WO2022158084A1 - 除染装置 - Google Patents

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mist
decontamination
transmitters
decontaminating
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司 北野
志強 郭
和彦 北洞
嘉貴 緒方
大輔 角田
芳明 岡田
康司 川崎
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株式会社エアレックス
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Definitions

  • the present invention relates to a decontamination apparatus provided with mist circulation/dispersion means for decontaminating the inside of a clean room, an isolator apparatus, etc., and more particularly, a decontamination apparatus provided with ultrasonic detection means for detecting the operation of the mist circulation/dispersion means. It is related to the device.
  • Hydrogen peroxide gas or mist
  • rooms subject to decontamination have been widely used for decontamination of working rooms such as sterile rooms (hereinafter referred to as rooms subject to decontamination).
  • Hydrogen peroxide has a strong sterilizing effect, is inexpensive and readily available, and is effective as an environmentally friendly decontamination gas that ultimately decomposes into oxygen and water.
  • Patent Document 1 describes that the decontamination effect of this hydrogen peroxide is due to the condensed film of hydrogen peroxide water that condenses on the surface of the site to be decontaminated. Therefore, in order to achieve the perfect decontamination effect of the room to be decontaminated, it is necessary to increase the supply amount of hydrogen peroxide to increase the thickness or concentration of the condensed film of the generated hydrogen peroxide solution.
  • Patent Document 2 the inventors of the present invention employ an ultrasonic mist circulating and dispersing means to achieve a perfect decontamination effect by supplying an appropriate amount of decontamination agent to the room to be decontaminated.
  • Patent Document 2 a plurality of ultrasonic transmitters are used in the mist circulation and dispersion means, but there is no disclosure of a method for confirming their operation, and there is no guarantee of operation as a decontamination device. I had a problem.
  • the present invention addresses the above-mentioned problems, can confirm that the mist circulation and dispersion means is operating correctly before, during or after the decontamination operation, and the operation as a decontamination device.
  • An object of the present invention is to provide a decontamination device that can be guaranteed.
  • the inventors of the present invention as a result of intensive research, have found a mechanism for operating a plurality of ultrasonic transmitters provided in the mist circulation and dispersion means one by one, and an ultrasonic wave receiver for confirming the individual operation.
  • the present invention was completed based on the idea that the above problems can be solved by equipping the container.
  • the decontamination device (20) is: Mist supply means (30) for converting a decontamination chemical for decontaminating the inside of a work chamber (10, 70, 80) into a decontamination mist and supplying the decontamination mist to the inside of the work chamber (10, 70, 80).
  • a diaphragm (41, 42, 61) equipped with a plurality of ultrasonic transmitters (46, 51, 63) is ultrasonically vibrated to generate an acoustic stream by ultrasonic waves in a vertical direction from the board surface, and the acoustic stream is generated.
  • Mist circulating and dispersing means (40, 60a) for circulating and dispersing the decontamination mist in the work chamber by applying pressure due to acoustic radiation pressure, and Equipped with ultrasonic wave receivers (52, 65) for detecting the operation of the ultrasonic transmitter, the whole and / or individual ultrasonic waves of the plurality of ultrasonic transmitters provided in the vibration plate
  • An ultrasonic detection means (60b) is provided for detecting the activation of the transmitter.
  • the mist circulating and dispersing means comprises an operation control mechanism (62) for controlling the operation of a plurality of ultrasonic transmitters provided on the vibration plate, By operating the plurality of ultrasonic transmitters one by one, the operation of each ultrasonic transmitter can be checked individually.
  • the present invention is the decontamination device according to claim 1 or 2
  • the mist circulating and dispersing means varies the frequency and output of ultrasonic waves generated from a plurality of ultrasonic wave transmitters provided on the vibrating plate, and/or transmits ultrasonic waves intermittently. It is characterized by comprising a mechanism.
  • the decontamination apparatus includes mist supply means, mist circulation/dispersion means, and ultrasonic detection means.
  • the mist supply means converts a decontamination chemical solution for decontaminating the inside of the working chamber into decontamination mist, and supplies the decontamination mist to the inside of the working chamber.
  • the mist circulating and dispersing means ultrasonically vibrates a vibration board equipped with a plurality of ultrasonic transmitters to generate an acoustic stream by ultrasonic waves in a vertical direction from the board surface, and decontaminates the pressing force of the acoustic stream due to the acoustic radiation pressure. Circulate and disperse in the work room by acting on the mist.
  • the ultrasonic detection means includes an ultrasonic wave receiver for detecting the operation of the ultrasonic transmitter, and detects the entire ultrasonic wave transmitter and/or individual ultrasonic wave transmitters provided in the diaphragm. Detects the operation of the wave device.
  • the mist circulation/dispersion means has an operation control mechanism that controls the operation of the plurality of ultrasonic transmitters provided in the vibration plate.
  • a plurality of ultrasonic transmitters can be operated one by one, so that the operation of each ultrasonic transmitter can be confirmed individually. Therefore, the above effects can be exhibited more specifically and effectively.
  • the mist circulation/dispersion means has a wave transmission control mechanism.
  • This wave transmission control mechanism can vary the frequency and output of ultrasonic waves generated from a plurality of ultrasonic wave transmitters provided on the diaphragm. Further, this wave transmission control mechanism can intermittently transmit ultrasonic waves generated from a plurality of ultrasonic wave transmitters provided on the diaphragm. Therefore, the above effects can be exhibited more specifically and effectively.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of the inside of an isolator in which a decontamination device according to the invention of Patent Document 2 is arranged, viewed from the side;
  • FIG. FIG. 2 is a schematic perspective view showing a state in which a plurality of ultrasonic speakers are arranged on a speaker base in the vibration board of the decontamination apparatus of FIG. 1;
  • 1 is a conceptual diagram showing the relationship between an ultrasonic transmitter and an ultrasonic receiver;
  • FIG. 1 is a configuration diagram of an apparatus in which a mist circulation/dispersion device and an ultrasonic detection device are integrated;
  • FIG. FIG. 4 is a conceptual diagram of a detection operation for confirming the operation of an ultrasonic transmitter;
  • FIG. 4 is an internal cross-sectional view of the inside of the isolator as seen from the ceiling surface side, and is a conceptual diagram showing how the operation of the ultrasonic transmitter before decontamination is being confirmed.
  • FIG. 7 is a conceptual diagram showing how the operation of the ultrasonic transmitter during decontamination is being confirmed in the internal cross-sectional view of FIG. 6 ;
  • Fig. 6 is an internal cross-sectional view of the inside of the pass box attached to the isolator as seen from the ceiling side, confirming the operation of the ultrasonic transmitter (1) before decontamination and (2) during decontamination
  • FIG. 3 is a conceptual diagram showing a state in which
  • the term "mist” is interpreted in a broad sense, and includes the state of droplets of the decontaminating agent that are finely divided and suspended in the air, the state in which the gas and droplets of the decontaminating agent are mixed, and the decontamination It includes a state in which the agent repeatedly undergoes a phase change of condensation and evaporation between gas and droplets.
  • the particle size is also interpreted in a broad sense, including mist, fog, droplets, etc., which are finely divided depending on the case.
  • mist (sometimes defined as 10 ⁇ m or less) or fog (sometimes defined as 5 ⁇ m or less) or mist having a particle size of more than that It shall also include things.
  • mist sometimes defined as 10 ⁇ m or less
  • fog sometimes defined as 5 ⁇ m or less
  • even droplets of 3 ⁇ m to 10 ⁇ m or more such as mist, fog, droplets, etc. are homogenized into ultrafine particles of 3 ⁇ m or less by the action of ultrasonic vibration, and are highly removed. It is thought that it exerts a dyeing effect.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of the inside of an isolator in which the decontamination device according to the invention of Patent Document 2 proposed by the present inventors is arranged, viewed from the side.
  • the decontamination apparatus according to the present invention includes an ultrasonic detection device for detecting the operation of the ultrasonic transmitter in addition to the mist supply device and the mist circulation/dispersion device provided in the invention of Patent Document 2 above. Details of the ultrasonic detector will be described later.
  • the isolator 10 has a decontamination device 20 arranged therein.
  • the decontamination device 20 is composed of a mist supply device 30, a mist circulation/dispersion device 40, and a first control device (not shown).
  • a two-fluid spray nozzle 30 is used as the mist supply device 30 and installed on the bottom wall surface 11 of the isolator 10 .
  • hydrogen peroxide solution H 2 O 2 aqueous solution
  • the two-fluid spray nozzle 30 mists the hydrogen peroxide water with compressed air from a compressor (not shown) to form a hydrogen peroxide water mist 31 and supplies the mist 31 to the inside of the isolator 10 .
  • the mist supplying device is not limited to the two-fluid spray nozzle, and the mist generating mechanism, output, etc. are not particularly limited.
  • the mist circulation/dispersion device 40 has two vibrating discs 41 and 42 .
  • Two vibrating plates 41 and 42 are placed inside the isolator 10 at two locations, i.e., the lower part of the right wall surface and the upper part of the left wall surface. placed in the direction.
  • These two vibrating discs 41 and 42 are arranged so that their disc surfaces (vibrating surfaces) do not face each other (the disc surfaces face each other in the front).
  • one or a plurality of vibrating discs may be arranged on one side instead of arranging two vibrating discs with their disc surfaces (vibrating surfaces) facing each other.
  • FIG. 2 is a schematic perspective view showing a state in which a plurality of ultrasonic speakers (corresponding to ultrasonic transmitters) are arranged on a speaker base in the vibration plate of the decontamination apparatus of FIG.
  • the diaphragm 41 comprises a base and a plurality of ultrasonic transmitters.
  • the speaker board 45 is used as the board, and the ultrasonic speaker 46 is used as the transmitter.
  • Twenty-five ultrasonic speakers 46 are arranged on the flat surface 45a of the speaker substrate 45 so that the transmitting direction of the vibration surfaces 46a thereof (front left direction in the drawing) is uniform. Note that the number of ultrasonic speakers is not particularly limited.
  • a super-directional ultrasonic speaker is used as the ultrasonic speaker 46 .
  • a frequency modulation type ultrasonic speaker DC 12 V, 50 mA
  • the type, size, structure, output, etc. of the ultrasonic speaker are not particularly limited.
  • the diaphragm provided in the mist circulating and dispersing device is not limited to the ultrasonic speaker, and the ultrasonic wave generation mechanism, frequency range, output, etc. are not particularly limited.
  • the vibrating plate 41 arranged at the lower right inside the isolator 10 has its vibrating surface 41a (the same direction as the vibrating surface 46a of the ultrasonic speaker 46) directed leftward in the drawing.
  • the vibrating plate 42 placed inside the isolator 10 at the upper left in the drawing has its vibrating surface 42a (the same direction as the vibrating surface 46a of the ultrasonic speaker 46) facing rightward in the drawing.
  • a highly directional acoustic stream 42b traveling in the vertical direction (right direction in the figure) from the vibration surface 42a is made finer by the action of the acoustic stream 41b and sent.
  • the mist 31a is pressed by the acoustic radiation pressure to move in the traveling direction of the acoustic stream 42b (rightward direction in the drawing).
  • the fine mist 31a becomes a more stable fine mist 31b by the action of ultrasonic vibration caused by the acoustic stream 42b, and is circulated and dispersed inside the isolator 10.
  • the vibrating discs 41 and 42 are arranged so that the vibrating surfaces 41a and 42a do not face each other from the front.
  • the vibrating surface 41a of the vibrating plate 41 and the vibrating surface 42a of the vibrating plate 42 face each other from the front, the ultrasonic waves generated from the vibrating plates 41 and 42 interact with each other to generate a standing wave sound field.
  • the fine mists 31a and 31b are not pressed by the acoustic radiation pressure and cannot move.
  • one or a plurality of vibrating discs may be arranged on one side to circulate the decontaminating agent mist inside the isolator 10 .
  • the fine mists 31a and 31b finely stabilized by the acoustic stream 41b and the acoustic stream 42b circulate so as to swirl in the direction of the arrow shown (clockwise in the figure).
  • the acoustic stream 41b and the acoustic stream 42b are longitudinal waves of stable standing waves that propagate on a plane, and propagate as air currents with no difference in wind speed compared to the direct method from the mist nozzle and the fan method.
  • the fine mists 31a and 31b are made finer by the action of ultrasonic vibration, and the particle size is small and the surface area is large.
  • the fine mists 31 a and 31 b are highly fine mists and form uniform and thin condensed films on the inner wall surface of the isolator 10 . Therefore, as compared with the conventional decontamination operation, the inner wall surface of the isolator 10 does not form a partial, uneven and thick condensed film.
  • the fine mists 31a and 31b of hydrogen peroxide circulate while repeating evaporation, condensation, and atomization inside the isolator 10 while being constantly affected by ultrasonic vibrations.
  • the inner wall surface of the isolator 10 is constantly subjected to the action of ultrasonic vibrations, and re-evaporation and condensation of a uniform and thin condensed film are repeated. For these reasons, it is considered that ultrafine particles of hydrogen peroxide of 3 ⁇ m or less and hydrogen peroxide gas coexist in the interior of the isolator 10 while undergoing a phase change, thereby developing an advanced decontamination environment.
  • the effect of removing deposits on the inner wall surface of the isolator 10 is also obtained by the ultrasonic vibration and acoustic radiation pressure caused by the acoustic streams 41b and 42b.
  • FIG. 3 is a conceptual diagram showing the relationship between an ultrasonic transmitter and an ultrasonic receiver.
  • the wave transmitting surface 51a of the ultrasonic wave transmitter 51 and the wave receiving surface 52a of the ultrasonic wave receiver 52 face each other (the surfaces face each other in the front).
  • the electric signal 51b from the first control device (not shown) is converted into ultrasonic waves by the ultrasonic transmitter 51, and ultrasonic waves 53a are transmitted from the transmission surface 51a.
  • the transmitted ultrasonic wave 53a is received by the wave receiving surface 52a of the ultrasonic wave receiver 52 and converted into an electric signal 52b.
  • the converted electrical signal 52b is recognized by a second controller (not shown) of the ultrasonic detector to confirm that the ultrasonic transmitter 51 is operating properly.
  • the wave transmitting surface 51a of the ultrasonic wave transmitter 51 and the wave receiving surface 52a of the ultrasonic wave receiver 52 do not face each other, but face the reflecting surface 54 in the same direction. is doing.
  • the electric signal 51b from the first control device is converted into ultrasonic waves by the ultrasonic wave transmitter 51, and ultrasonic waves 53a are transmitted from the wave transmitting surface 51a.
  • the transmitted ultrasonic wave 53a is reflected (partially attenuated in some cases) by the reflecting surface 54 to become an ultrasonic wave 53b.
  • the ultrasonic wave 53b is received by the wave receiving surface 52a of the ultrasonic wave receiver 52 and converted into an electric signal 52b.
  • the converted electrical signal 52b is recognized by a second controller (not shown) of the ultrasonic detector to confirm that the ultrasonic transmitter 51 is operating properly.
  • the ultrasonic transmitter is not limited to an ultrasonic speaker, and is not particularly limited as long as it is a mechanism capable of converting electrical signals into ultrasonic waves.
  • the ultrasonic wave receiver is structurally similar to the ultrasonic wave transmitter, and an ultrasonic speaker can also be used.
  • it is not limited to an ultrasonic speaker, and is not particularly limited as long as it is a mechanism capable of converting an ultrasonic wave into an electric signal.
  • FIG. 4 is a configuration diagram of a device in which a mist circulation/dispersion device and an ultrasonic detection device are integrated.
  • a device 60 in which a mist circulation/dispersion device 60a and an ultrasonic detection device 60b are integrated includes a vibrating plate 61 provided in the mist circulation/dispersion device 60a and a first control device. 62, a plurality of ultrasonic wave transmitters 63 (48 units in FIG.
  • ultrasonic wave transmitters 63 are uniformly arranged on the surface of the diaphragm 61, and one ultrasonic wave receiver 65 is arranged at the central position thereof. Also, an LED pilot lamp 66 for indicating the operation of the integrated device 60 is arranged at one end of the diaphragm 61 .
  • the first control device 62 controls the operation of the 48 ultrasonic transmitters 63 individually and the operation of the 48 ultrasonic transmitters 63 as a whole.
  • the second control device 64 controls the operation of one ultrasonic wave receiver 65 .
  • the ultrasonic wave transmitter 63 and the ultrasonic wave receiver 65 are arranged on the same surface of the diaphragm 61, so the ultrasonic wave receiver 65 can be ), the reflected wave of the ultrasonic wave transmitted by the ultrasonic wave transmitter 63 is detected.
  • the ultrasonic wave transmitter 63 and the ultrasonic wave receiver 65 are arranged at different positions, and the ultrasonic waves transmitted by the ultrasonic wave transmitter 63 are arranged as described with reference to FIG. 3(1).
  • the ultrasonic waves may be directly detected by the ultrasonic wave receiver 65 .
  • FIG. 5 is a conceptual diagram of a detection operation for confirming the operation of the ultrasonic transmitter.
  • operation 1 the operation of all ultrasonic transmitters is checked individually before decontamination. After confirming the operation of all ultrasonic transmitters as a result of operation 1, the decontamination operation is performed.
  • a threshold value may be set for the operation state.
  • operation 2 confirm the operation of the vibration plate (all ultrasonic transmitters) during decontamination. After confirming that all the ultrasonic transmitters have been activated as a result of the operation 2, the decontamination operation is performed. If no stoppage of the vibration plate was detected during decontamination, decontamination was considered to have been carried out normally. In operation 2, the operation of each ultrasonic transmitter is not checked individually.
  • operation 3 the same operation as before decontamination is performed after decontamination to individually check the operation of all ultrasonic transmitters.
  • a threshold value may be set for the operating state of the ultrasonic transmitter. In this way, by confirming the operation of all ultrasonic transmitters in operations 1 to 3, the operation of the decontamination apparatus can be guaranteed.
  • Fig. 6 is an internal cross-sectional view of the interior of the isolator as seen from the ceiling surface side, and is a conceptual diagram showing how the operation of the ultrasonic transmitter before decontamination is being confirmed.
  • (1) and (2) of FIG. 6 show a state in which operation confirmation of two integrated devices 60 is switched in the same isolator.
  • two integrated devices 60A and 60B are arranged on one side wall surface 70a.
  • a plurality of devices 71 to 77 used in post-decontamination work are typically placed on the lower wall surface or suspended from the ceiling surface by supports 78. It is described in.
  • the operations of the 48 ultrasonic transmitters 63 of the integrated device 60A are checked one by one.
  • the operations of the 48 ultrasonic transmitters 63 of the integrated device 60A are checked one by one.
  • the inside of the isolator 70 is decontaminated, and the process proceeds to (operation 2).
  • a threshold value may be set for the operating state of the ultrasonic wave transmitter 63 .
  • FIG. 7 is a conceptual diagram showing confirmation of the operation of the ultrasonic transmitter during decontamination.
  • the isolator 70 inside the isolator 70, two integration devices 60A and 60B and a plurality of devices 71 to 77 are arranged as in FIG.
  • the ultrasonic wave receivers 65 of both the two integrating devices 60A and 60B detect part of these reflected waves to confirm the operation of the two integrating devices 60A and 60B. Since the attenuated ultrasonic waves are complicatedly and repeatedly reflected inside the isolator 70, it is not necessary to check whether one of the two integrated devices 60A and 60B is stopped. In addition, it is not checked whether one or several of all the ultrasonic transmitters 63 (here, 96 units) of the two integrated devices 60A and 60B are stopped.
  • FIG. 8 is an internal cross-sectional view of the inside of the pass box attached to the isolator as seen from the ceiling side, and shows the operation of the ultrasonic transmitter (1) before decontamination and (2) during decontamination. It is a conceptual diagram which shows a mode that it is confirming.
  • one integration device 60A is arranged on one side wall surface 80a.
  • a state in which a plurality of devices 81 to 83 are mounted on the lower wall surface is schematically illustrated.
  • the operations of the 48 ultrasonic transmitters 63 of the integrated device 60A are checked one by one.
  • the inside of the pass box 80 is decontaminated, and the process proceeds to (operation 2).
  • a threshold value may be set for the operating state of the ultrasonic wave transmitter 63 .
  • the decontamination of the interior of the pass box 80 may be performed simultaneously with the decontamination of the interior of the isolator 70 described above.
  • FIG. 8(2) Inside the pass box 80, one integration device 60A and a plurality of devices 81 to 83 are arranged as in FIG. 8(1). In this state, hydrogen peroxide water mist is supplied to the inside of the pass box 80 to start decontamination. In this case, all the ultrasonic transmitters 63 of the integrated device 60A are operating to circulate and disperse the hydrogen peroxide water mist. In FIG. 8B, the ultrasonic waves transmitted from all the ultrasonic transmitters 63 are indicated by arrows. The ultrasonic waves transmitted from all of the ultrasonic wave transmitters 63 make the hydrogen peroxide water mist fine, circulate and disperse inside the pass box 80, and are partially attenuated. As can be seen from FIG. 8(2), the attenuated ultrasonic waves are reflected by the surfaces of the plurality of devices 81 to 83 and the other side wall surface 80b of the pass box 80 and travel in various directions.
  • the ultrasonic wave receiver 65 of the integrating device 60A detects part of these reflected waves to confirm the operation of the integrating device 60A.
  • one or several of all the ultrasonic transmitters 63 (here, 48 units) of the integrated device 60A are stopped. Do not check the status. That is, in (operation 2), it is possible to confirm that the integrating device 60A is completely stopped. In this way, when the integrating device 60A does not completely stop, the operation proceeds to (operation 3) as the final confirmation operation.
  • ultrasonic transmitters (ultrasonic speakers), 46a, 51a ... wave transmission surface (vibration surface) of ultrasonic transmitter, 51b, 52b ... electric signal, 52, 65... Ultrasonic wave receiver (ultrasonic speaker), 52a... Wave receiving surface (oscillating surface) of the ultrasonic wave receiver, 53a, 53b ... ultrasonic wave, 62 ... first control device, 64 ... second control device, 66... LED pilot lamp, 71 to 77, 81 to 83... equipment, 78... support.

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Abstract

除染操作の前後又は除染中にミスト循環分散手段が正確に作動していることを確認することができ、除染装置としての作動保証をすることのできる除染装置を提供する。 ミスト供給手段とミスト循環分散手段と超音波検知手段を備える。ミスト供給手段は、作業室の内部を除染するための除染用薬液を除染用ミストに変換し、当該除染用ミストを作業室の内部に供給する。ミスト循環分散手段は、複数の超音波送波器を具備した振動盤を超音波振動させて盤面から垂直方向に超音波による音響流を発生させ、当該音響流の音響放射圧による押圧を除染用ミストに作用させて作業室内に循環分散させる。超音波検知手段は、超音波送波器の作動を検知するための超音波受波器を具備して、振動盤が具備する複数の超音波送波器の全体及び／又は個々の超音波送波器の作動を検知する。

Description

除染装置
　本発明は、クリーンルームやアイソレーター装置などの内部を除染するためのミスト循環分散手段を備える除染装置に関するものであり、特に当該ミスト循環分散手段の作動を検知する超音波検知手段を備える除染装置に関するものである。
　医薬品或いは食品などを製造する製造現場、或いは、手術室などの医療現場においては、室内の無菌状態を維持することが重要である。特に医薬品製造の作業室である無菌室の除染においては、ＧＭＰ（Ｇｏｏｄ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｐｒａｃｔｉｃｅ）に即した高度な除染バリデーションを完了させる必要がある。
　近年、無菌室などの作業室（以下、除染対象室という）の除染には、過酸化水素（ガス又はミスト）が広く採用されている。この過酸化水素は、強力な滅菌効果を有し、安価で入手しやすく、且つ、最終的には酸素と水に分解する環境に優しい除染ガスとして有効である。
　この過酸化水素による除染効果は、除染対象部位の表面に凝縮する過酸化水素水の凝縮膜によるものであることが下記特許文献１に記載されている。従って、除染対象室の除染効果の完璧を図るには、過酸化水素の供給量を多くして発生する過酸化水素水の凝縮膜を厚く或いは高濃度にすればよい。
　ところで、除染対象室に過剰量の過酸化水素を供給すると過度な凝縮が起こり、除染対象室の内部に設置されている各種製造設備や精密測定機器或いは除染対象室の壁面などが発生した高濃度の過酸化水素水の凝縮膜により腐食されるという不具合が生じる。
　また、過酸化水素による除染の後には、除染対象室の内部に残留した過酸化水素や凝縮膜を清浄空気で除去するエアレーションを行う。しかし、過剰量の過酸化水素を供給した場合には、除染対象室の壁面などに発生した高濃度の過酸化水素水の凝縮膜を除去するエアレーションに多くに時間を要するという問題があった。
　そこで、本発明者らは、下記特許文献２において、超音波によるミスト循環分散手段を採用することにより、除染対象室に対する適正量の除染剤の供給で除染効果の完璧を図ると共に、エアレーションなどの作業時間を短縮して除染作業の効率化を図ることのできる除染装置を提案した。
特公昭６１－４５４３号公報 特開２０２０－１５６９７０号公報
　ところで、上記特許文献２においては、ミスト循環分散手段に複数の超音波送波器を用いているが、それらの作動を確認する方法に関しては開示されておらず、除染装置としての作動保証に課題があった。
　そこで、本発明は、上記の諸問題に対処して、除染操作の前後又は除染中にミスト循環分散手段が正確に作動していることを確認することができ、除染装置としての作動保証をすることのできる除染装置を提供することを目的とする。
　上記課題の解決にあたり、本発明者らは、鋭意研究の結果、ミスト循環分散手段が具備する複数の超音波送波器を１台ずつ作動させる機構と、個々の作動を確認する超音波受波器を装備することにより上記課題を解決できるものと考え本発明の完成に至った。
　即ち、本発明に係る除染装置（２０）は、請求項１の記載によれば、
　作業室（１０、７０、８０）の内部を除染するための除染用薬液を除染用ミストに変換し、当該除染用ミストを前記作業室の内部に供給するミスト供給手段（３０）、
　複数の超音波送波器（４６、５１、６３）を具備した振動盤（４１、４２、６１）を超音波振動させて盤面から垂直方向に超音波による音響流を発生させ、当該音響流の音響放射圧による押圧を前記除染用ミストに作用させて前記作業室内に循環分散させるミスト循環分散手段（４０、６０ａ）、及び、
　前記超音波送波器の作動を検知するための超音波受波器（５２、６５）を具備して、前記振動盤が具備する複数の超音波送波器の全体及び／又は個々の超音波送波器の作動を検知する超音波検知手段（６０ｂ）を備える。
　また、本発明は、請求項２の記載によれば、請求項１に記載の除染装置であって、
　前記ミスト循環分散手段は、前記振動盤が具備する複数の超音波送波器の作動を制御する作動制御機構（６２）を具備し、
　前記複数の超音波送波器を１台ずつ作動させることにより、各超音波送波器の作動を個別に確認ができることを特徴とする。
　また、本発明は、請求項３の記載によれば、請求項１又は２に記載の除染装置であって、
　前記ミスト循環分散手段は、前記振動盤が具備する複数の超音波送波器から発生する超音波の周波数と出力を可変とする、及び／又は、超音波を断続的に送波する送波制御機構を具備することを特徴とする。
　上記構成によれば、本発明に係る除染装置は、ミスト供給手段とミスト循環分散手段と超音波検知手段を備える。ミスト供給手段は、作業室の内部を除染するための除染用薬液を除染用ミストに変換し、当該除染用ミストを作業室の内部に供給する。ミスト循環分散手段は、複数の超音波送波器を具備した振動盤を超音波振動させて盤面から垂直方向に超音波による音響流を発生させ、当該音響流の音響放射圧による押圧を除染用ミストに作用させて作業室内に循環分散させる。超音波検知手段は、超音波送波器の作動を検知するための超音波受波器を具備して、振動盤が具備する複数の超音波送波器の全体及び／又は個々の超音波送波器の作動を検知する。
　このことにより、除染操作の前後又は除染中にミスト循環分散手段が正確に作動していることを確認することができ、除染装置としての作動保証をすることのできる除染装置を提供することができる。
　また、上記構成によれば、ミスト循環分散手段は、振動盤が具備する複数の超音波送波器の作動を制御する作動制御機構を具備している。これにより、複数の超音波送波器を１台ずつ作動させることができるので、各超音波送波器の作動を個別に確認することができる。よって、上記作用効果をより具体的かつ効果的に発揮することができる。
　また、上記構成によれば、ミスト循環分散手段は、送波制御機構を具備している。この送波制御機構は、振動盤が具備する複数の超音波送波器から発生する超音波の周波数と出力を可変とすることができる。また、この送波制御機構は、振動盤が具備する複数の超音波送波器から発生する超音波を断続的に送波することができる。よって、上記作用効果をより具体的かつ効果的に発揮することができる。
特許文献２の発明に係る除染装置を配置したアイソレーターの内部を側面から見た概要断面図である。 図１の除染装置が具備する振動盤においてスピーカー基盤に複数の超音波スピーカーを配置した状態を示す概要斜視図である。 超音波送波器と超音波受波器との関係を示す概念図である。 ミスト循環分散装置と超音波検知装置とが一体化した装置の構成図である。 超音波送波器の作動を確認する検知操作の概念図である。 アイソレーターの内部を天井面側から見た内部断面図であって、除染前の超音波送波器の作動を確認している様子を示す概念図である。 図６の内部断面図において、除染中の超音波送波器の作動を確認している様子を示す概念図である。 図６のアイソレーターに併設されているパスボックスの内部を天井面側から見た内部断面図であって、（１）除染前及び（２）除染中の超音波送波器の作動を確認している様子を示す概念図である。
　本発明において「ミスト」とは、広義に解釈するものであって、微細化して空気中に浮遊する除染剤の液滴の状態、除染剤のガスと液滴が混在した状態、除染剤がガスと液滴との間で凝縮と蒸発との相変化を繰り返している状態などを含むものとする。また、粒径に関しても、場合によって細かく区分されるミスト・フォグ・液滴などを含んで広義に解釈する。
　よって、本発明に係るミストにおいては、場合によってミスト（１０μｍ以下と定義される場合もある）或いはフォグ（５μｍ以下と定義される場合もある）と呼ばれるもの、及び、それ以上の粒径を有するものも含むものとする。なお、本発明においては、超音波振動の作用により、ミスト・フォグ・液滴などの３μｍ～１０μｍ或いはそれ以上の液滴であっても、３μｍ以下の超微細粒子に均一化されて高度な除染効果を発揮するものと考えられる。
　以下、本発明に係る除染装置を実施形態により詳細に説明する。なお、本発明は、下記の実施形態にのみ限定されるものではない。
　本実施形態においては、除染対象である作業室としてアイソレーターを例にして説明する。図１は、本発明者らが提案した上記特許文献２の発明に係る除染装置を配置したアイソレーターの内部を側面から見た概要断面図である。なお、本発明に係る除染装置においては、上記特許文献２の発明が備えるミスト供給装置とミスト循環分散装置とに加え、超音波送波器の作動を検知する超音波検知装置を備える。なお、超音波検知装置の詳細については後述する。
　まず、上記特許文献２の発明に係る除染装置について説明する。図１において、アイソレーター１０は、その内部に除染装置２０を配置している。除染装置２０は、ミスト供給装置３０とミスト循環分散装置４０と第１制御装置（図示せず）とから構成されている。本実施形態においては、ミスト供給装置３０として二流体スプレーノズル３０を使用し、アイソレーター１０の底壁面１１に設置されている。また、本実施形態においては、除染剤として過酸化水素水（Ｈ２Ｏ２水溶液）を使用した。
　二流体スプレーノズル３０は、コンプレッサー（図示せず）からの圧縮空気により過酸化水素水をミスト化して過酸化水素水ミスト３１とし、アイソレーター１０の内部に供給する。なお、本発明においては、ミスト供給装置に関しては二流体スプレーノズルに限るものではなく、ミスト発生機構及び出力等について特に限定するものではない。
　ここで、ミスト循環分散装置４０について説明する。本実施形態においては、ミスト循環分散装置４０は、２台の振動盤４１、４２を具備している。２台の振動盤４１、４２は、アイソレーター１０の内部の図示右壁面下部及び図示左壁面上部の２か所に側壁面１２、１３を背にして振動面４１ａ、４２ａをアイソレーター１０の内部に水平方向に向けて配置されている。これら２台の振動盤４１、４２は、互いに盤面（振動面）を対向（盤面同士が互いに正面に向き合うこと）させることなく配置されている。なお、本発明においては、２台の振動盤を互いに盤面（振動面）を対向させて配置することなく、一方の面に１台又は複数台を配置するようにしてもよい。
　ここで、振動盤４１（４２も同じ）について説明する。図２は、図１の除染装置が具備する振動盤においてスピーカー基盤に複数の超音波スピーカー（超音波送波器に対応する）を配置した状態を示す概要斜視図である。図２において、振動盤４１は、基盤と複数の超音波送波器とを具備している。図２の振動盤４１においては、基盤としてスピーカー基盤４５を使用し、送波器として超音波スピーカー４６を使用した。また、スピーカー基盤４５の平面４５ａ上に２５台の超音波スピーカー４６をそれらの振動面４６ａの送波方向（図示正面左方向）を統一して配置している。なお、超音波スピーカーの台数は、特に限定するものではない。
　本実施形態においては、超音波スピーカー４６として超指向性の超音波スピーカーを使用した。具体的には、周波数４０ＫＨｚ付近の超音波を送波する周波数変調方式の超音波スピーカー（ＤＣ１２Ｖ、５０ｍＡ）を使用した。なお、超音波スピーカーの種類、大きさと構造、出力等に関しては、特に限定するものではない。また、本発明においては、ミスト循環分散装置が具備する振動盤に関しては超音波スピーカーに限るものではなく、超音波の発生機構、周波数域及び出力等について特に限定するものではない。
　本実施形態において、複数（２５台）の超音波スピーカー４６の振動面４６ａの送波方向を統一すると共にこれらの送波器を同位相で作動させることにより、各超音波スピーカー４６の正面方向の超音波が互いに強め合うと共に、各超音波スピーカー４６の横方向の超音波が互いに打ち消し合うようになる。その結果、スピーカー基盤４５に配置された超音波スピーカー４６が超音波振動すると、各振動面４６ａから垂直方向に空気中を進行する指向性の強い音響流が発生する。なお、第１制御装置（図示せず）により超音波スピーカー４６の周波数と出力を制御することにより、効率的な除染操作が可能となる。
　次に、上記構成に係る除染装置２０を配置したアイソレーター１０の内部における過酸化水素水ミスト３１の挙動について説明する。なお、図１においては、アイソレーター１０の内部の図示右下に配置した振動盤４１は、その振動面４１ａ（超音波スピーカー４６の振動面４６ａの方向と同じ）を図示左方向に向けている。
　図１の状態で超音波スピーカー４６が超音波振動すると、振動面４１ａから垂直方向（図示左方向）に進行する指向性の強い音響流４１ｂが二流体スプレーノズル３０から放出された過酸化水素水ミスト３１を取り込んで、音響放射圧による押圧を作用させ、音響流４１ｂの進行方向（図示左方向）に移動させる。この際に過酸化水素水ミスト３１は、音響流４１ｂによる超音波振動の作用により微細化された微細ミスト３１ａとなりアイソレーター１０の内部に循環分散される。
　一方、アイソレーター１０の内部の図示左上に配置した振動盤４２は、その振動面４２ａ（超音波スピーカー４６の振動面４６ａの方向と同じ）を図示右方向に向けている。この状態で、超音波スピーカー４６が超音波振動すると、振動面４２ａから垂直方向（図示右方向）に進行する指向性の強い音響流４２ｂが音響流４１ｂの作用により微細化され送られてきた微細ミスト３１ａに音響放射圧による押圧を作用させ、音響流４２ｂの進行方向（図示右方向）に移動させる。この際に微細ミスト３１ａは、音響流４２ｂによる超音波振動の作用により更に安定した微細ミスト３１ｂとなりアイソレーター１０の内部に循環分散される。
　このように、アイソレーター１０の内部では、振動盤４１と振動盤４２とが互いの振動面４１ａ、４２ａを正面から対向させずに配置されている。振動盤４１の振動面４１ａと振動盤４２の振動面４２ａが正面から対向した場合には、各振動盤４１、４２から発生する超音波が互いに作用して定在波音場を発生させる。定在波音場が発生した場合には、微細ミスト３１ａ、３１ｂが音響放射圧による押圧を受けることがなく移動できないからである。なお、上述のように、一方の面に１台又は複数台の振動盤を配置してアイソレーター１０の内部に除染剤ミストを循環するようにしてもよい。
　このように、アイソレーター１０の内部では、音響流４１ｂ及び音響流４２ｂにより微細安定化された微細ミスト３１ａ、３１ｂが、図示矢印方法（図示右回り）に旋回するように循環する。なお、音響流４１ｂ及び音響流４２ｂは、平面上で伝わる安定した定常波の縦波であって、ミストノズルからの直接方式やファン方式に比べ、風速差のない気流として伝搬する。
　このとき、微細ミスト３１ａ、３１ｂは、超音波振動の作用で微細化され粒径が小さく表面積が大きくなることから、ミストの蒸発効率が高く蒸発と凝縮とを繰り返しているものと考えられる。また、微細ミスト３１ａ、３１ｂは、高度に微細化されたミストでありアイソレーター１０の内壁面に均一且つ薄層の凝縮膜を形成する。従って、従来の除染操作に比べアイソレーター１０の内壁面に部分的でムラ及び厚みのある凝縮膜を生じさせることがない。
　このように、過酸化水素の微細ミスト３１ａ、３１ｂは、超音波振動の作用を常に受けながらアイソレーター１０の内部で蒸発と凝縮と微細化を繰り返しながら循環する。また、アイソレーター１０の内壁面においても、超音波振動の作用を常に受け均一且つ薄層の凝縮膜の再蒸発と凝縮とが繰り返される。これらのことにより、アイソレーター１０の内部には過酸化水素の３μｍ以下の超微細粒子と過酸化水素ガスとが相変化しながら共存して高度な除染環境を発現するものと考えられる。
　また、アイソレーター１０の内壁面に均一且つ薄層で形成された凝縮膜が再蒸発と凝縮とを繰り返すことにより、除染ミスト中の除染剤濃度を上げることが可能で、少量の除染剤で効率の良い除染を可能にする。また、少量の除染剤で効率よく除染できるので、除染後のエアレーションの効率も向上し除染操作の短時間化も可能である。更に、副次的効果であるが、音響流４１ｂ及び音響流４２ｂによる超音波振動及び音響放射圧によって、アイソレーター１０の内壁面への付着物の除去効果も得られる。
　次に、本発明の中心技術である超音波検知装置について説明する。まず、超音波送波器と超音波受波器について説明する。図３は、超音波送波器と超音波受波器との関係を示す概念図である。図３（１）においては、超音波送波器５１の送波面５１ａと超音波受波器５２の受波面５２ａとが互いに対向（表面同士が互いに正面に向き合うこと）している。
　この状態においては、第１制御装置（図示せず）からの電気信号５１ｂが超音波送波器５１により超音波に変換され、送波面５１ａから超音波５３ａが送波される。次に、送波された超音波５３ａは、超音波受波器５２の受波面５２ａで受波され電気信号５２ｂに変換される。変換された電気信号５２ｂは、超音波検知装置が有する第２制御装置（図示せず）により認識され超音波送波器５１が正しく作動していることが確認される。
　一方、図３（２）においては、超音波送波器５１の送波面５１ａと超音波受波器５２の受波面５２ａとが互いに対向することなく、共に同じ方向に向かって反射面５４と対向している。
　この状態においては、第１制御装置（図示せず）からの電気信号５１ｂが超音波送波器５１により超音波に変換され、送波面５１ａから超音波５３ａが送波される。次に、送波された超音波５３ａは、反射面５４で反射（場合により一部減衰）されて超音波５３ｂとなる。次に、超音波５３ｂは、超音波受波器５２の受波面５２ａで受波され電気信号５２ｂに変換される。変換された電気信号５２ｂは、超音波検知装置が有する第２制御装置（図示せず）により認識され超音波送波器５１が正しく作動していることが確認される。
　なお、上述のように、超音波送波器は、超音波スピーカーに限るものではなく、電気信号を超音波に変換できる機構であれば特に限定するものではない。また、超音波受波器は、構造的には超音波送波器と同様であって、超音波スピーカーを使用することもできる。また、超音波スピーカーに限るものではなく、超音波を電気信号に変換できる機構であれば特に限定するものではない。
　次に、複数の超音波送波器を具備したミスト循環分散装置と超音波受波器を具備した超音波検知装置の他の例について説明する。図４は、ミスト循環分散装置と超音波検知装置とが一体化した装置の構成図である。図４において、ミスト循環分散装置６０ａと超音波検知装置６０ｂとが一体化した装置６０（以下「一体化装置６０」という）は、ミスト循環分散装置６０ａが具備する振動盤６１と第１制御装置６２と複数の超音波送波器６３（図４においては４８台）、及び、超音波検知装置６０ａが具備する第２制御装置６４と超音波受波器６５から構成されている。なお、４８台の超音波送波器６３は、振動盤６１の表面に均一に配置されており、それらの中央位置には１台の超音波受波器６５が配置されている。また、振動盤６１の一方の端部には、一体化装置６０の作動を示すためのＬＥＤパイロットランプ６６が配置されている。
　このような構成において、第１制御装置６２は、４８台の超音波送波器６３を個々独立しての作動、及び、４８台の超音波送波器６３を全体としての作動を制御する。一方、第２制御装置６４は、１台の超音波受波器６５の作動を制御する。なお、一体化装置６０においては、超音波送波器６３と超音波受波器６５とが同じ振動盤６１の表面に配置されているので、超音波受波器６５は上述の図３（２）で説明したように超音波送波器６３が送波した超音波の反射波を検知する。これに対して、超音波送波器６３と超音波受波器６５とを異なる位置に配置して、上述の図３（１）で説明したように超音波送波器６３が送波した超音波を超音波受波器６５が直接検知するようにしてもよい。
　ここで、本実施形態に係る一体化装置６０を使用して、超音波送波器６３の作動を確認する検知操作について説明する。図５は、超音波送波器の作動を確認する検知操作の概念図である。まず、図５（操作１）において、除染前に全ての超音波送波器の作動を個別に確認する。操作１の結果、全ての超音波送波器の作動を確認した後に、除染操作を行う。除染操作を行う前の作動の確認に関しては、作動状態に閾値を設けて行っても良い。
　次に、図５（操作２）において、除染中に振動盤（全ての超音波送波器）の作動を確認する。操作２の結果、全ての超音波送波器が作動したことを確認して、除染操作を行う。除染中に振動盤の作動の停止を検知しなければ、除染が正常に行われたものと考えられる。なお、操作２においては、超音波送波器の作動を個別に確認することは行わない。
　そこで、最後に、図５（操作３）において、除染前と同様の操作を除染後に行って全ての超音波送波器の作動を個別に確認する。操作３の結果、全ての超音波送波器の作動を確認することにより、除染中においても超音波送波器が正常に作動したものとみなすことができる。この際に超音波送波器の作動状態に閾値を設けて行っても良い。このように、操作１～３において、全ての超音波送波器の作動を確認することにより、除染装置としての作動保証をすることができる。
　以下に、図５に示した操作１～３について、超音波送波器の作動の確認を具体的に説明する。ここでは、アイソレーターの内部に一体化装置６０（図４参照）を一面の側壁面に２台配置して除染操作をする場合を例にして説明するが、これに限定するものではない。なお、以下の説明は、超音波送波器の作動の確認を説明するものであり、除染装置のミスト供給装置についての説明は省略する。
　図６は、アイソレーターの内部を天井面側から見た内部断面図であって、除染前の超音波送波器の作動を確認している様子を示す概念図である。図６の（１）と（２）は同じアイソレーターにおいて、２台の一体化装置６０の作動確認を切り替えた状態を示している。図６において、アイソレーター７０の内部には、２台の一体化装置６０Ａ、６０Ｂが一面の側壁面７０ａに配置されている。また、アイソレーター７０の内部の中央部分には、除染後の作業で使用する複数の機器７１～７７が下壁面に載置され又は天井面から支持具７８で吊設されている状態が模式的に記載されている。
　（操作１）
　この状態において、まず、図６（１）においては、第１制御装置６２の制御により一体化装置６０Ａの４８台の超音波送波器６３を１台ずつ順次（例えば、１番から４８番まで）作動させる（図４参照）。また、これと同時に第２制御装置６４の制御により一体化装置６０Ａの超音波受波器６５を作動させる。図６（１）において、１台の超音波送波器６３から波送された超音波を矢印で示している。図６（１）から分かるように、波送された超音波は、複数の機器７１～７７の表面やアイソレーター７０の他の側壁面７０ｂで反射され、様々な方向に進行する。超音波受波器６５は、これらの反射波の一部を検知して作動中の１台の超音波送波器６３から超音波が波送されていることを確認する。
　このようにして、一体化装置６０Ａの４８台の超音波送波器６３の作動を１台ずつ順次確認していく。一方、一体化装置６０Ａの４８台の超音波送波器６３の全ての作動を確認した後に、続いて一体化装置６０Ｂに切り替えて４８台の超音波送波器６３の作動を確認する（図６（２）参照）。２台の一体化装置６０Ａ及び６０Ｂの全ての超音波送波器６３の作動を確認した後に、アイソレーター７０の内部の除染を行うと共に（操作２）に移行する。なお、この際に超音波送波器６３の作動状態に閾値を設けて行っても良い。
　（操作２）
　図７は、除染中の超音波送波器の作動を確認している様子を示す概念図である。図７において、アイソレーター７０の内部には、図６と同様に２台の一体化装置６０Ａ、６０Ｂと複数の機器７１～７７が配置されている。
　この状態において、アイソレーター７０の内部に過酸化水素水ミストを供給して除染を開始する。この場合には、過酸化水素水ミストを循環分散させるために２台の一体化装置６０Ａ及び６０Ｂの全ての超音波送波器６３が作動している。図７においては、全ての超音波送波器６３から波送された超音波を矢印で示している。全ての超音波送波器６３から送波された超音波は、過酸化水素水ミストを微細化すると共にアイソレーター７０の内部に循環分散させて一部減衰する。図７から分かるように、減衰した超音波は、複数の機器７１～７７の表面やアイソレーター７０の他の側壁面７０ｂで反射され、様々な方向に進行する。
　２台の一体化装置６０Ａ及び６０Ｂの両方の超音波受波器６５は、これらの反射波の一部を検知して２台の一体化装置６０Ａ及び６０Ｂの作動を確認する。なお、減衰した超音波は、アイソレーター７０の内部で複雑に反射を繰り返すので、２台の一体化装置６０Ａ及び６０Ｂの一方が停止した状態を確認することまでは行わない。また、２台の一体化装置６０Ａ及び６０Ｂの全ての超音波送波器６３（ここでは９６台）のうち１台又は数台が停止した状態を確認することまでは行わない。
　すなわち、（操作２）においては、２台の一体化装置６０Ａ及び６０Ｂの両方が全面停止した状態を確認することができる。このようにして、２台の一体化装置６０Ａ及び６０Ｂの両方が全面停止しなかった場合には、最終確認操作として（操作３）に移行する。
　（操作３）
　除染及びエアレーションの各工程を終了した段階で、除染前の（操作１）と同様の操作を除染後に行って全ての超音波送波器６３の作動を個別に確認する。上述の（操作１）及び（操作２）が正常に確認でき、且つ、この（操作３）で２台の一体化装置６０Ａ及び６０Ｂの全ての超音波送波器６３の作動が確認できた場合には、除染装置としての作動保証をすることのでき、先程行ったアイソレーター７０の内部の除染が正確に行われたものと判断することができる。なお、この際に超音波送波器６３の作動状態に閾値を設けて行っても良い。
　次に、アイソレーターにパスボックスが併設されている場合のパスボックスの内部の除染についても説明する。図８は、アイソレーターに併設されているパスボックスの内部を天井面側から見た内部断面図であって、（１）除染前及び（２）除染中の超音波送波器の作動を確認している様子を示す概念図である。図８において、パスボックス８０の内部には、１台の一体化装置６０Ａが一面の側壁面８０ａに配置されている。また、パスボックス８０の内部の中央部分には、複数の機器８１～８３が下壁面に載置されている状態が模式的に記載されている。
　（操作１）
　この状態において、まず、図８（１）においては、第１制御装置６２の制御により一体化装置６０Ａの４８台の超音波送波器６３を１台ずつ順次（例えば、１番から４８番まで）作動させる（図４参照）。また、これと同時に第２制御装置６４の制御により一体化装置６０Ａの超音波受波器６５を作動させる。図８（１）において、１台の超音波送波器６３から波送された超音波を矢印で示している。図８（１）から分かるように、波送された超音波は、複数の機器８１～８３の表面やパスボックス８０の他の側壁面８０ｂで反射され、様々な方向に進行する。超音波受波器６５は、これらの反射波の一部を検知して作動中の１台の超音波送波器６３から超音波が波送されていることを確認する。
　このようにして、一体化装置６０Ａの４８台の超音波送波器６３の作動を１台ずつ順次確認していく。一体化装置６０Ａの４８台の超音波送波器６３の全ての作動を確認した後に、パスボックス８０の内部の除染を行うと共に（操作２）に移行する。なお、この際に超音波送波器６３の作動状態に閾値を設けて行っても良い。また、パスボックス８０の内部の除染は、上述のアイソレーター７０の内部の除染と同時に行うようにすればよい。
　（操作２）
　図８（２）において、パスボックス８０の内部には、図８（１）と同様に１台の一体化装置６０Ａと複数の機器８１～８３が配置されている。この状態において、パスボックス８０の内部に過酸化水素水ミストを供給して除染を開始する。この場合には、過酸化水素水ミストを循環分散させるために一体化装置６０Ａの全ての超音波送波器６３が作動している。図８（２）においては、全ての超音波送波器６３から波送された超音波を矢印で示している。全ての超音波送波器６３から送波された超音波は、過酸化水素水ミストを微細化すると共にパスボックス８０の内部に循環分散させて一部減衰する。図８（２）から分かるように、減衰した超音波は、複数の機器８１～８３の表面やパスボックス８０の他の側壁面８０ｂで反射され、様々な方向に進行する。
　一体化装置６０Ａの超音波受波器６５は、これらの反射波の一部を検知して一体化装置６０Ａの作動を確認する。なお、減衰した超音波は、パスボックス８０の内部で複雑に反射を繰り返すので、一体化装置６０Ａの全ての超音波送波器６３（ここでは４８台）のうち１台又は数台が停止した状態を確認することまでは行わない。すなわち、（操作２）においては、一体化装置６０Ａが全面停止した状態を確認することができる。このようにして、一体化装置６０Ａが全面停止しなかった場合には、最終確認操作として（操作３）に移行する。
　（操作３）
　除染及びエアレーションの各工程を終了した段階で、除染前の（操作１）と同様の操作を除染後に行って全ての超音波送波器６３の作動を個別に確認する。上述の（操作１）及び（操作２）が正常に確認でき、且つ、この（操作３）で一体化装置６０Ａの全ての超音波送波器６３の作動が確認できた場合には、除染装置としての作動保証をすることのでき、先程行ったパスボックス８０の内部の除染が正確に行われたものと判断することができる。なお、この際に超音波送波器６３の作動状態に閾値を設けて行っても良い。
　以上説明したように、本実施形態によれば、除染操作の前後又は除染中にミスト循環分散手段が正確に作動していることを確認することができ、除染装置としての作動保証をすることのできる除染装置を提供することができる。
１０、７０…アイソレーター、８０…パスボックス、
１１…底壁面、１２、１３、７０ａ、７０ｂ、８０ａ、８０ｂ…側壁面、１４…上壁面、
２０…除染装置、３０…ミスト供給装置（二流体スプレーノズル）、
３１…過酸化水素水ミスト、３１ａ…微細ミスト、
４０、６０ａ…ミスト循環分散装置、６０、６０Ａ、６０Ｂ…一体化装置、
６０ｂ…超音波検知装置、４１、４２、６１…振動盤、４１ａ、４２ａ…振動面、
４１ｂ、４２ｂ…音響流、４５…スピーカー基盤、４５ａ…スピーカー基盤の平面、
４６、５１、６３…超音波送波器（超音波スピーカー）、
４６ａ、５１ａ…超音波送波器の波送面（振動面）、５１ｂ、５２ｂ…電気信号、
５２、６５…超音波受波器（超音波スピーカー）、５２ａ…超音波受波器の受波面（振動面）、
５３ａ、５３ｂ…超音波、６２…第１制御装置、６４…第２制御装置、
６６…ＬＥＤパイロットランプ、７１～７７、８１～８３…機器、７８…支持具。

Claims (3)

  1. 　作業室の内部を除染するための除染用薬液を除染用ミストに変換し、当該除染用ミストを前記作業室の内部に供給するミスト供給手段、
    　複数の超音波送波器を具備した振動盤を超音波振動させて盤面から垂直方向に超音波による音響流を発生させ、当該音響流の音響放射圧による押圧を前記除染用ミストに作用させて前記作業室内に循環分散させるミスト循環分散手段、及び、
    　前記超音波送波器の作動を検知するための超音波受波器を具備して、前記振動盤が具備する複数の超音波送波器の全体及び／又は個々の超音波送波器の作動を検知する超音波検知手段を備える除染装置。
  2. 　前記ミスト循環分散手段は、前記振動盤が具備する複数の超音波送波器の作動を制御する作動制御機構を具備し、
    　前記複数の超音波送波器を１台ずつ作動させることにより、各超音波送波器の作動を個別に確認ができることを特徴とする請求項１に記載の除染装置。
  3. 　前記ミスト循環分散手段は、前記振動盤が具備する複数の超音波送波器から発生する超音波の周波数と出力を可変とする、及び／又は、超音波を断続的に送波する送波制御機構を具備することを特徴とする請求項１又は２に記載の除染装置。
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