WO2024009388A1 - Light receiver - Google Patents

Light receiver Download PDF

Info

Publication number
WO2024009388A1
WO2024009388A1 PCT/JP2022/026702 JP2022026702W WO2024009388A1 WO 2024009388 A1 WO2024009388 A1 WO 2024009388A1 JP 2022026702 W JP2022026702 W JP 2022026702W WO 2024009388 A1 WO2024009388 A1 WO 2024009388A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
optical receiver
tia
wiring board
bias circuit
subcarrier
Prior art date
Application number
PCT/JP2022/026702
Other languages
French (fr)
Japanese (ja)
Inventor
祥平 小菅
慈 金澤
Original Assignee
日本電信電話株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本電信電話株式会社 filed Critical 日本電信電話株式会社
Priority to PCT/JP2022/026702 priority Critical patent/WO2024009388A1/en
Publication of WO2024009388A1 publication Critical patent/WO2024009388A1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02Details
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/08Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors
    • H01L31/10Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors characterised by at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. phototransistors
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04BTRANSMISSION
    • H04B10/00Transmission systems employing electromagnetic waves other than radio-waves, e.g. infrared, visible or ultraviolet light, or employing corpuscular radiation, e.g. quantum communication
    • H04B10/60Receivers
    • H04B10/66Non-coherent receivers, e.g. using direct detection
    • H04B10/69Electrical arrangements in the receiver

Abstract

Provided is a light receiver in which degradation of the operating band is less likely to occur even when the distance between elements constituting the light receiver has changed. A light receiver of one embodiment comprises: a light receiving element (PD); a bias circuit that applies a bias voltage; a transimpedance amplifier (TIA); at least one subcarrier on which the PD, the bias circuit, and the TIA are mounted; and at least one high frequency wiring board that connects an upper surface of the PD and an upper surface of the bias circuit, and/or the upper surface of the PD and an upper surface of the TIA.

Description

光受信器optical receiver
 本開示は、光受信器に関し、より詳細には光受信器のための光半導体モジュールの実装技術に関する。 The present disclosure relates to an optical receiver, and more particularly to a mounting technique for an optical semiconductor module for an optical receiver.
 従来、受光素子であるフォトダイオード(PD)と、PD駆動のためのバイアス回路と、トランスインピーダンスアンプ(TIA)とを備えた光受信器が知られている(たとえば、非特許文献1参照)。特に受光素子をアバランシェフォトダイオード(APD)とする場合、TIAからの供給電圧では駆動することが難しいため、別途バイアス回路が必要となっている。 Conventionally, an optical receiver is known that includes a photodiode (PD) as a light receiving element, a bias circuit for driving the PD, and a transimpedance amplifier (TIA) (see, for example, Non-Patent Document 1). In particular, when the light receiving element is an avalanche photodiode (APD), it is difficult to drive it with the voltage supplied from the TIA, so a separate bias circuit is required.
 図1は、従来型の光受信器の概略構成を示す図である。図1(a)は上面図、図1(b)は断面図である。図1に示す光受信器100は、PD101と、PD101を駆動するためのバイアス回路102と、電気アンプであるTIA104とを備えている。 FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a conventional optical receiver. FIG. 1(a) is a top view, and FIG. 1(b) is a sectional view. The optical receiver 100 shown in FIG. 1 includes a PD 101, a bias circuit 102 for driving the PD 101, and a TIA 104 that is an electric amplifier.
 PD101とバイアス回路102はPDサブキャリア103上に配置され、TIA104はPDサブキャリア103と異なるTIAサブキャリア105上に配置されている。PDサブキャリア103およびTIAサブキャリア105は、誘電体キャリアである。 The PD 101 and the bias circuit 102 are arranged on a PD subcarrier 103, and the TIA 104 is arranged on a TIA subcarrier 105 different from the PD subcarrier 103. PD subcarrier 103 and TIA subcarrier 105 are dielectric carriers.
 バイアス回路102は、バイアス回路を構成するキャパシタであり、接続されたPD101に逆バイアスを印加する。TIA104は、接続されたPD101からの電流を電圧に変換する。PD101に最も近い位置にあるバイアス回路102(キャパシタ)は、光受信器100の高周波特性に影響を与える。 The bias circuit 102 is a capacitor that constitutes a bias circuit, and applies a reverse bias to the connected PD 101. The TIA 104 converts the current from the connected PD 101 into voltage. The bias circuit 102 (capacitor) located closest to the PD 101 affects the high frequency characteristics of the optical receiver 100.
 バイアス回路102とPD101との間、およびPD101とTIA104との間にはそれぞれ一定の距離が設けられている。PD101とバイアス回路102とは、金属のワイヤ106aにより電気的に接続されている。同様に、PD101とTIA104とは、金属のワイヤ106bにより電気的に接続されている。 A certain distance is provided between the bias circuit 102 and the PD 101, and between the PD 101 and the TIA 104, respectively. The PD 101 and the bias circuit 102 are electrically connected by a metal wire 106a. Similarly, the PD 101 and the TIA 104 are electrically connected by a metal wire 106b.
 なお、PDサブキャリア103は貫通穴を有し、貫通穴により開口部103aが形成されている。信号光が開口部103aを介してのPD101の裏面側の受光面に入射するように、PD101はPDサブキャリア103上に配置されている。 Note that the PD subcarrier 103 has a through hole, and an opening 103a is formed by the through hole. The PD 101 is arranged on the PD subcarrier 103 so that the signal light enters the light receiving surface on the back side of the PD 101 through the opening 103a.
 上述したように光受信器において光電変換された信号を伝達するために、光受信器を構成する素子間が電気的に接続されている必要がある。各素子間の電気接続には一般的に金属ワイヤが用いられている。この金属ワイヤは光受信器の周波数応答特性に影響を与えるため、光受信器を広帯域に動作させるためには各素子の周波数特性を考慮した適切な長さのワイヤ実装が求められる。例えば100Gbaud超級の光受信器では100μm前後のワイヤを実装することによって、周波数特性に若干のピーキングを設け広帯域化が図られるとされている。最適な長さのワイヤを実装するためには、それに応じた距離を素子間に設ける必要がある。加えて、実装上のトレランスからワイヤ長がばらつくことによって帯域が変化してしまうことがある。故にワイヤ実装の場合、光受信器の構造設計における自由度を律速してしまうといった課題があった。 As mentioned above, in order to transmit the photoelectrically converted signal in the optical receiver, the elements that make up the optical receiver need to be electrically connected. Metal wires are generally used for electrical connections between each element. This metal wire affects the frequency response characteristics of the optical receiver, so in order to operate the optical receiver over a wide band, it is necessary to mount the wire with an appropriate length in consideration of the frequency characteristics of each element. For example, in an optical receiver of over 100 Gbaud, it is said that by mounting wires of around 100 μm, it is possible to create a slight peaking in the frequency characteristics and widen the band. In order to implement wires of optimum length, it is necessary to provide a corresponding distance between elements. In addition, the band may change due to variations in wire length due to mounting tolerances. Therefore, in the case of wire mounting, there was a problem in that it limited the degree of freedom in the structural design of the optical receiver.
 本開示は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、光受信器を構成する素子間の距離が変わった場合でも動作帯域の劣化が生じ難い光受信器を提供することにある。 The present disclosure has been made in view of such problems, and its purpose is to provide an optical receiver in which the operating band is less likely to deteriorate even when the distance between elements constituting the optical receiver changes. It's about doing.
 このような目的を達成するために、本発明の一実施形態の光受信器は、受光素子(PD)と、バイアス電圧を印加するバイアス回路と、トランスインピーダンスアンプ(TIA)と、PD、バイアス回路、およびTIAを搭載する少なくとも1つのサブキャリアと、PDの上面とバイアス回路の上面との間、またはPDの上面とTIAの上面との間、の少なくとも1つを接続する少なくとも1つの高周波配線板とを備えている。 In order to achieve such an object, an optical receiver according to an embodiment of the present invention includes a photodetector (PD), a bias circuit that applies a bias voltage, a transimpedance amplifier (TIA), a PD, and a bias circuit. , and at least one high-frequency wiring board connecting at least one subcarrier carrying the TIA and at least one of the top surface of the PD and the top surface of the bias circuit, or the top surface of the PD and the top surface of the TIA. It is equipped with
 この構成によれば、光受信器を構成する素子間の距離が変わった場合でも動作帯域の劣化が生じ難い光受信器を提供することが可能となる。 According to this configuration, it is possible to provide an optical receiver in which the operating band is less likely to deteriorate even if the distance between the elements constituting the optical receiver changes.
従来型の光受信器の概略構成を示す図であり、(a)は上面図、(b)は断面図である。It is a figure showing a schematic structure of a conventional type optical receiver, (a) is a top view, and (b) is a sectional view. 本開示の一実施形態に係る光受信器の概略構成を示す図であり、(a)は上面図、(b)は断面図、(c)は高周波導波路基板の上面図、(d)は高周波導波路基板の断面図である。1 is a diagram showing a schematic configuration of an optical receiver according to an embodiment of the present disclosure, in which (a) is a top view, (b) is a cross-sectional view, (c) is a top view of a high frequency waveguide substrate, and (d) is a top view. FIG. 3 is a cross-sectional view of a high-frequency waveguide substrate. 本開示の一実施形態に係る光受信器の概略構成を示す図であり、(a)は上面図、(b)は断面図、(c)は高周波導波路基板の上面図、(d)は高周波導波路基板の断面図である。1 is a diagram showing a schematic configuration of an optical receiver according to an embodiment of the present disclosure, in which (a) is a top view, (b) is a cross-sectional view, (c) is a top view of a high frequency waveguide substrate, and (d) is a top view. FIG. 3 is a cross-sectional view of a high-frequency waveguide substrate. 本開示の一実施形態に係る光受信器の概略構成を示す図であり、(a)は上面図、(b)は断面図、(c)は高周波導波路基板の上面図、(d)は高周波導波路基板の断面図である。1 is a diagram showing a schematic configuration of an optical receiver according to an embodiment of the present disclosure, in which (a) is a top view, (b) is a cross-sectional view, (c) is a top view of a high frequency waveguide substrate, and (d) is a top view. FIG. 3 is a cross-sectional view of a high-frequency waveguide substrate. 本開示の一実施形態に係る光受信器の概略構成を示す図であり、(a)は上面図、(b)は断面図、(c)は高周波導波路基板の上面図、(d)は高周波導波路基板の断面図である。1 is a diagram showing a schematic configuration of an optical receiver according to an embodiment of the present disclosure, in which (a) is a top view, (b) is a cross-sectional view, (c) is a top view of a high frequency waveguide substrate, and (d) is a top view. FIG. 3 is a cross-sectional view of a high-frequency waveguide substrate. 本開示の一実施形態に係る光受信器の概略構成を示す図であり、(a)は上面図、(b)は断面図、(c)は高周波導波路基板の上面図、(d)は高周波導波路基板の断面図である。1 is a diagram showing a schematic configuration of an optical receiver according to an embodiment of the present disclosure, in which (a) is a top view, (b) is a cross-sectional view, (c) is a top view of a high frequency waveguide substrate, and (d) is a top view. FIG. 3 is a cross-sectional view of a high frequency waveguide substrate. 本開示の一実施形態に係る光受信器の概略構成を示す図であり、(a)は上面図、(b)は断面図、(c)は高周波導波路基板の上面図、(d)は高周波導波路基板の断面図である。1 is a diagram showing a schematic configuration of an optical receiver according to an embodiment of the present disclosure, in which (a) is a top view, (b) is a cross-sectional view, (c) is a top view of a high frequency waveguide substrate, and (d) is a top view. FIG. 3 is a cross-sectional view of a high-frequency waveguide substrate. 本開示の一実施形態に係る光受信器の概略構成を示す図であり、(a)は上面図、(b)は断面図、(c)は高周波導波路基板の上面図、(d)は高周波導波路基板の断面図である。1 is a diagram showing a schematic configuration of an optical receiver according to an embodiment of the present disclosure, in which (a) is a top view, (b) is a cross-sectional view, (c) is a top view of a high frequency waveguide substrate, and (d) is a top view. FIG. 3 is a cross-sectional view of a high-frequency waveguide substrate. 50Gbaudの信号光を受光した際の光受信器のTIAの出力部の周波数応答特性を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing the frequency response characteristic of the output section of the TIA of the optical receiver when receiving a 50 Gbaud signal light. 100Gbaudの信号光を受光した際の光受信器のTIAの出力部の周波数応答特性を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing the frequency response characteristic of the output section of the TIA of the optical receiver when receiving a 100 Gbaud signal light.
 以下、図面を参照しながら本開示の実施形態について詳細に説明する。同一または類似の参照符号は、同一または類似の要素を示し、繰り返しの説明は省略する。以下の説明中に例示する数値は、限定されるのではなく、本開示の要旨を逸脱しない限り他の数値を用いることができる。本明細書において、XY面のZ方向を上という。 Hereinafter, embodiments of the present disclosure will be described in detail with reference to the drawings. Identical or similar reference symbols indicate identical or similar elements, and repeated description will be omitted. The numerical values illustrated in the following description are not limited, and other numerical values can be used without departing from the gist of the present disclosure. In this specification, the Z direction of the XY plane is referred to as upward.
 本開示の一実施形態に係る光受信器では、図2から8に示すように、光受信器を構成する素子間の接続の一部または全部に、金属ワイヤの代わりに高周波配線板を用いている。上述したような従来の光受信器では、光受信器を構成する素子間の距離が最適値から離れた場合、金属ワイヤの長さが変わり光受信器の帯域が劣化してしまう課題があった。これに対して、本開示の実施形態に係る光受信器の構成ではインピーダンス線路と高インピーダンス線路を複合した線路である高周波配線板を素子間の電気接続に用いることで光受信器の帯域劣化を軽減させることができる。 In an optical receiver according to an embodiment of the present disclosure, as shown in FIGS. 2 to 8, a high-frequency wiring board is used instead of metal wires for some or all of the connections between elements constituting the optical receiver. There is. Conventional optical receivers such as those mentioned above have a problem in that when the distance between the elements that make up the optical receiver deviates from the optimal value, the length of the metal wire changes and the band of the optical receiver deteriorates. . In contrast, in the configuration of the optical receiver according to the embodiment of the present disclosure, a high-frequency wiring board, which is a combination of an impedance line and a high-impedance line, is used for electrical connection between elements, thereby reducing the band deterioration of the optical receiver. It can be reduced.
(実施形態1)
 図2を参照して、本開示の実施形態1に係る光受信器を説明する。図2(a)は本実施形態の光受信器200の上面図であり、図2(b)は光受信器200の断面図である。図2に示す光受信器200は、PD101と、バイアス回路102と、TIA104と、PDサブキャリア203と、TIAサブキャリア105とを備える。
(Embodiment 1)
With reference to FIG. 2, an optical receiver according to Embodiment 1 of the present disclosure will be described. 2(a) is a top view of the optical receiver 200 of this embodiment, and FIG. 2(b) is a sectional view of the optical receiver 200. The optical receiver 200 shown in FIG. 2 includes a PD 101, a bias circuit 102, a TIA 104, a PD subcarrier 203, and a TIA subcarrier 105.
 PD101およびバイアス回路102は、誘電体キャリアであるPDサブキャリア203の対向する2つの主面(XY面)の上面に配置されている。PDサブキャリア203の対向する2つの主面が略平行である点で、図1に示す、上面に段差を有するPDサブキャリア103と異なる。 The PD 101 and the bias circuit 102 are arranged on the upper surfaces of two opposing main surfaces (XY planes) of the PD subcarrier 203, which is a dielectric carrier. The PD subcarrier 203 differs from the PD subcarrier 103 shown in FIG. 1, which has a step on the top surface, in that the two opposing main surfaces of the PD subcarrier 203 are substantially parallel.
 TIA104は、誘電体キャリアであるTIAサブキャリア105の対向する2つの主面(XY面)の上面に配置されている。 The TIA 104 is arranged on the upper surfaces of two opposing main surfaces (XY planes) of the TIA subcarrier 105, which is a dielectric carrier.
 図1を参照して説明した光受信器100と同様に、光受信器100は、バイアス回路102とPD101との間、およびPD101とTIA104との間にはそれぞれ一定の距離が設けられている。PD101とTIA104との間は、金属のワイヤ106bで電気的に接続されている。 Similar to the optical receiver 100 described with reference to FIG. 1, in the optical receiver 100, a certain distance is provided between the bias circuit 102 and the PD 101, and between the PD 101 and the TIA 104. The PD 101 and the TIA 104 are electrically connected by a metal wire 106b.
 図2に示す光受信器200は、PD101とバイアス回路102(キャパシタ)との間の電気的接続に、金属のワイヤ106aに替えて、高周波配線板222を用いている点で、図1の光受信器100と異なる。高周波配線板222は、構造及び誘電体材料を適当に設計することにより、インピーダンス線路と高インピーダンス線路が複合した線路となっている。また、光受信器200は、高周波配線板222で架橋するPD101の上面である接続面とバイアス回路102の上面である接続面との高さが一致するように構成されている。PD101を研磨することによって、PD101の接続面とバイアス回路102の接続面と高さを合わせることができる。 The optical receiver 200 shown in FIG. 2 uses a high frequency wiring board 222 instead of the metal wire 106a for electrical connection between the PD 101 and the bias circuit 102 (capacitor). This is different from the receiver 100. The high frequency wiring board 222 is a combination of an impedance line and a high impedance line by appropriately designing the structure and dielectric material. Further, the optical receiver 200 is configured such that the connection surface, which is the top surface of the PD 101 bridged by the high-frequency wiring board 222, and the connection surface, which is the top surface of the bias circuit 102, are the same in height. By polishing the PD 101, the connection surface of the PD 101 and the connection surface of the bias circuit 102 can be aligned in height.
 高周波配線板222における線路のインピータンスは、高周波配線板222における線路223aの幅(X軸方向)を変えることで調整することができる。具体的には、線路223aの幅が小さい部分を設けると、その部分のインピータンスが大きくなる。特定のインピーダンス(たとえば、50Ω)に対応する幅を有する設計された線路223aの一部の幅を小さくすることで、線路223aの一部は、インピータンスが大きい線路、すなわち高インピーダンス線路となる。本開示において、線路223aのうち特定のインピーダンスに対応する幅を有する部分をインピーダンス線路と表現している。上述したようなインピーダンス線路と高インピーダンス線路が複合した高周波配線板222は、このように線路223aの一部の幅を小さくすることにより実現することができる。高周波配線板222を構成する誘電体材料を部分的に変更することによりインピーダンス線路と高インピーダンス線路が複合した高周波配線板222を実現してもよく、高周波配線板222の構造及び誘電体材料の組み合わせを設計することによりインピーダンス線路と高インピーダンス線路が複合した高周波配線板222を実現してもよい。 The impedance of the line on the high-frequency wiring board 222 can be adjusted by changing the width (X-axis direction) of the line 223a on the high-frequency wiring board 222. Specifically, if a narrow portion of the line 223a is provided, the impedance of that portion increases. By reducing the width of a portion of the designed line 223a that has a width corresponding to a particular impedance (eg, 50Ω), the portion of the line 223a becomes a line with a large impedance, ie, a high impedance line. In the present disclosure, a portion of the line 223a having a width corresponding to a specific impedance is expressed as an impedance line. The high frequency wiring board 222, which is a composite of the impedance line and the high impedance line as described above, can be realized by reducing the width of a portion of the line 223a in this manner. By partially changing the dielectric material constituting the high-frequency wiring board 222, a high-frequency wiring board 222 in which an impedance line and a high-impedance line are combined may be realized, and a combination of the structure of the high-frequency wiring board 222 and the dielectric material may be realized. By designing the high-frequency wiring board 222, which is a combination of an impedance line and a high-impedance line.
 図2(c)は高周波配線板222の下面図であり、図2(d)は高周波配線板222の断面図である。図2に示すように、高周波配線板222は、誘電体224の2つの主面(ZX面)を除く4つの面に形成された金属の薄膜を有する。誘電体224の下面、すなわちPD101およびバイアス回路102の上面と対向する面に形成された金属の薄膜は、スリットで分離されている。誘電体224の下面の中央に位置する薄膜が線路223aを構成する。誘電体224の下面の側方に位置しスリットにより線路223aから分離された薄膜は、誘電体224の側面(YZ面)および上面に形成された薄膜と連続しており、線路223bを構成する。線路223aはバイアス回路102から共有される所与のバイアス電位であり、線路223bはグランド等の基準電位である。高周波配線板222の線路223aおよび線路223bが、PD101およびバイアス回路102の上面に形成されたバンプ221に接して配置される。 2(c) is a bottom view of the high frequency wiring board 222, and FIG. 2(d) is a sectional view of the high frequency wiring board 222. As shown in FIG. 2, the high frequency wiring board 222 has metal thin films formed on four surfaces of the dielectric 224 excluding the two main surfaces (ZX planes). A metal thin film formed on the lower surface of the dielectric 224, that is, the surface facing the upper surfaces of the PD 101 and the bias circuit 102, is separated by a slit. A thin film located at the center of the lower surface of the dielectric 224 constitutes a line 223a. A thin film located on the side of the lower surface of the dielectric 224 and separated from the line 223a by a slit is continuous with the thin film formed on the side (YZ plane) and upper surface of the dielectric 224, and constitutes a line 223b. The line 223a is a given bias potential shared from the bias circuit 102, and the line 223b is a reference potential such as ground. Lines 223a and 223b of high-frequency wiring board 222 are placed in contact with bumps 221 formed on the upper surfaces of PD 101 and bias circuit 102.
 図9は50GbaudにおけるTIA104の出力部の周波数応答特性を示す図である。図10は100GbaudにおけるTIA104の出力部の周波数応答特性を示す図である。図9および図10において、図1に示すような従来型の光受信器における特性を破線で示し、本開示の実施形態に係る光送信器における特性を実線で示している。図9および図10に示す特性は、光受信器におけるPDとバイアス回路との間およびPDとTIAとの間の距離(素子間距離)を変化させながら計算した周波数特性を示している。 FIG. 9 is a diagram showing the frequency response characteristic of the output section of the TIA 104 at 50 Gbaud. FIG. 10 is a diagram showing the frequency response characteristic of the output section of the TIA 104 at 100 Gbaud. 9 and 10, the characteristics of the conventional optical receiver as shown in FIG. 1 are shown by broken lines, and the characteristics of the optical transmitter according to the embodiment of the present disclosure are shown by solid lines. The characteristics shown in FIGS. 9 and 10 show frequency characteristics calculated while changing the distance (inter-element distance) between the PD and the bias circuit and between the PD and the TIA in the optical receiver.
 まず図9における従来型の光受信器の周波数応答特性を参照と、素子間距離が300μm時の3dB帯域は51.0GHzであり100Gbaud信号のナイキスト周波数である50GHz以上の帯域を確保できているが、素子間距離が変化することで3dB帯域の周波数が低下し、50GHzを下回ることが確認できる。一方、本開示における提案型の光受信器では、すなわち、素子間距離に応じて線路223aおよび線路223bのインピーダンス成分を変えた高周波配線板を用いた光受信器では、ワイヤ実装に比べ素子間距離の変化に起因した3dB帯域の周波数の低下は小さく、いずれの素子間距離においても3dB帯域の周波数は50GHz以上である。このように、本開示における提案型の光受信器では、100Gbaud信号のナイキスト周波数である50GHz以上の帯域をできることが分かる。 First, referring to the frequency response characteristics of the conventional optical receiver in Fig. 9, the 3 dB band when the distance between elements is 300 μm is 51.0 GHz, and a band above 50 GHz, which is the Nyquist frequency of a 100 Gbaud signal, can be secured. It can be confirmed that as the distance between elements changes, the frequency in the 3 dB band decreases to below 50 GHz. On the other hand, in the proposed optical receiver in the present disclosure, that is, in the optical receiver using a high-frequency wiring board in which the impedance components of the lines 223a and 223b are changed according to the distance between the elements, the distance between the elements is smaller than that in wire mounting. The decrease in the frequency in the 3 dB band due to the change in is small, and the frequency in the 3 dB band is 50 GHz or more at any inter-element distance. Thus, it can be seen that the proposed optical receiver in the present disclosure can operate in a band of 50 GHz or more, which is the Nyquist frequency of a 100 Gbaud signal.
 つぎに図10の100Gbaudにおける周波数特性を参照すると、従来型の光受信器では素子間距離の変化に応じて、3dB帯域のような所与の応答を確保するための周波数が低下するが、本開示における提案型の光受信器ではそのような周波数の低下は見られない。 Next, referring to the frequency characteristics at 100 Gbaud in Fig. 10, in a conventional optical receiver, the frequency required to secure a given response such as a 3 dB band decreases as the distance between elements changes; Such frequency reduction is not observed in the optical receiver proposed in the disclosure.
 以上のことから本開示のおける提案型の光受信器は、従来型の光受信器に比べ、素子間距離の拡大及び実装時に起こり得る素子間距離のばらつきに伴う所与の周波数応答を確保するための周波数の低下を抑えることができることが示された。また本実施形態では、ボーレートを100Gbaud及び50Gbaudとして検証を行っているが、適用するボーレートに応じて高周波配線板を設計し直すことで、同様の効果が得られる。 From the above, compared to conventional optical receivers, the proposed optical receiver of the present disclosure is able to secure a given frequency response due to the increased distance between elements and variations in the distance between elements that may occur during mounting. It was shown that it is possible to suppress the decrease in frequency caused by Further, in this embodiment, the verification is performed using baud rates of 100 Gbaud and 50 Gbaud, but similar effects can be obtained by redesigning the high frequency wiring board according to the applied baud rate.
(実施形態2)
 図3を参照して、本開示の実施形態2に係る光受信器を説明する。図3(a)は本実施形態の光受信器300の上面図であり、図3(b)は光受信器300の断面図である。図3(c)は高周波配線板222の下面図であり、図3(d)は高周波配線板222の断面図である。
(Embodiment 2)
With reference to FIG. 3, an optical receiver according to Embodiment 2 of the present disclosure will be described. 3(a) is a top view of the optical receiver 300 of this embodiment, and FIG. 3(b) is a sectional view of the optical receiver 300. 3(c) is a bottom view of the high frequency wiring board 222, and FIG. 3(d) is a sectional view of the high frequency wiring board 222.
 図3に示す光受信器300は、PDサブキャリア303の上面に設けた段差により、高周波配線板で架橋するPD101の上位面とバイアス回路102の上面の高さを合わせた構成である点で、図2を参照して説明した光受信器200、すなわちPDサブキャリア203の段差のない上面に配置するPD101を研磨することによって高さを合わせた構成の光受信器200と異なる。本実施形態構成ではPDを研磨する必要がないため、PDの動作信頼性が損なわれない。裏面入射型のPD101を搭載するPDサブキャリア303は、貫通穴による開口部303aを備えている。 The optical receiver 300 shown in FIG. 3 has a structure in which the height of the upper surface of the PD 101 bridged by the high-frequency wiring board and the upper surface of the bias circuit 102 are matched by a step provided on the upper surface of the PD subcarrier 303. This differs from the optical receiver 200 described with reference to FIG. 2, that is, the optical receiver 200 in which the height is adjusted by polishing the PD 101 disposed on the top surface of the PD subcarrier 203 without a step. In the configuration of this embodiment, there is no need to polish the PD, so the operational reliability of the PD is not impaired. The PD subcarrier 303 on which the back-illuminated PD 101 is mounted has an opening 303a formed by a through hole.
 光受信器300におけるその他の構成は、光受信器200の構成と同様である。本実施形態の光受信器300においても、実施形態1の光受信器200と同様の効果がある。 The other configuration of the optical receiver 300 is similar to the configuration of the optical receiver 200. The optical receiver 300 of this embodiment also has the same effects as the optical receiver 200 of the first embodiment.
(実施形態3)
 図4を参照して、本開示の実施形態3に係る光受信器を説明する。図4(a)は本実施形態の光受信器400の上面図であり、図4(b)は光受信器400の断面図である。図4(c)は高周波配線板222の下面図であり、図4(d)は高周波配線板222の断面図である。
(Embodiment 3)
With reference to FIG. 4, an optical receiver according to Embodiment 3 of the present disclosure will be described. 4(a) is a top view of the optical receiver 400 of this embodiment, and FIG. 4(b) is a sectional view of the optical receiver 400. 4(c) is a bottom view of the high frequency wiring board 222, and FIG. 4(d) is a sectional view of the high frequency wiring board 222.
 図4に示す光受信器400は、バイアス回路102(キャパシタ)、PD101、及びTIA104が、単一のサブキャリア403上に設置されている点で、図3を参照して説明した光受信器300と異なる。本実施形態の構成とすることで、実施形態1および2の構成と比べ、使用部材の数を減らすことができる。サブキャリア403は、誘電体キャリアである。サブキャリア403の上面に設けた段差により、高周波配線板で架橋するPD101の上位面とバイアス回路102の上面の高さを合わせた構成である。裏面入射型のPD101を搭載するPDサブキャリア403は、貫通穴による開口部403aを備えている。 The optical receiver 400 shown in FIG. 4 is different from the optical receiver 300 described with reference to FIG. different from. With the configuration of this embodiment, the number of members used can be reduced compared to the configurations of Embodiments 1 and 2. Subcarrier 403 is a dielectric carrier. The height difference provided on the upper surface of the subcarrier 403 matches the height of the upper surface of the PD 101 bridged by the high frequency wiring board and the upper surface of the bias circuit 102. The PD subcarrier 403 on which the back-illuminated PD 101 is mounted has an opening 403a formed by a through hole.
 光受信器400におけるその他の構成は、光受信器200の構成と同様である。本実施形態の光受信器400においても、実施形態1の光受信器200と同様の効果がある。 The other configuration of optical receiver 400 is similar to the configuration of optical receiver 200. The optical receiver 400 of this embodiment also has the same effects as the optical receiver 200 of the first embodiment.
(実施形態4)
 図5を参照して、本開示の実施形態4に係る光受信器を説明する。図5(a)は本実施形態の光受信器500の上面図であり、図5(b)は光受信器500の断面図である。図5(c)は高周波配線板222の下面図であり、図5(d)は高周波配線板222の断面図である。
(Embodiment 4)
With reference to FIG. 5, an optical receiver according to Embodiment 4 of the present disclosure will be described. 5(a) is a top view of the optical receiver 500 of this embodiment, and FIG. 5(b) is a sectional view of the optical receiver 500. 5(c) is a bottom view of the high frequency wiring board 222, and FIG. 5(d) is a sectional view of the high frequency wiring board 222.
 図5に示す光受信器500は、図3を参照して説明した光受信器300における裏面入射型のPD201に替えて、表面入射型のPD501とした構成である。図5に示すように、光受信器500のPDサブキャリア503は、貫通穴により信号光がとおる開口部を設ける必要がなく、実装工程を減らすことができる。サブキャリア503は、誘電体キャリアである。サブキャリア503の上面に設けた段差により、高周波配線板で架橋するPD501の上位面とバイアス回路102の上面の高さを合わせた構成である。 The optical receiver 500 shown in FIG. 5 has a configuration in which a front-illuminated PD 501 is used instead of the back-illuminated PD 201 in the optical receiver 300 described with reference to FIG. As shown in FIG. 5, in the PD subcarrier 503 of the optical receiver 500, there is no need to provide an opening through which the signal light passes due to a through hole, and the number of mounting steps can be reduced. Subcarrier 503 is a dielectric carrier. The height difference provided on the top surface of the subcarrier 503 matches the height of the top surface of the PD 501 bridged by the high frequency wiring board and the top surface of the bias circuit 102.
 光受信器500におけるその他の構成は、光受信器300の構成と同様である。本実施形態の光受信器500においても、実施形態2の光受信器300と同様の効果、すなわち実施形態1の光受信器200と同様の効果がある。 The other configuration of optical receiver 500 is similar to the configuration of optical receiver 300. The optical receiver 500 of this embodiment also has the same effect as the optical receiver 300 of the second embodiment, that is, the same effect as the optical receiver 200 of the first embodiment.
(実施形態5)
 図6を参照して、本開示の実施形態5に係る光受信器を説明する。図6(a)は本実施形態の光受信器600の上面図であり、図6(b)は光受信器600の断面図である。図6(c)は高周波配線板222の下面図であり、図6(d)は高周波配線板222の断面図である。
(Embodiment 5)
With reference to FIG. 6, an optical receiver according to Embodiment 5 of the present disclosure will be described. 6(a) is a top view of the optical receiver 600 of this embodiment, and FIG. 6(b) is a sectional view of the optical receiver 600. 6(c) is a bottom view of the high frequency wiring board 222, and FIG. 6(d) is a sectional view of the high frequency wiring board 222.
 図6に示す光受信器600は、図3を参照して説明した光受信器300において、バイアス回路102(キャパシタ)とPD101との間の接続に金属のワイヤ106aを用いるとともに、PD101とTIA104との間の接続に高周波配線板222を用いた構成である。PD101の上面とTIA104の上面の位置を合わせるために、TIA105の高さを調整している。 The optical receiver 600 shown in FIG. 6 uses a metal wire 106a for connection between the bias circuit 102 (capacitor) and the PD 101 in the optical receiver 300 described with reference to FIG. This configuration uses a high frequency wiring board 222 for connection between the two. The height of the TIA 105 is adjusted to align the top surface of the PD 101 and the top surface of the TIA 104.
 光受信器600の構成では、PD101の上面のバンプ221の間隔とTIA104の上面のバンプ221の間隔が異なっていても接続が容易となる。たとえば、バンプ221の間隔に応じて高周波配線板222の裏面に形成する線路223aおよび線路223bのパターンをテーパ状にすることで、PD101とTIA104とを容易に接続することができる。 The configuration of the optical receiver 600 facilitates connection even if the spacing between the bumps 221 on the top surface of the PD 101 and the bumps 221 on the top surface of the TIA 104 are different. For example, the PD 101 and the TIA 104 can be easily connected by tapering the pattern of the lines 223a and 223b formed on the back surface of the high-frequency wiring board 222 according to the spacing between the bumps 221.
 光受信器600におけるその他の構成は、光受信器300の構成と同様である。本実施形態の光受信器600においても、実施形態2の光受信器300と同様の効果、すなわち実施形態1の光受信器200と同様の効果がある。 The other configuration of the optical receiver 600 is similar to the configuration of the optical receiver 300. The optical receiver 600 of this embodiment also has the same effect as the optical receiver 300 of the second embodiment, that is, the same effect as the optical receiver 200 of the first embodiment.
(実施形態6)
 図7を参照して、本開示の実施形態6に係る光受信器を説明する。図7(a)は本実施形態の光受信器700の上面図であり、図7(b)は光受信器700の断面図である。図7(c)は高周波配線板222の一部の下面図であり、図7(d)は高周波配線板222の断面図である。
(Embodiment 6)
With reference to FIG. 7, an optical receiver according to Embodiment 6 of the present disclosure will be described. 7(a) is a top view of the optical receiver 700 of this embodiment, and FIG. 7(b) is a sectional view of the optical receiver 700. 7(c) is a bottom view of a portion of the high frequency wiring board 222, and FIG. 7(d) is a sectional view of the high frequency wiring board 222.
 図7に示す光受信器700は、図3を参照して説明した光受信器300におけるPD101とTIA104との間の接続を、金属のワイヤ106bに替えて、高周波配線板222を用いておこなった構成である。PD101の上面とTIA104の上面の位置を合わせるために、TIA105の高さを調整している。光受信器300においてPD101とバイアス回路102(キャパシタ)との間の接続に用いた高周波配線板222のY方向長さを長くした構成である。バイアス回路102、PD101、およびTIA104の上面には、単一の高周波配線板222が配置され、バイアス回路102の上面に設けられたバンプ221とPD101の上面に設けられたバンプ221とが線路223aおよび223bで接続され、PD101の上面に設けられたバンプ221とTIA104の上面に設けられたバンプ221とが線路223aおよび223bで接続されている。単一の高周波配線板222の裏面には、PD101の上面に設けられたバイアス回路102側のバンプ221とTIA104側のバンプ221とを接続する線路223aおよび223bが設けられていない。 In the optical receiver 700 shown in FIG. 7, the connection between the PD 101 and the TIA 104 in the optical receiver 300 described with reference to FIG. 3 is performed using a high frequency wiring board 222 instead of the metal wire 106b. It is the composition. The height of the TIA 105 is adjusted to align the top surface of the PD 101 and the top surface of the TIA 104. This is a configuration in which the length in the Y direction of the high frequency wiring board 222 used for connection between the PD 101 and the bias circuit 102 (capacitor) in the optical receiver 300 is increased. A single high-frequency wiring board 222 is placed on the top surface of the bias circuit 102, PD 101, and TIA 104, and the bumps 221 provided on the top surface of the bias circuit 102 and the bumps 221 provided on the top surface of the PD 101 connect to the line 223a and the bump 221 provided on the top surface of the PD 101. The bump 221 provided on the top surface of the PD 101 and the bump 221 provided on the top surface of the TIA 104 are connected by lines 223a and 223b. The back surface of the single high-frequency wiring board 222 is not provided with lines 223a and 223b that connect the bump 221 on the bias circuit 102 side and the bump 221 on the TIA 104 side provided on the top surface of the PD 101.
 図7に示す光受信器700は、素子間の電気的接続のための部材の数と実装のための工程の数を減らすことができる。また本実施形態において裏面入射型のPD201に替えて表面入射型のPD501(図5)を用いる場合は、高周波配線板222の中央部に上面および下面を貫通する貫通穴により開口部を設けることで信号光をAPD501の受光面に入射させてもよい。高周波配線板222の線路223aおよび223bにおける電流分布は電極エッジ(バンプ221の周囲)に集中するため、高周波配線板222の中央部に貫通穴を開けることによる高周波電気信号の劣化はほとんど起きない。 The optical receiver 700 shown in FIG. 7 can reduce the number of members for electrical connection between elements and the number of steps for mounting. Furthermore, in the case of using a front-illuminated PD501 (FIG. 5) instead of the back-illuminated PD201 in this embodiment, an opening can be provided in the center of the high-frequency wiring board 222 by a through hole penetrating the upper and lower surfaces. The signal light may be made incident on the light receiving surface of the APD 501. Since the current distribution in the lines 223a and 223b of the high-frequency wiring board 222 is concentrated at the electrode edges (around the bumps 221), the high-frequency electrical signal is hardly degraded by making a through hole in the center of the high-frequency wiring board 222.
 光受信器700におけるその他の構成は、光受信器300の構成と同様である。本実施形態の光受信器700においても、実施形態2の光受信器300と同様の効果、すなわち実施形態1の光受信器200と同様の効果がある。 The other configuration of optical receiver 700 is similar to the configuration of optical receiver 300. The optical receiver 700 of this embodiment also has the same effect as the optical receiver 300 of the second embodiment, that is, the same effect as the optical receiver 200 of the first embodiment.
(実施形態7)
 図8を参照して、本開示の実施形態7に係る光受信器を説明する。図8(a)は本実施形態の光受信器800の上面図であり、図8(b)は光受信器800の断面図である。図8(c)は高周波配線板222aおよび222bの下面図であり、図8(d)は高周波配線板222aおよび222bの断面図である。
(Embodiment 7)
With reference to FIG. 8, an optical receiver according to Embodiment 7 of the present disclosure will be described. 8(a) is a top view of the optical receiver 800 of this embodiment, and FIG. 8(b) is a sectional view of the optical receiver 800. FIG. 8(c) is a bottom view of high- frequency wiring boards 222a and 222b, and FIG. 8(d) is a cross-sectional view of high- frequency wiring boards 222a and 222b.
 図8に示す光受信器800は、図3を参照して説明した光受信器300におけるPD101とTIA104との間の接続を、金属のワイヤ106bに替えて、高周波配線板222bを用いて行った構成である。高周波配線板222aは、図3を参照して説明した光受信器300における高周波配線板222に相当する。光受信器800では、光受信器300のPD101の上面とTIA104の上面の位置を合わせるために、TIA105の高さを調整している。 In the optical receiver 800 shown in FIG. 8, the connection between the PD 101 and the TIA 104 in the optical receiver 300 described with reference to FIG. 3 is made using a high frequency wiring board 222b instead of the metal wire 106b. It is the composition. The high frequency wiring board 222a corresponds to the high frequency wiring board 222 in the optical receiver 300 described with reference to FIG. In the optical receiver 800, the height of the TIA 105 is adjusted in order to align the top surface of the PD 101 of the optical receiver 300 with the top surface of the TIA 104.
 光受信器800においては、バイアス回路102とPD101とを接続する高周波配線板222を構成する材料と異なる材料を用いて、PD101とTIA104とを接続する高周波配線板222bを構成することができる。また、裏面入射型のPD101に替えて表面入射型のPD501を用いる場合には、PDサブキャリア303に貫通穴を空ける必要がなく実装のための工程の数を減らすことができる。 In the optical receiver 800, the high frequency wiring board 222b connecting the PD 101 and the TIA 104 can be constructed using a material different from the material composing the high frequency wiring board 222 connecting the bias circuit 102 and the PD 101. Further, when a front-illuminated PD 501 is used instead of the back-illuminated PD 101, there is no need to make a through hole in the PD subcarrier 303, and the number of mounting steps can be reduced.
 光受信器800におけるその他の構成は、光受信器300の構成と同様である。本実施形態の光受信器800においても、実施形態2の光受信器300と同様の効果、すなわち実施形態1の光受信器200と同様の効果がある。 The other configuration of optical receiver 800 is similar to the configuration of optical receiver 300. The optical receiver 800 of this embodiment also has the same effect as the optical receiver 300 of the second embodiment, that is, the same effect as the optical receiver 200 of the first embodiment.
 光受信器を構成する素子間の距離が変わった場合でも動作帯域の劣化が生じ難い光受信器が提供される。 An optical receiver is provided in which the operating band is less likely to deteriorate even when the distance between elements constituting the optical receiver changes.
 100、200、300、400、500、600、700、800 光受信器
 101、501 フォトダイオード(PD)
 102 バイアス回路(キャパシタ)
 103、203、303 PDサブキャリア
 103a、303a、403a 開口部(貫通穴)
 104 トランスインピーダンスアンプ(TIA)
 105 TIAサブキャリア
 106a、106b ワイヤ
 221 バンプ
 222、222a、222b 高周波配線板
 223a、223b 線路
 224 誘電体
 403 サブキャリア
 503 PDサブキャリア
100, 200, 300, 400, 500, 600, 700, 800 Optical receiver 101, 501 Photodiode (PD)
102 Bias circuit (capacitor)
103, 203, 303 PD subcarrier 103a, 303a, 403a Opening (through hole)
104 Transimpedance amplifier (TIA)
105 TIA subcarrier 106a, 106b wire 221 bump 222, 222a, 222b high frequency wiring board 223a, 223b line 224 dielectric 403 subcarrier 503 PD subcarrier

Claims (8)

  1.  受光素子(PD)と、
     バイアス電圧を印加するバイアス回路と、
     トランスインピーダンスアンプ(TIA)と、
     前記PD、前記バイアス回路、および前記TIAを搭載する少なくとも1つのサブキャリアと、
     前記PDの上面と前記バイアス回路の上面との間、または前記PDの上面と前記TIAの上面との間の、少なくとも1つを接続する少なくとも1つの高周波配線板と
    を備えた、光受信器。
    A photodetector (PD),
    a bias circuit that applies a bias voltage;
    Transimpedance amplifier (TIA) and
    at least one subcarrier carrying the PD, the bias circuit, and the TIA;
    An optical receiver comprising: at least one high frequency wiring board connecting at least one between the top surface of the PD and the top surface of the bias circuit or between the top surface of the PD and the top surface of the TIA.
  2.  前記バイアス回路、前記PD、および前記TIAの下面が、前記少なくとも1つのサブキャリアの上面と対向しており、
     前記バイアス回路の上面と、前記PDの上面と、前記TIAの上面とが、単一の高周波配線板で接続されている、請求項1記載の光受信器。
    A lower surface of the bias circuit, the PD, and the TIA faces an upper surface of the at least one subcarrier;
    The optical receiver according to claim 1, wherein the upper surface of the bias circuit, the upper surface of the PD, and the upper surface of the TIA are connected by a single high-frequency wiring board.
  3.  前記バイアス回路、前記PD、および前記TIAの下面が、前記少なくとも1つのサブキャリアの上面と対向しており、
     前記バイアス回路の上面と前記PDの上面とが第1の高周波配線板で接続されており、
     前記PDの上面と前記TIAの上面とが、前記第1の高周波配線板とは別個の第2の高周波配線板で接続されている、請求項1記載の光受信器。
    a lower surface of the bias circuit, the PD, and the TIA faces an upper surface of the at least one subcarrier;
    The upper surface of the bias circuit and the upper surface of the PD are connected by a first high frequency wiring board,
    The optical receiver according to claim 1, wherein the upper surface of the PD and the upper surface of the TIA are connected by a second high frequency wiring board that is separate from the first high frequency wiring board.
  4.  前記PDが裏面入射型のPDである、請求項1から3のいずれか一項に記載の光受信器。 The optical receiver according to any one of claims 1 to 3, wherein the PD is a back-illuminated PD.
  5.  前記PDが表面入射型のPDである、請求項1から3のいずれか一項に記載の光受信器。 The optical receiver according to any one of claims 1 to 3, wherein the PD is a front-illuminated PD.
  6.  前記バイアス回路および前記PDが、第1のサブキャリアの上面に設置されており、
     前記TIAが、第2のサブキャリアの上面に設置されており、
     前記第1のサブキャリアおよび前記第2のサブキャリアは分離されている、請求項1から3のいずれか一項に記載の光受信器。
    the bias circuit and the PD are installed on the top surface of the first subcarrier,
    the TIA is installed on the top surface of the second subcarrier,
    The optical receiver according to any one of claims 1 to 3, wherein the first subcarrier and the second subcarrier are separated.
  7.  前記バイアス回路、前記PD、および前記TIAが、単一のサブキャリア上に設置されている、請求項1から3のいずれか一項に記載の光受信器。 The optical receiver according to any one of claims 1 to 3, wherein the bias circuit, the PD, and the TIA are installed on a single subcarrier.
  8.  前記高周波配線板によって接続された前記PDの上面の高さと前記バイアス回路の上面の高さ、または、前記高周波配線板によって接続された前記PDの上面の高さと前記TIAの上面の高さ、のうちの少なくとも1つが、前記サブキャリアの上面に設けられた段差、または、前記PDを研磨すること、の少なくとも1つよって調整されている、請求項1から3のいずれか一項に記載の光受信器。 The height of the top surface of the PD connected by the high frequency wiring board and the height of the top surface of the bias circuit, or the height of the top surface of the PD connected by the high frequency wiring board and the height of the top surface of the TIA. The light according to any one of claims 1 to 3, wherein at least one of the steps is adjusted by at least one of a step provided on the upper surface of the subcarrier or polishing the PD. receiver.
PCT/JP2022/026702 2022-07-05 2022-07-05 Light receiver WO2024009388A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2022/026702 WO2024009388A1 (en) 2022-07-05 2022-07-05 Light receiver

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2022/026702 WO2024009388A1 (en) 2022-07-05 2022-07-05 Light receiver

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2024009388A1 true WO2024009388A1 (en) 2024-01-11

Family

ID=89452971

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2022/026702 WO2024009388A1 (en) 2022-07-05 2022-07-05 Light receiver

Country Status (1)

Country Link
WO (1) WO2024009388A1 (en)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003197952A (en) * 2001-12-27 2003-07-11 Mitsubishi Electric Corp Optical signal receiving module
WO2004036653A1 (en) * 2002-10-17 2004-04-29 Avanex Corporation Travelling-wave monolithic optoelectronic module
WO2009096568A1 (en) * 2008-01-30 2009-08-06 Kyocera Corporation Wiring board for high frequency, package for containing electronic component, electronic device and communication apparatus
JP2012169478A (en) * 2011-02-15 2012-09-06 Mitsubishi Electric Corp Optical receiving module
JP2019186813A (en) * 2018-04-13 2019-10-24 住友電気工業株式会社 Photodetector device
JP2019192696A (en) * 2018-04-19 2019-10-31 パナソニックIpマネジメント株式会社 Optical communication module device and optical communication system
WO2021171599A1 (en) * 2020-02-28 2021-09-02 日本電信電話株式会社 High-speed optical transmission/reception device

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003197952A (en) * 2001-12-27 2003-07-11 Mitsubishi Electric Corp Optical signal receiving module
WO2004036653A1 (en) * 2002-10-17 2004-04-29 Avanex Corporation Travelling-wave monolithic optoelectronic module
WO2009096568A1 (en) * 2008-01-30 2009-08-06 Kyocera Corporation Wiring board for high frequency, package for containing electronic component, electronic device and communication apparatus
JP2012169478A (en) * 2011-02-15 2012-09-06 Mitsubishi Electric Corp Optical receiving module
JP2019186813A (en) * 2018-04-13 2019-10-24 住友電気工業株式会社 Photodetector device
JP2019192696A (en) * 2018-04-19 2019-10-31 パナソニックIpマネジメント株式会社 Optical communication module device and optical communication system
WO2021171599A1 (en) * 2020-02-28 2021-09-02 日本電信電話株式会社 High-speed optical transmission/reception device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8969989B2 (en) Optical-to-electrical converter unit and semiconductor light-receiving device
CN117997434A (en) Integrated optical transceiver, compact optical engine and multichannel optical engine
JP6247169B2 (en) Optical receiver circuit and optical receiver
US10447407B2 (en) High-frequency optoelectronic module
US20130071129A1 (en) Multi-channel optical waveguide receiver
US20130101251A1 (en) Optical Module and Multilayer Substrate
WO2019225440A1 (en) Optical communication apparatus
US20140178069A1 (en) Optical receiver module
JP2013005014A (en) Optical receiving circuit
US10180588B1 (en) Reduced-cross-talk coherent optical transmitter
JP6541528B2 (en) Optical receiving module and method of manufacturing optical receiving module
WO2024009388A1 (en) Light receiver
US11177219B1 (en) Photonic integrated circuit with integrated optical transceiver front-end circuitry for photonic devices and methods of fabricating the same
JP2013229801A (en) Optical reception module and optical receiver
JP2017034184A (en) Optical receiver module
JP2004093606A (en) Optical module and optical transmitter
US10250334B2 (en) Optical receiver module and optical module
WO2022224308A1 (en) Light-receiving element and light-receiving circuit
US20090003844A1 (en) High speed optoelectronic receiver
JP6720330B2 (en) Carrier layout for an electro-optical module, electro-optical module using the carrier layout, and interconnect structure for coupling an electronic unit to an optical device
US20230005897A1 (en) Optical Receiving Circuit
US10514516B2 (en) Semiconductor optical device monolithically integrating optical waveguides with photodiodes having a shared bias pad and apparatus implementing the same
WO2021075035A1 (en) Optical communication component
JP2003243777A (en) Array type semiconductor laser apparatus and semiconductor laser module
JP2019110173A (en) Optical receiver

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 22950182

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1