が出力する信号Sigにノイズが含まれにくくなる。 According to the sensor module 1, the signal Sig output by the sensor 13 is less likely to contain noise. For example, when a force is applied to the first member 10 due to an impact such as a fall, the first member 10 is elastically deformed. Here, in a state where the first member 10 is not elastically deformed in the sensor module 1, the second member 12 is separated from the first member 10. Therefore, when the first member 10 is elastically deformed due to impact such as falling, the first member 10 is unlikely to come into contact with the second member 12. Therefore, the second member 12 is unlikely to be elastically deformed by the force generated when the sensor module 1 is dropped or the like. This makes it difficult for the sensor 13 provided on the second member 12 to be elastically deformed. Therefore, the sensor 13 is less likely to be elastically deformed due to causes such as falling. As a result, the signal Sig output by the sensor 13 is less likely to contain noise.
 センサモジュール1では、第2部材12及びセンサ13は、第1部材10内に位置している。第1部材10が有するヤング率は、第2部材12が有するヤング率より高い。従って、センサモジュール1に衝撃が加わった場合、第1部材10内に位置している第2部材12及びセンサ13に衝撃が加わりにくい。従って、センサ13が出力する信号Sigにノイズが含まれにくくなる。 In the sensor module 1, the second member 12 and the sensor 13 are located within the first member 10. The Young's modulus of the first member 10 is higher than that of the second member 12. Therefore, when an impact is applied to the sensor module 1, the impact is unlikely to be applied to the second member 12 and the sensor 13 located within the first member 10. Therefore, the signal Sig output by the sensor 13 is less likely to contain noise.
 センサモジュール1によれば、センサ13が第2部材12の変形を検知しやすくなる。具体的には、第2部材12が有するヤング率は、第1部材10が有するヤング率より低い。従って、第1部材10が弾性変形することによって第2部材12が弾性変形したとき、第2部材12の変形量は、第1部材10の変形量よりも大きくなりやすい。センサ13は、第1部材10よりも変形量の大きい第2部材12に接触している。従って、センサモジュール1におけるセンサ13の出力値は、第1部材にセンサが設けられているセンサモジュールにおけるセンサの出力値と比較して、大きくなりやすい。 According to the sensor module 1, the sensor 13 can easily detect deformation of the second member 12. Specifically, the Young's modulus of the second member 12 is lower than that of the first member 10. Therefore, when the second member 12 is elastically deformed due to the elastic deformation of the first member 10, the amount of deformation of the second member 12 tends to be larger than the amount of deformation of the first member 10. The sensor 13 is in contact with the second member 12, which has a larger amount of deformation than the first member 10. Therefore, the output value of the sensor 13 in the sensor module 1 tends to be larger than the output value of the sensor in a sensor module in which the sensor is provided in the first member.
 センサモジュール1では、第1部材10が弾性変形したとき、中心軸線CAXより右に位置している第1接触部CP1と、中心軸線CAXより左に位置している第2接触部CP2とが、第2部材12と接触する。例えば、第1接触部CP1によって第2部材12の右上の角部PE1には、左下方向の力Pw1が加わる。これにより、第2部材12の上面が左下方向に引っ張られる。加えて、第2接触部CP2によって第2部材12の左上の角部PE2には、右下方向の力Pw2が加わる。これにより、第2部材12の上面が右下方向に引っ張られる。つまり、第1接触部CP1及び第2接触部CP2によって第2部材12の上面は、左下方向及び右下方向の両方に伸張される。これにより、第2部材12の上面の変形量は、第1部材10の変形量よりも大きくなり易い。センサ13は、第1部材10よりも変形量の大きい第2部材12の上面に接触している。この場合、センサモジュール1におけるセンサ13の出力値は、第1部材にセンサが設けられているセンサモジュールにおけるセンサの出力値と比較して、大きくなりやすい。従って、センサモジュール1によれば、センサ13が第2部材12の変形を検知しやすくなる。 In the sensor module 1, when the first member 10 is elastically deformed, the first contact portion CP1 located to the right of the central axis CAX and the second contact portion CP2 located to the left of the central axis CAX, Contact with the second member 12 . For example, a force Pw1 in the lower left direction is applied to the upper right corner PE1 of the second member 12 by the first contact portion CP1. As a result, the upper surface of the second member 12 is pulled in the lower left direction. In addition, a force Pw2 in the lower right direction is applied to the upper left corner PE2 of the second member 12 by the second contact portion CP2. As a result, the upper surface of the second member 12 is pulled in the lower right direction. That is, the upper surface of the second member 12 is extended both in the lower left direction and the lower right direction by the first contact part CP1 and the second contact part CP2. As a result, the amount of deformation of the upper surface of the second member 12 tends to be larger than the amount of deformation of the first member 10. The sensor 13 is in contact with the upper surface of the second member 12, which has a larger amount of deformation than the first member 10. In this case, the output value of the sensor 13 in the sensor module 1 tends to be larger than the output value of the sensor in a sensor module in which the sensor is provided in the first member. Therefore, according to the sensor module 1, the sensor 13 can easily detect the deformation of the second member 12.
 センサモジュール1は、第2部材12及びセンサ13を支持している支持部材11を備えている。これにより、センサ13が安定する。つまり、センサモジュール1に加わる衝撃によって、センサ13が、振動しにくくなる。従って、センサ13が出力する信号Sigにノイズが含まれにくくなる。 The sensor module 1 includes a support member 11 that supports a second member 12 and a sensor 13. This stabilizes the sensor 13. In other words, the sensor 13 becomes less likely to vibrate due to the impact applied to the sensor module 1. Therefore, the signal Sig output by the sensor 13 is less likely to contain noise.
 第1部材10が弾性変形していない状態において、第2部材12及びセンサ13は、第1部材と接触していない。支持部材11は、第2部材12及びセンサ13を支持している。この場合、第1部材10に加わった振動は支持部材11を介してセンサ13に伝わることになる。従って、第2部材が第1部材と直接接触しているセンサモジュールと比較して、センサ13が出力する信号Sigにノイズが含まれにくくなる。 In a state where the first member 10 is not elastically deformed, the second member 12 and the sensor 13 are not in contact with the first member. The support member 11 supports the second member 12 and the sensor 13. In this case, the vibration applied to the first member 10 will be transmitted to the sensor 13 via the support member 11. Therefore, compared to a sensor module in which the second member is in direct contact with the first member, the signal Sig output by the sensor 13 is less likely to contain noise.
 センサモジュール1において、支持部材11は、第1部材10の内周面ISに固定されている。これにより、支持部材11と、支持部材11に固定されている第2部材12とが、安定する。つまり、支持部材11及び第2部材12が、振動しにくくなる。 In the sensor module 1, the support member 11 is fixed to the inner peripheral surface IS of the first member 10. Thereby, the support member 11 and the second member 12 fixed to the support member 11 are stabilized. In other words, the support member 11 and the second member 12 are less likely to vibrate.
 [センサモジュール1のその他の動作例1]
 以下、センサモジュール1のその他の動作例1について図面を参照しながら説明する。図7は、第1部材10が左右方向に弾性変形したときを示す図である。図8は、第1部材10が左右方向に弾性変形したときに、センサ13から出力される信号Sigを示す図である。図8は、ユーザ200が第1部材10を繰り返して左右方向に弾性変形させたときを示す。図8において、時刻t1は、第1部材10に加わった外力によって第1部材10が弾性変形し始めた時刻である。図8において、時刻t2は、第1部材10に加わる復元力によって変形前の形状に戻り始めた時刻である。図8において、時刻t3は、センサ13が変形前の形状に戻った時刻である。
[Other operation examples 1 of sensor module 1]
Hereinafter, another example of operation of the sensor module 1 will be described with reference to the drawings. FIG. 7 is a diagram showing the first member 10 being elastically deformed in the left-right direction. FIG. 8 is a diagram showing a signal Sig output from the sensor 13 when the first member 10 is elastically deformed in the left-right direction. FIG. 8 shows a case where the user 200 repeatedly elastically deforms the first member 10 in the left-right direction. In FIG. 8, time t1 is the time when the first member 10 begins to be elastically deformed by the external force applied to the first member 10. In FIG. 8, time t2 is the time when the first member 10 begins to return to its pre-deformation shape due to the restoring force. In FIG. 8, time t3 is the time when the sensor 13 returns to its pre-deformation shape.
 センサモジュール1は、上下方向以外の方向にも弾性変形する。例えば、センサモジュール1は、図7に示すように、左右方向に弾性変形する。具体的には、第1部材10は、中心軸線CAXより右に位置している右部RPと、中心軸線CAXより左に位置している左部LPとを有している。右部RPは、左方向に弾性変形可能であり、且つ、左部LPは、右方向に弾性変形可能である。例えば、ユーザ200は、ユーザ200の指によって右部RP及び左部LPを挟む。これにより、右部RPに左方向の力が加わる。このため、右部RPが左方向に弾性変形する。従って、第1部材10が弾性変形した場合、右部RPは、左方向に弾性変形する。また、左部LPに右方向の力が加わる。このため、左部LPが右方向に弾性変形する。従って、第1部材10が弾性変形した場合、左部LPは右方向に弾性変形する。 The sensor module 1 is elastically deformed in directions other than the vertical direction. For example, the sensor module 1 is elastically deformed in the left-right direction, as shown in FIG. Specifically, the first member 10 has a right part RP located to the right of the central axis CAX and a left part LP located to the left of the central axis CAX. The right portion RP is elastically deformable in the left direction, and the left portion LP is elastically deformable in the right direction. For example, the user 200 holds the right part RP and the left part LP between the user's 200 fingers. As a result, a leftward force is applied to the right portion RP. Therefore, the right portion RP is elastically deformed to the left. Therefore, when the first member 10 is elastically deformed, the right portion RP is elastically deformed to the left. Further, a rightward force is applied to the left portion LP. Therefore, the left portion LP is elastically deformed in the right direction. Therefore, when the first member 10 is elastically deformed, the left portion LP is elastically deformed in the right direction.
 第1部材10が左右方向に弾性変形した場合、センサ13は、基準電位VEに対して負の極性を有する信号Sigを発生する。具体的には、ユーザ200が、左部LPを右方向に弾性変形させ、且つ、右部RPを左方向に弾性変形させる。これにより、第1接触部CP1は、図7に示すように、第2部材12の右上の角部PE1と接触する。このとき、第2部材12の上部に第1接触部CP1によって左方向の力Pw3が加わる。また、第2接触部CP2は、第2部材12の左上の角部PE2と接触する。このとき、第2部材12の上部に、第2接触部CP2によって右方向の力Pw4が加わる。力Pw3及び力Pw4によって、第2部材12の上部が左右方向に圧縮される。第2部材12の上部が左右方向に圧縮されることによって、第2部材12の下部に第2部材12の下部を左右方向に伸張させる力が加わる。この場合、第2部材12の上面が下方向に突出するように湾曲する。これにより、第2部材12の上面に設けられているセンサ13が左右方向に圧縮する。従って、圧電フィルム131は、負の電荷を発生する。センサ13の左右方向への圧縮が停止したとき、圧電フィルム131は、負の電荷を発生しなくなる。結果、図8に示すように、時刻t1から時刻t2の間において、センサ13は、基準電位VEに対して負の極性を有する信号Sigを発生する。 When the first member 10 is elastically deformed in the left-right direction, the sensor 13 generates a signal Sig having a negative polarity with respect to the reference potential VE. Specifically, the user 200 elastically deforms the left portion LP in the right direction and elastically deforms the right portion RP in the left direction. Thereby, the first contact portion CP1 comes into contact with the upper right corner PE1 of the second member 12, as shown in FIG. At this time, a leftward force Pw3 is applied to the upper part of the second member 12 by the first contact portion CP1. Further, the second contact portion CP2 contacts the upper left corner PE2 of the second member 12. At this time, a rightward force Pw4 is applied to the upper part of the second member 12 by the second contact portion CP2. The upper part of the second member 12 is compressed in the left-right direction by the force Pw3 and the force Pw4. By compressing the upper part of the second member 12 in the left-right direction, a force is applied to the lower part of the second member 12 that causes the lower part of the second member 12 to expand in the left-right direction. In this case, the upper surface of the second member 12 is curved so as to protrude downward. As a result, the sensor 13 provided on the upper surface of the second member 12 is compressed in the left-right direction. Therefore, the piezoelectric film 131 generates negative charges. When the sensor 13 stops being compressed in the left-right direction, the piezoelectric film 131 no longer generates negative charges. As a result, as shown in FIG. 8, between time t1 and time t2, the sensor 13 generates a signal Sig having a negative polarity with respect to the reference potential VE.
 ユーザ200は、第1部材10を左右方向に押すことを終了する。この場合、第1部材10に発生する復元力によって、第1部材10が変形前の形状に戻る。これにより、第2部材12の上面に設けられているセンサ13が、センサ13に発生する復元力によって変形前の形状に戻ろうとする。このとき、圧電フィルム131は、正の電荷を発生する。センサ13が変形前の形状に戻ったとき、圧電フィルム131は、正の電荷を発生しなくなる。結果、図8に示すように、時刻t2から時刻t3の間において、センサ13は、基準電位VEに対して正の極性を有する信号Sigを発生する。 The user 200 finishes pushing the first member 10 in the left and right direction. In this case, the restoring force generated in the first member 10 causes the first member 10 to return to its pre-deformation shape. As a result, the sensor 13 provided on the upper surface of the second member 12 attempts to return to its pre-deformation shape due to the restoring force generated in the sensor 13. At this time, the piezoelectric film 131 generates positive charges. When the sensor 13 returns to its pre-deformed shape, the piezoelectric film 131 no longer generates positive charges. As a result, as shown in FIG. 8, between time t2 and time t3, the sensor 13 generates a signal Sig having a positive polarity with respect to the reference potential VE.
 [センサモジュール1のその他の動作例2]
 以下、センサモジュール1のその他の動作例2について図面を参照しながら説明する。図9は、第1部材10の上部UP且つ右部RPが左下方向に弾性変形したときに、センサ13から出力される信号Sigを示す図である。図9において、時刻t1は、ユーザ200が第1部材10を押すことを開始した時刻である。
[Other operation example 2 of sensor module 1]
Hereinafter, another example 2 of the operation of the sensor module 1 will be described with reference to the drawings. FIG. 9 is a diagram showing a signal Sig output from the sensor 13 when the upper part UP and right part RP of the first member 10 is elastically deformed in the lower left direction. In FIG. 9, time t1 is the time when the user 200 starts pushing the first member 10.
 第1部材10は、上下方向又は左右方向以外の方向に弾性変形する場合がある。第1部材10が上下方向又は左右方向以外の方向に弾性変形した場合にセンサ13から出力される信号Sigの大きさは、第1部材10が上下方向又は左右方向に弾性変形した場合にセンサ13から出力される信号Sigの大きさよりも、小さい。例えば、センサモジュール1においてユーザ200が第1部材10の上部UP且つ右部RPを左下方向に弾性変形させる。このとき、角部PE1は、第1接触部CP1によって左方向且つ下方向に弾性変形する。この場合、第2部材12の後面には、第2部材12の後面を左方向に圧縮させる力と第2部材12の後面を右方向に伸張させる力とが加わる。加えて、角部PE2には、第2部材12の後面を伸張又は圧縮させる力が加わらない。従って、第2部材12の後面が左右方向に伸張又は圧縮しにくい。結果、第2部材12の後面に設けられているセンサ13が弾性変形しにくくなる。従って、例えば、図9に示すように、第1部材10の上部UP且つ右部RPが左下方向に弾性変形したときにセンサ13から出力される信号Sigの大きさは、第1部材10が上下方向又は左右方向に弾性変形したときにセンサ13から出力される信号Sigの大きさの1/2以下である。 The first member 10 may be elastically deformed in directions other than the up-down direction or the left-right direction. The magnitude of the signal Sig output from the sensor 13 when the first member 10 is elastically deformed in a direction other than the vertical direction or the horizontal direction is It is smaller than the magnitude of the signal Sig output from the . For example, in the sensor module 1, the user 200 elastically deforms the upper part UP and right part RP of the first member 10 in the lower left direction. At this time, the corner PE1 is elastically deformed leftward and downward by the first contact portion CP1. In this case, a force that compresses the rear surface of the second member 12 leftward and a force that stretches the rear surface of the second member 12 rightward are applied to the rear surface of the second member 12 . In addition, no force that stretches or compresses the rear surface of the second member 12 is applied to the corner PE2. Therefore, the rear surface of the second member 12 is difficult to expand or compress in the left-right direction. As a result, the sensor 13 provided on the rear surface of the second member 12 becomes less likely to be elastically deformed. Therefore, for example, as shown in FIG. 9, the magnitude of the signal Sig output from the sensor 13 when the upper part UP and right part RP of the first member 10 is elastically deformed in the lower left direction is This is less than 1/2 of the magnitude of the signal Sig output from the sensor 13 when the sensor 13 is elastically deformed in the direction or in the left-right direction.
 [変形例1]
 以下、変形例1に係るセンサモジュール1aについて図面を参照しながら説明する。図10は、変形例1に係るセンサモジュール1aを示す図である。
[Modification 1]
Hereinafter, a sensor module 1a according to modification 1 will be described with reference to the drawings. FIG. 10 is a diagram showing a sensor module 1a according to modification 1.
 センサモジュール1aは、センサ13が第2部材12の上面以外に設けられている点でセンサモジュール1と異なる。センサモジュール1aにおいて、センサ13は、第2部材12の側面に位置している。例えば、図10に示すように、センサモジュール1aにおいてセンサ13は、第2部材12の右面に設けられている。このようなセンサモジュール1aは、センサモジュール1と同様の効果を奏する。 The sensor module 1a differs from the sensor module 1 in that the sensor 13 is provided on a surface other than the top surface of the second member 12. In the sensor module 1a, the sensor 13 is located on the side surface of the second member 12. For example, as shown in FIG. 10, the sensor 13 is provided on the right side of the second member 12 in the sensor module 1a. Such a sensor module 1a has the same effects as the sensor module 1.
 [変形例2]
 以下、変形例2に係るセンサモジュール1b1,1b2について図面を参照しながら説明する。図11は、変形例2に係るセンサモジュール1b1を示す図である。図12は、変形例2に係るセンサモジュール1b2を示す図である。
[Modification 2]
Hereinafter, sensor modules 1b1 and 1b2 according to modification 2 will be described with reference to the drawings. FIG. 11 is a diagram showing a sensor module 1b1 according to a second modification. FIG. 12 is a diagram showing a sensor module 1b2 according to modification 2.
 センサモジュール1b1,1b2のそれぞれは、第1部材10と形状の異なる第1部材10b1,10b2を備えている点でセンサモジュール1と異なる。第1部材10b1,10b2は、前後方向に見て、多角形状である。例えば、図11に示すように、第1部材10b1は、前後方向に見て、三角形状である。例えば、図12に示すように、第1部材10b2は、前後方向に見て、八角形状である。その他、第1部材は、前後方向に見て、半円状であってもよい。このようなセンサモジュール1b1,1b2は、センサモジュール1と同様の効果を奏する。 Each of the sensor modules 1b1 and 1b2 differs from the sensor module 1 in that each of the sensor modules 1b1 and 1b2 includes a first member 10b1 and 10b2 having a different shape from the first member 10. The first members 10b1 and 10b2 have a polygonal shape when viewed in the front-rear direction. For example, as shown in FIG. 11, the first member 10b1 has a triangular shape when viewed in the front-rear direction. For example, as shown in FIG. 12, the first member 10b2 has an octagonal shape when viewed in the front-rear direction. Alternatively, the first member may have a semicircular shape when viewed in the front-rear direction. Such sensor modules 1b1 and 1b2 have the same effects as the sensor module 1.
 [変形例3]
 以下、変形例3に係るセンサモジュール1cについて図面を参照しながら説明する。図13は、変形例3に係るセンサモジュール1cを示す図である。
[Modification 3]
Hereinafter, a sensor module 1c according to modification 3 will be described with reference to the drawings. FIG. 13 is a diagram showing a sensor module 1c according to modification example 3.
 センサモジュール1cは、図13に示すように、複数の突起TKを含んでいる第1部材10cを備えている点でセンサモジュール1と異なる。突起TKは、上部UPに設けられている。突起TKは、内周面ISから下方向に突出している。突起TKは、第2部材12の上に位置している。第1部材10cが弾性変形した場合、突起TKが第2部材12と接触する。このようなセンサモジュール1cは、センサモジュール1と同様の効果を奏する。 As shown in FIG. 13, the sensor module 1c differs from the sensor module 1 in that it includes a first member 10c that includes a plurality of protrusions TK. The protrusion TK is provided on the upper part UP. The protrusion TK protrudes downward from the inner circumferential surface IS. The protrusion TK is located on the second member 12. When the first member 10c is elastically deformed, the protrusion TK comes into contact with the second member 12. Such a sensor module 1c has the same effects as the sensor module 1.
 [変形例4]
 以下、変形例4に係るセンサモジュール1dについて図面を参照しながら説明する。図14は、変形例4に係るセンサモジュール1dを示す図である。
[Modification 4]
Hereinafter, a sensor module 1d according to modification 4 will be described with reference to the drawings. FIG. 14 is a diagram showing a sensor module 1d according to modification example 4.
 センサモジュール1dは、第1部材10と形状の異なる第1部材10dを備えている点で、センサモジュール1と異なる。例えば、図14に示すように、第1部材10dの上部UPの上下方向における厚みは、第1部材10dの下部DPの上下方向における厚みより大きい。このようなセンサモジュール1dは、センサモジュール1と同様の効果を奏する。 The sensor module 1d differs from the sensor module 1 in that it includes a first member 10d that has a different shape from the first member 10. For example, as shown in FIG. 14, the thickness of the upper portion UP of the first member 10d in the vertical direction is larger than the thickness of the lower portion DP of the first member 10d in the vertical direction. Such a sensor module 1d has the same effects as the sensor module 1.
 [変形例5]
 以下、変形例5に係るセンサモジュール1eについて図面を参照しながら説明する。図15は、変形例5に係るセンサモジュール1eを示す図である。
[Modification 5]
Hereinafter, a sensor module 1e according to modification 5 will be described with reference to the drawings. FIG. 15 is a diagram showing a sensor module 1e according to modification 5.
 図15に示すように、センサモジュール1eは、第2部材12と大きさの異なる第2部材12eを備えている点で、センサモジュール1と異なる。具体的には、第2部材12eの左右方向における長さは、第1部材10の半径よりも短い。前後方向に見て、第2部材12eは、中心軸線CAXより左に位置している。 As shown in FIG. 15, the sensor module 1e differs from the sensor module 1 in that it includes a second member 12e that is different in size from the second member 12. Specifically, the length of the second member 12e in the left-right direction is shorter than the radius of the first member 10. When viewed in the front-rear direction, the second member 12e is located to the left of the central axis CAX.
 センサモジュール1eによれば、例えば、センサモジュール1eの上部UP且つ左部LPが右方向又は下方向に弾性変形した場合のみ、センサ13が、第2部材12eの変形を検知することが出来る。 According to the sensor module 1e, the sensor 13 can detect the deformation of the second member 12e only when, for example, the upper part UP and left part LP of the sensor module 1e is elastically deformed in the rightward or downward direction.
 [変形例6]
 以下、変形例6に係るセンサモジュール1fについて図面を参照しながら説明する。図16は、変形例6に係るセンサモジュール1fを示す図である。図16において、第2部材12を透視している。センサモジュール1fは、図16に示すように、センサ13が第2部材12内に位置している点でセンサモジュール1と異なる。このようなセンサモジュール1fは、センサモジュール1と同様の効果を奏する。
[Modification 6]
Hereinafter, a sensor module 1f according to modification 6 will be described with reference to the drawings. FIG. 16 is a diagram showing a sensor module 1f according to modification 6. In FIG. 16, the second member 12 is seen through. The sensor module 1f differs from the sensor module 1 in that the sensor 13 is located within the second member 12, as shown in FIG. Such a sensor module 1f has the same effects as the sensor module 1.
 [変形例7]
 以下、変形例7に係るセンサモジュール1g1,1g2について図面を参照しながら説明する。図17は、変形例7に係るセンサモジュール1g1を示す図である。図18は、変形例7に係るセンサモジュール1g2を示す図である。なお、図17及び図18において、支持部材11の記載を省略している。
[Modification 7]
Hereinafter, sensor modules 1g1 and 1g2 according to modification 7 will be described with reference to the drawings. FIG. 17 is a diagram showing a sensor module 1g1 according to modification example 7. FIG. 18 is a diagram showing a sensor module 1g2 according to modification example 7. Note that in FIGS. 17 and 18, illustration of the support member 11 is omitted.
 センサモジュール1g1,1g2のそれぞれは、第1部材10と形状の異なる第1部材10g1,10g2を備えている点で、センサモジュール1と異なる。 Each of the sensor modules 1g1 and 1g2 differs from the sensor module 1 in that each of the sensor modules 1g1 and 1g2 includes a first member 10g1 and 10g2 having a different shape from the first member 10.
 第1部材10g1は、図17に示すように、上下方向に並んでいる上主面及び下主面を有している板形状である。本変形例において、第2部材12は、第1部材10g1と接触している。第2部材12の上面は、第1部材10g1によって覆われている。第2部材12は、第1部材10g1とセンサ13との間に位置している。 As shown in FIG. 17, the first member 10g1 has a plate shape having an upper main surface and a lower main surface that are aligned in the vertical direction. In this modification, the second member 12 is in contact with the first member 10g1. The upper surface of the second member 12 is covered by the first member 10g1. The second member 12 is located between the first member 10g1 and the sensor 13.
 第1部材10g2は、図18に示すように、左右方向に並んでいる左主面及び右主面を有している板形状である。第1部材10g2の上下方向における長さは、第1部材10g2の左右方向における長さより長くても良いし、同じでも良い。本変形例において、第2部材12は、第1部材10g2と接触している。第2部材12の左右方向における中央及び中央近傍が、第1部材10g2の下端と接触している。第2部材12は、第1部材10g2とセンサ13との間に位置している。第2部材12の左右方向における長さは、第1部材10g2の左右方向における長さよりも長い。 As shown in FIG. 18, the first member 10g2 has a plate shape having a left main surface and a right main surface that are aligned in the left-right direction. The length of the first member 10g2 in the vertical direction may be longer than or the same as the length of the first member 10g2 in the horizontal direction. In this modification, the second member 12 is in contact with the first member 10g2. The center and the vicinity of the center in the left-right direction of the second member 12 are in contact with the lower end of the first member 10g2. The second member 12 is located between the first member 10g2 and the sensor 13. The length of the second member 12 in the left-right direction is longer than the length of the first member 10g2 in the left-right direction.
 (効果)
 センサモジュール1g1によれば、センサ13が出力する信号Sigにノイズが含まれにくくなる。例えば、ユーザ200がセンサモジュール1g1を落下させた場合、センサモジュール1g1は、床等に衝突する。これにより、第1部材10g1に衝撃が加わる。第1部材10g1に加わった衝撃によって第1部材10g1が弾性変形する。ここで、センサモジュール1g1において、第1部材10g1とセンサ13との間の距離は、第1部材10と第2部材12との間の距離より長い。第1部材10g1とセンサ13との間の距離が第1部材10g1と第2部材12との間の距離より長いため、落下等の衝撃により第1部材10g1が弾性変形しても、センサ13に第1部材10g1の変形によって生じる力が伝わりにくい。結果、センサが第1部材に設けられているセンサモジュールと比較して、センサモジュール1g1におけるセンサ13が出力する信号Sigにノイズが含まれにくくなる。同様の理由により、センサモジュール1g2によれば、センサ13が出力する信号Sigにノイズが含まれにくくなる。
(effect)
According to the sensor module 1g1, the signal Sig output from the sensor 13 is less likely to contain noise. For example, when the user 200 drops the sensor module 1g1, the sensor module 1g1 collides with the floor or the like. As a result, an impact is applied to the first member 10g1. The first member 10g1 is elastically deformed by the impact applied to the first member 10g1. Here, in the sensor module 1g1, the distance between the first member 10g1 and the sensor 13 is longer than the distance between the first member 10 and the second member 12. Since the distance between the first member 10g1 and the sensor 13 is longer than the distance between the first member 10g1 and the second member 12, even if the first member 10g1 is elastically deformed due to impact such as falling, the sensor 13 It is difficult for the force generated by the deformation of the first member 10g1 to be transmitted. As a result, noise is less likely to be included in the signal Sig output by the sensor 13 in the sensor module 1g1, compared to a sensor module in which the sensor is provided in the first member. For the same reason, according to the sensor module 1g2, the signal Sig output from the sensor 13 is less likely to contain noise.
 センサモジュール1g1によれば、センサ13が第2部材12の変形を検知しやすくなる。具体的には、センサモジュール1g1において、第2部材12が有するヤング率は、第1部材10g1が有するヤング率より低い。従って、第1部材10g1が弾性変形することによって第2部材12が弾性変形した場合、第2部材12の変形量は、第1部材10g1の変形量よりも大きくなりやすい。センサ13は、第1部材10g1の後面よりも変形量の大きい第2部材12の後面に接触している。従って、センサモジュール1g1におけるセンサ13の出力値は、第1部材にセンサが設けられているセンサモジュールにおけるセンサの出力値と比較して、大きくなりやすい。同様の理由により、センサモジュール1g2によれば、センサ13が第2部材12の変形を検知しやすくなる。 According to the sensor module 1g1, the sensor 13 can easily detect the deformation of the second member 12. Specifically, in the sensor module 1g1, the Young's modulus of the second member 12 is lower than the Young's modulus of the first member 10g1. Therefore, when the second member 12 is elastically deformed due to the elastic deformation of the first member 10g1, the amount of deformation of the second member 12 tends to be larger than the amount of deformation of the first member 10g1. The sensor 13 is in contact with the rear surface of the second member 12, which has a larger amount of deformation than the rear surface of the first member 10g1. Therefore, the output value of the sensor 13 in the sensor module 1g1 tends to be larger than the output value of the sensor in the sensor module in which the sensor is provided in the first member. For the same reason, according to the sensor module 1g2, the sensor 13 can easily detect the deformation of the second member 12.
 センサモジュール1g1において、センサ13は、第1部材10g1と接触していない。センサ13は、第1部材10g1と接触している第2部材12と接触している。この場合、第1部材10g1に加わった振動は第2部材12を介してセンサ13に伝わる。ここで、第2部材12が有するヤング率は、第1部材10g1が有するヤング率よりも低い。これにより、低いヤング率を有する第2部材12は、防振効果を有する。従って、第1部材10g1に加わった場合、高い周波数を有する振動は、第2部材12によって減衰する。結果、センサ13が出力する信号Sigに高周波数を有するノイズが含まれにくくなる。 In the sensor module 1g1, the sensor 13 is not in contact with the first member 10g1. The sensor 13 is in contact with the second member 12, which is in contact with the first member 10g1. In this case, the vibration applied to the first member 10g1 is transmitted to the sensor 13 via the second member 12. Here, the Young's modulus of the second member 12 is lower than that of the first member 10g1. Thereby, the second member 12 having a low Young's modulus has an anti-vibration effect. Therefore, when applied to the first member 10g1, vibrations having a high frequency are attenuated by the second member 12. As a result, the signal Sig output by the sensor 13 is less likely to contain high-frequency noise.
 [その他の実施形態]
 本発明に係るセンサモジュールは、センサモジュール1,1a,1b1,1b2,1c,1d,1e,1f,1g1,1g2に限らず、その要旨の範囲において変更可能である。また、センサモジュール1,1a,1b1,1b2,1c,1d,1e,1f,1g1,1g2の構成を任意に組み合わせてもよい。
[Other embodiments]
The sensor module according to the present invention is not limited to the sensor modules 1, 1a, 1b1, 1b2, 1c, 1d, 1e, 1f, 1g1, and 1g2, and can be modified within the scope of the gist. Furthermore, the configurations of the sensor modules 1, 1a, 1b1, 1b2, 1c, 1d, 1e, 1f, 1g1, and 1g2 may be combined arbitrarily.
 第2部材12,12eは、防振効果を有していてもよい。これにより、センサ13は、特定の周波数以上の周波数を有する振動を検知しなくなる。この場合、第2部材12,12eは、空気ばね、金属コイルスプリング、防振ゴム、又は、ゴムパッド等である。例えば、空気ばねは、1Hz以上の周波数を有する振動を減衰する。例えば、金属コイルスプリングは、5Hz以上の周波数を有する振動を減衰する。例えば、防振ゴムは、20Hz以上の周波数を有する振動を減衰する。例えば、ゴムパッドは、30Hz以上の周波数を有する振動を減衰する。 The second members 12, 12e may have an anti-vibration effect. As a result, the sensor 13 no longer detects vibrations having a frequency higher than a specific frequency. In this case, the second members 12, 12e are air springs, metal coil springs, anti-vibration rubber, rubber pads, or the like. For example, air springs dampen vibrations having frequencies of 1 Hz or higher. For example, metal coil springs dampen vibrations having frequencies of 5 Hz or higher. For example, anti-vibration rubber damps vibrations having frequencies of 20 Hz or higher. For example, rubber pads dampen vibrations having frequencies of 30 Hz or higher.
 なお、センサモジュール1aにおいて、センサ13は、第2部材12の左面、前面又は後面に設けられていてもよい。 Note that in the sensor module 1a, the sensor 13 may be provided on the left surface, front surface, or rear surface of the second member 12.
 なお、第1部材10の材料は、必ずしも、マグネシウム合金でなくてよい。また、第1部材10の材料は、必ずしも、金属でなくてもよい。 Note that the material of the first member 10 does not necessarily have to be a magnesium alloy. Moreover, the material of the first member 10 does not necessarily have to be metal.
 なお、センサモジュール1eにおいて、第2部材12eは、前後方向に見て、中心軸線CAXより右に位置していてもよい。 Note that in the sensor module 1e, the second member 12e may be located to the right of the central axis CAX when viewed in the front-rear direction.
 なお、センサモジュール1g1,1g2は、複数の第2部材12を備えていてもよい。 Note that the sensor modules 1g1 and 1g2 may include a plurality of second members 12.
 なお、センサモジュール1,1b1,1b2,1c,1dにおいて、第2部材12の左右方向における中心が第1部材10,10b1,10b2,10c,10dの左右方向における中心と一致している場合、センサ13は、角部PE1及び角部PE2に加わる力それぞれを、均等に検出し易くなる。 In addition, in the sensor modules 1, 1b1, 1b2, 1c, 1d, if the center of the second member 12 in the left-right direction coincides with the center of the first member 10, 10b1, 10b2, 10c, 10d in the left-right direction, the sensor 13 makes it easier to equally detect the forces applied to the corner PE1 and the corner PE2.
 本発明は、以下の構造を有する。 The present invention has the following structure.
 (1) 
 第1部材と、
 前記第1部材が有するヤング率より低いヤング率を有する第2部材と、
 前記第2部材の変形を検知するセンサであって、前記第2部材に接触しているセンサと、
 を備え、
 前記第1部材と前記センサとの間の距離は、前記第1部材と前記第2部材との間の距離より長い、
 センサモジュール。
(1)
a first member;
a second member having a Young's modulus lower than the Young's modulus of the first member;
a sensor for detecting deformation of the second member, the sensor being in contact with the second member;
Equipped with
The distance between the first member and the sensor is longer than the distance between the first member and the second member.
sensor module.
 (2) 
 前記第1部材は、弾性変形し、
 前記第1部材が弾性変形していない状態において、前記第2部材は、前記第1部材から離隔している、
 (1)に記載のセンサモジュール。
(2)
the first member is elastically deformed;
When the first member is not elastically deformed, the second member is separated from the first member.
The sensor module according to (1).
 (3) 
 前記第1部材は、弾性変形し、
 前記第1部材が弾性変形した場合、前記第2部材は、前記第1部材と接触する、
 (1)又は(2)に記載のセンサモジュール。
(3)
the first member is elastically deformed;
When the first member is elastically deformed, the second member comes into contact with the first member,
The sensor module according to (1) or (2).
 (4) 
 前記第1部材は、内周面及び外周面を含んでいる筒形状を有しており、
 前記第2部材及び前記センサは、前記第1部材内に位置しており、
 前記第1部材が弾性変形した場合、前記第2部材は、前記内周面と接触する、
 (1)から(3)のいずれかに記載のセンサモジュール。
(4)
The first member has a cylindrical shape including an inner peripheral surface and an outer peripheral surface,
the second member and the sensor are located within the first member;
When the first member is elastically deformed, the second member comes into contact with the inner circumferential surface.
The sensor module according to any one of (1) to (3).
 (5) 
 前記第1部材は、円筒形状である、
 (1)から(4)のいずれかに記載のセンサモジュール。
(5)
the first member has a cylindrical shape;
The sensor module according to any one of (1) to (4).
 (6) 
 前記第1部材は、前後方向に延びる中心軸線を有している筒形状を有しており、
 前記第1部材は、前記中心軸線より下に位置している下部と前記中心軸線より上に位置している上部とを有しており、
 前記上部は下方向に弾性変形可能であり、且つ、前記下部は上方向に弾性変形可能であり、
 前記センサと前記第2部材とは、上下方向に並んでいる、
 (1)から(5)のいずれかに記載のセンサモジュール。
(6)
The first member has a cylindrical shape with a central axis extending in the front-rear direction,
The first member has a lower part located below the central axis and an upper part located above the central axis,
The upper part is elastically deformable in a downward direction, and the lower part is elastically deformable in an upward direction.
the sensor and the second member are arranged in a vertical direction;
The sensor module according to any one of (1) to (5).
 (7) 
 前記上部は、前記中心軸線より右に位置している第1接触部と、前記中心軸線より左に位置している第2接触部と、を含んでおり、
 前記第1部材が弾性変形した場合、前記第1接触部及び前記第2接触部が、前記第2部材と接触する、
 (6)に記載のセンサモジュール。
(7)
The upper part includes a first contact part located to the right of the central axis, and a second contact part located to the left of the central axis,
When the first member is elastically deformed, the first contact portion and the second contact portion contact the second member;
The sensor module according to (6).
 (8) 
 前記第1部材は、前後方向に延びる中心軸線を有している筒形状を有しており、
 前記第1部材は、前記中心軸線より右に位置している右部と、前記中心軸線より左に位置している左部とを有しており、
 前記右部は左方向に弾性変形可能であり、且つ、前記左部は右方向に弾性変形可能であり、
 前記センサと前記第2部材とは、上下方向に並んでいる、
 (1)から(7)のいずれかに記載のセンサモジュール。
(8)
The first member has a cylindrical shape with a central axis extending in the front-rear direction,
The first member has a right part located to the right of the central axis, and a left part located to the left of the central axis,
The right part is elastically deformable in the left direction, and the left part is elastically deformable in the right direction,
the sensor and the second member are arranged in a vertical direction;
The sensor module according to any one of (1) to (7).
 (9) 
 前記第1部材は、前記中心軸線より下に位置している下部と前記中心軸線より上に位置している上部とを有しており、
 前記上部は、前記中心軸線より右に位置している第1接触部と、前記中心軸線より左に位置している第2接触部と、を含んでおり、
 前記第1部材が弾性変形した場合、前記第1接触部及び前記第2接触部は、前記第2部材と接触する、
 (1)から(8)のいずれかに記載のセンサモジュール。
(9)
The first member has a lower part located below the central axis and an upper part located above the central axis,
The upper part includes a first contact part located to the right of the central axis, and a second contact part located to the left of the central axis,
When the first member is elastically deformed, the first contact portion and the second contact portion contact the second member;
The sensor module according to any one of (1) to (8).
 (10) 
 前記第1部材は、前記第2部材と接触している、
 (1)に記載のセンサモジュール。
(10)
the first member is in contact with the second member,
The sensor module according to (1).
 (11) 
 前記第2部材は、前記第1部材と前記センサとの間に位置している、
 (10)に記載のセンサモジュール。
(11)
the second member is located between the first member and the sensor;
The sensor module according to (10).
 (12) 
 前記センサは、前記第2部材内に位置している、
 (1)から(11)のいずれかに記載のセンサモジュール。
(12)
the sensor is located within the second member;
The sensor module according to any one of (1) to (11).
 (13) 
 前記第2部材は、防振効果を有する、
 (1)から(12)のいずれかに記載のセンサモジュール。
(13)
The second member has an anti-vibration effect.
The sensor module according to any one of (1) to (12).
 (14) 
 前記センサモジュールは、前記第2部材及び前記センサを支持している支持部材を更に備えている、
 (1)から(9)のいずれかに記載のセンサモジュール。
(14)
The sensor module further includes a support member supporting the second member and the sensor.
The sensor module according to any one of (1) to (9).
 (15) 
 前記支持部材は、前記内周面に固定されている、
 (14)に記載のセンサモジュール。
(15)
the support member is fixed to the inner circumferential surface;
The sensor module according to (14).
 (16) 
 前記第1部材は、前後方向に延びる中心軸線を有している筒形状を有しており、
 前記第1部材は、前記中心軸線を軸として左右対称であり、
 前記第2部材及び前記センサは、前記第1部材内に位置している、
 (1)から(9)のいずれかに記載のセンサモジュール。
(16)
The first member has a cylindrical shape with a central axis extending in the front-rear direction,
The first member is symmetrical about the central axis,
the second member and the sensor are located within the first member;
The sensor module according to any one of (1) to (9).
1,1a,1b1,1b2,1c,1d,1e,1f,1g1,1g2:センサモジュール
10,10b1,10b2,10c,10d,10g1,10g2:第1部材
12,12e:第2部材
13:センサ
1, 1a, 1b1, 1b2, 1c, 1d, 1e, 1f, 1g1, 1g2: sensor module 10, 10b1, 10b2, 10c, 10d, 10g1, 10g2: first member 12, 12e: second member 13: sensor

Claims (16)

  1.  第1部材と、
     前記第1部材が有するヤング率より低いヤング率を有する第2部材と、
     前記第2部材の変形を検知するセンサであって、前記第2部材に接触しているセンサと、
     を備え、
     前記第1部材と前記センサとの間の距離は、前記第1部材と前記第2部材との間の距離より長い、
     センサモジュール。
    a first member;
    a second member having a Young's modulus lower than the Young's modulus of the first member;
    a sensor for detecting deformation of the second member, the sensor being in contact with the second member;
    Equipped with
    The distance between the first member and the sensor is longer than the distance between the first member and the second member.
    sensor module.
  2.  前記第1部材は、弾性変形し、
     前記第1部材が弾性変形していない状態において、前記第2部材は、前記第1部材から離隔している、
     請求項1に記載のセンサモジュール。
    the first member is elastically deformed;
    When the first member is not elastically deformed, the second member is separated from the first member.
    The sensor module according to claim 1.
  3.  前記第1部材は、弾性変形し、
     前記第1部材が弾性変形した場合、前記第2部材は、前記第1部材と接触する、
     請求項1又は請求項2に記載のセンサモジュール。
    the first member is elastically deformed;
    When the first member is elastically deformed, the second member comes into contact with the first member,
    The sensor module according to claim 1 or claim 2.
  4.  前記第1部材は、内周面及び外周面を含んでいる筒形状を有しており、
     前記第2部材及び前記センサは、前記第1部材内に位置しており、
     前記第1部材が弾性変形した場合、前記第2部材は、前記内周面と接触する、
     請求項1から請求項3のいずれかに記載のセンサモジュール。
    The first member has a cylindrical shape including an inner peripheral surface and an outer peripheral surface,
    the second member and the sensor are located within the first member;
    When the first member is elastically deformed, the second member comes into contact with the inner circumferential surface.
    The sensor module according to any one of claims 1 to 3.
  5.  前記第1部材は、円筒形状である、
     請求項1から請求項4のいずれかに記載のセンサモジュール。
    the first member has a cylindrical shape;
    The sensor module according to any one of claims 1 to 4.
  6.  前記第1部材は、前後方向に延びる中心軸線を有している筒形状を有しており、
     前記第1部材は、前記中心軸線より下に位置している下部と前記中心軸線より上に位置している上部とを有しており、
     前記上部は下方向に弾性変形可能であり、且つ、前記下部は上方向に弾性変形可能であり、
     前記センサと前記第2部材とは、上下方向に並んでいる、
     請求項1から請求項5のいずれかに記載のセンサモジュール。
    The first member has a cylindrical shape with a central axis extending in the front-rear direction,
    The first member has a lower part located below the central axis and an upper part located above the central axis,
    The upper part is elastically deformable in a downward direction, and the lower part is elastically deformable in an upward direction.
    the sensor and the second member are arranged in a vertical direction;
    The sensor module according to any one of claims 1 to 5.
  7.  前記上部は、前記中心軸線より右に位置している第1接触部と、前記中心軸線より左に位置している第2接触部と、を含んでおり、
     前記第1部材が弾性変形した場合、前記第1接触部及び前記第2接触部が、前記第2部材と接触する、
     請求項6に記載のセンサモジュール。
    The upper part includes a first contact part located to the right of the central axis, and a second contact part located to the left of the central axis,
    When the first member is elastically deformed, the first contact portion and the second contact portion contact the second member;
    The sensor module according to claim 6.
  8.  前記第1部材は、前後方向に延びる中心軸線を有している筒形状を有しており、
     前記第1部材は、前記中心軸線より右に位置している右部と、前記中心軸線より左に位置している左部とを有しており、
     前記右部は左方向に弾性変形可能であり、且つ、前記左部は右方向に弾性変形可能であり、
     前記センサと前記第2部材とは、上下方向に並んでいる、
     請求項1から請求項7のいずれかに記載のセンサモジュール。
    The first member has a cylindrical shape with a central axis extending in the front-rear direction,
    The first member has a right part located to the right of the central axis, and a left part located to the left of the central axis,
    The right part is elastically deformable in the left direction, and the left part is elastically deformable in the right direction,
    the sensor and the second member are arranged in a vertical direction;
    The sensor module according to any one of claims 1 to 7.
  9.  前記第1部材は、前記中心軸線より下に位置している下部と前記中心軸線より上に位置している上部とを有しており、
     前記上部は、前記中心軸線より右に位置している第1接触部と、前記中心軸線より左に位置している第2接触部と、を含んでおり、
     前記第1部材が弾性変形した場合、前記第1接触部及び前記第2接触部は、前記第2部材と接触する、
     請求項1から請求項8のいずれかに記載のセンサモジュール。
    The first member has a lower part located below the central axis and an upper part located above the central axis,
    The upper part includes a first contact part located to the right of the central axis, and a second contact part located to the left of the central axis,
    When the first member is elastically deformed, the first contact portion and the second contact portion contact the second member;
    The sensor module according to any one of claims 1 to 8.
  10.  前記第1部材は、前記第2部材と接触している、
     請求項1に記載のセンサモジュール。
    the first member is in contact with the second member,
    The sensor module according to claim 1.
  11.  前記第2部材は、前記第1部材と前記センサとの間に位置している、
     請求項10に記載のセンサモジュール。
    the second member is located between the first member and the sensor;
    The sensor module according to claim 10.
  12.  前記センサは、前記第2部材内に位置している、
     請求項1から請求項11のいずれかに記載のセンサモジュール。
    the sensor is located within the second member;
    The sensor module according to any one of claims 1 to 11.
  13.  前記第2部材は、防振効果を有する、
     請求項1から請求項12のいずれかに記載のセンサモジュール。
    The second member has an anti-vibration effect.
    The sensor module according to any one of claims 1 to 12.
  14.  前記センサモジュールは、前記第2部材及び前記センサを支持している支持部材を更に備えている、
     請求項1から請求項9のいずれかに記載のセンサモジュール。
    The sensor module further includes a support member supporting the second member and the sensor.
    The sensor module according to any one of claims 1 to 9.
  15.  前記支持部材は、前記内周面に固定されている、
     請求項14に記載のセンサモジュール。
    the support member is fixed to the inner circumferential surface;
    The sensor module according to claim 14.
  16.  前記第1部材は、前後方向に延びる中心軸線を有している筒形状を有しており、
     前記第1部材は、前記中心軸線を軸として左右対称であり、
     前記第2部材及び前記センサは、前記第1部材内に位置している、
     請求項1から請求項9のいずれかに記載のセンサモジュール。
    The first member has a cylindrical shape with a central axis extending in the front-rear direction,
    The first member is symmetrical about the central axis,
    the second member and the sensor are located within the first member;
    The sensor module according to any one of claims 1 to 9.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4854174A (en) * 1988-04-25 1989-08-08 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Colinear fluctuating wall shear stress and fluctuating pressure transducer
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