WO2023207371A1 - 一种基于光学能量传输方程的自搭建显微成像系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种基于光学能量传输方程的自搭建显微成像系统，包括支架、光源机构、显微镜主体、位置调节机构、置物板及变焦成像机构；变焦成像机构包括第一透镜、电控变焦透镜、第二透镜及相机。本发明的有益效果是：改变电控变焦透镜的焦距，而不对被测样品或相机进行机械移动，其效果与现有技术中不改变焦距而移动被测样品或相机相同，但可以实现三维定量相位的高速测量；同时，通过在镜筒与支架之间增设位置调节机构，从而为显微镜主体提供了水平和纵向两个方向上的自由度，因此，光学系统可以通过水平或纵向方向的移动进行校准，从而显著提高了系统校准的精确度与简便性，同时大大节省了系统校准的时间，提高相位测量效率。
Description
本发明涉及三维形貌测量技术领域，尤其是涉及一种基于光学能量传输方程的自搭建显微成像系统。
在工业制造领域中，物体三维形貌信息对制造过程控制具有重要意义。光线照射在物体上，物体的三维形貌会影响光波的波前与相位分布。因此，通过计算相位便可以获得物体的深度信息。然而，当前所有的光学信号探测设备(如互补金属氧化物半导体型和电荷耦合器件型相机)等设备只能记录光强，不能记录相位信息。因此，必须采用特定的方法从强度探测信号中解调出相位信息。光学能量传输方程技术是一种典型的光学相位提取方法。不同于传统的基于光学干涉技术的相位测量方法(如申请号为CN201911050178.6的发明专利)，光学能量传输方程本质上是一个偏微分方程，它描述了近轴近似状态下光的相位和强度之间满足的一阶偏导关系。从原理上，可以用多个轴向位移平面上的光场强度，求解光学能量传输方程，即可获得相位信息。这使得基于光学能量传输方程的光学系统设计比基于光学干涉方法的紧凑和简洁的多。
传统的基于光学能量传输方程的相位测量系统，其往往需要机械移动被测样品或相机，从而无法实现三维定量相位的高速测量，同时，现有的基于光学能量传输方程的相位测量系统难以进行校准，以补偿光学元件装配产生的同轴度与平行度误差，导致求解相位信息的效率与精确性较低。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种基于光学能量传输方程的自搭建显微成像系统，用以解决传统的基于光学能量传输方程的相位测量系统，需要机械移动被测样品或相机，从而无法实现三维定量相位的高速测量，以及难以进行校准，以补偿光学元件装配产生的同轴度与平行度误差，导致求解相
位信息的效率与精确性较低的技术问题。
为了实现上述目的，本发明提供了一种基于光学能量传输方程的自搭建显微成像系统，包括支架、光源机构、显微镜主体、位置调节机构、置物板及变焦成像机构；
所述光源机构固定于所述支架上；
所述显微镜主体包括镜筒、目镜及物镜，所述目镜及所述物镜均固定于所述镜筒内；
所述位置调节机构与所述镜筒连接、并用于调节所述镜筒的高度及前后位置；
所述置物板固定于所述支架上、并位于所述光源机构与所述物镜之间；
所述变焦成像机构包括第一透镜、电控变焦透镜、第二透镜及相机，所述第一透镜的前焦面位于所述目镜的像平面，所述电控变焦透镜位于所述第一透镜的后焦面、并位于所述第二透镜的前焦面；所述相机的镜头位于所述第二透镜的后焦面。
在一些实施例中，所述光源机构包括照明套件、透射照明模块、聚光镜及滤光片，所述透射照明模块的输入端与所述照明套件的输出端连接，所述透射照明模块的输出端朝向所述聚光镜设置，所述滤光片设置于所述聚光镜与所述置物板之间。
在一些实施例中，所述位置调节机构包括前后位置调节组件、移动块及上下位置调节组件，所述前后位置调节组件与所述支架及所述移动块均连接、并用于调节所述移动块的前后位置，所述上下位置调节组件与所述移动块及所述镜筒均连接、并用于调节所述镜筒的高度。
在一些实施例中，所述支架上开设有沿水平方向延伸的第一导向孔及第一螺孔；所述前后位置调节组件包括第一导向杆及前后位置调节螺杆，所述第一导向杆滑动插设于所述第一导向孔内，所述第一导向杆与所述移动块固定连接，所述前后位置调节螺杆螺纹连接于所述第一螺孔内，所述前后位置调节螺杆与所述移动块转动连接。
在一些实施例中，所述前后位置调节组件还包括第一轴承，所述第一轴承的内圈固定套设于所述前后位置调节螺杆上，所述第一轴承的外圈与所述移动块固定连接。
在一些实施例中，所述移动块上开设有沿竖向延伸的第二导向孔及第二螺孔；所述上下位置调节组件包括第二导向杆及上下位置调节螺杆，所述第二导向杆滑动插设于所述第二导向孔内，所述第二导向杆与所述镜筒固定连接，所述上下位置调节螺杆螺纹连接于所述第二螺孔内，所述上下位置调节螺杆与所述镜筒转动连接。
在一些实施例中，所述上下位置调节组件还包括第二轴承，所述第二轴承的内圈固定套设于所述上下位置调节螺杆上，所述第二轴承的外圈与所述镜筒固定连接。
在一些实施例中，所述变焦成像机构还包括矩形光阑，所述矩形光阑设置于所述目镜的像平面。
在一些实施例中，所述变焦成像机构还包括防护套筒，所述第一透镜、所述电控变焦透镜、所述第二透镜及所述相机均内置于所述防护套筒内。
在一些实施例中，所述基于光学能量传输方程的自搭建显微成像系统还包括底座，所述支架固定于所述底座上。
与现有技术相比，本发明提出的技术方案的有益效果是：在使用时，改变电控变焦透镜的焦距，而不对被测样品或相机进行机械移动，其效果与现有技术中不改变焦距而移动被测样品或相机相同，但可以实现三维定量相位的高速测量(因为相对于移动被测样品或相机来说，调节电控变焦透镜的焦距更为便利)；同时，通过在镜筒与支架之间增设位置调节机构，从而为显微镜主体提供了水平和纵向两个方向上的自由度(即显微镜测头可以水平和纵向机械移动)，因此，光学系统可以通过水平或纵向方向的移动进行校准，从而显著提高了系统校准的精确度与简便性，同时大大节省了系统校准的时间，提高相位测量效率，且具有满足其他光学实验的通用性。
图1是本发明提供的基于光学能量传输方程的自搭建显微成像系统的一实施例的结构示意图；
图2是图1中的位置调节机构的结构示意图；
图3是图1中的变焦成像机构的立体结构示意图(省略防护套筒)；
图4是本发明的一实施例进行光路系统校准时，变焦过程中图像的变化图；
图5是图1中的实施例进行光路系统校准时，在焦时的图像和离焦时的图像；
图6是光学系统校准前和校准后微透镜阵列的三维定量相位恢复图；
图中：1-支架、2-光源机构、21-照明套件、22-透射照明模块、23-聚光镜、24-滤光片、3-显微镜主体、31-镜筒、32-目镜、33-物镜、4-位置调节机构、41-前后位置调节组件、411-第一导向杆、412-前后位置调节螺杆、413-第一轴承、42-移动块、43-上下位置调节组件、431-第二导向杆、432-上下位置调节螺杆、433-第二轴承、5-置物板、6-变焦成像机构、61-第一透镜、62-电控变焦透镜、63-第二透镜、64-相机、65-矩形光阑、66-防护套筒、7-底座。
下面结合附图来具体描述本发明的优选实施例，其中，附图构成本申请一部分，并与本发明的实施例一起用于阐释本发明的原理，并非用于限定本发明的范围。
请参照图1-图3，本发明提供了一种基于光学能量传输方程的自搭建显微成像系统，包括支架1、光源机构2、显微镜主体3、位置调节机构4、置物板5及变焦成像机构6。
所述光源机构2固定于所述支架1上。所述显微镜主体3包括镜筒31、目镜32及物镜33，所述目镜32及所述物镜33均固定于所述镜筒31内。所述位置调节机构4与所述镜筒31连接、并用于调节所述镜筒31的高度及前后位置。所述置物板5固定于所述支架1上、并位于所述光源机构2与所述物镜33之间，置物板5由透明材料制成。
所述变焦成像机构6包括第一透镜61、电控变焦透镜62、第二透镜63及相机64，所述第一透镜61的前焦面位于所述目镜32的像平面(即置物板5上的检测样品在目镜32中的成像面)，所述电控变焦透镜62位于所述第一透镜61的后焦面、并位于所述第二透镜63的前焦面；所述相机64的镜头位于所述第二透镜63的后焦面。本实施例中，相机64为CCD相机(分
辨率为1936pixels×1216pixels，5.86μm/pixel)。
在使用时，改变电控变焦透镜62的焦距，而不对被测样品或相机64进行机械移动，其效果与现有技术中不改变焦距而移动被测样品或相机64相同，但可以实现三维定量相位的高速测量(因为相对于移动被测样品或相机64来说，调节电控变焦透镜62的焦距更为便利)；同时，通过在镜筒31与支架1之间增设位置调节机构4，从而为显微镜主体3提供了水平和纵向两个方向上的自由度(即显微镜测头可以水平和纵向机械移动)，因此，光学系统可以通过水平或纵向方向的移动进行校准，从而显著提高了系统校准的精确度与简便性，同时大大节省了系统校准的时间，提高相位测量效率，且具有满足其他光学实验的通用性。
为了具体实现光源机构2的功能，请参照图1，在一优选的实施例中，所述光源机构2包括照明套件21、透射照明模块22、聚光镜23及滤光片24，所述透射照明模块22的输入端与所述照明套件21的输出端连接，所述透射照明模块22的输出端朝向所述聚光镜23设置，所述滤光片24设置于所述聚光镜23与所述置物板5之间，在使用时，照明套件21产生的光线依次经过射照明模块22、聚光镜23及滤光片24后到达置物板5，穿过置物板5后再进入目镜32内。本实施例中，照明套件21由暖白光LED、准直光学元件、滤光片立方组成，并与透射照明模块22通过笼杆连接。
为了具体实现位置调节机构4的功能，请参照图1和图2，在一优选的实施例中，所述位置调节机构4包括前后位置调节组件41、移动块42及上下位置调节组件43，所述前后位置调节组件41与所述支架1及所述移动块42均连接、并用于调节所述移动块42的前后位置，所述上下位置调节组件43与所述移动块42及所述镜筒31均连接、并用于调节所述镜筒31的高度。
为了具体实现前后位置调节组件41的功能，请参照图1和图2，在一优选的实施例中，所述支架1上开设有沿水平方向延伸的第一导向孔及第一螺孔；所述前后位置调节组件41包括第一导向杆411及前后位置调节螺杆412，所述第一导向杆411滑动插设于所述第一导向孔内，所述第一导向杆411与所述移动块42固定连接，所述前后位置调节螺杆412螺纹连接于所述第一螺孔内，所述前后位置调节螺杆412与所述移动块42转动连接，在使用时，当需要调节镜筒31的前后位置时，旋动前后位置调节螺杆412，
前后位置调节螺杆412带动移动块42在前后方向移动，而第一导向杆411的作用是对移动块42进行限位，防止其转动。
为了具体实现前后位置调节螺杆412与所述移动块42的转动连接，请参照图1和图2，在一优选的实施例中，所述前后位置调节组件41还包括第一轴承413，所述第一轴承413的内圈固定套设于所述前后位置调节螺杆412上，所述第一轴承413的外圈与所述移动块42固定连接。
为了具体实现上下位置调节组件43的功能，请参照图1和图2，在一优选的实施例中，所述移动块42上开设有沿竖向延伸的第二导向孔及第二螺孔；所述上下位置调节组件43包括第二导向杆431及上下位置调节螺杆432，所述第二导向杆431滑动插设于所述第二导向孔内，所述第二导向杆431与所述镜筒31固定连接，所述上下位置调节螺杆432螺纹连接于所述第二螺孔内，所述上下位置调节螺杆432与所述镜筒31转动连接，在使用时，当需要调节镜筒31的上下位置时，旋动上下位置调节螺杆432，上下位置调节螺杆432带动镜筒31上下移动，而第二导向杆431的作用是对镜筒31进行限位，防止其转动。
为了具体实现上下位置调节螺杆432与所述镜筒31的转动连接，请参照图1和图2，在一优选的实施例中，所述上下位置调节组件43还包括第二轴承433，所述第二轴承433的内圈固定套设于所述上下位置调节螺杆432上，所述第二轴承433的外圈与所述镜筒31固定连接。
为了便于提供边界条件，请参照图1和图3，在一优选的实施例中，所述变焦成像机构6还包括矩形光阑65，所述矩形光阑65设置于所述目镜32的像平面。矩形光阑65可为相关检测算法提供边界条件。
为了防止外界光束影响检测结果，请参照图1和图3，在一优选的实施例中，所述变焦成像机构6还包括防护套筒66，所述第一透镜61、所述电控变焦透镜62、所述第二透镜63及所述相机64均内置于所述防护套筒66内。
为了提高稳定性，请参照图1，在一优选的实施例中，所述基于光学能量传输方程的自搭建显微成像系统还包括底座7，所述支架1固定于所述底座7上。
在通过相机64采集图像求解相位信息前，对光路系统进行校准方法步
骤如下：
(1)由电控变焦透镜62的电流与焦距的线性关系，使用电控变焦透镜62配套软件使其电流在一定范围内线性变化，观察并判断样品的特征在焦距变化过程中的偏移方向；
(2)已知偏移方向后，通过位置调节机构4相应微调显微镜测头(水平和纵向的平移)；
(3)按步骤1和步骤2调整，直到样品的特征在焦距变化过程中没有明显偏移，说明系统校准完成。
下面，样品以测试标靶为例，校准过程如下：
(1)打开电控变焦透镜驱动器软件，在软件界面设置电流变化区间为0～100mA；
(2)打开相机驱动软件，此时可以看到相机呈现的图像(100um边长的正方形阵列)正在在焦和离焦之间线性变化，变化趋势如图4所示；
(3)观察图像上某一处的特征，在图像的变化中确认特征的偏移方向，在焦时特征如图5中的左图，离焦时特征如图5中的右图,可以判断特征在离焦过程中竖直向下偏移；
(4)已知偏移方向后，通过位置调节机构4在水平方向上微调显微镜测头，直到图像在焦与离焦过程中，特征处偏移不再明显，系统校准完成。
系统校准完成后，使用光学能量传输方程的三维相位测量算法求解相位信息。光学系统校准前和校准后微透镜阵列的三维定量相位恢复图如图6所示。
综上所述，本发明与现有技术相比，其显著优点如下：
(1)相比于其它光学能量传输方程的方法，本发明不需要机械移动被测样品或相机，实现高速且连续的定量相位测量；
(2)不同于传统显微镜结构，本发明提出的显微成像系统，在镜筒31与支架1之间增设位置调节机构4，提供了水平和纵向两个方向上的自由度，因此，光路系统可以通过水平或纵向方向的移动进行校准，提高了系统校准的精确度与简便性；
(3)本发明提出的系统校准方法，可补偿光学元件装配产生的同轴度与平行度误差，有效改善基于光学能量传输方程的三维相位测量误差(相
位高度不均匀、相位倾斜)，提高了相位测量的精确度与效率。
以上所述仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (9)
- 一种基于光学能量传输方程的自搭建显微成像系统，其特征在于，包括支架、光源机构、显微镜主体、位置调节机构、置物板及变焦成像机构；所述光源机构固定于所述支架上；所述显微镜主体包括镜筒、目镜及物镜，所述目镜及所述物镜均固定于所述镜筒内；所述位置调节机构与所述镜筒连接、并用于调节所述镜筒的高度及前后位置；所述位置调节机构包括前后位置调节组件、移动块及上下位置调节组件，所述前后位置调节组件与所述支架及所述移动块均连接、并用于调节所述移动块的前后位置，所述上下位置调节组件与所述移动块及所述镜筒均连接、并用于调节所述镜筒的高度；所述置物板固定于所述支架上、并位于所述光源机构与所述物镜之间；所述变焦成像机构包括第一透镜、电控变焦透镜、第二透镜及相机，所述第一透镜的前焦面位于所述目镜的像平面，所述电控变焦透镜位于所述第一透镜的后焦面、并位于所述第二透镜的前焦面；所述相机的镜头位于所述第二透镜的后焦面。
- 根据权利要求1所述的基于光学能量传输方程的自搭建显微成像系统，其特征在于，所述光源机构包括照明套件、透射照明模块、聚光镜及滤光片，所述透射照明模块的输入端与所述照明套件的输出端连接，所述透射照明模块的输出端朝向所述聚光镜设置，所述滤光片设置于所述聚光镜与所述置物板之间。
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- 根据权利要求3所述的基于光学能量传输方程的自搭建显微成像系统，其特征在于，所述前后位置调节组件还包括第一轴承，所述第一轴承的内圈固定套设于所述前后位置调节螺杆上，所述第一轴承的外圈与所述移动 块固定连接。
- 根据权利要求1所述的基于光学能量传输方程的自搭建显微成像系统，其特征在于，所述移动块上开设有沿竖向延伸的第二导向孔及第二螺孔；所述上下位置调节组件包括第二导向杆及上下位置调节螺杆，所述第二导向杆滑动插设于所述第二导向孔内，所述第二导向杆与所述镜筒固定连接，所述上下位置调节螺杆螺纹连接于所述第二螺孔内，所述上下位置调节螺杆与所述镜筒转动连接。
- 根据权利要求5所述的基于光学能量传输方程的自搭建显微成像系统，其特征在于，所述上下位置调节组件还包括第二轴承，所述第二轴承的内圈固定套设于所述上下位置调节螺杆上，所述第二轴承的外圈与所述镜筒固定连接。
- 根据权利要求1所述的基于光学能量传输方程的自搭建显微成像系统，其特征在于，所述变焦成像机构还包括矩形光阑，所述矩形光阑设置于所述目镜的像平面。
- 根据权利要求1所述的基于光学能量传输方程的自搭建显微成像系统，其特征在于，所述变焦成像机构还包括防护套筒，所述第一透镜、所述电控变焦透镜、所述第二透镜及所述相机均内置于所述防护套筒内。
- 根据权利要求1所述的基于光学能量传输方程的自搭建显微成像系统，其特征在于，还包括底座，所述支架固定于所述底座上。
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Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0973031A (ja) * | 1995-09-05 | 1997-03-18 | Olympus Optical Co Ltd | 可動鏡筒顕微鏡 |
| CN110967816A (zh) * | 2019-11-06 | 2020-04-07 | 浙江大学 | 基于多维调节架的近红外二区宽场显微成像系统 |
| CN113568153A (zh) * | 2021-09-27 | 2021-10-29 | 板石智能科技(武汉)有限公司 | 一种显微成像设备以及纳米尺度三维形貌测量系统 |
| CN114562958A (zh) * | 2022-04-27 | 2022-05-31 | 板石智能科技(深圳)有限公司 | 一种基于光学能量传输方程的自搭建显微成像系统 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013003218A (ja) * | 2011-06-13 | 2013-01-07 | Canon Inc | 撮像装置およびその制御方法 |
| CN111624756A (zh) * | 2020-06-28 | 2020-09-04 | 中国海洋大学 | 一种景深扩展显微成像三维重建装置与方法 |
-
2022
- 2022-04-27 CN CN202210447266.5A patent/CN114562958B/zh active Active
-
2023
- 2023-03-13 WO PCT/CN2023/080977 patent/WO2023207371A1/zh unknown
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0973031A (ja) * | 1995-09-05 | 1997-03-18 | Olympus Optical Co Ltd | 可動鏡筒顕微鏡 |
| CN110967816A (zh) * | 2019-11-06 | 2020-04-07 | 浙江大学 | 基于多维调节架的近红外二区宽场显微成像系统 |
| CN113568153A (zh) * | 2021-09-27 | 2021-10-29 | 板石智能科技(武汉)有限公司 | 一种显微成像设备以及纳米尺度三维形貌测量系统 |
| CN114562958A (zh) * | 2022-04-27 | 2022-05-31 | 板石智能科技(深圳)有限公司 | 一种基于光学能量传输方程的自搭建显微成像系统 |
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