WO2022153526A1 - 顕微鏡において用いられるステージ装置および顕微鏡 - Google Patents

顕微鏡において用いられるステージ装置および顕微鏡 Download PDF

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stepping motor
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昭 土居
直正 鈴木
猛 斎藤
和弘 川上
智博 田口
一亥 水野
大昌 三浦
Original Assignee
株式会社日立ハイテク
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/20—Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support

Definitions

  • the present invention relates to a stage device and a microscope used in a microscope.
  • IoT Internet of Things
  • MEMS Micro Electro Mechanical Systems
  • the stage used for sample positioning includes a ball screw stage that is rotated by a stepping motor to obtain a driving force, a linear stage that uses a linear motor, and the like.
  • the ball screw stage is often used for a multi-axis stage or an inclined stage. Linear stages have excellent high speed and are often used for large stages.
  • Patent Document 1 In order to solve this problem, there is a stage in which the rod connected to the motor and the table are separated when stopped so that vibration is not transmitted (Patent Document 1). With this structure, the vibration of the motor is not directly transmitted to the table, but the vibration of the motor causes the entire device to vibrate, and the vibration is not reduced. Further, in order to use it as an inclined stage, a large brake is required to prevent the table from moving due to gravity.
  • Patent Document 2 As a method of reducing the vibration current caused by electrical noise flowing through the stepping motor, there is a method in which a low-pass filter is provided in series with the feed line to the motor to smooth the feed voltage (Patent Document 2). In this configuration, the flow of alternating current is hindered even when the motor is not stopped, so that the power efficiency is low when the motor is not stopped (for example, when the stage is moved).
  • the conventional technique has a problem that the vibration of the stage at the time of imaging cannot be efficiently suppressed.
  • the present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide a stage device and a microscope that efficiently suppress the vibration of the stage at the time of imaging.
  • stage device used in a microscope
  • the stage control device is characterized by comprising an alternating current removing means for removing at least a part of an alternating current component of the driving current when the sample is imaged.
  • an example of the microscope according to the present invention includes the above-mentioned stage device.
  • the stage device and microscope according to the present invention efficiently suppress the vibration of the stage during imaging.
  • Example 1 It is sectional drawing of the wafer inspection apparatus.
  • Example 1 It is sectional drawing of the wafer inspection apparatus.
  • Example 1 It is explanatory drawing of the electric current at the time of rotation of a two-phase stepping motor.
  • Example 1 It is explanatory drawing of the current when a two-phase stepping motor is stopped.
  • Example 1 This is a drive circuit for rotating a two-phase stepping motor.
  • Example 1 This is a drive circuit when the two-phase stepping motor is stopped.
  • Example 1 It is a circuit diagram of a filter.
  • Example 1 This is the current value when the relay is open when the motor is stopped.
  • Comparison example This is the current value when the relay is closed when the motor is stopped.
  • Example 1 It is a circuit diagram of a filter with a surge protection circuit.
  • Example 1 This is a drive circuit when the two-phase stepping motor rotates.
  • Example 2 This is a drive circuit when the two-phase stepping motor is stopped.
  • Example 2 It is a circuit diagram of a filter.
  • Example 2 It is a circuit diagram of a filter with a surge protection circuit.
  • Example 2 This is a drive circuit when the 5-phase stepping motor rotates.
  • Example 3) This is a drive circuit when the 5-phase stepping motor is stopped.
  • Example 3) This is a drive circuit when the 5-phase stepping motor rotates.
  • Example 4) This is a drive circuit when the 5-phase stepping motor is stopped.
  • Example 4) This is a drive circuit when the two-phase stepping motor is stopped.
  • Example 5 This is a design example when the AC component is removed and when it is not removed.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of a wafer inspection device including a tilt scanning electron microscope according to a first embodiment of the present invention.
  • the tilt scanning electron microscope is described in this embodiment, the present invention can be applied to other microscopes (for example, a length measuring scanning electron microscope, a scanning electron microscope with a defect review function, an optical inspection device, etc.). And has the same effect.
  • the microscope according to this embodiment includes a stage device.
  • the coordinate system of the arrow in the XYZ direction shown in the figure is used.
  • the primary electron beam 100 generated by the electron gun 1 forms a thin beam by the condenser lens 3 and the aperture 2, is deflected by the scanning deflector 4, and is further focused by the objective lens 5 to be observed.
  • the surface of the wafer 6 is irradiated.
  • a negative voltage 63 is applied to the holder 7 so that the secondary electrons are easily emitted, and the secondary electrons 101 are emitted.
  • the secondary electrons are deflected by the secondary electron extraction deflector 11 and input to the detector 12.
  • the detector 12 converts this into an electric signal and inputs it to the image collecting device 25 as the detector data 59, and the image collecting device 25 generates an image.
  • the overall control device 20 that controls the entire wafer inspection device inputs the optical system command 51, which is an optical system setting condition, to the optical system control device 21. Based on the command values, an electron gun command 53, a condenser lens command 54, a scanning deflector command 55, an objective lens command 56, and a secondary electron extraction deflector command 58 are generated.
  • the holder voltage command 57 is input to the DC power supply 10.
  • the image capturing condition 52 is input to the image collecting device 25.
  • a table 9 is installed at the top of the stage device, and a holder 7 is installed on the table 9 with the electrical insulation portion 8 sandwiched between them. A negative voltage is applied to the holder 7. The wafer 6 is placed on the holder 7.
  • the stage device can convey the wafer 6.
  • a part of the stage device is placed in a vacuum vessel 200 located at the bottom of the optical system.
  • the stage device is equipped with a multi-axis stage that can move in translational directions of two or more axes.
  • the stage apparatus according to this embodiment has a Y-axis stage 30 and an X-axis stage 31 from above, and further has a T-axis stage 32 that rotates about a rotation axis 201 in order to tilt and observe the wafer observation method. Have.
  • These stages position the sample (wafer 6 in this example).
  • a Z-axis stage for moving the wafer up and down and a rotating stage for rotating around the Z-axis may be provided.
  • the stage position command 50 such as the target position information of each stage is input to the overall control device 20 to the stage control device 22.
  • the motor rotation command 60 is input to the motor driver 23 that drives each stage. In this way, the stage control device 22 controls each motor driver 23.
  • the motor drive current 61 is the T-axis drive stepping motor 33, the X-axis drive stepping motor (not shown), and the Y-axis drive stepping motor 35 (not shown) so that the motor rotation position is set according to the motor rotation command 60. It is supplied to (described later in relation to FIG. 1). In this way, each motor driver 23 supplies a drive current to the corresponding stepping motor. As a result, the rotation of each stepping motor is controlled, and the position of the table 9 is controlled. In this way, each stepping motor moves each stage by rotating.
  • the stage device includes each stage, each stepping motor, each motor driver 23, and a stage control device 22.
  • a vibration reduction circuit 24 is installed between each motor driver 23 and the corresponding stepping motor, and a switching signal 62 is input to the vibration reduction circuit 24 from the stage control device 22.
  • the principle of reducing table vibration by the vibration reduction circuit 24 will be described with reference to FIG.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view of the wafer inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 shows in more detail the Y-axis stage 30 at the uppermost stage of the tilt scanning electron microscope of FIG. 2, the portion above it, and the periphery of the vibration reduction circuit 24.
  • the Y-axis stage 30 is a ball screw driven stage. Both ends of the ball screw 36 are supported by bearings 40, and one side thereof is coupled to the rotating shaft of the stepping motor 35 for the Y axis by a coupling 37 so that the ball screw also rotates when the motor rotates. ..
  • the ball screw 36 includes a nut 38, and the nut 38 includes a rolling element 39.
  • the rolling element 39 is configured to circulate in the groove of the ball screw 36 and the groove of the nut 38, and has a structure in which the nut 38 translates in the Y direction when the ball screw 36 rotates.
  • the table 9 is fixed on the nut 38, and when the nut 38 moves, the table 9 also moves integrally. Although not shown, the table 9 is separately supported by a rail or the like so as to be movable only in the Y direction.
  • the stage device includes the ball screw 36, and the wafer 6 is moved along the ball screw 36.
  • the ball screw 36 By using the ball screw 36, smooth movement is possible.
  • the stepping motor 35 is a two-phase stepping motor in this embodiment, and a two-phase (A-phase and B-phase) drive current is supplied by the motor driver 23.
  • the vibration reduction circuit 24 functions as an AC removing means, and removes at least a part of the AC component of the drive current when the wafer 6 is imaged.
  • An example of a specific configuration of the vibration reduction circuit 24 will be described below.
  • the vibration reduction circuit 24 includes a filter 26 and a relay 27.
  • the filter 26 and the relay 27 are inserted in parallel with the motor when viewed from the motor driver 23. By opening and closing the relay 27, the filter 26 can be connected and disconnected.
  • the filter 26 is configured so that a direct current does not flow, and is, for example, a high-pass filter or a band-pass filter.
  • the opening and closing of the relay 27 is controlled by the switching signal 62 from the stage control device 22.
  • FIGS. 3 and 4 show The drive current waveforms of the A phase and the B phase in the two-phase stepping motor.
  • FIG. 3 shows the waveforms of the currents flowing in the A phase and the B phase when the stepping motor is rotating at a constant speed. The current becomes sinusoidal and the phases of A phase and B phase are shifted by 90 degrees.
  • FIG. 4 shows the waveforms of the currents flowing in the A phase and the B phase when the stepping motor is stopped, and the current is direct current.
  • an alternating current flows when the stepping motor rotates, and a direct current flows when the stepping motor stops.
  • an unintended alternating current (for example, caused by electrical noise of the motor driver) is generated in the direct current at the time of stopping, although it is a small amount.
  • a weak alternating current riding on a direct current causes the stepping motor to rotate or vibrate, which causes the stage to vibrate.
  • the vibration reduction circuit 24 shown in FIGS. 1 and 2 suppresses the generation of minute rotation and vibration due to the weak alternating current riding on the direct current, and prevents the stage from generating vibration.
  • FIG. 5 shows a state in which the stage is moving. In this state, the wafer inspection device does not perform an imaging operation.
  • the "state in which the stage is moving” is simply referred to as "when the stage is moving”
  • the "state in which the stage is stopped and not moving” is simply referred to as "when the stage is stopped”. In some cases.
  • the "state in which the imaging operation is being performed” may be simply referred to as "at the time of imaging".
  • the stepping motor is rotating, and the motor driver 23 applies an alternating current to the A phase and the B phase.
  • the stage control device 22 transmits a switching signal 62 indicating a relay open command to the vibration reduction circuit 24, the relay 27 is in the open state, and no current flows through the filter 26. Therefore, all the current supplied by the motor driver flows to the motor.
  • FIG. 6 shows a state in which the stage is stopped.
  • the wafer inspection device performs an imaging operation.
  • the stepping motor is not rotating, and the motor driver 23 passes a direct current through the A phase and the B phase, but a weak alternating current may also flow at the same time due to electrical noise.
  • the stage control device 22 transmits a switching signal 62 indicating a relay closing command to the vibration reduction circuit 24, the relay is closed, and a current flows through the filter 26.
  • the high-pass filter or the band-pass filter is connected in parallel between the motor driver and the stepping motor.
  • the DC component flows to the stepping motor side in the state shown in FIG. 6, but the AC component flows to the filter side and does not flow to the stepping motor side, so that the vibration of the motor can be suppressed.
  • the filter 26 is an inductor having an inductance of 82 ⁇ H and an internal resistance of 30 m ⁇ , a capacitor having a capacitance of 2350 ⁇ F, and a resistor having a capacitance of 0.5 ⁇ connected in series.
  • the inductance of the inductor of the filter 26 is 1/20 or less of the inductance of the stepping motor, the influence of the current branching to the filter 26 on the operation of the stepping motor can be appropriately suppressed. ..
  • Example 1 The effect of Example 1 will be described with reference to FIGS. 8 and 9. These figures are summary graphs created based on the experimental results.
  • FIG. 8 is a comparative example. Although the motor is stopped, the relay 27 is in the open state and no current flows through the filter 26. The current flowing through the motor is measured and the result of Fourier transform is shown.
  • the motor driver is ideally in a state of generating only a direct current, but an alternating current component is also generated although it is minute, and an alternating current of about 10 mA is generated at 10 Hz and about 10 ⁇ A at 100 Hz or higher.
  • FIG. 9 is an example according to the first embodiment.
  • the result of Fourier transform is shown by measuring the current flowing through the motor and the filter, assuming that the relay is closed and the current flows through the filter when the motor is stopped.
  • the current mainly flows to the motor side up to about 100 Hz, but the current flowing through the filter becomes dominant above 100 Hz.
  • the vibration of 100 Hz or higher can be appropriately reduced.
  • the vibration is substantially halved at 100 Hz, and the vibration is reduced to about 1/10 at 1 kHz or higher.
  • a relay In a circuit using such a relay, it is useful to take measures against surges at the relay contacts.
  • a relay it is effective to use a semiconductor relay that uses a MOS FET as an output element, which has a long life and can switch a weak current.
  • the stage device may be provided with a protection circuit for preventing a surge generated when the high-pass filter or the band-pass filter is connected or disconnected.
  • a protection circuit for releasing the current energy flowing through the inductor to the CR circuit when the relay is closed is effective.
  • FIG. 10 shows a filter circuit in which a protection circuit including a capacitor and a resistor is attached to reduce surge. Since the capacitance of the capacitor of the protection circuit and the resistance value of the resistor are determined by the current and voltage flowing through the relay, it is preferable to determine them experimentally.
  • the stage device can suppress the vibration of the stage at the time of imaging by providing the vibration reduction circuit 24. Further, since the relay of the vibration reduction circuit 24 is opened during non-imaging, the vibration reduction circuit 24 does not consume power and can move the stage efficiently.
  • Example 2 show a drive circuit system of a stepping motor of a wafer inspection apparatus using a tilt scanning electron microscope according to a second embodiment of the present invention.
  • the parts other than the vibration reduction circuit 24 are the same as those in the first embodiment (FIGS. 5 and 6, respectively).
  • the vibration reduction circuit 24 includes a filter 26 and a relay 27.
  • the relay 27 connects the filter 26 between the motor driver 23 and the motor, or short-circuits or switches between the motor driver 23 and the motor. That is, the filter 26 can be connected and disconnected by switching the relay 27.
  • the filter 26 is configured to allow a direct current to flow and no noise current to flow, and is, for example, a low-pass filter.
  • the opening and closing of the relay 27 is controlled by the switching signal 62 from the stage control device 22.
  • FIG. 11 shows a state in which the stage is moving. In this state, the wafer inspection device does not perform an imaging operation.
  • the stepping motor is rotating, and the motor driver 23 applies an alternating current to the A phase and the B phase.
  • a switching signal 62 indicating a command to set the relay to the short-circuit side is transmitted from the stage control device 22 to the vibration reduction circuit 24, the relay 27 is short-circuited, and the current is transmitted to the filter 26. Not flowing. That is, the filter 26 is disconnected from the circuit. Therefore, all the current supplied by the motor driver flows to the motor.
  • FIG. 12 shows a state in which the stage is stopped.
  • the wafer inspection device performs an imaging operation.
  • the stepping motor is not rotating, and the motor driver 23 passes a direct current through the A phase and the B phase, but a weak alternating current may also flow at the same time due to electrical noise.
  • the stage control device 22 transmits a switching signal 62 indicating a command to set the relay to the filter 26 side to the vibration reduction circuit 24, and a current flows through the filter 26.
  • the low-pass filter is connected in series between the motor driver and the stepping motor. By removing the unnecessary alternating current in this way, the alternating current does not flow in the stepping motor, and the vibration of the stepping motor can be suppressed.
  • FIG. 13 shows an example of the low-pass filter used in this embodiment.
  • the filter consists of an inductor only. If the inductance of the inductor of the filter is the same as the inductance of the inductor of the motor, the alternating current flowing through the motor will be about half. Similarly, if the inductance is 9 times, the alternating current flowing through the motor will be 1/10.
  • the inductance of the inductor of the filter is set to be equal to or higher than the inductance of the stepping motor, the alternating current can be reduced to about half or less and can be appropriately suppressed.
  • the stage device may be provided with a protection circuit for preventing a surge generated when the low-pass filter is connected or disconnected.
  • a protection circuit composed of a capacitor and a resistor as in FIG. FIG. 14 shows a low-pass filter to which the protection circuit is applied.
  • the relay is switched while the current is flowing through the filter, but since the DC current does not flow through the filter, a large surge does not occur at the time of switching.
  • the stage control device 22 may temporarily set the current from the motor driver to zero at the time of switching, and switch the relay in a state where the current is zero. In this way, the surge can be further suppressed.
  • Example 3 show a drive circuit system of a stepping motor of a wafer inspection apparatus using a tilt scanning electron microscope according to a third embodiment of the present invention.
  • the stepping motor has five phases as compared with the first embodiment (FIGS. 5 and 6, respectively), and the configuration of the vibration reduction circuit 24 and the feeding line from the motor driver are changed accordingly. The difference is that the number is 5 for 5 phases, but the other parts are the same.
  • each of the A phase, the B phase, the C phase, the D phase, and the E phase is connected via the filter 26 and the relay 27.
  • Example 4 show a drive circuit system of a stepping motor of a wafer inspection apparatus using a tilt scanning electron microscope according to a fourth embodiment of the present invention.
  • the stepping motor has five phases, and the configuration of the vibration reduction circuit 24 and the feeding line from the motor driver correspond accordingly. The difference is that the number is 5 for 5 phases, but the other parts are the same.
  • FIG. 19 shows a drive circuit system of a wafer inspection apparatus using a tilt scanning electron microscope according to a fifth embodiment of the present invention.
  • the point that the vibration reduction circuit 24 includes the current sensor 64 and the point that the current data 65 measured by the current sensor is input to the stage control device 22 are different.
  • the other parts are the same.
  • FIG. 19 shows a state in which the stepping motor 35 is stopped.
  • the relay is closed and current is flowing through the relay.
  • the stage control device 22 inputs a switching signal 62 for opening the relay to the relay. At this time, if a large current is flowing through the relay, a surge may occur and the life of the relay may be shortened.
  • the current flowing through the relay 27 is monitored by the current sensor 64, and the relay is opened by the switching signal 62 only when it can be confirmed that the current is equal to or lower than the rated current of the relay. That is, the stage device according to the present embodiment performs the low-pass filter disconnection / connection operation only when the current flowing through the low-pass filter is equal to or less than a predetermined threshold value. In other words, when the current flowing through the low-pass filter exceeds a predetermined threshold value, the low-pass filter is not disconnected. In this way, the relay can be protected more reliably.
  • the current flowing through the relay 27 is as small as the current value shown in FIG. 8, but an unexpected current may occur due to electrical noise, current due to motor electromotive force due to vibration, or the like. It may flow. In that case, it is preferable to recognize that an error has occurred, stop the device, and take measures such as adjusting the surge protection circuit.
  • FIG. 20 is a design example in the case where the AC component is removed and the case where the AC component is not removed in Examples 1 to 5.
  • the stage is stopped at the time of imaging, and the stage is moved at the time of non-imaging. That is, the vibration reduction circuit 24 removes at least a part of the AC component of the drive current when the stage is stopped, and does not perform such removal when the stage is moving. can.
  • a stepping motor has a variable rotation speed, and can rotate at a plurality of stages of rotation speeds including a low speed (first speed) and a high speed (second speed larger than the first speed).
  • the vibration reduction circuit 24 removes at least a part of the AC component of the drive current when the stepping motor is stopped and when the stepping motor is rotating at the first speed.
  • the stage can be stopped with low vibration when stopped, and when rotating at the first speed, the stage can move at a constant speed having a small speed component other than the first speed.
  • the stepping motor rotates at the second speed, such removal is not performed. In this way, the imaging conditions can be flexibly designed.
  • sample is a wafer in Examples 1 to 5 described above, other samples may be used.
  • a semiconductor mask or DNA may be used as a sample.
  • the stage can be moved in the biaxial direction. That is, a plurality of stepping motors, motor drivers, and vibration reduction circuits 24 are provided, respectively, and the stage is moved in a plurality of directions.
  • the stage may be of a single axis that can only move in one direction.
  • the stage moves along the ball screw 36, but a specific movement mechanism can be arbitrarily designed.
  • the stage may be moved by using a linear motor, and the stage may be moved by rotation. May be rotated (eg, around the T-axis) or a combination of these.
  • Electron gun 2 Aperture 3 Condensing lens 4 Scanning deflector 5 Objective lens 6 Wafer (sample) 7 Holder 8 Electrical insulation 9 Table 10 DC power supply 11 Secondary electron extraction deflector 12 Detector 20 Overall control device 21 Optical system control device 22 Stage control device 23 Motor driver 24 Vibration reduction circuit (AC removal means) 25 Image collector 26 Filter 27 Relay 30 Y-axis stage (stage) 31 X-axis stage (stage) 32 T-axis stage (stage) 33 T-axis drive stepping motor 35 Y-axis drive stepping motor 36 Ball screw 37 Coupling 38 Nut 39 Rolling element 40 Bearing 50 Stage position command 51 Optical system command 52 Imaging conditions 53 Electronic gun command 54 Condensing lens command 55 Scanning Deflection command 56 Objective lens command 57 Holder voltage command 58 Deflection command for secondary electron extraction 59 Detector data 60 Motor rotation command 61 Motor drive current 62 Switching signal 63 Negative voltage 64 Current sensor 65 Current data 100 Primary electron beam 101 Second Next electron 200 Vacuum vessel 201 Rotating

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Abstract

顕微鏡において用いられるステージ装置は、ウエハ６を位置決めするＹ軸ステージ３０、Ｘ軸ステージ３１およびＴ軸ステージ３２と、回転することにより各ステージを移動させるステッピングモータ３３，３５と、ステッピングモータ３３，３５に駆動電流を供給するモータドライバ２３と、モータドライバ２３を制御するステージ制御装置２２と、を備える。ステージ制御装置２２は、ウエハ６が撮像されている場合に、駆動電流の交流成分の少なくとも一部を除去する振動低減回路２４を備える。

Description

顕微鏡において用いられるステージ装置および顕微鏡
　本発明は、顕微鏡において用いられるステージ装置および顕微鏡に関する。
　社会の発展や一般生活の快適さを追求するため、近年ＩｏＴ（Internet of Things）の概念が広がりを見せている。ＩｏＴの広がりとともに、ＩｏＴ機器を制御するためのＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）センサなどのＩｏＴ用半導体の需要が伸びてきている。ＩｏＴ用半導体に限らず、車載デバイスや光学素子等も立体構造を持ち、これらのデバイスの管理にはパターン側壁状態や高さ方向の情報が必要となる。
　半導体検査用の測長走査電子顕微鏡（Critical Dimension-Scanning Electron Microscope）や、欠陥レビュー機能付き走査電子顕微鏡（Defect Review-Scanning Electron Microscope）では、ウエハを真上からしか観測できない。立体構造の情報を得るために、ステージを傾けて斜めから観測できるチルト走査電子顕微鏡(Tilt-Scanning　Electron Microscope)の需要が増している。これらの走査電子顕微鏡では、ウエハに電子線を走査して二次電子を測定して画像を得るが、そのウエハの位置決め精度には、数ｎｍオーダーの精度が要求される。また光学的な検査装置でも同様な要求がある。
　それらの検査装置において、試料の位置決めに用いられるステージには、ステッピングモータで回転させて駆動力を得るボールねじステージ、リニアモータを用いるリニアステージ、等がある。ボールねじステージは、多軸のステージ、傾斜ステージに用いられることが多い。リニアステージは高速性に優れており、大型のステージに採用されることが多い。
　顕微鏡用のステージでは、撮像時にステージを停止させている状態でも、ステッピングモータの振動によりステージが振動する問題が発生する。原因の例は、モータドライバによる電気ノイズに起因する振動電流等である。撮像時にステージが振動すると、鮮明な画像を得ることが困難となる。
　この問題を解決するために、停止時にはモータに接続されたロッドとテーブルを切り離し、振動が伝達されないようにしたステージがある（特許文献１）。この構造だと、モータの振動は直接はテーブルに伝わることはないが、モータの振動が装置全体を振動させることとなりその振動は低減されない。また、更に傾斜ステージとして使うには別途重力によってテーブルが動かなくするための大型のブレーキが必要となる。
　また、ステッピングモータに流れる、電気ノイズに起因する振動電流を低減する方法として、モータへの給電線に直列にローパスフィルタを設け、給電電圧を平滑化したものがある（特許文献２）。この構成では、モータの停止時以外でも交流電流が流れるのを阻害されてしまうので、停止時以外（たとえばステージ移動時）の電力効率が低くなる。
特開２００９－２５２５９６号公報 特開平３－２７０６９３号公報
　上述のように、従来の技術では、撮像時におけるステージの振動を効率よく抑制できないという課題があった。
　本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、撮像時におけるステージの振動を効率よく抑制するステージ装置および顕微鏡を提供することを目的とする。
　本発明に係るステージ装置の一例は、
　顕微鏡において用いられるステージ装置であって、
　試料を位置決めするステージと、
　回転することにより前記ステージを移動させるステッピングモータと、
　前記ステッピングモータに駆動電流を供給するモータドライバと、
　前記モータドライバを制御するステージ制御装置と、
を備え、
　前記ステージ制御装置は、前記試料が撮像されている場合に、前記駆動電流の交流成分の少なくとも一部を除去する交流除去手段を備えることを特徴とする。
　また、本発明に係る顕微鏡の一例は、上述のステージ装置を備える。
　本発明に係るステージ装置および顕微鏡は、撮像時におけるステージの振動を効率よく抑制する。
ウエハ検査装置の断面図である。（実施例１） ウエハ検査装置の断面図である。（実施例１） ２相ステッピングモータ回転時の電流の説明図である。（実施例１） ２相ステッピングモータ停止時の電流の説明図である。（実施例１） ２相ステッピングモータの回転時の駆動回路である。（実施例１） ２相ステッピングモータの停止時の駆動回路である。（実施例１） フィルタの回路図である。（実施例１） モータ停止時のリレー開時の電流値である。（比較例） モータ停止時のリレー閉時の電流値である。（実施例１） サージ保護回路付きのフィルタの回路図である。（実施例１） ２相ステッピングモータ回転時の駆動回路である。（実施例２） ２相ステッピングモータ停止時の駆動回路である。（実施例２） フィルタの回路図である。（実施例２） サージ保護回路付きのフィルタの回路図である。（実施例２） ５相ステッピングモータ回転時の駆動回路である。（実施例３） ５相ステッピングモータ停止時の駆動回路である。（実施例３） ５相ステッピングモータ回転時の駆動回路である。（実施例４） ５相ステッピングモータ停止時の駆動回路である。（実施例４） ２相ステッピングモータ停止時の駆動回路である。（実施例５） 交流成分を除去する場合および除去しない場合の設計例である。（実施例１～５）
　以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
［実施例１］
　図２は本発明の実施例１となるチルト走査電子顕微鏡を備えるウエハ検査装置の断面図である。本実施例ではチルト走査電子顕微鏡について説明しているが、本発明はそれ以外の顕微鏡（たとえば測長走査電子顕微鏡、欠陥レビュー機能付き走査電子顕微鏡、光学式の検査装置、等）にも適用可能であり、同様の効果がある。本実施例に係る顕微鏡はステージ装置を備える。
　座標系として、図中に示されたＸＹＺ方向の矢印の座標系を使用する。図２において電子銃１で発生した一次電子ビーム１００は、集光レンズ３とアパーチャー２によって細いビームを形成し、走査偏向器４によって偏向されて、対物レンズ５によってさらに集光されて、観測対象であるウエハ６の表面に照射される。
　ウエハ６の表面では、二次電子が放出されやすいようにホルダ７に負電圧６３を印加して二次電子１０１を放出させる。二次電子は二次電子取り出し用偏向器１１によって偏向されて検出器１２に入力される。検出器１２はこれを電気信号に変換して、検出器データ５９として画像収集装置２５に入力し、画像収集装置２５が画像を生成する。
　ウエハ検査装置全体を制御する全体制御装置２０から、光学系制御装置２１へ光学系の設定条件である光学系指令５１を入力する。その指令値を元に、電子銃指令５３、集光レンズ指令５４、走査偏向器指令５５、対物レンズ指令５６、二次電子取り出し用偏向器指令５８が生成される。直流電源１０にはホルダ電圧指令５７が入力される。画像収集装置２５には画像撮影条件５２が入力される。
　ステージ装置の最上部にはテーブル９が設置され、その上にホルダ７が電気絶縁部８を挟んで設置される。ホルダ７には負電圧が印加される。ホルダ７上にはウエハ６が載置される。
　ステージ装置は、ウエハ６を搬送することができる。ステージ装置の一部は、光学系の下部に位置する真空容器２００内に置かれる。ステージ装置は２軸以上の並進方向に移動可能な多軸ステージを搭載する。本実施例に係るステージ装置は、上からＹ軸ステージ３０、Ｘ軸ステージ３１を持ち、さらに、ウエハの観測方法を傾けて観測するために、回転軸２０１を中心に回転するＴ軸ステージ３２を持つ。これらのステージは試料（本実施例ではウエハ６）を位置決めする。この３軸以外に、ウエハを上下するＺ軸ステージや、Ｚ軸を中心に回転する回転ステージを備えてもよい。
　全体制御装置２０からステージ制御装置２２には、各ステージの目標位置情報等のステージ位置指令５０を入力する。その指令値を元に、各ステージを駆動するモータドライバ２３にモータ回転指令６０が入力される。このように、ステージ制御装置２２は各モータドライバ２３を制御する。
　モータ回転指令６０に応じたモータ回転位置となるように、モータ駆動電流６１が、Ｔ軸駆動用ステッピングモータ３３、Ｘ軸駆動用ステッピングモータ（図示せず）、およびＹ軸駆動用ステッピングモータ３５（図１に関連して後述する）に供給される。このように、各モータドライバ２３は、対応するステッピングモータに駆動電流を供給する。これによって各ステッピングモータの回転が制御され、テーブル９の位置が制御される。このように、各ステッピングモータは、回転することにより各ステージを移動させる。
　本実施例に係るステージ装置は、上述のように、各ステージと、各ステッピングモータと、各モータドライバ２３と、ステージ制御装置２２とを備える。
　各モータドライバ２３と、対応するステッピングモータとの間には振動低減回路２４が設置され、振動低減回路２４にはステージ制御装置２２より切替信号６２を入力する。この振動低減回路２４によるテーブル振動の低減の原理については図１を用いて説明する。
　図１は、本発明の実施例１に係るウエハ検査装置の断面図である。図１は、図２のチルト走査電子顕微鏡のステージ最上段のＹ軸ステージ３０およびこれより上の部分と、振動低減回路２４周辺とをより詳細に示したものである。
　Ｙ軸ステージ３０は、ボールねじ駆動のステージとしている。ボールねじ３６は両端をベアリング４０で支持され、その片側はＹ軸用のステッピングモータ３５の回転軸にカップリング３７で結合され、これによって、モータが回転するとボールねじも回転するようになっている。ボールねじ３６はナット３８を備え、ナット３８は転動体３９を備える。転動体３９はボールねじ３６の溝およびナット３８の溝を巡回するように構成され、ボールねじ３６が回転するとナット３８がＹ方向に並進する構造となっている。
　ナット３８の上にテーブル９が固定され、ナット３８が移動するとテーブル９も一体に移動するようになっている。テーブル９は、図示されていないが別途レール等でＹ方向にのみ移動可能となるように支持される。
　このように、本実施例ではステージ装置はボールねじ３６を備え、ボールねじ３６に沿ってウエハ６を移動させる。ボールねじ３６を用いることにより、滑らかな移動が可能となる。
　ステッピングモータ３５は、本実施例では２相ステッピングモータであり、モータドライバ２３によって２相（Ａ相とＢ相）の駆動電流を供給する。この各相のモータドライバ２３と、それぞれ対応するステッピングモータ３５との間に、それぞれ挿入される振動低減回路２４を備えることが、本実施例に係るステージ装置の特徴のひとつである。
　振動低減回路２４は交流除去手段として機能し、ウエハ６が撮像されている場合に、駆動電流の交流成分の少なくとも一部を除去する。振動低減回路２４の具体的構成の例について、以下に説明する。
　振動低減回路２４はフィルタ２６およびリレー２７を備える。フィルタ２６およびリレー２７は、モータドライバ２３からみてモータと並列に挿入される。リレー２７の開閉により、フィルタ２６が断接可能となっている。フィルタ２６は直流電流が流れないように構成され、たとえばハイパスフィルタ又はバンドパスフィルタである。リレー２７の開閉は、ステージ制御装置２２からの切替信号６２によって制御する。
　２相のステッピングモータでのＡ相とＢ相の駆動電流波形を図３と図４に示す。図３はステッピングモータが一定速度で回転している状態でのＡ相とＢ相に流れる電流の波形を示している。電流は正弦波状となりＡ相とＢ相で位相が９０度ずれる。図４はステッピングモータが停止している状態でのＡ相とＢ相に流れる電流の波形を示しており、電流は直流となる。
　このようにして、ステッピングモータの回転時には交流電流が流れ、停止時には直流電流が流れる。ここで、停止時の直流電流に、意図しない交流電流（たとえばモータドライバの電気ノイズに起因するもの）が、微量ではあるが発生する。ステッピングモータの停止時に直流電流に乗った微弱な交流電流によって、ステッピングモータには微小な回転または振動が発生し、これによってステージに振動が発生する。図１及び図２に示した振動低減回路２４は、この直流電流に乗った微弱な交流電流によって微小な回転や振動が発生するのを抑制し、ステージに振動が発生するのを防止する。
　その原理を図１よりステッピングモータの駆動回路系を抜き出した図５及び図６により説明する。図５はステージが移動している状態を示したものである。この状態では、ウエハ検査装置は撮像動作を行わない。なお、本明細書において、「ステージが移動しつつある状態」を単に「ステージの移動時」と言い、「ステージが停止しており移動していない状態」を単に「ステージの停止時」と言う場合がある。同様に、「撮像動作が行われている状態」を単に「撮像時」と言う場合がある。
　図５の状態ではステッピングモータは回転しており、モータドライバ２３はＡ相及びＢ相に交流電流を流す。この状態では、ステージ制御装置２２から振動低減回路２４にリレー開の指令を表す切替信号６２が送信されており、リレー２７は開の状態となりフィルタ２６には電流は流れない。このため、モータドライバが供給する電流は全てモータに流れる。
　次に、図６はステージが停止している状態を示したものである。この状態で、ウエハ検査装置は撮像動作を行う。ステッピングモータは回転していない状態であり、モータドライバ２３はＡ相及びＢ相に直流電流を流すが、電気ノイズにより微弱な交流電流も同時に流れる場合がある。この状態では、ステージ制御装置２２から振動低減回路２４にリレー閉の指令を表す切替信号６２が送信されており、リレーは閉の状態となりフィルタ２６に電流が流れる。このように、本実施例に係るステージ装置は、ウエハが撮像されている場合に、ハイパスフィルタまたはバンドパスフィルタを、モータドライバとステッピングモータとの間に並列に接続する。
　ハイパスフィルタまたはバンドパスフィルタにより、図６の状態において直流成分はステッピングモータ側に流れるが、交流成分はフィルタ側に流れステッピングモータ側には流れないので、モータの振動を抑えることができる。
　上記のような回路構成と制御により、モータドライバが発生する振動電流を、撮像時（たとえばステッピングモータの停止時）のみフィルタに流すことにより、ステッピングモータにおける振動の発生を抑制することが可能となる。
　実際に汎用の２相ステッピングモータに対して本実施例の適応した例を説明する。汎用の真空用の２相ステッピングモータの各相の入力インピーダンスを測定した結果、インダクタンス３．７ｍＨ、抵抗０．８８Ωであるステッピングモータを駆動する駆動回路を検討した。この２相ステッピングモータに対して、図５及び図６と同じ回路を適用した。
　フィルタ２６としては、図７に示したバンドパスフィルタに分類されるフィルタを採用して、モータ停止時にモータに流れる電流とフィルタに流れる電流を測定した。実験に使ったモータドライバには、市販されている２相ステッピングモータ用のものを使用した。フィルタ２６は、インダクタンス８２μＨ、内部抵抗３０ｍΩのインダクタと、静電容量２３５０μＦのコンデンサと、０．５Ωの抵抗を直列接続したものである。この例のように、フィルタ２６のインダクタのインダクタンスは、ステッピングモータのインダクタンスの１／２０以下とすると、フィルタ２６に電流が分岐することによるステッピングモータの動作への影響を適切に抑制することができる。
　図８および図９を用いて、実施例１の効果について説明する。これらの図は実験結果に基づいて作成した概要グラフである。
　図８は比較例である。モータが停止した状態ではあるが、リレー２７は開状態としてフィルタ２６に電流が流れない状態で、モータに流れる電流を測定し、フーリエ変換した結果を示す。モータドライバは、理想的には直流電流のみを発生する状態であるが、微小ではあるが交流成分も発生しており、１０Ｈｚでは１０ｍＡ程度、１００Ｈｚ以上では１０μＡ程度の交流電流が発していた。
　図９は実施例１に係る例である。モータが停止した状態において、リレーを閉状態としてフィルタに電流が流れる状態として、モータとフィルタに流れる電流を測定し、フーリエ変換した結果を示す。その結果は、１００Ｈｚ程度までは電流は主にモータ側に流れるが、１００Ｈｚ以上ではフィルタに流れる電流が支配的となる。この状態では、１００Ｈｚ以上の振動は適切に低減できていると考えられる。図８に比べると、１００Ｈｚでは振動は略半減し、１ｋＨｚ以上では振動は１／１０程度に減少している。
　このようなリレーを用いた回路では、リレー接点でのサージ対策が有用となる。リレーとしては、寿命が長く、かつ、微弱な電流のスイッチングが可能な、出力素子にＭＯＳ　ＦＥＴを用いた半導体リレーを使うのが有効である。
　更には、ステージ装置は、ハイパスフィルタまたはバンドパスフィルタの断接時に発生するサージを防ぐための保護回路を備えてもよい。図７で説明したフィルタ回路では、インダクタに流れる電流エネルギーをリレー閉時にＣＲ回路に逃がすための保護回路が有効である。図１０に、コンデンサおよび抵抗器からなる保護回路を取り付けてサージを低減するフィルタ回路を示す。保護回路のコンデンサの静電容量および抵抗器の抵抗値は、リレーに流れる電流と電圧によって決まるので、実験的に決定すると好適である。
　以上説明するように、実施例１に係るステージ装置は、振動低減回路２４を備えることにより、撮像時におけるステージの振動を抑制することができる。また、非撮像時には振動低減回路２４のリレーが開くので振動低減回路２４は電力を消費せず、ステージを効率よく移動させることができる。
［実施例２］
　図１１と図１２は、本発明の実施例２に係るチルト走査電子顕微鏡を用いたウエハ検査装置のステッピングモータの駆動回路系を示している。図１１と図１２において、振動低減回路２４以外の部分は実施例１（それぞれ図５及び図６）と同じである。
　振動低減回路２４はフィルタ２６およびリレー２７を備える。リレー２７は、モータドライバ２３とモータとの間にフィルタ２６を接続するか、または、モータドライバ２３とモータとを短絡するか切り替える。すなわち、リレー２７の切り替えにより、フィルタ２６が断接可能となっている。フィルタ２６は直流電流を流しノイズ電流を流さないように構成され、たとえばローパスフィルタである。リレー２７の開閉は、ステージ制御装置２２からの切替信号６２によって制御する。
　図１１はステージが移動している状態を示したものである。この状態では、ウエハ検査装置は撮像動作を行わない。図１１の状態ではステッピングモータは回転しており、モータドライバ２３はＡ相及びＢ相に交流電流を流す。この状態では、ステージ制御装置２２から振動低減回路２４にリレーを短絡側（フィルタ２６と逆側）とする指令を表す切替信号６２が送信されており、リレー２７は短絡されフィルタ２６には電流は流れない。すなわち、フィルタ２６は回路から切り離される。このため、モータドライバが供給する電流は全てモータに流れる。
　図１２はステージが停止している状態を示したものである。この状態で、ウエハ検査装置は撮像動作を行う。ステッピングモータは回転していない状態であり、モータドライバ２３はＡ相及びＢ相に直流電流を流すが、電気ノイズにより微弱な交流電流も同時に流れる場合がある。この状態では、ステージ制御装置２２から振動低減回路２４にリレーをフィルタ２６側とする指令を表す切替信号６２が送信されており、フィルタ２６を介して電流が流れる。このように、本実施例に係るステージ装置は、ウエハ６が撮像されている場合に、ローパスフィルタを、モータドライバとステッピングモータとの間に直列に接続する。このようにして不要な交流電流を除去することにより、ステッピングモータに交流電流が流れず、ステッピングモータの振動を抑えることができる。
　本実施例で用いるローパスフィルタの例を図１３に示す。フィルタはインダクタのみで構成される。フィルタのインダクタのインダクタンスを、モータのインダクタのインダクタンスと同じ大きさとすれば、モータに流れる交流電流は約半分となる。同様に、９倍のインダクタンスとすれば、モータに流れる交流電流は１／１０となる。フィルタのインダクタのインダクタンスを、ステッピングモータのインダクタンス以上とすると、交流電流を約半分以下にし、適切に抑制することができる。
　フィルタのインダクタンスが大きいと、モータドライバの印加電圧が大きくなり、実施例１でも議論したリレーのサージが問題となる。このため、ステージ装置は、ローパスフィルタの断接時に発生するサージを防ぐための保護回路を備えてもよい。サージの影響を小さくするためには、図１０と同様にコンデンサおよび抵抗器からなる保護回路を付けると効果がある。図１４にその保護回路を適用したローパスフィルタを示す。
　本実施例では、フィルタに電流が流れている状態でリレーを切り換えるが、フィルタに直流電流が流れないので、切り替え時に大きなサージは発生しない。さらに、ステージ制御装置２２は、切り替え時には一旦モータドライバからの電流をゼロとして、電流がゼロの状態でリレーを切り換えるようにしてもよい。このようにすると、サージをさらに抑制することができる。
［実施例３］
　図１５と図１６は、本発明の実施例３に係るチルト走査電子顕微鏡を用いたウエハ検査装置のステッピングモータの駆動回路系を示している。図１５と図１６において、実施例１（それぞれ図５及び図６）と比較して、ステッピングモータが５相となっており、それに応じて振動低減回路２４の構成とモータドライバからの給電線が５相分の５本となっている点が異なるが、以外の部分は同じである。
　振動低減回路２４では、Ａ相、Ｂ相、Ｃ相、Ｄ相、Ｅ相のそれぞれがフィルタ２６とリレー２７を介してつながった回路となっている。
［実施例４］
　図１７と図１８は、本発明の実施例４に係るチルト走査電子顕微鏡を用いたウエハ検査装置のステッピングモータの駆動回路系を示している。図１７と図１８において、実施例２（それぞれ図１１及び図１２）と比較して、ステッピングモータが５相となっており、それに応じて振動低減回路２４の構成とモータドライバからの給電線が５相分の５本となっている点が異なるが、それ以外の部分は同じである。
［実施例５］
　図１９は、本発明の実施例５に係るチルト走査電子顕微鏡を用いたウエハ検査装置の駆動回路系を示している。図１９において、実施例１（図６）と比較して、振動低減回路２４が電流センサ６４を備える点と、電流センサで測定した電流データ６５がステージ制御装置２２に入力される点とが異なるが、それ以外の部分は同じである。
　図１９はステッピングモータ３５が停止している状態である。リレーは閉となっておりリレーに電流が流れている。この状態から、モータが回転している状態に変化させるために、ステージ制御装置２２はリレー開とする切替信号６２をリレーに入力する。この際に、リレーに大きな電流が流れているとサージが発生してリレーの寿命が短くなる可能性がある。
　そこで、本実施例では、リレー２７に流れる電流を電流センサ６４によりモニターして、リレーの定格電流以下であることを確認できた場合にのみ切替信号６２によってリレーを開とするようにする。すなわち、本実施例に係るステージ装置は、ローパスフィルタに流れる電流が所定の閾値以下である場合に限り、ローパスフィルタの断接動作を行う。言い換えると、ローパスフィルタに流れる電流が所定の閾値を超えている場合にはローパスフィルタの断接動作を行わない。このようにするとリレーをより確実に保護することができる。
　なお、モータが停止している状態では、リレー２７に流れる電流は例えば図８に示した電流値のように小さい値となるが、電気ノイズや振動によるモータ起電力による電流等により予期しない電流が流れる場合がある。その場合には、エラーが発生したと認識して装置を停止し、サージ保護回路を調整する等の対策を講じると好適である。
　上述の実施例１～５において、ウエハ検査装置が撮像動作を行うタイミングと、モータが回転および停止するタイミングとの関係は変更可能である。図２０を用いてこれを説明する。
　図２０は、実施例１～５において、交流成分を除去する場合および除去しない場合の設計例である。上述の実施例１～５では、撮像時にはステージが停止しており、非撮像時にはステージが移動している。すなわち、振動低減回路２４は、ステージが停止している場合に、駆動電流の交流成分の少なくとも一部を除去し、ステージが移動している場合には、そのような除去を行わないということができる。
　変形例として、ステージ停止時のみならず、ステージを低速の一定速度で移動させてラインセンサカメラで撮像する場合にも活用できる。たとえば、ステッピングモータは回転速度が可変であり、低速（第１速度）と、高速（第１速度より大きい第２速度）とを含む複数段階の回転速度で回転可能である。振動低減回路２４は、ステッピングモータが停止している場合と、ステッピングモータが第１速度で回転している場合に、駆動電流の交流成分の少なくとも一部を除去する。そうすることで停止時は低振動でステージを停止でき、第１速度で回転している場合には、ステージは、第１速度以外の速度成分の小さい、一定速度で移動することができる。一方で、ステッピングモータが第２速度で回転する場合には、そのような除去を行わない。このようにすると、撮像条件を柔軟に設計することができる。
　上述の実施例１～５では試料はウエハであるが、他の試料を用いてもよい。たとえば半導体用のマスクまたはＤＮＡを試料としてもよい。
　上述の実施例１～５ではステージは２軸方向に移動可能である。すなわち、ステッピングモータと、モータドライバと、振動低減回路２４とをそれぞれ複数備え、ステージを複数の方向に移動させる。変形例として、ステージは単一方向にのみ移動可能な単一軸のものであってもよい。
　上述の実施例１～５ではボールねじ３６に沿ってステージが移動するが、具体的な移動機構は任意に設計可能であり、たとえばリニアモータを用いてステージを移動させてもよく、回転によってステージを（たとえばＴ軸の周りに）回転移動させてもよく、これらを組み合わせてもよい。
１　　　電子銃
２　　　アパーチャー
３　　　集光レンズ
４　　　走査偏向器
５　　　対物レンズ
６　　　ウエハ（試料）
７　　　ホルダ
８　　　電気絶縁部
９　　　テーブル
１０　　直流電源
１１　　二次電子取り出し用偏向器
１２　　検出器
２０　　全体制御装置
２１　　光学系制御装置
２２　　ステージ制御装置
２３　　モータドライバ
２４　　振動低減回路（交流除去手段）
２５　　画像収集装置
２６　　フィルタ
２７　　リレー
３０　　Ｙ軸ステージ（ステージ）
３１　　Ｘ軸ステージ（ステージ）
３２　　Ｔ軸ステージ（ステージ）
３３　　Ｔ軸駆動用ステッピングモータ
３５　　Ｙ軸駆動用ステッピングモータ
３６　　ボールねじ
３７　　カップリング
３８　　ナット
３９　　転動体
４０　　ベアリング
５０　　ステージ位置指令
５１　　光学系指令
５２　　画像撮影条件
５３　　電子銃指令
５４　　集光レンズ指令
５５　　走査偏向器指令
５６　　対物レンズ指令
５７　　ホルダ電圧指令
５８　　二次電子取り出し用偏向器指令
５９　　検出器データ
６０　　モータ回転指令
６１　　モータ駆動電流
６２　　切替信号
６３　　負電圧
６４　　電流センサ
６５　　電流データ
１００　一次電子ビーム
１０１　二次電子
２００　真空容器
２０１　回転軸

Claims (11)

  1. 　顕微鏡において用いられるステージ装置であって、
    　試料を位置決めするステージと、
    　回転することにより前記ステージを移動させるステッピングモータと、
    　前記ステッピングモータに駆動電流を供給するモータドライバと、
    　前記モータドライバを制御するステージ制御装置と、
    を備え、
    　前記ステージ制御装置は、前記試料が撮像されている場合に、前記駆動電流の交流成分の少なくとも一部を除去する交流除去手段を備えることを特徴とする、ステージ装置。
  2. 　前記交流除去手段は、断接可能なハイパスフィルタまたはバンドパスフィルタを備え、
    　前記ステージ装置は、前記試料が撮像されている場合に、前記ハイパスフィルタまたはバンドパスフィルタを、前記モータドライバと前記ステッピングモータとの間に並列に接続することを特徴とする、請求項１に記載のステージ装置。
  3. 　前記ハイパスフィルタまたはバンドパスフィルタの断接時に発生するサージを防ぐための保護回路を備えることを特徴とする、請求項２に記載のステージ装置。
  4. 　前記交流除去手段は、断接可能なローパスフィルタを備え、
    　前記ステージ装置は、前記試料が撮像されている場合に、前記ローパスフィルタを、前記モータドライバと前記ステッピングモータとの間に直列に接続することを特徴とする、請求項１に記載のステージ装置。
  5. 　前記ローパスフィルタの断接時に発生するサージを防ぐための保護回路を備えることを特徴とする、請求項４に記載のステージ装置。
  6. 　前記ステージ装置は、前記ローパスフィルタに流れる電流が所定の閾値以下である場合に限り、前記ローパスフィルタの断接動作を行うことを特徴とする、請求項４に記載のステージ装置。
  7. 　前記ステージ装置は、前記ステッピングモータと、前記モータドライバと、前記交流除去手段とをそれぞれ複数備え、前記ステージを複数の方向に移動させることを特徴とする、請求項１に記載のステージ装置。
  8. 　前記ステージ装置はボールねじを備え、前記ボールねじに沿って前記ステージを移動させることを特徴とする、請求項１に記載のステージ装置。
  9. 　前記交流除去手段は、前記ステージが停止している場合に、前記駆動電流の交流成分の少なくとも一部を除去することを特徴とする、請求項１に記載のステージ装置。
  10. 　前記ステッピングモータは、回転速度が可変であり、
    　前記交流除去手段は、
    　‐前記ステッピングモータが第１速度で回転している場合に、前記駆動電流の交流成分の少なくとも一部を除去し、
    　‐前記ステッピングモータが前記第１速度より大きい第２速度で回転している場合に、前記駆動電流の交流成分の前記少なくとも一部を除去しない、
    ことを特徴とする、請求項１に記載のステージ装置。
  11. 　請求項１に記載のステージ装置を備える顕微鏡。
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