WO2024024160A1 - Composite electronic component - Google Patents

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WO2024024160A1
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卓也 嶋村
敏之 阿部
和俊 露谷
利益 陳
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Abstract

[Problem] To enhance freedom of design and prevent the joining of two coil patterns, in a composite electronic component having a structure in which an electronic component is embedded. [Solution] A composite electronic component 1 comprises: coil patterns 41, 42 that are provided to a conductor layer C3 and are arranged with a gap G1 therebetween, without having a ground pattern interposed therebetween; a ground pattern GP that is provided to a conductor layer C4 and overlaps with the gap G1 in plan view; an electronic component 2 that is embedded in an insulation layer 12; and a plurality of external terminals.

Description

複合電子部品composite electronic components
 本開示は複合電子部品に関し、特に、電子部品が埋め込まれた絶縁層と、絶縁層上に設けられたコイルパターンとを備える複合電子部品に関する。 The present disclosure relates to a composite electronic component, and particularly relates to a composite electronic component including an insulating layer in which an electronic component is embedded and a coil pattern provided on the insulating layer.
 特許文献1の図1や特許文献2の図12には、同じ導体層に配置された2つのコイルパターン間にグランドパターンを配置することによって、コイルパターン間における結合を抑制した構造が開示されている。 FIG. 1 of Patent Document 1 and FIG. 12 of Patent Document 2 disclose a structure in which coupling between the coil patterns is suppressed by arranging a ground pattern between two coil patterns arranged on the same conductor layer. There is.
特開2002-280218号公報JP2002-280218A 特開平9-205018号公報Japanese Patent Application Publication No. 9-205018 国際公開第2015/194373号International Publication No. 2015/194373
 しかしながら、2つのコイルパターン間にグランドパターンを配置すると、コイルパターンの形成可能エリアが減少することから、設計自由度が低下するという問題があった。このような問題は、特許文献3に記載されているように、内部に電子部品が埋め込まれた構造を有する複合電子部品においてはより顕著となる。これは、電子部品と重なる部分においてはコイルパターンの下地の平坦性が低下するため、できるだけ電子部品と重ならない位置にコイルパターンを設計する必要が生じ、設計自由度がよりいっそう低下するためである。 However, when a ground pattern is placed between two coil patterns, the area in which the coil pattern can be formed is reduced, resulting in a problem in that the degree of freedom in design is reduced. Such a problem becomes more noticeable in a composite electronic component having a structure in which electronic components are embedded, as described in Patent Document 3. This is because the flatness of the base of the coil pattern deteriorates in areas where it overlaps with electronic components, so it is necessary to design the coil pattern in a position that does not overlap with electronic components as much as possible, further reducing the degree of freedom in design. .
 本開示においては、電子部品が埋め込まれた構造を有し、2つのコイルパターン間における結合を抑制しながら設計自由度が高められた複合電子部品が説明される。 In the present disclosure, a composite electronic component that has a structure in which an electronic component is embedded and has increased design freedom while suppressing coupling between two coil patterns is described.
 本開示の一側面による複合電子部品は、絶縁層と、絶縁層の一方の表面側に位置する第1の導体層に設けられ、グランドパターンを介することなく第1のギャップを介して配置された第1及び第2のコイルパターンと、絶縁層の一方の表面側に位置する第2の導体層に設けられ、平面視で第1のギャップと重なるグランドパターンと、絶縁層に埋め込まれ、第1及び第2のコイルパターン並びにグランドパターンに接続された電子部品と、複数の外部端子とを備え、複数の外部端子は、第1のコイルパターンの両端にそれぞれ接続された第1及び第2の信号端子と、第2のコイルパターンの両端にそれぞれ接続された第3及び第4の信号端子と、グランドパターンの両端にそれぞれ接続された第1及び第2のグランド端子とを含む。 A composite electronic component according to an aspect of the present disclosure includes an insulating layer and a first conductor layer located on one surface side of the insulating layer, and is arranged through a first gap without using a ground pattern. The first and second coil patterns, the ground pattern provided on the second conductor layer located on one surface side of the insulating layer and overlapping the first gap in plan view, and the first ground pattern embedded in the insulating layer and a second coil pattern and an electronic component connected to the ground pattern, and a plurality of external terminals, the plurality of external terminals are connected to the first and second signals respectively connected to both ends of the first coil pattern. a terminal, third and fourth signal terminals respectively connected to both ends of the second coil pattern, and first and second ground terminals respectively connected to both ends of the ground pattern.
 本開示によれば、第1及び第2のコイルパターンが設けられた第1の導体層ではなく、第1の導体層とは異なる第2の導体層に第1のギャップと重なるグランドパターンを配置していることから、絶縁層に電子部品が埋め込まれることにより平坦性が低下する場合であっても、第1及び第2のコイルパターンの結合を抑制しつつ、設計自由度を十分に確保することが可能となる。 According to the present disclosure, the ground pattern overlapping the first gap is arranged not in the first conductor layer provided with the first and second coil patterns but in the second conductor layer different from the first conductor layer. Therefore, even if flatness deteriorates due to electronic components being embedded in the insulating layer, it is possible to suppress coupling between the first and second coil patterns and ensure sufficient design freedom. becomes possible.
 本開示の一側面に係る複合電子部品は、絶縁層の一方の表面側に位置する第3の導体層に設けられ、電子部品に接続された第3及び第4のコイルパターンをさらに備え、第3のコイルパターンは、平面視で第1のコイルパターンと重なる位置に配置され、第4のコイルパターンは、平面視で第2のコイルパターンと重なる位置に配置され、複数の外部端子は、第3のコイルパターンの両端にそれぞれ接続された第5及び第6の信号端子と、第4のコイルパターンの両端にそれぞれ接続された第7及び第8の信号端子とをさらに含むものであっても構わない。これよれば、第1及び第3のコイルパターンと第2及び第4のコイルパターンの結合を抑制しつつ、第1及び第3のコイルパターンを磁気結合させ、第2及び第4のコイルパターンを磁気結合させることが可能となる。 A composite electronic component according to one aspect of the present disclosure further includes third and fourth coil patterns provided on a third conductor layer located on one surface side of the insulating layer and connected to the electronic component, and further includes third and fourth coil patterns connected to the electronic component. The third coil pattern is arranged at a position overlapping with the first coil pattern in a plan view, the fourth coil pattern is arranged at a position overlapping with the second coil pattern in a plan view, and the plurality of external terminals are arranged at a position overlapping with the first coil pattern in a plan view. The present invention further includes fifth and sixth signal terminals connected to both ends of the third coil pattern, respectively, and seventh and eighth signal terminals connected to both ends of the fourth coil pattern, respectively. I do not care. According to this, the first and third coil patterns are magnetically coupled while suppressing coupling between the first and third coil patterns and the second and fourth coil patterns, and the second and fourth coil patterns are coupled to each other. Magnetic coupling becomes possible.
 本開示の一側面による複合電子部品は、絶縁層の他方の表面側に位置する第4の導体層に設けられた第5及び第6のコイルパターンと、絶縁層の他方の表面側に位置する第5の導体層に設けられ、平面視でそれぞれ第5及び第6のコイルパターンと重なる第7及び第8のコイルパターンとをさらに備えていても構わない。これによれば、より高機能な複合電子部品を提供することが可能となる。 A composite electronic component according to one aspect of the present disclosure includes fifth and sixth coil patterns provided on a fourth conductor layer located on the other surface side of the insulating layer; It is also possible to further include seventh and eighth coil patterns that are provided on the fifth conductor layer and overlap the fifth and sixth coil patterns, respectively, in plan view. According to this, it becomes possible to provide a more highly functional composite electronic component.
 本開示において、第1及び第5のコイルパターンは、第1及び第2の信号端子間に直列に接続され、第2及び第6のコイルパターンは、第3及び第4の信号端子間に直列に接続され、第3及び第7のコイルパターンは、第5及び第6の信号端子間に直列に接続され、第4及び第8のコイルパターンは、第7及び第8の信号端子間に直列に接続されていても構わない。これよれば、2つのコモンモードフィルタを内蔵したアレイ品を提供することが可能となる。 In the present disclosure, the first and fifth coil patterns are connected in series between the first and second signal terminals, and the second and sixth coil patterns are connected in series between the third and fourth signal terminals. The third and seventh coil patterns are connected in series between the fifth and sixth signal terminals, and the fourth and eighth coil patterns are connected in series between the seventh and eighth signal terminals. It doesn't matter if it is connected to According to this, it is possible to provide an array product incorporating two common mode filters.
 本開示において、第5、第6、第7及び第8のコイルパターンは、それぞれ第1、第2、第3及び第4のコイルパターンよりも配線長が長くても構わない。これよれば、第5及び第7のコイルパターンからなるコモンモードフィルタや、第6及び第8のコイルパターンからなるコモンモードフィルタの特性をより高めることが可能となる。 In the present disclosure, the fifth, sixth, seventh, and eighth coil patterns may have longer wiring lengths than the first, second, third, and fourth coil patterns, respectively. According to this, it becomes possible to further improve the characteristics of the common mode filter consisting of the fifth and seventh coil patterns and the common mode filter consisting of the sixth and eighth coil patterns.
 本開示において、第5及び第6のコイルパターン間の第2のギャップは、第1のギャップよりも狭くても構わない。これよれば、第5及び第6のコイルパターンのターン数をより増やすことが可能となる。 In the present disclosure, the second gap between the fifth and sixth coil patterns may be narrower than the first gap. According to this, it becomes possible to further increase the number of turns of the fifth and sixth coil patterns.
 本開示において、第2のグランド端子は、グランドパターンを介して電子部品に接続されていても構わない。これよれば、第2のグランド端子に対して専用のビア導体を設ける必要がなくなることから、第1及び第2のコイルパターンの設計自由度がより高められる。 In the present disclosure, the second ground terminal may be connected to the electronic component via a ground pattern. According to this, there is no need to provide a dedicated via conductor for the second ground terminal, so the degree of freedom in designing the first and second coil patterns is further increased.
 本開示において、複数の外部端子はいずれも第2の導体層に位置していても構わない。これよれば、グランドパターンを設けるための専用の導体層を追加する必要がなくなる。 In the present disclosure, all of the plurality of external terminals may be located on the second conductor layer. According to this, there is no need to add a dedicated conductor layer for providing a ground pattern.
 このように、本開示によれば、電子部品が埋め込まれた構造を有し、2つのコイルパターン間における結合を抑制しながら設計自由度が高められた複合電子部品が提供される。 As described above, according to the present disclosure, there is provided a composite electronic component that has a structure in which electronic components are embedded, and has increased design freedom while suppressing coupling between two coil patterns.
図1は、本開示に係る技術の一実施形態による複合電子部品1の外観を示す略斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view showing the appearance of a composite electronic component 1 according to an embodiment of the technology according to the present disclosure. 図2(a)は図1に示すA-A線に沿った断面を一方向側から見た略断面図であり、図2(b)は図1に示すA-A線に沿った断面を逆方向側から見た略断面図である。FIG. 2(a) is a schematic cross-sectional view of the cross section taken along the line AA shown in FIG. 1, viewed from one direction, and FIG. It is a schematic sectional view seen from the opposite direction side. 図3は、複合電子部品1の略分解斜視図である。FIG. 3 is a schematic exploded perspective view of the composite electronic component 1. 図4は、導体層C4に設けられた導体パターンの形状を示す略平面図である。FIG. 4 is a schematic plan view showing the shape of the conductor pattern provided on the conductor layer C4. 図5は、導体層C3に設けられた導体パターンの形状を示す略平面図である。FIG. 5 is a schematic plan view showing the shape of the conductor pattern provided on the conductor layer C3. 図6は、導体層C2に設けられた導体パターンの形状を示す略平面図である。FIG. 6 is a schematic plan view showing the shape of the conductor pattern provided on the conductor layer C2. 図7は、ESD保護部品2が埋め込まれた層の略平面図である。FIG. 7 is a schematic plan view of the layer in which the ESD protection component 2 is embedded. 図8は、導体層C1に設けられた導体パターンの形状を示す略平面図である。FIG. 8 is a schematic plan view showing the shape of the conductor pattern provided on the conductor layer C1. 図9は、導体層C0に設けられた導体パターンの形状を示す略平面図である。FIG. 9 is a schematic plan view showing the shape of the conductor pattern provided on the conductor layer C0. 図10は、複合電子部品1の等価回路図である。FIG. 10 is an equivalent circuit diagram of the composite electronic component 1. 図11は、コイルパターン43,44とESD保護部品2の位置関係を説明するための図である。FIG. 11 is a diagram for explaining the positional relationship between the coil patterns 43 and 44 and the ESD protection component 2. 図12は、コイルパターン41,42とグランドパターンGPの位置関係を説明するための図である。FIG. 12 is a diagram for explaining the positional relationship between the coil patterns 41 and 42 and the ground pattern GP. 図13は、複合電子部品1の製造方法を説明するためのプロセス図である。FIG. 13 is a process diagram for explaining the method for manufacturing the composite electronic component 1. As shown in FIG. 図14は、複合電子部品1の製造方法を説明するためのプロセス図である。FIG. 14 is a process diagram for explaining the method for manufacturing the composite electronic component 1. As shown in FIG. 図15は、複合電子部品1の製造方法を説明するためのプロセス図である。FIG. 15 is a process diagram for explaining the method for manufacturing the composite electronic component 1. As shown in FIG. 図16は、複合電子部品1の製造方法を説明するためのプロセス図である。FIG. 16 is a process diagram for explaining the method for manufacturing the composite electronic component 1. As shown in FIG. 図17は、複合電子部品1の製造方法を説明するためのプロセス図である。FIG. 17 is a process diagram for explaining the manufacturing method of the composite electronic component 1. 図18は、複合電子部品1の製造方法を説明するためのプロセス図である。FIG. 18 is a process diagram for explaining the method for manufacturing the composite electronic component 1. 図19は、複合電子部品1の製造方法を説明するためのプロセス図である。FIG. 19 is a process diagram for explaining the method for manufacturing the composite electronic component 1. 図20は、複合電子部品1の製造方法を説明するためのプロセス図である。FIG. 20 is a process diagram for explaining the method for manufacturing the composite electronic component 1. As shown in FIG. 図21は、複合電子部品1の製造方法を説明するためのプロセス図である。FIG. 21 is a process diagram for explaining the method for manufacturing the composite electronic component 1. As shown in FIG. 図22は、複合電子部品1の製造方法を説明するためのプロセス図である。FIG. 22 is a process diagram for explaining the method for manufacturing the composite electronic component 1. As shown in FIG. 図23は、複合電子部品1の製造方法を説明するためのプロセス図である。FIG. 23 is a process diagram for explaining the method for manufacturing the composite electronic component 1. As shown in FIG. 図24は、複合電子部品1の製造方法を説明するためのプロセス図である。FIG. 24 is a process diagram for explaining the method for manufacturing the composite electronic component 1. As shown in FIG. 図25は、複合電子部品1の製造方法を説明するためのプロセス図である。FIG. 25 is a process diagram for explaining the method for manufacturing the composite electronic component 1. As shown in FIG.
 以下、添付図面を参照しながら、本開示に係る技術の実施形態について詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the technology according to the present disclosure will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
 図1は、本開示に係る技術の一実施形態による複合電子部品1の外観を示す略斜視図である。 FIG. 1 is a schematic perspective view showing the appearance of a composite electronic component 1 according to an embodiment of the technology according to the present disclosure.
 本実施形態による複合電子部品1は表面実装型のチップ部品であり、図1に示すように、素体10と、素体10の表面にアレイ状に配列された複数の外部端子とを備えている。複数の外部端子は、8つの信号端子20~27及び2つのグランド端子28,29からなる。 The composite electronic component 1 according to the present embodiment is a surface-mounted chip component, and includes an element body 10 and a plurality of external terminals arranged in an array on the surface of the element body 10, as shown in FIG. There is. The plurality of external terminals consists of eight signal terminals 20 to 27 and two ground terminals 28 and 29.
 図2(a)は図1に示すA-A線に沿った断面を一方向側から見た略断面図であり、図2(b)は図1に示すA-A線に沿った断面を逆方向側から見た略断面図である。 FIG. 2(a) is a schematic cross-sectional view of the cross section taken along the line AA shown in FIG. 1, viewed from one direction, and FIG. It is a schematic sectional view seen from the opposite direction side.
 図2(a)及び(b)に示すように、素体10は、樹脂などからなる絶縁層11~14がこの順に積層された構造を有している。このうち、絶縁層13,14は絶縁層12の一方の表面12a側に設けられ、絶縁層11は絶縁層12の他方の表面12b側に設けられている。絶縁層12の他方の表面12b側には導体層C1が形成される。導体層C1は絶縁層11によって覆われる。絶縁層11の表面には、導体層C0が形成される。導体層C0はソルダーレジスト31によって覆われる。絶縁層12の一方の表面12a側には導体層C2が形成される。導体層C2は絶縁層13によって覆われる。絶縁層13の表面には、導体層C3が形成される。導体層C3は絶縁層14によって覆われる。絶縁層14の表面には、導体層C4が形成される。導体層C4はソルダーレジスト32によって覆われる。 As shown in FIGS. 2(a) and 2(b), the element body 10 has a structure in which insulating layers 11 to 14 made of resin or the like are laminated in this order. Of these, the insulating layers 13 and 14 are provided on the one surface 12a side of the insulating layer 12, and the insulating layer 11 is provided on the other surface 12b side of the insulating layer 12. A conductor layer C1 is formed on the other surface 12b side of the insulating layer 12. The conductor layer C1 is covered with an insulating layer 11. A conductor layer C0 is formed on the surface of the insulating layer 11. The conductor layer C0 is covered with a solder resist 31. A conductor layer C2 is formed on one surface 12a side of the insulating layer 12. The conductor layer C2 is covered with an insulating layer 13. A conductor layer C3 is formed on the surface of the insulating layer 13. The conductor layer C3 is covered with an insulating layer 14. A conductor layer C4 is formed on the surface of the insulating layer 14. The conductor layer C4 is covered with a solder resist 32.
 絶縁層12にはESD保護部品2が埋め込まれている。ESD保護部品2は半導体基板によって構成されるため、絶縁層11~14とは熱膨張係数が大きく異なっている。しかしながら、本実施形態においては、ESD保護部品2が積層方向における略中央部に埋め込まれ、その両側に絶縁層11,13,14が設けられていることから、積層方向における対称性を厚みの調整により調整する自由度が高く、温度変化に起因する複合電子部品1全体の反りが発生しにくい。 An ESD protection component 2 is embedded in the insulating layer 12. Since the ESD protection component 2 is constituted by a semiconductor substrate, it has a thermal expansion coefficient significantly different from that of the insulating layers 11 to 14. However, in this embodiment, since the ESD protection component 2 is embedded approximately at the center in the stacking direction, and the insulating layers 11, 13, and 14 are provided on both sides, the symmetry in the stacking direction can be adjusted by adjusting the thickness. The degree of freedom in adjustment is high, and the entire composite electronic component 1 is less likely to warp due to temperature changes.
 図3は、複合電子部品1の略分解斜視図である。 FIG. 3 is a schematic exploded perspective view of the composite electronic component 1.
 図3に示すように、複合電子部品1にはコイルパターン41~48が埋め込まれている。このうち、コイルパターン41,42は導体層C3に配置され、コイルパターン43,44は導体層C2に配置され、コイルパターン45,46は導体層C1に配置され、コイルパターン47,48は導体層C0に配置される。コイルパターン41,43は絶縁層13を介して平面視で互いに重なっており、コイルパターン42,44は絶縁層13を介して平面視で互いに重なっている。また、コイルパターン45,47は絶縁層11を介して平面視で互いに重なっており、コイルパターン46,48は絶縁層11を介して平面視で互いに重なっている。 As shown in FIG. 3, coil patterns 41 to 48 are embedded in the composite electronic component 1. Of these, coil patterns 41 and 42 are arranged on the conductor layer C3, coil patterns 43 and 44 are arranged on the conductor layer C2, coil patterns 45 and 46 are arranged on the conductor layer C1, and coil patterns 47 and 48 are arranged on the conductor layer C2. It is located at C0. The coil patterns 41 and 43 overlap each other in a plan view with the insulating layer 13 in between, and the coil patterns 42 and 44 overlap in a plan view with the insulating layer 13 in between. Further, the coil patterns 45 and 47 overlap each other in a plan view with the insulating layer 11 interposed therebetween, and the coil patterns 46 and 48 overlap each other in a plan view with the insulating layer 11 interposed therebetween.
 図4~図6、図8及び図9は、それぞれ導体層C4、C3、C2、C1及びC0に設けられた導体パターンの形状を示す略平面図である。また、図7は、ESD保護部品2が埋め込まれた層の略平面図である。ここで、図4~図9に示すA-A線は、図2(a)及び(b)に示す断面に対応している。 4 to 6, FIG. 8, and FIG. 9 are schematic plan views showing the shapes of conductor patterns provided in conductor layers C4, C3, C2, C1, and C0, respectively. Moreover, FIG. 7 is a schematic plan view of a layer in which the ESD protection component 2 is embedded. Here, the line AA shown in FIGS. 4 to 9 corresponds to the cross section shown in FIGS. 2(a) and 2(b).
 図4に示すように、導体層C4には、導体パターン50~59及びグランドパターンGPが設けられている。導体パターン50~57のうちソルダーレジスト32から露出する部分は表面処理され、それぞれ信号端子20~27として用いられる。導体パターン58,59のうちソルダーレジスト32から露出する部分は表面処理され、それぞれグランド端子28,29として用いられる。また、導体パターン58,59は、グランドパターンGPを介して互いに接続されている。グランドパターンGPは直線的に延在する導体パターンであり、その幅は導体パターン58,59の幅よりも狭い。このように、グランドパターンGPと信号端子20~27及び導体パターン58,59は、互いに同じ導体層C4に配置されていることから、グランドパターンGPを設けるための専用の導体層を追加する必要はない。 As shown in FIG. 4, the conductor layer C4 is provided with conductor patterns 50 to 59 and a ground pattern GP. The portions of the conductive patterns 50 to 57 exposed from the solder resist 32 are surface-treated and used as signal terminals 20 to 27, respectively. Portions of the conductive patterns 58 and 59 exposed from the solder resist 32 are surface-treated and used as ground terminals 28 and 29, respectively. Further, the conductor patterns 58 and 59 are connected to each other via a ground pattern GP. The ground pattern GP is a conductor pattern extending linearly, and its width is narrower than the width of the conductor patterns 58 and 59. In this way, since the ground pattern GP, the signal terminals 20 to 27, and the conductor patterns 58 and 59 are arranged on the same conductor layer C4, there is no need to add a dedicated conductor layer for providing the ground pattern GP. do not have.
 図5に示すように、導体層C3には、コイルパターン41,42と導体パターン60,61,63~66が設けられている。コイルパターン41の外周端は、ビア導体102を介して導体パターン52に接続されている。コイルパターン42の外周端は、ビア導体107を介して導体パターン57に接続されている。また、導体パターン60,61,63~66は、絶縁層14に設けられたビア導体100,101,103~106を介して、それぞれ導体パターン50,51,53~56に接続されている。コイルパターン41とコイルパターン42は、ギャップG1を介して隣り合っている。導体層C3においては、ギャップG1にグランドパターンなどが設けられておらず、コイルパターン41とコイルパターン42は、絶縁層14を介して直接隣り合っている。 As shown in FIG. 5, the conductor layer C3 is provided with coil patterns 41, 42 and conductor patterns 60, 61, 63-66. The outer peripheral end of the coil pattern 41 is connected to a conductor pattern 52 via a via conductor 102. The outer peripheral end of the coil pattern 42 is connected to a conductor pattern 57 via a via conductor 107. Furthermore, the conductor patterns 60, 61, 63-66 are connected to the conductor patterns 50, 51, 53-56, respectively, via via conductors 100, 101, 103-106 provided in the insulating layer 14. The coil pattern 41 and the coil pattern 42 are adjacent to each other with a gap G1 in between. In the conductor layer C3, a ground pattern or the like is not provided in the gap G1, and the coil pattern 41 and the coil pattern 42 are directly adjacent to each other with the insulating layer 14 in between.
 図6に示すように、導体層C2には、コイルパターン43,44と導体パターン70~76が設けられている。コイルパターン43の外周端は、ビア導体113を介して導体パターン63に接続されている。コイルパターン44の外周端は、ビア導体116を介して導体パターン66に接続されている。また、導体パターン70~74は、ビア導体110,111,114,115,118を介して、それぞれ導体パターン60,61,64,65,68に接続されている。導体パターン75,76は、ビア導体112,117を介して、それぞれコイルパターン41,42の内周端に接続されている。コイルパターン43とコイルパターン44は、ギャップG1を介して隣り合っている。導体層C2においては、ギャップG1にグランドパターンなどが設けられておらず、コイルパターン43とコイルパターン44は、絶縁層13を介して直接隣り合っている。 As shown in FIG. 6, the conductor layer C2 is provided with coil patterns 43 and 44 and conductor patterns 70 to 76. The outer peripheral end of the coil pattern 43 is connected to the conductor pattern 63 via a via conductor 113. The outer peripheral end of the coil pattern 44 is connected to the conductor pattern 66 via the via conductor 116. Further, conductor patterns 70 to 74 are connected to conductor patterns 60, 61, 64, 65, and 68 via via conductors 110, 111, 114, 115, and 118, respectively. The conductor patterns 75 and 76 are connected to the inner peripheral ends of the coil patterns 41 and 42 via via conductors 112 and 117, respectively. The coil pattern 43 and the coil pattern 44 are adjacent to each other with a gap G1 in between. In the conductor layer C2, a ground pattern or the like is not provided in the gap G1, and the coil pattern 43 and the coil pattern 44 are directly adjacent to each other with the insulating layer 13 in between.
 コイルパターン41~44は、いずれも導体パターンが約4ターン巻回された構成を有している。そして、コイルパターン41とコイルパターン43は積層方向に重なり、そのパターン形状は外周端及び内周端の位置を除いてほぼ一致している。同様に、コイルパターン42とコイルパターン44は積層方向に重なり、そのパターン形状は外周端及び内周端の位置を除いてほぼ一致している。さらに、コイルパターン41とコイルパターン42のパターン形状は平面視で対称形であり、コイルパターン43とコイルパターン44のパターン形状は平面視で対称形である。 Each of the coil patterns 41 to 44 has a configuration in which a conductor pattern is wound around four turns. The coil pattern 41 and the coil pattern 43 overlap in the stacking direction, and their pattern shapes are substantially the same except for the positions of the outer peripheral end and the inner peripheral end. Similarly, the coil pattern 42 and the coil pattern 44 overlap in the stacking direction, and their pattern shapes are substantially the same except for the positions of the outer peripheral end and the inner peripheral end. Further, the pattern shapes of the coil pattern 41 and the coil pattern 42 are symmetrical in plan view, and the pattern shapes of the coil pattern 43 and coil pattern 44 are symmetrical in plan view.
 図7に示すように、ESD保護部品2の表面には、端子電極80~87が設けられている。端子電極80~83は、絶縁層12に設けられたビア導体120~123を介して、それぞれ導体パターン70~73に接続される。また、端子電極84~87は、絶縁層12に設けられたビア導体124~127を介して、導体パターン74に共通に接続される。 As shown in FIG. 7, terminal electrodes 80 to 87 are provided on the surface of the ESD protection component 2. Terminal electrodes 80 to 83 are connected to conductor patterns 70 to 73, respectively, via via conductors 120 to 123 provided in insulating layer 12. Furthermore, the terminal electrodes 84 to 87 are commonly connected to the conductor pattern 74 via via conductors 124 to 127 provided in the insulating layer 12.
 図8に示すように、導体層C1には、コイルパターン45,46と導体パターン91,93,94,97が設けられている。コイルパターン45の外周端は、ビア導体130を介して導体パターン70に接続される。コイルパターン46の外周端は、ビア導体135を介して導体パターン73に接続される。コイルパターン45の内周端は、ビア導体132を介して導体パターン75に接続される。コイルパターン46の内周端は、ビア導体136を介して導体パターン76に接続される。また、導体パターン91,94は、ビア導体131,134を介して、それぞれ導体パターン71,72に接続される。さらに、導体パターン93,97は、ビア導体133,137を介して、それぞれコイルパターン43,44の内周端に接続される。コイルパターン45とコイルパターン46は、ギャップG2を介して隣り合っている。導体層C1においては、ギャップG2にグランドパターンなどが設けられておらず、コイルパターン45とコイルパターン46は、絶縁層12を介して直接隣り合っている。 As shown in FIG. 8, the conductor layer C1 is provided with coil patterns 45, 46 and conductor patterns 91, 93, 94, 97. The outer peripheral end of the coil pattern 45 is connected to the conductor pattern 70 via a via conductor 130. The outer peripheral end of the coil pattern 46 is connected to the conductor pattern 73 via a via conductor 135. The inner peripheral end of the coil pattern 45 is connected to the conductor pattern 75 via the via conductor 132. The inner peripheral end of the coil pattern 46 is connected to the conductor pattern 76 via a via conductor 136. Furthermore, conductor patterns 91 and 94 are connected to conductor patterns 71 and 72 via via conductors 131 and 134, respectively. Furthermore, conductor patterns 93 and 97 are connected to inner peripheral ends of coil patterns 43 and 44 via via conductors 133 and 137, respectively. The coil pattern 45 and the coil pattern 46 are adjacent to each other with a gap G2 in between. In the conductor layer C1, a ground pattern or the like is not provided in the gap G2, and the coil pattern 45 and the coil pattern 46 are directly adjacent to each other with the insulating layer 12 in between.
 図9に示すように、導体層C0には、コイルパターン47,48が設けられている。コイルパターン47の外周端及び内周端は、ビア導体141,143を介して、それぞれ導体パターン91,93に接続されている。コイルパターン48の外周端及び内周端は、ビア導体144,147を介して、それぞれ導体パターン94,97に接続されている。コイルパターン47とコイルパターン48は、ギャップG2を介して隣り合っている。導体層C0においては、ギャップG2にグランドパターンなどが設けられておらず、コイルパターン47とコイルパターン48は、絶縁層11を介して直接隣り合っている。 As shown in FIG. 9, coil patterns 47 and 48 are provided on the conductor layer C0. The outer peripheral end and inner peripheral end of the coil pattern 47 are connected to conductor patterns 91 and 93 via via conductors 141 and 143, respectively. The outer peripheral end and inner peripheral end of the coil pattern 48 are connected to conductor patterns 94 and 97 via via conductors 144 and 147, respectively. The coil pattern 47 and the coil pattern 48 are adjacent to each other with a gap G2 in between. In the conductor layer C0, a ground pattern or the like is not provided in the gap G2, and the coil pattern 47 and the coil pattern 48 are directly adjacent to each other with the insulating layer 11 in between.
 コイルパターン45~48は、いずれも導体パターンが約5ターン巻回された構成を有している。そして、コイルパターン45とコイルパターン47は積層方向に重なり、そのパターン形状は外周端及び内周端の位置を除いてほぼ一致している。同様に、コイルパターン46とコイルパターン48は積層方向に重なり、そのパターン形状は外周端及び内周端の位置を除いてほぼ一致している。さらに、コイルパターン45とコイルパターン46のパターン形状は平面視で対称形であり、コイルパターン47とコイルパターン48のパターン形状は平面視で対称形である。 Each of the coil patterns 45 to 48 has a structure in which a conductor pattern is wound around 5 turns. The coil pattern 45 and the coil pattern 47 overlap in the stacking direction, and their pattern shapes are substantially the same except for the positions of the outer peripheral end and the inner peripheral end. Similarly, the coil pattern 46 and the coil pattern 48 overlap in the stacking direction, and their pattern shapes are substantially the same except for the positions of the outer peripheral end and the inner peripheral end. Furthermore, the pattern shapes of the coil pattern 45 and the coil pattern 46 are symmetrical in a plan view, and the pattern shapes of the coil pattern 47 and the coil pattern 48 are symmetrical in a plan view.
 図10は、本実施形態による複合電子部品1の等価回路図である。 FIG. 10 is an equivalent circuit diagram of the composite electronic component 1 according to this embodiment.
 図10に示すように、本実施形態による複合電子部品1においては、信号端子20,22間にコイルパターン45,41が直列に接続され、信号端子21,23間にコイルパターン47,43が直列に接続され、信号端子24,26間にコイルパターン48,44が直列に接続され、信号端子25,27間にコイルパターン46,42が直列に接続される。そして、コイルパターン41,43が磁気結合することによってコモンモードフィルタCMF1が構成され、コイルパターン42,44が磁気結合することによってコモンモードフィルタCMF2が構成され、コイルパターン45,47が磁気結合することによってコモンモードフィルタCMF3が構成され、コイルパターン46,48が磁気結合することによってコモンモードフィルタCMF4が構成される。さらに、信号端子20,21,24,25とグランド端子28,29の間には、ESD保護部品2に集積された保護素子が挿入される。これにより、本実施形態による複合電子部品1は、ESD保護機能付きのコモンモードフィルタのアレイを構成する。グランド端子29は、グランドパターンGPを介してESD保護部品2に接続される。 As shown in FIG. 10, in the composite electronic component 1 according to the present embodiment, coil patterns 45 and 41 are connected in series between the signal terminals 20 and 22, and coil patterns 47 and 43 are connected in series between the signal terminals 21 and 23. Coil patterns 48 and 44 are connected in series between the signal terminals 24 and 26, and coil patterns 46 and 42 are connected in series between the signal terminals 25 and 27. The common mode filter CMF1 is configured by magnetically coupling the coil patterns 41 and 43, the common mode filter CMF2 is configured by magnetically coupling the coil patterns 42 and 44, and the coil patterns 45 and 47 are magnetically coupled. A common mode filter CMF3 is configured by this, and a common mode filter CMF4 is configured by magnetically coupling the coil patterns 46 and 48. Further, a protection element integrated in the ESD protection component 2 is inserted between the signal terminals 20, 21, 24, 25 and the ground terminals 28, 29. Thereby, the composite electronic component 1 according to this embodiment constitutes an array of common mode filters with an ESD protection function. The ground terminal 29 is connected to the ESD protection component 2 via the ground pattern GP.
 図11は、コイルパターン43,44とESD保護部品2の位置関係を説明するための図である。 FIG. 11 is a diagram for explaining the positional relationship between the coil patterns 43 and 44 and the ESD protection component 2.
 図11に示すように、コイルパターン43,44は、平面視でESD保護部品2とできるだけ重ならないよう、ESD保護部品2を避けて配置されている。これは、ESD保護部品2と重なる部分は絶縁層12の平坦性が低下するからである。図11に示す例では、コイルパターン43,44の一部が平面視でESD保護部品2と重なりを有しているが、両者が重なりを持たないよう設計しても構わない。尚、コイルパターン41,42は、コイルパターン43,44とそれぞれ同じ平面形状を有しており、且つ、コイルパターン43,44と同じ平面位置に配置されていることから、コイルパターン41,42とESD保護部品2の位置関係は、コイルパターン43,44とESD保護部品2の位置関係と同じである。 As shown in FIG. 11, the coil patterns 43 and 44 are arranged avoiding the ESD protection component 2 so as not to overlap the ESD protection component 2 as much as possible in plan view. This is because the flatness of the insulating layer 12 deteriorates in the portion overlapping with the ESD protection component 2. In the example shown in FIG. 11, part of the coil patterns 43 and 44 overlaps with the ESD protection component 2 in plan view, but the coil patterns 43 and 44 may be designed so that they do not overlap. Note that the coil patterns 41 and 42 have the same planar shape as the coil patterns 43 and 44, respectively, and are disposed at the same planar position as the coil patterns 43 and 44, so that the coil patterns 41 and 42 are different from each other. The positional relationship between the ESD protection component 2 is the same as that between the coil patterns 43 and 44 and the ESD protection component 2.
 図12は、コイルパターン41,42とグランドパターンGPの位置関係を説明するための図である。 FIG. 12 is a diagram for explaining the positional relationship between the coil patterns 41 and 42 and the ground pattern GP.
 図12に示すように、グランドパターンGPは、平面視でコイルパターン41,42間のギャップG1と重なるよう、コイルパターン41,42の最外周ターンに沿って配置されている。グランドパターンGPは、コイルパターン41~44とは異なる導体層C4に設けられているものの、平面視でギャップG1と重なるように配置することにより、コイルパターン41とコイルパターン42の結合、並びに、コイルパターン43とコイルパターン44の結合を抑制する役割を果たす。グランドパターンGPとコイルパターン41~44の重なりについては、できるだけ少なくすることによって、コイルパターン41~44に生じる浮遊容量成分を低減することが可能となる。図12に示す例では、グランドパターンGPの幅がギャップG1とほぼ同じ幅となるよう設計されており、これにより、コイルパターン41~44の少なくとも最外周ターンを除く各ターンは、グランドパターンGPに対して重なりを有していない。 As shown in FIG. 12, the ground pattern GP is arranged along the outermost turn of the coil patterns 41, 42 so as to overlap the gap G1 between the coil patterns 41, 42 in plan view. Although the ground pattern GP is provided on a conductor layer C4 different from the coil patterns 41 to 44, by arranging it so as to overlap the gap G1 in a plan view, the connection between the coil patterns 41 and 42 and the coil It plays a role of suppressing the coupling between the pattern 43 and the coil pattern 44. By minimizing the overlap between the ground pattern GP and the coil patterns 41 to 44, stray capacitance components occurring in the coil patterns 41 to 44 can be reduced. In the example shown in FIG. 12, the width of the ground pattern GP is designed to be approximately the same width as the gap G1, so that each turn of the coil patterns 41 to 44 except for at least the outermost turn is connected to the ground pattern GP. There is no overlap.
 グランドパターンGPは、導体パターン58と導体パターン59を接続することによって、グランド端子28とグランド端子29を接続する役割を果たす。ここで、導体パターン59には対応するビア導体は設けられておらず、したがって、グランド端子29に与えられたグランド電位は、導体パターン59及びグランドパターンGPを介して、導体パターン58に供給される。つまり、グランド端子29は、いわゆるダミー端子として用いられる。このようなグランド端子29を設けているのは、本実施形態による複合電子部品1を回路基板に実装した際、実装強度を十分に確保するためである。また、平面視で導体パターン59と重なる位置にはビア導体が設けられていないことから、導体パターン59には剥離が生じやすいが、本実施形態においてはグランドパターンGPを介して導体パターン59が導体パターン58に繋がっていることから、導体パターン59の剥離も防止される。 The ground pattern GP plays the role of connecting the ground terminal 28 and the ground terminal 29 by connecting the conductive pattern 58 and the conductive pattern 59. Here, the conductor pattern 59 is not provided with a corresponding via conductor, and therefore, the ground potential applied to the ground terminal 29 is supplied to the conductor pattern 58 via the conductor pattern 59 and the ground pattern GP. . In other words, the ground terminal 29 is used as a so-called dummy terminal. The reason why such a ground terminal 29 is provided is to ensure sufficient mounting strength when the composite electronic component 1 according to this embodiment is mounted on a circuit board. Further, since a via conductor is not provided at a position overlapping with the conductor pattern 59 in plan view, the conductor pattern 59 is likely to peel off, but in this embodiment, the conductor pattern 59 is connected to the conductor pattern via the ground pattern GP. Since it is connected to the pattern 58, peeling of the conductive pattern 59 is also prevented.
 このように、本実施形態による複合電子部品1は、コイルパターン41とコイルパターン42の間にグランドパターンなどが設けられておらず、且つ、コイルパターン43とコイルパターン44の間にグランドパターンなどが設けられていないことから、導体層C2,C3の設計自由度が高められる。しかも、平面視でギャップG1と重なるよう、導体層C4にグランドパターンGPが設けられていることから、コイルパターン41とコイルパターン42の間の結合、並びに、コイルパターン43とコイルパターン44の間の結合を抑制することも可能となる。 As described above, in the composite electronic component 1 according to the present embodiment, a ground pattern or the like is not provided between the coil pattern 41 and the coil pattern 42, and a ground pattern or the like is provided between the coil pattern 43 and the coil pattern 44. Since the conductor layers C2 and C3 are not provided, the degree of freedom in designing the conductor layers C2 and C3 is increased. Moreover, since the ground pattern GP is provided on the conductor layer C4 so as to overlap with the gap G1 in plan view, the coupling between the coil pattern 41 and the coil pattern 42 and the coupling between the coil pattern 43 and the coil pattern 44 are reduced. It also becomes possible to suppress binding.
 しかも、複合電子部品1を回路基板に実装した場合に、回路基板との距離が近いコイルパターン41~44のターン数、配線長及びコイル径よりも、回路基板との距離が遠いコイルパターン45~48のターン数、配線長及びコイル径を大きくしていることから、よりインダクタンスの大きいコイルパターン45~48が回路基板の影響を受けにくくなる。 Furthermore, when the composite electronic component 1 is mounted on a circuit board, the coil patterns 45 to 44 whose distance from the circuit board is farther than the number of turns, wiring length, and coil diameter of the coil patterns 41 to 44 which are close to the circuit board. Since the number of turns, wiring length, and coil diameter of 48 are increased, the coil patterns 45 to 48, which have larger inductance, are less affected by the circuit board.
 また、ESD保護部品2が埋め込まれた絶縁層12の一方の表面12a側にコイルパターン41~44を配置し、他方の表面12b側にコイルパターン45~48を配置していることから、各コモンモードフィルタのインダクタンスを十分に高めることができるとともに、絶縁層11~14とESD保護部品2の熱膨張係数の差に起因する複合電子部品1の反りを低減することが可能となる。 Furthermore, since the coil patterns 41 to 44 are arranged on one surface 12a side of the insulating layer 12 in which the ESD protection component 2 is embedded, and the coil patterns 45 to 48 are arranged on the other surface 12b side, each common In addition to being able to sufficiently increase the inductance of the mode filter, it is also possible to reduce warping of the composite electronic component 1 due to the difference in thermal expansion coefficients between the insulating layers 11 to 14 and the ESD protection component 2.
 また、コイルパターン41~44とコイルパターン45~48が積層方向に十分に離れており、両者のパターン形状、具体的には径及びターン数が互いに異なっていることから、両者間に生じる磁気結合が抑えられる。このため、特性調整のために、例えばコイルパターン41~44のパターン形状を変更しても、コイルパターン45~48の特性がほとんど変化しないことから、設計変更が容易となる。しかも、同じ導体層に位置する2つのコイルパターンが平面視で対称形であることから、2つのコモンモードフィルタに特性差がほとんど生じないとともに、パターン設計も容易となる。 In addition, since the coil patterns 41 to 44 and the coil patterns 45 to 48 are sufficiently separated in the stacking direction and their pattern shapes, specifically diameters and number of turns, are different from each other, magnetic coupling occurs between them. can be suppressed. Therefore, even if the pattern shapes of the coil patterns 41 to 44 are changed in order to adjust the characteristics, for example, the characteristics of the coil patterns 45 to 48 hardly change, making it easy to change the design. Moreover, since the two coil patterns located on the same conductor layer are symmetrical in plan view, there is almost no difference in characteristics between the two common mode filters, and pattern design is also facilitated.
 次に、本実施形態による複合電子部品1の製造方法について説明する。 Next, a method for manufacturing the composite electronic component 1 according to this embodiment will be described.
 図13~図25は、本実施形態による複合電子部品1の製造方法を説明するためのプロセス図である。 13 to 25 are process diagrams for explaining the method for manufacturing the composite electronic component 1 according to this embodiment.
 まず、キャリア付き銅箔200を用意し、その表面にレジストパターン201を形成する(図13)。キャリア付き銅箔200は、2層の銅箔の間に剥離層が設けられた構造を有している。レジストパターン201は、導体層C0のネガパターンである。この状態で、電解メッキを行い、レジストパターン201を除去することによって導体層C0を形成する(図14)。次に、導体層C0が埋め込まれるよう、キャリア付き銅箔200の表面に絶縁層11を形成する(図15)。これにより、導体層C0に位置する導体パターンは、側面及び上面が絶縁層11によって覆われた状態となる。 First, a copper foil 200 with a carrier is prepared, and a resist pattern 201 is formed on its surface (FIG. 13). The carrier-attached copper foil 200 has a structure in which a release layer is provided between two layers of copper foil. The resist pattern 201 is a negative pattern of the conductor layer C0. In this state, electrolytic plating is performed and the resist pattern 201 is removed to form a conductor layer C0 (FIG. 14). Next, an insulating layer 11 is formed on the surface of the carrier-attached copper foil 200 so that the conductor layer C0 is embedded (FIG. 15). As a result, the side and top surfaces of the conductor pattern located on the conductor layer C0 are covered with the insulating layer 11.
 次に、ビア導体を形成すべき箇所にビア202を形成することによって導体層C0の一部を露出させた後、無電解メッキによって絶縁層11の表面にシード層203を形成する(図16)。次に、シード層203の表面にレジストパターン204を形成した後、電解メッキを行うことによって導体層C1を形成する(図17)。次に、レジストパターン204を除去した後(図18)、導体層C1が埋め込まれるよう、絶縁層11の表面に絶縁層12Aを形成し、その表面にESD保護部品2を搭載する(図19)。これにより、導体層C1に位置する導体パターンは、側面及び上面が絶縁層12Aによって覆われた状態となる。次に、ESD保護部品2が埋め込まれるよう、絶縁層12Aの表面に絶縁層12Bを形成する(図20)。これにより、ESD保護部品2は、絶縁層12A.12Bからなる絶縁層12に埋め込まれる。 Next, a portion of the conductor layer C0 is exposed by forming a via 202 at a location where a via conductor is to be formed, and then a seed layer 203 is formed on the surface of the insulating layer 11 by electroless plating (FIG. 16). . Next, after forming a resist pattern 204 on the surface of the seed layer 203, electrolytic plating is performed to form a conductor layer C1 (FIG. 17). Next, after removing the resist pattern 204 (FIG. 18), an insulating layer 12A is formed on the surface of the insulating layer 11 so that the conductor layer C1 is embedded, and the ESD protection component 2 is mounted on the surface (FIG. 19). . As a result, the side and top surfaces of the conductor pattern located on the conductor layer C1 are covered with the insulating layer 12A. Next, an insulating layer 12B is formed on the surface of the insulating layer 12A so that the ESD protection component 2 is embedded (FIG. 20). Thereby, the ESD protection component 2 has the insulating layer 12A. It is embedded in the insulating layer 12 made of 12B.
 次に、図16~図18を用いて説明したプロセスを繰り返すことにより、絶縁層12の表面に導体層C2を形成した後、導体層C2が埋め込まれるよう、絶縁層12の表面に絶縁層13を形成する(図21)。このプロセスを繰り返すことにより、絶縁層13の表面に導体層C3を形成した後、導体層C3が埋め込まれるよう、絶縁層13の表面に絶縁層14を形成する(図22)。次に、絶縁層14の表面に導体層C4を形成した後、キャリア付き銅箔200に設けられた剥離層を介して銅箔の1層を剥離し(図23)、キャリア付き銅箔200の残った銅箔をエッチングにより除去する(図24)。このエッチングにより、導体層C4の形成に用いたシード層も除去される。そして、絶縁層11,14の最表面にそれぞれソルダーレジスト31,32を形成した後(図25)、表面処理により信号端子21~27及びグランド端子28,29を形成すれば、本実施形態による複合電子部品1が完成する。 Next, by repeating the process described using FIGS. 16 to 18, a conductor layer C2 is formed on the surface of the insulating layer 12, and then an insulating layer 13 is formed on the surface of the insulating layer 12 so that the conductor layer C2 is embedded. (Figure 21). By repeating this process, a conductor layer C3 is formed on the surface of the insulating layer 13, and then an insulating layer 14 is formed on the surface of the insulating layer 13 so that the conductor layer C3 is embedded (FIG. 22). Next, after forming the conductor layer C4 on the surface of the insulating layer 14, one layer of the copper foil is peeled off via the peeling layer provided on the carrier-attached copper foil 200 (FIG. 23), and the carrier-attached copper foil 200 is separated. The remaining copper foil is removed by etching (FIG. 24). This etching also removes the seed layer used to form the conductor layer C4. After forming solder resists 31 and 32 on the outermost surfaces of the insulating layers 11 and 14, respectively (FIG. 25), the signal terminals 21 to 27 and the ground terminals 28 and 29 are formed by surface treatment. Electronic component 1 is completed.
 このように、本実施形態による複合電子部品1の製造プロセスにおいては、導体層C0から導体層C4の順に積層している。このため、ESD保護部品2が埋め込まれる前に形成する導体層C0,C1については下地の平坦性が高いことから、平面視でESD保護部品2と重なる位置においても、導体パターンをファインピッチに形成することができる。これに対し、導体層C2~C4はESD保護部品2が埋め込まれた後に形成されることから、平面視でESD保護部品2と重なる位置においては平坦性が低下する。この点を考慮して、本実施形態においては、導体層C0,C1に形成するコイルパターン45~48とESD保護部品2が重なる区間よりも、導体層C2,C3に形成するコイルパターン41~44とESD保護部品2が重なる区間が短くなるよう設計している。これにより、導体層C0,C1に形成するコイルパターン45~48のターン数やコイル径を十分に確保することが可能となる。 As described above, in the manufacturing process of the composite electronic component 1 according to the present embodiment, the conductor layers C0 to C4 are laminated in this order. For this reason, since the conductor layers C0 and C1 formed before the ESD protection component 2 are embedded have high flatness as a base, the conductor patterns are formed at a fine pitch even at positions overlapping with the ESD protection component 2 in plan view. can do. On the other hand, since the conductor layers C2 to C4 are formed after the ESD protection component 2 is embedded, the flatness decreases at the positions where they overlap with the ESD protection component 2 in plan view. Taking this point into consideration, in this embodiment, the coil patterns 41 to 48 formed on the conductor layers C2 and C3 are set to be The design is such that the area where the ESD protection component 2 and the ESD protection component 2 overlap is shortened. This makes it possible to ensure a sufficient number of turns and coil diameter of the coil patterns 45 to 48 formed on the conductor layers C0 and C1.
 一方、導体層C2,C3に形成するコイルパターン41~44については、平面視でできるだけESD保護部品2と重ならないよう設計する必要があることから、その分、設計自由度が低下する。しかしながら、本実施形態においては、コイルパターン41,42間やコイルパターン43,44間に位置するグランドパターンを導体層C2,C3に設けることなく、導体層C4にギャップG1と重なるグランドパターンGPを設けていることから、コイルパターン41とコイルパターン42の結合、並びに、コイルパターン43とコイルパターン44の結合を抑制しつつ、導体層C2,C3の設計自由度を高めることが可能となる。 On the other hand, since the coil patterns 41 to 44 formed in the conductor layers C2 and C3 need to be designed so as not to overlap with the ESD protection component 2 as much as possible in plan view, the degree of freedom in design is reduced accordingly. However, in this embodiment, a ground pattern located between the coil patterns 41 and 42 or between the coil patterns 43 and 44 is not provided on the conductor layers C2 and C3, but a ground pattern GP that overlaps with the gap G1 is provided on the conductor layer C4. Therefore, it is possible to increase the degree of freedom in designing the conductor layers C2 and C3 while suppressing the coupling between the coil pattern 41 and the coil pattern 42 and the coupling between the coil pattern 43 and the coil pattern 44.
 以上、本開示に係る技術の実施形態について説明したが、本開示に係る技術は、上記の実施形態に限定されることなく、その主旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能であり、それらも本開示に係る技術の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。 Although the embodiments of the technology according to the present disclosure have been described above, the technology according to the present disclosure is not limited to the above embodiments, and various changes can be made without departing from the spirit thereof. It goes without saying that this is included within the scope of the technology according to the present disclosure.
 例えば、上記実施形態では、絶縁層12にESD保護部品2を埋め込んでいるが、絶縁層12に埋め込む電子部品がこれに限定されるものではない。 For example, in the above embodiment, the ESD protection component 2 is embedded in the insulating layer 12, but the electronic component embedded in the insulating layer 12 is not limited to this.
 この出願は、2022年7月29日に出願された日本国特許出願第2022-121464号の利益を主張し、その全開示は参照により本明細書に組み込まれる。 This application claims the benefit of Japanese Patent Application No. 2022-121464, filed on July 29, 2022, the entire disclosure of which is incorporated herein by reference.
1  複合電子部品
2  ESD保護部品(電子部品)
10  素体
11~14,12A,12B  絶縁層
12a,12b  絶縁層の表面
20~27  信号端子
28,29  グランド端子
31,32  ソルダーレジスト
41~48  コイルパターン
50~59  導体パターン
60,61,63~66,68  導体パターン
70~76  導体パターン
80~87  端子電極
91,93,94,97  導体パターン
100~107,110~118,120~127,130~137,141,143,144,147  ビア導体
200  キャリア付き銅箔
201  レジストパターン
202  ビア
203  シード層
204  レジストパターン
C0~C4  導体層
CMF1~CMF4  コモンモードフィルタ
G1,G2  ギャップ
GP  グランドパターン
1 Composite electronic components 2 ESD protection components (electronic components)
10 Element bodies 11-14, 12A, 12B Insulating layers 12a, 12b Insulating layer surfaces 20-27 Signal terminals 28, 29 Ground terminals 31, 32 Solder resists 41-48 Coil patterns 50-59 Conductor patterns 60, 61, 63- 66, 68 Conductor patterns 70-76 Conductor patterns 80-87 Terminal electrodes 91, 93, 94, 97 Conductor patterns 100-107, 110-118, 120-127, 130-137, 141, 143, 144, 147 Via conductor 200 Copper foil with carrier 201 Resist pattern 202 Via 203 Seed layer 204 Resist pattern C0 to C4 Conductor layer CMF1 to CMF4 Common mode filters G1, G2 Gap GP Ground pattern

Claims (8)

  1.  絶縁層と、
     前記絶縁層の一方の表面側に位置する第1の導体層に設けられ、グランドパターンを介することなく第1のギャップを介して配置された第1及び第2のコイルパターンと、
     前記絶縁層の前記一方の表面側に位置する第2の導体層に設けられ、平面視で前記第1のギャップと重なるグランドパターンと、
     前記絶縁層に埋め込まれ、前記第1及び第2のコイルパターン並びに前記グランドパターンに接続された電子部品と、
     複数の外部端子と、を備え、
     前記複数の外部端子は、前記第1のコイルパターンの両端にそれぞれ接続された第1及び第2の信号端子と、前記第2のコイルパターンの両端にそれぞれ接続された第3及び第4の信号端子と、前記グランドパターンの両端にそれぞれ接続された第1及び第2のグランド端子とを含む、複合電子部品。
    an insulating layer;
    first and second coil patterns provided on a first conductor layer located on one surface side of the insulating layer and arranged through a first gap without a ground pattern;
    a ground pattern provided on a second conductor layer located on the one surface side of the insulating layer and overlapping with the first gap in plan view;
    an electronic component embedded in the insulating layer and connected to the first and second coil patterns and the ground pattern;
    Equipped with multiple external terminals,
    The plurality of external terminals include first and second signal terminals connected to both ends of the first coil pattern, and third and fourth signal terminals connected to both ends of the second coil pattern, respectively. A composite electronic component including a terminal and first and second ground terminals respectively connected to both ends of the ground pattern.
  2.  前記絶縁層の前記一方の表面側に位置する第3の導体層に設けられ、前記電子部品に接続された第3及び第4のコイルパターンをさらに備え、
     前記第3のコイルパターンは、平面視で前記第1のコイルパターンと重なる位置に配置され、
     前記第4のコイルパターンは、平面視で前記第2のコイルパターンと重なる位置に配置され、
     前記複数の外部端子は、前記第3のコイルパターンの両端にそれぞれ接続された第5及び第6の信号端子と、前記第4のコイルパターンの両端にそれぞれ接続された第7及び第8の信号端子とをさらに含む、請求項1に記載の複合電子部品。
    Further comprising third and fourth coil patterns provided on a third conductor layer located on the one surface side of the insulating layer and connected to the electronic component,
    The third coil pattern is arranged at a position overlapping the first coil pattern in a plan view,
    The fourth coil pattern is arranged at a position overlapping with the second coil pattern in plan view,
    The plurality of external terminals include fifth and sixth signal terminals connected to both ends of the third coil pattern, respectively, and seventh and eighth signal terminals connected to both ends of the fourth coil pattern, respectively. The composite electronic component according to claim 1, further comprising a terminal.
  3.  前記絶縁層の他方の表面側に位置する第4の導体層に設けられた第5及び第6のコイルパターンと、
     前記絶縁層の前記他方の表面側に位置する第5の導体層に設けられ、平面視でそれぞれ前記第5及び第6のコイルパターンと重なる第7及び第8のコイルパターンと、をさらに備える、請求項2に記載の複合電子部品。
    fifth and sixth coil patterns provided on a fourth conductor layer located on the other surface side of the insulating layer;
    Further comprising seventh and eighth coil patterns provided on a fifth conductor layer located on the other surface side of the insulating layer and respectively overlapping the fifth and sixth coil patterns in plan view. The composite electronic component according to claim 2.
  4.  前記第1及び第5のコイルパターンは、前記第1及び第2の信号端子間に直列に接続され、
     前記第2及び第6のコイルパターンは、前記第3及び第4の信号端子間に直列に接続され、
     前記第3及び第7のコイルパターンは、前記第5及び第6の信号端子間に直列に接続され、
     前記第4及び第8のコイルパターンは、前記第7及び第8の信号端子間に直列に接続される、請求項3に記載の複合電子部品。
    the first and fifth coil patterns are connected in series between the first and second signal terminals,
    the second and sixth coil patterns are connected in series between the third and fourth signal terminals,
    the third and seventh coil patterns are connected in series between the fifth and sixth signal terminals,
    The composite electronic component according to claim 3, wherein the fourth and eighth coil patterns are connected in series between the seventh and eighth signal terminals.
  5.  前記第5、第6、第7及び第8のコイルパターンは、それぞれ前記第1、第2、第3及び第4のコイルパターンよりも配線長が長い、請求項3に記載の複合電子部品。 The composite electronic component according to claim 3, wherein the fifth, sixth, seventh, and eighth coil patterns have longer wiring lengths than the first, second, third, and fourth coil patterns, respectively.
  6.  前記第5及び第6のコイルパターン間の第2のギャップは、前記第1のギャップよりも狭い、請求項3に記載の複合電子部品。 The composite electronic component according to claim 3, wherein the second gap between the fifth and sixth coil patterns is narrower than the first gap.
  7.  前記第2のグランド端子は、前記グランドパターンを介して前記電子部品に接続されている、請求項1に記載の複合電子部品。 The composite electronic component according to claim 1, wherein the second ground terminal is connected to the electronic component via the ground pattern.
  8.  前記複数の外部端子は、いずれも前記第2の導体層に位置する、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の複合電子部品。 The composite electronic component according to any one of claims 1 to 7, wherein the plurality of external terminals are all located on the second conductor layer.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000049015A (en) * 1998-07-30 2000-02-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd Inductor array
WO2017159282A1 (en) * 2016-03-15 2017-09-21 株式会社村田製作所 Esd protection circuit, differential transmission line, common mode filter circuit, esd protection device and composite device

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