WO2023177029A1 - Off-axis lens assembly having incident angle - Google Patents
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Abstract
An off-axis lens assembly having an incident angle according to the present invention comprises: a body; and a first off-axis lens, a second off-axis lens, and an on-axis lens attached to the body. The body is provided with a reference surface, and comprises a first through-hole which is formed to have an incident angle that is inclined with respect to the reference surface, a second through-hole which is formed to have a reflective angle corresponding to the incident angle, to be inclined with respect to the reference surface, and a third through-hole formed perpendicularly to the reference surface. The central axis of the first through-hole, the central axis of the second through-hole, and the central axis of the third through-hole are aligned on the same plane that is perpendicular to the reference surface, and are formed to cross one another at one point. The first off-axis lens is attached to the first through-hole of the body, the second off-axis lens is attached to the second through-hole of the body, and the on-axis lens is attached to the third through-hole. Also, the first off-axis lens and the second off-axis lens can adjust the inclination angles with respect to the central axis of the first and second through-holes to which the first and second off-axis lenses are attached, and the first off-axis lens, the second off-axis lens, and the on-axis lens can be moved up and down along the central axis of the first to third through-holes to which the first and second off-axis lenses and the on-axis lens are respectively attached.
Description
본 발명은 입사각을 갖는 오프-액시스 렌즈 조립체에 관한 것이다.The present invention relates to an off-axis lens assembly having an angle of incidence.
반도체 장치(semiconductor device)는 다양한 공정를 거쳐서 제조된다. 반도체 제조에 적용되는 공정으로, 리소그래피, 화학 기계적 연마, 에칭, 증착, 이온 주입등의 공정이 있다. 반도체 제조 공정의 수율을 높이기 위하여, 반도체 제조 공정 중에 웨이퍼 상의 형성되는 박막 또는 구조물들의 결함을 검출하기 위한 다양한 계측 기술이 적용되고 있다.Semiconductor devices are manufactured through various processes. Processes applied to semiconductor manufacturing include lithography, chemical mechanical polishing, etching, deposition, and ion implantation. In order to increase the yield of the semiconductor manufacturing process, various measurement technologies are being applied to detect defects in thin films or structures formed on a wafer during the semiconductor manufacturing process.
다양한 계측 기술 중에 광학 계측 기술(optical metrology)은 웨이퍼 상에 손상을 가하지 않고 고속으로 계측을 수행할 수 있는 장점이 있다. 반도체 제조 공정에 사용되는 광학 계측 기술로 회절 현상을 이용하는 산란계측법(scatterometry)과 반사계측법(reflectometry) 및 편광을 이용하는 엘립소메트리(ellipsometry) 등이 있다. Among various measurement technologies, optical metrology has the advantage of being able to perform measurements at high speed without damaging the wafer. Optical measurement technologies used in the semiconductor manufacturing process include scatterometry using diffraction, reflectometry, and ellipsometry using polarization.
이러한 광학 계측 기술은 광학 계측 장치로 구현되어 반도체 장치의 제조 공정 중에 웨이퍼 상에 형성되는 구조물들의 임계 치수나 막 두께 및 막의 조성 등을 계측 하기 위하여 사용된다.This optical measurement technology is implemented as an optical measurement device and is used to measure the critical dimensions, film thickness, and film composition of structures formed on a wafer during the manufacturing process of a semiconductor device.
최근 반도체 장치가 집적화 됨에 따라, 회로의 선폭이 수 나노 미터(x nm) 수준으로 작아지고 있다. 따라서, 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 상에 형성되는 수 나노 미터 수준의 박막이나 구조물을 계측하기 위하여 보다 정밀한 광학 계측 장치가 필요하고, 정밀한 광학 계측을 위하여 광학 계측 장치의 분해능 향상이 요청된다.Recently, as semiconductor devices have become more integrated, the line width of circuits is shrinking to the level of several nanometers (x nm). Therefore, more precise optical measurement devices are needed to measure thin films or structures at the level of several nanometers formed on wafers in the semiconductor manufacturing process, and improvement in resolution of optical measurement devices is required for precise optical measurements.
광학 계측 장치의 분해능을 향상 시키기 위해서, 계측 하고자 하는 시료의 표면에 수십 내지 수백 마이크로 미터의 직경을 갖는 스폿으로 광을 집속시킬 필요가 있다. 또한, 시료의 표면에 조사되는 광축과 시료의 표면에서 반사되는 광축을 잘 정렬하고, 계측 하고자 하는 시료의 표면에서 반사되는 광을 받아 들이는 대물 렌즈를 근접시킬 필요가 있다. In order to improve the resolution of an optical measurement device, it is necessary to focus light into a spot with a diameter of tens to hundreds of micrometers on the surface of the sample to be measured. In addition, it is necessary to align the optical axis irradiated to the surface of the sample with the optical axis reflected from the surface of the sample, and bring the objective lens that receives the light reflected from the surface of the sample to be measured close to it.
일반적으로 광학 계측 장치는 광학 시스템(optical system)을 구비하고, 광학계(광학 시스템)는 시료의 표면에 광을 집속하여 조사하고, 시료의 표면에서 반사되는 광을 이미지 센서로 전달한다. 광학 시스템에 대한 다양한 정의가 있으나, 본 발명에서는 광원으로부터 방사되는 광을 받아서 시료에 조사하고, 시료에서 반사되는 광을 받아서 광 검출 센서로 전달하기 위한 시스템으로, 렌즈, 거울, 프리즘 등 광을 반사하거나 투과하는 부품의 결합으로 한정한다.Generally, an optical measurement device is equipped with an optical system, which focuses and irradiates light on the surface of a sample and transmits light reflected from the surface of the sample to an image sensor. There are various definitions of an optical system, but in the present invention, it is a system for receiving light emitted from a light source, irradiating it to a sample, receiving light reflected from the sample, and transmitting it to a light detection sensor. It reflects the light through lenses, mirrors, prisms, etc. It is limited to combinations of parts that are transparent or transmissive.
광학 시스템의 분해능을 높이기 위하여, 수십 내지 수백 마이크로 미터의 직경을 갖는 광 스폿을 형성하고, 대물 렌즈를 사용하여 표면의 이미지를 촬영할 경우 시료의 표면에 대물 렌즈를 근접시킬 수 있도록 광학 시스템을 컴팩트하게 구성할 필요가 있다. 특히, 시료에 광을 경사지게 조사하여 광 스폿을 형성할 경우 광학 렌즈들을 정렬하여 초점을 정확하게 맞추고, 대물 렌즈를 사용할 경우 시료의 표면에 최대한 근접하도록 구성할 할 필요가 있다.In order to increase the resolution of the optical system, an optical spot with a diameter of tens to hundreds of micrometers is formed, and when taking an image of the surface using an objective lens, the optical system is compact so that the objective lens can be brought close to the surface of the sample. You need to configure it. In particular, when forming a light spot by irradiating light obliquely to a sample, it is necessary to align optical lenses to accurately focus, and when using an objective lens, it is necessary to configure it to be as close as possible to the surface of the sample.
반도체 제조 공정에서 광학 계측 장치에 온-액시스 광학계나 오프-액시스 광학계가 사용된다. 오프-액시스 광학계는 광축이 구경(aperture)의 기학학적 중심 축과 일치하지 않는 광학 시스템이다. 오프-액시스 광학계는 주 광학 요소가 다른 광학 요소나 광센서 등에 의해서 방해를 받는 것을 피하고, 특정 광학 요소를 시료에 신속하게 근접 시키기 위하여 사용된다. In the semiconductor manufacturing process, an on-axis optical system or an off-axis optical system is used in optical measurement devices. An off-axis optical system is an optical system in which the optical axis does not coincide with the geometric center axis of the aperture. An off-axis optical system is used to avoid the main optical element being disturbed by other optical elements or optical sensors, and to quickly bring a specific optical element closer to the sample.
본 발명은 반도체 제조 공정에서 사용되는 광학 계측 장치에 사용되는 오프-액시스 광학계를 용이하게 정렬하고, 정렬된 오프-액시스 광학계를 안정적으로 유지할 수 있는, 오프-액시스 렌즈 조립체를 제공하는 것을 목적으로 한다. 특히, 본 발명은 정렬된 오프-액시스 광학계가 장시간 사용이나 온도 변화 또는 진동과 같은 외부의 요인에 의해서 정렬이 깨지는 것을 방지할 수 있는 오프-액시스 렌즈 조립체를 제공하는 것을 목적으로 한다.The purpose of the present invention is to provide an off-axis lens assembly that can easily align an off-axis optical system used in an optical measurement device used in a semiconductor manufacturing process and stably maintain the aligned off-axis optical system. . In particular, the purpose of the present invention is to provide an off-axis lens assembly that can prevent an aligned off-axis optical system from being misaligned due to external factors such as long-term use, temperature changes, or vibration.
본 발명에 따른 입사각을 갖는 오프-액시스 렌즈 조립체는 바디와, 상기 바디에 장착된 제1 오프-액시스 렌즈와 제2 오프-액시스 렌즈와 온-액시스 렌즈를 포함한다. 제1 오프-액시스 렌즈는 시료의 표면에 경사지게 광을 조사하여 광 스폿을 형성하고, 제2 오프-액시스 렌즈는 상기 시료의 표면으로부터 경사지게 반사되는 광을 받아들여 광검출 센서로 전달하기 위한 렌즈이다. 상기 오프-액시스 렌즈는 반사형 또는 굴절형 오프-액시스 렌즈를 사용할 수 있다. 반사형 오프-액시스 렌즈로 Schwarzschild 렌즈를 사용할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. An off-axis lens assembly having an angle of incidence according to the present invention includes a body, a first off-axis lens, a second off-axis lens, and an on-axis lens mounted on the body. The first off-axis lens irradiates light obliquely to the surface of the sample to form a light spot, and the second off-axis lens is a lens for receiving light reflected obliquely from the surface of the sample and transmitting it to the light detection sensor. . The off-axis lens may be a reflective or refractive off-axis lens. A Schwarzschild lens can be used as a reflective off-axis lens, but is not limited to this.
상기 바디는 기준면을 구비하고, 상기 기준면에 대하여 경사지게 입사각을 갖도록 형성된 제1 관통구멍과, 상기 기준면에 대하여 경사지게 상기 입사각에 대응하는 반사각을 갖도록 형성된 제2 관통구멍과, 상기 기준면에 대하여 수직으로 형성된 제3 관통구멍을 포함한다. 상기 제1 관통구멍의 중심 축선과 상기 제2 관통구멍의 중심 축선과 상기 제3 관통구멍의 중심 축선은 상기 기준면에 수직인 동일한 평면에 정렬되어 있고, 한점에서 교차하도록 형성되어 있다. 상기 제1 오프-액시스 렌즈는 상기 바디의 제1 관통구멍에 장착되어 있고, 상기 제2 오프-액시스 렌즈는 상기 바디의 제2 관통구멍에 장착되어 있고, 상기 온-액시스 렌즈는 상기 제3 관통구멍에 장착되어 있다.The body has a reference surface, a first through hole formed to have an angle of incidence obliquely with respect to the reference surface, a second through hole formed to have a reflection angle corresponding to the angle of incidence obliquely with respect to the reference surface, and a second through hole formed perpendicular to the reference surface. It includes a third through hole. The central axis of the first through hole, the central axis of the second through hole, and the central axis of the third through hole are aligned on the same plane perpendicular to the reference plane and are formed to intersect at one point. The first off-axis lens is mounted in the first through hole of the body, the second off-axis lens is mounted in the second through hole of the body, and the on-axis lens is mounted in the third through hole. It is mounted in a hole.
또한, 상기 제1 오프-액시스 렌즈와 제2 오프-액시스 렌즈는 각각 장착된 제1 및 제2 관통구멍의 중심 축선에 대하여 경사 각도의 조절이 가능하도록 구성되어 있고, 상기 제1 오프-액시스 렌즈와 제2 오프-액시스 렌즈와 온-액시스 렌즈는 각각 장착된 제1 내지 제3 관통구멍의 중심 축선을 따라서 상하로 이동이 가능하도록 구성되어 있다.In addition, the first off-axis lens and the second off-axis lens are configured to allow adjustment of the tilt angle with respect to the central axes of the first and second through holes respectively mounted, and the first off-axis lens and the second off-axis lens and the on-axis lens are configured to be able to move up and down along the central axis of the first to third through holes respectively mounted.
또한, 본 발명에 따른 입사각을 갖는 오프-액시스 렌즈 조립체는, 기준면을 구비하고, 상기 기준면에 대하여 경사지게 입사각을 갖도록 형성된 제1 관통구멍과, 상기 기준면에 대하여 경사지게 상기 입사각에 대응하는 반사각을 갖도록 형성된 제2 관통구멍을 포함하는 바디와, 상기 제1 관통구멍에 장착된 제1 오프-액시스 렌즈와, 상기 제2 관통구멍에 장착된 제2 오프-액시스 렌즈를 포함하고, 상기 제1 관통구멍의 중심 축선과 상기 제2 관통구멍의 중심 축선은 상기 기준면에 수직인 동일한 평면에 정렬되어 있고, 한점에서 교차하도록 형성되어 있고, 상기 제1 오프-액시스 렌즈와 제2 오프-액시스 렌즈는 각각 장착된 제1 및 제2 관통구멍의 중심 축선을 따라 상하로 이동이 가능하고, 중심 축선에 대하여 경사 각도의 조절이 가능하도록 구성될 수 있다.In addition, the off-axis lens assembly having an angle of incidence according to the present invention includes a reference plane, a first through hole formed to have an angle of incidence obliquely with respect to the reference plane, and a first through hole formed to have an angle of incidence corresponding to the angle of incidence obliquely with respect to the reference plane. A body including a second through hole, a first off-axis lens mounted on the first through hole, and a second off-axis lens mounted on the second through hole, The central axis and the central axis of the second through hole are aligned on the same plane perpendicular to the reference plane and are formed to intersect at one point, and the first off-axis lens and the second off-axis lens are each mounted. It can be configured to be able to move up and down along the central axes of the first and second through holes, and to be able to adjust the inclination angle with respect to the central axis.
몇몇 실시예에 있어서, 본 발명에 따른 입사각을 갖는 오프-액시스 렌즈 조립체는, 일측 단부에 암나사가 형성된 관통구멍을 구비하고, 상기 바디에 회동 가능하게 설치된 조절 레버와, 상기 조절 레버의 관통구멍에 나사 결합된 조절 스크류와, 상기 바디와 온-액시스 렌즈 사이에 설치된 압축 스프링을 더 포함하고, 상기 온-액시스 렌즈는 상기 기준면과 수평이 되도록 형성된 레버 가압면을 포함하고, 상기 조절 레버는 타측 단이 상기 온-액시스 렌즈의 레버 가압면과 접촉하도록 배치되어, 상기 조절 레버의 회동에 의해서 온-액시스 렌즈를 제3 관통구멍의 축선 방향에 대하여 상하로 이동이 가능하도록 구성할 수 있다.In some embodiments, an off-axis lens assembly having an angle of incidence according to the present invention includes a through hole with a female thread formed at one end, an adjustment lever rotatably installed on the body, and a through hole of the adjustment lever. It further includes a screwed adjustment screw and a compression spring installed between the body and the on-axis lens, wherein the on-axis lens includes a lever pressing surface formed to be horizontal with the reference surface, and the adjustment lever is positioned at the other end. It is arranged to contact the lever pressing surface of the on-axis lens, so that the on-axis lens can be moved up and down with respect to the axis direction of the third through hole by rotating the adjustment lever.
몇몇 실시예에 있어서, 본 발명에 따른 입사각을 갖는 오프-액시스 렌즈 조립체는, 상기 제1 오프-액시스 렌즈와 제2 오프-액시스 렌즈는 각각 광이 통과되기 위한 핀홀 주변에 나사산이 형성된 적어도 세개의 조정 관통구멍을 구비하고, 일단이 상기 바디에 연결되고 타단이 상기 제1 오프-액시스 렌즈에 연결되어 상기 바디와 상기 제1 오프-액시스 렌즈를 탄성적으로 연결하기 위한 적어도 하나의 제1 인장스프링과, 일단이 상기 바디에 연결되고 타단이 상기 제1 오프-액시스 렌즈에 연결되어 상기 바디와 상기 제2 오프-액시스 렌즈를 탄성적으로 연결하기 위한 적어도 하나의 제2 인장스프링과, 상기 각각의 조정 관통구멍에 나사 결합되고 일단이 상기 바디에 접촉하도록 배치된 조정 플런저들을 더 포함하고, 상기 조정 플런저들 각각이 상기 제1 오프-액시스 렌즈 및 제2 오프-액시스 렌즈에 대하여 회전에 의해서 이동된 위치에 따라, 상기 제1 오프-액시스 렌즈 및 제2 오프-액시스 렌즈 각각이 장착된 제1 및 제2 관통구멍의 중심 축선에 대하여 경사 각도의 조절과 중심축선을 따라 상하로 이동이 가능하도록 구성할 수 있다.In some embodiments, in the off-axis lens assembly having an angle of incidence according to the present invention, the first off-axis lens and the second off-axis lens each have at least three threads formed around a pinhole for light to pass through. At least one first tension spring having an adjustment through hole, one end connected to the body and the other end connected to the first off-axis lens to elastically connect the body and the first off-axis lens. and, at least one second tension spring having one end connected to the body and the other end connected to the first off-axis lens to elastically connect the body and the second off-axis lens, and each of the It further includes adjustment plungers screwed into the adjustment through hole and one end of which is arranged to contact the body, wherein each of the adjustment plungers is moved by rotation with respect to the first off-axis lens and the second off-axis lens. Depending on the location, the first off-axis lens and the second off-axis lens are configured to adjust the inclination angle with respect to the central axis of the first and second through-holes, respectively, and to move up and down along the central axis. can do.
몇몇 실시예에 있어서, 본 발명에 따른 입사각을 갖는 오프-액시스 렌즈 조립체는, 상기 제1 오프-액시스 렌즈 및 제2 오프-액시스 렌즈로 Schwarzschild 렌즈를 사용하는 것이 바람직하다.In some embodiments, the off-axis lens assembly having an angle of incidence according to the present invention preferably uses Schwarzschild lenses as the first off-axis lens and the second off-axis lens.
본 발명에 따른 입사각을 갖는 오프-액시스 렌즈들 조립체를 정렬하는 방법은, 상기 시료의 표면에 대하여 정해진 입사각으로 광을 조사하여 형성되는 광 경로에, 온-액시스 관통구멍과 오프-액시스 관통구멍이 형성된 제1 디스크를 광의 입사 경로에 수직이 되도록 배치하고, 온-액시스 관통구멍과 오프-액시스 관통구멍이 형성된 제1 디스크를 광의 반사 경로에 수직이 되도록 배치하는 디스크 배치 단계와, 상기 제1 디스크의 관통구멍들을 통과한 광이 시료의 표면에 조사되어 반사되는 광이 제2 디스크의 대응하는 관통구멍들을 통과하도록 상기 상기 시료의 높이와 경사를 조절하는 시료 정렬 단계와, 상기 제1 디스크의 광 경로 하류에 상기 제1 오프-액시스 렌즈를 설치하고, 상기 제2 디스크의 광 경로 상류에 상기 제2 오프-액시스 렌즈를 설치하고, 상기 제1 디스크의 오프-액시스 관통구멍을 통과하고 시료에서 반사된 광이 제2 디스크의 오프-액시스 관통구멍을 통과하도록, 상기 제1 및 제2 오프-액시스 렌즈를 정렬하는 오프-액시스 렌즈 정렬 단계를 포함한다.The method of aligning an off-axis lens assembly having an angle of incidence according to the present invention includes an on-axis through hole and an off-axis through hole in the optical path formed by irradiating light at a predetermined angle of incidence with respect to the surface of the sample. A disk arranging step of arranging the formed first disk to be perpendicular to the incident path of light, and arranging the first disk formed with the on-axis through hole and the off-axis through hole to be perpendicular to the reflection path of light, the first disk A sample alignment step of adjusting the height and inclination of the sample so that the light passing through the through holes is irradiated to the surface of the sample and the reflected light passes through the corresponding through holes of the second disk, and the light of the first disk The first off-axis lens is installed downstream of the optical path, and the second off-axis lens is installed upstream of the optical path of the second disk, passes through the off-axis through hole of the first disk and reflects from the sample. and an off-axis lens alignment step of aligning the first and second off-axis lenses so that the light passes through the off-axis through hole of the second disk.
몇몇 실시예에 있어서, 상기 디스크 배치 단계는, 상기 제1 디스크와 일정 거리 이격되도록 온-액시스 관통구멍과 오프-액시스 관통구멍이 형성된 제3 디스크를 광의 입사 경로에 수직이 되도록 배치하고, 상기 제2 디스크와 일정 거리 이격되도록 온-액시스 관통구멍과 오프-액시스 관통구멍이 형성된 제3 디스크를 광의 입사 경로에 수직이 되도록 배치하는 단계를 더 포함하고, 상기 시료 정렬 단계는, 상기 제1 디스크 및 제3 디스크의 관통구멍들을 통과한 광이 시료의 표면에 조사되어 반사되는 광이 제2 디스크 및 제4 디스크의 대응하는 관통구멍들을 통과하도록 상기 상기 시료의 높이와 경사를 조절하도로 구성될 수 있다.In some embodiments, the disk arranging step includes arranging a third disk having an on-axis through hole and an off-axis through hole to be spaced apart from the first disk by a predetermined distance perpendicular to the incident path of light, and It further includes the step of arranging a third disk having an on-axis through hole and an off-axis through hole formed at a predetermined distance from the second disk so as to be perpendicular to the incident path of light, wherein the sample alignment step includes the first disk and The height and inclination of the sample can be adjusted so that the light passing through the through holes of the third disk is irradiated on the surface of the sample and the reflected light passes through the corresponding through holes of the second disk and the fourth disk. there is.
몇몇 실시예에 있어서, 본 발명에 따른 입사각을 갖는 오프-액시스 광학 렌즈들의 조립체를 정렬하는 방법은, 시료의 표면에 반구 렌즈를 장착하는 단계와, 상기 제1 오프-액시스 렌즈에 제1 간섭계를 연결하고, 제2 오프-액시스 렌즈에 제2 간섭계를 연결하고, 상기 반구 렌즈에 의해서 상기 각각의 간섭계에 검출되는 간섭 무늬를 분석하여 상기 각각의 오프-액시스 렌즈를 정렬하는 오프-액시스 렌즈 미세 정렬 단계를 더 포함할 수 있다.In some embodiments, a method of aligning an assembly of off-axis optical lenses having an angle of incidence according to the present invention includes mounting a hemispherical lens on the surface of a sample, and applying a first interferometer to the first off-axis lens. Off-axis lens fine alignment for connecting a second interferometer to a second off-axis lens and aligning each of the off-axis lenses by analyzing the interference pattern detected in each interferometer by the hemisphere lens. Additional steps may be included.
몇몇 실시예에 있어서, 본 발명에 따른 입사각을 갖는 오프-액시스 광학 렌즈들의 조립체를 정렬하는 방법은, 상기 시료이 표면에서 반사되어 상기 온-액시스 렌즈를 통과한 광을 이미지 센서에서 취득하여 대물 렌즈의 초점을 조절하는 온-액시스 렌즈 정렬 단계를 더 포함할 수 있다.In some embodiments, the method of aligning the assembly of off-axis optical lenses having an angle of incidence according to the present invention includes acquiring the light reflected from the surface of the sample and passing through the on-axis lens at an image sensor and using the objective lens. An on-axis lens alignment step for adjusting focus may be further included.
몇몇 실시예에 있어서, 시료의 표면에 반구 렌즈를 장착하는 단계와, 상기 제1 오프-액시스 렌즈에 제1 간섭계를 연결하고, 제2 오프-액시스 렌즈에 제2 간섭계를 연결하고, 상기 온-액시스 렌즈에 제3 간섭계를 연결하고, 상기 반구 렌즈에 의해서 상기 각각의 간섭계에 검출되는 간섭 무늬를 분석하여 상기 각각의 렌즈들을 정렬하는 렌즈 미세 정렬 단계를 더 포함할 수 있다.In some embodiments, the steps include mounting a hemisphere lens on the surface of the sample, connecting a first interferometer to the first off-axis lens, connecting a second interferometer to the second off-axis lens, and connecting the on-axis lens to a second interferometer. It may further include a lens fine alignment step of connecting a third interferometer to the axis lens and aligning each lens by analyzing the interference pattern detected by each interferometer by the hemisphere lens.
본 발명에 따라 제공되는 입사각을 갖는 오프-액시스 광학 렌즈 조립체는 오프-액시스 광학계를 용이하게 정렬하고, 정렬된 오프-액시스 광학계를 안정적으로 유지할 수 있다. 특히, 오프-액시스 렌즈들과 온-액시스 렌즈가 일체로 형성된 바디에 고정된 상태에서 미세하게 정렬될 수 있어서, 일체형 바디에 고정된 렌즈들이 장시간 사용이나 외부의 진동 또는 온도의 변화에 따라 정렬이 깨지지 않도록 정렬된 위치를 안정적으로 유지할 수 있다.The off-axis optical lens assembly having the angle of incidence provided according to the present invention can easily align the off-axis optical system and stably maintain the aligned off-axis optical system. In particular, off-axis lenses and on-axis lenses can be finely aligned while fixed to an integrated body, so lenses fixed to an integrated body may not be aligned due to long-term use, external vibration, or changes in temperature. The aligned position can be maintained stably so as not to break.
본 발명에 따라 제공되는 입사각을 갖는 오프-액시스 광학 렌즈 조립체를 사용하면, 반도체 장치의 제조 공정에 사용되는 광학 계측 장치의 계측 정밀도를 높일 수 있고, 오프-액시스 광학계를 사용하는 광학 계측 장치를 보다 컴팩트하게 제작할 수 있다.By using an off-axis optical lens assembly having an angle of incidence provided according to the present invention, the measurement precision of an optical measurement device used in the manufacturing process of a semiconductor device can be improved, and the optical measurement device using an off-axis optical system can be improved. It can be manufactured compactly.
도 1은 본 발명에 따른 입사각을 갖는 오프-액시스 렌즈 조립체의 일실시예의 개략도1 is a schematic diagram of one embodiment of an off-axis lens assembly with an angle of incidence according to the present invention.
도 2는 본 발명에 따른 입사각을 갖는 오프-액시스 렌즈 조립체의 정렬 방법에서 시료 정렬 단계에 대한 설명도Figure 2 is an explanatory diagram of the sample alignment step in the alignment method of the off-axis lens assembly having an angle of incidence according to the present invention.
도 3은 본 발명에 따른 입사각을 갖는 오프-액시스 렌즈 조립체의 정렬 방법에서 오프-액시스 렌즈의 정렬 단계에 대한 설명도Figure 3 is an illustration of the alignment step of the off-axis lens in the alignment method of the off-axis lens assembly having an angle of incidence according to the present invention.
도 4는 본 발명에 따른 입사각을 갖는 오프-액시스 렌즈 조립체의 정렬 방법에서 온-액시스 렌즈 정렬 단계에 대한 설명도Figure 4 is an explanatory diagram of the on-axis lens alignment step in the alignment method of the off-axis lens assembly having an angle of incidence according to the present invention.
도 5는 본 발명에 따른 입사각을 갖는 오프-액시스 렌즈 조립체의 정렬 방법에서 간섭계를 사용한 미세 정렬 단계에 대한 설명도Figure 5 is an illustration of a fine alignment step using an interferometer in the alignment method of an off-axis lens assembly having an angle of incidence according to the present invention.
도 6은 본 발명에 따른 입사각을 갖는 오프-액시스 렌즈 조립체의 일실시예에 따른 정렬 방법을 나타내는 흐름도6 is a flow chart showing an alignment method according to one embodiment of an off-axis lens assembly having an angle of incidence according to the present invention.
도 7은 본 발명에 따른 입사각을 갖는 오프-액시스 렌즈 조립체의 다른 실시예에 따른 정렬 방법을 나타내는 흐름도7 is a flow chart showing an alignment method according to another embodiment of an off-axis lens assembly having an angle of incidence according to the present invention.
도 8은 본 발명에 따른 입사각을 갖는 오프-액시스 렌즈 조립체의 일실시예의 사시도8 is a perspective view of one embodiment of an off-axis lens assembly having an angle of incidence according to the present invention.
도 9는 도 8에 도시된 실시예의 단면도Figure 9 is a cross-sectional view of the embodiment shown in Figure 8
도 10은 도 8에 도시된 실시예에서 온-액시스 렌즈의 조정 기구를 나타내는 개략 단면도Figure 10 is a schematic cross-sectional view showing the adjustment mechanism of the on-axis lens in the embodiment shown in Figure 8;
도 11은 도 8에 도시된 실시예에서 오프-액시스 렌즈의 조정 기구를 나타내는 사시도Figure 11 is a perspective view showing the adjustment mechanism of the off-axis lens in the embodiment shown in Figure 8
도 12는 도11에 도시된 오프-액시스 렌즈의 조정 기구를 나타내는 사시도의 부분단면도Fig. 12 is a partial cross-sectional view in perspective showing the adjustment mechanism of the off-axis lens shown in Fig. 11;
이하에서는 첨부의 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings.
도 1은 본 발명에 따른 입사각을 갖는 오프-액시스 렌즈 조립체의 일실시예의 개략도이다.1 is a schematic diagram of one embodiment of an off-axis lens assembly with an angle of incidence according to the present invention.
본 발명에 따른 오프-액시스 렌즈 조립체(100)는 제1 오프-액시스 렌즈(10)와, 제2 오프-액시스 렌즈(20)와, 온-액시스 렌즈(30)를 구비한다. 본 실시예에서 제1 및 제2 오프-액시스 렌즈(10, 20)는 반사형 렌즈이나 이에 한정되는 것은 아니고, 굴절형 오프-액시스 렌즈 또는 반사 및 굴절 광학 요소를 결합한 오프-액시스 렌즈를 사용할 수도 있다. 일반적으로 오프-액시스 렌즈는 광검출 센서에 사용되고, 온-액시스 렌즈는 이미지 센서에 사용된다.The off-axis lens assembly 100 according to the present invention includes a first off-axis lens 10, a second off-axis lens 20, and an on-axis lens 30. In this embodiment, the first and second off- axis lenses 10 and 20 are reflective lenses, but are not limited thereto, and a refractive off-axis lens or an off-axis lens combining reflective and refractive optical elements may be used. there is. Generally, off-axis lenses are used in light detection sensors, and on-axis lenses are used in image sensors.
본 실시예에서, 제1 및 제2 오프-액시스 렌즈(10, 20)는 각각 Schwarzschild 렌즈의 일부를 제거하고, 제거된 부분에 온-액시스 렌즈(30)를 배치하여 광학계를 컴팩트하게 구성하였다. 온-액시스 렌즈(30)는 CCD 카메라에 연결되어 시료(50)의 표면의 이미지를 촬영하기 대물 렌즈로 사용될 수 있다.In this embodiment, the first and second off- axis lenses 10 and 20 each have a portion of the Schwarzschild lens removed, and the on-axis lens 30 is placed in the removed portion to compact the optical system. The on-axis lens 30 can be connected to a CCD camera and used as an objective lens to capture an image of the surface of the sample 50.
도 1을 참조하면, 광원(미도시)으로부터 방사된 광은 계측 하고자 하는 시료(50)에 대하여 일정한 각도(θ1)로 입사된다. 광원에서 제1 오프-액시스 렌즈(10)의 어퍼처(5)로 입사되는 광(1)은 온-액시스 광축(x1)을 구비하고, 제1 오프-액시스 렌즈(10)를 통과하는 시료(50)에 입사되는 광(1)은 오프-액시스 광축(x2)을 구비한다.Referring to FIG. 1, light emitted from a light source (not shown) is incident on the sample 50 to be measured at a certain angle (θ1). The light 1 incident from the light source into the aperture 5 of the first off-axis lens 10 has an on-axis optical axis x1, and the sample passing through the first off-axis lens 10 ( The light 1 incident on 50) has an off-axis optical axis x2.
제1 오프-액시스 렌즈(10)는 제1 미러(12)와 제2 미러(14)를 구비하고, 어퍼처(5)로 들어온 광(1)은 제2 미러(14)에서 반사되고 제1 미러(12)에서 반사되어 시료(50)의 표면에 광 스폿을 형성하도록 구성되어 있다. 제1 오프-액시스 렌즈(10)를 통과하여 시료(50)의 표면에 입사되는 광(2)은 시료의 표면에 대하여 광원의 입사각 θ1보다 작은 각도, θ2로 입사된다. 시료(50)의 표면에서 반사된 광(3)은 제2 오프-액시스 렌즈(20)의 제1 미러(22)에서 반사되고 제2 미러(24)에서 반사되어 어퍼처(6)를 통과하는 광(4)으로 방출된다.The first off-axis lens 10 is provided with a first mirror 12 and a second mirror 14, and the light 1 entering the aperture 5 is reflected from the second mirror 14 and is reflected by the first mirror 14. It is configured to be reflected from the mirror 12 to form a light spot on the surface of the sample 50. The light 2 that passes through the first off-axis lens 10 and is incident on the surface of the sample 50 is incident on the surface of the sample at an angle θ2 that is smaller than the incident angle θ1 of the light source. Light 3 reflected from the surface of the sample 50 is reflected by the first mirror 22 of the second off-axis lens 20, is reflected by the second mirror 24, and passes through the aperture 6. It is emitted as light (4).
제1 오프-액시스 렌즈(10)는 편광 발생장치(polarization state generator)에 연결되고, 제2 오프-액시스 렌즈(20)는 편광 검출장치(polarization state analyzer)와 광센서에 연결된다. 제1 및 제2 오프-액시스 렌즈(10, 20)를 사용하여 웨이퍼의 표면의 박막의 두께나 조성을 계측하기 위하여 편광을 사용할 경우, θ2는 대략 67°가 되도록 정렬된다.The first off-axis lens 10 is connected to a polarization state generator, and the second off-axis lens 20 is connected to a polarization state analyzer and an optical sensor. When polarized light is used to measure the thickness or composition of a thin film on the surface of a wafer using the first and second off- axis lenses 10 and 20, θ2 is aligned to be approximately 67°.
도 8은 본 발명에 따른 입사각을 갖는 오프-액시스 렌즈 조립체(200)의 일실시예의 사시도이고, 도 9는 도 8에 도시된 실시예(200)의 단면도이다.Figure 8 is a perspective view of one embodiment of an off-axis lens assembly 200 having an angle of incidence according to the present invention, and Figure 9 is a cross-sectional view of the embodiment 200 shown in Figure 8.
본 실시예의 입사각을 갖는 오프-액시스 렌즈 조립체(200)는 바디(240)와, 상기 바디(240)에 장착된 제1 오프-액시스 렌즈(210)와 제2 오프-액시스 렌즈(220)와 온-액시스 렌즈(230)를 포함한다. 제1 오프-액시스 렌즈(210)는 시료의 표면에 경사지게 광을 조사하여 광 스폿을 형성하고, 제2 오프-액시스 렌즈(220)는 상기 시료의 표면으로부터 경사지게 반사되는 광을 받아들여 이미지 센서로 전달하기 위한 렌즈이다. 상기 오프-액시스 렌즈(210, 220)는 반사형 또는 굴절형 오프-액시스 렌즈를 사용할 수 있다. 반사형 오프-액시스 렌즈로 Schwarzschild 렌즈를 사용할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.The off-axis lens assembly 200 having an angle of incidence of this embodiment includes a body 240, a first off-axis lens 210, a second off-axis lens 220, and an on-axis lens 210 mounted on the body 240. -Includes an axis lens (230). The first off-axis lens 210 radiates light obliquely to the surface of the sample to form a light spot, and the second off-axis lens 220 receives the light obliquely reflected from the surface of the sample and transmits it to the image sensor. It is a lens for conveying information. The off- axis lenses 210 and 220 may be reflective or refractive off-axis lenses. A Schwarzschild lens can be used as a reflective off-axis lens, but is not limited to this.
도 9를 참조하면, 바디(240)는 기준면(245)을 구비하고, 기준면(245)에 대하여 경사지게 입사각을 갖도록 형성된 제1 관통구멍(241)과, 기준면(245)에 대하여 경사지게 입사각에 대응하는 반사각을 갖도록 형성된 제2 관통구멍(242)과, 기준면(245)에 대하여 수직으로 형성된 제3 관통구멍(243)을 포함한다. 제1 관통구멍(241)의 중심 축선(A1)과 상기 제2 관통구멍(242)의 중심 축선(A2)과 제3 관통구멍(243)의 중심 축선(A3)은 기준면(245)에 수직인 동일한 평면에 정렬되어 있고, 도 9에 도시된 것과 같이, 한점(P)에서 교차하도록 형성되어 있다. 또한, 바디(240)에는 바디(240)를 프레임에 고정하기 위한 복수의 고정부(244)가 형성되어 있다. 고정부(244)에는 볼트 체결을 위한 관통구멍이 형성되어 있다.Referring to FIG. 9, the body 240 has a reference surface 245, a first through hole 241 formed to have an angle of incidence obliquely with respect to the reference surface 245, and a first through hole 241 formed to have an angle of incidence obliquely with respect to the reference surface 245. It includes a second through hole 242 formed to have a reflection angle, and a third through hole 243 formed perpendicular to the reference surface 245. The central axis A1 of the first through hole 241, the central axis A2 of the second through hole 242, and the central axis A3 of the third through hole 243 are perpendicular to the reference plane 245. They are aligned on the same plane and are formed to intersect at one point (P), as shown in FIG. 9. Additionally, a plurality of fixing portions 244 are formed on the body 240 to secure the body 240 to the frame. The fixing part 244 is formed with a through hole for fastening bolts.
또한, 제1 오프-액시스 렌즈(210)는 바디(240)의 제1 관통구멍(241)에 삽입되어 장착되어 있고, 제2 오프-액시스 렌즈(220)는 바디(240)의 제2 관통구멍(242)에 삽입되어 장착되어 있다. 또한, 온-액시스 렌즈(230)는 제3 관통구멍(243)에 삽입되어 장착되어 있다.In addition, the first off-axis lens 210 is inserted and mounted in the first through hole 241 of the body 240, and the second off-axis lens 220 is inserted into the second through hole 241 of the body 240. It is inserted and mounted at (242). Additionally, the on-axis lens 230 is inserted and mounted in the third through hole 243.
도 10은 도 8에 도시된 실시예에서 온-액시스 렌즈의 조정 기구를 나타내는 개략 단면도이다. 도 10을 참조하면, 조절 레버(250)가 바디(240)에 고정된 핀(251)에 회동 가능하게 고정되어 있다. 조절 레버(250)는 일측 단부에 암나사가 형성된 관통구멍(255)이 형성되어 있고, 관통구멍(255)에는 조절 스크류(252)가 나사 결합되어 있다. 조절 스크류(252)는 회전에 의해서 관통구멍(255)에서 전후진이 가능하다. FIG. 10 is a schematic cross-sectional view showing the adjustment mechanism of the on-axis lens in the embodiment shown in FIG. 8. Referring to FIG. 10, the control lever 250 is rotatably fixed to a pin 251 fixed to the body 240. The control lever 250 has a through hole 255 with a female thread formed at one end, and an adjustment screw 252 is screwed into the through hole 255. The adjustment screw 252 can move forward and backward in the through hole 255 by rotation.
온-액시스 렌즈(230)에는 바디(240)의 기준면(245)과 수평이 되도록 형성된 레버 가압면(232)이 형성되어 있다. 또한, 조절 레버(250)는 타측 단(253)이 온-액시스 렌즈(230)의 레버 가압면(232)과 접촉하도록 배치되어 있다. 또한, 바디(240)와 온-액시스 렌즈 사이(230)에는 압축 스프링(255)이 설치되어, 바디(240)에 대하여 온-액시스 렌즈(230)를 탄성적으로 지지한다.The on-axis lens 230 has a lever pressing surface 232 formed to be horizontal with the reference surface 245 of the body 240. Additionally, the control lever 250 is arranged such that the other end 253 is in contact with the lever pressing surface 232 of the on-axis lens 230. Additionally, a compression spring 255 is installed between the body 240 and the on-axis lens 230 to elastically support the on-axis lens 230 with respect to the body 240.
따라서, 조절 스크류(252)를 회전시키면, 조절 스크류(252)가 조절 레버(250)의 관통구멍(255)에서 전진하여 조절 스크류(252)의 단부가 바디(240)에 접촉하여 조절 레버(250)를 시계 방향으로 회동시킨다. 따라서, 조절 레버(250)의 타측 단(253)이 온-액시스 렌즈(230)의 레버 가압면(232)을 밀게 되고, 압축 스프링(255)에 의해서 탄성지지된 온-액시스 렌즈(230)는 도면에서 하부로 이동하게 된다. 즉, 온-액시스 렌즈(230)는 조절 레버(250)의 회동에 의해서 제3 관통구멍(243)의 축선 방향(A3)을 따라 상하로 이동이 가능하도록 구성되어 있다.Accordingly, when the adjustment screw 252 is rotated, the adjustment screw 252 advances from the through hole 255 of the adjustment lever 250, and the end of the adjustment screw 252 contacts the body 240, so that the adjustment lever 250 ) rotate clockwise. Accordingly, the other end 253 of the control lever 250 pushes the lever pressing surface 232 of the on-axis lens 230, and the on-axis lens 230 elastically supported by the compression spring 255 is It moves to the bottom of the drawing. That is, the on-axis lens 230 is configured to be able to move up and down along the axis direction A3 of the third through hole 243 by rotating the control lever 250.
도 11은 도 8에 도시된 실시예에서 오프-액시스 렌즈의 조정 기구를 나타내는 사시도이고, 도 12는 도11에 도시된 오프-액시스 렌즈의 조정 기구를 나타내는 사시도의 부분단면도이다. 도 11에 도시된 오프-액시스 렌즈는 제2 오프-액시스 렌즈(220)이며, 제1 오프-액시스 렌즈(210)도 도시된 것과 동일한 기구로 바디(240)에 장착되어 있다.FIG. 11 is a perspective view showing the adjustment mechanism of the off-axis lens in the embodiment shown in FIG. 8, and FIG. 12 is a partial cross-sectional view of a perspective view showing the adjustment mechanism of the off-axis lens shown in FIG. 11. The off-axis lens shown in FIG. 11 is the second off-axis lens 220, and the first off-axis lens 210 is also mounted on the body 240 using the same mechanism as shown.
제2 오프-액시스 렌즈(220)는 광이 통과되기 위한 핀홀(224)을 구비하고, 핀홀(222)의 주변에 나사산이 형성된 세개의 조정 관통구멍(221, 222, 223)을 구비한다. 각각의 조정 관통구멍(221, 222, 223)에는 조정 플런저(261, 262, 263)가 나사 결합되어 있다. The second off-axis lens 220 has a pinhole 224 through which light passes, and has three adjustment through- holes 221, 222, and 223 with threads formed around the pinhole 222. An adjustment plunger (261, 262, 263) is screwed into each of the adjustment through holes (221, 222, 223).
또한, 도 11 및 도 12를 참조하면, 인장 스프링(264)의 일단이 제2 오프-액시스 렌즈(220)에 고정되어 있고, 인장 스프링(264)의 타단이 장착 플레이트(260)에 고정되어 있다. 또한, 장착 플레이트(260)는 바디(240)에 일체로 결합되기 때문에 바디(240)의 제2 관통구멍(242)이 연장되도록 형성되어 있다. 또한, 각각의 조정 관통구멍(221, 222, 223)에는 조정 플런저(261, 262, 263)가 나사 결합되어 있고, 조정 플런저(261, 262, 263)의 단부는 장착 플레이트(260)의 상부면에 접촉하도록 삽입되어 있다. 즉, 제2 오프-액시스 렌즈(220)에 결합된 각각의 조정 플런저(261, 262, 263)의 단부가 장착 플레이트(260)의 상부면에 놓여진 상태에서, 제2 오프-액시스 렌즈(220)는 인장 스프링(264)에 의해서 장착 플레이트(260)를 향하여 당겨져서 탄성적으로 지지되어 있다. 따라서, 세개의 조정 플런저(261, 262, 263)를 조정하여 단부가 동일한 길이 만큼 상하로 이동하도록 하면, 제2 오프-액시스 렌즈(220)를 장착 플레이트(260)에 대하여 상하로 이동시킬 수 있다. 또한, 세개의 조정 플런저(261, 262, 263)를 조정하여 단부가 서로 다른 길이 만큼 상하로 이동하도록 하면, 제2 오프-액시스 렌즈(220)를 장착 플레이트(260)에 대한 경사각을 미세하게 조절할 수 있다. 본 실시예의 오프-액시스 렌즈 조립체(200)는 필요에 따라 온-액시스 렌즈를 제거하고 사용할 수도 있다.Additionally, referring to FIGS. 11 and 12 , one end of the tension spring 264 is fixed to the second off-axis lens 220, and the other end of the tension spring 264 is fixed to the mounting plate 260. . Additionally, since the mounting plate 260 is integrally coupled to the body 240, the second through hole 242 of the body 240 is formed to extend. In addition, an adjustment plunger (261, 262, 263) is screwed to each of the adjustment through holes (221, 222, 223), and the ends of the adjustment plungers (261, 262, 263) are connected to the upper surface of the mounting plate (260). It is inserted to contact. That is, with the ends of each adjustment plunger 261, 262, and 263 coupled to the second off-axis lens 220 placed on the upper surface of the mounting plate 260, the second off-axis lens 220 is pulled toward the mounting plate 260 by the tension spring 264 and is elastically supported. Therefore, by adjusting the three adjustment plungers 261, 262, and 263 so that the ends move up and down by the same length, the second off-axis lens 220 can be moved up and down with respect to the mounting plate 260. . In addition, by adjusting the three adjustment plungers 261, 262, and 263 so that the ends move up and down by different lengths, the inclination angle of the second off-axis lens 220 with respect to the mounting plate 260 can be finely adjusted. You can. The off-axis lens assembly 200 of this embodiment can be used with the on-axis lens removed if necessary.
도 1 및 도 8에 도시된 것과 같은 실시예의 오프-액시스 렌즈 조립체(100, 200)를 사용하기 위하여는 시료(50)의 계측 표면에 대하여 제1 및 제2 오프-액시스 렌즈 초점과 경사각 및 온-액시스 렌즈의 초점을 정확하게 정렬하여야 한다.To use the off- axis lens assemblies 100 and 200 of the embodiment shown in FIGS. 1 and 8, the first and second off-axis lens focal points, tilt angles, and -The focus of the axis lens must be aligned accurately.
이하에서는 도 1에 도시된 실시예의 오프-액시스 렌즈 조립체(100)를 정렬하는 방법을 도 2 내지 도 6을 참조하여 설명한다.Hereinafter, a method of aligning the off-axis lens assembly 100 of the embodiment shown in FIG. 1 will be described with reference to FIGS. 2 to 6.
도 2 를 참조하면, 광이 통과되기 위한 복수의 관통 구멍이 형성된 적당한 두께의 디스크(60)를 준비한다. 디스크(60)의 중심에는 온-액시스 관통구멍(62)이 형성되어 있고, 온-액시스 관통구멍(62)의 양측에 오프-액시스 관통구멍(61, 62)이 형성되어 있다. 시료(50)는 표면에 박막이 증착되거나 에칭 공정에 의해서 구조물이 형성된 웨이퍼이다.Referring to FIG. 2, a disk 60 of appropriate thickness is prepared with a plurality of through holes for light to pass through. An on-axis through hole 62 is formed in the center of the disk 60, and off-axis through holes 61 and 62 are formed on both sides of the on-axis through hole 62. The sample 50 is a wafer on which a thin film is deposited or a structure is formed through an etching process.
도 2 및 도 6을 참조하면, 시료(50)의 표면에 대하여 정해진 입사각 θ1 으로 광을 조사하여 형성되는 광 경로(1)에 제1 디스크(60-1)를 설치하고, 시료의 표면에서 반사되어 형성되는 광 경로(40)에 제2 디스크(60-2)를 설치한다(S100). 제1 디스크와 제2 디스크는 각각의 광경로에 수직이 되도록 설치한다. 제1 디스크(60-1)와 제2 디스크(60-2)는의 관통 구멍들은, 제1 디스크(60-1)의 온-액시스 관통구멍(62)을 통과한 광은 제2 디스크(60-2)의 온-액시스 관통구멍(62)을 통과하고, 제1 디스크(60-1)의 오프-액시스 관통구멍들(61, 62)을 통과한 광은 제2 디스크(60-2)의 오프-액시스 관통구멍들(61, 62)을 통과할 수 있도록, z 축을 포함하는 동일한 평면에 정렬되어 있다.Referring to FIGS. 2 and 6, the first disk 60-1 is installed in the optical path 1 formed by irradiating light at a predetermined incident angle θ1 with respect to the surface of the sample 50, and the light is reflected from the surface of the sample 50. The second disk 60-2 is installed in the optical path 40 formed (S100). The first disk and the second disk are installed perpendicular to their respective optical paths. The through holes of the first disk 60-1 and the second disk 60-2 are such that the light passing through the on-axis through hole 62 of the first disk 60-1 is transmitted to the second disk 60-2. The light passing through the on-axis through hole 62 of -2) and the off-axis through holes 61 and 62 of the first disk 60-1 is of the second disk 60-2. It is aligned in the same plane containing the z-axis so that it can pass through the off-axis through holes 61, 62.
다음으로, 제1 디스크(60-1)의 관통구멍들(61 - 63)을 통과하고 시료(50)의 표면에서 반사된 광(4)이 제2 디스크(60-2)의 대응하는 관통구멍들(61 - 63)을 통과하도록 시료(50)를 z 축 방향 높이와 경사를 조절한다(S110). 시료(50)의 경사와 높이가 정렬되었는지 여부는 스크린(70)에 조사되는 광(4)을 보고 판단한다.Next, the light 4 passing through the through holes 61 to 63 of the first disk 60-1 and reflected from the surface of the sample 50 passes through the corresponding through holes of the second disk 60-2. The height and inclination of the sample 50 in the z-axis direction are adjusted so that it passes through the fields 61 - 63 (S110). Whether the inclination and height of the sample 50 are aligned is determined by looking at the light 4 irradiated to the screen 70.
도 2에 도시된 것과 같이, 보다 정밀한 디스크(60)의 배치를 위해서, 제3 디스크(60-3) 및 제4 디스크(60-4)를 추가로 배치할 수도 있다. 제3 디스크(60-3)는 제1 디스크(60-1)와 일정 거리 이격되도록 배치하고, 제4 디스크(60-4)는 제2 디스크(60-2)와 일정 거리 이격되도록 배치한다. 제3 및 제4 디스크(60-3, 60-4)에도 각각 온-액시스 관통구멍(62)과 오프-액시스 관통구멍들(61, 63)이 각각 형성되어 있다. 이 경우, 제1 디스크(60-1) 및 제3 디스크(60-3)의 관통구멍들(61 - 63)을 통과하고 시료의 표면에서 반사된 광(4)이 제2 디스크(60-2) 및 제4 디스크(60-4)의 대응하는 관통구멍들(61-63)을 통과하도록 시료(50)의 높이와 경사를 조절한다.As shown in FIG. 2, for more precise arrangement of the disk 60, a third disk 60-3 and a fourth disk 60-4 may be additionally arranged. The third disk 60-3 is arranged to be spaced apart from the first disk 60-1 by a certain distance, and the fourth disk 60-4 is arranged to be spaced apart from the second disk 60-2 by a certain distance. On-axis through-holes 62 and off-axis through- holes 61 and 63 are formed in the third and fourth disks 60-3 and 60-4, respectively. In this case, the light 4 passing through the through holes 61 to 63 of the first disk 60-1 and the third disk 60-3 and reflected from the surface of the sample passes through the second disk 60-2. ) and adjust the height and inclination of the sample 50 to pass through the corresponding through holes 61-63 of the fourth disk 60-4.
다음으로, 도 3에 도시된 것과 같이, 제1 디스크(60-1) 및 제3 디스크(60-3)의 광 경로 하류에 제1 오프-액시스 렌즈(20)를 설치하고, 제2 디스크(160-2) 및 제4 디스크(60-4)의 광 경로 상류에 제2 오프-액시스 렌즈(30)를 설치한다. 제1 오프-액시스 렌즈(20)를 설치하면, 시료(50)의 표면에 입사되는 광의 입사각이 θ1보다 작은 각도 θ2로 입사된다. 제1 오프-액시스 렌즈(20)와 제2 오프-액시스 렌즈(30)를 정렬하여, 제1 디스크(60-1)의 오프-액시스 관통구멍(61)을 통과하고 시료(50)에서 반사된 광(3)이 제2 디스크(60-2)의 오프-액시스 관통구멍(61)을 통과하도록 한다(S120). 제1 오프-액시스 렌즈(20)와 제2 오프-액시스 렌즈(30)가 적절히 정렬되었는 지 여부는 스크린(70)에 조사되는 광(4)을 보고 판단할 수 있다.Next, as shown in FIG. 3, the first off-axis lens 20 is installed downstream of the optical path of the first disk 60-1 and the third disk 60-3, and the second disk ( A second off-axis lens 30 is installed upstream of the optical path of 160-2) and the fourth disk 60-4. When the first off-axis lens 20 is installed, the incident angle of light incident on the surface of the sample 50 is incident at an angle θ2 that is smaller than θ1. By aligning the first off-axis lens 20 and the second off-axis lens 30, the light passes through the off-axis through hole 61 of the first disk 60-1 and is reflected from the sample 50. The light 3 is allowed to pass through the off-axis through hole 61 of the second disk 60-2 (S120). Whether the first off-axis lens 20 and the second off-axis lens 30 are properly aligned can be determined by looking at the light 4 irradiated to the screen 70.
다음으로, 도 4를 참조하면, 온-액시스 렌즈(30)에 이미지 센서(90)를 연결하고, 시료(50)의 표면에서 반사되어 온-액시스 렌즈(30) 통과하는 광(5)을 이미지 센서(90)에서 취득하여 온-액시스 렌즈(30)의 초점을 조절한다(S130). 이미지 센서(90)에 촬영되는 이미지는 제1 오프-액시스 렌즈(10)에 의해서 시료(50)의 표면에 형성되는 타원 형상의 광 스폿이다. 도 4를 참조하면, 광 스폿의 장축(a) 및 단축(b)의 길이는 대략 수십 마이크로 미터 범위이다. 제1 및 제2 오프-액시스 렌즈(10, 20)을 정렬하기 위한 시료(50)는 표면이 매끄러운 것을 사용하는 것이 바람직하나, 온-액시스 렌즈(30)의 초점을 조절하기 위한 시료(50')는 표면에서 조사된 광이 산란되도록 표면이 거칠 거나 패턴이 형성된 것을 사용하는 것이 바람직하다.Next, referring to FIG. 4, the image sensor 90 is connected to the on-axis lens 30, and the light 5 that is reflected from the surface of the sample 50 and passes through the on-axis lens 30 is imaged. It is acquired from the sensor 90 and the focus of the on-axis lens 30 is adjusted (S130). The image captured by the image sensor 90 is an oval-shaped light spot formed on the surface of the sample 50 by the first off-axis lens 10. Referring to FIG. 4, the lengths of the long axis (a) and short axis (b) of the light spot are approximately in the range of several tens of micrometers. It is preferable to use a sample 50 for aligning the first and second off- axis lenses 10 and 20 with a smooth surface, but the sample 50' for adjusting the focus of the on-axis lens 30 ) is preferably used with a rough or patterned surface so that the light irradiated from the surface is scattered.
다음으로, 도 5를 참조하면, 제1 내지 온-액시스 렌즈를 미세 정렬하는 방법에 대하여 설명한다. 먼저, 시료(50')의 표면에 반구 렌즈(94)를 장착한다. 다음으로, 제1 오프-액시스 렌즈(10)에 제1 간섭계(91)를 연결하고, 제2 오프-액시스 렌즈(20)에 제2 간섭계(92)를 연결하고, 상기 온-액시스 렌즈(30)에 제3 간섭계(93)를 연결한다. 다음으로, 반구 렌즈(94)를 통과한 광과 반구렌즈(94)의 표면에서 반사된 광에 의해서 형성되는 간섭 무늬를 각각의 간섭계(91 - 93)에서 검출하고, 각각의 간섭계에서 검출된 간섭 무늬를 분석한다. 간섭 무늬를 분석한 결과에 따라서 각각의 렌즈를 미세하게 움직여서 각각의 렌즈(10, 20, 30)를 정렬한다(S140).Next, referring to FIG. 5, a method for finely aligning the first to on-axis lenses will be described. First, a hemispherical lens 94 is mounted on the surface of the sample 50'. Next, the first interferometer 91 is connected to the first off-axis lens 10, the second interferometer 92 is connected to the second off-axis lens 20, and the on-axis lens 30 ) Connect the third interferometer (93) to. Next, the interference pattern formed by the light passing through the hemisphere lens 94 and the light reflected from the surface of the hemisphere lens 94 is detected by each interferometer 91 - 93, and the interference detected by each interferometer is Analyze patterns. According to the result of analyzing the interference pattern, each lens is slightly moved to align each lens (10, 20, and 30) (S140).
도 7을 참조하여, 본 발명에 따른 입사각을 갖는 오프-액시스 렌즈 조립체의 정렬 방법의 다른 실시예에 대하여 설명한다. 본 실시예의 방법을 적용하기 위한 광학계는 시료의 표면에 경사지게 광을 조사하여 광 스폿을 형성하기 위한 제1 오프-액시스 렌즈와, 상기 시료의 표면으로부터 경사지게 반사되는 광을 받아들여 광검출 센서로 전달하기 위한 제2 오프-액시스 렌즈를 포함한다.Referring to FIG. 7, another embodiment of a method for aligning an off-axis lens assembly with an angle of incidence according to the present invention will be described. The optical system for applying the method of this embodiment includes a first off-axis lens for forming a light spot by irradiating light obliquely to the surface of the sample, and receiving light obliquely reflected from the surface of the sample and transmitting it to the light detection sensor. It includes a second off-axis lens for:
먼저, 동일한 사이즈의 온-액시스 관통구멍과 오프-액시스 관통구멍이 형성된 제1 및 제2 디스크를 준비한다. 다음으로, 광원에서 방사된 광(편광)이 제1 디스크의 온-액시스 관통구멍과 오프-액시스 관통구멍을 통과하고, 시료에 반사되어 제2 디스크의 대응하는 온-액시스 관통구멍과 오프-액시스 관통구멍을 통과하도록 시료의 높이와 경사를 정렬한다(S200).First, prepare first and second disks having on-axis through holes and off-axis through holes of the same size. Next, the light (polarized light) emitted from the light source passes through the on-axis through hole and the off-axis through hole of the first disk and is reflected by the sample to the corresponding on-axis through hole and off-axis through hole of the second disk. Align the height and inclination of the sample so that it passes through the through hole (S200).
다음으로, 상기 제1 디스크와 상기 시료 사이에 제1 오프-액시스 렌즈를 설치하고, 상기 시료와 상기 제2 디스크 사이에 제2 오프-액시스 렌즈를 설치한다. 다음으로, 제1 디스크의 오프-액시스 관통구멍과 제1 오프-액시스 렌즈를 통과한 광이 시료에서 반사되어 제2 오프-액시스 렌즈와 상기 제2 디스크의 오프 액시스 관통구멍을 통과하도록 제1 오프-액시스 렌즈와 제2 오프-액시스 렌즈를 정렬한다(S210).Next, a first off-axis lens is installed between the first disk and the sample, and a second off-axis lens is installed between the sample and the second disk. Next, the light passing through the off-axis through hole of the first disk and the first off-axis lens is reflected from the sample and passes through the second off-axis lens and the off-axis through hole of the second disk. -Align the axis lens and the second off-axis lens (S210).
다음으로, 상기 시료의 표면에 반구 렌즈를 설치하고, 상기 제1 및 제2 오프-액시스 렌즈에 간섭계를 연결한다. 다음으로, 상기 반구 렌즈를 통과하는 광과 상기 반구 렌즈에서 반사되는 광이 형성하는 간섭 무늬를 간섭계로 촬영하여 분석한다. 간섭 무늬를 분석한 결과에 따라 제1 및 제2 오프-액시스 렌즈를 미세하게 움직여서 정렬한다(S220)Next, a hemispherical lens is installed on the surface of the sample, and an interferometer is connected to the first and second off-axis lenses. Next, the interference pattern formed by the light passing through the hemisphere lens and the light reflected from the hemisphere lens is photographed and analyzed using an interferometer. According to the results of analyzing the interference pattern, the first and second off-axis lenses are finely moved and aligned (S220)
이상에서 설명된 실시예는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한 것에 불과하고, 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 기술적 사상과 특허청구범위 내에서 이 분야의 당업자에 의하여 다양한 실시예로 변경, 변형 또는 치환이 가능할 것이며, 그와 같은 실시예들은 본 발명의 범위에 속하는 것으로 이해되어야 한다.The embodiments described above merely describe preferred embodiments of the present invention, and the scope of the present invention is not limited to the described embodiments. Changes, modifications, or substitutions may be made to various embodiments by those skilled in the art within the technical spirit and scope of the claims of the present invention, and such embodiments should be understood as falling within the scope of the present invention.
Claims (6)
- 기준면을 구비하고, 상기 기준면에 대하여 경사지게 입사각을 갖도록 형성된 제1 관통구멍과, 상기 기준면에 대하여 경사지게 상기 입사각에 대응하는 반사각을 갖도록 형성된 제2 관통구멍과, 상기 기준면에 대하여 수직으로 형성된 제3 관통구멍을 포함하는 바디와,A first through hole having a reference surface and formed to have an angle of incidence obliquely with respect to the reference surface, a second through hole formed obliquely with respect to the reference surface to have a reflection angle corresponding to the angle of incidence, and a third through hole formed perpendicular to the reference surface. a body including a hole,상기 제1 관통구멍에 장착된 제1 오프-액시스 렌즈와, 상기 제2 관통구멍에 장착된 제2 오프-액시스 렌즈와, 상기 제3 관통구멍에 장착된 온-액시스 렌즈를 포함하고,A first off-axis lens mounted in the first through hole, a second off-axis lens mounted in the second through hole, and an on-axis lens mounted in the third through hole,상기 제1 관통구멍의 중심 축선과 상기 제2 관통구멍의 중심 축선과 상기 제3 관통구멍의 중심 축선은 상기 기준면에 수직인 동일한 평면에 정렬되어 있고, 한점에서 교차하도록 형성되어 있고,The central axis of the first through hole, the central axis of the second through hole, and the central axis of the third through hole are aligned on the same plane perpendicular to the reference plane and are formed to intersect at one point,상기 제1 오프-액시스 렌즈와 제2 오프-액시스 렌즈는 각각 장착된 제1 및 제2 관통구멍의 중심 축선에 대하여 경사 각도의 조절이 가능하도록 구성되어 있고,The first off-axis lens and the second off-axis lens are configured to allow adjustment of tilt angles with respect to the central axes of the first and second through holes respectively mounted,상기 제1 오프-액시스 렌즈와 제2 오프-액시스 렌즈와 온-액시스 렌즈는 각각 장착된 제1 내지 제3 관통구멍의 중심 축선을 따라서 상하로 이동이 가능하도록 구성된 입사각을 갖는 오프-액시스 렌즈 조립체.The first off-axis lens, the second off-axis lens, and the on-axis lens are an off-axis lens assembly having an angle of incidence configured to move up and down along the central axis of the first to third through holes respectively mounted. .
- 제1항에 있어서,According to paragraph 1,일측 단부에 암나사가 형성된 관통구멍을 구비하고, 상기 바디에 회동 가능하게 설치된 조절 레버와,An adjustment lever provided with a through hole formed with a female thread at one end and rotatably installed on the body,상기 조절 레버의 관통구멍에 나사 결합된 조절 스크류와,An adjustment screw screwed into the through hole of the adjustment lever,상기 바디와 온-액시스 렌즈 사이에 설치된 압축 스프링을 더 포함하고,Further comprising a compression spring installed between the body and the on-axis lens,상기 온-액시스 렌즈는 상기 기준면과 수평이 되도록 형성된 레버 가압면을 포함하고,The on-axis lens includes a lever pressing surface formed to be horizontal with the reference surface,상기 조절 레버는 타측 단이 상기 온-액시스 렌즈의 레버 가압면과 접촉하도록 배치되어, 상기 조절 레버의 회동에 의해서 온-액시스 렌즈를 제3 관통구멍의 축선 방향에 대하여 상하로 이동이 가능하도록 구성된 입사각을 갖는 오프-액시스 렌즈 조립체.The control lever is arranged so that the other end is in contact with the lever pressing surface of the on-axis lens, and is configured to move the on-axis lens up and down with respect to the axis direction of the third through hole by rotating the control lever. An off-axis lens assembly with an angle of incidence.
- 제1항에 있어서,According to paragraph 1,상기 제1 오프-액시스 렌즈와 제2 오프-액시스 렌즈는 각각 광이 통과되기 위한 핀홀 주변에 나사산이 형성된 적어도 세개의 조정 관통구멍을 구비하고,The first off-axis lens and the second off-axis lens each have at least three adjustment through holes formed with threads around the pinhole for passing light,일단이 상기 바디에 연결되고 타단이 상기 제1 오프-액시스 렌즈에 연결되어 상기 바디와 상기 제1 오프-액시스 렌즈를 탄성적으로 연결하기 위한 적어도 하나의 제1 인장스프링과,At least one first tension spring having one end connected to the body and the other end connected to the first off-axis lens to elastically connect the body and the first off-axis lens;일단이 상기 바디에 연결되고 타단이 상기 제1 오프-액시스 렌즈에 연결되어 상기 바디와 상기 제2 오프-액시스 렌즈를 탄성적으로 연결하기 위한 적어도 하나의 제2 인장스프링과,At least one second tension spring having one end connected to the body and the other end connected to the first off-axis lens to elastically connect the body and the second off-axis lens;상기 각각의 조정 관통구멍에 나사 결합되고 일단이 상기 바디에 접촉하도록 배치된 조정 플런저들을 더 포함하고,Further comprising adjustment plungers screwed into each adjustment through hole and arranged so that one end contacts the body,상기 조정 플런저들 각각이 상기 제1 오프-액시스 렌즈 및 제2 오프-액시스 렌즈에 대하여 회전에 의해서 이동된 위치에 따라, 상기 제1 오프-액시스 렌즈 및 제2 오프-액시스 렌즈 각각이 장착된 제1 및 제2 관통구멍의 중심 축선에 대하여 경사 각도의 조절과 중심축선을 따라 상하로 이동이 가능하도록 구성된 입사각을 갖는 오프-액시스 렌즈 조립체.According to the position in which each of the adjustment plungers is moved by rotation with respect to the first off-axis lens and the second off-axis lens, each of the first off-axis lens and the second off-axis lens is mounted. An off-axis lens assembly having an angle of incidence configured to adjust the tilt angle with respect to the central axis of the first and second through holes and to allow movement up and down along the central axis.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,According to any one of claims 1 to 3,상기 제1 오프-액시스 렌즈 및 제2 오프-액시스 렌즈는 Schwarzschild 렌즈인 입사각을 갖는 오프-액시스 렌즈 조립체.An off-axis lens assembly having an angle of incidence wherein the first off-axis lens and the second off-axis lens are Schwarzschild lenses.
- 기준면을 구비하고, 상기 기준면에 대하여 경사지게 입사각을 갖도록 형성된 제1 관통구멍과, 상기 기준면에 대하여 경사지게 상기 입사각에 대응하는 반사각을 갖도록 형성된 제2 관통구멍을 포함하는 바디와,A body having a reference surface and including a first through hole formed to have an angle of incidence obliquely with respect to the reference surface, and a second through hole formed to have a reflection angle corresponding to the angle of incidence obliquely with respect to the reference surface;상기 제1 관통구멍에 장착된 제1 오프-액시스 렌즈와, 상기 제2 관통구멍에 장착된 제2 오프-액시스 렌즈를 포함하고,It includes a first off-axis lens mounted in the first through hole and a second off-axis lens mounted in the second through hole,상기 제1 관통구멍의 중심 축선과 상기 제2 관통구멍의 중심 축선은 상기 기준면에 수직인 동일한 평면에 정렬되어 있고, 한점에서 교차하도록 형성되어 있고,The central axis of the first through hole and the central axis of the second through hole are aligned on the same plane perpendicular to the reference plane and are formed to intersect at one point,상기 제1 오프-액시스 렌즈와 제2 오프-액시스 렌즈는 각각 장착된 제1 및 제2 관통구멍의 중심 축선을 따라 상하로 이동이 가능하고, 중심 축선에 대하여 경사 각도의 조절이 가능하도록 구성된 입사각을 갖는 오프-액시스 렌즈 조립체.The first off-axis lens and the second off-axis lens are capable of moving up and down along the central axes of the first and second through holes respectively mounted, and the incident angle is configured to adjust the inclination angle with respect to the central axis. An off-axis lens assembly having a.
- 제5항에 있어서,According to clause 5,상기 제1 오프-액시스 렌즈와 제2 오프-액시스 렌즈는 각각 광이 통과되기 위한 핀홀 주변에 나사산이 형성된 적어도 세개의 조정 관통구멍을 구비하고,The first off-axis lens and the second off-axis lens each have at least three adjustment through holes formed with threads around the pinhole for passing light,일단이 상기 바디에 연결되고 타단이 상기 제1 오프-액시스 렌즈에 연결되어 상기 바디와 상기 제1 오프-액시스 렌즈를 탄성적으로 연결하기 위한 적어도 하나의 제1 인장스프링과,At least one first tension spring having one end connected to the body and the other end connected to the first off-axis lens to elastically connect the body and the first off-axis lens;일단이 상기 바디에 연결되고 타단이 상기 제1 오프-액시스 렌즈에 연결되어 상기 바디와 상기 제2 오프-액시스 렌즈를 탄성적으로 연결하기 위한 적어도 하나의 제2 인장스프링과,At least one second tension spring having one end connected to the body and the other end connected to the first off-axis lens to elastically connect the body and the second off-axis lens;상기 각각의 조정 관통구멍에 나사 결합되고 일단이 상기 바디에 접촉하도록 배치된 조정 플런저들을 더 포함하고,Further comprising adjustment plungers screwed into each adjustment through hole and arranged so that one end contacts the body,상기 조정 플런저들 각각이 상기 제1 오프-액시스 렌즈 및 제2 오프-액시스 렌즈에 대하여 회전에 의해서 이동된 위치에 따라, 상기 제1 오프-액시스 렌즈 및 제2 오프-액시스 렌즈 각각이 장착된 제1 및 제2 관통구멍의 중심 축선에 대하여 경사 각도의 조절과 중심축선을 따라 상하로 이동이 가능하도록 구성된 입사각을 갖는 오프-액시스 렌즈 조립체.According to the position in which each of the adjustment plungers is moved by rotation with respect to the first off-axis lens and the second off-axis lens, each of the first off-axis lens and the second off-axis lens is mounted. An off-axis lens assembly having an angle of incidence configured to adjust the tilt angle with respect to the central axis of the first and second through holes and to allow movement up and down along the central axis.
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Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20050042657A (en) * | 2003-11-04 | 2005-05-10 | 삼성전자주식회사 | Optical system with image surface adjusting part and inclined optical system |
| KR100711570B1 (en) * | 2006-11-20 | 2007-04-27 | 에치디프로 주식회사 | Lens assembly adjustable bracket for panorama cctv camera |
| KR20070122173A (en) * | 2006-06-23 | 2007-12-28 | 에이에스엠엘 홀딩 엔.브이. | Correction of off-axis translation of optical elements in an optical zoom assembly |
| KR20120044376A (en) * | 2009-08-04 | 2012-05-07 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | Object inspection systems and methods |
| KR102298540B1 (en) * | 2020-07-29 | 2021-09-07 | 주식회사 성지전자 | Fixing apparatus of lens holder |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3570728B2 (en) * | 1997-03-07 | 2004-09-29 | アーエスエム リソグラフィ ベスローテン フェンノートシャップ | Lithographic projector with off-axis alignment unit |
| KR20070104064A (en) * | 2006-04-21 | 2007-10-25 | 삼성전자주식회사 | Ftheta LENS ECCENTRICITY SENSING APPARATUS |
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Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20050042657A (en) * | 2003-11-04 | 2005-05-10 | 삼성전자주식회사 | Optical system with image surface adjusting part and inclined optical system |
| KR20070122173A (en) * | 2006-06-23 | 2007-12-28 | 에이에스엠엘 홀딩 엔.브이. | Correction of off-axis translation of optical elements in an optical zoom assembly |
| KR100711570B1 (en) * | 2006-11-20 | 2007-04-27 | 에치디프로 주식회사 | Lens assembly adjustable bracket for panorama cctv camera |
| KR20120044376A (en) * | 2009-08-04 | 2012-05-07 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | Object inspection systems and methods |
| KR102298540B1 (en) * | 2020-07-29 | 2021-09-07 | 주식회사 성지전자 | Fixing apparatus of lens holder |
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